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DE2922280A1 - Verfahren zur herstellung von feinem beta-siliciumcarbid-pulver - Google Patents

Verfahren zur herstellung von feinem beta-siliciumcarbid-pulver

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DE2922280A1
DE2922280A1 DE19792922280 DE2922280A DE2922280A1 DE 2922280 A1 DE2922280 A1 DE 2922280A1 DE 19792922280 DE19792922280 DE 19792922280 DE 2922280 A DE2922280 A DE 2922280A DE 2922280 A1 DE2922280 A1 DE 2922280A1
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DE
Germany
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powder
silicon
carbon
sio2
silica
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DE19792922280
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DE2922280C2 (de
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Isamu Komaru
Tadao Sasaki
Ryuzo Yoshioka
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Nippon Crucible Co Ltd
Original Assignee
Nippon Crucible Co Ltd
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Publication date
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Publication of DE2922280A1 publication Critical patent/DE2922280A1/de
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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)

Description

  • Bes c hr ei bu ng Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines feinen ß-Siliciumcarbid-Pulvers.
  • Siliciumcarbid, das sehr hart ist und ausgezeichnete Eigenschaften, wie z.B. eine ausgezeichnete Beständigkeit gegen Oxydation, gegen Korrosion, gegen Zersplittern und eine ausgezeichnete Wamfestigkeit und dgl. besitzt, wird für die verschiedensten Verwendungszwecke, beispielsweise in wärmebeständigen (feuerfesten) industriellen Materialien, insbesondere jedoch alsLäppmaterialien, Pigmente, Matrizenmaterialien fUr wärmebeständige (feuerfeste) Produkte, als gesintertes Siliciumcarbid und dgl. verwendet. Es besteht ein Bedarf an einem feinpulvrigen und hochaktiven Siliciumcarbid. ß-Siliciumcarbid wird aufgrund seiner Ubergangstemperatur als Siliciumcarbid vom "Niedertemperatur-Typ" bezeichnet und es ist vorteilhaft, weil es ein feines Pulver darstellt und hochaktiv ist im Vergleich zu a-Siliciumcarbid, bei seiner Herstellung treten jedoch verschiedene Schwierigkeiten auf, Obgleich einige Verfahren zur Herstellung von feinem ß-Siliciumcarbid-Pulver beispielsweise aus der britischen Patentschrift 1 199 953 und den japanischen Patentanmeldungen (OPI) Nr.75 600/75 und 37 898/76 bekannt sind, sind für die Durchführung dieser bekannten Verfahren neben der komplizierten Herstellung der Ausgangsmaterialien eine sauerstofffreie Atmosphäre beim Erhitzen, hohe Temperaturen, die 14500C Ubersteigen, und eine lange Erhitzungsdauer erforderlich-zur Herstellung von qualitativ hochwertigem B-Siliciumcarbid in hoher Ausbeute. Die bekannte Herstellung unterliegt daher starken Beschränkungen. Dafür ist eine unwirksame, unproduktive und unwirtschaftliche Spezialapparatur, wie z.B. ein Hochtemperaturofen mit variabler Atmosphäre, erforderlich, so daß feines ß-Siliciumcarbid-Pulver weit weniger leicht zugänglich ist und seine kommerzielle Anwendung daher Beschränkungen unterliegt.
  • Um die Beschränkungen bei den vorstehend beschriebenen bekannten Verfahren weitgehend zu beseitigen, wurde kürzlich in der US-Patentschrift 4 117 096 ein Verfahren vorgeschlagen, bei dem es sich um ein neues Verfahren fUr die Massenproduktion von hochreinem ß-Siliciumcarbid durch Erhitzen von metallischem Siliciumpulver und Kohlenstoffpulver (Kohlepulver) in einer oxydierenden Atmosphöre zur Einleitung einer spontanen Kettenreaktion handelt. Aber auch bei diesem Verfahren und insbesondere dann, wenn eine sehr geringe Teilchengröße in der Größenordnung von Submikron erwünscht ist, ist es erforderlich, die Packungsdichte der Mischung der Ausgangsmaterialien, die in ein feuerfestes Reaktionsgefäß eingeführt werden, zu verringern oder das Reaktionsprodukt gründlich zu pulverisieren.
