DE3003114C2 - - Google Patents
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- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 80
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 80
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 48
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 28
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 28
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 24
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 24
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 22
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 229910002058 ternary alloy Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 claims description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 5
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 claims description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910000986 non-evaporable getter Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 31
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- 241001507939 Cormus domestica Species 0.000 description 10
- 229910004337 Ti-Ni Inorganic materials 0.000 description 9
- 229910011209 Ti—Ni Inorganic materials 0.000 description 9
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 9
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 7
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 6
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005247 gettering Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 3
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000004584 weight gain Effects 0.000 description 3
- 235000019786 weight gain Nutrition 0.000 description 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 238000007669 thermal treatment Methods 0.000 description 2
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011031 large-scale manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052756 noble gas Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 230000002028 premature Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 239000002594 sorbent Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C16/00—Alloys based on zirconium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B3/00—Hydrogen; Gaseous mixtures containing hydrogen; Separation of hydrogen from mixtures containing it; Purification of hydrogen
- C01B3/0005—Reversible uptake of hydrogen by an appropriate medium, i.e. based on physical or chemical sorption phenomena or on reversible chemical reactions, e.g. for hydrogen storage purposes ; Reversible gettering of hydrogen; Reversible uptake of hydrogen by electrodes
- C01B3/001—Reversible uptake of hydrogen by an appropriate medium, i.e. based on physical or chemical sorption phenomena or on reversible chemical reactions, e.g. for hydrogen storage purposes ; Reversible gettering of hydrogen; Reversible uptake of hydrogen by electrodes characterised by the uptaking medium; Treatment thereof
- C01B3/0031—Intermetallic compounds; Metal alloys; Treatment thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J7/00—Details not provided for in the preceding groups and common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J7/14—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
- H01J7/18—Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/30—Hydrogen technology
- Y02E60/32—Hydrogen storage
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S420/00—Alloys or metallic compositions
- Y10S420/901—Superconductive
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
- Gas Separation By Absorption (AREA)
- Hydrogen, Water And Hydrids (AREA)
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Sorbieren von
Gasen
nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Sogenannte Getter- oder Sorptionsmittel sind an sich bekannt
und in zahlreichen Patentschriften beschrieben, beispielsweise
in den US-PS 32 03 901 und 40 71 335.
In einem Artikel der Zeitschrift "Electrochemical Technology",
Band 4, Nr. 5-6, Mai/Juni 1966, Seiten 211 bis
215, haben A. Pebler und A. Gulbransen auch die Verwendung
der intermetallischen Verbindung ZrV₂ zum Sorbieren von
Wasserstoff beschrieben; dieses in Form eines Pulvers vorliegende
Material ist jedoch pyrophor.
Nicht-verdampfbare ternäre Getter-Legierungen sind bereits
in der GB-PS
13 70 208 beschrieben worden, in der insbesondere die Legierung
auf Zirkoniumbasis Zr-Ti-Ni und deren Brauchbarkeit
beschrieben ist, wenn es erwünscht ist, Feuchtigkeit oder
Wasserdampf sowie andere Gase stöchiometrisch zu sorbieren,
ohne Wasserdampf freizusetzen.
Ternäre Legierungen von Zr, V und Fe wurden auch von D. Shattiel,
I. Jacob und D. Davidov in "J. of the Less-Common Metals", 53 (1977),
Seiten 117 bis 131, bereits beschrieben in bezug auf die
reversible Speicherung von Wasserstoff bei Atmosphärendruck
und höheren Drucken. Derartige Legierungen haben die
Zusammensetzung Zr(FeXV1-x)₂, worin 0 x 1.
Der Wunsch, ein Getter-Material zur Verfügung zu haben,
das in der Lage ist, Wasser zu sorbieren, ohne Wasserstoff
freizusetzen, ist besonders ausgeprägt in der Kernenergiegewinnungsindustrie,
da es sich bei der Brennstab-Umhüllung,
die am häufigsten verwendet wird, um ein Material auf Basis
von Zirkonium handelt, bei dem in Gegenwart von Wasserstoff
und/oder Wasser eine Rißbildung auftritt. Wasser wird hauptsächlich
aus den gesinterten Brennstoffpellets einer keramischen
Natur, in der Regel UO₂, die innerhalb des Brennstoffelementes
enthalten sind, freigesetzt. Obgleich diese
Brennstoffpellets einer Wärmebehandlung unterzogen werden,
um Wasserdampf daraus zu entfernen, setzen sie während
ihrer Verwendung in einem Kernreaktor noch Wasserdampf
frei.
