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DE3011904A1 - METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING A PRE-FORM FOR FORMING AN OPTICAL FIBER - Google Patents

METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING A PRE-FORM FOR FORMING AN OPTICAL FIBER

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Publication number
DE3011904A1
DE3011904A1 DE19803011904 DE3011904A DE3011904A1 DE 3011904 A1 DE3011904 A1 DE 3011904A1 DE 19803011904 DE19803011904 DE 19803011904 DE 3011904 A DE3011904 A DE 3011904A DE 3011904 A1 DE3011904 A1 DE 3011904A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
substrate
solution
substance
heated
axis
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19803011904
Other languages
German (de)
Inventor
Francois Paris Fort
Pierre Carreaux Zimmermann
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
EDITIONS FILMEES
Original Assignee
EDITIONS FILMEES
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Filing date
Publication date
Application filed by EDITIONS FILMEES filed Critical EDITIONS FILMEES
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Withdrawn legal-status Critical Current

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Description

Verfahren „und Vorrichtung^ zur Herstellung eines Vorformlings zur Bildung einer LichtleitfaserMethod "and device" for production a preform to form an optical fiber

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines Vorformlings zur Bildung einer Lichtleitfaser mit sprunghafter oder stetiger Änderung des Brechungsindex durch Bildung von dotierten durchsichtigen Schichten einer Substanz auf einer Fläche eines langgestreckten Substrats aus dieser reinen oder dotierten Substanz, bei welchem man auf das Substrat eine Lösung der Substanz und zumindest einen Dot ie rungs stoff in einem Lösungsmittel aufträgt, wobei das Substrat gleichzeitig um seine Achse mit einer erhöhten Geschwindigkeit gedreht wird, um diese Lösung gleichmäßig auf der Fläche des Substrats zu verteilen, das erhitzt wird, damit das Lösungsmittel verdampft, um auf dem Substrat eine Schicht zurückzulassen, deren Verdichtung durch thermische Behandlung durchgeführt wird, worauf dieser Arbeitsgang so oft wie nötig wiederholt wird, um die gewünschte Anzahl von Schichten zu erhalten, nach Patent ...... (Patentanmeldung P 29 25 309.6).The invention relates to a method of making a Preform for the formation of an optical fiber with abrupt or continuous change in the refractive index through the formation of doped transparent layers of a substance on a surface of an elongated substrate made of this pure or doped substance, in which a solution of the substance and at least one doping substance in a solvent is applied to the substrate, wherein the substrate is rotated at the same time around its axis at an increased speed in order to produce this solution evenly on the surface spreading the substrate, which is heated to evaporate the solvent to leave a layer on the substrate, whose compaction is carried out by thermal treatment, whereupon this operation is repeated as often as necessary in order to achieve the to obtain the desired number of layers, according to patent ...... (patent application P 29 25 309.6).

Ziel der Erfindung ist es, ein Verfahren der oben erwähnten Art vorzuschlagen, das mittels einer einfachen Vorrichtung durchführbar ist und welches Schichten mit gleichmäßigen optischen Eigenschaften zu erhalten gestattet, welche keine Fehler oder Inhomogenitäten aufweisen, die die Leistung der von den Vorformlingen erhaltenen Lichtleitfasern vermindern.The aim of the invention is to propose a method of the type mentioned above, which can be carried out by means of a simple device and which layers with uniform optical properties allowed to obtain which do not have defects or inhomogeneities that affect the performance of those obtained from the preforms Reduce optical fibers.

Dieses Ziel wird gemäß der Erfindung dadurch erreicht, daß die Lösung auf aufeinander folgende Teile des Substrats aufgetragenThis object is achieved according to the invention in that the solution is applied to successive parts of the substrate

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wird und daß jedes dieser Teile im Augenblick des Auftragens der Lösung auf diese Teile aufgeheizt wird.and that each of these parts is heated at the moment the solution is applied to these parts.

In vorteilhafter Weise wird die Lösung dadurch auf das Substrat aufgetragen, daß man diese Lösung zerstäubt.The solution is advantageously applied to the substrate by that this solution is atomized.

In vorteilhafter Weise wird ein Substrat aus Quarz verwendet.A substrate made of quartz is advantageously used.