  • Die Herabsetzung der Packungsdichte führt unvermeidlich zu einer geringeren Produktivität, während bei der Pulverisierung des Reaktionsproduktes nicht nur mehr Energie verschwendet wird, da die gewünschte Teilchengröße kleiner wird, sondern gleichzeitig auch der Verschleiß der Pulverisiervorrichtung zunimmt, was zu einer Verschlechterung der Pulverqualität des Produktes führt.
  • Ziel der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Verfahren anzugeben, mit dessen Hilfe es möglich ist, hochreines feines ß-Siliciumcarbid-Pulver mit einer besseren Qualität und höheren Aktivität auf einfachere Weise herzustellen, ohne die Merkmale und Vorteile des bereits frUher vorgeschlagenen Verfahrens zu opfern, durch Mischen von Kohlenstoff (Kohle), Silicium und Siliciumdioxid in solchen Mengen, daß jede Komponente, ausgedruckt in Mol-, innerhalb eines spezifischen Bereiches liegt.
  • Gegenstand der Erfindung ist demzufolge ein Verfahren zur Herstellung von feinem ß-Siliciumcarbid-Pulver, das dadurch gekennzeichnet ist, daß man Kohlenstoffpulver (Kohlepulver) mit einer Teilchengröße von etwa 20 µm oder weniger, metallisches Siliciumpulver und Siliciumdioxidpulver in solchen Mengen miteinander mischt, daß jede Komponente, ausgedruckt in Hol-g, innerhalb eines Bereiches liegt, der definiert ist durch die Linien, welche die Punkte O (C: 62,4, Si: 37,4, SiO2: 0,2), P (0: 34,9, Si: 64,9, SiO2: Q2), Q (C 50, Si: 41, SiO2: 9) und R (0: 68, Si: 23, SiO2: 9) in einem ternären Koklenstoff-Silicium-Silictumdioxid-System, wie es in der beiliegenden Zeichnung dargestellt ist, verbinden, daß man die Mischung in ein wärmebestondiges, feuerfestes Reaktionsgafäß einfuhrt und sie in einer oxydierenden Atmosphäre mit einem Sauerstoffgehalt van etwa 0,3 bis etwa 35 Vol.-% bis auf eine Temperatur von etwa 800 bis etwa 1450 0 erhitzt zur Einleitung einer spontanen Kettenreaktion.
  • Ein bevorzugter Gedanke der Erfindung liegt in einem Verfahren zur Herstellung eines ß-SiIiciumcarbid-Puvers, bei dem eine ternare Mischung aus Kohlenstoffpulver bzw. Kohlepulver, Siliciumpulver Und Siliciumdioxidpulver in Mengen miteinander gemischt werden, die innerhalb des Bereiches liegen, er durch die Punkte O, P, Q und R in der beiliegenden Zeichnung; begrenzt wird, in einer oxydierenden Atmosphäre zur Reaktion gebracht wird.
  • Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die beiliegende Zeichnung näher erläutert.
  • Die beiliegende Zeichnung zeigt ein ternäres Diagramm der Kohlenstoff (Kohle)-, Silicium- und Siliciumdioxid-Mengen in Mol-%, die zweckmäßig erfindungsgemäB verwendet werden.
  • Wenn Siliciumdioxid mit Kohlenstoff (Kohle) gemischt und auf eine erhöhte Temperatur erhitzt wird, läuft die Reaktion unter Bildung von Siliciumcarbid wie folgt ab: Silo2 + 3C y SiC + 2CO - 144,4 kcs oe Da die Reaktion endotherm ist, ist zur Vervollstöndigung der Reaktion eine betröchtliche Menge an thermischer Energie erforderlich. Der wesentliche Punkt des erfindungsgemaßen Verfahrens besteht darin, Kohlenstoff (Kohle), Silicium und Siliciumdioxid, das eine Komponente für die endotherme Reaktion ist, miteinander zu mischen und dann die dabei erhaltene Mischung in einer oxydierenden Atmosphäre zu erhitzen.
