DE2910580A1 - Ausrichtvorrichtung - Google Patents
AusrichtvorrichtungInfo
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Classifications
-
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Description
Patentanwälte
Dipl.-Ing. Dipl.-Chem. Dipl -Ing.
E. Prinz - Dr. G. Hauser - G. Leiser 2910580
Ernsbergerstrasse 19
8 München 60
16» März 1979
TEXAS INSTRUMENTS DEUTSCHLAND GMBH Haggertystraße 1
8050 ffreising
8050 ffreising
Unser Zeichen: T 3190
Ausr ic htvorr ic ht ung
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Ausrichten
eines auf einem in wenigstens einer Achsrichtung einstellbaren Träger im Blickfeld einer Fernsehkamera
angeordneten Objekts in bezug auf eine bekannte Bezugsposition, wobei die Fernsehkamera eine Fläche des Objekts
und einen das Objekt umgebenden Randbereich in einem Zeilenraster abtastet und elektrische Videosignale erzeugt,
die einem Bild des abgetasteten Bereichs entsprechen, mit einer Digitalisierungsanordnung, welche die Videosignale
empfängt und daraus digitale Videosignale mit zwei Signalwerten bildet, die für die vom Objekt stammenden Videosignale
überwiegend einen ersten Signalwert und für die vom Randbereich stammenden Videosignale den zweiten Signalwert haben, Analyseanordnungen zur Analyse der digitalen
Videosignale in wenigstens einer Gruppe von Datenfenstern,
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. ■ - 11 -
die getrennte» örtlichen Bereichen des Videobildes entsprechen,
die in einer zugeordneten Achsrichtung vorbestiramte
Abstände voneinander und unterschiedliche Abstände von einer zugeordneten Kante de's Bildes des Objekts haben,
wenn das Objekt auf die Bezugsposition ausgerichtet ist,
wobei die Analyseancrdnungen auf das Erscheinen von digitalen Videosignalen des ersten Signalwerts in jedem Datenfeiister
ansprechen und für jede Datenfenstergruppe Ausgangssignale liefert, welche von der Anzahl der in einem
vorgegebenen Sinne in. der zugeordneten Achsrichtung in
ununterbrochener Reihenfolge gezählten Datenfenster abhängt, in deren Verlauf der Anteil an digitalen Videosignalen,
des ersten Signalwerts einen vorbestimmten Mindestwert überschreitet, und ciit einer Steueranordnung,
welche die Stellung des Trägers um einen den Ausgangssignalen der Analyseanordnung nach Größe und Richtung entsprechenden
Betrag verändert.
Eine Vorrichtung der vorstehend angegebenen Art ist Gegenstand
der älteren Patentanmeldung P 28 03 635.5. Bei dem in dieser älteren Patentanmeldung beschriebenen Aasführungsbeispiel
sind für jede Achsrichtung der Verstellung des !Prägers zwei Datenfenstergruppen vorgesehen, die paarweise
su beiden Seiten des Objekts liegen, so daß in der Ausrichtstellung des Objekts keine Überlappung zwischen
den Bild des Objekts und den den Datenfenstern entsprechenden Videobildbereichen besteht, während bei Fehlausrichtung,
je nach deren Richtung, die Videobildbereiche von einem oder mehreren Datenfenstern der einen oder der
anderen Batenfenstergruppe vom Bild des Objekts überlappt
werden. Die Anzahl der überlappten Datenfenstervideobildbereiche
ist dann ein Maß für die Größe der jPehlausrichtung,
und die Datenfenstergruppe, zu der die überlappten Datenfenster-Videobildbereiehe
gehören, zeigt die Richtung der JFehlausrichtung an.
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BAD ORIGINAL
Aus der DE-AS 22 25 011 ist andrerseits eine Ausrichtvorrichtung bekannt, bei der jeder Achsrichtung der
Verstellung nur eine Datenfenstergruppe zugeordnet ist.
Bei dieser bekannten Ausrichtvorrichtung entsprechen, die Datenfenstergruppen zusammenhängenden flächenhaften
Bereichen des Videobildes, die sich in vertikaler Richtung
über mehrere Zeilen des Abtastrasters erstrecken und an zwei Kanten des Bildes des Objekts so angeordnet
sind, daß im Fall einer Pehlausrichtung eine Überlappung
mit dem Bild des Objekts besteht. Die digitalen Videosignale werden in mehreren aufeinanderfolgenden Abtastrastern
analysiert, und wenn, in einer Datenfenstergruppe Videosignale des ersten Signalwerts festgestellt werden,
wird der Träger des Objekts, der durch einen Kreuztisch gebildet ist, in der Richtung verstellt, in welcher das
Objekt von dem der Datenfenstergruppe entsprechenden Videobildbereich wegbewegt wird. Dieser Vorgang wird solange
wiederholt, bis in der betreffenden Datenfenstergruppe keine digitalen Videosignale des ersten Signalwerts mehr
festgestellt werden, was bedeutet, daß keine Überlappung mehr besteht. Das Objekt ist dann, auf die Bezugsposition
ausgerichtet. Diese bekannte Ausrichtvorrichtung arbeitet nach dem Prinzip der Stellungsregelung im Sinne der Beseitigung
eines Fehlersignals. Die Ausrichtung erfolgt daher
im Verlauf von mehreren aufeinanderfolgenden Abtastrastern, in denen jeweils überprüft wird, ob noch eine Überlappung
besteht, und zutreffendenfalls eine weitere Verstellung des Trägers erfolgt. Das System ist daher verhältnismäßig
langsam. Es setzt ferner voraus, daß rings um jedes Objekt ein freier Raum vorhanden ist, dessen Breite mindestens
dem doppelten Ausrichtbereich entspricht, damit bei der größten vorkommenden Fehlausrichtung noch keine Überlappung
eines einer Datenfenstergruppe entsprechenden Videobildbereichs
mit einem anderen Objekt erfolgt. Diese
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■bekannte Ausrich.tvorrich.tung eignet sich daher nicht für
das Aasrichten von Gegenständen, die mit sehr kleinen
Zwischenräumen eng neoeneinander auf dem Träger angeord—
net s ind.
Im Gegensatz dazu werden bei der den Gegenstand der älteren
Patentanmeldung P 28 03 653-5 bildenden Auarichtvorriclitung
die die Größe und die Richtung der j?ehlausrichtung
anzeigenden Informationen im Verlauf einer einzigen Abtastung dea Zeilenrastera erhalten, und die Verstellung
des Prägers erfolgt entsprechend diesen Informationen aniiuhliaßand
in einem Zuge. Dies entspricht der größtmöglichen Auarichtgeschwindigkeit, die nit einer Pernsehabtaütung
erzielbar ist. Die Zwischenrauae zwischen den Bildern
der Objekts können dabei sehr viel kleiner als die den Ausrichtbereich, bestimmende Breite der den Datenfen—
stergruppen entsprechenden Bildbereiche sein, denn es ist lediglich, erforderlich» daß der einem einzigen Datenfenster
der Gruppe entsprechende Bildbereich in einem Zv/isehenraum
liegt. Die den einzelnen Datenfenstern innerhalb der Gruppe entsprechenden Bildbereiche können sehr schmal gehalten
werden, beispielsweise in der Breite einer einzigen Fernsehsaile.
Der maximale Ausrichtbereich, entspricht dagegender Anzahl der Datenfenster in jeder Gruppe, und die Ausrichtgenauigkait
ist durch den Abstand zwischen zwei Datenfenster-Bildbereichen
gegeben.
Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung einer Ausrichtvorrichtung dsr eingangs angegebenen Art, die unter Beibehaltung
der vorstehenden Funktionsweise und der sich daraus
ergebenden Vorteile einen noch einfacheren Aufbau ergibt«
Dies wird nach der Erfindung dadurch erreicht, daß für
jede Achsrichtung eine einzige Datenfenstergruppe vorgesehen
ist, und daß dann, wenn das Objekt auf die
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Bezugsposition ausgerichtet iat, in jede Datenfenstergruppe
die Anzahl der in dem vorgegebenen Sinn in der betreffenden Achsrichtung in ununterbrochener Reihenfolge
gezählten Datenfenster mit einem den Mindestwert überschreitenden Anteil an digitalen Videosignalen des
ersten Signalwerts gleich einer vorbestimmten, von Null verschiedenen Zahl ist.
Auch bei der Ausrichtvorrichtung nach der Erfindung erfolgt die Feststellung der Größe und Richtung des Ausrichtfehlers
durch Abzählen von Datenfenstern, was im Verlauf einer einzigen Abtastung des Zeilenrasters durchgeführt
werden kann. Es ist jedoch nur noch eine einzige Datenfenstergruppe für jede Abtastrichtung vorhanden, wodurch
der Schaltungsaufwand, insbesondere für die Analyseschaltungen, verringert wird. Durch eine besondere Maßnahme
wird erreicht, daß dennoch die Grüße und Richtung des Ausrichtfehlers feststellbar ist: Die Ausrichtstellung
des Objekts entspricht dem Fall, daß eine vorbestimmte Anzahl der Datenfenster-Videobildbereiche vom Bild des
Objekts überlappt ist und der Rest außerhalb des Bildes des Objekts liegt. Eine Abweichung von der vorbestimmten
Anzahl der überlappten Datenfenster-Videobildbereiche in der einen oder anderen Richtung gibt dann unmittelbar die
Größe und Richtung der erforderlichen Ausrichtkorrektur an.
Demzufolge ist die Vorrichtung nach der Erfindung vorzugsweise so ausgestaltet, daß die Steueranordnung die Stellung
des Trägers in jeder Achsrichtung um einen Wert verändert, der nach Größe und Richtung der Differenz zwischen der vorbestimmten,
von Null verschiedenen Zahl und der Anzahl der im vorgegebenen Sinn in dieser Achsrichtung in ununterbrochener
Reihenfolge gezählten Datenfenster der entsprechenden Datenfenstergruppe mit den vorbestimmten Mindestwert
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überschreitendem Anteil an'digitalen Videosignalen des
ersten Signalwerts entspricht.
Die Analyseschaltungen können gemäß einer vorteilhaften
Ausführungsform der Erfindung so ausgebildet sein, daß die von ihnen gelieferten Ausgangesignale unmittelbar
den Betrag und das Vorzeichen der Differenz zwischen der vorbestimmten Zahl und der Anzahl der gezählten Datenfenster
angeben.
Ein weiterer Vorteil der erfindungsgetnäßen Vorrichtung
besteht darin, daß es nicht erforderlich ist, die Lage der Datenfenster jeweils an die Form und Größe der aus—
zurichtenden Objekte anzupassen.
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29105H0
Y.'eitera Kexkrrale und Vorteile der Erfindung ergeben sich
sue tier folgenden Beschreibung eines Ausiührusgsbeispiels
ui: Hand cer 2eicfcmang» In der Zeichnung seigt:
Fig. 1 ein UbercicfctEschenia einer Ausricht- und
Erkennungsvorrichtung nach der Erfindung,
Fig. 2 einen Träger tnit Halbleiter-Chips als Beispiel
iür Objekte, die mit der Vorrichtung von Pig. 1
ausgerichtet werden können,
Pig. 3 äie mit der Vorrichtung von Pig. 1 auf dem Bildschirm
erzeugten Markierungen,
Fig. 4 drei verschiedene Beispiele für die Ausrichtung eines Objekts in bezug auf die Markierungen,
Pig. 5 Zeitäiagranirce von Signalen, die in der Vorrichtung
von Fig. 1 erzeugt werden,
pig. 6 ein genaueres Schaltbild einiger Bestandteile der Vorrichtung von Fig. 1,
Fig. 7 ein genaueres Schaltbild der Ausricht-Ablaufsteuersehaltung,
Fig. 8 ein genaueres Schaltbild des Ausrichtdetektors,
Fig. 9 das Blockschema der Vorschubsteueranordnung und eines Fehler-Detektors,
Fig. 10 ein genaueres Schaltbild des Markierungs-Geiieratora,-
f!: ( Ί 3 8 / (15??
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Pig. 11 das Schaltbild einer praktischen Ausführungsforo
des Zeilenzählers der Ausrioht-Ablaufsteuerschaltung,
Pig. 12 das Schaltbild einer praktischen Ausführungsform
verschiedener Bestandteile der Ausricht-Ablaufsteuerschaltung,
des Ausrieht-Betektors und des
Markierungs-Generators,
Markierungs-Generators,
Fig. 13 das Schaltbild einer praktischen Ausführungsform
verschiedener weiterer Bestandteile des Ausricht-Detektors
und
Fig. 14 das Schaltbild einer praktischen Ausführungsform weiterer Bestandteile des Ausrichtdetektors.
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Die in Fig. 1 dargestellte Einstell- und Ausrichtvorrichtung ist dazu bestimmt, ein Objekt 1 in einer
horizontalen Ebene in bezug auf einen festen Bezugspunkt, der durch einen vertikalen Pfeil R angedeutet
ist, genau auszurichten. Zu diesem Zweck enthält die Einstell- und Ausrichtvorrichtung einen Kreuztisch 2,
auf dessen Oberseite das Objekt 1 angebracht ist und der durch zwei Motoren 3 und 4 in zwei zueinander senkrechten
Richtungen verstellbar ist, die als X-Richtung und Y-Richtung bezeichnet werden. Die Motoren 3 und 4
sind vorzugsweise elektrische Schrittmotoren, die bei jedem Schritt eine genau festgelegte Verstellung des
Kreuztisches 2 in der zugeordneten Richtung bewirken, die beispielsweise 10 /um beträgt. Der Schrittmotor 3
ist der X-Motor, und der Schrittmotor 4 ist der Y-Motor.
Das Objekt 1 kann beispielsweise ein Werkstück sein, an welchem im Verlauf der Fertigung bestimmte Manipulationen
vorgenommen werden müssen, für welche die genaue Ausrichtung auf den Bezugspunkt R erforderlich ist.
Da es sich gewöhnlich um die Massenbearbeitung sehr kleiner Werkstücke mit gleichen Abmessungen handelt,
kann eine größere Anzahl dieser Werkstücke gleichzeitig auf dem Kreuztisch 2 angebracht werden, die dann der
Reihe nach auf den Bezugspunkt R ausgerichtet werden.
Ein bevorzugtes Anwendungsgebiet findet die Einstell- und Ausrichtvorrichtung bei der Fertigung von Halbleiterbauelementen.
Es ist dort bekanntlich üblich, eine große Anzahl von Bauelementen, wie Transistoren
oder integrierte Schaltungen, gleichzeitig auf einer einzigen Halbleiterscheibe geringer Dicke zu bilden
und diese Scheibe anschließend in die einzelnen Bauelemente zu zertrennen, welche die Form von rechteckigen
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Plättchen haben, »lie "Chips""genannt werden* Eine größere
Anzahl solcher Chips ist dann beispielsweise in" der. in
Fig. 2 dargestellten Weise, auf einem Träger 50 angeordnet,
Fig. 2 zeigt die ursprüngliche- kreisrunde Halbleiter—
scheibe 51 f auf der eine größere Anzahl von gleichartigen
Halbleitervorrichtungen 52 mi L x*echteckigfim Umriß gebildet
sind» Die Halbleitervorrichtungen 52'haben alle die
gleiche Größe und sind in regelmäßigen Spalten und Reihen angeordnet. Die Halbleiterscheibe 51 wird auf eine Unterlage
54 geklebt, die beispielsweise eine elastische Kunststoifolie
i3t, deren Band in einen Rahmen 55 eingespannt ist. Anschließend wird die Scheibe 51 in die einzelnen
Chips 52 getrennt, beispielsweise dadurch, daß die Scheibe
entlang zwei zueinander senkrechten Gruppen von in Abständen liegenden parallelen Linien über einen Teil ihrer
Dicke eingesägt wird, wodurch die Ränder der Chips 52 definiert werden. Die teilweise eingesägte Scheibe wird
dann zerbrochen» und die einzelnen Chips werden seitlich voneinander durch Strecken der Kunststoffolie getrennt,
so daß zwischen den Chips Zwischenräume 53 gebildet werden,
in denen das Material der Unterlage 54 sichtbar ist.
