DE3026370A1 - MIRROR - Google Patents
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Description
8000 MÜNCHEK 60 · MUSÄUSSTRASSE 5 · TELEFON (089) 8816088000 MÜNCHEK 60 MUSÄUSSTRASSE 5 TELEPHONE (089) 881608
11.7.1980-SSe(5) 190-1587P7/11/1980-SSe (5) 190-1587P
Spiegelmirrors
Die Erfindung bezieht sich auf einen Spiegel zum Reflektieren allein von Strahlung, die konvergent oder divergent aus einer Richtung oder aus einer begrenzten Anzahl von Richtungen einfällt und innerhalb eines eng begrenzten Wellenlängenbandes oder einer begrenzten Anzahl solcher Wellenlängenbänder liegt.The invention relates to a mirror for reflecting only radiation that is convergent or divergent from a Direction or from a limited number of directions and within a narrowly limited wavelength band or a limited number of such wavelength bands.
Die Erfindung ist also mit einem sogen, "dunklen Spiegel" befaßt, der lediglich die Strahlung reflektieren soll, die aus bestimmten, vorgegebenen Richtungen kommt und innerhalb bestimmter, vorgegebener und eng begrenzter Wellenlängenbereiche liegt.The invention is thus concerned with a so-called "dark mirror", which should only reflect the radiation that comes from certain, predetermined directions and within certain, predetermined and narrowly limited wavelength ranges.
Die Bezeichnung "dunkler Spiegel" betrifft in diesem Zusammenhang den Umstand, daß andere Abschnitte des Wellenlängenbereichs als die Abschnitte, für die der Spiegel gemacht ist, in größtmöglichem Ausmaß unterdrückt werden. Diese anderen Abschnitte erscheinen daher für einen Beobachter oder ein Meßinstrument als dunkel. "Dunkle Spiegel", die aus selektiven, schmalbandigen Interferenzfilterspiegeln aufgebaut sind, weisen den Nachteil einer Empfindlichkeit für den Einfallswinkel der Strahlung auf, wobei speziell die reflektierte Wellenlänge zu kürzeren WellenlängenThe term "dark mirror" in this context relates to the fact that other portions of the wavelength range than the portions for which the mirror is made are suppressed to the greatest possible extent. These other sections appear hence as dark to an observer or a measuring instrument. "Dark mirrors" made up of selective, narrow-band interference filters are constructed, have the disadvantage of sensitivity to the angle of incidence of the radiation, wherein especially the reflected wavelength to shorter wavelengths
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hin verschoben wird, wenn der Einfallswinkel sich vergrößert. Diese Wellenlängenverschiebung ist eine Funktion des Kosinus für den Einfallswinkel innerhalb des Interferenzfilterstapels. Die Folge ist, daß in dieser Weise aufgebaute "dunkle Spiegel" in ihrer Verwendbarkeit auf einen schmalen Bereich für den Einfallswinkel und auf nahezu parallel einfallende Strahlung beschränkt sind. Dies führt zwangsläufig zu Schwierigkeiten dann, wenn die einfallende Strahlung aus mehreren verschiedenen Richtungen kommt, und wenn ein solcher Spiegel als selektives FiI-ter, also in einem konvergenten oder divergenten Strahlungsweg, arbeiten soll, kann es schwierig sein, den verlangten Grad an eng begrenzten Wellenlängenbändern zu erhalten. Dies liegt daran, daß die Reflexionsbänder des Interferenzspiegels zur Anpassung an den gesamten Winkelbereich der einfallenden Strahlung so breit gemacht werden müssen, daß auch Strahlung bei Wellenlängen außerhalb des gewünschten und ausgewählten Wellenlängenbereichs innerhalb des gleichen Einfallswinkels durch den Spiegel reflektiert wird.is shifted towards when the angle of incidence increases. This wavelength shift is a function of the cosine for the angle of incidence within the interference filter stack. The result is that "dark mirrors" constructed in this way can be used over a narrow range for the angle of incidence and are limited to almost parallel incident radiation. This inevitably leads to difficulties if the incident radiation comes from several different directions, and if such a mirror acts as a selective filter, So if you want to work in a convergent or divergent radiation path, it can be difficult to achieve the required degree to obtain narrowly limited wavelength bands. This is because the reflection bands of the interference mirror are used for adaptation the entire angular range of the incident radiation must be made so wide that radiation at wavelengths outside the desired and selected wavelength range within the same angle of incidence through the mirror is reflected.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Spiegel der eingangs erwähnten Art zu schaffen, der den oben erwähnten Einschränkungen nicht unterliegt und auch bei unterschiedlichen Einfallswinkeln reflektierte Strahlung nur innerhalb genau begrenzter Wellenlängenbänder abgibt.The invention is therefore based on the object of a mirror to create the type mentioned above, which is not subject to the above-mentioned restrictions and also with different Incidence angles reflected radiation emits only within precisely limited wavelength bands.
Die gestellte Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch einen Spiegel, wie er im Patentanspruch 1 angegeben ist; vorteilhafte Weiterbildungen und Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.The object set is achieved according to the invention by a mirror as specified in claim 1; advantageous Further developments and refinements of the invention emerge from the subclaims.
