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DE2919619A1 - Verfahren zur herstellung von glasfaser-lichtwellenleitern - Google Patents

Verfahren zur herstellung von glasfaser-lichtwellenleitern

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Publication number
DE2919619A1
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DE
Germany
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base plate
rod
produced
preform
reaction
Prior art date
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Application number
DE19792919619
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English (en)
Inventor
John Irven
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
International Standard Electric Corp
Original Assignee
International Standard Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by International Standard Electric Corp filed Critical International Standard Electric Corp
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Ceased legal-status Critical Current

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Description

J. Ir ve n-I1I
Verfahren zur Herstellung von Glasfaser-Lichtwellenleitern
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Glasfaser-Lichtwellenleiters mit einem radialen Profil des Brechungsindexes, insbesondere zur Herstellung von dessen Vorform, bei dem aus einer chemischen Dampfphasenreaktion das Glasmaterial zunächst auf der Flammenoberfläche einer Grundplatte, die um eine senkrecht auf ihrer Flammenoberfläche stehende Achse gedreht wird, parallel zu dieser Drehachse niedergeschlagen wird, und dann auf der freien Endfläche der durch die Niederschlagung auf der Grundplatte erzeugten und mit dieser gedrehten stabförmigen Vorform.
Ein derartiges Verfahren ist in den älteren Patentanmeldungen DE-OS 28 35 326 und P 29 13 726 vorgeschlagen. Das Gradientenprofil der Vorform und damit auch das des Lichtwellenleiters wird bei der Anmeldung DE-OS 28 35 326 dadurch erzeugt, daß die Niederschlagung des Glasmaterials durch eine Anordnung von konzentrischen Brennerdüsen geschieht, wobei die Zusammensetzung der dort reagierenden Gase von Düse zu Düse in radialer Richtung derart unterschiedlich ist, daß eine vorbestimmte radiale Verteilung des Brechungsindexes entsteht, Die Niederschlagung des Glasmaterials erfolgt durch Flammenhydrolyse.
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Bei der Anmeldung P 29 13 726 erfolgt die Niederschlagung durch eine Reihe von parallel angeordneten Brennerdüsen, wobei die Zusammensetzung der dort reagierenden Gase ebenfalls von Düse zu Düse in ."-radialer Richtung derart unterschiedlich ist, daß eine vorbestimmte radiale Verteilung des Brechungsindexes entsteht. Die Niederschlagung des Glasmaterials erfolgt durch eine chemische Dampfphasenreaktion.
Bei beiden Verfahren wird die Fläche, auf der das Glasmaterial niedergeschlagen wird, in axialer Richtung von den Düsen wegbewegt, und die erzeugte Vorform wird in einem weiteren, getrennten Arbeitsgang zur Glasfaser ausgezogen.
Aufgabe
Es ist Aufgabe der Erfindung, ein weiteres Verfahren der eingangs genannten Art anzugeben.
Lösung
Die Aufgabe wird nach einem der Ansprüche 1 bis 3 gelöst. Weiterbildungen ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Beschreibung
Die Erfindung wird nun anhand der Zeichnungen beispielsweise näher erläutert.
Es zeigen:
Fig.l ein Verfahren mit einem Flammhydrolysebrenner,
Fig.2 ein Verfahren mit einem Flammhydrolysebrenner nach Fig.l und einen weiteren Brenner zum Schmelzen des niedergeschlagenen Glasmaterials,
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J.Irven-l^
Pig.3 ein Verfahren mit einem Plasmabrenner und
Fig.4 ein Verfahren, bei dem die Vorform nach einem der Verfahren nach Fig.l bis 3 hergestellt wird und gleichzeitig zur Glasfaser ausgezogen wird.
In der folgenden Beschreibung ist der Ausdruck "Niederschlagung aus einer chemischen Dampfphasenreaktion" derart zu verstehen, daß er u.a. die Niederschlagung durch die Flammenhydrolyse und die Niederschlagung durch eine Reaktion in einem durch Hochfrequenz angeregten Plasma.