Erfindungsgemäß werden in vorteilhafter Weise mehrere Lösungen gleichzeitig zerstäubt, .deren Durchsätze getrennt geregelt werden, um die gewünschten Konzentrationen des Dotierungsstoffes zu erhalten. According to the invention, several solutions are advantageously used atomized at the same time, the throughputs of which are regulated separately, to get the desired concentrations of the dopant.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung wird vorteilhaft das Substrat zunächst auf eine Temperatur zwischen 200 C und 800 C erhitzt, um das Lösungsmittel zu verdampfen und dann wird das Substrat auf 500° C bis 2000° C erhitzt, um die Verdichtung der Schicht zu bewirken. In a further embodiment of the invention, the substrate is advantageous first heated to a temperature between 200 C and 800 C to evaporate the solvent and then the substrate is applied Heated between 500 ° C and 2000 ° C in order to densify the layer.

Das Verfahren wird erfindungsgemäß in vorteilhafter Weise mittels einer Vorrichtung durchgeführt, die gekennzeichnet ist durch eine Halte- und Antriebsvorrichtung zum Halten und Drehen des Substrate um seine Längsachse, eine Zerstäubungsvorrichtung zur Zerstäubung der Lösung, die eine Grundsubstanz des Substrats ist und einen Dotierungsstoff enthält, auf das Substrat und durch eine Heizvorrichtung zum Aufheizen des Substrats, und weiterhin ist die Vorrichtung gekennzeichnet dadurch, daß die Zerstäubungsvorrichtung und die Heizvorrichtung gegenüber dem Substrat um die gleiche Größe und in Richtung der Längsachse desselben verschiebbar sind.According to the invention, the method is advantageously carried out by means of a device which is characterized by a Holding and drive device for holding and rotating the substrate about its longitudinal axis, a sputtering device for sputtering the solution, which is a basic substance of the substrate and contains a dopant, onto the substrate and through a heating device for heating the substrate, and furthermore the device is characterized in that the sputtering device and the Heater opposite the substrate by the same size and in Direction of the longitudinal axis of the same are displaceable.

Eine Weiterbildung der Erfindung besteht in vorteilhafter Weise darin, daß die Heizvorrichtung zwei in axialer Richtung entlang der AchseA further development of the invention consists in an advantageous manner in that the heater two in the axial direction along the axis

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des Substrats versetzte Teile mit unterschiedlichen Heizleistungen aufweist.of the substrate offset parts with different heating powers having.

Eine Weiterbildung der Erfindung besteht vorteilhafterweise darin, daß die Haltevorrichtung so eingerichtet ist, daß sie die Achse des Substrats horizontal hält.A further development of the invention consists advantageously in that the holding device is arranged to hold the axis of the substrate horizontally.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung eines Ausführungsbeispieles in Verbindung mit der Zeichnung, in der die Erfindung beispielsweise dargestellt ist.Further features and advantages of the invention emerge from the description of an exemplary embodiment in conjunction with FIG Drawing in which the invention is illustrated by way of example.

Fig. 1 ist eine schematische Darstellung teilweise in Ansicht und teilweise als Axialschnitt einer Ausführungsform einer Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens, undFig. 1 is a schematic representation partly in view and partly as an axial section of an embodiment of a device to carry out the procedure, and

Fig. 2 stellt ein Schema einer Vorrichtung dar zur Zuführung der zu zerstäubenden Flüssigkeit zu einer Vorrichtung gemäß Fig. 1.FIG. 2 shows a diagram of a device for supplying the liquid to be atomized to a device according to FIG. 1.

Die dargestellte Vorrichtung umfaßt eine Haltevorrichtung zum Halten eines aus Quarz bestehenden Rohres 1 in der Weise, daß die Achse des Rohres horizontal verläuft,und zum Drehendes Rohres um seine Achse la mit großer Geschwindigkeit sowie eine Zerstäubungsvorrichtung zum Zerstäuben einer Flüssigkeit auf die Innenoberfläche Ib des Rohres 1, wobei diese Flüssigkeit Quarz SiO in Lösung inThe device shown comprises a holding device for holding a tube 1 made of quartz so that the axis of the tube is horizontal and for rotating the tube about its Axis la at high speed and an atomizing device for atomizing a liquid onto the inner surface Ib of the tube 1, this liquid quartz SiO in solution in