Die Anwesenheit von Wasserdampf ist auch in anderen Fällen
unerwünscht, beispielsweise innerhalb der Gehäuse von Glühfädenlampen,
wobei der Wasserdampf an dem bekannten "Wasserzyklus"
teilnimmt, der eine kontinuierliche Übertragung
von Wolfram von dem Faden auf die Wände der Lampe mit einer
nachfolgenden Schwärzung oder Verdunkelung des Glases und
eine vorzeitige Erosion des Fadens und damit eine Zerstörung
der Lampe zur Folge hat.
Auch in Hochdruck-Entladungslampen ist es erforderlich, einen
niedrigen Gehalt an Wasserstoff und anderen Gasen innerhalb
ihres Mantels aufrechtzuerhalten.
Die beispielsweise aus der obengenannten GB-PS 13 70 208
bekannte ternäre Legierung Zr-Ti-Ni muß bei einer
Temperatur von 350°C oder mehr verwendet werden, um sicherzustellen,
daß während des Sorbierens von Wasser und Wasserdampf
keine Wasserstoff-Freisetzung stattfindet. Diese
Temperatur entspricht etwa derjenigen, bei welcher die
Getter-Einrichtung vorliegt, wenn sie beispielsweise in
Siedewasserreaktoren oder Druckwasserreaktoren ("BWR"-
oder "PWR"-Reaktoren) verwendet wird. Während der Anlaufphasen
eines neuen Reaktors und auch dann, wenn der Reaktor
bei geringer Belastung läuft, kann die Temperatur beträchtlich
niedriger als 350°C sein. Deshalb besteht während
dieser Arbeitsperiode die Gefahr einer schädlichen
Freisetzung von Wasserstoff.
Es wäre daher sehr zweckmäßig, ein Getter-Material zur Verfügung
zu haben, das in der Lage ist, bei Temperaturen von
weniger als 350°C Wasser und Wasserdampf zu sorbieren, ohne
Wasserstoff freizusetzen.
Es wäre ferner vorteilhaft, ein Getter-Material zur Verfügung
zu haben, das eine ausreichend hohe Sorptionsgeschwindigkeit
aufweist, um so so schnell wie möglich das gesamte
Wasser und den gesamten Wasserdampf innerhalb der Umgebung,
in der das Getter-Material verwendet wird, zu sorbieren.
Bei anderen traditionellen Getter-Einrichtungs-Anwendungen,
beispielsweise in bestimmten Elektronenröhren, ist es möglich,
den Getter bei einer verhältnismäßig hohen Temperatur
zu aktivieren und dann den Getter bei einer vorgegebenen
niedrigeren Temperatur zum Sorbieren von bestimmten Gasen
zu verwenden.
Insbesondere kann ein Getter erforderlich sein, der in der
Lage ist, bei Umgebungstemperaturen zu arbeiten, da es möglicherweise
nicht möglich ist, Energie zuzuführen, um den
Getter kontinuierlich bei höheren Temperaturen arbeiten zu
lassen, oder die Vorrichtung ist nicht in der Lage, diese
höheren Temperaturen auszuhalten.
Die Aktivierung dieser Getter erfolgt durch eine thermische
Behandlung für eine bestimmte Zeitspanne. Normalerweise erfolgt
diese thermische Behandlung bei Temperaturen zwischen
700 und 1000°C für eine Zeitspanne von mehreren 10 Sekunden
bis zu mehreren Minuten. Das Aktivierungsverfahren ermöglicht,
daß die oberflächenpassivierten Schichten des Gettermaterials
in die einzelnen Teilchen des Materials diffundieren
unter Bildung einer sauberen Oberfläche, die Gas
sorbieren kann.
