DE3014865A1 - Piezoelektrischer schwinger - Google Patents

Description

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BESCHREIBUNG

Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Schwinger nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1, bei dem die Ausdehnungs- oder ExpansiorEmode der Schwingung ausgenützt wird.
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Die Fig. 1 bis 3 der beigefügten Zeichnungen zeigen verschiedene Beispiele eines quadratischen plattenförmigen Schwingers, bei die Expansions- oder Ausdehnungsmode der Schwingung als Nutzschwingung ausgenutzt wird. Ein solcher piezoelektrischer Schwinger 1 besteht im wesentlichen aus einer piezoelektrischen Platte 1'1, beispielsweise aus PZT, einer Elektrode 12 auf einer Hauptfläche der Platte sowie einer Elektrode 13 auf der anderen Hauptfläche. Beim Beispiel eines Schwingers nach Fig. 2 ist die auf der anderen Hauptfläche der piezoelektrischen Platte 11 aufgebrachte Elektrode 14 als Teilelektrode ausgeführt, d.h., die Elektrode bedeckt nur einen Teil der Plattenoberflache. Das Beispiel nach Fig. 3 zeigt einen Expansionsschwinger mit drei Anschlüssen, bei dem eine auf der anderen Hauptfläche der piezoelektrischen Platte 11 ausgebildete Elektrode 15 als Punktelektrode ausgeführt ist, die von einer weiteren Elektrode 16 ringförmig umgeben ist. Da die Betriebsweisen solcher Piezoschwinger dem Fachmann bekannt sind, kann auf eine Erläuterung von Einzelheiten des Schwingungsverhaltens verziehtet werden.

Die Fig. 4 zeigt das Frequenzverhalten oder den Frequenzgang des für einen ZF-Kreis im AM-Band eines Rundfunktempfängers verwendeten Schwinger nach Fig. 3 als Beispiel für einen quadratischen piezoelektrischen Platten-

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ORIGINAL INSPECTED

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schwinger, bei dem in herkömmlicher Weise die Expansionsmode der Schwingung ausgenützt wird. Wie sich aus dem Kurvenbild ersehen läßt, zeigen sich beträchtlich große Störschwingungen insbesondere für die dritte oder fünfte Harmonische der Grundschwingung. Dies führt zu erheblichen Problemen. Beispielsweise tritt die dritte Harmonische wie in Fig. 5 veranschaulicht auf; sie resultiert insbesondere daraus, daß der Grundschwingung eine stehende Welle mit dreifacher Frequenz in Expansionsrichtung der piezoelektrischen Platte 11 überlagert wird. Als eine Maßnahme zur wenigstens teilweisen Unterdrückung einer solchen Störschwingung um insbesondere eine stehende Welle auszuschließen, ist es wie in Fig. 6 gezeigt, bekannt, nur Teilelektroden 12a und 12b zu verwenden. Durch solche Teilelektroden 12a und 13a (vgl.

Fig. 6) ist es insbesondere möglich, die elektrischen Oberflächenladungen im schraffierten Bereich der Oberflächenladungsverteilung (vgl. unteren Teil der Fig. 6) zu beseitigen , wodurch Schwingungen der dritten Harmonischen unterdrückt werden. Durch richtige Änderung der Geometrie der Teilelektroden lassen sich auch die fünfte und siebte Harmonische oder Störschwingungen im Eckbereich (Eckmoden) und dergleichen unterdrücken. Mit dieser Maßnahme ist es jedoch nur möglich, jeweils eine bestimmte Störschwingung (beispielsweise die dritte Harmonische) zu unterdrücken, jedoch lassen sich damit nicht mehrere verschiedene Störschwingungen gleichzeitig durch Unterdrückung beseitigen. Wegen anderer Forderungen hinsichtlich der Frequenzgangkennlinie ist es häufig auch nicht möglich, die Elektrodengestaltung und -anordnung nur hinsichtlich der Unterdrückung von Störschwingungen festzulegen.

Der Erfindung liegt damit die Aufgabe zugrunde, einen piezoelektrischen Schwinger, insbesondere Expansionsschwinger

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zu schaffen, durch dessen besondere Gestaltung sich Störschwingungen voll unterdrücken lassen ohne Einfluß auf die erwünschte Grundschwingung. Insbesondere soll sich der erfindungsgemäße Schwinger mit bekannten, bereits vorhandenen Fertigungseinrichtungen mit nur geringfügigen Änderungen herstellen lassen.