  • Wenn eine Mischung aus Kohlenstoffpulver bzw. Kohlepulver, metallischer Siliciumpulver und Siliciumdioxidpulver in einer oxydierenden Atmosphäre erhitzt wird, so reagieren wahrscheinlich der Sauerstoff und eine Komponente der Ausgangsmaterialmischung miteinander unter Bildung eines Zwischenproduktes, das dann als Katalysator fungiert, der die Reaktion eines Teils des Kohlenstoff (Kohle)-Siliciuw-Systems initiiert und die Reaktion ihrerseits dann innerhalb eines Uberraschend niedrigen Temperaturbereiches eine Kettenreaktion auslöst, wodurch die Siliciumcarbidbildung in dem ternären System schnell (innerhalb etwa 1 bis 2 Minuten) beendet bzw.
  • vervollstondigt wird. Es sei jedoch darauf hingewiesen, daß die Details des vorstehend beschriebenen Reaktionsmechanismus bisher noch nicht völlig geklärt sind, so daß die Erfindung auf den vorgenannten Reaktionsmechanismus nicht beschränkt ist.
  • Diese Reaktion, die bei einer tiefen Temperaturtbeginnt, schnell fortschreitet und innerhalb eines kurzen Zeitraumes beendet ist, wird hier als "spontane Kettenreaktion" bezeichnet.
  • Bei dieser spontanen Kettenreaktion beeinträchtigen die oxydierenden Eigenschaften der Atmosphäre die Qualität des Produktes nicht, da weder die Ausgangsmaterialien noch das Reaktionsprodukt über einen längeren Zeitraum hinweg hohen Temperaturen ausgesetzt sind.
  • Ein weiteres wichtiges Merkmal des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, daß das Siliciumdioxidpulver, das als ein Ausgangsmaterial zugegeben wird, nicht nur an der Bildung von Siliciumcarbid im Verlaufe der spontanen Kettenreaktion teilnimmt, sondern auch die Bildung von groben Siliciumcarbid-Teilchen hemmt bzw. verhindert, wobei auch hier die Details des Mechanismus noch nicht völlig geklärt sind. Daher kann nach dem erfindungsgemäßen Verfahren die Teilchengröße gesteuert (kontrolliert) werden zur Vermeidung von groben Teilchen, auch wenn die Packungsdichte der Ausgangsmaterialien zunimmt, so daß leicht ein feinteiliges und aktives Siljciumcarbid-Pulver erhalten werden kann, ohne daß dies auf Kosten der Produktivität geht oder ohne daß ein spezielles Pulverisierungsverfahren, wie oben angegeben, angewendet werden muß. Das Wesen der vorliegenden Erfindung beruht somit auf der spezifischen Funktion der Steuerung (Kontrolle) der Teilchengröße des Reaktionsproduktes durch Zugabe von Siliciumdioxidpulver zu Kohlenstoffpulver (Kohlepulver ) und metallischem Siliciumpulver bei der Herstellung von ß-Siliciumcarbid.
  • In dem erfindungsgemäßen Verfahren muß die Teilchengröße des Kohlenstoff- bzw. Kohle-Ausgangsmaterials etwa 20 pm oder weniger betragen und sie beträgt vorzugsweise etwa 0,005 bis etwa 5 pm, da sonst die spontane Kettenreaktion nicht eingeleitet wird und daher der größte Teil der Mischung der Ausgangsmaterialien oder mindestens ein Teil der Kohlenstoffteilchen bzw. Kohleteilchen nicht reagiert. In der Praxis kann die Teilchengröße des Kohlenstoff- bzw. Kohleausgangsmaterials innerhalb dieses Bereiches ausgewählt werden in Abhängigkeit von dem Verwendungszweck des B-Siliciumcarbids. So muß beispielsweise zur Herstellung von hochaktiven feinteiligen Produkten ein Kohlenstoff- bzw. Kohleausgangsmaterial mit einer möglichst geringen Teilchengröße ausgewählt werden.
  • Wenn einmal die spontane Kettenreaktion beginnt, steigt die Temperatur der Mischung plötzlich an durch die Bildung von Reaktionswärme und ein Teil des metallischen Siliciumpulvers schmilzt oder wird vergast und nimmt an der Umsetzung mit dem Kohlenstoff und der Umsetzung mit dem Siliciumdioxid teil, so daß die Teilchengröße des Siliciums etwas größer sein kann als die des Kohlenstoffs (der Kohle) bis zu etwa 200 pm höchstens und vorzugsweise bis zu etwa 100 pm.