N Lt N Lt

einem Lösungsmittel enthält, wobei gegebenenfalls eine andere Substanz, nämlich ein Dotierungsstoff, hinzugefügt ist, der ein Oxyd des Bors B-O, ι ein Oxyd des Phosphors P-O- und ganz allge-contains a solvent, optionally another substance, namely a dopant, is added which is a Oxide of boron B-O, ι an oxide of phosphorus P-O- and very general

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mein eine Germanium-, Titan-, Aluminium-, Arsen-, Niobium-, Antimon- usw.-Verbindung sein kann, sowie eine Heizvorrichtung zum Aufheizender Wand des Rohres 1, sobald eine bestimmte Menge dieser Flüssigkeit durch Zerstäubung ander Innenoberfläche Ib dieses Rohres abgelagert ist.mine can be a germanium, titanium, aluminum, arsenic, niobium, antimony, etc. compound, as well as a heater for heating the wall of the pipe 1 as soon as a certain Amount of this liquid by atomization on the inner surface Ib this pipe is deposited.

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Bei dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel umfaßt die Halte- und Antriebsvorrichtung zwei koaxiale Spannfutter 2 und 3, die jeweils einen drehbaren Träger 2a und Ba aufweisen, der jeweils um seine Achse in Lagern 4 bzw. 5 eines Maschinengestells 6, 7 drehbar gelagert ist; jeder Träger 2a, 3a ist an seiner Seitenfläche 2b, 3b, die dem jeweils anderen Träger .3a, 2a zugewandt ist, mit mehreren Schwalbenschwanzführungen oder Schwalbenschwanznuten 8, 9 versehen, die in radialer Richtung verlaufen und in verschiebbarer Weise Spannbacken 10 aufnehmen, welche an den der Drehachse der Spannfutter 2, 3 benachbarten Enden mit einem elastischen Spannstück 10a versehen sind.In the embodiment shown in Fig. 1, the holding and driving device two coaxial chucks 2 and 3, each having a rotatable carrier 2a and Ba, each around its Axis is rotatably mounted in bearings 4 and 5 of a machine frame 6, 7; each carrier 2a, 3a is on its side surface 2b, 3b, facing the other carrier .3a, 2a, provided with several dovetail guides or dovetail grooves 8, 9, which run in the radial direction and in a displaceable manner Pick up jaws 10, which on the axis of rotation of the chuck 2, 3 adjacent ends are provided with an elastic clamping piece 10a.

Das Spannfutter 2 ist axial fest und kann durch einen Motor 11 unter Zwischenschaltung einer Übertragungsvorrichtung angetrieben werden, die eine Riemenscheibe 12, aufgekeilt auf eine Ausgangswelle Ha des Motors 11, und einen Treibriemen 13 umfaßt, der um die Riemenscheibe 12 und den Träger 2a läuft, welcher eine Riemenscheibe bildet.The chuck 2 is axially fixed and can be driven by a motor 11 Interposition of a transmission device, which is driven by a pulley 12, keyed onto an output shaft Ha of the motor 11, and a drive belt 13 which runs around the pulley 12 and the carrier 2a which is a pulley forms.

Das Spannfutter 3 ist in einem Maschinengestell in seiner Axialstellung regelbar., was in Fig. 1 durch den Doppelpfeil f. angedeutet ist, der in der Nähe des Gestells 7 vorgesehen ist, welches das Lager 5 für den Träger des Spannfutters 3 umfaßt.The chuck 3 is in its axial position in a machine frame adjustable., which is indicated in Fig. 1 by the double arrow f., which is provided in the vicinity of the frame 7, which the Bearing 5 for the carrier of the chuck 3 includes.

