DE3004351A1 - Mehrstufiger vakuum-roentgenbildverstaerker - Google Patents

Description

SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT Unser Zeichen-Berlin und München VPA 80 P 5013 DE

Mehrstufiger Vakuum-Röntgenbi]dverstärker

Die Erfindung betrifft mehrsti f ige Röntgenbildverstärker (RBV) nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Derartige Bildverstärker sind etwa bekannt aus der US-PS 25 55 423.

Bei mehrstufigen Bildverstärkirn, bei denen das Röntgenbild zuerst in ein Elektron en-Bild umgewandelt wird, sind die einzelnen, das Elektronen-Bild jeweils durch Beschleunigung im elektrischen Feld verstärkenden Stufen über Schirme miteinander gekoppelt, die als wesentliche Elemente eine Leuchi schicht und eine optisch mit dieser in Kontakt stehende Fotokathodens.chicht aufweisen. Diese beiden reaktiver. Schichten haben aber für sich gewöhnlich nur wenig Festigkeit. Sie werden deshalb zu beiden Seiten einer ausreichend stabilen Trägerplatte angebracht, welche das in der Leuchtschicht ausgelöste Licht zu der auf der anderen Seite angebrachten Fotokathodenschicht hindurchläßt.

Der Träger muß so gestaltet sein, daß eine gute "Kontaktkopie" des Leuchtschirmbi]des auf der Fotokathode entsteht, d.h., daß der Träger keine Verringerung der Abbildungsschärfe bewirkt. Dies ist z.B. durch.die Verwendung von Faseroptikplati en als Träger für die Schichten erreichbar. Sie haben aber den wesentlichen Nachteil, daß sie sehr teuer ..ind.

Eine Verringerung der Kosten wäre durch die Verwendung durchsichtiger Platten oder Fellen, etwas aus Glas, Glimmer bzw. einem vakuumfeste-n organischen Material

Kn 5 Kof / 29.01.1980

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(z.B. Polyamid) oder ähnlichem, erreichbar. Dabei darf aber die Dicke der Trägerschicht keine wesentliche Streuung des durchgehenden Lichtes bewirken. Für die in RBV in der Regel "brauchbaren Abbildungsschärfen wären z.B. bis zu 50/un noch zulässig. Auf den Träger wird bei bekannten Verfahren zuerst die Leuchtstoffschicht aufgetragen. Hierauf erfolgt der Einbau in die Bildverstärkeranordnung und schließlich das Aufbringen der Fotokathodenschicht auf die der Leuchtschicht gegenüberliegende noch freie Fläche des Trägers.

Die meisten in bekannter Weise hergestellten Zwischenschirme weisen ungleichmäßige Helligkeitsübertragung über die Fläche auf. Dies ist etwa dadurch erklärbar, daß selbst eine ursprünglich genügend saubere Fläche bei der Sedimentatior. des Leuchtstoffs auf die eine Seite des Trägers die gegenüberliegende, später mit der Fotokathode zu belegende Seite durch die bei der Herstellung des Leuchtschirms verwendeten Mittel "verschmutzt" wird, weil wegen der Empfindlichkeit der dünnen Folie kein auf reichender Schutz möglich ist. Auf der geringen Stabilität der Folie beruht es auch, daß die "verschmutzte" Fläche nicht nachträglich ausreichend gereinigt werden kann. So werden die lokalen Störungen der Fotokathode und damit ein fleckiges Bild erhalten.

Der Erfindung liegt c'ie Aufgabe zugrunde, bei Bildverstärkern nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 einen Kopplungsschirm anzugeben, der einwandfreie Bilder ergibt und trotzdem prc iswert sowie einfach herzustellen ist. Diese Aufgabe wJrd erfindungsgemäß durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen Maßnahmen gelöst. Die.Gegenstände der Unteransprüche betreffen vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung.

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VPA 80 P 5013 DE Die Erfindung geht davon aus, daß eine saubere Basis für die Fotokathode auch dadurch erhalten werden kann, daß vor der Auftragung der Fotokathode eine saubere Belegung angebracht wird. Außerdem hat es sich als zweckmäßig erwiesen, sowohl am Eingangsschirm als auch am Zwischenschirm Grundflächen vorzusehen, die gleichartig sind und gleichzeitig eine Sperre gegenüber Einwirkungen aus der Unterlage bilden. Dabei ist allerdings darauf zu achten, daß die Auftragung auf der Grundfläche des Kopplungsschirmes dünn sein soll, um den Verlust an Licht und Schärfe gering zu hilten, d.h., damit das vom Leuchtschirm in die Fotokathode übertretende Licht nicht ungebührlich absorbiert und gestreut wird.