Die erfindungsgemäße Lösung für einen plattenförmigen piezoelektrischen Exp'ansionsschwinger ist in kurzer Zusammen· fassung im Patentanspruch 1 angegeben.

Vorteilhafte Weiterbildungen des Erfindungsgedankens sind in Unteransprüchen gekennzeichnet.

Um die oben aufgezeigten Schwierigkeiten zu beseitigen, wird mit der Erfindung ein plattenförmigen piezoelektrischer Schwinger mit vier Seitenkanten vorgeschlagen, bei dem jedes Paar zweier benachbarter Seiten einen Eckenwinkel· einschliessen, der so bemessen ist, daß Störschwingungen wirkungsvoll

20 unterdrückt werden.

Mit der Erfindung lassen sich störende Schwingungen, insbesondere die dritte und fünfte Harmonische, aber auch andere Schwingungsmoden, etwa Eckenschwingungen und Biegeschwingungen vollständig beseitigen, und zwar ohne einen Einfluß auf die Grundwelle, wenn die Geometrie der piezoelektrischen Platte in richtiger Weise gewählt wird.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung besitzt die piezoelektrische Platte die Form eines Rhombus mit gleicher Seitenkantenlänge und zwei gegenüberliegenden stumpfen Winkeln, während die beiden übrigen einander gegenüberstehenden Winkel spitz sind. Die beiden gleichen spitzen

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Winkel werden in einem Bereich von 75° bis 89° gewählt. Ein solcher rhombusförmiger piezoelektrischer Schwinger läßt sich vergleichsweise leicht herstellen, wenn lediglich die Eckenwinkel vom rechtwinkligen Maß bei herkömmliehen quadratischen Platten mit vier gleichen Seitenkanten und vier gleichen Eckenwinkeln so verändert werden, daß sich die erwähnten stumpfen bzw. spitzen Eckenwinkel ergeben. Dies läßt sich durch eine nur geringfügige Änderung der üblichen Herstellungsvorrichtungen erreichen. Dabei ist es nicht nötig, die Seitenlängen der piezoelektrischen Platte zu verändertn; es ändert sich lediglich die Form. Selbst das Gehäuse kann das gleiche bleiben, wie es bisher für quadratische piezoelektrische Schwingerplättchen verwendet wurde.

In diesem Zusammenhang wurde auch ermittelt, daß die Seitenlängen einer erfindungsgemäßen piezoelektrischen Schwingerplatte nicht notwendigerweise gleich sein müssen, vielmehr kann auch die Gestalt eines Parallelogramms gewählt werden, bei dem zwei einander gegenüberliegende Seiten langer sind als die übrigen beiden kürzeren Seiten. Wird in diesem Fall das Seitenverhältnis der kurzen zur langen Seite im Bereich von 0,7 bis 0,98 gewählt, so lassen sich ebenfalls Störschwingungen wirkungsvoll unterdrücken, ohne daß die Grundwellenschwingung gestört wird. Es wurde weiterhin g_efunden, d_aß _si_ch der erfindungsgemäße piezoelektrische Plattenschwinger auch als Rechteck, also mit vier gleichen Eckenwinkeln und zwei gegenüberliegenden längeren und zwei gegenüberliegenden kürzeren Seiten realisieren läßt.

Die Erfindung und vorteilhafte Einzelheiten werden nachfolgend unter Bezug auf die Zeichnung in beispielsweisen Ausführungsformen näher erläutert.Es zeigen:

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Fig. 1 bis 3 verschiedene, bereits erläuterte Beispiele herkömmlicher rechteckförmiger Plattenschwinger, bei denen die Expansionsmode der Schwingung ausgenützt wird;

Fig. 4 den Frequenzgang des piezoelektrischen Schwingers nach Fig. 3 mit drei Anschlüssen, wie er im ZF-Kreis des AM-Bands eines Rundfunkempfängers verwendet wird;

Fig. 5 ein Schaubild zur Erläuterung der Erzeugung der dritten Harmonischen der Grundschwingung;

Fig. 6 ein Beispiel für eine Elektrodenanordnung, mit der sich die dritte Harmonische wirkungsvoll unterdrücken läßt;