Die mit der Erfindung erzielte Verbesserung beruht im wesentlichen darauf, daß ein Spiegel mit einer Interferenzspiegelschicht oder einer holographischen Spiegelschicht auf seiner Vorderseite mit einer Absorptionsfilterschicht mit Transmission für ein oder mehrere gewünschte Wellenlängenbänder und Absorption bei anderenThe improvement achieved by the invention is essentially based that a mirror with an interference mirror layer or a holographic mirror layer on its front side with an absorption filter layer with transmission for one or multiple desired wavelength bands and absorption in others
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durch die Spiegelschicht reflektierten Wellenlängen versehen ist. Durch Anordnung der Spiegelschicht auf einem optischen Bauelement aus einem für die verwendete Strahlung transparenten Material wie Glas, Kunststoff, Silicium od.dgl. und Anordnung eines oder mehrerer relativ einfallsunabhängiger Absorptionsfilter auf der Vorderseite kann eine enge Begrenzung rund um die gewünschten Wellenlängenbänder erzielt werden. Wenn außerdem das optische Bauelement keilförmig ausgebildet wird, dann lassen sich bei Anordnung der Spiegelschicht auf der Rückseite dieses Bauelements nicht erwünschte Reflexionen an den Grenzschichten zwischen Absorptionsschichten und optischen Elementen in andere Richtungen lenken als in die Richtung, in die das vom Spiegel zu reflektierende Licht abgestrahlt werden soll.is provided by the mirror layer reflected wavelengths. By arranging the mirror layer on an optical component from a material transparent to the radiation used, such as glass, plastic, silicon or the like. and arrangement of one or more relatively incidence independent absorption filters on the front face can have a tight limitation around the desired wavelength bands be achieved. If, in addition, the optical component is designed in a wedge shape, the arrangement the mirror layer on the back of this component does not direct desired reflections at the boundary layers between absorption layers and optical elements in other directions than in the direction in which the light to be reflected by the mirror is to be emitted.
Ein Spiegel dieser Art läßt sich überall dort einsetzen, wo ein begrenztes Wellenlängenband von einem Objekt reflektiert werden soll, das beispielsweise ein Anzeigeschirm sein kann. Insbesondere eignet sich ein derartiger Spiegel zur Verwendung in Luftfahrzeugen, um in das Gesichtsfeld des Piloten Symbole einzublenden, die auf einem oder mehreren Anzeigeschirmen zur Anzeige gelangen. Bei derartigen Anordnungen ergeben sich Schwierigkeiten beim Fernhalten von Sonnenstrahlung vom Anzeigeschirm und bei der Verhütung eines Eintritts von Ümgebungsstrahlung in das optische System, wodurch sich Reflexionen und Kontrastverminderungen ergeben können, die als äußerst störend empfunden werden. Wenn mehrere Anzeigeschirme Verwendung finden, muß es möglich sein, die Symbole auf allen diesen Schirmen in ein und dieselbe Bildebene zu reflektieren.A mirror of this type can be used wherever a limited wavelength band is reflected from an object should, which can be, for example, a display screen. Such a mirror is particularly suitable for use in aircraft, to display symbols in the pilot's field of view, which are then displayed on one or more display screens. Such arrangements have difficulties in keeping solar radiation off the display screen and in the Preventing ambient radiation from entering the optical System, which can result in reflections and contrast reductions, which are perceived as extremely annoying. If several If display screens are used, it must be possible to place the symbols on all of these screens in one and the same picture plane reflect.
Wenn der Spiegel in konvergente oder divergente Strahlung eingefügt werden soll und die reflektierende Oberfläche einen Interferenzspiegel aufweist, dann ist es gemäß der Erfindung möglich, an verschiedenen Abschnitten der Interferenzschicht unterschiedliche Einfallswinkel für die Strahlung zuzulassen, indem die Interferenzschicht so ausgebildet wird, daß sie auf verschiedenenWhen the mirror is inserted into convergent or divergent radiation and the reflective surface is an interference mirror has, then according to the invention it is possible to use different sections of the interference layer To allow angles of incidence for the radiation by the interference layer is formed so that they are on different
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Teilen ihrer Oberfläche unterschiedliche Reflexionseigenschaften zeigt. Zusätzlich ist es gemäß der Erfindung möglich, die Dämpfung der verschiedenen Schichten in bezug auf die Einfallsrichtung und die Strahlungsreflexion und demzufolge auf den Strahlungsweg durch die jeweiligen Schichten sowie die Dämpfung für die Strahlung innerhalb eines gewünschten Wellenlängenbereichs und auch hinsichtlich der Kurvenform für die jeweils verwendeten Spiegelschichten zu berücksichtigen, indem die Dicke der Absorptionsschicht entlang der Oberfläche variiert wird.Share their surface with different reflective properties shows. In addition, according to the invention, it is possible to reduce the attenuation of the various layers with respect to the direction of incidence and the radiation reflection and consequently on the radiation path by the respective layers as well as the attenuation for the radiation within a desired wavelength range and also with regard to the curve shape for the mirror layers used in each case to be taken into account by the thickness of the absorption layer is varied along the surface.
Bei einer einfachen Ausführungsform weist der Spiegel eine Platte mit einer Interferenzspiegelschicht oder einer holographischen Spiegelschicht auf der Vorderseite und einer oder mehreren obenauf angeordneten Absorptionsfilterschichten auf. Wenn der Spiegel in einen konvergenten oder divergenten Strahlungsweg mit schrägem Lichteinfall auf den Spiegel eingefügt werden soll, werden die Absorptionsschichten vorzugsweise keilförmig ausgebildet.In a simple embodiment, the mirror has a Plate with an interference mirror layer or a holographic mirror layer on the front and one or more absorption filter layers arranged on top. When the mirror is in a convergent or divergent beam path with inclined light is to be inserted on the mirror, the absorption layers are preferably wedge-shaped.