Die Größe der Chips 52 ist relativ zur Größe der Halbleiterscheibe
51 in Pig. 2 übertrieben dargestellt, weshalb die Anzahl der Chips in jeder Reihe und Spalte nur
klein ist. In Wirklichkeit kann die Anzahl der auf einer Halbleiterscheibe gebildeten Chips sehr groß sein und
mehrere Hundert betragen. Die Größe der Chips kann, je
nach Art flor Halbleitervorrichtung, sehr verschieden
sein, doch liegt die Länge der Kanten im allgemeinen in
der Größenordnung von einigen Millimetern.
Wie aus Fig. ?. weiter ku erkennen ist, sind die am Hand
der Scheibe liegenden Chips, d.h. die- letzten Chips in
f- :i 03 f /hs??
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jeder Reihe und Spalte, gewöhnlich unvollständig und daher nicht verwendbar. Es kann auch vorkommen, daß im
Innern einer Reihe ein Chip unvollständig ist oder ganz fehlt.
Zur Vornahme weiterer Manipulationen an den Chips 52,
die eine genaue Ausrichtung jedes Chips erfordern, wird der Träger 50 auf dem Kreuztisch 2 (Pig. 1) befestigt
und winkelmäßig genau ausgerichtet, so daß die Reihen in der X-Riehtung und die Spalten in der Y-Richtung liegen.
Der Kreuztisch 2 wird absatzweise in der Y-Richtung derart verschoben, daß die Chips einer Reibe nacheinander
in Deckung mit dem Bezugspunkt R gebracht werden. Zu diesem Zweck wird jeweils der X-Schrittmotor 3 für eine
Anzahl von Schritten angetrieben, die einer Verschiebung des Kreuztisches 2 um den Abstand JX zwischen den Mittelpunkten
zweier Chips 52 in der X-Richtung entspricht (Fig. 2), Wenn eine vollständige Reihe auf diese Weise
durchlaufen ist, wird der Y-Schrittmotor 4 für eine Anzahl von Schritten betätigt, die einer Verschiebung
des Kreuztisches 2 in der Y-Richtung um den Abstand JY zwischen zwei Chips 52 entspricht; dann wird die nächste
Reihe in der entgegengesetzten Vorsc'hubrichtung durchlaufen.
Diese absatzweise Verschiebung des Kreuztisches 2 ergibt
jedoch nur eine ungefähre Einstellung der Chips 52 auf den Bezugspunkt R; insbesondere kann sich ein Vorschubfehler
bei einer größeren Anzahl von Chips zu einem beträchtlichen Betrag summieren. Pur viele Manipulationen
ist es jedoch notwendig, daß jedes einzelne Chip sehr genau auf den Bezugspunkt R ausgerichtet wird, beispielsweise
so, daß sein Mittelpunkt (Schnittpunkt der Diagonalen) in genauer Deckung mit dem Bezugspunkt R steht.
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Diese Ausrichtung wird von der in Fig. 1 dargestellten Anordnung im Anschluß an die absatzweise Verschiebung
des Kreuztisches 2 vorgenommen.
Pur diesen AusrichtungsVorgang wird der über dem Bezugspunkt
R liegende Teil der Oberfläche des Trägers 50 durch ein Objektiv 5 auf die Fotokatode einer !Fernsehkamera
6 projiziert. Vorzugsweise ist die Vergrößerung des Objektivs 5 zur Anpassung an verschiedene Chipgrößen
einstellbar; beispielsweise können die Vergrößerungen 20 : 1, 40 : 1 und 80 : 1 vorgesehen sein. Die Vergrößerung
wird jeweils so gewählt, daß außer dem auszurichtenden Chip ein beträchtlicher TJmgebungsbereich abgebildet
wird, der beispielsweise mehrere vollständige Chips enthält. Zusätzlich zu der stufenweisen Umschaltung der
Vergrößerung ist das Objektiv 5 ferner vorzugsweise so ausgebildet, daß in jedem Vergrößerungsbereich eine
stufenlose Änderung der Vergrößerung (ZOOM-Effekt) möglich
ist.
Die !Fernsehkamera 6 kann eine handelsübliche, netzsynchronisierte
!Fernsehkamera sein, die mit Zeilensprung arbeitet und an ihrer Ausgangsleitung 7 die die abgebildete
!fläche darstellenden analogen Videosignale zusammen mit den für die Wiedergabe erforderlichen
Teilbild- und Zeilensynchronimpulsen liefert. Diese
normalen Videosignale werden über eine leitung 8 zu einem Video-Wähler und -Mischer 100 übertragen, der sie
bei entsprechender Einstellung über eine Leitung 9 zu einem Monitor 10 liefert, so daß ein Fernsehbild der
vom Objektiv 5 erfaßten Fläche auf dem Bildschirm des Monitors 10 wiedergegeben wird.
Die Ausgangsieitung 7 der Fernsehkamera 6 ist ferner
mit dem Eingang 201 eines Video-Digitalisierers 200
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verbunden, der die analogen Videosignale mit einem einstellbaren Schwellenwert vergleicht, der mit Hilfe
eines Potentiometers 202 einstellbar ist. Der Digitalisierer 200 gibt an seinem Ausgang 204 digitale Videosignale
DICTID A ab, die einen hohen Pegel (weiß) haben, wenn das analoge Eingangssignal den am Potentiometer
202 eingestellten Schwellenwert überschreitet, und
einen niedrigen Pegel (schwarz), wenn das analoge Eingangssignal unter dem Schwellenwert liegt. Der Ausgang
204- des Video-Digitalisierers 200 ist mit einem weiteren Eingang des Video-Wählers und -Mischers 100 verbunden,
der mittels einer Einstellvorrichtung 101 so einstellbar ist, daß er das digitale Videosignal
DIGVID A zum Monitor 10 überträgt, wobei gleichzeitig das über die Leitung 8 zugeführte normale Videosignal
unterdrückt wird. Der Monitor 10 gibt dann auf seinem Bildschirm ein digitales Videobild wieder, das nur aus
weißen und schwarzen Bildelementen besteht.
Der Schwellenwert für das digitale Videosignal DIGVID A wird mittels des Potentiometers 202 so eingestellt, daß
die von der Unterlage 54 und somit auch von den Zwischenräumen 53 stammenden Videosignale durchwegs unter diesem
Schwellenwert bleiben, während die von den Chips 52 stammenden Videosignale zum größten Seil den Schwellenwert
überschreiten. In dem mittels des Signals DIGVID A wiedergegebenen digitalen Fernsehbild erscheinen somit
die Chips 52 überwiegend weiß, während die Zwischenräume 53 und der die Scheibe 51 umgebende Träger 54
vollkommen schwarz wiedergegeben werden.
Die Ausgangsleitung 7 der Fernsehkamera 6 ist ferner mit
dem Eingang 301 einer Synehron-Irennstufe 300 verbunden. Diese trennt die Teilbild- und Zeilensynchronimpulse von
den analogen Videosignalen und gibt die Teilbildsynchron-
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impulse I1R und die Zexlensynchronimpulse ΊΜ an zwei getrennten
Ausgängen ab. Die Synchron-Trennstufe 300 hat einen dritten Ausgang, an welchem sie ein zusammengesetztes
Synchronsignal SYNC abgibt, das sowohl die
Teilbildsynchronimpulse als auch die Zeilensynchronirapulse enthält. Dieser dritte Ausgang ist mit einem
weiteren Eingang des Video-Wählers und -Mischers 100
verbunden, damit die für die Bildwiedergabe auf dem
Monitor 10 benötigten Synchronsignale auch dann zur
Verfügung stehen, wenn anstelle des normalen. Videosignals das digitale Videosignal DIGVID A für die Bildwiedergabe benutzt wird.
Teilbildsynchronimpulse als auch die Zeilensynchronirapulse enthält. Dieser dritte Ausgang ist mit einem
weiteren Eingang des Video-Wählers und -Mischers 100
verbunden, damit die für die Bildwiedergabe auf dem
Monitor 10 benötigten Synchronsignale auch dann zur
Verfügung stehen, wenn anstelle des normalen. Videosignals das digitale Videosignal DIGVID A für die Bildwiedergabe benutzt wird.
Die Synebron-Trennstufe 300 hat einen vierten Ausgang,
an dem sie ein Signal TOP abgibt, das für die ganze
Dauer eines gewählten Teilbildes einen hohen Pegel und während der Dauer des anderen Teilbildes einen niedrigen Pegel hat. Mittels einer Einstellvorrichtung 302 können entweder die geraden oder die ungeraden Teilbilder für die Abgabe des Signals TOP gewählt werden; das jeweils gewählte Teilbild wird für die später ausführlich erläuterte Markierung und Auswertung des Eernsehbildes verwendet. An einem fünften Ausgang wird ein kurzer Impuls OLR abgegeben, der mit der Vorderflanke des Signals TOP, also mit dem Beginn des gewählten Teilbildes zusammenfällt.
Dauer eines gewählten Teilbildes einen hohen Pegel und während der Dauer des anderen Teilbildes einen niedrigen Pegel hat. Mittels einer Einstellvorrichtung 302 können entweder die geraden oder die ungeraden Teilbilder für die Abgabe des Signals TOP gewählt werden; das jeweils gewählte Teilbild wird für die später ausführlich erläuterte Markierung und Auswertung des Eernsehbildes verwendet. An einem fünften Ausgang wird ein kurzer Impuls OLR abgegeben, der mit der Vorderflanke des Signals TOP, also mit dem Beginn des gewählten Teilbildes zusammenfällt.
Der das Zeilensynchronsignal LN führende Ausgang der
Synchron-Trennstufe 300 ist mit dem Steuereingang eines Bildelementgenerators 11 verbunden, der an seinem Ausgang eine Folge von Bildelementimpulsen PE abgibt, die einzelne Bildelemente entlang jeder Pernsehzeile definieren. Der Bildelementgenerator 11 wird durch die Zeilensynchronimpulse LN so synchronisiert, daß die Bildelementimpulse ΓΕ im Verlauf der Abtastung jeder Pern-
Synchron-Trennstufe 300 ist mit dem Steuereingang eines Bildelementgenerators 11 verbunden, der an seinem Ausgang eine Folge von Bildelementimpulsen PE abgibt, die einzelne Bildelemente entlang jeder Pernsehzeile definieren. Der Bildelementgenerator 11 wird durch die Zeilensynchronimpulse LN so synchronisiert, daß die Bildelementimpulse ΓΕ im Verlauf der Abtastung jeder Pern-
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sehzeile in genau definierter, stets gleicher Lage in bezug auf den Anfang der Fernsehzeile auftreten und
somit Bildelemente definieren, die in den verschiedenen Fernsehzeilen vertikal untereinander liegen. Die
Folgefrequenz der Bildelementimpulse PE beträgt annähernd 9,3 MHz, sie ist aber mittels einer Einstellvorrichtung
12 zum Zweck einer später noch erläuterten Justierung einstellbar.
Die die Signale FR und LN liefernden Ausgänge der Synchron-Trennstufe 300 sowie der Ausgang des Bildelementgenerators
11 sind mit entsprechenden Eingängen einer Ausricht-AblaufSteuerschaltung 400 verbunden.
Weitere Eingänge 401 der Ausricht-Ablaufsteuerschaltung 400, die zur Vereinfachung als eine einzelne
leitung dargestellt sind, sind mit einer Eingabevorrichtung 4-02 verbunden. Die Ausricht-Ablaufsteuersehaltung
erzeugt aufgrund der ihr zugeführten Eingangssignale an acht Ausgängen Signale LNX 1, LNX 2, PEX 1, PEX 2, LNG A,
LNG B, PEG A und PEG B, die in bestimmten Zeitpunkten und für eine festgelegte Dauer in jedem ausgewählten Teilbild
auftreten und einerseits einem Ausrichtdetektor 450 und andererseits einem Markierungsgenerator 500 zugeführt
werden. Der Markierungsgenerator 500 erzeugt aufgrund der ihm zugeführten Signale Markierungssignale MK A und MK B,
die zwei Signalpegel (weiß und schwarz) haben. Er bildet daraus ein zusammengesetztes Markierungssignal MK A - B,
das mittels des Video-Wählers und -Mischers 100 dem auf dem Monitor 10 wiedergegebenen Videosignal überlagert
werden kann, so daß auf dem wiedergegebenen Fernsehbild weiße Markierungslinien erzeugt werden.
Die mittels der Markierungssignale MK A und MK B auf dem
JFernsehsehirm wiedergegebenen Markierungen sind in Pig, 3
genauer dargestellt. Die Markierungssignale MK A erzeugen eine Gruppe A von sechzehn Markierungslinien A 15
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bis A O, von denen jede einen mittleren Abschnitt einer Fernsehzeile einnimmt* Zwei aufeinanderfolgende
Markierungslinien der Gruppe A sind durch einen Zwischenraum
getrennt, der einer jpernsehzeile des Teilbildes
(also drei Fernsehzeilen des vollständigen Bildes) entspricht. Die Markierungssignale MK B erzeugen
eine Gruppe B von sechzehn vertikalen Markierungslinien B 15 bis B O, die sich in vertikaler
Richtung erstrecken. Jede Markierungslinie B hat die Breite eines durch einen Bildelementimpuls PB definierten
Bildelements, und zwei aufeinanderfolgende vertikale Markierungslinien B haben einen Abstand, der
zwei Perioden der Bildelementimpulse PE entspricht.
Bei dem dargestellten Beispiel liegen die rechten Enden der Markierungslinien A 15 bis A 0 in der Verlängerung
der ersten vertikalen Markierungslinie B 15, und die unteren Enden der Markierungslinien B 15 bis B O
liegen auf der Höhe der ersten horizontalen Markierungslinie A 15. Diese Maßnahme ist jedoch nicht zwingend;
die Markierungslinien der beiden Gruppen A und B können sich auch überkreuzen oder in größerem Abstand voneinander
liegen.
Die Fernsehkamera 6 ist so ausgerichtet, daß die Zeilenrichtung des Fernsehbildes der X-Richtung des Kreuztisches
2 entspricht. Demzufolge liegen die Ränder des Bildes des jeweils auszurichtenden Chips 52 parallel zu den horizontalen
Markierungslinien A bzw. den vertikalen Markierungslinien B. Die länge der Markierungslinien ist beliebig; es ist aber günstig, wenn sie sich über einen
möglichst großen Teil der entsprechenden Abmessung des Chips 52 erstrecken. Ferner nehmen die Markierungslinien
auf dem Fernsehschirm in bezug auf das gedachte Bild des Bezugspunktes R eine solche lage ein, daß der
Chip 52 genau auf den Bezugspunkt R ausgerichtet ist,
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wenn der untere horizontale Rand seines Bildes zwischen den horizontalen Markierungslinien A 8 und A 7
liegt und der rechte vertikale Rand zwischen den Markierungslinien B 8 und B 7 liegt.