Die Zerstäubungsvorrichtung umfaßt eine Düse 14, die am freien Ende einer starren Tragstange 15 angeordnet ist, welche die Zuführung zur Düse 14 für die zu zerstäubende Flüssigkeit bildet; die Stange 15 ist durch einen Halter 16 gehalten, der auf einer Stange 16a angeordnet ist, wobei die aus Halter und Stange bestehende Anordnung 16, 16a auf einem Schlitten 17 fest angeordnet ist, welcher in horizontaler Richtung in einer Führung 18 des Maschinengestells derThe atomizing device comprises a nozzle 14 which is arranged at the free end of a rigid support rod 15, which is the feed forms to the nozzle 14 for the liquid to be atomized; the rod 15 is held by a holder 16 on a rod 16a is arranged, the assembly consisting of holder and rod 16, 16a is fixedly arranged on a carriage 17, which in horizontal Direction in a guide 18 of the machine frame

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Vorrichtung entsprechend dem Doppelpfeil f_ verschiebbar geführt ist. Der Schlitten 17 kann in beiden Richtungen hin- und hergeschoben werden durch einen Motor 19 unter Zwischenschaltung einer endlosen Schraube 20, die in eine Mutter mit Innengewinde 21 des Schlittens eingreift, wobei die endlose Schraube an eine Ausgangswelle 19a des Motors 19 unter Zwischenschaltung eines Untersetzungsgetriebes 22 ankuppelbar ist.Device slidably guided according to the double arrow f_ is. The carriage 17 can be pushed back and forth in both directions by a motor 19 with the interposition of an endless one Screw 20 which engages a nut with an internal thread 21 of the carriage, the endless screw being connected to an output shaft 19a of the Motor 19 with the interposition of a reduction gear 22 can be coupled.

Die Heizvorrichtung für das Rohr 1 umfaßt einen rohrförmigen Ofen 23, der so ausgebildet ist, daß ihn das Rohr 1, welches aufgeheizt werden soll, durchsetzen kann. Der Ofen 23 ist durch eine Säule 24 abgestützt, die ihrerseits auf dem Schlitten 17 befestigt ist. Der Ofen 23 umfaßt einen eretenTeil bzw. Abschnitt 23a, der in Fig. 1 rechts angeordnet ist, und einen zweiten Teil 23b, der in dieser Figur links angeordnet ist. Der Teil 23a liefert einen größeren Wärmestrom als der andere Teil 23b, d.h. die Heizleistung des Teiles 23a ist größer.The heating device for the tube 1 comprises a tubular furnace 23, which is designed so that the pipe 1, which is to be heated, can enforce it. The furnace 23 is supported by a column 24 which in turn is attached to the carriage 17. The furnace 23 comprises a first part or section 23a which is shown on the right in FIG is arranged, and a second part 23b, which is arranged on the left in this figure. The part 23a supplies a greater heat flow than the other part 23b, i.e. the heating power of the part 23a is greater.

Die Düse 14 ist in bezug auf den Ofen 23 derart angeordnet, daß nur die Strahlen 14a der zu zerstäubenden Flüssigkeit, die aus der Düse austreten, durch den Ofen 23 umgeben sind. Auf diese Weise wird die Flüssigkeit vor der Zerstäubung, so lange sie sich in der Stange 15 oder der Düse 14 befindet, nicht merklich aufgeheizt.The nozzle 14 is arranged with respect to the furnace 23 so that only the jets 14a of the liquid to be atomized emerging from the nozzle are surrounded by the furnace 23. In this way, the Liquid before atomization as long as it is in the rod 15 or the nozzle 14 is not noticeably heated.

Die Zerstäubungsvorrichtung 14, 15 wird mit der zu zerstäubenden Flüssigkeit durch einen Schlauch 25 ausgehend von einer Vorrichtung beaufschlagt, die schematisch in Fig. 2 dargestellt ist.The atomizing device 14, 15 is connected to the liquid to be atomized through a hose 25 starting from a device applied, which is shown schematically in FIG.

Wie aus dieser Figur ersichtlich, umfaßt diese Vorrichtung einen Behälter 26 für die SiO9-Lösung, einen Behälter 27 für die SiO- +As can be seen from this figure, this device comprises a container 26 for the SiO 9 solution, a container 27 for the SiO- +

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P2Og-Lösung und einen Behälter 28 für die SiO, + B O3-Lösung. Jeder dieser Behälter 26 bis 28 ist mit einer Mischkammer 29P 2 Og solution and a container 28 for the SiO, + BO 3 solution. Each of these containers 26 to 28 is provided with a mixing chamber 29

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durch entsprechende Leitungen 30, 31 und 32 verbunden, in welcher jeweils eine Durchflußregelvorrichtung und eine Vorrichtung zur Förderung der Flüssigkeit vorgesehen ist, die mit 33, 34 und 35 bezeichnet sind und auf Saugwirkung oder Durchflußwirkung beruhen.connected by corresponding lines 30, 31 and 32, in each of which a flow control device and a device for Funding of the liquid is provided, which are designated by 33, 34 and 35 and are based on suction or flow effect.