In der Zeichnung ist die Erfindung beispielsweise veranschaulicht; es zeigen:In the drawing, the invention is illustrated by way of example; show it:
Fig. 1 ein erstes Ausführungsbeispiel für einen erfindungsgemaß ausgebildeten Spiegel in einem senkrecht zu dessen verschiedenen Schichten gelegten Schnitt;Fig. 1 shows a first embodiment of an inventive formed mirror in a cut perpendicular to its various layers;
Fig. 2 ein keilförmig ausgebildetes zweites Ausführungsbeispiel mit schematischer Darstellung einfallender und reflektierter Strahlung;Fig. 2 shows a wedge-shaped second embodiment with a schematic representation of incident and reflected radiation;
Fig. 3 ein drittes Ausführungsbeispiel für die Erfindung in Fig. 2 entsprechender Darstellung;FIG. 3 shows a third exemplary embodiment for the invention in a representation corresponding to FIG. 2; FIG.
Fig. 4 ein viertes Ausführungsbeispiel mit wiederum planparalleler Anordnung der Schichten wie in Fig. 1.Fig. 4 shows a fourth embodiment with again plane-parallel Arrangement of the layers as in Fig. 1.
Das in Fig. 1 gezeigte erste Ausführungsbeispiel für einen erfindungsgemäß ausgebildeten Spiegel weist eine holographische Spiegelschicht oder eine Interferenzspiegelschicht 1 mit einer Kurve für das Reflexionsvermögen auf, die für den durch den dargestellten Spiegel zu reflektierenden Wellenlängenbereich einenThe first embodiment shown in Fig. 1 for an inventive formed mirror has a holographic mirror layer or an interference mirror layer 1 with a Reflectivity curve based on that represented by the Mirror to reflect a wavelength range
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Reflexionsbereich besitzt, der einen Einfallswinkelbereich von etwa +5° rund um die Hauptrichtung für die einfallende Strahlung umfaßt. Dies bringt es mit sich, daß der Bereich des Reflexionsvermögens für die Spiegelschicht 1 erheblich breiter sein muß als der tatsächliche Wellenlängenbereich für den Spiegel. Außerdem ist es vollkommen unmöglich, einen Interferenzspiegel oder einen holographischen Spiegel herzustellen, der nicht auch ein gewisses Reflexionsvermögen außerhalb des vorgesehenen Reflexionsbereichs aufweist. Vielmehr verbleibt stets ein schwaches Reflexionsvermögen über im wesentlichen den gesamten Wellenlängenbereich.Reflection area has an angle of incidence range of about + 5 ° around the main direction for the incident radiation includes. This means that the range of reflectivity for the mirror layer 1 must be considerably wider than the actual wavelength range for the mirror. Plus, it's totally impossible to have an interference mirror or a Manufacture holographic mirror that does not also have a certain reflectivity outside of the intended reflection area having. Rather, there always remains a weak reflectivity over essentially the entire wavelength range.
Aus diesem Grunde ist in Fig. 1 die Spiegelschicht 1 auf die Rückseite eines Absorptionsfilters 2, 3 aufgebracht, das wie in der Zeichnung dargestellt Kombinationsfilter umfassen kann, die aus mehreren Absorptionsfiltern zusammengesetzt sind, die miteinander mittels einer Kleberschicht 4 verkittet sind, die auch farbig gehalten sein und damit ebenfalls als Absorptionsfilter wirken kann. Das Absorptionsfilter weist ein Transmissionsintervall auf, das sich eng bgrenzt rund um den tatsächlichen Wellenlängenbereich erstreckt, in dem der Spiegel reflektierend wirken soll. Weiterhin ist der Spiegel von Fig. 1 auf seiner Vorderseite mit einer Antireflexschicht 5 üblicher Ausführung versehen.For this reason, in Fig. 1, the mirror layer 1 is applied to the back of an absorption filter 2, 3, which as in the drawing may comprise combination filters, which are composed of several absorption filters that are connected to each other are cemented by means of an adhesive layer 4, which are also kept colored and thus also as an absorption filter can work. The absorption filter has a transmission interval which stretches narrowly around the actual wavelength range in which the mirrors are reflective target. Furthermore, the mirror of FIG. 1 is provided on its front side with an anti-reflective layer 5 of the usual design.
Der Grund für die Verwendung einer Interferenzspiegelschicht oder einer holographischen Spiegelschicht liegt darin, daß es sehr schwierig ist, mit Absorptionsfiltern allein ein hinreichend eng begrenztes Wellenlängenband zu erhalten. Die Kurve für das Reflexionsvermögen der Spiegelschicht und die Transmissionskurve für die Absorptionsfilter sind daher so aneinander angepaßt, daß eine begrenzende Wellenlänge der Spiegelschicht, und zwar bevorzugt die langwelligste, nahe bei einer begrenzenden Wellenlänge für den Transmissionsbereich des Absorptionsfilters liegt, so daß der Bereich, innerhalb dessen der Spiegel Reflexionsvermögen besitzt, durch diese beiden Grenzwellenlängen begrenzt wird. Infolge der Eigenschaften eines Interferenzfilterspiegels oder einesThe reason for using an interference mirror layer or a holographic mirror layer is that it it is very difficult to obtain a sufficiently narrowly limited wavelength band with absorption filters alone. The curve for that The reflectivity of the mirror layer and the transmission curve for the absorption filter are therefore matched to one another so that a limiting wavelength of the mirror layer, preferably the longest wavelength, close to a limiting wavelength for the transmission range of the absorption filter, so that the range within which the mirror has reflectivity, is limited by these two limit wavelengths. As a result of the properties of an interference filter mirror or a
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holographischen Spiegels ist es schwierig, das Auftreten gewisser kleinerer Reflexionsscheitel innerhalb des restlichen Abschnitts im Transmissionsbereich des Absorptionsfilters zu vermeiden. Die Spiegelschicht wird so dimensioniert, daß sie innerhalb dieses Bereichs so kleine Reflexionsscheitel zeigt, wie dies praktisch erreichbar ist. Wenn dies nicht erreichbar ist, kann dieser Bereich auch außerhalb des spektralen Empfindlichkeitsbereichs für das menschliche Auge oder einen als Kollektor verwendeten Lichtdetektor oder nahe der Grenze für diesen Empfindlichkeitsbereich gelegt werden. Sowohl die Spiegelschicht als auch das Absorptionsfilter werden so bemessen, daß ihre Kennlinien für das Reflexionsvermögen bzw. für die Transmission nahe den Grenzen für den gewünschten Reflexionsbereich des Spiegels eine steile Steigung aufweisen.holographic mirror, it is difficult for certain smaller reflection peaks to appear within the rest of the section to be avoided in the transmission range of the absorption filter. The mirror layer is dimensioned so that it is within this area shows such small reflection peaks how this is practically achievable. If this is not achievable, can this range also outside the spectral sensitivity range for the human eye or a collector used Light detector or close to the limit for this sensitivity range. Both the mirror layer and the absorption filter are also dimensioned so that their characteristics for the reflectivity or for the transmission close to the limits for the desired reflection range of the mirror have a steep slope.