In Pig« 3 sind in unterbrochenen linien die Umrisse der Bilder von drei Chips 52', 52", 52·" angedeutet, die
auf dem Träger 50 dem auszurichtenden Chip 52 benachbart sind. Die Abstände zwischen den Markierungslinien
jeder Gruppe A und B sind so bemessen, daß mindestens eine Markierungslinie, vorzugsweise sogar mehrere Markierungslinien
vollständig innerhalb des Zwischenraums 53 zwischen zwei benachbarten Chips liegen. Dies bedeutet,
daß die Teilung der Markierungslinien in jeder Gruppe kleiner ist als der kleinste vorkommende Zwischenraum
53. Bei der in Pig. 3 dargestellten ausgerichteten Stellung des Chips 52 liegen dann acht Markierungslinien
jeder Gruppe, nämlich die Markierungslinien A 15 Dis A 8 und die Markierungslinien B 15 his
B 8, innerhalb des Bildes des Chips 52, so daß im 7erlauf jeder dieser Markierungslinien definitionsgemäß
"weiße" Bildelemente vorkommen, für die das digitalisierte Videosignal DIGVID A den hohen Signalwert hat.
Dagegen liegt zumindest die neunte Markierungslinie (A 7 bzw. B 7) jeder Gruppe vollständig in einem Zwischenraum
53, in welchem definitionsgemäß nur "schwarze"
Bildelemente vorkommen, für die das digitalisierte Videosignal DIGVID A den niedrigen Signalwert hat. Noch
weiter außen liegende Markierungslinien jeder Gruppe können in die Bilder benachbarter Chips fallen, so daß
im Verlauf solcher Markierungslinien wieder "weiße" Bildelemente vorkommen.
Hinsichtlich der Auswertung des digitalen Video-
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signals DIGYID A gilt also folgendes Kriterium:
Der Chip 52 ist richtig auf den Bezugspunkt R ausgerichtet, wenn in jeder Markierungsliniengruppe A und
B im Verlauf von acht Markierungslinien, in unterbrochener
Folge von innen nach außen gezählt, weiße Bildelemente vorkommen und die neunte Markierungslinie
die erste Markierungslinie ist, in deren Verlauf keine weißen Bildelemente vorkommen, also das digitale
Videosignal DIGVID A nicht den hohen Signalwert annimmt.
Die Angabe "von innen nach außen" bezieht sich dabei
auf das Bild des jeweils auszurichtenden Chips»
Wenn dagegen der Chip 52 nicht richtig auf den Bezugspunkt
R ausgerichtet ist, ist sein Bild gegenüber den Markierungsliniengruppen A und B verschoben, so daß
die Anzahl der in ununterbrochener Polge von innen
nach außen gezählten Markierungslinien, in deren Verlauf weiße Bildelemente vorkommen, größer oder kleiner
als acht ist. Aus dem Betrag und dem Vorzeichen der Differenz ergibt sich unmittelbar die Größe und die
Richtung der durchzuführenden Stellungskorrektur. Diese Differenz wird von dem Ausrichtdetektor 450 festgestellt, der zu diesem Zweck außer den Ausgangssignalen
der Ausricht-AblaufsteuerschaItung 400 die Markierungssignale
MK A und MK B vom Markierungsgenerator sowie die digitalen Videosignale DIGVID A empfängt.
In Pig. 4 sind drei Pälle der Lage des Bildes eines
Chips 52 in bezug auf die Markierungslinien dargestellt«
Pig. 4a entspricht der Darstellung in Fig. 3, also der
richtigen Ausrichtung des Chips 52 auf den Bezugspunkt. Demzufolge liegt der untere Rand des Bildes des Chips
52 zwischen der achten und der neunten Markierungslinie
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der Gruppe A, und der rechte Rand liegt zwischen der achten und der neunten Markierungslinie der Gruppe B.
Der Ausrichtdetektor 450 enthält Detektorschaltungen,
die jeweils während der Zeiten, in denen die Markierungssignale MK A und MK B im Verlauf der Abtastung
eines Teilbildes erzeugt werden, das digitale Videosignal
DIGVID A analysieren und ansprechen, wenn in dem einer Markierungslinie entsprechenden Bildbereich
ein weißes Bildelement erscheint. Ferner enthält der
Ausrichtdetektor 450 für jede der Markierungsliniengruppen
A und B eine Zählanordnung, welche die Anzahl derjenigen Markierungslinien der betreffenden Gruppe in
ununterbrochener Folge von innen nach außen zählt, in deren Verlauf weiße Bildelemente im Signal DIGVID A
enthalten sind. Die Zählung wird beendet, sobald in der von innen nach außen gezählten Folge der Markierungslinien
die erste Markierungslinie erscheint, in deren Verlauf nur schwarze Bildelemente vorkommen;
wenn im Verlauf von weiter außen liegenden Markierungslinien wieder weiße Bildelemente vorkommen, werden diese
Markierungslinien bei der Zählung nicht berücksichtigt,
Die Größe und Richtung der vorzunehmenden Korrektur, ausgedrückt durch die entsprechende Anzahl Q von Markierungslinienabständen,
ergibt sich unmittelbar aus der Größe und dem Vorzeichen der Differenz zwischen der
Anzahl M der gezählten Markierungslinien und der Anzahl N der Markierungslinien, die bei richtiger Ausrichtung
im Innern des Bildes des Chips liegen müssen. Bei dem dargestellten Beispiel gilt N = 8, und für die Korrekturgröße
Q gilt:
Q = 8 - M.
Dabei wird vorausgesetzt, daß die positive Richtung jeweils in der Zählrichtung verläuft, also in der
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X-Richtung nach rechts und in der Y-Richtung nach unten.
Wenn das Bild des Chips 52 die in Fig. 4a dargestellte Lage einnimmt, haben die beiden den Markierungsliniengruppen
A und B zugeordneten ZählanOrdnungen nach Beendigung
der Analyse jeweils M = 8 Markierungslinien gezählt. 3?ür die durchzuführende Korrektur ergibt sich
daher in jeder Richtung der Wert
Q=F-M=8-8=0.
Es ist also in keiner Richtung eine Korrektur erforderlich.
In der Darstellung in Pig. 4b ist angenommen, daß das Bild des Chips 52 gegenüber der richtigen Lage derart
nach oben (in der negativen Y-Richtung) und nach rechts (in der positiven X-Richtung) verschoben ist, daß der
untere Rand zwischen der dritten und der vierten Markierungslinie der Gruppe A liegt, während der rechte
Rand zwischen der zehnten und der elften Markierungslinie der Gruppe B liegt. In diesem Fall hat die der
Gruppe A zugeordnete Zählanordnung des Ausrichtdetektors 450 nach Beendigung der Analyse M = 3 Markierungslinien gezählt, während die der Gruppe B zugeordnete
Zählanordnung M = 10 Markierungslinien gezählt hat. Für die Korrektur in der Y-Richtung ergibt sich somit
der Wert
Q=N-M=8-3=5,
also eine Verstellung, die fünf Markierungslinienabständen in der positiven Y-Richtung entspricht.
Für die Korrektur in der X-Richtung ergibt sich der Wert
Q = N-M = 8- -10 = -2,
also eine Verstellung , die zwei Markierungslinienabständen in der negativen X-Richtung entspricht.
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Je nach dem gewählten Abbildungsmaßstab entspricht der
Abstand zwischen zwei Markierungslinien jeder Gruppe einer genau definierten mechanischen Verschiebung des
Kreuztisches 2. Beispielsweise kann bei einer Vergrößerung von 20 : 1 der Abstand zwischen zwei Markierungslinien einer Verschiebung des Kreuztisches 2 um 20 μτα
entsprechen. Bei dem zuvor angegebenen Zahlenbeispiel, bei welchem jeder Verstellschritt eines der Schrittmotoren
3 und 4 einer Verschiebung des Kreuztisches 2 um ΊΟ pm entspricht, müßte also für den Fall von Fig. 4b
der Y-Motor 4 zehn Schritte in dem der positiven Y-Richtung entsprechenden Drehsinn und der X-Motor 3 vier
Schritte in dem der negativen X-Richtung entsprechenden Drehsinn ausführen, um den Chip 52 richtig auf den Bezugspunkt
R auszurichten. Die genaue Kalibrierung kann in der Y-Richtung durch Feineinstellung der optischen
Vergrößerung mittels des ZOOM-Effekts des Objektivs 5
erfolgen, in der X-Richtung durch Änderung der Frequenz des Bildelementgenerators 11 mittels der Einstellvorrichtung
12, da diese Frequenz die Periode der Bildelementimpulse
PE und damit den Abstand der Bildelemente entlang den Zeilen bestimmt.
Fig. 4c zeigt den Fall, daß das Bild des Chips 52 fünfzehn Markierungslinien der Gruppe A und nur eine Markierungslinie
der Gruppe B überdeckt. In diesem Fall hat am Ende der Analyse die der Gruppe A zugeordnete
Zählanordnung M = 15 Markierungslinien gezählt, während die der Gruppe B zugeordnete Zählanordnung M = 1 Markierungslinie
gezählt hat. Somit beträgt die in der Y-Richtung erforderliche Korrektur
Q = 8 - 15 = - 7, also sieben Markierungslinienabstände in der negativen
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Y-Richtung, und die in der X-Richtung erforderliche Korrektur beträgt
Q = 8 -. 1- = 7,
also sieben Markierungslinienabstände in der positiven
X-Richtung. Dies bedeutet, daß jeder der beiden Schrittmotoren 3 und 4 vierzehn Schritte mit dem entsprechenden
Drehsinn ausführen muß, so daß eine Verschiebung des Kreuztisches 2 um 140 um in der positiven X-Richtung und um 14O pm in der negativen Y-Richtung erfolgt.
Die Darstellung von Fig. 4c zeigt die größtmögliche Ausrichtkorrektur, die mit der beschriebenen Vorrichtung
noch durchführbar ist. Wenn das Bild des Chips 52 noch stärker verschoben ist, so daß bei wenigstens
einer Gruppe entweder alle sechzehn Markierungslinien oder keine einzige Markierungslinie überdeckt, ist ein
Ausrichten nicht mehr möglichj in diesem Fall gibt die zugeordnete Zählanordnung ein Überschreitungssignal ab.
Wie später an Hand von Fig. 8 noch im einzelnen erläutert wird, sind bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel
die im Ausrichtdetektor 450 enthaltenen Zählanordnungen so ausgebildet, daß sie unmittelbar die Differenz
Q=N-M sowie das Vorzeichen dieser Differenz anzeigen. Der Ausrichtdetektor 450 (Fig. 1) hat zwei
Ausgangsgruppen 451 A und 451 B. Die Ausgangsgruppe 451 A gehört zu der Zählanordnung, die der Markierungsliniengruppe
A zugeordnet ist, und die Ausgangsgruppe 451 B gehört zu der Zählanordnung, die der Markierungsliniengruppe
B zugeordnet ist. Jede Ausgangsgruppe überträgt eine dreistellige Binärzahl sowie ein Überschreitungsbit.
Die dreistellige Binärzahl der Ausgangsgruppe 4SI A zeigt den Betrag der zur Markierungs-
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liniengruppe A gehörenden Differenz Q = N - M an. An
zwei weiteren Ausgängen wird angezeigt, ob die Verstellung in der positiven Y-Richtung oder in der negativen
Y-Richtung vorzunehmen ist. In entsprechender Weise erscheinen die zur Markierungsliniengruppe B
gehörenden Signale an der Ausgangsgruppe 451 B. Das Überschreitungsbit jeder Ausgangsgruppe erscheint,
wenn der Betrag der entsprechenden Differenz größer als 7 ist, so daß eine Korrektur der Fehlausrichtung
nicht mehr möglich ist.
Im Fall von Fig. 4b liefert somit die Ausgangsgruppe
451 A die Binärzahl 101 (=5) sowie ein Signal, das anzeigt, daß eine Verschiebung des Kreuztisches 2 in
der positiven Richtung erforderlich ist, und die Ausgangsgruppe 451 B liefert die Binärzahl 010 (=2) sowie
ein Signal, das die Notwendigkeit der Verstellung in der negativen X-Richtung anzeigt.
Im Fall von Fig. 4c liefern die beiden Ausgangsgruppen 451 A und 451 B jeweils die Binärzahl 111 (=7), und
die zugehörigen Richtungssignale zeigen an, daß die Verstellung in der negativen Y-Richtung bzw. in der
positiven X-Richtung erfolgen muß.
Die Ausgangsgruppen 451 A und 451 B sind mit entsprechenden
Eingängen einer Vorschubsteueranordnung 14 verbunden, welche die ihr zugeführten Eingangssignale
decodiert und daraus Steuersignale erzeugt, die über eine Leitung 15 dem X-Motor 3 bzw. über eine Leitung
dem Y-Motor 4 zugeführt werden und die Drehung dieser Motoren um die erforderliche Anzahl von Schritten in der
betreffenden Richtung bewirken. Die Vorschubsteueran-
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Ordnung 14 steuert die Schrittmotoren 3 und 4 auch für die Ausführung der Verstellungen JX und JY, deren Größe
mittels einer Einstellvorrichtung 17 zur Anpassung an die jeweils bearbeiteten Chips einstellbar ist.
Es ist möglich, die Lage und gegebenenfalls auch die Länge der Markierungslinien an die iorm und Größe der
auszurichtenden Chips (oder sonstigen Werkstücke) anzupassen.
Dies geschieht mit Hilfe digitaler Daten, die mittels der Eingabevorrichtung 402 dem Eingang 401
der Ausricht-Ablaufsteuerschlatung 400 zugeführt werden.
Die Eingabevorrichtung 402 kann eine handbetätigte Tastatur sein, oder auch eine Quelle gespeicherter oder programmierter
Informationen. Die dem Eingang 401 zugeführten digitalen Daten bestimmen die Bildzeilen bzw.
Bildelemente des Fernsehbildes, die für die Erzeugung
der Markierungslinien verwendet werden.
Der genauere Aufbau der verschiedenen in der Anordnung von Pig. 1 enthaltenen Schaltungen ist in den Figuren 6
bis 10 dargestellt. Die Funktionsweise dieser Schaltung und die Erzeugung der verschiedenen Signale soll insbesondere
unter Bezugnahme auf die Figuren 3 und 5 erläutert werden.
Wie bereits zuvor erwähnt wurde, entspricht die Zeilenrichtung (Horizontalablenkrichtung) des Fernsehbildes
der X-Rielitung, und die dazu senkrechte Richtung (Vertikalablenkrichtung)
entspricht der Y-Riehtung. Jeder Punkt des Fernsehbildes kann daher durch eine X-Koordinate
und eine Y-Koordinate eindeutig bestimmt werden. Dadurch ist es insbesondere möglich, die Begrenzungen der verschiedenen
Markierungslinien und Markierungsflächen auf dem Bildschirm eindeutig festzulegen.
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In Pig. 3 sind am oberen Rand in horizontaler Richtung (X-Richtung) drei X-Kooräinaten X 1, X 2, X 3 eingetragen.
Am linken Rand sind in vertikaler Richtung (Y-Richtung) drei I-Koordinaten Y 1, Y 2, Y 3 eingetragen.
Die Koordinate X 1 gibt den Abstand des Anfangs der horizontalen Markierungslinien der Gruppe A vom linken
Bildrand (Zeilenanfang) an. Die Koordinate X 2 definiert die Lage der ersten vertikalen Markierungslinie
B 15 der Gruppe B sowie das Ende der horizontalen Markierungslinien der Gruppe A. Die Koordinate X 3 gibt
die Lage der letzten Markierungslinie B O der Gruppe B an.