  • Das Siliciumdioxid hat zweckmäßig eine Teilchengröße von etwa 100 pm oder weniger, vorzugsweise von etwa 20 Fm oder weniger. Wenn sie oberhalb dieses Bereiches liegt, nimmt ihre Fähigkeit, die Bildung von grobem Siliciumcarbid zu verhindern, stark ab, der Fortschritt der spontanen Kettenreaktion wird verzögert und außerdem reagiert ein Teil des Siliciumdioxids nicht.
  • Die Art der Ausgangsmaterialien kann stark variieren, wenn die oben genannten Bedingungen bezüglich der Teilchengröße erfUllt sind. Zu Beispielen für das Kohlenstoff- bzw Kohleausgangsmaterial gehören die üblicherweise erhältlichen kohlenstoffhaltigen Materialien, wie Naturgraphit, künstlicher Graphit, Koks, ungetrockneter Koks, Ruß, Kohlepech, Erdölpech und dgl. Die kohlenstoffhaltigen Materialien sollten nicht mehr als 30 Gew.-% Asche enthalten.
  • Das Silicium-Ausgangsmaterial kann ebenfalls aus den verschiedensten Materialien ausgewählt werden, beispielsweise aus solchen von Halbleiter-Qualität bis zu solchen von gewöhnlicher technischer Qualität, es sollte jedoch einen Siliciumgehalt von 90 % oder mehr aufweisen.
  • Als Siliciumdioxid-Ausgangsmaterial können Kieselsteine oder Kieselsand, die beide in der Natur vorkommen, nach dem Mahlen verwendet werden, was ziemlich schwierig ist. Es ist jedoch bevorzugt, beispielsweise amorphe Siliciumdioxidpulver, die als Nebenprodukte bei der Herstellung von Ferrosilicium, Phosphatdüngemittel und dgl.
  • erhalten werden, feine Siliciumdioxidpulver, die Ublicherweise als weißer Kohlenstoff bezeichnet werden, wie Aerosil, synthetisch hergestellt durch oxydative Zersetzung von Siliciumtetrachlorid, und dgl., zu verwenden.
  • Die Reinheit jeder Komponente beeinflußt die Reinheit und Teilchengröße des Produktes und sie kann somit in geeigneter Weise in Abhängigkeit von dem Verwendungszweck des Produktes ausgewählt werden, obgleich ihr Einfluß auf die spontane Kettenreaktion nicht bemerkenswert ist.
  • BezUglich des Mischungsverhältnisses zwischen den Kohlenstoff-bzw. Kohle-, Silicium- und Siliciumdioxid-Ausgangsmaterialien sei bemerkt, daß die spontane Kettenreaktion für die vorliegende Erfindung wesentlich ist, so daß das Mischungsverhältnis von der Teilchengröße jedes Ausgangsmaterials, den Mischungsbedingungen, der Größe einer Charge der Mischung, der Aufheizgeschwindigkeit und der Erhitzungstemperatur, dem Sauerstoffgehalt der Atmosp häre und dgl. abhängt, wobei auch zu berücksichtigen ist, daß ein Teil des Kohlenstoffs bzw. der Kohle sowie des Siliciums und des Siliciumdioxids allein oder in Form von gasförmigem Kohlenmonoxid, Siliciummonoxid und dgl. durch Wechselwirkung zwischen ihnen entweicht. Es ist daher erfindungsgemäß schwierig, das Mischung verhältnis der Ausgangsmaterialien stöchiometrisch zu errechnen und es muß empirisch auf der Basis von zahlreichen Experimenten bestimmt werden. Das heißt, das Mischungsverhältnis ist vorzugsweise so groß, daß jede Komponente, ausgedrückt in Mol-, innerhalb des Bereiches liegt, der durch ein Viereck OPQR begrenzt ist, wie es in der beiliegenden Zeichnung dargestellt ist (d.h. nicht auf den Vierecklinien liegt).