Die Mischkammer 29 ist an die Leitung 25 unter Zwischenschaltung einer Saug- bzw. Strahlvorrichtung 36 angeschlossen. Im dargestellten Beispiel sind die Fördervorrichtungen 33 bis 36 als Ejektordüse nach dem Venturi-Prinzip ausgebildet: Jede dieser Vorrichtungen umfaßt eine Düse 37, die durch ein Fluid am Eintrittsende 37a beaufschlagt wird, wobei diese Düse in einen Düsenhals einer Venturi-Düse 38 einmündet, welche an ihrem Ende 38a mit großem Querschnitt durch ein Treibgas beaufschlagt wird, das aus einem Behälter 39 mit komprimiertem Treibgas kommt; ein Servoventil bis 43 gestattet in unabhängiger Weise den Druck des Treibgases zu regeln, welches jeder Fördervorrichtung 33 bis 36 zugeführt wird. Die Ventile 40 bis 43 sind derart ausgebildet, daß sie an ihrem stromabwärts gelegenen Ende einen konstanten Druck aufrechterhalten. Eine regelbare Drosselung 44 bis 46 gestattet in unabhängiger Weise den Durchfluß der Flüssigkeit zu regeln, die von jedem der Flüssigkeitsbehälter 26 bis 28 geliefert wird.The mixing chamber 29 is connected to the line 25 with the interposition a suction or blasting device 36 is connected. In the example shown, the conveying devices 33 to 36 are an ejector nozzle designed according to the Venturi principle: each of these devices comprises a nozzle 37, which is acted upon by a fluid at the inlet end 37a is, wherein this nozzle opens into a nozzle neck of a Venturi nozzle 38, which at its end 38a with a large cross-section is acted upon by a propellant gas which comes from a container 39 with compressed propellant gas; a servo valve to 43 allows the pressure of the propellant gas in an independent manner to regulate which each conveyor 33 to 36 is fed. The valves 40 to 43 are designed such that they on maintain a constant pressure at their downstream end. An adjustable throttling 44 to 46 allows in independent Way of regulating the flow of the liquid supplied from each of the liquid containers 26-28.

Die Betriebsweise der beschriebenen Vorrichtung ist folgende:The operation of the device described is as follows:

Es wird ein Rohr 1 aus Quarz zwischen die Spannfutter 2 und 3 eingesetzt, wo jedes Ende des Rohres 1 durch Einspannen zwischen den Spannbacken 10 festgelegt wird, welch letztere auf den Trägern 2a und 3a durch Spannschrauben 47 festgelegt sind. In dieser Position ist das Rohr 1 koaxial zu den drehbaren Trägern 2a und 3a gehalten.A tube 1 made of quartz is inserted between the chucks 2 and 3, where each end of the tube 1 is fixed by clamping between the clamping jaws 10, the latter on the supports 2a and 3a are fixed by clamping screws 47. In this position the tube 1 is coaxial with the rotatable supports 2a and 3a held.

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Hierauf wird die Stange 15, die mit der Düse 14 versehen ist, in das Rohr 1 durch eine axiale öffnung 48 in dem Spannfutter 3 eingeführt. Der Ofen 23, der nahe dem Spannfutter 2 angeordnet ist, wird koaxial durch dae Rohr 1 durchsetzt, worauf die Lage der Düse 14, wie dies in Fig. 1 dargestellt ist, eingestellt wird, damit das freie Ende 14a der Düse 14 in der Ebene der Endfläche 23c des Teiles 23b des Ofens 23 liegt. Im Anschluß hieran wird diese relative Lage der Düse 14 in bezug auf den Ofen 23 durch eine Spannsclu^be 49 festgelegt, die am Träger 16 vorgesehen ist.The rod 15, which is provided with the nozzle 14, is then inserted into the Tube 1 inserted through an axial opening 48 in the chuck 3. The furnace 23, which is arranged near the chuck 2, is penetrated coaxially by the pipe 1, whereupon the position of the nozzle 14, as shown in Fig. 1, is adjusted so that the free end 14a of the nozzle 14 in the plane of the end surface 23c of the part 23b of the furnace 23 is located. Subsequently, this relative position of the nozzle 14 in relation to the furnace 23 is determined by a clamping clip 49, which is provided on the carrier 16.