In gleicher Weise entspricht die Koordinate Y 1 dem Abstand des oberen Endes der vertikalen Markierungslinien
der Gruppe B vom oberen Bildrand (Beginn des Teilbildes), und die Koordinate Y 2 entspricht der Lage der
ersten horizontalen Markierungslinie A 15 der Gruppe A sowie dem unteren Ende der vertikalen Markierungslinien
der Gruppe B. Die Koordinate Y 3 definiert die Lage der letzten horizontalen Markierungslinie A O der Gruppe A.
Die Koordinaten X und Y bezeichnen nicht nur räumliche Punkte auf dem Fernsehbild, sondern auch bestimmte Zeitpunkte
im Verlauf der Abtastung des Fernsehbildes. Jede Koordinate Y kann daher durch eine bestimmte Anzahl
von Zellensynchronimpulsen LN eindeutig definiert werden,
die vom Beginn des Teilbildes (Teilbildsynchronimpuls PR) oder von einer vorhergehenden Y-Koordinate
aus gezählt werden. Ebenso kann jede Koordinate X eindeutig durch eine bestimmte Anzahl von Bildelementimpulsen
PE definiert werden, die vom Beginn der betreffenden Fernsehzeile (Zeilensynchronimpuls LN) oder von
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einer vorhergehenden X-Koordinate aus gezählt werden.
Durch Abzählung von Zeilensynchronimpulsen IM und
Bildelementimpulsen PE ist es daher möglich, jeden
Punkt im Innern des Fernsehbildes eindeutig zu definieren.
Die nachstehend beschriebenen Schaltungen erzeugen insbesondere bestimmte Steuersignale in Zeitpunkten,
die bestimmten zuvor definierten X-KoordInaten und
!-Koordinaten entsprechen, und sie verwenden diese Steuersignale zur Erzeugung der MarkierungsSignale.
In Figur 5 sind im Innern des kräftig gezeichneten Rahmens schematisch die Markierungssginale MK A und
MK B in einer Reihe von horizontalen Zeitachsen dargestellt, die ,jeweils einer Fernsehzeile des für die
Markierung verwendeten Teilbildes entsprechen. Am oberen Rand sind verschiedene Steuersignale dargestellt,
die im Verlauf der Abtastung aller oder einiger Fernsehzeilen erzeugt werden und sich somit im wesentlichen
mit der Zeilenfrequenz wiederholen. Entlang dem vertikalen linken Rand sind Steuersignale dargestellt,
die im Verlauf der Abtastung des Teilbildes erzeugt werden und sich also mit der Teilbildfrequenz wiederholen.
Fig. 6 zeigt nochmals die Bestandteile 6, 10, 11, 100,
200, 300 der Anordnung von Fig. 1 und läßt insbesondere den Aufbau und die Funktionsweise des Video-Wählers und
-Mischers 100 deutlicher erkennen. Dieser enthält einen Video-Mischverstärker 102 und einen Video-Wähler 104.
Das über die Leitung 8 zugeführte normale Videosignal wird einem Eingang 103 des Video-Mischverstärkers 102
zugeführt und von diesem nach Verstärkung über die Le i-
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tung 9 zum Monitor 10 übertragen, wenn nicht am Video-Wähler 104 ein digitales Videosignal angefordert wird.
Das digitale Videosignal DIGVID A wird einem Eingang des Video-Wählers 104 zugeführt, der außerdem an einem
Eingang 107 das zusammengesetzte Markierungssignal MK A-B empfängt. Der Video-Wähler 104 hat ferner zwei
Steuereingänge 109, 111, die mit der Einstellvorrichtung 101 verbunden sind. Der Video-Wähler 104 ist über
drei Ausgangsleitungen 113, 114, 115 mit dem Video-Mischverstärker 102 verbunden, der außerdem an einem
Eingang 116 das zusammengesetzte Synchronsignal SYNC
von der Synchrontrennstufe 300 empfängt.
Wenn anstelle des normalen Videosignals das digitale
Videosignal DIGVID A auf dem Monitor 10 wiedergegeben werden soll, wird mittels der Einstellvorrichtung 101
ein Steuersignal SDIGVID A an den Steuereingang 109 angelegt. Der Video-Wähler 104 überträgt dann das digitale
Videosignal DIGVID A vom Eingang 105 über die Ausgangsleitung 113 zum Video-Mischverstärker 102, und er gibt
gleichzeitig auf der Ausgangsleitung 114 ein Austastsignal
BLK ab, welches im Video-Mischverstärker 102 das dem Eingang 103 zugeführte normale Videosignal sperrt.
Die für die Wiedergabe des digitalen Videobildes erforderlichen Synchronsignale stehen gleichzeitig am Eingang
116 des Video-Mischverstärkers 102 zur Verfügung.
Durch Anlegen eines Steuersignals SMK A - B an den Steuereingang 111 des Video-Wählers 104 wird das dem Eingang
107 zugeführte zusammengesetzte Markierungssignal MK A-B über die Ausgangsleitung 115 zum Video-Mischverstärker
übertragen und in diesem dem jeweils dargestellten Videosignal überlagert, also entweder dem am Eingang 103 zugeführten normalen Videosignal oder dem über die Leitung 113 übertragenen digitalen Videosignal DIGYID A.
Die Markierungslinien A und B werden dann auf dem Bildschirm des Monitors 10 in Überlagerung über das darge-
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BAD OR/GfNAL
stellte Videobild wiedergegeben. Die Einstellvorrichtung 101 kann beispielsweise Teil einer handbetätigten
Tastatur sein, welche bei Betätigung entsprechender Tasten die erforderlichen Steuersignale in Form von
Signalpegeln abgibt.
Der Video-Digitalisierer 200 enthält einen Schwellenwert-Komparator
206 in Form eines Operationsverstärkers, der an seinem nicht-invertierenden Eingang das
von der Fernsehkamera 6 abgegebene normale Videosignal empfängt, während der invertierende Eingang mit dem
Abgriff des Potentiometers 202 verbunden ist. Entsprechend der üblichen Arbeitsweise gibt der Schwellenwert-Komparator
ein Ausgangssignal mit niedrigem Pegel (schwarz) ab, solange das dem nicht-invertierenden
Eingang zugeführte Analogsignal unter dem am invertierenden Eingang anliegenden Potential bleibt, während
im entgegengesetzten lall ein Ausgangssignal mit hohem Pegel (weiß) abgegeben wird. Wie bereits erwähnt, wird
das Potentiometer 202 so eingestellt, daß der Schwellenwert für den Komparator 206 an den Kontrast zwischen der
stark reflektierenden Oberfläche des Chips 52 und der schwach reflektierenden Oberfläche der Unterlage 54 bzw.
der Zwischenräume 53 zwischen den Chips angepaßt ist. Mittels des Potentiometers 202 kann der Schwellenwert
entsprechend dem jeweils vorliegenden Anwendungsfall optimal eingestellt werden.
Fig. 7 zeigt in näheren Einzelheiten das Blockschaltbild
der Ausricht-IOlgesteuerschaltung 400, an die sich
nach rechts der in Pig. 8 dargestellte Ausricht-Detektor 450 und daran wiederum die in !ig. 9 gezeigte Vorschub-Steueranordnung
14 anschließen. Die Funktionsweise dieser Schaltungen soll insbesondere unter Bezugnahme
auf Figur 5 erläutert werden.
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Wenn im Verlauf einer Teilbildabtastung die durch die
Koordinate Y 1 bezeichnete Teilbildzeile erreicht wird, beginnt die Erzeugung der Markierungssignale MIC B für
die Darstellung der vertikalen Markierungslinien der Gruppe B. Da diese Markierungslinien senkrecht zur Zeilenrichtung
verlaufen, kann von ihnen in jeder Zeile jeweils nur ein Bildelement dargestellt werden. Die
Markierungssignale MK B bestehen daher in jeder Teilbildzeile
aus sechzehn aufeinanderfolgenden kurzen Impulsen mit der halben Frequenz der Bildelementimpulse
PE, die zwischen den Zeitpunkten X 2 und X 3 erzeugt werden. Diese Impulse wiederholen sich in jeder Teilbildzeile
bis zum Erreichen der der Koordinate Y 2 entsprechenden Teilbildzeile.
Zwischen den Koordinaten Y 2 und Y 3 werden dann die Markierungssignale MKA erzeugt. Das erste, für die Darstellung
der Markierungslinie A 15 verwendete Markierungssignal MK A wird erzeugt, wenn bei der Teilbildabtastung
die durch die Koordinate Y 2 bezeichnete Abtastzeile erreicht ist. Im Verlauf der Abtastung dieser Zeile
nimmt das Markierungssignal MK A 15 in dem der Koordinate X 1 entsprechenden Zeitpunkt einen hohen Pegel an, den es
bis zum Zeitpunkt X 2 behält. Der gleiche Vorgang wiederholt sich für die übrigen Markierungssignale MK A 14
bis MK A 0 in jeder zweiten Teilbildzeile bis zum Erreichen der Koordinate Y 3, während in den jeweils dazwischenliegenden
Zeilen kein Markierungssignal MK A erzeugt wird.
Die Erzeugung der Markierungssignale MK A und MK B geschieht in Abhängigkeit von Daten, welche die Koordinaten
X 1, X 2, Y 1 und Y 2 definieren und in einem Speicher 403 (Pig. 7) aufgezeichnet sind, der eine Kapazität
von vier Wörtern at acht Bits hat. Diese Daten bestimmen
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die Abmessungen und die Lage der Markierungslinien und werden mit Hilfe der Eingabevorrichtung 402 in den
Eingang 401 des Speichers eingegeben. Dasdie Koordinate
X 1 definierende Speicherwort ist die Än2-,ahl der vom Zeilenanfang (Zeilensynchronimpuls LN) bis zur
Koordinate X 1 abgegebenen Bildelementimpulse PE; das
die Koordinate X 2 bestimmende Speicherwort ist die Anzahl der zivischen den Zeitpunkten X 1 und X 2 abgegebenen
Bildelementitnpulse PE. Das die Koordinate Ϊ 1 bestimmende
Speicherwort ist die Anzahl der vom Teilbiläbeginn
(Teilbildsynehronimpuls FR) bis zum Erreichen des Zeitpunkts
Y 1 abgegebenen Zeilensynchronimpulse LN; das
die Koordinate Y 2 bestimmende Speicherwort ist die Anzahl
der zwischen den Zeitpunkten Y 1 und Y 2 abgegebenen Zeilensynchronimpulse LN".
Der Speicher 403 hat einen Ausgang 404 und zwei Ad-*·
rensiereinffänge 405 und 406. Der Ausgang 404, der in
Wirklichkeit ein Mehrfachausgang ist, an welchem die acht Bits eines gespeicherten Worts parallel abgegeben
werden, ist mit den Yoreinstelleingängen 409, 410 von
zwei voreinstellbaren Rückwärtszählern 407, 408 verbunden.
Der Zähler 407 empfängt an seinem Takteingang 411
die Zeilensynchronimpulse LN und dient als Zeilenzähler; Der Zähler 408 empfängt an seinem Takteingang 412 die
Bildelementimpulse PE und dient als Bildelementzähler.
Der Zeilenzähler 407 hat ferner einen Yoreinstellsteuereingang 413 und zwei Ausgänge 414, 415; der Bildelementzähler
408 hat einen Yoreinstellsteuereingang 416 und zwei Ausgänge 417, 418.
Die Adressiereingänge 405 und 406 des Speichers 403
sind mit zwei Ausgängen einer Speicheradressier- und Aufrufschaltung 419 verbunden, die an einem Auslöseein—
420 die Teilbildsynchronimpulse FRund an einem weite-
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ren Auslöseeingang 421 die Zeilenimpulse LN empfängt. Ein weiterer Auslöseeingang 422 ist mit dem Ausgang
des Zeilenzählers 407 verbunden, und ein vierter Auslöseeingang 425 ist mit dem Ausgang 417 des Eildelementzählers
408 verbunden. Die Gpeicheradressier- und Aufruf schaltung 419 hat zwei weitere Ausgänge 424- und
425, die mit dem Toreinstellsteuereingang 415 des Zeilenzählers 407 bzw. mit dem Yoreinstellsteuereingang
des BildelementZählers 408 verbunden sind.
Die Ausgänge 414 und 415 des Zeilenzählers 407 sind mit
zwei Eingängen einer Halteschaltung 426 verbunden, die zwei zueinander komplementäre Ausgänge 427, 428 hat, und
die Ausgänge 417, 418 des Bildelementzählers 408 sind
mit zwei Eingängen einer Halteschaltung 429 verbunden, die zwei zueinander komplementäre Ausgänge 450, 451 hat.
Bei jedem dem Eingang 420 der Speicheradressier- und
Aufrufschaltung 419 zugeführten Teilbildsynchronimpuls
ER wird der Speicher 403 über seine Eingänge 405, 406
so adressiert und angesteuert, daß er an seinem Ausgang 404 das erste Speicherwort abgibt, das in der zuvor
geschilderten Weise die Koordinate Y 1 in I'orm einer bestimmten
Zeilenzahl angibt. Ein gleichzeitig vom Ausgang 424 der Speicheradressier- und Aufrufschaltung
abgegebener Freigäbeimpuls, der dem Voreinstellsteuereingang
413 des Ze.ilenzählers 407 zugeführt wird, bewirkt, daß dieser Zähler auf die vom Speicher abgegebene
Zahl voreingestellt wird. Die Vorderflanke des Teilbildsynchronimpulües
PR bewirkt die Adressierung des Speichers 405, während seine Hinterflanke die Übertragung defl abgelesenen Speicherworts in den Zähler auslöst.
Da3 gleiche gilt auch für die anderen, den Hingängen 421,
Ar'.t, 423 der ,'ipeiclioradresnier- und Aufruf schaltung
r.ur.nrührton Aiuilüsoiinpul .se .
mr-u3f./Q522
BAD ORIGINAL
Der Zeilenzähler 40? wird durch die seinem Takteingang
411 KUgeführten Zeilenimpulse LF fortgeschaltet, so daß
sich sein Inhalt bei jedem Zeilenimpuls um eine Einheit verringert. Sobald er den Zählerstand Null erreicht, gibt
er an seinem Ausgang 414 einen Impuls INX 1 ab. Dieser Impuls fällt also mit dem Beginn der durch die Koordinate
Y 1 bezeichneten Zeile zusammen (Fig. 5). Der Impuls LNX 1 wird auch dem Auslöseeingang 422 der Speicheradressier-
und Aufrufschaltung 419 zugeführt und bewirkt in der zuvor
geschilderben Weise die Adressierung und Ausgabe des Speicherworts aus den Speicher 403, das die Koordinate Y 2
durch die Anzahl der zwischen den Koordinaten Γ 1 und Y 2 liegenden Zeilen angibt. Der Zeilenzähler 407 wird auf
diese Zahl voreingestellt und erneut durch die seinem Takteingang 411 zugeführten Zeilensynchronimpulse LN im
Sinne einer Abwärtszählung fortgeschaltet. Wenn er den Zählerstand Null erreicht, gibt er an seinem Ausgang 415
einen Impuls LNX 2 ab, der also mit dem Beginn der der Koordinate Y 2 entsprechenden Zeile zusammenfällt (.Fig. 5).
Dieser Vorgang wiederholt sich in jedem Teilbild, so daß im Yerlauf der Abtastung jedes Teilbilds ein Impuls LNX 1
und ein Impuls HX 2 erscheint.