  • Die beiliegende Zeichnung zeigt ein Dreieckdiagramm des ternären Kohlenstoff-Silicium-Siliciumdioxid-Systems, das den bevorzugten Bereich angibt, der durch das Viereck OPQR fUr das Mischungsver hältnis definiert ist, worin 0, P, Q und R die nachfolgend jeweils in Mol- angegebenen Zusammensetzungen haben: 0: C 62,4, Si 37,4, SiO2 0,2 P: C 34,9, Si 64,9, SiO2 0,2 Q: C 50, Si 41, SiO2 9 R: C 68; Si 23, SiO2 9 In dem Bereich auf und oberhalb der Linie OR bleibt ein großer Anteil des Kohlenstoffs (der Kohle) meistens nicht-umgesetzt und in dem Bereich auf und unterhalb der Linie PQ wird zuerst metallisches Silicium allein gesintert und es löst die spontane Kettenreaktion (d.h. die gewünschte Reaktion) nicht aus, oder selbst dann, wenn es reagiert, ist eine große Menge an gesintertem metallischem Silicium vorhanden, welche die Pulverisierung des Produktes nach der Reaktion stört.
  • In dem Bereich rechts der Linie OR (einschließlich der Linie) Uberwiegt die endotherme Reaktion von Siliciumdioxid und Kohlenstoff (Kohle) und es wird daher schwierig, die spontane Kettenreaktion einzuleiten. Andererseits ist in dem Bereich links von der Linie OP (einschließlich der Linie) die Inhibierung der Bildung von grobem Siliciumcarbid nicht wirksam aufgrund des niedrigen Siliciumdioxidgehaltes, obgleich eine spontane Kettenreaktion auftritt.
  • Bei einer Zusammensetzung innerhalb des Vierecks OPQR führt die Mischung der Ausgangsmaterialien zu einer spontenen Kettenreaktion, welche die Reaktion schnell beendet bzw. vervollständigt, während die Bildung von groben Teilchen verhindert wird, so daß das gewünscht feinteilige, aktive Pulver erhalten wird. Wenn der Mengenanteil der Siliciumdioxidkomponente innerhalb des Bereiches des Viereckes erhöht wird, wird der Einfluß des Siliciumdioxids deutlicher und es verleiht dem Produkt eine höhere Feinheit.
  • Bei der praktischen Durchführung der Erfindung, bei der die oben genannten Punkte berücksichtigt werden, kann das Mischungsverhältnis daher so ausgewählt werden, daß es innerhalb des oben genannten Bereiches liegt, je nach den gewünschten Verwendungszwecken fUr das Produkt.
  • Die Ausgangsmaterialien werden unter Anwendung eines üblichen Verfahrens grUndlich miteinander gemischt, in ein geeignetes wärmebeständiges, feuerfestes Reaktionsgefäß eingeführt und in einer oxydierenden Atmosphäre erhitzt. In diesem Falle wird die spontane Kettenreaktion eingeleitet, ungeachtet der Schüttdichte nach dem Ein fUhren der Mischung aus den Ausgangsmaterialien, und da die Teilchengröße des Produktpulvers leicht gesteuert (kontrolliert) werden kann bis herunter zu einer hohen Feinheit durch Einstellung der Siliciumdioxidkomponente entsprechend der Erfindung, ist es vom Standpunkt der Produktivität aus betrachtet von Vorteil, die Schüttdichte so hoch wie möglich zu machen.
  • Wenn der Sauerstoffgehalt der erhitzen Atmosphäre weniger als etwa 0,3 Vol.-% beträgt, wird die spontane Kettenreaktion nicht eingeleitet, während durch eine stark oxydierende Atmosphäre mit einem Sauerstoffgehalt von mehr als etwa 35 Vol.-% die mit der Oxydation zusammenhängenden Probleme in ungünstiger Weise vermehrt werden.
  • So lange die Atmosphäre etwa 0,3 bis etwa 35 Vol.-% Sauerstoff enthält, kann sie aus Luft bestehen und sie kann ein reduzierendes oder inertes Gas, wie Kohlenmonoxid, Kohlendioxid oder Argon, enthalten oder es kann unter reduziertem Druck, beispielsweise unter einem geringen Vakuum von 11 mm Hg oder h'0herlgearbeitet werden. Bei dem wärmebeständigen, feuerfesten Reaktionsgeföß kann es sich um einen offenen elektrischen Ofen, einen Gasofen oder einen gewöhnlichen industriellen feuerfesten Ofen zum Ca Icinieren feuerfester Materialien handeln.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren muß durchgeführt werden, bis die Mischung der Ausgangsmaterialien eine Temperatur erreicht hat, die hoch genug ist, um die spontane Kettenreaktion einzuleiten.