Wenn es jedoch erwünscht ist, den bekannten Getter bei niedrigeren
Temperaturen zu aktivieren, so wird die für diese
Diffusion erforderliche Zeit übermäßig lang und liegt in
der Größenordnung von mehreren Stunden. Dennoch ist es in
einigen Fällen unerwünscht oder sogar unmöglich, die Getter-
Einrichtungstemperaturen in der Größenordnung von 700
bis 1000°C erreichen zu lassen, so daß es schwierig ist,
die Getter-Einrichtung zu aktivieren.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Verfahren zum Sorbieren
von Gasen zu entwickeln, mit dessen Hilfe es möglich ist,
beliebige Gase bei verhältnismäßig tiefen Temperaturen
und selbst bei Raumtemperatur aus Gasgemischen
oder Wasser unter Verwendung einer nicht-verdampfbaren
ternären Zr-V-Fe-Gatter-Legierungen,
schnell und wirksam zu sorbieren, die bei
verhältnismäßig tiefen Temperaturen, insbesondere
bei Temperaturen von weniger als 700°C, innerhalb
einer verhältnismäßig kurzen Zeitspanne in der
Größenordnung von einigen wenigen Minuten aktiviert
werden kann und die bei Raumtemperatur für die
Gassorption, vorzugsweise in Form eines leicht handhabbaren
Pulvers, verwendbar ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß
auf überraschend einfache und technisch wirksame
sowie wirtschaftliche Weise dadurch gelöst,
daß das Verfahren unter Anwendung spezifischer
Stufen, wie sie im Datenanspruch
angegeben sind, unter Verwendung einer spezifischen
ternären Zr-V-Fe-Legierung durchgeführt wird,
die bestimmten Anforderungen hinsichtlich ihrer Gehalte
an Zirkonium, Vanadin und Eisen genügt.
Es wurde gefunden, daß diese ternären Zr-V-Fe-Legierungen
besonders vorteilhafte Eigenschaften zwischen
200 und 350°C aufweisen, wenn sie für die stöchiometrische
Sorption von Wasser und Wasserdampf ohne
Freisetzung von Wasserstoff verwendet werden. Die
gleichen Legierungen können auch in einem breiteren
Temperaturbereich als Getter für die Sorption auch
von anderen Gasen, wie Wasserstoff, Kohlenmonoxid,
Kohlendioxid und dgl., eingesetzt werden. Die erfindungsgemäß
verwendeten Getter-Legierungen können
ferner innerhalb kurzer Zeitspannen bei verhältnismäßig
tiefen Temperaturen aktiviert werden, so daß
sie als Getter auch bei Raumtemperatur eingesetzt
werden können.
Die aus "J. of the Less-Common Metals", 53 (1977), Seiten 117 bis 131,
bekannten ternären Getter-Legierungen
sind nur geeignet zur Wasserstoffspeicherung,
wobei unter Umständen auf eine Aktivierung
verzichtet werden kann. Aus dieser Literaturstelle
ist jedoch nicht bekannt, daß spezifische ternäre
Getter-Legierungen, wie sie erfindungsgemäß eingesetzt
werden, allgemein für die Sorption beliebiger
Gase verwendbar sind, sei es unter den Arbeitsbedingungen
herkömmlicher Getter-Legierungen (mit
Aktivierung durch Erhitzung auf Temperaturen von
mehr als 700°C), sei es unter bevorzugt erwünschten
Arbeitsbedingungen (mit Aktivierung bei um etwa
200°C niedrigeren Temperaturen als jene, die bei
herkömmlichen Bedingungen angewendet werden).
Die Eignung einer Getter-Legierung,
Wasserstoff zu speichern, ist kein
Indiz dafür, daß sie auch andere Gase in beachtlicher
Menge rasch und bei niedrigem Druck speichern
kann.
Eine für die Sorption von
Wasserstoff geeignete Getter-Legierung muß nicht notwendigerweise
auch für die Sorption anderer Gase
geeignet sein, wie sich aus "J. Of the Less-Common Metals",
74 (1980), Seiten 449-453, ergibt.
Mit der Erfindung soll insbesondere eine
Getter-Legierung angegeben werden, die bei verhältnismäßig
tiefen Temperaturen von weniger als 350°C Wasser
und Wasserdampf stöchiometrisch sorbieren kann, ohne Wasserstoff
freizusetzen, und die insbesondere auch andere
Gase mit höheren Sorptionsgeschwindigkeiten sorbieren
kann.
Die bei dem erfindungsgemäßen Verfahren verwendeten Getter-
Legierungen
sollen bei ihren traditionellen Verwendungen bei verhältnismäßig
tiefen Temperaturen und selbst bei Raumtemperatur
nach einer Aktivierung bei hoher Temperatur aktiver
sein als die bisher bekannten Getter-Legierungen.