Durch den ersten nach dem Teilbildsynchronimpuls PR erscheinenden Zeilensynchronimpuls LN wird der Speicher 403
so adressiert und abgefragt, daß er in den Bildelementsähler
408 ein Speicherwort eingibt, das in der zuvor
erläuterten Weise die Koordinate X 1 durch eine Anzahl von Bildelementen angibt. Der Bildelementsähler 408 wird
durch die «einem Takteingang 412 zugeführten Bildelementi'fipulse
ΓΈ iτη Sinne d^r AbwartnivUilim^ fortgeschaltet,
; ■ ; ■■.·-· '■ t ■ ] .=-, ■-"( f ·:■-■·■: η f ι >W;" : ti : - ί - -1 ' *: : f I · ■ ■ ■■ ;
auch an den Auslöseeingang 423 der Speicheradressier- und
Aufrufschaltung 419 angelegt und bewirkt, daß aus dem
Speicher 403 in den Bildelementzähler 408 das Speicherwort eingegeben wird, das die Koordinate X 2 durch die
Anzahl der zwischen X 1 und X 2 liegenden Bildelemente definiert. Der Bildelementzähler wird erneut durch die
Bildelerneηbimpulse PE im Sinne der Abwärtszählung fortgeschaltet,
und er gibt beim Erreichen des Zählerstands Null am Ausgang 418 einen Impuls PEX 2 ab, der im Verlauf
der Zeilenabtastung in dem der Koordinate X 2 entsprechenden Zeitpunkt auftritt. Der gleiche Torgang
wird durch jeden folgenden Zeilenimpuls LN ausgelöst, so daß in jeder Zeile des Teilbildes ein Impuls PEX 1 und
ein Impuls PEX 2 erzeugt wird.
Der vom Ausgang 414 des Zeilenzählers 407 an die Halteschaltung 426 angelegte Impuls LNX 1 bringt die Halteschaltung
426 in eine Stellung, in welcher das Potential am Ausgang 427 einen hohen Pegel annimmt und gleichzeitig
das Potential am Komplementärausgang 428 einen niedrigen Pegel annimmt. Der am Ausgang 415 des Zeilenzählers
407 abgegebene Impuls LNX 2 bringt die Halteschaltung 426 in die andere Stellung, in welcher das Potential am
Ausgang 427 niedrig und das Potential am Ausgang 428 hoch ist. Somit gibt die Halteschaltung 426 am Ausgang 427
ein Signal LNG A ab, das in jedem Teilbild zwischen den Koordinaten Y 1 und Y 2 einen hohen Pegel und im übrigen
Teil des Teilbildes einen niedrigen Pegel hat. Dementsprechend hat das dazu komplementäre Signal LNG B am Ausgang
428 von der Koordinate Y 2 eines Teilbilds bis zur
F >rdinate Y 1 des nächsten Teilbilds eiuen hoht-α Pe^eI,
■ .·>! / π ".' i r.tt\ ;'Π Ίρ.π FVo rd i na ton '·' 1 ··- ~l ■>■■■-'t ■■-.
In gleicher Weise bewirken die der Halteschaltung 429 zugeführten Impulse PEX 1 und PEX 2, daß das am Ausgang
430 abgegebene Signal PEG A (Fig. 5) in jeder Zeile zwischen den Koordinaten X 1 und X 2 einen hohen Pegel und
im übrigen Teil der Zeile einen niedrigen Pegel hat, während das am Ausgang 431 abgegebene komplementäre Signal
PEG B von der Koordinate X 2 einer Zeile bis zur Koordinate X 1 der folgenden Zeile einen hohen Pegel und
zwischen den Koordinaten X 1 und X 2 einen niedrigen Pegel hat.
Der in Fig. 8 dargestellte Ausrichtdetektor 450 enthält
einen Zeilenadresszähler 452 in Form eines vierstufigen BinärZählers mit einem Voreinstelleingang, an welchen
das Signal LNX 2 vom Ausgang 415 der Ausricht-Ablaufsteuer schaltung 400 (Fig. 7) angelegt wird. Der Takteingang
des Binärzählers 452 ist an den Ausgang eines Frequenzteilers 453 angeschlossen, dem die Zeilensynchronimpulse
LN zugeführt werden und der an seinem Ausgang Impulse mit der halben Folgefrequenz der Zeilensynchronimpulse
LN abgibt.
Der Zeilenadresszähler 452 ist so ausgebildet, daß er durch jedem seinem Voreinstelleingang zugeführten Impuls
LNX 2 auf den Zählerstand 15 voreingestellt wird und dann durch die seinem Takteingang zugeführten Impulse mit der
halben Folgefrequenz der Zeilensynchronimpulse im Sinne einer Rückwärtszählung fortgeschaltet wird. Während der
gesamten Dauer der Zählung vom Beginn der Voreinstellung
bis zum Erreichen des Zählerstandes Null gibt der Zeilenadrennzähler
452 an einem Ausgang 4 55 ein Signal LNCT
hohen Pepeln ab (Fig. 5). Dieses Signal LNCT wird an
οineu Freip-Tbeeinranf; (3es Frequenzteilers 453 angelegt,
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so daß dieser nur während des Bestehens des Signals LNCT
Ausgangsimpulse abgibt. Somit erscheint nach jeder Voreinstellung durch ein Signal LNX 2 am Ausgang des Frequenzteilers
453 eine Gruppe von sechzehn Taktimpulsen
A-CLK mit der halben Folgefrequenz der Zeilensynchronimpulse LN, und der Binärzähler 452 bleibt nach dem Erreichen
des Zählerstandes Null bis zur nächsten Voreinstellung durch ein Signal LNX 2 stehen. Das Signal LNCT erstreckt
sich somit im Verlauf jedes Teilbilds von der Koordinate Y bis zur Koordinate Y 3. Bas Signal LNCT und die während
seiner Dauer vom Ausgang des Frequenzteilers 453 abgegebenen Impulsgruppen A-CLK werden dem in Fig. 10 dargestellten
MarkierungsSignalgenerator 500 zugeführt, wie durch
Pfeile angedeutet ist.
Während des Bestehens des Signals LNCT wird der Inhalt des Zeilenadresszählers 452, ausgehend vom AnfangsZählerstand
15, in jeder zweiten Teilbildzeile um Eins verringert, bis der Zählerstand Null erreicht ist; dann wird
die Rückwärtszählung beendet. Im Verlauf dieser Zählung
gibt der Zählerstand des Zeilenadresszählers 452 jeweils die Nummer der Markierungslinie A 15, A 14,...A 1, A 0 an,
die der Teilbildzeile zugeordnet ist, zu der der Zeilensynchronimpuls
LN gehört, der die Fortschaltung bewirkt. Diese im Zeilenadresszähler 452 verfügbaren "Zeilenadressen"
werden bei der dargestellten Schaltung allerdings nicht verwendet.
Ferner enthält der Ausricht-Detektor 450 einen Bildelementadresszähler
456 in Form eines vierstelligen Binärzählers
mit einem Voreinstelleingang, welcher das Signal PEX 2 vom
Ausgang 418 der Ausricht-Ablaufsteuerschaltung 400 (Fig. 7)
empfängt, und mit einem Takteingang, der an den Ausgang eines Frequenzteilers 457 angeschlossen ist, der die
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Bildelementimpulse PE empfängt und Taktimpulse mit der
halben Folgefrequenz der Bildelementimpulse PE abgibt. Der Bildelementadresszähler 456 ist in gleicher Weise
wie der vierstufige Binärzähler 452 aufgebaut; er wird
somit durch jeden Impuls PEX 2 auf den Zählerstand 15 eingestellt und anschließend durch die Taktimpulse mit
der halben Folgefrequenz der Bildelemeritimpulse PE im Sinne einer Rückwärtszählung bis zum Erreichen des Zählerstandes
Null fortgeschaltet. An einem Ausgang 459 wird während der gesamten Dataer der Zählung ein Signal
PECT abgegeben, das als Freigabesignal an den Frequenzteiler 457 angelegt wird, der somit nach jeder Voreinstellung
durch ein Signal PEX 2 eine Gruppe von 1-6 Taktimpulsen B-CLK liefert. Das Signal PECT ist in jeder Bildzeile
zwischen den Koordinaten X 2 und X 3 vorhanden. Ziasätzlich
weist der Bildelementadresszähler 456 eine Gruppe
458 von vier Ausgängen auf, welche die Ausgänge der binären Zählerstufen sind und Binärsignale ADD A, ADD B,
ADD C, ADD D abgeben, die den jeweiligen Zählerstand in Form einer vierstelligen Binärzahl angeben. Die an
den Ausgängen 458 erscheinenden Binärzahlen geben somit in jeder Teilbildzeile die Nummern der Markierungslinien B 15 bis B 0 an, zu denen die in dieser Teilbildzeile
erzeugten Impulse der Markierungssignale MK B 15 bis MK B O gehören. Die Rückwärtszählung in den Zählern
452 und 456 ist der Grund dafür, daß die Markierungslinien A 15 bis A O und B 15 bis B O "rückwärts numeriert
sind.
Der in Fig. 10 dargestellte Markierungsgenerator 500 enthält
eine A-Markierungsgeneratorschaltung 5Q1 und eine
B-Markierungsgeneratorschaltung 502. Die A-Markierungsgeneratorschaltung 501 empfängt an drei Eingängen die
folgenden Signale:
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A-CLK (vom Ausgang des Frequenzteilers 453» Fig. 8)
PEG A (vom Ausgang 430 der Halteschaltung 429, Fig. 7) LWCT (vom Ausgang 455 des Zeilenadresszählers 452,Fig.8)
Aus diesen Signalen werden durch digitale Verknüpfungen Signale gebildet, die in jeder zweiten Teilbildzeile
des durch das Signal LNCT definierten Teilbildabschnitts während des Bestehens des Signals PEG A, also zwischen
den Koordinaten X 1 und X 2, den hohen Signalwert (weiß) haben. Die durch die Verknüpfung erhaltenen Signale werden
als Markierungssignale MK A am Ausgang 504 abgegeben.
Die B-Markierungsgeneratorschaltung 502 empfängt an drei Eingängen die folgenden Signale:
B-CLK (vom Ausgang des Frequenzteilers 457, Fig. 8) LNG A (vom Ausgang 427 der Halteschaltung 426, Fig. 7)
PECT (vom Ausgang 459 des Bildelementadresszählers 456, Fig. 8).
Aus diesen Signalen werden durch digitale Verknüpfungen Signale gebildet, die in jeder Teilbildzeile des durch
das Signal LNG A definierten Teilbildabschnitts, also zwischen den Koordinaten Y 1 und Y 2, bei jedem Taktimpuls
der Taktimpulsgruppen B-CLK den hohen Signalwert (weiß) haben. Die durch die Verknüpfung erhaltenen Signale
werden als Markierungssignale MK B am Ausgang 510 abgegeben.
Die Ausgänge 504 und 510 der beiden Markierungsgeneratorschaltungen
501, 502 sind mit den beiden Eingängen einer Oder-Schaltung 511 verbunden. Am Ausgang der Oder-Schaltung
511 wird somit ein zusammengesetztes Markierungssignal
MK A-B erhalten, das über den Video-Wähler und
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-Mischer 100 an den Monitor "JO zur Wiedergabe der Markierungslinien
A und B angelegt werden kann.
Die Markierungssignale MK A und MK B werden außerdem als
Datenfenster an die im Ausrichtdetektor 450 (Fig. 8) enthaltenen Schaltungen angelegt, mit denen das Auftreten
von weißen Bildelementen in den Bereichen des digitalen Videobildes festgestellt werden, die den Markierungslinien A 15 bis A 0 und B 15 Ms B 0 entsprechen.
Datenfenster sind "bekanntlich definierte Zeitabschnitte
innerhalb eines Zeitraums, in deren Innerem eventuell auftretende Daten übertragen oder verarbeitet werden,
während die nicht vom Innern der Datenfenster erscheinenden Daten von der Übertragung oder Verarbeitung ausgeschlossen werden. Ein Datenfenster kann einem zusammenhängenden
Zeitabschnitt oder auch mehreren in Abständen liegenden Zeitabschnitten entsprechen. Im vorliegenden
Fall definiert jedes der Markierungssignale MK A 15 bis MK A 0 und MK B 15 bis MK B 0 ein Datenfenster innerhalb
des einer Teilbildabtastung entsprechenden Zeitraums. Jedes durch ein Markierungssignal MK A 15 bis MK A 0 definiertes
Datenfenster entspricht einem zusammenhängenden Zeitabschnitt, der im mittleren Teil einer Zeilenperiode
liegt. Jedes durch ein Markierungssignal MK B 15 bis MK B
definierte Datenfenster entspricht dagegen einer Vielzahl von sehr kurzen Zeitabschnitten, die im Abstand einer Zeilenperiode
aufeinanderfolgen.
Da jeder Zeitpunkt der Teilbildabtastung umkehrbar eindeutig einem Bildpunkt auf dem Bildschirm zugeordnet ist,
entspricht jedes Datenfenster auch einem definierten örtlichen Bereich des Videobildes. Diese örtlichen Bereiche
können in Form der Markierungslinien auf dem Bildschirm nichtbar gemacht werden. Die Markierungslinien können also
als dir* bildliche Wiedergabe der Üatenfenster angesehen
werden. 030038/0522
Wie bereits zuvor erläutert wurde, stellt der Ausrichtdetektor 450 im Verlauf einer einzigen Teilbildabtastung
die Markierungslinien Jeder Gruppe A bzw. B fest, die
Bereichen des digitalisierten Videobildes entsprechen, in denen weiße Bildelemente enthalten sind, und er liefert
Ausgangssignale, welche die in ununterbrochener Reihenfolge von innen nach außen gezählte Anzahl dieser
Markierungslinien kennzeichnen, bis zu der ersten Markierungslinie Jeder Gruppe, die einem Bereich des digitali
sierten Videobildes entspricht, in dem keine weißen Bildelemente vorkommen. Dies ist gleichbedeutend mit der Feststellung
der den Markierungslinien entsprechenden Datenfenster, in deren Innerem das digitale Videosignal
DIGVID A den hohen Signalwert (weiß) annimmt.
Zu diesem Zweck enthält der Ausrichtdetektor 450 für die horizontale Markierungsliniengruppe A eine Ausricht-Zählanordnung
460 und für die vertikale Markierungsliniengruppe B eine Ausrieht-Zählanordnung 470.
Die Ausricht-Zählanordnung 460 enthält einen vierstufigen
Vorwärts-Rückwärts-Binärzähler 461 und ein Flip-Flop 462. Der Zähler 461 ist durch ein seinem Steuereingang 466
zugeführtes Signal auf Vorwärtszählung oder Rückwärtszählung
einstellbar; dieser Steuereingang 466 ist mit dem komplementären Ausgang Q des Flip-Flop 462 verbunden.
Der Einstelleingang des Flip-Flops 462 ist mit einem Ausgang 464 des Zählers 461 verbunden, an dem ein Signal
abgegeben wird, wenn der Zähler den Zählerstand Null (OOOO) hat. Am Beginn jedes Teilbilds wird durch das
Signal CLR der Vorwärts-Rückwärts-Zähler 461 auf den Zählerstand 8 (IOOO) voreingestellt und das Flip-Flop
wird in den Ruhestand zurückgestellt, so daß der Zähler 461 auf Rückwärtszählung eingestellt ist. Der Takteingang
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- 49 - -
des Zählers 461 ist an den Ausgang einer digitalen Verknüpfungsschaltung 463 angeschlossen, die an einem Eingang
die Markierung*«?signale MK Ä und am zweiten Eingang
das digitale Videosignal DIGVID A empfängt. Die Verknüpfungsschaltung ist so ausgeführt, daß ihr Ausgangssignal
den hohen Signalwert annimmt, wenn ihre beiden Eingangssignale gleichzeitig den hohen Signalwert haben,
und dann diesen Signalwert, unabhängig von Änderungen des digitalen Videosignals DIGVID A, beibehält,
bis das Markierungssignal MK A wieder auf den niedrigen Signalwert zurückgeht. Die ansteigende Flanke jedes Ausgangssignals
der Verknüpfungsschaltung 463 bewirkt einen Zählschritt des Vorwärts-Rückwärts-Zählers 461. Die Verknüpfungsschaltung
463 ist ferner so ausgebildet, daß sie die Abgabe weiterer Ausgangssignale sperrt, sobald
im Verlauf eines Markierungssignals MK A kein Ausgangssignal erschienen ist, selbst wenn im Verlauf späterer
Markierungssignale MK A wieder die Bedingung für das Erscheinen eines Ausgangssignals, nämlich das gleichzeitige
Vorhandensein eines hohen Signalwerts des digitalen Videosignals DIGVID Λ und des Markierungssignals
MK A, erfüllt sein sollte.