Hierauf werden auf die Innenfläche Ib mehrere aufeinander folgende Schichten aufgebracht, die jeweils einen unterschiedlichen Brechungsindex aufweisen, und zwar erfolgt dieses Auftragen in folgender Weise:Thereupon several successive ones on the inner surface Ib Layers applied, each with a different refractive index have, and this is done in the following way:

Man regelt zunächst für jede aufzubringende Schicht die Zusammensetzung des Dotierungestoffes, indem man in geeigneter Weise die Regelorgane 40 bis 42 und 43 bis 45 regelt; dann wird ein Auslaßventil 50 geschlossen, das zwischen der Vorrichtung 36 und dem Schlauch 25 angeordnet ist, wobei vorher die mit der Düse 14 versehene Stange 15 in das Rohr 1 eingeführt wird.First of all, the composition is regulated for each layer to be applied of the dopant by suitably applying the Regulating bodies 40 to 42 and 43 to 45; then an outlet valve 50 is closed, which is between the device 36 and the Hose 25 is arranged, the rod 15 provided with the nozzle 14 being inserted into the tube 1 beforehand.

Wenn die Elemente 14 und 15 an der vorgesehenen Stelle im Rohr 1 sich befinden, wird dieses um seine Achse la mittels des Motors gedreht. Man öffnet dann das Ventil 50 und setzt den Motor 19 in Betrieb. Der Schlitten 17 verschiebt sich dann langsam nach links in Fig. 1 und nimmt dabei die Düse 14 und den Ofen 23 mit. Die Düse 14 ist derart angeordnet, daß der zerstäubte Flüssigkeitsstrahl 14b die Wand Ib in einem Bereich trifft, der von dem Teil 23b des Ofens 23 umgeben ist. Dieser Strahl 14b weist Ringform auf, d.h. daß keine Flüssigkeit durch die Düse 14 in axialen RichtungenWhen the elements 14 and 15 are at the intended location in the tube 1, this is rotated about its axis la by means of the motor. The valve 50 is then opened and the motor 19 is put into operation. The carriage 17 then moves slowly to the left in FIG. 1, taking the nozzle 14 and the furnace 23 with it. The nozzle 14 is arranged in such a way that the atomized liquid jet 14b hits the wall Ib in a region which is surrounded by the part 23b of the furnace 23. This jet 14b has an annular shape, that is to say that no liquid passes through the nozzle 14 in axial directions

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und in der Nähe der Achse la des Rohres 1 ausgeschleudert wird.and is ejected in the vicinity of the axis 1 a of the pipe 1.

Der so aufgetragene Film wird eogleich durch den Ofen 23 verdichtet und gesintert, und zwar in folgender Weise:The film applied in this way is immediately compacted by the oven 23 and sintered in the following way:

Der erste Teil 23b des Ofens sichert die Verdampfung des Lösungsmittels, indem er denjenigen Teil der Röhrenwand, den er umgibt, auf eine Temperatur bringt, die kennzeichnenderweise von 200 C bis 800° C reicht.The first part 23b of the furnace ensures evaporation of the solvent, by bringing that part of the tube wall that it surrounds to a temperature typically around 200 ° C up to 800 ° C.

Der zweite Teil 23a des Ofens bringt die Rohrwand, welche er umgibt, auf eine Temperatur, die kennzeichnenderweise von 500 C bis 2000 C reicht, wodurch die Verdichtung oder die Sinterung des abgelagerten Filmes bewirkt wird.The second part 23a of the furnace brings the pipe wall, which it surrounds, to a temperature typically ranging from 500 ° C to 2000 ° C, thereby compacting or sintering of the deposited film is effected.

sei bemerkt, daß das Innenvolumen des Rohres 1 gegen die äußere Atmosphäre isoliert ist, was die Einführung von Staub oder anderen Verunreinigungen in die aufgetragenen Filme verhindert. Die flüchtigen Gase, die durch das Brennen der aufgetragenen Filme entweichen , können durch eine Leitung 51 abgezogen werden, in welche ein Sauggebläse 42 eingeschaltet ist.it should be noted that the inner volume of the tube 1 against the outer Atmosphere is isolated, which prevents the introduction of dust or other contaminants into the applied films. The fleeting ones Gases that escape from the firing of the applied films can be withdrawn through a conduit 51 into which a suction fan 42 is switched on.