Wenn die am Spiegel einfallende Strahlung gesammelt wird, ist die Einfallsrichtung für die gesamte Spiegeloberfläche die gleiche, und demzufolge wird die Spiegelschicht 1 dann so aufgebaut, daß sie über ihre gesamte Oberfläche hinweg gleiche Eigenschaften aufweist. Das bedeutet, daß dann, wenn die Spiegelschicht 1 ein Interferenzspiegel ist, die verschiedenen in diesem Spiegel vorgesehenen dielektrischen Schichten über die gesamte Spiegeloberfläche hinweg die gleiche Dicke aufweisen. Wenn die am Spiegel einfallende Strahlung dagegen divergent oder konvergent ist, wird der Einfallswinkel oder in der Praxis der Einfallswinkelbereich an verschiedenen Stellen der Spiegeloberfläche unterschiedlich. Die in einem Interferenzspiegel vorgesehenen dielektrischen Schichten werden dann mit unterschiedlicher Dicke an verschiedenen Stellen der Spiegeloberfläche ausgeführt, um die Reflexionskurve für den Spiegel an die verschiedenen Einfallswinkel anzu- passen. Wenn zum Beispiel am einen Rande des Spiegels der Einfallswinkel 35°+3° und am anderen Rande des Spiegels 45°+3° beträgt, dann würde die Reflexionskurve in Richtung auf kürzere Wellenlängen etwa 0,1 ö^egenüber der zu reflektierenden Wellenlänge verschoben, wenn nicht die Dicke der dielektrischen Schich-If the incident radiation is collected at the mirror, the direction of incidence is the same for the entire mirror surface, and consequently the mirror layer 1 is then constructed in such a way that they have the same properties over its entire surface having. This means that when the mirror layer 1 is an interference mirror, the various ones provided in this mirror dielectric layers have the same thickness over the entire mirror surface. When the one in the mirror incident radiation, on the other hand, is divergent or convergent, becomes the angle of incidence or, in practice, the angle of incidence range different at different points on the mirror surface. The dielectric ones provided in an interference mirror Layers are then made with different thicknesses at different points on the mirror surface in order to adapt the reflection curve for the mirror to the different angles of incidence. fit. For example, if at one edge of the mirror the angle of incidence is 35 ° + 3 ° and at the other edge of the mirror 45 ° + 3 °, then the reflection curve in the direction of shorter wavelengths would be about 0.1% compared to the wavelength to be reflected shifted, if not the thickness of the dielectric layer
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ten im Spiegel angepaßt wäre.ten in the mirror would be adapted.
Interferenzschichten mit über die Oberfläche variierender Dicke lassen sich durch Aufdampfen im Vacuum mittels geeigneter Ausrichtung der zu bedampfenden Oberfläche in bezug auf die Verdampfungsquelle und/oder mittels Einfügung geeignet ausgebildeter Masken zwischen zu bedampfender Oberfläche und Verdampfungsquelle erhalten. Interference layers with varying across the surface Thickness can be determined by evaporation in a vacuum by means of suitable alignment of the surface to be evaporated with respect to the evaporation source and / or obtained by inserting suitably designed masks between the surface to be vaporized and the vaporization source.
Auf der Rückseite der Spiegelschicht 1 ist in Fig. 1 weiter ein Trägersübstrat 61 von erheblich größerer Dicke als alle übrigen Schichten in gestrichelten Linien dargestellt. Dieses Trägersubstrat 61 ist dann notwendig, wenn ein lediglich aus Absorptionsschichten und Spiegelschichten aufgebauter Spiegel mechanisch nicht vollständig stabil wäre. Das Trägersubstrat 61 besteht aus einem starren Material wie beispielsweise Glas oder Kunststoff mit einer glatten Oberfläche. Wenn es eines T-ägersubstrats 61 bedarf, wird die Interferenzspiegelschicht 1 zweckmäßig auf die Oberfläche des Trägersubstrats 61 aufgedampft, und das Absorptionsfilter 2 wird auf einen Träger mit Interferenzspiegelschichten aufgekittet. Wenn das Trägersubstrat 61 aus Glas besteht, kann seine Unterseite mattiert sein oder eine nicht transparente Oberflächenschicht aufweisen.On the back of the mirror layer 1 in FIG. 1 there is also a carrier substrate 61 of considerably greater thickness than all the others Layers shown in dashed lines. This carrier substrate 61 is necessary if one consists only of absorption layers and mirror layers built up mirrors would not be completely mechanically stable. The support substrate 61 consists of a rigid material such as glass or plastic with a smooth surface. If it's a tee substrate 61 is required, the interference mirror layer 1 is expediently vapor-deposited onto the surface of the carrier substrate 61, and the absorption filter 2 is on a support with interference mirror layers puttied up. When the carrier substrate 61 is off Glass consists, its underside can be frosted or have a non-transparent surface layer.