Es wurde ferner gefunden, daß diese ternären Legierungen
besonders vorteilhafte Eigenschaften zwischen 200 und 350°C
aufweisen, wenn sie für die stöchimetrische Sorption von
Wasser und Wasserdampf ohne Freisetzung von Wasserstoff
verwendet werden. Die gleichen Legierungen können auch in
einem breiteren Temperaturbereich als Getter für die Sorption
von anderen Gasen, wie H₂, CO, CO₂ und dgl., verwendet
werden.
Das Gewichtsverhältnis zwischen den drei Komponenten der
erfindungsgemäßen ternären Legierung kann innerhalb breiter
Grenzen variieren. Die Auswahl der Mengenanteile der
verschiedenen Komponenten der Legierung wird jedoch vorzugsweise
unter Beachtung mehrerer Bedingungen getroffen.
Vor allem sollte der Zr-Gehalt der ternären Legierung weder
zu hoch noch zu niedrig sein, da sonst die Legierung während
der Sorption von Wasser Wasserstoff freisetzt und außerdem
zu plastisch werden könnte, was zu Schwierigkeiten
bei ihrer Umwandlung in ein feines Pulver führt.
Der Vanadingehalt sollte ebenfalls nicht zu niedrig sein,
da sonst die ternäre Legierung nicht die gewünschten Gassorptionseigenschaften
besitzt. Der Vanadingehalt in Gew.-
%, bezogen auf das Eisen, sollte vorzugsweise 75 bis 85
Gew.-% betragen.
Typische Zusammensetzungen der erfindungsgemäßen ternären
Legierung sind folgende:
| Zr | |
| 45 bis 75 Gew.-%, vorzugsweise 47 bis 70 Gew.-% | |
| V | 20 bis 50 Gew.-%, vorzugsweise 24 bis 45 Gew.-% |
| Fe | 05 bis 35 Gew.-%, vorzugsweise 5 bis 10 Gew.-%. |
Die Zusammensetzung in Gew.-% beim Auftragen ihres Zr-Gehaltes
in Gew.-%, ihres V-Gehaltes in Gew.-% und ihres Fe-
Gehaltes in Gew.-% in Form eines ternären Zusammensetzungsdiagramms
liegt innerhalb eines Polygons, dessen Eckpunkte
wie folgt definiert sind:
- (a) 75% Zr - 20% V - 5% Fe
- (b) 45% Zr - 20% V - 35% Fe
- (c) 45% Zr - 50% V - 5% Fe
und vorzugsweise liegt sie innerhalb des Polygons, dessen
Eckpunkte wie folgt definiert sind:
- (d) 70% Zr - 25% V - 5% Fe
- (e) 70% Zr - 24% V - 6% Fe
- (f) 66% Zr - 24% V - 10% Fe
- (g) 47% Zr - 43% V - 10% Fe
- (h) 47% Zr - 45% V - 8% Fe
- (i) 50% Zr - 45% V - 5% Fe
wie aus Fig. 16 der beiliegenden Zeichnung ersichtlich.
Insbesondere wurden praktische Versuche mit erfindungsgemäßen
ternären Zr-V-Fe-Legierungen mit den nachfolgend
(in Gew.-%) angegebenen Zusammensetzungen durchgeführt:
- (a) Zr 47,2% - V 43,3% - Fe 9,5%
- (b) Zr 60% - V 32,8% - Fe 7,2%
- (c) Zr 70% - V 24,6% - Fe 5,4%
Diese Legierungen können nach den Angaben in der am gleichen
Tage unter der Bezeichnung "Nicht-verdampfbare ternäre
Getter-Legierungen und Verfahren zu ihrer Herstellung"
eingereichten deutschen Patentanmeldung der Anmelderin
(Akten-Nr. 23 528) hergestellt
werden. So kann beispielsweise die obige Legierung
(b) hergestellt werden aus 30 g Zr-Schwamm mit einer handelsüblichen
Reinheit,
der zu kleinen Stücken zerbrochen und an
der Luft bei Atmosphärendruck bei Raumtemperatur mit 20 g
Stücken (Klumpen) einer V-Fe-Legierung, die nominell 82%
V enthält, gemischt
werden. Die Mischung wird in einen kalten Kupfer-
Schmelztiegel-Vakuumofen eingeführt, wie von A. Barosi in
dem Artikel "Gettering Activities of some Single Phases
Present in the Zr-Al Alloy System", Residual Gases in
Electron Tubes, Ed. T. A. Giorgi und P. della Porta, Academic
Press, 1972, Seiten 221 bis 235, beschrieben. Der
Vakuumofen wird unter Verwendung einer Turbomolekularpumpe
auf etwa 0,13 × 10-2 Pa evakuiert und der HF-Induktionsheizgenerator
wird eingeschaltet.