Wenn somit im Verlauf jedes der ersten acht Markierungssignale MK A 15 bis MK A 8 der Gruppe MK A das digitale
Videosignal DIGVID A wenigstens ein Mal den hohen Signalwert annimmt, wird der Zählerstand des Vorwärts-RUckwärts-Zählers
461 für jedes dieser Markierungssignale um eine Einheit verringert, bis er schließlich für das
Markierungssignal MK A 8 den Wert Null erreicht. Bei diesem Zählerstand erscheint am Ausgang 464 ein Signal, durch
welches der Flip-Flop 462 in den Arbeitezustand gebracht
wird, so daß das Ausgangssignal am Ausgang Q den Signalwert wechselt und den Zähler 461 auf Vorwärtszählung um-
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schaltet. Für jedes der folgenden acht Markierungssignale MK A 7 bis MK A 0, für das die gleiche Bedingung
erfüllt ist, wird dann der Zählerstand des Vorwärts-Rückwärts-Zählers 461 jeweils wieder um eine Einheit
erhöht, bis er schließlich bei dem Markierungssignal MK A 0 den Wert 8 (1000) erreicht. Wenn jedoch im Verlauf
eines Markierungssignals MK A das digitale Videosignal DIGVID A nicht den hohen Signalwert annimmt, wird
der ZählVorgang beendet, und der Vorwärts-Rückwärts-Zähler
461 bleibt auf dem bis dahin erreichten Zählerstand stehen, bis er am Beginn der nächsten Teilbildabtastung
durch das Signal CLR wieder in seinen Ausgangszustand zurückgestellt wird.
Diese Art der Zählung ergibt den Vorteil, daß der Zählerstand des Vorwärts-Rückwärts-Zählers 461 unmittelbar die
Anzahl der Markierungslinienabstände der Gruppe A angibt, um die das Bild des Chips 52 in der Y-Richtung
verschoben werden muß, um die Ausrichtstellung zu erreichen, in der sich der untere horizontale Rand zwischen
der achten Markierungslinie A 8 und der neunten Markierungslinie A 7 befindet (Fig. 4a). Ob diese Verstellung
in der positiven oder in der negativen Y-Richtung erfolgen muß, wird durch die Signale an den beiden Ausgängen
Q und Q des Flip-Flops 462 angezeigt.
Der Vorwärts-Rückwärts-Zähler 461 hat eine Gruppe von vier
Ausgängen, die zusammen mit den beiden Ausgängen des Elip-Flops
462 die in Fig. 1 dargestellte Ausgangsgruppe 451 A bilden. Die drei ersten Ausgänge dieser Gruppe sind die
Stufenausgänge der drei letzten Stufen des Zählers; an diesen drei Ausgängen erscheint somit eine Gruppe von
drei Binärsignalen AA, AB, AC, die den erreichten Zählerstand in Form einer dreistelligen Binärzahl darstellen,
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wenn dieser Zählerstand kleiner als 8 (1000) ist.
Ein weiterer Ausgang jedes Zählers, der unmittelbar der
Ausgang der dem höchsten Stellenwert zugeordneten ersten Zählerstufe ist, liefert ein binäres Signal OVR A,
das den Wert "0" hat, wenn der Zählerstand kleiner als
8 ist, und den Wert "1", wenn der erreichte Zählerstand 8 (oder größer) ist. Der Signalwert "1" erscheint im
vorliegenden Fall beim Vorwärts-Rückwärts-Zahler 461 nur
dann, wenn dieser entweder auf dem voreingestellten Wert 8 stehen bleibt, wenn also überhaupt keine Markierungssignale MK A gezählt werden, oder wenn bei der Vorwärtszählung
wieder der Zählerstand 8 erreicht wird, also alle sechzehn Markierungssignale MK A 15 bis MK A 0 gezählt
worden sind. Der erste Fall ist gleichbedeutend damit, daß alle sechzehn Markierungslinien der Gruppe A
außerhalb des Bildes des Chips liegen, eine Korrektur der Fehlausrichtung also nicht mehr möglich ist; der
zweite Fall ist gleichbedeutend damit, daß alle sechzehn
Markierungslinien der Gruppe A innerhalb des Bildes des Chips liegen, also ebenfalls eine Korrektur der Fehlausrichtung
nicht mehr möglich ist. Das an dem vierten Ausgang des Zählers erscheinende Signal OVR A des Wertes "1n
stellt also unmittelbar das bereits früher erwähnte Über·^
schreitungssignal dar.
Zwei weitere Ausgänge der Ausgangsgruppe 451 A sind
durch die beiden Ausgänge Q und Q des Flip-Flops 462 gebildet.
Am Ausgang Q erscheint ein Signal DIR +Y des
Signalwerts "1", wenn sich das Flip-Flop in der Ruhestellung befindet und somit der Zähler 461 auf Rückwärtszählung
eingestellt ist, d.h. während der Zählung der acht rrsten Markierungslinien A 15 bis A 8. Am Ausgang Q erscheint ein Signal DIIl -Ύ des Signalwerts
"1", wenn sich das Flip-Flop in der Arbeitsstellung
030038/05 22
BAD ORIGINAL
befindet und somit der Zähler 462 auf Vorwärtszählung
eingestellt ist, also während der Zählung der acht letzten Markierungslinien A 7 bis A O.
Unter Bezugnahme auf die Figuren 4a, 4b, 4c soll erläutert werden, wie die Ausrichtzählanordnung 460 die
Fehlausrichtung des Chips 52 in der Y-Richtung feststellt und im Verlauf von einer einzigen Teilbildabtastung Signale
liefert, die unmittelbar die Größe und Richtung der Verstellung angeben, die erforderlich ist, um die Ausrichtstellung
zu erreichen, in der sich der untere horizontale Rand des Bildes des Chips zwischen der achten
Markierungslinie A 8 und der neunten Markierungslinie A 7 befindet.
Wenn sich der Chip 52 von vornherein in dieser Ausrichtstellung
befindet, zählt die Zählanordnung 460 acht Markierungssignale MK A 15 bis MK A 8, In deren Verlauf
weiße Bildelemente im digitalen Videosignal DIGVID A.
auftreten. Dagegen erscheint im Verlauf des neunten Markierungssignals W A 7 kein weißes Bildelement im
digitalen Videosignal DIGVID A, so daß die Zählung nach dem achten Markierungssignal MK A 8 beendet wird,
weil die Verknüpfungsschaltung 463 vom Markierungssignal MK A 7 an keine Ausgangssignale mehr abgibt. Der Zählerstand
des Vorwärts-Rückwärts-Zählers 461 wird somit in acht Schritten auf den Wert Null verringert, und er
bleibt dann auf diesem Zählerstand Null stehen. Der Zählerstand Null des Vorwärts-Rückwärts-Zählers 461 zeigt
nach Beendigung des Zählvorgangs an, daß keine Korrektur in der Y-Richtung erforderlich ist.
Bei dem in Fig. 4b dargestellten Fall, in welchem sich
der untere horizontale Rand des Bildes des Chips zwi-
3 0038/052
BAD ORIGINAL
sehen der dritten und der vierten horizontalen Markierungslinie
befindet, wird der Zählvorgang nach der Zählung des dritten Markierungssignals MK A 13 beendet.
Der Zählerstand des Vorwärts-Rückwärts-Zählers 461 ist dann um drei Einheiten vom Anfangswert 8 auf den Wert 5
verringert v/orden. Der Zählerstand 5 des Vorwärts-Rückwärts-Zählers 461 zeigt am Ende des Zählvorgangs an, daß zui
Korrektur der Pehlausrichtung eine Verstellung um fünf Markierungslinienabstände
in der Y-Richtung erforderlich ist. Das Flip-Flop 462 ist in der Ruhestellung geblieben, so daß
nach Beendigung des Zählvorgangs am Ausgang Q das Signal DIR +Y vorhanden ist, das anzeigt, daß die Verstellung
in der positiven Y-Riehtung erfolgen muß.
Im Fall von Fig. 4c wird dagegen der Zählvorgang erst nach Zählung des fünfzehnten Markierungssignals MK A 1
beendet. Der Zählerstand des Vorwärts-Rückwärts-Zählers
461 wird zunächst durch Rückwärtszählung der ersten acht
Markierungssxgnale MK A 15 bis MK A 8 auf den Wert Null gebracht. Beim Erreichen des Zählerstands Null wird das
Flip-Flop 462 in die Arbeitsstellung umgeschaltet, und dann wird der Vorwärts-Rückwärts-Zähler 461 durch Vorwärtszählung
der folgenden sieben Markierungssxgnale MK A 7 bis MK A 1 auf den Zählerstand 7 gebracht. Der
Zählerstand 7 zeigt am Ende des Zählvorgangs an, daß zur Korrektur der Fehlausrichtung eine Verstellung um
sieben Markierungslinienabstände in der Y-Richtung vorgenommen werden muß; das am Ausgang Q des Flip-Flops
462 vorhandene Signal DIR -Y zeigt an, daß die Verstellung in der negativen Y-Richtung erfolgen muß.
Die Ausricht-Zählanordnung 470 ist In gleicher Weise
aufgebaut wie die Ausricht-Zählanordnung 460. Sie enthält einen vierstufigen Vorwärts-Rückwärts-Zähler 471
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und ein Flip-Flop 472, die in gleicher Weise geschaltet
sind wie der Vorwärts-Rückwärts-Zähler 461 und das Flip-Flop 462. Der Takteingang 475 des Vorwärts-Rückwärts-Zählers
471 ist mit dem Ausgang einer digitalen Verknüpfungsschaltung 473 verbunden. Am Beginn jeder
Teilbildabtastung wird durch das Signal CLR der Zähler 471 auf den Zählerstand 8 voreingestellt und das Flip-Flop
472 in die Ruhestellung gebracht, in welcher am Ausgang Q ein Signal besteht, das den Zähler 471 am
Steuereingang 476 auf Rückwärtszählung einstellt. Beim Erreichen des Zählerstandes Null erscheint am Ausgang
des Zählers 471 ein Signal, das das Flip-Flop 472 in die
Arbeitsstellung bringt, wodurch der Zähler 471 auf Vorwärtszählung umgeschaltet wird.
Der Vorwärts-Rückwärts-Zähler 471 hat eine Gruppe von vier Ausgängen, die zusammen mit den beiden Ausgängen des Flip-Flops
472 die in Fig. 1 dargestellte Ausgangsgruppe 451 B bilden. Die drei ersten Ausgänge dieser Gruppe
sind wieder die Stufenausgänge der drei letzten Stufen des Zählers, so daß an diesen drei Asugängen eine Gruppe
von drei Binärsignalen BA, BB, BC erscheint, die den erreichten Zählerstand in Form einer dreistelligen Binärzahl
darstellen, wenn dieser Zählerstand kleiner als 8 (1OOO) ist. Der vierte Ausgang des Zählers, der
unmittelbar der Ausgang der dem höchsten Stellenwert zugeordneten Zählerstufe ist, liefert ein Überschreitungssignal
OVR B, wenn der Zählerstand am Ende des Zählvorgangs den Wert 8 hat. Die beiden Ausgänge Q
und Q des Flip-Flops 472 liefern Signale DIR -X bzw. DIR +X, die anzeigen, ob zur Korrektur eine Verschiebung
des Chips in der negativen X-Richtung oder in der positiven X-Richtung erforderlich ist.
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Im Gegensatz zu der Verknüpfungsschaltung 463 kann
aber die Verknüpfungsschaltung 473 nicht einfach das digitalisierte Videosignal DIGVID A mit den Markierungssignalen
MK B verknüpfen. Die Analyse des digitalisierten Videosignals DIGVID A innerhalb jedes durch
ein Markierungssignal MK B gebildeten Datenfeiisters
kann nämlich nicht unmittelbar zur Zählung verwertet
v/erden, \feil diese Markierungssignale in einer großen
Anzahl von aufeinanderfolgenden Teilbildzeilen wiederholt werden. Die in jeder Teilbildzeile erhaltenen Änalyseergebnisse
müssen daher festgehalten werden, bis die vollständige Bildung der Markierungslinien B beendet ist;
erst dann können die Markierungslinien B gezählt werden, in deren Verlauf weiße Bildelemente im digitalen Videosignal
DIGVlD A aufgetreten sind.
Zu diesem Zweck sind die vier Ausgänge 458 des Bildelementadrosszählers
456 mit vier zugeordneten Adresseineiner 16 Bit-Halteschaltung 480 verbunden, die
-m an einem Signale ingang die digitalen Videosignal---DJGVID
A, an einem Löscheingang das Signal CLR und an einem Freigabeeingang die Markierungssignale HK B
(W. B ν? bis IJK B 0) empfängt. Die 1-6 Bit-Halte schaltung
480 v/5 *"i am Beginn der für die Markierung und Analyse
verve:- >rten Teilbilder durch den Impuls CLR gelöscht und
mifxchl ;.f>ßend im Verlauf des Teilbilds ,jeweils während des
"nrt<-'r na nir.^r. Markierungssignals MK B zur Analyse der
«Hf--j t-;·en Videosignale DlGVID A freigegeben. Die 16 Bit-•
Hl'p,' haltung 430 hat eine Gruppe von sechzehn Äus-
r''-n?r-<
, die .i^weils einer der sechzehn möglichen Kombin^t.joi.·
η von Eingangssignalen an den vier Adresseini*"n;-p*.
und π omit einer der Markierungslinien B 15 bis B
brw. ·'■■ m entsprechenden Markierungssignal MK B 15 bie
TT. F f zugeordnet sind. So ist der Ausgang Nr. 15 der
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BAD ORIGINAL
Markierungslinie B 15 zugeordnet, der Ausgang Mr. 14 der
Markierungslinie B 14 usw., bis zum Ausgang Nr. O, der der Markierungslinie B 0 zugeordnet ist. Wenn während
des Bestehens eines Markierungssignals MK B 15 ... MK B 0,
dessen Nummer durch die an den Ausgängen 458 des BiIdelementadresszählers
456 bestehende Binärzahl angegeben ist, ein weißes Bildelement im digitalen Videosignal
DIGVID A erscheint, nimmt der zugeordnete Ausgang der 16 Bit-Halteschaltung 480 den Zustand "1" an, und er
hält diesen Zustand fest, bis die 16 Bit-Halteschaltung durch einen neuen Löschimpuls CLR gelöscht wird. Entsprechend
der Bildung der Markierungssignale MK B wird somit in aufeinanderfolgenden Teilbildzeilen am Ort jeder
Markierungslinie B 15 ... B 0 jeweils ein Bildelement des digitalen Videosignals DIGVID Λ analysiert.