  • Diese Temperatur hängt von der Teilchengröße der Ausgangsmaterialien, dem Mischungsverhältnis, den Mischungsbedingungen, der Größe einer Charge der Mischung, der Größe des feuerfesten Reaktionsgefäßes, dem Sauerstoffgehalt der Atmosphäre, der Aufheizgeschwindigkeit und dergleichen ab, sie liegt jedoch in der Regel innerhalb eines Bereiches von etwa 800 bis etwa 14500C, vorzugsweise bei 1000 bis 13000C.
  • Die Temperatur, bei der die spontane Kettenreaktion induziert wird, kann durch einen Vorversuch leicht ermittelt werden,und die Temperatur des Reaktionsgefäßes wird vorzugsweise etwas höher eingestellt als diese Temperatur. Die zum Erhitzen erforderliche Zeit liegt in der Regel innerhalb 10 Stunden einschließlich der Aufheizzeit und eine längere Zeit ist erforderlich, wenn der Sauerstoffgehalt der Atmosphäre abnimmt.
  • Das durch die Induktion der spontanen Kettenreaktion nach dem erfindungsgemäßen Verfahren erhaltene Produkt kann leicht pulverisiert werden ohne irgendeine spezielle mechanische Pulverisierungrund der größte Teil des Produktes liegt augenscheinlich in Form eines Pulvers mit einer Teilchengröße von etwa 500 Fm oder weniger vor.
  • Durch Verwendung einer Ublichen Zerkleinerungsvorrichtung, wie z.B. einer Kugelmühle, einer Oszillationsmühle und dgl., wird das erhaltene Produkt leicht pulverisiert, wobei man ganz leicht ein feines Pulver mit einer Teilchengröße von etwa 0,9 bis etwa 0,005 Fm erhält. Die Herabsetzung der Teilchengröße wird leichter, wenn die Teilchengröße des Kohlenstoff- bzw. Kohleausgangsmaterials geringer ist und der Mengenanteil des Siliciumdioxids zunimmt.
  • Das durch die Induktion der spontanen Kettenreaktion nach dem erfindungsgemäßen Verfahren erhaltene Produkt besteht aus Siliciumcarbid hauptsächlich in Form von n-Kristallen, wie durch Röntgen kristallographie festgestellt wurde, und ohne Schwierigkeit kann eine Reinheit von 90 % oder höher erhalten werden.
  • Die Erfindung wird in den folgenden Beispielen näher erläutert, ohne jedoch darauf beschränkt zu sein.
  • Beispiel 1 3,12 kg eines handelsüblichen Rußes (Reinheit 98,4 Gew.-, "Carbon black", ein Produkt der Firma Misubishi Chemical Industries, Ltd.) mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von 0,05 m, 5,36 kg eines handelsüblichen metallischen Siliciumpulvers (Reinheit 94,6 Gew.-%, "Metallic Silicon", ein Produkt der Firma Ohsawa Tatsu K.K.) mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von 77 jim und 0,58 g Siliciumdioxidpulver, erhalten als Neben produkt bei der Herstellung von Phosphatdüngemitteln (Reinheit 98,5 Gew.-/o) mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von etwa 0,08 pm wurden miteinander gemischt. Die Zusammensetzung der Mischung betrug C: 51,9 Mol-sO, Si: 46,2 Mol-% und SiO2: 1,9 Mol-%, wie bei Nr. 1 in der Fig. angegeben.
  • Zu der Mischung wurde Wasser in einer Menge von 35 Gsw.-Teilen auf 100 Gew.-Teile der Mischung zugegeben, das Ganze wurde durchgeknetet und in ein wärmebeständiges, feuerfestes (hitzefestes) zylindrisches Reaktionsgefäß mit einem Innendurchmesser von 260 mm und einer Höhe von 300 mm eingeführt und ein Deckel wurde leicht daraufgelegt. Das feuerfeste zylindrische Reaktionsgefäß wurde dann in einem elektrischen Ofen vom Siliconit-Kistentyp, d.h. in einer Luftatmosphäre (02: 20 Vol.-, N2: 80 Vol.-%) mit einer Aufheizgeschwindigkeit von etwa 3000C pro Minute erhitzt. Als die Temperatur etwa 10600C erreicht hatte, trat eine deutliche Rauchbildung auf, welche die Einleitung der spontanen Kettenreaktion anzeigte, und dieses Phänomen setzte sich etwa 1 oder 2 Minuten fort. Danach wurde der elektrische Strom abgeschaltet, um das Reaktionsgefäß abkühlen zu lassen. Etwa 20 Stunden später wurde das erhitzte Produkt herausgenommen. Obgleich seine Oberfläche etwas weiß war bis zu einer Tiefe von etwa 5 mm durch die Oxydation, zeigte die gleichmäßige gelblich-grUn;e Farbe im Innern eindeutig, daß es aus qualitativ hochwertigem Siliciumcarbid bestand.