Durch die zusätzliche Schicht ergeben sich folgende Vorteile:

a) Kathodenverträgliche Diffusionssperre gegen Verunreinigungen der Trägeroberfläche, die sonst zur partiellen "Vergiftung·' der Fotokathode führen können.

b) Sowohl auf dem Eingangsschirm als auch auf dem Träger des bzw. der Zwischenschirme wird gleiches Substrat für die Fotokathode erhalten, so daß gleichmäßigere Kathoden erzielt werden können.

c) Bei fehlerhafter Herstellung der Fotokathode und · Verwendung einer zusätzlichen Schicht aus einem Mittel, das in einer Flüssigkeit löslich ist, die den Träger nicht angreift, kann die Fotokathodenschicht zusammen mit der zusätzlichen Schicht abgewaschen und der Schirm erneut.verwendet werden.

Bei z.Z. üblichen Röntgenbild^erstärkern, bei denen Cäsiumjodid mit .Natrium dotiert (CsJrNa) als Leucht-

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stoff des Eingangsschirms verwendet wird, hat sich eine Bedampfung des Kopplungsschirmes mit CsJ:Na als günstig erwiesen. Die Dicke der Bedampfung der später mit der Fotokathodenschicht zu belegenden Flächen sollte wenigstens so stark sein, daß eine dichte Abdeckung der Unterlage erhalten wird. Wenn diese erreicht ist, kann die Aufdampfung mit Cäsiumjodid abgebrochen werden. Eine Obergrenze ist durch die noch akzeptierbare Bildunschärfe gegeben.

Ein Verfahren, das sich als günstig erwiesen hat, besteht darin, daß die "verschmutzte" Oberfläche vor der Belegung mit der Fotokathode mit einer Schicht aus CsJ:Na belegt wird, die 5 bis 10/um dick ist. So wird eine sehr saubere Unterlage für die Fotokathode erhalten. Außerdem bekomm3n sowohl der Eingangsschirm als auch der bzw. die Zwlschenschirm(e) Flächen gleichen Materials, d.h.. es entsteht gleiches Substrat. Das bewirkt die Möglichkeit, die Fotokathoden in gleichem bzw. ähnlichem Ablauf herzustellen. So können Kathoden gleicher Casiumsattigung erhalten werden. Bei früheren Methoden konnte eine Übersättigung einer Kathode wegen an unterschiedlichen Unterlagen auftretenden unterschiedlichen Formierungsgeschwindigkeiten vorkommen. Bei der Erfindung kann man mit einer Antimon-(Sb)-Quelle auskommen, während man bei der bekannten Herstellung für jede Fotokathode wegen der notwendigen Anpassung an das Substrat eine spezielle Sb-Quelle benötigte. Bei Verwendung von wasserlöslichem Cäsiumjodid a]s Material der zusätzlichen Schicht kann das Kathodenmaterial zusammen mit der Untergrundbedampfung einfach mit Wasser abgespült werden.

Die erfindungsgemäße Techrik ist auch dort mit Vorteil einzusetzen, wo eine nachträgliche Reinigung der Fotokathodengrundfläche an sich möglich wäre. Durch die

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erfindungsgemäße Zwischenschicht kann in der Regel neben den oben angegebenen Vorteilen eine wesentliche Vereinfachung erreicht werden, weil sich der Reinigungsschritt erübrigen kann (reinigen, polieren etc.)· 5

Einzelheiten und Vorteile der Erfindung werden nachfolgend anhand der in der Figur im Querschnitt dargestellten Ausführungsform als Flach-RBV weiter erläutert.

In der Figur ist mit 1 ein vakuumdichter Kolben bezeichnet, der an seiner einen Endwand 2 im Inneren des Kolbens eine Leuchtschicht 3 trägt, auf welcher eine Fotokathodenschicht 4 folgt. In einem Abstand von ca. 12 mm folgt ein elektronenempfindlicher Leuchtschirm, der aus einer elektronendurchlässigen, lichtreflektierenden Abdeckung 5 aus Aluminium besteht und einer Leuchtschicht 6. Diese ruht auf einem Träger 7, der aus Glimmer besteht und 50 mm dick ist. An seiner freien Fläche ist der Träger 7 mit einer Belegung 8 aus Cäsiumjodid versehen, die 8/um stark ist. Schließlich ist auf die Schicht 8 eine mit der Schicht 4 übereinstimmende Fotokathodenschicht 9 aufgetragen. Die an der der Eingangsseite 2 gegenüberliegenden Ausgangsseite 10 liegende Leuchtschirinkombination besteht,wie diejenige im Zwischenschirm mit 5 und 6 bezeichnete, aus einer Abdeckung 11 aus Aluminium und einer Leuchtschicht 12.

Zum Betrieb des Bildverstärkers wird zur Nahfokussierung und Beschleunigung aus einer Gleichstromquelle 13 zwischen der Fotokathode 4 und der Aluminiumschicht 5 eine Spannung von 15 kV angelegt. Zum gleichen Zweck wird zwischen der Fotokathodenschicht 9 und der Aluminiumabdeckung 11 eine Spannung von 20 kV aus einer Quelle 14 angelegt.