Innerhalb weniger Minuten wird eine Temperatur von etwa
1250°C erreicht und die Mischung wird zu einer geschmolzenen
Masse. Der Generator wird ausgeschaltet und die Legierung
wird auf Raumtemperatur abkühlen gelassen. Der Legierungsblock
wird dann zu kleinen Stücken (Klumpen) zerbrochen
und mehrmals umgeschmolzen, um eine gleichmäßige
und einheitliche Legierungsbildung sicherzustellen. Es sei
darauf hingewiesen, daß in einem großtechnischen Herstellungsverfahren
eine einzige, geringfügig verlängerte Erhitzungsstufe
ausreichen würde, um eine gleichmäßige Legierungsbildung
sicherzustellen. Die Mehrfacherhitzungsstufe
in diesem Beispiel wird nur durchgeführt aus Gründen
der wissenschaftlichen Gründlichkeit. Nach der Schlußabkühlungsstufe
hat der Block ein Gewicht von 49,5 g. Ein
Teil des Blockes wird in einer Kugelmühle unter Argon gemahlen,
bis die Teilchengröße weniger als 125 µm beträgt.
Die erfindungsgemäße ternäre Legierung wird als Getter-Material
in Form eines feinen Pulvers verwendet, das vorzugsweise
eine Teilchengröße zwischen 1 und 500 µm, insbesondere
zwischen 25 und 125 µm hat. Die Legierung hat die folgende
Gesamtzusammensetzung: 60% Zr - 32,8% V - 7,2% Fe.
Das Pulver kann zu Pellets gepreßt werden, die entweder
mit oder ohne einen Behälter verwendet werden können, oder
es kann an einem Träger befestigt werden, wie in der italienischen
Patentschrift 7 46 551 beschrieben. Alternativ
kann das Pulver unter Verwendung von chemischen Bindemitteln
aufgebracht und anschließend gesintert werden.
Nachfolgend werden einige Anwendungsbeispiele der erfindungsgemäßen
ternären Legierung unter Bezugnahme auf die
beiliegenden Zeichnungen, welche die Eigenschaften der Getter-
Legierungen erläutern, anhand ihrer Vorteile gegenüber
anderen bekannten Getter-Materialien beschrieben.
An erster Stelle wird auf die Verwendung der ternären Getter-
Legierung als Getter, der für die Verwendung zum Sorbieren
von Wasserdampf ohne Freisetzung von Wasserstoff
bei Betriebstemperaturen von weniger als 350°C bestimmt ist,
verwiesen. Diese ist typisch für die Anwendung in Kernreaktoren.
Die Versuche wurden mit den oben angegebenen drei erfindungsgemäßen
Zr-V-Fe-Legierungen (a), (b) und (c) durchgeführt,
die mit der bekannten ternären Zr-Ti-Ni-Legierung
(vgl. die britische Patentschrift 13 70 208) mit einem
Gewichtsverhältnis zwischen den Komponenten von 82:
9:5 sowie mit der bekannten Legierung Zr₂Ni (vgl. US-Patentschrift
40 71 335) verglichen wurden.
Die verschiedenen miteinander verglichenen Getter-Legierungen
wurden auf die gleiche Weise verwendet wie in der US-
Patentschrift 40 71 375 beschrieben und erläutert und zur
Bestimmung der Wassersorptionseigenschaften der Getter-
Materialien wurde die in Fig. 2 dieser US-Patentschrift beschriebene
und erläuterte Vorrichtung verwendet. Während
der Messungen war der Wasserdampfdruck in dem System derjenige
von 0°C, d. h. er betrug etwa 6,13 × 10² Pa. Die Wassersorptionseigenschaften
der miteinander verglichenen Legierungen
wurden bei den nominellen Temperaturen 200°C, 250°C,
300°C und 350°C untersucht. Bei jeder dieser Temperaturen
wurden mit den verschiedenen Getter-Legierungen die folgenden
Messungen durchgeführt:
- Gewichtszunahme der Getter-Legierungen in mg pro g Legierung als Funktion der Zeit in Minuten (vgl. Fig. 1 bis 4);
- Wasserstoffpartialdruck in dem System in Pa als Funktion der Gewichtszunahme der Getter-Legierung pro g Legierung (vgl. die Fig. 5 bis 8).