Das erste Verfahren zur Herstellung einer Vorform eines Glasfaser-Lichtwellenleiters verwendet die Flammenhydrolyse. In Fig.l wird ein Brenner 10 mit Wasserstoff und Sauerstoff gespeist. Der Sauerstoff wird durch einen nicht gezeigten Behälter zur Anreicherung mit Dampf geleitet, der einen Teil des Gasflusses durch eine Auswahl von verschiedenen Flüssigkeiten durchperlen läßt, um deren Dämpfe aufzunehmen und zum Brenner zu transportieren. In typischer Weise enthalten diese Flüssigkeiten Siliziumtetrachlorid, das in der Flamme reagieren soll,um Siliziumdioxid zu erzeugen, und Germaniumtetrachlorid, Phosphoroxidchlorid (POCl,)und Borchlorid (BCl,), die in der Flamme reagieren, und
2^ Oxide produzieren, die das Siliziumdioxid dotieren und damit seinen Brechungsindex beeinflussen. Mit einer anderen Apparatur zur Anreicherung des Trägergases mit Dämpfen kann eines oder mehrere der Halogenide durch Hydride ersetzt werden. Die aus dem Brenner ausströmende
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Flamme 11 wird gegen eine Grundplatte 13 oder einen Stab gerichtet, auf deren oder dessen Oberfläche sieh der Niederschlag der Flammhydrolyse ansammelt. Die Grundplatte oder der Stab 13 wird um ihre Achse gedreht, und gleichzeitig wird der Brenner von einer Seite zur anderen Seite quer über die Endfläche des Stabes oder die Oberfläche der Grundplatte entlang einer Linie geführt, die durch die Achse verläuft. Auf diese Weise ist dafür gesorgt, daß sich der Niederschlag auf der gesamten Endfläche ansammelt. Es sei darauf hingewiesen, daß, wenn die Niederschlagsrate konstant wäre, und die Querbewegung in einer geraden Linie und mit gleichmäßiger Geschwindigkeit erfolgen würde, sich der Niederschlag gegen die Mitte der Oberfläche mit einer größeren Geschwindigkeit aufbauen würde» Dies ist unerwünscht, so daß wenigstens einer dieser 3 Parameter geändert werden muß, um einen gleichmäßigen Niederschlag zu erhalten. Ein wesentliches Merkmal der vorliegenden Erfindung ist die Beeinflussung der Flammenhydrolyse synchron mit der Querbewegung, um das Reaktionsprodukt derart zu verändern, daß ein Gradientenprofil des Brechungsindexes entsteht. Dies wird dadurch erreicht, daß die relativen Anteile der Gasflüsse durGh die verschiedenen Flüssigkeiten verändert werden, die die Dampfreagenzien zur Bildung des Niederschlages liefern. So werden in dem Teil der Querbewegung von der Mitte in Richtung zum Umfang die relativen Anteile der Ausgangsmaterialien der den Brechungsindex erhöhenden Mittel, wie z.B. Germanium- und Phosphorpentoxid, mehr und mehr vermindert. Es wurde daher für nützlich befunden, die zyklischen Änderungen der Durchflußgeschwindigkeiten, die nötig sind, um die Endfläche des Stabes 13 gleichmäßig zu bedecken, denjenigen zyklischen Änderungen zu
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überlagern, die nötig sind, um das geforderte Gradientenprofil des Brechungsindexes zu erreichen. Entsprechend einer bevorzugten Ausbildung der Vorform erstreckt sich das Gradientenprofil des Brechungsindexes nicht bis zum äußeren Rand, sondern es wird ein Oberflächenbereich von im wesentlichen konstantem Brechungsindex aufgetragen, von wo der Brechungsindex langsam in näherungsweise parabolischer Form bis zum maximalen Wert in der Mitte ansteigt.
Der Stab wird langsam vom Brenner 10 wegbewegt mit einer Geschwindigkeit, die der Niederschlagsrate auf seiner Endfläche angepaßt ist, so daß der Abstand zwischen dem Brenner und der Oberfläche, auf die die Flamme 11 auftrifft, konstant gehalten wird.
!5 Es wäre zu bevorzugen, die Niederschlagsbedingungen derart zu wählen, daß der Niederschlag beim Niederschlagen direkt glasig wird, anstatt, daß der Niederschlag in einer nichtglasigen Form in Gestalt von Glaspartikeln erfolgt, die ein darauffolgendes Erschmelzen zum glasigen Zustand notwendig macht. Es wurde jedoch gefunden, daß mit dieser Niederschlagsmethode dies nicht möglich ist, wenn man flüchtige Dotiermittel wie z.B. Germaniumdioxid, Phosphorpentoxid oder Boroxid in den Niederschlag einbauen will. Die Flüchtigkeit dieser Dotiermittel ist so groß, daß es bei diesem Niederschlagsverfahren nicht möglich ist, daß ein bedeutender Anteil dieser Dotiermittel im Niederschlag zurückbleibt. Um eine mit diesem Dotiermittel dotierte Vorform herzustellen, wird der Niederschlag zunächst bei einer Temperatur, bei der er
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einen dichten partikelförmigen Niederschlag bildet, aufgesammelt und darauf bei einer höheren Temperatur, die gerade hoch genug ist, den Niederschlag glasig zu machen, gesintert.