Durch eine Regelung des Zerstäubungsdruckes durch das Ventil und der Durchsätze mittels der Durchflußmesser 33 bis 35 kann man den Gehalt der verschiedenen Oxyde regeln, wobei die reine SiO--Lösung zur Veränderung der Konzentration der beiden Dotierungsstoffe Phosphor und Bor dient.By regulating the atomization pressure through the valve and the flow rates by means of the flow meters 33 to 35 can one regulates the content of the different oxides, whereby the pure SiO solution changes the concentration of the two dopants Phosphorus and boron is used.

Das Zerstäubungssystem 14, 15 überstreicht die gesamte Länge des Rohres 1, welches sich um sich selbst dreht; die Geschwindigkeiten werden derart ausgewählt, daß die Zerstäubung gleichförmig ist.The atomization system 14, 15 sweeps over the entire length of the Tube 1, which rotates on itself; the speeds are chosen so that the atomization is uniform.

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3 Q119043 Q11904

Die Heizvorrichtung 23 folgt der Zerstäubung bei ihrer fortschreitenden Bewegung und hat die Aufgabe, die Lösungsmittel der Lösung zu verdampfen und in direkter Form die abgelagerten Schichten des reinen Quarz und der Metalloxyde zu kristallisieren, sobald letztere abgelagert sind«The heating device 23 follows the atomization as it progresses Movement and has the task of evaporating the solvent of the solution and in direct form the deposited layers of the pure Quartz and the metal oxides to crystallize as soon as the latter are deposited «

Das vorliegende Verfahren hat die Herstellung von Vorformlingen vorzugsweise aus Quarz zum Gegenstand, bei welchen ein oder zwei Dotierungsstoffe eingelagert sind, und zwar entweder Bor, um den Brechungsindex zu erniedrigen, oder Germanium, um den Brechungsindex zu erhöhen, wobei diese Dotierungsstoffe nur beispielsweise erwähnt sind.The subject of the present process is the manufacture of preforms, preferably of quartz, in which one or two Dopants are incorporated, either boron to lower the refractive index, or germanium to lower the refractive index to increase, these dopants only for example are mentioned.

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Claims (9)