Bei dem in Fig. 2 dargestellten zweiten Ausführungsbeispiel für einen gemäß der Erfindung gestalteten Spiegel ist die Spiegelschicht 1 auf der Rückseite eines keilförmigen Trägers 6 aus einem für das verwendete Licht transparenten Material wie optischem Glas, Silicium od.dgl. angeordnet. Auf der Vorderseite des Trägers 6 sind zwei leicht keilförmig geformte Absorptionsfilterscheiben 7 und 8 mittels Kleberschichten 9 und 10 aufgekittet. Eines dieser Absorptionsfilter kann ein Langpaßfilter mit einer scharfen Kante an der begrenzenden Wellenlänge sein, und das andere Filter ist dann ein Bandpaßfilter, das so gewählt ist, daß es eine scharfe Kante an der obrren Grenze für den vorgesehenenIn the second exemplary embodiment shown in FIG. 2 for a mirror designed according to the invention, the mirror layer is 1 on the back of a wedge-shaped carrier 6 made of a material that is transparent to the light used, such as optical Glass, silicon or the like. arranged. On the front of the carrier 6 are two slightly wedge-shaped absorption filter disks 7 and 8 cemented on by means of adhesive layers 9 and 10. One of these absorption filters can be a long pass filter with a sharp edge at the limiting wavelength, and the other The filter is then a bandpass filter that is chosen so that there is a sharp edge at the upper limit for the intended
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Wellenlängenbereich aufweist. Die Reihenfolge dieser Filter ist nicht von Bedeutung, sofern die Filter sonst ähnliche Eigenschaften aufweisen. Wenn beispielsweise eines der Filter Änderungen in seinem Transmissionsverhalten unter dem Einfluß einfallender ultravioletter Strahlung erfahren sollte, das andere dagegen einen Durchtritt dieser Strahlung verhindern könnte, versteht es sich von selbst, daß das erste dieser beiden Filter hinter dem zweiten anzuordnen ist.Has wavelength range. The order of these filters is not important, provided the filters have otherwise similar properties exhibit. If, for example, one of the filters changes in its transmission behavior under the influence of incident should experience ultraviolet radiation that others could prevent the passage of this radiation, it goes without saying that the first of these two filters is to be arranged after the second.
In Fig. 2 ist der dargestellte Spiegel in einen divergenten Strahlungsfluß eingefügt gezeigt, der von links her auf den Spiegel trifft, wobei der einfallende Strahl auf der einen Seite einen Einfallswinkel α... und auf der anderen Seite einen Einfallswinkel a„ aufweist. Bei dem dargestellten Beispiel haben die Materialien für die einzelnen Schichten 6 bis 10 des Spiegels den gleichen Brechungsindex, und daher ändert sich die Strahlrichtung durch Brechung nur beim Eintritt des Strahls in den zusammengesetzten Spiegel und bei seinem Austritt aus dem Spiegel. Dies ist natürlich keine Voraussetzung für die Durchführung der Erfindung, doch erweist es sich dann als sehr zweckmäßig, wenn die Absorptionsschichten zur Erfüllung ihrer Steuerfunktion eine andere Form als eine reine Keilform erhalten müssen. Die einfallende Strahlung wird an der Spiegelschicht 1 reflektiert, durchläuft die verschiedenen Schichten 6 bis 10 erneut und tritt dann unter einem Austrittswinkel a_ bzw. α. aus.In Fig. 2, the mirror shown is shown inserted into a divergent radiation flux, which from the left on the Mirror hits, with the incident beam on one side an angle of incidence α ... and on the other side an angle of incidence a "has. In the example shown, the materials have the same refractive index for the individual layers 6 to 10 of the mirror, and therefore the beam direction changes by refraction only when the beam enters and exits the composite mirror. This is of course not a prerequisite for the implementation of the invention, but it proves to be very useful if the absorption layers must be given a shape other than a pure wedge shape in order to fulfill their control function. The incident Radiation is reflected on the mirror layer 1, passes through the various layers 6 to 10 again and then occurs at an exit angle α_ or α. the end.
Wie die Darstellung in Fig. 2 ohne weiteres zeigt, durchlaufen Strahlen mit unterschiedlichen Einfallswinkeln in bezug auf den Spiegel Wege von unterschiedlicher Länge durch die Absorptionsschichten, wenn diese vollkommen planparallel sind, was zu unterschiedlicher Dämpfung für die an verschiedenen Abschnitten des Spiegels durch diesen hindurchgegangene Strahlung führen würde. Um dem abzuhelfen, werden die Absorptionsschichten mit über die Oberfläche variierender Dicke ausgeführt, so daß eine gleichförmige Dämpfung für den gesamten Strahl erzielt wird. Dabei kannAs the illustration in Fig. 2 readily shows, rays pass through at different angles of incidence with respect to the mirror paths of different lengths through the absorption layers, if these are perfectly plane-parallel, which leads to different attenuation for the radiation which has passed through this at different sections of the mirror. In order to remedy this, the absorption layers are designed with a thickness that varies over the surface, so that a uniform Attenuation is achieved for the entire beam. Here can
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es selbstverständlich schwierig sein, kompliziertere Variationsformen für die Dicke in den beiden Absorptionsschichten zu erhalten, da damit genaue Anforderungen hinsichtlich des Schleifens der jeweiligen Oberflächen von Absorptionsschicht und optisehen Bauelementen verbunden sind. Eine gute Annäherung für eine Lösung dieses Problems ist daher die Anordnung keilförmiger Absorptionsschichten, wobei die Keilspitze in der Einfallsebene für den einfallenden Strahl liegt und der Richtung abgewandt ist, wo die Strahlung konvergiert. In der Darstellung in Fig. 2 weist die Keilspitze für die Absorptionsfilter nach rechts. Außerdem ist in Fig. 2 durch in gestrichelten Linien eingezeichnete Pfeile 11 und 12 angedeutet, daß die an der Vorderseite des Trägers 6 reflektierte Strahlung ebenso wie die an den verschiedenen Filterschichten und an der Oberkante des Trägers 6 reflektierte Strahlung in einer völlig anderen Richtung reflektiert wird als die Strahlung, die durch die Spiegelschicht 1 reflektiert wird und nach dem Durchgang durch weitere in der Zeichnung nicht gezeigte optische Bauelemente nutzbar gemacht wird.it will of course be difficult to obtain more complicated forms of variation for the thickness in the two absorption layers, as there are precise requirements with regard to the grinding of the respective surfaces of the absorption layer and optisehen Components are connected. A good approximation for a solution to this problem is therefore the arrangement of wedge-shaped absorption layers, with the wedge tip lying in the plane of incidence for the incident ray and facing away from the direction where the radiation converges. In the illustration in FIG. 2, the wedge tip for the absorption filter points to the right. In addition, in Fig. 2 indicated by arrows 11 and 12 drawn in dashed lines that the reflected on the front side of the carrier 6 Radiation as well as the radiation reflected on the various filter layers and on the upper edge of the carrier 6 in is reflected in a completely different direction than the radiation that is reflected by the mirror layer 1 and after Passage is made usable through further optical components not shown in the drawing.