Fig. 7 bis 9 Draufsichten auf unterschiedliche Beispiele einer ersten Ausführungsform eines er

findungsgemäßen piezoelektrischen Schwingers;

Fig. 10 ein Schaubild, in dem Kennlinien der Antiresonanz/Resonanzimpedanz in Abhängigkeit von einem Winkel 01 des piezoelektrischen Schwingers gemäß Fig. 7 dargestellt sind;

Fig. 11 den Frequenzgang der Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Schwingers nach Fig. 9, der im ZF-Kreis eines AM-Bandteils eines Rundfunkempfängers verwendet werden soll; Fig. 12 bis 14 Draufsichten auf unterschiedliche Beispiele einer zweiten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 15 in einem Schaubild den Verlauf der Antiresonanz/

Resonanzimpedanz in Abhängigkeit vom Seitenverhältnis b/a des piezoelektrischen Schwingers

nach Fig. 12;

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Fig. 16 den Frequenzgang des piezoelektrischen

Plattenschwingers nach Fig. 14 bei Verwendung in einem ZF-Kreis im AM-Bandteil eines Rundfunkempfängers;

Fig. 17 bis 20 die Draufsicht auf verschiedene Beispiele für eine dritte Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 21 den Verlauf der Antiresonanz/Resonanzimpedanz in Abhängigkeit vom Seitenverhältnis d/c des piezoelektrischen Schwingers nach Fig. 17;

Fig. 22 den Verlauf der Antiresonanz/Resonanzimpedanz in Abhängigkeit von einem Winkel 0 2 für den piezoelektrischen Schwinger nach Fig. 17 und

Fig. 23 den Frequenzgang des erfindungygemäßen Ausführungsbeispiels nach Fig. 20 bei Verwendung

im ZF-Kreis eines AM-Bandteils eines Rundfunkempfängers .

Eine erste Ausführungsform eines erfindungsgemäßen piezoelektrischen Plattenschwingers wird unter Bezug auf die Fig. 7 bis 9 erläutert, wobei hinsichtlich der Elektrodenanordnung die entsprechenden Verhältnisse wie bei den Plattenschwingern nach den Fig. 1, 2 bzw. 3 gegeben sind. Bei dieser ersten Ausführungsform zeigt die Hauptfläche der piezoelektrischen Platte die Gestalt eines Rhombus anstelle eines Quadrats wie bei herkömmlichen Schwingern dieser Art. Der spitze Eckenwinkel Θ 1 zwischen zwei aneinandergrenzenden Seiten des Rhombus wird im Winkelbereich von 75° bis 89° gewählt.
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Die graphische Darstellung der Fig. 10 zeigt den Verlauf einer Antiresonanz/Resonanzkennlinie in Abhängigkeit von diesem Winkel Qi, der auf der Abszisse aufgetragen ist,

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während auf der Ordinate das Verhältnis der Antiresonanzimpedanz zur Resonanzimpedanz (dB) wiedergegeben ist. Die Kurve A in Fig. 10 gibt die Frequenz der Grundschwingung, beispielsweise 455 kHz an, während die Kurve B die bei beispielsweise 1,2 MHz liegende dritte Harmonische, die Kurve C die bei 2,0 MHz liegende fünfte Harmonische, die Kurve D die beispielsweise bei 650 kHz liegende Eckmoden-Schwingung und schließlich die Kurve E die beispielsweise bei 300 kHz liegende Biegeschwingungsmode angibt. Aus der Fig. 10 läßt sich für den rhombusförmigen piezoelektrischen Plattenschwinger mit einem zwischen 75° und 89° liegenden Eckenwinkel QΛ ablesen, daß Störschwingungen wirksam unterdrückt sind.

Der in Fig. 11 dargestellte Frequenzgang gilt für die Ausführungsform nach Fig. 9, wenn der Plattenschwinger mit drei Anschlüssen in einem ZF-Kreis für das AM-Band eines Rundfunkempfängers verwendet wird, wobei der Winkel Θ1 beispielsweise zu 87,5° gewählt ist. Im Vergleich mit der Fig.. 4 zeigt sich, daß alle höheren Harmonischen wirkungsvoll unterdrückt sind. Das gleiche gilt auch für die Kanten- bzw. Eckenmodenschwingung (Fig. 10)_;und ähnlich wirkungsvolle Effekte bei der Unterdrückung von Störschwingungen werden für jede Elektrodenstruktur erreicht (siehe die Fig. 7, oder 9).