rwin Zmyjrwin Zmyj Dip!.-Ing., Dipl.-Wirtsch.-Ing.Dip! .- Ing., Dipl.-Wirtsch.-Ing. Bereiteranger 15 8000 München 90 Telefon 089/65 76 35Bereiteranger 15 8000 Munich 90 Telephone 089/65 76 35 Societe Anonyme dite: LES EDITIONS FILMEES 16, Rue Bertin Poiree, 75001 Paris / FrankreichSociete Anonyme dite: LES EDITIONS FILMEES 16, Rue Bertin Poiree, 75001 Paris / France PatentansprücheClaims JlJ. Verfahren zur Herstellung eines Vorformlings zur Bildung einer Lichtleitfaser mit sprunghafter oder stetiger Änderung des Brechungsindex durch Bildung von dotierten durchsichtigen Schichten einer Substanz auf einer Fläche eines langgestreckten Substrats aus dieser reinen oder dotierten Substanz, bei welchem man auf das Substrat eine Lösung der Substanz und zumindest einen Dotierungsstoff in einem Lösungsmittel aufträgt, wobei das Substrat gleichzeitig um seine Achse mit einer erhöhten Geschwindigkeit gedreht wird, um diese Lösung gleichmäßig auf der Fläche des Substrats zu verteilen, das erhitzt wird, damit das Lösungsmittel verdampft, um auf dem Substrat eine Schicht zurückzulassen, deren Verdichtung durch thermische Behandlung durchgeführt wird, worauf dieser Arbeitsgang so oft wie nötig wiederholt wird, um die gewünschte Anzahl von Schichten zu erhalten, nach Patent .... ( Patentanmeldung P 29 25 309.6) , dadurch gekennzeichnet, daß die Lösung auf aufeinander folgende Teile des Substrats aufgetragen wird und daß jedes dieser Teile im Augenblick des Auftragens der Lösung auf diese Teile aufgeheizt wird. JlJ. Process for the production of a preform for the formation of an optical fiber with abrupt or steady change in the refractive index by forming doped transparent layers of a substance on a surface of an elongated substrate from this pure or doped substance, in which one on the substrate a solution of the substance and at least one Applying dopant in a solvent, the substrate is simultaneously rotated about its axis at an increased speed in order to distribute this solution evenly on the surface of the substrate, which is heated so that the solvent evaporates to leave a layer on the substrate Compaction is carried out by thermal treatment, whereupon this operation is repeated as often as necessary to obtain the desired number of layers, according to patent .... (patent application P 29 25 309.6), characterized in that the solution is applied to successive parts of the subs Trats is applied and that each of these parts is heated at the moment the solution is applied to these parts. ■-:- 2 -■ -: - 2 - 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dajß ein Substrat aus (Hiarz verwendet wird.2. The method according to claim 1, characterized in that a substrate off (Hiarz is used. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Lösungen gleichzeitig zerstäubt werden, deren Durchsätze getrennt geregelt werden, um die gewünschten Konzentrationen des Dotierungsstoffes zu erhalten.3. The method according to claim 1, characterized in that several solutions are atomized simultaneously, the throughputs of which are separated can be regulated in order to obtain the desired concentrations of the dopant. 4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat zunächst auf eine Temperatur zwischen 200 C und 800 C zur Ver-' dampfung des Lösungsmittels erhitzt wird und dann auf 500 C bis 2000 C erhitzt wird, um die Verdichtung der Schicht zu bewirken.4. The method according to claim 1, characterized in that the substrate is first heated to a temperature between 200 ° C. and 800 ° C. for evaporation of the solvent and then to 500 ° C. 2000 C is heated to effect the compaction of the layer. 5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die, Lösung durch Zerstäuben auf das Substrat aufgetragen wird.5. The method according to claim 1, characterized in that the solution is applied to the substrate by spraying. 6. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gekennzeichnet durch eine Halte- und Antriebsvorrichtung (2, 3, 11 bis 13) zum Halten und Drehen des Substrats (1) um seine Längsachse, eine Zerstäubungsvorrichtung (14, 15) zur Zerstäubung der Lösung, die eine das Substrat bildende Substanz (Grundsubstanz des Substrates) und einen Dotierungsstoff enthält, auf das Substrat und durch eine Heizvorrichtung (23) zum Aufheizen des Substrates und gekennzeichnet dadurch, daß die Zerstäubungsvorrichtung (14, 15) und die Heizvorrichtung (23) gegenüber dem Substrat (1) um die gleiche Größe und in Richtung der Längsachse desselben verschiebbar sind.6. Device for performing the method according to one of the claims 1 to 5, characterized by a holding and driving device (2, 3, 11 to 13) for holding and rotating the substrate (1) around its longitudinal axis, an atomizing device (14, 15) for atomizing the solution, which is a substance forming the substrate (Basic substance of the substrate) and a dopant contains, on the substrate and by a heating device (23) for heating the substrate and characterized in that the sputtering device (14, 15) and the heating device (23) opposite the substrate (1) by the same size and in the direction the longitudinal axis of the same are displaceable. 7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizvorrichtung (23) zwei in axialer Richtung entlang der Achse des Substrats (1) versetzte Teile (23a, 23b) mit unterschiedlichen Heizleistungen aufweist.7. Apparatus according to claim 6, characterized in that the heating device (23) two in the axial direction along the axis of the substrate (1) has offset parts (23a, 23b) with different heating powers. 130029/0291130029/0291 8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Haltevorrichtung (2, 3) so eingerichtet ist, daß sie die Achse des Substrats (1) horizontal hält.8. Apparatus according to claim 6 or 7, characterized in that the holding device (2, 3) is arranged so that it is the axis of the substrate (1) holds horizontally. 9. Vorformling hergestellt nach dem Verfahren gemäß den Ansprüchen9. Preform produced by the method according to the claims 1 bis 5.1 to 5. 1 30029/02981 30029/0298
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