Sobald für das einer Markierungslinie der Gruppe B entsprechende Bildelement in einer beliebigen Teilbildzeile
zum ersten Mal ein hoher Signalwert (weiß) im Signal DIGVID A festgestellt wird, nimmt der dieser Markierungslinie zugeordnete Ausgang der 16 Bit-Halteschaltung 480
den Zustand "1" an, und er behält diesen Zustand bis zum nächsten Löschimpuls CLR bei. Am Ende der vollständigen
Erzeugung der Markierungslinien B 15 ... B 0 haben somit diejenigen Ausgänge der 16 Bit-Halteschaltung 480 den
Zustand "1" angenommen, die Markierungslinien zugeordnet sind, in deren Verlauf wenigstens ein weißes Bildelement
im digitalen Videosignal DIGVID A war, während diejenigen Ausgänge, die Markierungslinien zugeordnet sind,
in deren Verlauf kein weißes Bildelement im digitalen Videosignal DIGVID A vorhanden war, den Zustand "0"
beibehalten haben.
Die vier Ausgänge 458 des Bildelementadresszählers 456
sind ferner mit vier Adres-seingängeri einer Abfrageschal-
0 ': π ο 3 P1/ o 5 ? ?
BAD ORIGINAL
tung 481 verbunden, die außerdem sechzehn Dateneingänge hat und so ausgebildet ist, daß sie an einem Ausgang 482
jeweils das Signal abgibt, das an dem Dateneingang anliegt, dessen Nummer durch die an den vier Adresseingängen
anliegende vierstellige Binärzahl angegeben ist. Die sechzehn Dateneingänge der Abfrageschaltung 481 sind
mit den sechzehn Ausgängen der 16 Bit-Halteschaltung 480 verbunden. Die Abfrageschaltung 481 hat einen Freigabeeingang,
an den das Signal PECT angelegt ist, so daß sie nur während der Dauer des Bestehens dieses Signals
arbeitet. Die Abfrageschaltung 481 überträgt somit im
Verlauf jeder Teilbildzeile der Reihe nach die an den sechzehn Ausgängen der 16 Bit-Halteschaltung 480 vorhandenen
Ausgangssignale zu ihrem Ausgang 482, wobei diese Abfragung in der Reihenfolge der Bildung der Markierungslinien B 15, B 14 ... B 0 erfolgt.
Der Ausgang 482 der Abfrageschaltung 481 ist mit einem Eingang der Verknüpfungsschaltung 473 verbunden. Die
Verknüpfungsschaltung 473 empfängt an einem zusätzlichen SteuereLngang 477 ein Steuersignal S, das
in einer Steuerschaltung 478 aus den Signalen LN, LMX 2, PEG, FECT und B-CLK so gebildet ist,
daß die Verknüpfungsschaltung 473 normalerweise gesperrt ist und nur in der dem Signal LNX 2 entsprechenden Teilbildzeile
während der Dauer des Signals PECT freigegeben wird. Die Verknüpfungsschaltung 473 verarbeitet daher die
Ausgangssif<;nale der Abfrageschaltung 481 im Verlauf eines
Teilbildes nur ein einziges Mal, und zwar erst nach Beendigung
der Bildung der vollständigen Markierungslinien der Gruppe B. Sie liefert dann an ihrem Ausgang jedesmal
dann ein Signal, wenn während des Bestehens eines Taktsip;na 1 s i'—Ui.K ein ,'ii^nal den BinärwertpR "1" am Ausgang
4/j« vorhanden ist, und zwar no lange, wie solche
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BAD ORIGINAL
Ausgangssignale am Ausgang 482 in ununterbrochener
Reihenfolge für jedes der aufeinanderfolgenden Taktsignale B-CLK erscheinen. Sobald zum ersten Mal für ein
Taktsignal B-CLK kein Signal "1" am Ausgang 482 vorhanden ist, wird die Abgabe weiterer Ausgangssignale von
der Verknüpfungsschaltung 473 gesperrt.
Die ersten acht Ausgangssignale der Verknüpfungsschaltung 473 werden im Vorwärts-Rückwärts-Zähler 471 rückwärts
gezählt, bis dieser den Zählerstand Null erreicht hat, worauf das Flip-Flop 472 umkippt, und die folgenden Ausgangssignale
werden vom Vorwärts-Rückwärts-Zähler 472 vorwärts gezählt. Die Zählanordnung 470 gibt also, in
gleicher Weise wie die Zählanordnung 460, an der Ausgangsgruppe 451 B unmittelbar die Anzahl der Markierungslinien der Gruppe B an, um die das Bild des Chips 52 in
der X-Richtung verschoben werden muß, um die Ausrichtstellung zu erreichen, in der sich der rechte vertikale
Rand zwischen der achten Markierungslinie B 8 und der neunten Markierungslinie B 7 befindet (Fig. 4a), und die
beiden Ausgänge des Flip-Flops 472 geben die Richtung an, in der diese Verschiebung stattfinden muß.
Wenn sich der Chip 52 von vornherein in dieser Ausrichtstellung befunden hat, haben im Zeitpunkt der Auswertung die
Ausgänge Mr.15, Nr, i4...Nr.8 der 16 Bit-Halteschaltung
den Zustand "1" angenommen, weil die zugeordneten Markierungslinien B 15 ... B 8 im Innern des Bildes des
Chips liegen und deshalb im Verlauf der zugeordneten Markierunpssignale MK B 15 ... HK B 0 weiße Bildelemente
im digitalen Videosignal I)IGVl I) Λ aufgetreten sind.
Dagegen liegt die Markierungslinie B 7 vollständig außerhalb
des -ildiv; der, Chip.0; und, l'.i 1 Is ein benachbarter
Chip vorh.inden ist, vollständig in dem Zwischenraum zwischen
den Ohip.c;. Im Verlauf de:; entsprechenden Markie-
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BAD ORIGINAL
rungssignals MK B 7 (d.h. jeweils in den kürzen Zeitintervallen
der in den aufeinanderfolgenden Teilbildzeilen erzeugten Einzelimpulse dieses Markierungssignals) sind keine
weißen Bildelemente im digitalen Videosignal DIGVID A erschienen, und demzufolge hat der Ausgang Nr. 7 der
16 Bit-Halteschaltung 480 den Zustand "0" beibehalten.
Die übrigen Ausgänge Nr. 6 ... Nr. 0 der 16 Bit-Halteschaltung
480 können beliebige Zustände "0" oder "1" haben, je
nachdem, ob die zugeordneten Markierungslinien B 6 ... BO
im Bild eines Chips liegen oder nicht; dies ist für die Auswertung bedeutungslos.
Wenn somit die Abfrageschaltung 481 im Verlauf der dem
Signal LNX 2 entsprechenden Teilbildzeile die Ausgänge der 16 Bit-Halteschaltung 480 in der Reihenfolge der vom
Bildelementadreßzähler 456 erzeugten Adressen, also beginnend
mit dem Ausgang Nr. 15 abfragt, stellt sie in ununterbrochener Reihenfolge acht Ausgänge fest, die das
Signal "1" führen, während der neunte abgefragte Ausgang das Signal "0" führt. Dementsprechend erscheinen am Ausgang
der Verknüpfungsschaltung 473 nacheinander acht Impulse, worauf die Abgabe weiterer Impulse gesperrt wird.
Diese acht Impulse werden von dem Vorwärts-Rückwärts-Zähler
471 rückwärts gezählt, so daß der Zählerstand in acht Schritten auf den Wert Null verringert wird. Der
Zählerstand Null des Vorwärts-Rückwärts-Zählers 471 zeigt am Ende des ZählVorgangs an, daß keine Verstellung in der
X-Ri entlang erforderlich ist.
Bei dem in Fig. 4b dargestellten Fall, in welchem sich
der rechte vertikale Rand des Bildes des Chips zwischen der zehnten Markierungslinie B 6 und der elften Markierungslinie
B b befindet, haben im Zeitpunkt der Auswertung die Anfipinm Wr. 11J ... Hr. 6 der 16 Bit-Halteschal-'.WiT
Λ-°ο Hf)! 'ir-fnnd "1" mifüorioimnrn, während der Aus-
BAD ORIGINAL
gang Nr. 5 das Signal "O" führt. Dementsprechend gibt die
Verknüpfungsschaltung 473 zehn Impulse am Ausgang ab. Durch die ersten acht Impulse wird der Zählerstand des
Vorwärts-Rückwärts-Zählers 471 auf den Wert Null verringert,
bei welchem das Flip-Flop 472 in den Arbeitszustand gebracht wird. Anschließend erreicht der Zähler 471 durch
Vorwärtszählung den .Zählerstand 2, wodurch angezeigt
wird, daß eine Verstellung um zwei Markierungslinienabstände in der X-Richtung vorgenommen werden muß. Das
vom Flip-Flop 472 im Arbeitszustand am Ausgang Q abgegebene Signal DIR -X zeigt an, daß die Verstellung in der
negativen X-Richtung erfolgen muß.
Im Fall von Fig. 4c ist dagegen der Ausgang Nr. 14 der
16 Bit-Halteschaltung 480 der erste Ausgang, der im Verlauf
der Abfragung das Signal "0" führt, so daß am Ausgang der Verknüpfungsschaltung 473 nur ein einziger Impuls
erscheint. Der Zählerstand des Vorwärts-Rückwärts-Zählers 471 wird somit nur um eine Einheit vom Anfangswert 8 auf den Wert 7 verringert, und das Flip-Flop 472
bleibt im Ruhezustand. Der Zählerstand 7 des Rückwärtszählers 471 zeigt an, daß eine Verstellung um sieben
Markierungslinienabstände in der X-Richtung erforderlich ist, und das Signal DIR +X am Ausgang Q des Flip-Flops
472 zeigt an, daß die Verstellung in der positiven X-Richtung erfolgen muß.
Fig. 9 zeigt die Vorschubsteueranordnung 14. Sie hat zwei Gruppen mit je sechs Eingängen, die an die Ausgänge der
Ausricht-Zählanordnung 460 und 470 angeschlossen sind und deren Ausgangssignale empfangen. Die Vorschubsteueranordnung
14 ermittelt aufgrund der Signale DIR +Y, DIR -Y, DIR +X, DIR -X die Richtung der durchzuführenden
Korrekturverschiebung des Kreuztisches 2 und erzeugt
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aufgrund der Zahlenwerte, die durch die Signalgruppen
AA, AB, AC und BA, BB, BC angegeben sind, die Steuersignale, die über die Ausgangsleitungen 15, 16 an den
X-Motor 3 und/oder den Y-Motor 4 angelegt werden und veranlassen, daß diese Motoren die erforderliche Anzahl
von Verstellschritten im richtigen Drehsinn ausführen. An einem weiteren Eingang wird der Vorschubsteueranordnung
14 das Signal TOP zugeführt, das bewirkt, daß die Vorschubsteueranordnung 14 nur während des für die
Markierung und Analyse ausgewählten Teilbildes in Jedem vollständigen Fernsehbild arbeitet. Ferner ist die Einstellvorrichtung
17 für die Verstellschritte JX und JY gezeigt.
Wenn die Vorschubsteueranordnung 14 ein Übersehreitungssignal
OVR A oder OVR B empfängt, löst sie einen Vorschub des Kreuztisches 2 um die Strecke JX (Fig. 2) aus,
um den nächsten Chip in die Ausrichtstellung zu bringen. Erst wenn bei einer festgelegten Anzahl von aufeinanderfolgenden
Chips (beispielsweise fünf) jedes Mal ein Überschreitungssignal auftritt, wird die Maschine stillgesetzt
und ein Alarm ausgelöst. Diese Maßnahme erweist sich als zweckmäßig, weil ein Überschreitungszustand oft
nur bei einzelnen Chips besteht; die Anzahl von Maschinenstillständen kann dadurch wesentlich verringert
werden.
Die Figuren 11, 12, 13 und 14 zeigen ein mit handelsüblichen integrierten TTL-Schaltungen aufgebautes AusfUhrungsbeispiel
von Bestandteilen der Ausricht-Ablaufsteuerschaltung 400 von Fig. T, des Ausrichtdetektors
von Fig. 8 und des Markierungs-Generators 500 von Fig. 10«,
Fig. 11 zeigt das Schaltbild des Zeilenzählers 40? von
Fig. 7. Er enthält zwei in Kaskade geschaltete vierstufige
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Binärzähler des Typs SN 74193, von denen der erste an seinem Rückwärtszähleingang (Stift 4) die Zeilensynchronimpulse
LN über eine UND-Schaltung des Typs SN 74SO8 empfängt. An die Voreinstelleingänge (Stifte 15,
1, 10, 9) der beiden Zähler werden die acht Bits des Speicherworts angelegt, das von dem in Fig. 11 nicht
gezeigten Speicher 403 kommt. Das vom zweiten Binärzähler
beim Erreichen des Zählerstands Null (am Stift 13) abgegebene Signal wird in einer nachgeschalteten Verknüpfungsschaltung
mit zwei D~Flipflops des Typs SN 7474 und zwei NAND-Schaltungen des Typs SN 7420 zur Bildung
der Signale LNX 1 und LNX 2 verwendet.
Der Bildelementzähler 408 ist in der gleichen Weise aufgebaut, jedoch mit dem Unterschied, daß die Eingangssignale LN und Mt von Fig. 11 durch die Eingangssignale PE
bzw. LN ersetzt sind, und daß anstelle der Ausgangs— signale LNX 1 und LNX 2 von Pig. 11 die Ausgangssignale
PEX 1 und PEX 2 abgegeben werden.
Die Halteschaltungen 426 und 429 von Fig. 7 sind in Fig. 12 gezeigt; sie sind durch ein. D-Flipflop des Typs
SN 7474 bzw. des Typs SN 74S74 gebildet.
Fig. 12 zeigt ferner den Zeilenadresszähler 452, der
durch einen vierstufigen Binärzähler des Typs SN 74193 gebildet ist und an seinem Rückwärtszähle ingang (Stift 4)
das Signal A-CLK vom Ausgang des Frequenzteilers 453
empfängt, der durch ein D-Flipflop des Typs SN 7474 gebildet ist, an dessen Takteingang (Stift 3) die Zeilensynchronimpulse
LN angelegt sind. Der Zähler 452 empfängt das Signal LNX 2 an seinem Voreinstellsteuereingang (Stift
11), und er liefert das Signal LNCT am "Borrow»-Ausgang
(Stift 13). An den Stufenausgängen (Stifte 3, 2, 6, 7)
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liefert der Zähler 452 vierstellige Binärzahlen, welche
die Adressen der gezählten Zeilen angeben, doch werden diese Adressen im vorliegenden Pail nicht verwendet.
In gleicher Weise ist der Bildelementadresszähler 456
durch einen vierstufigen Binärzähler des Typs SN 74193 gebildet, der an seinem Rückwärtszähleingang (Stift 4)
das Signal B-GIiK vom Ausgang des Frequenzteilers 457
empfängt, der ebenfalls durch ein D-Flipflop des !Typs
SN 7474 gebildet ist, das am Takteingang (Stift 3) die
Bildelementimpulse EB empfängt. Der Zähler 456 empfängt das
Signal PEX 2 an seinem Voreinstellsteuereingang (Stift 11).
Er liefert am «Borrow"-Ausgang (Stift 13) das Signal PECI
und an den Stufenausgängen (Stifte 3, 2, 6, 7) die Binärsignale
ADD A, ADD B, ADD O, ADD D.