- Gewichtszunahme der Getter-Legierungen in mg pro g Legierung als Funktion der Zeit in Minuten (vgl. Fig. 1 bis 4);
- Wasserstoffpartialdruck in dem System in Pa als Funktion der Gewichtszunahme der Getter-Legierung pro g Legierung (vgl. die Fig. 5 bis 8).
Es sei darauf hingewiesen, daß in den in den Fig. 1 bis
8 dargestellten Diagrammen die drei erfindungsgemäßen ternären
Legierungen durch die Buchstaben (a), (b) und (c),
die bekannte Zr-Ti-Ni-Legierung durch den Buchstaben (d)
und die Legierung Zr₂Ni durch den Buchstaben (d) gekennzeichnet
sind.
Die Diagramme der Fig. 1 bis 4 zeigen die Sorptionsgeschwindigkeit
und das Sorptionsvermögen der Getter-Legierung. Aus
diesen Diagrammen ist die Überlegenheit der erfindungsgemäßen
ternären Legierungen gegenüber den Vergleichslegierungen
bei niedrigen Temperaturen von weniger als 350°C
ersichtlich. Während beispielsweise die Zr₂Ni-Legierung bei
200°C keine Sorption von Wasser zeigt und die Sorption von
Wasser der Zr-Ti-Ni-Legierung extrem niedrig ist, zeigen
die erfindungsgemäßen Zr-V-Fe-Legierungen nicht nur eine
hohe Sorptionsgeschwindigkeit, sondern auch ein sehr viel
höheres Sorptionsvermögen.
Ähnliche Erwägungen gelten für die bei Temperaturen von
250°C und 300°C durchgeführten Versuche.
Aus dem bei 350°C durchgeführten Versuch ist zu ersehen,
daß die erfindungsgemäßen Legierungen (a), (b) und (c)
noch eine höhere Sorptionsgeschwindigkeit aufweisen als
die Vergleichslegierungen (d) und (e), wobei die bekannte
Zr-Ti-Ni-Legierung (d) ein höheres Sorptionsvermögen
aufweist.
Die Diagramme der Fig. 5 bis 8 (die zu diesem Diagramm führenden
Messungen wurden gleichzeitig mit denjenigen durchgeführt,
die zu den Fig. 1 bis 4 führten) demonstrieren die
Fähigkeit der Getter-Legierung, während der Sorption von
Wasser oder Wasserdampf Wasserstoff zurückzuhalten. Diese
Diagramme zeigen nämlich den Wasserstoffpartialdruck innerhalb
des Systems als Funktion der Gewichtszunahme der
Getter-Legierung und damit die Freisetzung von Wasserstoff,
wenn die Legierung immer mehr Wasser sorbiert.
Bei den niedrigeren Temperaturen (200°C, 250°C, 300°C)
setzen die erfindungsgemäßen ternären Legierungen erst Wasserstoff
frei, nachdem sie eine bestimmte Menge Wasser sorbiert
haben, während die bekannten Legierungen schon sehr
viel früher Wasserstoff freisetzen. Wie ersichtlich, enthält
das Diagramm der Fig. 5 (200°C) keine Kurve, die sich
auf die Legierung Zr₂Ni bezieht, da diese Legierung bei
dieser Temperatur kein Wasser sorbiert.
Selbst bei der Temperatur von 350°C (Fig. 8) weisen die erfindungsgemäßen
ternären Legierungen noch ein besseres Verhalten
auf als die Vergleichslegierungen, mindestens bis
sie einen bestimmten Sorptionsgrad erreicht haben.
Bis zu diesem Punkt wurde daher die Überlegenheit der erfindungsgemäßen
ternären Zr-V-Fe-Legierungen gegenüber den
bekannten Getter-Legierungen, was ihre Fähigkeit, Wasser
und Wasserdampf bei Temperaturen von weniger als 350°C zu
sorbieren, ohne Wasserstoff freizusetzen, anbetrifft, demonstriert.