Das darauffolgende überführen des partikelförmigen Niederschlages kann dadurch geschehen, daß man die stabförmige Vorform 13 und den Niederschlag auf ihrer Endfläche vom Brenner durch einen niehtgezeigten Ofen hindurch abzieht. Es ist natürlich nicht notwendig, daß die überführung in den glasigen Zustand zusammen mit der Niederschlagung erfolgt. Falls erwünscht, kann das überführen in den glasigen Zustand als ein vollständig getrennter unabhängiger darauffolgender Verfahrensschritt durchgeführt werden. Alternativ dazu kann auch ein zyklisches Arbeitsverfahren angewendet werden, bei. dem die Zufuhr der Dämpfe zum Brenner eine zeitlang unterbrochen wird, wenn eine vorgegebene Dicke des teilchenförmigen Niederschlags erreicht worden ist, und die Flamme so eingestellt werden, daß ihre Temperatur genügend erhöht wird, um den Niederschlag glasig zu machen, bevor mit dem Niederschlagen wieder weiter fortgefahren wird.
Ein weiteres alternatives Verfahren, um einen Niederschlag, den man nicht direkt glasig machen kann, in den glasigen Zustand zu überführen, verwendet eine Art einer Niederschlagung zusammen mit einer Verglasung. Dabei wird der Niederschlag in Partikelform in einer lokalisierten quer über die Endfläche des Stabes (oder des darauf niedergeschlagenen Materials) bewegten Zone gebildet,
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und das dabei in Partikelform niedergeschlagene Material wird in einer zweiten lokalisierten Zone glasig geschmolzen, die ebenfalls quer über die Endfläche (oder das darauf niedergeschlagene Material) bewegt wird. Eine mögliche Anordnung zur Durchführung dieses Verfahrens ist in Fig.2 gezeigt. Diese unterscheidet sich von der Anordnung nach Fig.l nur darin, daß ein zweiter Brenner 20 vorhanden ist, der gemeinsam mit dem ersten Brenner 10 quer über die Endfläche, auf der niedergeschlagen wird, bewegt wird. Dieser Brenner wird lediglich mit Wasserstoff und Sauerstoff ohne jegliche zusätzliche Dämpfe versorgt, und ist so eingestellt, daß er eine Flamme 21 erzeugt, die heiß genug ist, um den beim Durchgang des Brenners 10 mit seiner Flamme 11 gebildeten Niederschlag zu erschmelzen. Zu diesem Zweck ist die Anordnung derart ausgestaltet, daß die Flamme 21 in ihrem Weg dem der Flamme 11 folgt. Am Ende jeder Querbewegung in einer Richtung wird die relative Position der beiden Brenner umgekehrt, so daß die Anordnung zur Querbewegung zurück in der entgegengesetzten Richtung bereit ist.
In einer weiteren nichtgezeigten Abwandlung umgibt der zweite Brenner den ersten in einer konzentrischen Anordnung.