Weiter ist in Fig. 2 in gestrichelten Linien eine zusätzliche Absorptionsschicht 13 dargestellt, die mittels einer Kleberschicht 14 zwischen das Filter 7 und den Träger 6 eingefügt ist. Es versteht sich, daß die Spiegelschicht 1 so ausgebildet werden kann, daß sie Reflexionsbänder für mehrere Wellenlängenbereiche besitzt. Dies kann beispielsweise dann angezeigt sein, wenn der Spiegel zum Reflektieren von auf dem Bildschirm einer Farbbildröhre entstehenden Bildern dienen und eine Filterung der in diesen Bildern enthaltenen Farben rot, blau und grün bewirken soll. Dies ergibt ein extrem scharf gezeichnetes Bild. Der gemäß der Darstellung in Fig. 2 mit der zusätzlichen Absorptionsschicht 13 versehene Spiegel eignet sich zum Reflektieren von zwei Farben, wobei das Filter 7 beispielsweise ein Langpaßfilter mit einer scharfen Transmissionskante an der unteren Grenzwellenlänge für den unteren Bereich sein kann, das Filter 8 ein Paßband im unteren Wellenlängenbereich und einen Paßbandbereich oder einen Langpaßbereich im obe-Furthermore, in Fig. 2, an additional absorption layer 13 is shown in dashed lines, which by means of an adhesive layer 14 is inserted between the filter 7 and the carrier 6. It goes without saying that the mirror layer 1 can be formed in such a way that that it has reflection bands for several wavelength ranges. This can be indicated, for example, when the mirror to The purpose of reflecting images on the screen of a color picture tube is to filter the images contained in these images Colors red, blue and green are supposed to effect. This gives an extremely sharp picture. As shown in 2 mirrors provided with the additional absorption layer 13 is suitable for reflecting two colors, the filter 7, for example, being a long-pass filter with a sharp transmission edge at the lower limit wavelength for the lower range, the filter 8 can be a pass band in the lower wavelength range and a pass band area or a long pass area in the upper
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ren Wellenlängenbereich aufweist und das Filter 13 ein Paßband, das sich über beide tatsächliche Wellenlängenbereiche erstreckt, oder zwei oder mehr Paßbänder aufweisen kann, von denen sich zwei über jeden der Wellenlängenbereiche erstrecken, für die der Spiegel angepaßt ist.ren wavelength range and the filter 13 has a passband that extends over both actual wavelength ranges, or two or more passbands, two of which extend over each of the wavelength ranges for which the Mirror is adapted.
Die Spiegelschicht 1 weist Reflexionsbänder für die tatsächlichen Wellenlängenbereiche auf, die so schmal gemacht sind wie möglich, indem nur ein Teil jedes interessierenden Reflexionsbandes innerhalb eines Transmissionsbereichs für die Absorptionsfilterkombination liegt.The mirror layer 1 has reflection bands for the actual wavelength ranges made as narrow as possible by having only a part of each reflection band of interest within a transmission range for the absorption filter combination lies.