  • Das Produkt war offensichtlich überhaupt noch nicht gesintert und es ließ sich leicht zerkleinern zu einem Pulver mit einer scheinbaren Teilchengröße von 200 pm oder weniger, indem man es einfach zwischen zwei Fingerspitzen zerrieb. Durch Mahlen in einer Labor-Zerkleinerungsvorrichtung wurde es zu einem Pulver mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von 0,5 pm zerkleinert. Durch Röntgenanalyse des erhaltenen Pulvers wurde der größte Teil des Pulvers als ß-Kristalle von Siliciumcarbid identifiziert und die Reinheit betrug, wie gefunden wurde, 96,5 Gew.-%, bestimmt durch Ubliche chemische Naßanalyse.
  • Zum Vergleich wurden unter Anwendung eines Verfahrens, wie es in der US-Patentschrift 4 117 096 beschrieben ist, Kohlenstoff- bzw.
  • Kohlepulver und Siliciumpulver als Ausgangsmaterialien ohne Siliciumdioxidpulver verwendet und die Ubrigen experimentellen Bedingungen waren die gleichen wie oben, wobei man ein Produkt erhielt. Obgleich das Produkt das gleiche Aussehen und die gleiche Reinheit hatte, erhielt man eine ziemlich grobe durchschnittliche Teilchengröße von 4,0 pm, wenn es unter den gleichen Bedingungen gemahlen wurde. Dies zeigt, daß es mit der vorliegenden Erfindung möglich ist, leichter ein feinteiliges und aktives Siliciumcarbid-Feinpulver herzustellen.
  • Beispiel 2 Auf ähnliche Weise wie in Beispiel 1 wurde die gleiche Mischung wie in Beispiel 1 in ein feuerfestes Erhitzungsreaktionsgefäß eingeführt und ein Deckel wurde leicht daraufgelegt. Das Reaktionsgefäß wurde dann in Koksgrus eingebettet und in einem Tunnelofen calciniert zum Calcinieren der feuerfesten Materialien in einer Heizzone von etwa 12300C fUr einen Zeitraum von etwa 40 Stunden zwischen der Beschickung und der Entladung. Die Atmosphare innerhalb des Ofens war folgende 02: 3,2 %, CO: O %, CO2: 10,8 %, H20: 13,9 % und N2: 77,0 zog stets bezogen auf das Volumen. Das dabei erhaltene erhitze Produkt hatte offensichtlich eine oxydierte Oberfläche mit einer geringeren Dicke. Die Kristalleigenschaften waren die gleichen wie in Beispiel 1. Die Reinheit wurde auf 97,7 Y0 verbessert.
  • Beispiel 3 Auf ähnliche Weise wie in Beispiel 1 wurde die gleiche Mischung wie in Beispiel 1 in ein feuerfestes Erhitzungsreaktionsgefäß eingeführt und ein Deckel wurde leicht daraufgelegt. Das Reaktionsgefäß wurde dann schnell in einen Elektroofen gegeben, der im Innern bereits auf 1350°C gehalten wurde, und schnell erhitzt. Nach etwa 1 Stunde war eine deutliche Raucibildung zu beobachten, das Reaktionsgefäß wurde sofort herausgenommen und zum erzwungenen Kühlen in Koksgrus eingebettet. Das dabei erhaltene erhitzte Produkt wies praktisch keine oxydierte Oberflächenschicht auf und es nahm völlig eine gelblìch-grüne Farbe an. Die Feinheit der Teilchen war die gleiche wie in den Beispielen 1 und 2 und die Reinheit wurde weiter verbessert auf 99,2 %.