Wie weiter oben angegeben, ist diese Eigenschaft
besonders wichtig bei der Verwendung der Getter-Legierungen
in Kernreaktoren.
Die Fig. 9 bis 12 der beiliegenden Zeichnungen zeigen die
Verwendbarkeit der erfindungsgemäßen ternären Getter-Legierungen,
wenn sie als Getter auf traditionelle Weise,
d. h. nach der Aktivierung innerhalb kurzer Zeitspannen bei
einer verhältnismäßig hohen Temperatur, verwendet werden.
In den praktischen Versuchen wurden die beiden oben mit
den Buchstaben (a) und (c) bezeichneten erfindungsgemäßen
ternären Legierungen mit zwei bekannten Legierungen, nämlich
mit der Zr-Ti-Ni-Legierung (d) (Britische Patentschrift
13 70 208) und einer bekannten binären Zr-Al-Legierung,
mit dem Buchstaben (f) bezeichnet (US-Patentschrift
32 03 901) verglichen.
Vor ihrer Verwendung wurden alle Getter-Legierungen einer
Wärmebehandlung unterworfen zur Aktivierung bei einer Temperatur
von 900°C für eine Zeitspanne von 30 Sekunden unter
Vakuum bei einem Druck von 0,133 Pa. Es wurde die
Sorptionsgeschwindigkeit V als Funktion der Gasmenge Q
gemessen, die bei einer Temperatur von 400°C (Fig. 9 und
10) und bei Raumtemperatur (25°C) (Fig. 11 und 12) sorbiert
wurde. Die sorbierten Gase waren H₂ (Fig. 9 und 11)
bzw. CO (Fig. 10 und 12) bei einem Druck von 3,9 × 10-4 Pa.
Die Versuche ergaben ein Verhalten der erfindungsgemäßen
ternären Legierungen, das wesentlich besser war als dasjenige
der bekannten Zr-Ti-Ni-Legierung und praktisch gleich
war wie dasjenige der Legierung 84% Zr - 16% Al.
Ein weiterer Aspekt der erfindungsgemäßen ternären Legierungen
besteht darin, daß sie innerhalb eines verhältnismäßig
kurzen Zeitraumes von 1 bis 10 Minuten bei einer
verhältnismäßig niedrigen Temperatur von 350 bis 450°C
aktivierbar sind für ihre aufeinanderfolgende Verwendung
für die Sorption von Gasen, wie H₂ und CO, bei Umgebungstemperaturen.
Es wurden Vergleichsversuche durchgeführt zwischen den erfindungsgemäßen
ternären Legierungen (a) und (c) und der
bekannten ternären Zr-Ti-Ni-Legierung (d), in denen die
Getter-Legierungen bei einer Temperatur von 400°C aktiviert
und dann bei Umgebungstemperatur (25°C) verwendet wurden
zum Sorbieren von Wasserstoff und CO.
In einem Falle wurde die Aktivierung zwei Minuten lang bei
400°C durchgeführt und in einem anderen Falle wurden die
Legierungen noch bei der gleichen Temperatur von 400°C aktiviert,
nachdem sie eine Nacht lang bei einer Temperatur
von 300±50°C gehalten worden waren, um die bei verschiedenen
Typen von Elektroneneinrichtungen, wie z. B. Vakuumlampen
und Dewars für Infrarot-Detektoren, angewendeten
Entgasungsbedingungen, die den Getter bereits aktivieren
können, zu simulieren.
Im ersten Falle wurden die Getter-Legierungen deshalb für
die Sorption von Wasserstoff bei einem Druck von 3,9 × 10-3 Pa
verwendet und die Sorptionskurven sind in dem Diagramm
der Fig. 13 dargestellt. Im zweiten Falle wurden
die Getter-Legierungen für die Sorption von Wasserstoff
und CO bei einem Druck von 3,9 × 10-4 Pa verwendet und
die Sorptionskurven sind jeweils in den Diagrammen der
Fig. 14 und 15 dargestellt. Aus diesen Diagrammen ergibt
sich die Überlegenheit der erfindungsgemäßen Getter-Legierungen.
Aus den vorstehenden Angaben ergeben sich die mit den erfindungsgemäßen
ternären Getter-Legierungen erzielbaren
Vorteile und der breite Bereich der Verwendungsmöglichkeiten
dieser Legierungen.