Das in Fig. 3 gezeigte dritte Ausführungsbeispiel für einen Spiegelaufbau gemäß der Erfindung ist zum Reflektieren von Strahlung bestimmt, die von zwei verschiedenen Strahlungsquellen mit unterschiedlichen oder ähnlichen Wellenlängenbereichen in der gleichen Richtung kommt und in Strahlungsrichtung gesehen hinter dem Spiegel in ein und dieselbe Optik einfallen soll. In Fig. 3 ist ähnlich wie in Fig. 2 ein keilförmiger Träger 16 aus einem für das vorgesehene Licht transparenten Material wie Glas bei einem Einsatz des Spiegels zum Reflektieren von sichtbarem Licht auf seiner in der Zeichnung unteren Seite mit einer Interferenzspiegelschicht 17 versehen. Auf die andere Seite des Trägers 16 ist mittels einer Kleberschicht 19 eine Absorptionsschicht 18 aufgeklebt. Oberhalb dieser Schicht 18 sind bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel jedoch mit Hilfe weiterer Kleberschichten 23 und 24 zusätzliche Absorptionsschichten 20 und 21 aufgekittet, von denen die Schicht 20 auf ihrer unteren Seite mit einer Interferenzspiegelschicht 22 versehen ist. Wie der in Fig. 3 eingezeichnete Strahlungsweg erkennen läßt, soll das aus den Schichten 16 bis 22 zusammengesetzte Gesamtgebilde die in gestrichelten Linien eingezeichnete, von einer in der Zeichnung oben links angenommenen Strahlungsquelle kommende Strahlung reflektieren, während die Schichten 20, 21 und 22 Strahlung reflektieren sollen , die in strichpunktierten Linien eingezeichnet ist und von einer in der Zeichnung rechts angenommenen StrahlungsquelleThe third exemplary embodiment shown in FIG. 3 for a mirror structure according to the invention is for reflecting radiation determined by two different radiation sources with different or similar wavelength ranges in the comes in the same direction and, viewed in the direction of radiation, is intended to fall into one and the same optics behind the mirror. In Fig. 3 is similar to FIG. 2, a wedge-shaped carrier 16 made of a material such as glass that is transparent to the intended light an insert of the mirror for reflecting visible light on its lower side in the drawing with an interference mirror layer 17 provided. On the other side of the carrier 16 is an absorption layer 18 by means of an adhesive layer 19 glued. In the exemplary embodiment shown, however, further adhesive layers 23 are above this layer 18 and 24 additional absorption layers 20 and 21 cemented on, of which the layer 20 on its lower side with an interference mirror layer 22 is provided. As the radiation path shown in FIG. 3 shows, this should be from the layers 16 to 22 composed overall structure drawn in dashed lines, of one in the drawing at the top left assumed radiation source reflect incoming radiation, while the layers 20, 21 and 22 should reflect radiation , which is drawn in dash-dotted lines and from a radiation source assumed in the drawing on the right
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worauf der Strahlungsweg nach der Reflexion auf den Spiegel zu für die von beiden Strahlungsquellen stammende Strahlung im wesentlichen ähnlich werden soll. Die beiden Strahlungsquellen brauchen in Fig. 2 nicht in der Zeichenebene zu liegen, vielmehr kann die eine davon oberhalb und die andere unterhalb der Zeichenebene angeordnet sein.whereupon the radiation path after the reflection towards the mirror for the radiation originating from both radiation sources should be essentially similar. The two radiation sources do not need to lie in the plane of the drawing in FIG. 2, but rather one of them can be arranged above and the other below the plane of the drawing.
Um den angestrebten Effekt zu erreichen, weisen die Schichten 20, 21 und 22 eine hohe Durchlässigkeit für den Wellenlängenbereich der rechten Strahlungsquelle auf, so daß diese Strahlung nicht merklich gedämpft wird. Da die Absorptionsschicht 18 der Strahlung von der rechten Strahlungsquelle angepaßt ist, ist die Spitze ihres Keiles von der Strahlungsquelle gesehen nach links gerichtet. Die beiden Absorptionsschichten 20 und 21 sind an die Strahlung von der linken Strahlungsquelle angepaßt. Sie können beide Bandpaßfilter sein, wobei ihre wesentlichen Paßbänder rund um die von der rechten Strahlungsquelle kommende Strahlung liegen, jedoch schwächere Paßbänder rund um andere Wellenlängenbereiche vorhanden sind, die in diesem Falle rund um den Wellenlängenbereich für die Strahlung von der linken Strahlungsquelle liegen, wobei die Filter hinreichend dünn ausgeführt sind, daß sie als Bandpaßbilter für die Strahlung von der linken Strahlungsquelle wirken. Die verschiedenen Einfallswinkel für den Einfall der Strahlung auf den Spiegel sind so gewählt, daß die von der linken Strahlungsquelle kommende Strahlung mit einer Wellenlänge, für die die Absorptionsschicht 18 durchlässig ist, nicht innerhalb des Einfallsrichtungsbereichs liegt, für den die Spiegelschicht 22 reflektierend wirkt.In order to achieve the desired effect, the layers 20, 21 and 22 have a high permeability for the wavelength range the right radiation source so that this radiation is not noticeably attenuated. Since the absorption layer 18 of the Radiation from the right radiation source is matched, the tip of its wedge is to the left as seen from the radiation source directed. The two absorption layers 20 and 21 are adapted to the radiation from the left radiation source. You can be both bandpass filters, their essential passbands being around the radiation coming from the radiation source on the right, however, there are weaker passbands around other wavelength ranges, which in this case around the wavelength range for the radiation from the left radiation source, the filters are made sufficiently thin that they act as bandpass filters for the radiation from the left radiation source. The different angles of incidence for the incidence of the Radiation on the mirror are chosen so that the radiation coming from the left radiation source with a wavelength for which the absorption layer 18 is permeable, does not lie within the direction of incidence range for which the mirror layer 22 acts reflective.