Wie sich außerdem aus Fig. 10 ergibt, werden Störschwingungen auch noch bei Eckenwinkel Q^ wirksam unterdrückt, die kleiner sind als 75° .Für diese spitzen Winkel jedoch werden die Ergebnisse zum Teil schlechter und die Herstellung wird komplizierter, insbesondere beim Einbau in möglicherweise bereits vorhandene Gehäuse. Außerdem wird das Phänomen der sogenannten Resonanzaufteilung größer.

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Unter Berücksichtigung dieser Umstände ist es empfehlenswert, diese erste Ausführungsform der Erfindung den Winkel 01 im Winkelbereich von 75° bis 89° zu wählen.

Bei der zweiten Ausführungsform der Erfindung nach den Fig. 12, 13 und 14, die wiederum hinsichtlich der Elektrodenanordnung mit den Fig. 1, 2 bzw. 3 übereinstimmen, weist die piezoelektrische Schwingerplatte die Form eines Rechtecks auf im Gegensatz zu den Quadraten beim Stand der Technik. Das Seitenverhältnis b/a der größeren Seitenkantenlänge a zur kleineren Seitenkantenlänge b des Rechtecks wird im Bereich von 0,7 bis 0,98 gewählt.

Die Antiresonanz/Resonanzkennlinie für diese Ausführungsform der Erfindung gibt die graphische Darstellung der Fig. 15 wieder, wobei auf der Abszisse das Seitenverhältnis b/a und auf der Ordinate das Verhältnis der Antiresonanzzur Resonanzimpedanz (dB) aufgetragen ist. Die Kurve A dient wiederum für die Grundwelle mit einer Frequenz von beispielsweise 455 kHz, die Kurve B bezieht sich auf die dritte Harmonische von beispielsweise 1,2 MHz, die Kurve C gibt die Verhältnisse für die fünfte Harmonische von beispielsweise 2,0 MHz wieder, die Kurve D gilt für die Kantenbzw. Eckenmode der Schwingung bei 650 kHz,und die Kurve E schließlich gilt für eine Biegeschwingung bei 300 kHz. Auch hier läßt sich ablesen, daß praktisch alle Störschwingungen wirkungsvoll unterdrückt sind, wenn das Seitenverhältnis b/a im Bereich von 0,7 bis 0,98 gewählt wird.

Die Frequenzgangkennlinie der Fig. 16 gilt für den Plattenschwinger nach Fig. 14 mit drei Anschlüssen bei Verwendung in einem ZF-Kreis des AM-Bandteils eines Rundfunkempfängers und für ein Seitenverhältnis b/a von beispiels-

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weise 0,98. Aus Fig. 16 läßt sich ablesen, daß alle höheren Harmoni- : sehen wirkungsvoll unterdrückt sind, wenn das Kurvenbild mit dem der Fig. 4 verglichen wird, das für herkömmliche quadratische Plattenschwinger gilt. Entsprechendes gilt auch für die Ecken- bzw. Kantenmoden der Schwingung und unabhängig von der Gestalt der Elektroden (vgl. die Elektrodenflächen in Fig. 12, 13 oder 14).

Obgleich sich aus Fig. 15 auch ersehen läßt, daß eine gute Störschwingungsunterdrückung erreicht werden kann, wenn das Seitenverhältnis b/a kleiner als 0,7 gewählt wird, ergeben sich bei zu kleinen Seitenverhältnissen Schwierigkeiten bei der Handhabung und insbesondere wird der Einbau in ein Gehäuse erschwert, wenn herkömmliche Gehäuse verwendet werden sollen₍und außerdem tritt ersichtlicherweise das oben bereits erwähnte Phänomen der sogenannten Resonanzaufteilung auf. Es empfiehlt sich also, für diese zweite Ausführungsform der Erfindung das Seitenverhältnis b/a im Bereich von 0,7 bis 0,98 zu wählen.

Bei der Ausführungsform nach den Fig. 17 bis 20 hat die piezoelektrische Platte die Form eines Parallelogramms im Gegensatz zur quadratischen Form bei den Fig. 1, 2 und 3, welche mit den Fig. 17, 18 bzw. 19, 20 hinsichtlich der speziellen Gestaltung der Elektroden angepaßt übereinstimmen. Das Seitenverhältnis d/c der langen Seite c zur kurzen Seite d des Parallelogramms wird im Bereich von 0,7 bis 0,98 gewählt. Der Spitze Winkel 02 zwischen zwei Seiten des Parallelogramme wird im Winkelbereich von 75° bis 89° gewählt.