Bei der bisherigen Beschreibung wurde zur Niederschlagung nur die Flammenhydrolyse angeführt. Ein dazu alternatives Verfahren, das verwendet werden kann, ist die Niederschlagung aus einem durch Hochfrequenz angeregten Plasmastrahl. Ein Merkmal der Flammende· hydrolyse besteht darin, daß wegen der Gegenwart von
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Wasserstoff und Sauerstoff bei der Reaktion, das entstehende Produkt zu Verunreinigungen durch OH-Gruppen neigt, die für Absorptionsbanden verantwortlich sind, die sich in dem Bereich des Spektrums hineinerstrecken, für den die Faser bestimmt ist. Bei einem Verfahren der Niederschlagung aus einem Plasmastrahl, ist es möglich, eine Reaktion zu wählen, von der Wasserstoff und wasserstoffhaltige Verbindungen ausgeschlossen sind, so daß keine OH-Gruppen entstehen können, die
^P ansonsten in den Niederschlag eingebaut werden könnten. Die-Pig«.3 zeigt eine Anordnung mit einem durch Hochfrequenz angeregten Plasmabrenner. Diese unterscheidet sich von der Anordnung nach Fig.1 nur dadurch, daß der Flammenhydrolysebrenner durch einen Plasmabrenner 30 ersetzt ist. Dieser Brenner hat eine konzentrische Anordnung, bei der ein durch Hochfrequenz (im Bereich von bis 27 MHz) angeregter Sauerstoff-Plasmastrahl.aus dem inneren Kanal strömt, wogegen die dampfförmigen Materialien, die den Niederschlag bilden sollen, aus dem den inneren Kanal umgebenden ringförmigen äußeren Kanal in den Plasmastrahl hineinströmen. Diese Materialien werden durch den Sauerstoff des Plasmas oder durch das Sauerstoffgas, das die Dämpfe mitführt, in Oxide umgesetzt. Diese Dämpfe können dieselben. Halogenide und Oxidhalogenide sein, die in der oben beschriebenen Anordnung nach Fig.l verwendet werden. In diesem Beispiel ist die entstehende Reaktion jedoch eine direkte Oxidation anstatt einer Hydrolyse. Der Plasmastrahl kann genügend Energie liefern, um in dem dem Brenner direkt gegenüberliegenden Bereich die Verglasung von Material zu fördern, welches im
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Bereich näher zum Rand des Strahls in nicht glasiger Form niedergeschlagen worden ist. Ein spezieller getrennter darauffolgender Verfahrensschritt zur Verglasung von niedergeschlagenem Material, das eines 5 oder mehrere flüchtige Dotiermittel wie z.B. Germaniumdioxid enthält, ist daher nicht notwendig.
Es ist darauf hinzuweisen, daß jede der oben beschriebenen Anordnungen derart betrieben werden kann, daß fortlaufend eine optische Glasfaser hergestellt werden kann. Dies ist in Fig.4 gezeigt. Jedoch sind dazu auch andere Verfahren zur Herstellung der Vorform geeignet, bei denen eine Niederschlagung des Glasmaterials in axialer Richtung, bezogen auf die Vorform, erfolgt, beispielsweise auch die in den beiden eingangs genannten älteren Patentanmeldungen vorgeschlagenen Verfahren.
Bei der Anordnung nach Fig.4 wird ein Flammenhydrolysebrenner oder ein Plasmabrenner 40 quer über das Ende einer Vorform 43 bewegt, so daß auf der freien Endfläche der Vorform laufend durch die Flamme 41 neues Material aufgetragen wird. Die zur Herstellung der Vorform zunächst notwendige Grundplatte zur Niederschlagung ist hier bereits entfernt, so daß die Vorform alleine um ihre Achse gedreht und vom Plasmabrenner oder Flammenhydrolysebrenner 40 durch nichtgezeigte Mittel weggezogen wird, die derart eingestellt sind, daß das Wegziehen der Vorform mit einer Geschwindigkeit erfolgt, die derjenigen angepaßt ist, mit der das Material aufgetragen wird, so daß zwischen dem Brenner 40 und der Endfläche der
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Vorforin 43 ein konstanter Abstand eingehalten wird. Diese die Vorform vom Brenner in axialer Richtung wegbewegenden Mittel führen die Vorform gleichzeitig in einen Faserziehofen 45, in welchem das andere Ende auf eine Temperatur erhitzt wird, bei der es zur Paser 46 ausgezogen werden kann. Die entstehende Faser wird auf eine Trommel 47 aufgewickelt. Normalerweise wird die Faser durch ein Beschichtungsbad (nicht gezeigt) geführt, bevor sie auf die Trommel aufgewickelt wird, um die frisch gezogene Faser mit einer Schutzschicht zu überziehen, die ihre Oberfläche vor einer Zersetzung an der angreifenden Atmosphäre schützt. Es wurde herausgefunden, daß,auch wenn sich die Vorform andauernd um ihre Achse dreht, während sie zur Faser ausgezogen wird, es nicht notwendig ist, die gezogene Faser synchron mit der Vorform rotieren zu lassen, weil nämlich eine andauernde Scherung am Zugpunkt hingenommen werden kann.