Allgemein ergibt sich aus den vorstehenden Angaben, daß
das erfindungsgemäße Verfahren für die stöchiometrische Sorption
von Sauerstoff und Wasserstoff für Wasser und Wasserdampf
im wesentlichen darin besteht, daß man das Wasser mit
der ternären Zr-V-Fe-Getter-Legierung in Kontakt bringt,
wobei der Wasserpartialdruck weniger als 1,33 × 10-⁴ Pa beträgt,
die Getter-Legierung eine Temperatur zwischen 200 und 350°C
hat, die Getter-Legierung in der Lage ist, bis zu 4 Gew.-%
Wasser zu sorbieren und die Teilchengröße der Getter-Legierung
1 bis 500 µm beträgt.
Dabei muß berücksichtigt werden, daß Wasser und Wasserdampf
mit einem Edelgas, wie z. B. Helium, gemischt werden können,
wie dies in Brennstoffelementen eines Kernreaktors der Fall
ist.
Andererseits besteht das erfindungsgemäße Verfahren zum Sorbieren
von verschiedenen Gasen, wie beispielsweise H₂, CO,
CO₂, aus einem geschlossenen Behälter im allgemeinen darin,
daß in den Behälter eine ternäre Zr-V-Fe-Getter-Legierung
eingeführt wird, der Behälter bis auf einen Druck von weniger
als 1,33 Pa evakuiert wird, die ternäre Legierung
für eine Zeitspanne von mehr als 20 Sekunden auf Temperatur
von mehr als 700°C erhitzt wird und danach die Temperatur
bis auf einen Wert zwischen 400 und 25°C herabgesetzt
wird.
Claims (6)
1. Verfahren zum Sorbieren von Gasen aus einem diese,
ggf. gelöst in Wasser, enthaltenden geschlossenen
Behälter unter Verwendung einer nicht-verdampfbaren
ternären Zr-V-Fe-Getter-Legierung,
dadurch gekennzeichnet, daß es die
folgenden Stufen umfaßt:
- (A) Einführen der nicht-verdampfbaren ternären Getter-
Legierung in den geschlossenen Behälter, deren Zusammensetzung
in Gew.-% innerhalb eines Polygons
liegt, erhalten durch Auftragen ihres Zr-Gehaltes
in Gew.-%, ihres V-Gehaltes in Gew.-% und ihres Fe-
Gehaltes in Gew.-% in Form eines ternären Zusammensetzungsdiagramms,
dessen Eckpunkte wie folgt definiert
sind:
- (a) 75% Zr - 20% V - 5% Fe
- (b) 45% Zr - 20% V - 35% Fe
- (c) 45% Zr - 50% V - 5% Fe
- (B) Evakuieren des Behälters bis auf einen Druck von weniger als 1,33 Pa,
- (C) Aktivieren der Getter-Legierung durch Erhitzen auf eine Temperatur von mehr als 700°C und
- (D) Herabsetzen der Temperatur auf einen Wert zwischen 400 und 25°C.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß eine ternäre Getter-Legierung verwendet wird, deren
Zusammensetzung innerhalb eines Polygons liegt, dessen
Eckpunkte wie folgt definiert sind:
- (d) 70% Zr - 25% V - 5% Fe
- (e) 70% Zr - 24% V - 6% Fe
- (f) 66% Zr - 24% V - 10% Fe
- (g) 47% Zr - 43% V - 10% Fe
- (h) 47% Zr - 45% V - 8% Fe
- (i) 50% Zr - 45% V - 5% Fe
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Getter-Legierung in der Stufe (C)
durch Erhitzen auf eine Temperatur von nicht mehr als
450°C für einen Zeitraum zwischen 1 und 10 Minuten aktiviert
wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß es zum Sorbieren sowohl von
Sauerstoff als auch von Wasserstoff aus Wasser angewendet
wird, das in dem geschlossenen Behälter enthalten
ist.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die Getter-Legierung in der Stufe (C) durch Erhitzen
auf eine Temperatur zwischen 250 und 350°C aktiviert
wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, daß eine Getter-Legierung mit
einer Teilchengröße von weniger als 500 µm verwendet
wird.
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Legal Events
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| D2 | Grant after examination | ||
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