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Das Schaubild der Fig. 21 zeigt den Verlauf des Antiresonanz/Resonanz-Impedanzverhältnisses in Abhängigkeit vom Seitenverhältnis d/c, wobei auf der Abszisse das Seitenverhältnis d/c und auf der Ordinate das Verhältnis der Antiresonanz- zur Resonanzimpedanz (dB) aufgetragen ist. Die Kurve A in Fig. 21 gilt für die Grundschwingung von wiederum beispielsweise 455 kHz; die Kurve B bezieht sich auf die dritte Harmonische bei 1,2 MHz, die Kurve C gilt für die fünfte Harmonische von 2,0 MHz, die Kurve D bezieht sich auf die Ecken- bzw. Kantenmode der Schwingung bei 650 kHz und die Kurve E veranschaulicht die Verhältnisse für die Biegeschwingung von beispielsweise 300 kHz.

Die graphische Darstellung der Fig. 22 verdeutlicht die Kennlinie des Antiresonanz/Resonanz-Impedanzverhältnisses in Abhängigkeit vom Winkel 02 (vgl. Fig. 17), wobei auf der Abszisse der Winkel 02 und auf der Ordinate das Verhältnis der Antiresonanz-zur Resonanzimpedanz aufgetragen ist. Die Kurve A¹ in Fig. 22 gilt wiederum für die Grundschwingung bei beispielsweise 455 kHz, die Kurve B¹ veranschaulicht die Verhältnisse für die dritte Harmonische bei 1,2 MHz, die Kurve C gilt für die fünfte Harmonische von beispielsweise 2,0 MHz, die Kurve D' bezieht sich auf die Ecken- bzw. Kantenmode der Schwingung bei 650 kHZjUnd die Kurve E¹ schließlich gilt für die Biegemode der Schwingung von beispielsweise 300 kHz.

Wie sich aus den Fig. 21 und 22 ablesen läßt, werden weitgehend alle Störschwingungen wirksam unterdrückt, wenn für eine als Parallelogramm geschnittene piezoelektrische Platte das Seitenverhältnis d/c der längeren Seite c zur kürzeren Seite d des Parallelogramms im Bereich von 0,7 bis 0,98 und der Winkel ©2 zwischen einer längeren Seite und

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einer kürzeren Seite im Winkelbereich von 75° bis 89° gewählt wird.

Die Fig. 23 zeigt wiederum den Frequenzgang für einen piezoelektrischen Plattenschwinger nach Fig. 19 bzw. 20 mit drei Anschlüssen bei Verwendung in einem ZF-Kreis des AM-Bandteils eines Rundfunkempfängers, wobei das Seitenverhältnis d/c beispielsweise zu 0,96 und der Winkel Θ2 zu beispielsweise 87,5° gewählt sind. Auch aus Fig. 23 läßt sich ablesen, daß alle höheren Harmonischen wirkungsvoll unterdrückt werden, wenn ein Vergleich mit dem für her- ^: kömmliche Plattenschwinger dieser Art gültigen Kurvenschaubild der Fig. 4 vorgenommen wird. Entsprechendes gilt auch für die Ecken- bzw. Kantenmode der Schwingung (Fig. 21 und 22) und ein ähnlicher Effekt ergibt sich für die Unterdrückung der Störschwingungen unabhängig von der Elektrodengestaltung für die in Fig. 17, 18 oder 19 und 20 Beispiele zeigen.

Obgleich sich aus den Fig. 21 und 22 ablesen läßt, daß eine Unterdrückung von Storschwingungen auch dann erreicht wird, wenn das Seitenverhältnis d/c kleiner als 0,7 und der Winkel 02 kleiner als 75° gewählt wird, ergeben sich bei zu kleinem Seitenverhältnis d/c Handhabungsschwierigkeiten und der Einbau des Schwingerplättchens in ein geeignetes, möglicherweise bereits vorhandenes Gehäuse wird schwieriger, und es tritt das erwähnte Phänomen der Resonanzaufteilung auf. Demgemäß ist es empfehlenswert, das Seitenverhältnis d/c im Bereich von 0,7 bis 0,98 und den Winkel 02 im Winkelbereich von 75° bis 89° zu wählen.