Es wird angenommen, daß die oben beschriebenen Nieder-Schlagsreaktionen wenigstens vorzugsweise homogene Dampfphasenreaktionen sind, bei denen ein Russ (soot) aus gemischten Oxiden gebildet wird. Dieser·wird darauf in Partikelform niedergeschlagen und darauffolgend gesintert oder er wird niedergeschlagen,und der Russ wird gleichzeitig in den glasigen Zustand geschmolzen. Ein weiteres alternatives Niederschlagsverfahren kann angewendet werden, bei dem eine heterogene Oberflächenreaktion erfolgt, bei der Glas direkt auf der Substratoberfläche aufwächst. Es ist typisch für eine heterogene
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Reaktion, das sie bei einer niedrigeren Substrattemperatur vonstatten gehen kann, als bei der Temperatur, die bei einer äquivalenten homogenen Reaktion notwendig ist, damit sich ein glasiger Niederschlag bildet. Die Niederschlagung aus einer Reaktion in einem Plasmastrahl, die im Zusammenhang mit der Fig.3 beschrieben wurde, wird für eine hauptsächlich homogene Reaktion gehalten, wenn sie unter normalen Betriebsbedingungen und Flußgeschwindigkeiten verläuft, jedoch kann man durch eine Änderung der Apparatur, derart, daß der Plasmabrenner, das Substrat und die Anordnung zur Querbewegung in einer Umgebung unter reduziertem Druck arbeiten anstatt unter dem atmosphärischen Druck eine heterogene Reaktion fördern, bei der der Niederschlag direkt in glasiger Form erfolgt. Eine solche Reaktion geschieht beispielsweise bei einem Betrieb bei einem Druck im Bereich von 1 bis 50 Torr mit einem induktiven oder H-Flasma der Frequenz von 27 MIIz und der Leistung von mehreren Kilowatt.
Das induktive Plasma kann auch durch ein höher frequentes Mikrowellenplasma ersetzt werden, beispielsweise mit 2,1JS GHz, wobei die Anforderungen an den Druck und die Leistung im wesentlichen unverändert bleiben.
Eine heterogene Oberflächenreaktion kann bei atmosphärischem Druck durch eine thermisch aktivierte Reaktion gefördert werden, obwohl bei relativ niedrigen Niederschlagsraten angenommen wird, daß der Betrieb bei vermindertem Druck keine notwendige Bedingung für eine plasmaaktivierte, heterogene Oberflächenreaktion ist, vorausgesetzt, daß die FlußgeschwJndigkeit, die Konzentration der Reagenzien und die Ionen- und Elektronentemperaturen der Plasmaentladung so gewählt sind, daß eine geringe Konzentration von aktivierten spezifischen Reagenzien im Plasma herrscht.
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L e e r s e i t e

Claims (14)

  1. Patentanwalt
    Dipl.-Phys.Leo Thul
    Kurze Str.8
    7 Stuttgart 30
    J.Irven-14
    INTERNATIONAL STANDARD ELECTRIC CORPORATION, NEW YORK
    Patentansprüche
    r\ ■"■■■;■" - -,■■ :i :■■■
    Verfahren zur Herstellung einer Vorform eines Glasfaser-Lichtwellenleiters mit einem radialen Profil des Brechungsindexes, bei dem aus einer chemischen DampfPhasenreaktion das Glasmaterial zunächst auf der flachen Oberfläche einer Grundplatte, die um eine senkrecht auf ihrer flachen Oberfläche stehende Achse gedreht wird, parallel zu dieser Drehachse niedergeschlagen wird, und dann auf der freien Endfläche der durch die Niederschlagung auf der Grundplatte erzeugten und mit dieser gedrehten stabförmigen Vorform, dadurch gekennzeichnet, daß das Niederschlagen des Glasmaterials durch eine einzige Brennerdüse (10, 30) erfolgt und daß beim Niederschlagen die Brennerdüse und die Grundplatte mit der erzeugten Vorform quer zu deren Achse relativ zueinander bewegt werden und die Reaktion dabei derart beeinflußt wird, daß die erzeugte Vorform ein Gradientenprofil des Brechungsindexes erhält (Fig.1, 2, 3).