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Zur Erzeugung eines RöntgenbJldes wird aus einer Einrichtung 15 zur Erzeugung voi Röntgenstrahlen ein von einer Röntgenröhre 16 kommences Strahlenbündel 17 auf

einen Körper 18 gerichtet. Nfch dem Durchdringen des Körpers 18 kommen die Strahlen aus dem Bündel 17 durch das Eingangsfenster 2 auf den Leuchtschirm 3, erzeugen dort Licht, welches auf die Fotokathode k einwirkt und dort Elektronen auslc st. Die£ e werden dann entsprechend der Andeutung durch punktierte Linien 19 auf den aus 5 und 6 bestehenden Leuchtschirm zu beschleunigt. Dort lösen die Elektronen im Sinne· der erwünschten Abbildung und Verstärkung 19 erneut Licht aus, welches durch den Träger 7 und die Belegung; 8 hindurch auf die Fotokathode 9 einwirkt und dort erneut einen Elektronenstrahl 20 auslöst, der dann in dem aus 11 und 12 bestehenden Leuchtschirm Licht auslöst, das, wie durch 'Pfeile 21 angedeutet, von auf.en beobachtet werden kann.

1 Figur

6 Patentansprüche

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: O'Ü^i'OÜ 300A351

- /~ VPA 80 P 5013 DE Zusammenfassung

Mehr stuf i ger yakuum^Rcintge abildverstärker

Die Erfindung bezieht sich auf mehrstufige Vakuumbildverstärker, bei denen das in ein Elektronenbild umgewandelte Rbntgenbild durch Beschleunigung im elektrischen Feld wenigstens in ^ v/ei Stufen verstärkt wird, die über einen Schirm miteinander gekoppelt sind. Dieser Schirm enthält al.ι we£entliche Elemente eine Leuchtschicht und eine optisch nit dieser in Kontakt stehende Potokathodenschicht. "Davor, befindet sich die eine auf der einen und die andsre suf der gegenüberliegenden Seite auf einer ausreichend stabilen Trägerplatte, die das Licht der Leuchtschicht durchläßt. Bei diesem Zwischenschirm ist es scwieiig, die Fläche zur Aufbringung der Fotokathoden schicht hinreichend sauber zu halten." Die Erfindung sijht hierzu vor, die Fläche der Trägerplatte (7) mit iinei der Fotokathodenschicht (9) gegenüber resistenten Belegung (8) zu versehen, die für eine Fotokathodenächicht aus Cäsium-Antimon aus Cäsiumjodid bestehen jnd I bis 10/um dick sein kann. So wird eine dichte Aodeciung der Unterlage und eine saubere Oberfläche eraalten. Ein erfindungsgemäß verbesserter Röntgenbildvers-i ärker ist insbesondere für den Einsatz in der meiizii ischen Röntgendiagnostik geeignet.

FIG

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eers e i t e

Claims (6)

1. /f - VPA 80 P 5013 DE

   Patentansprüche

   1/ Mehrstufiger Röntgenbildverstärker, bei dem das Röntgenbild in einem Eingangsschirm in ein Elektro-

   • 5 nenbild umgewandelt wird, das in einem elektrischen Beschleunigungsfeld verstärkt und dann auf einem Ausgangsschirm sichtbar gemacht wird, wobei zwischen dem Ende des Beschleunigungsfeldes und dem Ausgangsschirm wenigstens ein weiteres, mit einem Zwischenschirm beginnendes elektrisches Beschleunigungsfeld liegt und der Zwischenschirm an einem lichtdurchlässigen Träger an der dem Eingangsschirm zugewandten Seite eine elektronenempfiridliche Leuchtschicht trägt und gegenüber eine Fotokathodenschicht, dadurch gekennzeichnet, daß beim Zwischenschirm.die Fotokathodenschicht (9) an einer ihr gegenüber resistenten, auf dem Träger (7) angebrachten Belegung (8) liegt.
2. 2. Bildverstärker nach Anspruch 1, dadurch

   gekennzeichnet, daß auch der Eingangsschirm eine solche Belegung (3) aufweist.
3. 3. Bildverstärker nach einem der vorhergehenden Ansprüche , dadurch gekennzeichnet, daß die resistente Belegung (8),des Trägers (7) aus Cäsium-Jodid (CsJ) besteht.
4. 4. Bildverstärker nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Belegung (3, 8) aus mit Natrium aktiviertem Cäsium-Jodid-Leuchtstoff (CsJ:Na) besteht.
5. 5. Bildverstärker nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,

   35'^: daß die, Belegung (8) eine Auf dampf schicht ist, welche die Unterlage (Eingangsfenster (2) und Träger (7) ) dicht abdeckt.

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   X VPA 80 P 5013 DE
6. 6. Bildverstärker naoh einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Belegung (8) 5 bis 10/ura dick ist.

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