  • Beispiel 4 Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 1 durchgefuhrt, wobei diesmal jedoch das Mischungsverhältnis der Ausgangsmaterialien betrug: C: 53,7 Mol- Si: 42,6 Mol-% und Si02: 3,7 Mol~%, wie bei Nr. 2 in der beiliegenden Zeichnung angegeben. Die Temperatur, bei der die Rauchbildung begann, betrug etwa 108000 und der elektrische Strom wurde abgeschaltet, wenn die Temperatur etwa 11200C erreicht hatte. Es wurde ein Produkt mit einem ähnlichen Aussehen und einer ähnlichen Reinheit wie in den vorausgegangenen Beispielen erholten. Nach dem Mahlen in einer Labor-Zerkleinerungsvorrichtung unter den gleichen Bedingungen wurde es weiter zerkleinert bis zu einem Pulver mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von 0,2 lun.
  • Die Erfindung wurde zwar vorstehend an Hand spezifischer bevorzugter Ausfuhrungsformen näher erläutert, es ist jedoch für den Fachmann selbstverstandlich, daß sie darauf keineswegs beschränkt ist, sondern daß diese in vielfacher Hinsicht abgeändert und modifiziert werden können, ohne daß dadurch der Rahmen der vorliegenden Erfindung verlassen wird.

Claims (7)

  1. Verfahren zur Herstellung von feinem ß-Siliciumcarbid-Pulver Patentansprüche 1. Verfahren zur Herstellung eines feinen ß-Siliciumcarbid-Pulvers, dadurch g e k e n n z e i c -h n e t , daß man Kohlenstoffpulver (Kohlepulver) mit einer Teilchengröße von 20 tim oder weniger, Siliciumpulver und Siliciumdioxidpulver in solchen Mengen miteinander gemischt, daß jede Komponente, ausgedrückt in Mol-, innerhalb eines durch die Linien definierten Bereiches liegt, die O(C: 62,4, Si: 37,4, SiO2: 0,2), P (C: 34,9, Si: 64,9, SiO2: 0,2), Q (C: 50, Si: 41, SiO2: 9) und R (C: 68, Si: 23, SiO2: 9) in einem ternären Kohlenstoff-Silicium-Siliciumdioxid-System miteinander verbinden, die Mischung in ein wärmebeständiges (feuerfestes) Ren~ktionsgef-äß einbringt und sie in einer oxydierenden Atmosphäre mit einem Sauerstoffgehalt von etwa 0,3 bis etwa 35 Vol.-% bis auf eine Temperatur von etwa 800 bis etwa 14500C erhitzt, um eine spontane Kettenreaktion einzuleiten.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man ein Siliciumpulver mit einer Teilchengröße von bis zu etwa 200 pm verwendet.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß man Siliciumdioxid mit einer Teilchengröße von etwa 20 Fm oder weniger verwendet.
  4. 4. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß man als Siliciumdioxid amorphes Siliciumdioxid oder weißen Kohlenstoff verwendet.
  5. 5. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß man als Siliciumdioxid Quartzit oder Siliciumdioxidsand verwendet.
  6. 6. Verfahren nach mindestens einem der Anspruche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß man die nachfolgend angegebenen Pulver in den nachfolgend angegebenen Mengen miteinander mischt: Kohlenstoff (Kohle) 51,9 Mol-% Silicium 46,2 Siliciumdioxid 1,9 7. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß man die nachfolgend angegebenen Pulver in den nachfolgend angegebenen Mengen miteinander mischt: Kohlenstoff (Kohle) 53,
  7. 7 Mol-Silicium 42,6 Siliciumdioxid 3 7
DE2922280A 1979-05-31 1979-05-31 Verfahren zum Herstellen von pulverförmigem ß-Siliziumcarbid Expired DE2922280C2 (de)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE3327101A1 (de) * 1982-07-28 1984-02-02 Tokai Carbon Co. Ltd., Tokyo Verfahren zur herstellung eines mit sic-whiskers verstaerkten verbundmaterials
WO1989010329A1 (fr) * 1988-04-28 1989-11-02 Institut Strukturnoi Makrokinetiki Akademii Nauk S PROCEDE POUR OBTENIR DU CARBURE DE SILICIUM beta

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2737521A1 (de) * 1976-08-20 1978-02-23 Nippon Crucible Co Verfahren zur herstellung eines pulvers von siliziumcarbid des beta-typs

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