    Kg/Sch .. " ""
    11.05.1979
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  2. 2. Verfahren zur Herstellung eines Glasfaser-Lichtwellenleiters mit einem radialen Profil des Brechungsindexes, bei dem die stabförmige Vorform dadurch hergestellt wird, daß aus einer chemischen Dampfphasenreaktion das Glasmaterial zunächst auf der flachen Oberfläche einer Grundplatte, die um eine senkrecht auf ihrer flachen Oberfläche stehende Achse gedreht wird, parallel zu dieser Drehachse niedergeschlagen wird und dann auf der freien Endfläche der durch die Niederschlagung auf der Grundplatte erzeugten und mit dieser gedrehten stabförmigen Vorform, dadurch gekennzeichnet, daß das Niederschlagen des Glasmaterials durch eine einzige Brennerdüse (40) erfolgt und daß beim Niederschlagen die Brennerdüse quer über die flache Oberfläche der Grundplatte oder quer über die freie Endfläche der erzeugten stabförmigen Vorform (43) bewegt wird, und die Reaktion dabei derart beeinflußt wird, daß die erzeugte Vorform (43) ein Gradientenprofil des Brechungsindexes erhält und daß am anderen Ende der erzeugten stabförmigen Vorform (43) die Grundplatte entfernt wird und dieses Ende erhitzt und daraus die Glasfaser (46) gezogen wird, während auf der freien Endfläche der gedrehten stabförmigen Vorform weiteres Glasmaterial niedergeschlagen wird (Fig.4).
  3. 3. Verfahren zur Herstellung eines Glasfaser-Lichtwellenleiters mit einem radialen Profil des BrechungsIndexes, bei dem die stabförmige Vorform dadurch hergestellt wird, daß aus einer chemischen Dampfphasenreaktion das Glasmaterial zunächst auf der flachen Oberfläche einer Grundplatte, die um eine senkrecht auf ihrer flachen Oberfläche stehende Achse gedreht wird, parallel zu dieser Drehachse niedergeschlagen wird und dann auf der freien Endfläche der durch die Niederschlagung auf der Grundplatte
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    erzeugten und mit dieser gedrehten stabförmigen Vorform, dadurch gekennzeichnet, daß am anderen Ende der erzeugten stabförmigen Vorform die Grundplatte entfernt wird und dieses Ende erhitzt und daraus die Glasfaser gezogen wird, während auf der freien Endfläche der gedrehten stabförmigen Vorform weiteres Glasmaterial niedergeschlagen wird.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß beim Niederschlagen die Brennerdüse (10, 30, 40) quer über die flache Oberfläche der rotierenden Grundplatte bewegt wird.
  5. 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß beim Niederschlagen die rotierende Grundplatte (13) oder die rotierende erzeugte stabförmige Vorform (43) in Richtung der Drehachse von der Düse mit einer Geschwindigkeit wegbewegt wird, die der Niederschlagungsrate des Glasmaterials angepaßt ist.
  6. 6. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Niederschlagung durch eine .Flammenhydrolyse erfolgt (Fig.1, 2).
  7. 7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die chemische Dampfphasenreaktion eine Reaktion ist, bei der Wasserstoff oder wasserstoffhaltige Verbindungen ausgeschlossen sind.
    .«09847/0.84:6
  8. 8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 , 2, 4, 5 und 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Niederschlag durch eine Reaktion in einem Plasmastrahl gebildet wird (Fig,3)
  9. 9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1, 3, 4, 5, 6 und 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Glasmaterial zunächst in einer nicht glasigen Form niedergeschlagen wird und danach zu Glas geschmolzen wird.
  10. 10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Schmelzen zum Glas zusammen mit dem Niederschlagen durchgeführt wird.
  11. 11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 , 2, 4, 5, 6, 9 und 10, dadurch gekennzeichnet, daß durch die Brennerdüse (10, 40), die quer über die Oberfläche der Grundplatte oder über die freie Endfläche der Vorform bewegt wird, das Glasmaterial in einer nicht glasigen Form niedergeschlagen wird und eine zweite, parallel mit der ersten Brennerdüse (10) bewegte Brennerdüse (20) vorhanden ist, die den durch die erste Brennerdüse (20) bewirkten Niederschlag zu Glas schmilzt (Fig.3).
  12. 12. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Reaktion im Plasmastrahl unter Bedingungen durchgeführt wird, die bewirken, daß der Niederschlag durch eine heterogene, an der Oberfläche stattfindende Reaktion gebildet wird.
  13. 13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Reaktion im Plasmastrahl bei einem Druck im Bereich von 1 bis 50 Torr durchgeführt wird.
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  14. 14. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprücher dadurch gekennzeichnet, daß das niedergeschlagene Glasmaterial aus Siliziumdioxid dotiert mit einem oder mehreren Oxiden von Germanium, Phosphor und Bor besteht. :
    909847/084
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