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Erfindungsgeraäße piezoelektrische Schwinger eignen sich für Resonatoren, für dreipolige Filter, für Kettfilter und dergleichen.

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Claims (9)

1. PAT E N TA N WA LTE

   TER MEER-MÜLLER-STEINMEISTER

   Beim Eiiropilschen Patentamt zugelassen· Vertreter — Professional Representatives befor· the European Patent Office

   tyandaialre* agrees pres !'Office european des brevets #

   DipU-Chem. Dr. N. tar Meer Dipl.-lng. H. Steinmeistar

   Dipl.-lng. F. E. Müller _o. , „ _

   Triftstrasse 4, Siekerwall 7,

   D-8OOO MÖNCHEN 22 D-48OO BIELEFELD

   FP-01022 MÜ/vL

   17. April 1980

   Murata Manufacturing Co., Ltd.

   26-10, Tenjin 2-chome, Nagaokakyo-shi, Kyoto-fu, Japan

   Piezoelektrischer Schwinger

   Prioritäten:

   20. April 1979, Japan, Ser.Nr. 49280/1979 20. April 1979, Japan, Ser.Nr. 49281/1979 20. April 1979, Japan, Ser.Nr. 49282/1979

   PATENTANSPRÜCHE

   Piezoelektrischer Schwinger, bei dem die Ausdehnungsschwingung einer durch vier Seiten und vier durch jeweils zwei benachbarte Seiten gebildete Winkel bestimmten piezoelektrischen Platte ausgenutzt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die

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   Geometrie der piezoelektrischen Platte (21; 31; 41, 51) so gewählt ist, daß Störungen im Schwingungsverhalten des Schwingers unterdrückt werden.
2. 2. Schwinger nach Anspruch 1,

   dadurch gekennzeichnet, daß ein durch zwei aneinandergrenzende Seitenkanten der Platte be stimmtes Seitenverhältnis (b/a; d/c) und/oder ein Eckeriwinkel ( Θ1; θ 2) so gewählt sind, dafl sich eine optimale Unterdrückung von Störschwingungen ergibt.
3. 3. Schwinger nach Anspruch 1 oder 2,

   dadurch gekennzeichnet, daß an der Platte zwei einander gegenüberliegende Winkel der vier Eckenwinkel als gleiche stumpfe Winkel und die übrigen beiden einander gegenüberliegenden Eckenwinkel als gleiche spitze Winkel (Θ1; Θ2) vorhanden sind, und daß der spitze Winkel (Θ1; Θ2) innerhalb eines optimalen Winkelbereichs zur Unterdrückung von Störschwingungen gewählt ist.
4. 4. Schwinger nach Anspruch 3,

   dadurch gekennzeichnet, dafl als optimaler Winkelbereich für den spitzen Winkel (Θ1; Θ2) ein Bereich von 75* bis 89* gewählt ist.
5. 5. Schwinger nach Anspruch 4,

   dadurch gekennzeichnet, daß die piezo elektrische Platte die Gestalt eines Rhombus aufeist.

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6. 6. Schwinger nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die piezoelektrische Platte die Form eines Parallelogramms mit zwei gegenüberstehenden längeren Seiten und zwei gegenüberstehenden kürzeren Seiten aufweist, und daß das Seitenverhältnis der kürzeren Seitenlänge zur längeren Seitenlänge in einem Optimumbereich zur Unterdrückung von Störschwingungen gewählt ist.
7. 7. Schwinger nach Anspruch 6,

   dadurch gekennzeichnet, daß das Seiten verhältnis innerhalb eines Bereichs von 0,7 bis 0,98 ausgewählt ist.
8. 8. Schwinger nach Anspruch 1 oder 2,

   dadurch gekennzeichnet, daß die piezo elektrische Platte die Form eines Rechtecks aufweist, und daß das Seitenverhältnis der kürzeren Kantenlänge zur längeren Kantenlänge innerhalb eines Optimumbereichs zur Unterdrückung von Störschwingungen gewählt ist:
9. 9. Schwinger nach Anspruch 8,

   dadurch gekennzeichnet, daß das Seiten verhältnis innerhalb eines Bereichs von 0,7 bis 0,98 gewählt ist.

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