In Fig. 4 ist noch ein weiteres Ausführungsbeispiel für die Erfindung dargestellt, bei dem auf der Rückseite eines Stapels aus mittels Kleberschichten 29 und 30 miteinander verkitteten Absorptionsfiltern 26, 27 und 28 ein holographischer Spiegel 25 angeordnet ist. Für einen holographischen Spiegel gilt, daß seine Spiegelnormale nicht die gleiche zu sein braucht wie die Nor-In Fig. 4 still another embodiment of the invention is shown, in which on the back of a stack from absorption filters 26, 27 and 28 cemented to one another by means of adhesive layers 29 and 30, a holographic mirror 25 is arranged. For a holographic mirror it is true that its mirror normal does not have to be the same as the normal
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male für die das Hologramm bildende tatsächliche Schicht. Bei den sogen. Dickfilmhologrammen, in welcher Form holographische optische Bauelemente üblicherweise hergestellt werden, können überdies mehrere verschiedene Hologramme einander in ein und demselben Film überlagert sein. Dies bietet die Möglichkeit für die Herstellung eines holographischen Spiegels in der Weise, daß ein und dieselbe Schicht in verschiedenen Richtungen einfallende Strahlung zu reflektieren vermag oder wie in dem in Fig. 4 gezeigten Falle Strahlung in ein und dieselbe Richtung reflektieren kann, die aus zwei verschiedenen Richtungen auf den Spiegel einfällt. Der in Fig. 4 gezeigte Spiegel ist in einen konvergenten Strahlungsweg von zwei Strahlungsquellen eingefügt dargestellt, von denen die eine, deren Strahlung in strichpunktierten Linien eingezeichnet ist, weiter links liegt als die andere, deren Strahlung in gestrichelten Linien dargestellt ist. Beide Strahlungsquellen sind monochromatisch, und ihre Strahlung kann die gleiche Wellenlänge oder verschiedene Wellenlängen aufweisen. Beide Strahlenwege werden durch den holographischen Spiegel in der Richtung reflektiert, die in Fig. 4 durch den mit ausgezogenen Linien dargestellten Strahlenweg angedeutet ist. Wie im Falle von Interferenzspiegeln gilt für holographische Spiegel, daß sie in hohem Maße empfindlich sind für Änderungen in der Wellenlänge des einfallenden Lichtes und speziell so reagieren, daß eine Wellenlängenänderung eine Änderung in der Reflexionsrichtung für die einfallende Strahlung ergibt. Wenn der Spiegel nun in der Lage sein soll, Strahlung mit zwei verschiedenen Farben aus zwei verschiedenen vorgegebenen Richtungen zu reflektieren, dann muß auf der Vorderseite des Spiegels ein Absorptionsfilterstapel 26, 27, 28 mit Transmission für die jeweiligen Farben vorgesehen wer-paint for the actual layer forming the hologram. With the so-called. Thick-film holograms, the form in which holographic optical components are usually produced, moreover, several different holograms can be superimposed on one another in one and the same film. This offers the possibility of producing a holographic mirror in such a way that one and the same layer can reflect radiation incident in different directions or, as in the case shown in FIG Directions on the mirror. The mirror shown in FIG. 4 is shown inserted in a convergent radiation path of two radiation sources, one of which, the radiation of which is shown in dash-dotted lines, is further to the left than the other, the radiation of which is shown in dashed lines. Both radiation sources are monochromatic and their radiation can have the same wavelength or different wavelengths. Both beam paths are reflected by the holographic mirror in the direction which is indicated in FIG. 4 by the beam path shown with solid lines. As in the case of interference mirrors, holographic mirrors are highly sensitive to changes in the wavelength of the incident light and, in particular, react in such a way that a change in wavelength results in a change in the direction of reflection for the incident radiation. If the mirror is now to be able to reflect radiation with two different colors from two different predetermined directions, then an absorption filter stack 26, 27, 28 with transmission for the respective colors must be provided on the front of the mirror.
Ein Spiegel, der Strahlung der Wellenlänge /\ = 543 πιμ bei Einfallswinkeln zwischen 15 und 45° mit weitgehend gleichförmigerA mirror, the radiation of the wavelength / \ = 543 πιμ at angles of incidence between 15 and 45 ° with largely uniform
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Variation über die Oberfläche mit einem mittleren Einfallswinkel von 20° auf der einen Seite und 36° auf der anderen Seite und an jeder Stelle mit einem reflektierten Winkelbereich von etwa 15° für die tatsächliche Wellenlänge reflektieren soll, kann in Entsprechung zu den Grundprinzipien der Erfindung gemäß der in Fig. 2 dargestellten Ausführungsform hergestellt werden. Dann besteht unter Verwendung der Bezeichnungen für Glassorten und Dicken nach dem Glaskatalog von Schott die Schicht 8 aus BGSo1 n und die Schicht 7 aus 0G530. ,. Die Interferenzspiegelschicht 1 besteht aus 25 Schichten, wobei TiO „ mit einem Brechungsindex von etwa 2,40 und SiO- mit einem Brechungsindex von etwa 1,45 entsprechend der Reihenfolge (H/2) (LH) 11L(H/2) alternieren, in der L für eine Si0„-Schicht mit einer Dicke von 875 Ä in der Mitte ■- in der Zeichnung, H für eine Ti02~Schicht mit einer DickeVariation over the surface with a mean angle of incidence of 20 ° on the one hand and 36 ° on the other side and at each point with a reflected angular range of about 15 ° for the actual wavelength can reflect in accordance with the basic principles of the invention according to the embodiment shown in Fig. 2 can be produced. Then, using the designations for glass types and thicknesses according to the Schott glass catalog, layer 8 consists of BGSo 1 n and layer 7 of 0G530. ,. The interference mirror layer 1 consists of 25 layers, with TiO "with a refractive index of about 2.40 and SiO- with a refractive index of about 1.45 alternating in the order (H / 2) (LH) 11 L (H / 2), in the L for a Si0 "layer with a thickness of 875 Å in the middle ■ - in the drawing, H for a Ti0 2 ~ layer with a thickness
von 518 Ä und H/2 für eine Ti0_-Schicht mit einer Dicke von 259 Ä stehen. Auf der einen Seite mit dem größeren mittleren Einfallswinkel nimmt die Dicke jeder Schicht um etwa 4% zu, während auf der anderen Seite mit dem kleineren Einfallswinkel die Dicke jeder Schicht um etwa 2% vermindert ist.of 518 Å and H / 2 for a Ti0_ layer with a thickness of 259 Å stand. On the one hand, with the larger mean angle of incidence, the thickness of each layer increases by about 4% while on on the other hand, with the smaller angle of incidence, the thickness of each layer is reduced by about 2%.
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