Pig. 13 zeigt die Ausricht-Zählanordnung 460 und die
zugehörige Yerknüpfungssehaltung 463. Der Zähler 461
ist ein vierstufiger programmierbarer Yorwärts-Rückwärts-Binärzähler
des Typs SN 74191» der am Takteingang (Stift 14) die Ausgangssignale der Verknüpfungssehaltung
463 empfängt. Das Plipflop 462 ist ein JK-Flipflop des Typs SN 7473, dessen komplementärer
Ausgang Q (Stift 8) mit dem Steuereingang (Stift 5) des Zählers 461 verbunden ist. Die Stufenausgänge
(Stifte 3, 2, 6, 7) des Zählers 461 liefern die Signale AA, AB, AC, OVR A, und die Ausgänge Q, Q (Stifte 8, 9)
des Plipflops 462 die Signale DIR -Y und DIR +Y.
Die Verknüpfungsschaltung 463 enthält zwei D-Flipflops
des Typs SN 7474, eine NAND-Schaltung des Typs SN 7400,
eine UND-Schaltung des Typs SN 7408 und zwei Inverter des Typs SN 7404, die in der dargestellten Weise miteinander
verbunden sind. Sie empfängt die Signale MK A und DIGVID A.
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Fig. 14 zeigt die Ausricht-Zählanoränung 470, die in
gleicher Weise aufgebaut ist wie die Ausriehtzählanordnung
460. Der vierstufige Vorwärts-Rückwärts-Binärzähler 471 ist wieder vom Typ SH 74191 j und das Flipflop
472 ist ein JK-Flipflop des !Typs SH 7473. Der
Zähler 471 empfängt am Takteingang (Stift 14) das Ausgangesignal der Verknüpfungsschaltung 473 und am
Steuereingang (Stift 5) das Signal vom Ausgang Q (Stift 8)
des Plipflops 472. Die Stufenauagänge (Stifte 3» 2, 6, 7)
des Zählers 471 liefern, die Signale BA, BB, BO, OVR B,
und die Ausgänge Q, CJ (Stifte 8, 9) des Plipflops 472
liefern die Signale DIR -X und DIR +X.
Die Verknüpfungsschaltung 473 besteht in diesem Pail
aus einem D-Flipflop des Typs SN 74S74, einer NAND-Sehaltung des Typs SN 74SOO, einer UHD-Sohaltung des Typs
SN 74S11 und einem Inverter des Typs SN 74S04. Sie empfängt einerseits das Ausgangssignal vom Ausgang 482
der Abfrageschaltung 481 und andrerseits am Eingang das Signal S vom Ausgang der Steuerschaltung 478.
Die Steuerschaltung 478 enthält ein D-Flipflop des Typs SN 7474, eine NAND-Schaltung des Typs SN 7410
und eine NOR-Schaltung des Typs SN 7402. Sie empfängt die Signale EN, LNX~2, PECT, PEG B, B-OLK und bildet
daraus das Signal S.
Die 16 Bit-Halteschaltung 480 ist durch zwei adressierbare 8-Bit Latches des Typs Am 93 L 34 ( = SN 74259) in
Verbindung mit einem 16 zu 1-Multiplexer des Typs SN 74150
gebildet, der zugleich die Abfrageschaltung 481 bildet.
In Fig. 12 sind noch die A-Markierungsgeneratorschaltung
501 und die B-Markierungsgeneratorachaltung 502 des Markierungsgenerators
500 (Fig. 10) dargestellt. Die
Ω Si; !13R/05 2?
BAD ORfGINAL
A-Markierungsgeneratorschaltung 501 enthält zwei D-Flipflops
des Typs SlT 7474 mit den zugehörigen Eingangssohaltungen und eine FAKD-Sοhaltung des Typs SN 7420,
welche die Ausgangssignale der beiden Flipflops sowie
die Signale LNCT und LFG B empfängt und nach Invertierung in einem Inverter des Typs SN 74S04 die Markierungssignale MK A liefert. Die B-Markierungsgeneratorschaltung
502 enthält ebenfalls zwei D-Flipflops des Typs SF 74S74 und eine FAKD-Schaltung des Typs SF 74S2O, die außer den
Ausgangssignalen der beiden Flipflops die Signale PEOT und EEG B empfängt und nach Invertierung in einem Inverter
des Typs SF 74S04 die Markierungssignale MK B liefert.
Es sind verschiedene Abänderungen des beschriebenen Ausführungsbeispiels möglich, ohne daß dadurch die Funktionsweise beeinträchtigt wird. So ist die Anzahl von
sechzehn Markierungslinien in jeder Gruppe nur als Beispiel anzusehen; es können auch mehr oder weniger Markierungslinien
vorgesehen werden, je nach dem gewünschten Ausrichtbereich.
Ferner ist es nicht zwingend erforderlich, daß alle Abstände zwischen den Markierungslinien jeder Gruppe
gleich groß sind. Insbesondere kann es vorteilhaft sein, den Abstand zwischen den beiden Markierungslinien, weiche
in der Ausrichtstellung zu beiden. Seiten des Randes des Bildes des Objekts liegen, größer zu wählen als die Abstände
zwischen den übrigen Markierungslinien. Bei dem zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiel wäre dies der
Abstand zwischen den Markierungslinien A 8 und A 7 der Gruppe A und zwischen den Markierungslinien B 8 und B 7
der Gruppe B. Auf diese Weise wird ein etwas größerer
Toleranzbereich in der Ausrichtstellung erzielt.
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Bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel wird jedes Datenfenster als im Bild des Objekt liegend angesehen,
wenn auch nur ein einziges weißes Bildelement in dem digitalen Videosignal im Verlauf dieses Datenfensters
festgestellt wird. Auch diese Bedingung ist nicht zwingend; es wäre möglich, einen Schwellenwert festzulegen,
so daß erst die eine bestimmte Mindestzahl überschreitenden weißen Bildelemente in jedem Datenfenster
gezählt werden.
Schließlich ist es auch möglich, anstatt des unteren und des rechten Randes des Bildes des Objekts den linken
und/oder den oberen Rand für die Ausrichtung zu verwenden. Die Verwendung des unteren und des rechten
Randes ergibt jedoch den Vorteil, daß die Markierungslinien in der Reihenfolge in bezug auf das Bild des
Objekts von innen nach außen gezählt werden, wie sie im Videobild erzeugt werden, nämlich die horizontalen
Markierungslinien von oben nach unten (Richtung der Teilbildabtastung) und die vertikalen Markierungslinien
von links nach rechts (Richtung der Zeilenabtastung).
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•Leerseite
Claims (1)
-
Patentanwälte 29 D-pi.-!ng. 10 580 1979 Oipi.-lng. Dipl-Chem. G. Leiser :. Prinz Dr. G. Hauser Ernsbergerstrasse 19 8 München 60 16. März !EEXAS INSTRUMENTS DEUTSCHLAND GMBH
Haggertystraße 1P r e i β i η gUnser Zeichen: T 3190Patentansprüche1. Vorrichtung zum Ausrichten eines auf einem in wenigstens einer Achsrichtung einstellbaren Träger im Blickfeld einer Fernsehkamera angeordneten Objekts in bezug auf eine bekannte Bezugsposition, wobei die Fernsehkamera eine Fläche des Gbjskts und einen das Objekt umgebenden Randbereich in einem Zeilenraster abtastet und elektrische Videosignale erzeugt, die einem Bild des abgetasteten Bereichs entsprechen, mit einer Digitalisierungsanordnung, v/elcha die Videosignale empfängt und daraus digitale Videosignale mit zwei Signalwertati bildet, öle für die vom Objekt stammenden Videosignale überwiegend einen ersten Signalwert und für die vom Randbereich stammenden Videosignale den zweiten Signalwert haben, Analyseanordnungen zur Analyse der digitalen Videosignale in wenigstens einer Gruppe von Datenfenstern, die getrennten örtlichen Bereichen des Videobildes entsprechen, die in einer zugeordneten Achsrichtung vorbaotitDinte Abstände voneinander und unterschiedliche Abstände von einer zugeordneten Kante des Bildes des Objekts haben, wenn das Objekt auf die Bezugsposition ausgerichtet ist, wobei die Analyseanordnungen auf das Erscheinen von digitalen Videosignalen des ersten Signalwerts in jedem Datenfenster ansprechen und für jede030038/0522
Lei/Gl BAD ORIGINALDafcenfenstergruppe Ausgangssignale liefert, welche von der Anzahl dar in einem vorgegebenen Sinne in der zugeordneten Achsrichtung in ununterbrochener Reihenfolge gezählten Datenfenster abhängt, in deren Verlauf der Anteil an digitalen Videosignalen de3 ersten. Signalwerts einen vorbestimmten Mindestwert überschreitet, und mit einer Steueranordnung, welche die Stellung des Trägers us einen den Ausgangesignalen der Analyseanordnung nach Größe und Richtung entsprechenden Batrag verändert, dadurch gekennzeichnet, daß für jede Achsrichtung (X, Y) siaa einzige Datenfenstergruppe (MK A, MK B) vorgesehen ist, und daB dann, wenn das Objekt (1; 52) auf aie Besugsposition (R) ausgerichtet ist, in jede Datenfenstergrappe (MK A, MK B) die Anzahl der in dem vorgegebenen Sinn in der betreffenden Achsrichtung in ununterbrochener Reihenfolge gezählten Datenfenster (MK A15 bis HK AO, MK B15 bia I£K BO) mit einem den Mindestwert überschreitenden Anteil en digitalen Videosignalen (DIGVID A) des ersten Signalwerts gleich einer vorbestimmten, von Null verschiedenen Zahl (2T) iBt.2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Steueranordnung (14) die Stellung des Trägers (2) in j=3d8r Achsrichtung um einen Wert verändert, der nach Größe U2id Richtung der Differenz (Q) zwiechen der vorbestimmten, von Hull verschiedenen Zahl (F) und der Anzahl (M) der im vorgegebenen Sinn in dieser Achsrichtung in ununterbrochener Reihenfolge gezählten Datenfenster (MK A15 bis MK AO, MK B15 bis MK BO) der entsprechenden Datenfenstergruppe (IE A, MK E) mit den vorbestimmten Mindestwert überschreitendem Anteil an digitalen Videosignalen (DIGYID A) des ersten Signalwerts entspricht»0 30 038/0522BAD ORIGINAL— 1Z —5. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch, einen Monitor (10) für die Sichtbarmachung des Videobildes, das durch die von der !fernsehkamera (6) erzeugten Videosignale dargestellt ist.4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Betonfenster (MK A15 bis MK AO, MK B15 "bis MK BO) jeder Datenfenstergruppe (MK A, MK B) Vidobildbereichen (A15 bis AO, B15 bis BO) in Form von parallelen linien entsprechen.5. Vorrichtung nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch Genera torschaltungen (500) zur Erzeugung von Markierungssignalen (MK A15 bis MK AO; MK B15 bis MK BO), die als Datenfenster an die Analyseanordnung (450) angelegt werden und bei Überlagerung über die von der fernsehkamera (6) gelieferten Videosignale Markierungslinien (A15 bis AO; B15 bis BO) darstellen, die den parallelen Linien entsprechen.6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Generatorsohaltungen (500) eine erste Gruppe (MK A) von Markierungssignalen (MK A15 bis MK AO) erzeugen, die sich jeweils über gleiche Abschnitte von Pernsehzeilen erstrecken und der Darstellung von horizontalen Markierungslinien (A15 bis AO) im Videobild entsprechen, und eine zweite Gruppe (MK B) von Markierungssignalen (MK B15 bis MK BO), die in einem Abschnitt jeder Fernsehzeile in Abstanden liegende Impulse enthalten und der Darstellung von senkrecht zu den Pernsehzeilen verlaufenden vertikalen Markierungslinien (B15 bis BO) im Videobild entsprechen»030038/05227. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer mit Zeilensprung arbeitenden Fernsehkamera (6) die Markierungssignalgruppen (MK A, MK B) nur in einem ausgewählten Teilbild jedes vollständigen Fernsehbildes erzeugt werden.B. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, gekennzeichnet durch eine Synchrontrennstufe (300), welche die Ausgangssignale der Fernsehkamera (6) empfängt und an zwei getrennten Ausgängen die leilbildsynchronimpulse (FR) und die Zeilensynchronimpulse (LN) liefert, durch einen Impulsgenerator (11), der durch die Zeilensynchronimpulse derart synchronisiert ist, daß er im Verlauf der Abtastung jeder Fernsehzeile eine Folge von Bildelementimpulsen (PE) liefert, deren Frequenz groß gegen die Zeilenfrequenz ist und die definierte zeitliche Lagen in bezug auf den entsprechenden Zeilensynchronimpuls (LN) haben, und durch eine Ablaufsteuerschaltung (400), welche die Teilbildsynchronimpulse (FR), die Zeilensynchronimpulse (LN) und die Bildelementimpulse (PE) empfängt und in der Zahlenwerte einstellbar sind (bei 401, 402), welche die Lage und Ausdehnung der Datenfenster (MK A15 bis MK AO; MK B15 bis MK BO) kennzeichnen, und welche durch Abzählung von Zeilensynchronimpulsen (LN) und Bildelementimpulsen (PE) Steuersignale (LNX 2, PEX 2, LNG A, LNG B, PEG A, PEG B) erzeugt, die durch die eingestellten Zahlenwerte bestimmte zeitliche Lagen und Ausdehnungen in jedem Teilbild bzw. jeder Teilbildzeile haben.9. Vorrichtung nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch einen Ausrichtdetektor (450), der die Steuersignale (LNX 2, PEX 2, LNG A, LNG B, PEG A, PEG B), die Markierungssignale (MK A15 bis MKAO; MK B15 bis MK BO) und die digitalen030038/0522Videosignale (DIGVID A) empfängt und für jede Markierungssignalgruppe (MK A, MK B) eine Anelyseschaltung (460, 463; 470, 473, 478, 480, 481) enthält, die durch die Markierungasignale (MK A15 bi3 MK AO; MK B15 bis MK BO) der zugeordneten Markierungssignalgruppe (MK A, MK B) zur Analyse der digitalen Videosignale (DIGVID A) freigegeben wird.10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Ausrichtdetektor (450) für jede Markierungssignalgruppe (MK A, MK B) eine Ausrioht-Zählanordnung (460, 470) enthält, die aufgrund der durch die Analyse der digitalen Videosignale (DIGVID A) erhaltenen Signale einen Zählerstand annimmt, der von der Anzahl (M) der in dem vorgegebenen Sinne in ununterbrochener Reihenfolge gezählten Markierungssignale (MK A15 bis MK AO; MK B15 bis MK BO) in der entsprechenden Markierungssignalgruppe (MK A, MK B) abhängt, in deren Verlauf der Anteil des ersten Signalwerts in den digitalen Videosignalen (DIGVID A) den vorbestimmten Mindestwert überschreitet.11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß jede Ausricht-Zählanordnung (460, 470) so ausgebildet ist, daß sie an ihren Ausgängen (451A; 451B) digitale Signale (AA, AB, AC, DIR -Y, DIR +Y; BA, BB, BC, DIR -X, DIR +X) abgibt, welche den Betrag und das Vorzeichen der Differenz (Q) zwischen der vorbestimmten Zahl (M) und der Anzahl (M) der gezählten Markierungssignale (MK A15 bis MK AO; MK B15 bis MK BO) angeben,1?.. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß jede Ausrichtzählanordnung (460, 470) einen Vorwärts-Rückwärts-Zähler (461, 471) enthält, der vor Beginn jeder Analyse auf einen der vorbestimmten Zahl (N) entsprechenden Zählerstand und auf Rückwärtszählung eingestellt wird,030038/0522sowie eine Zählrichtungs-Steuersehaltung (462; 472), die beim Erreichen des Zählerstandes ITuIl den Vor wärt s-Rückwärts-Zähler (461; 471) von Rückwärtszählung auf Vorwärtszählung umschaltet,13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Zählrichtungs-Steuerschaltung (462; 472) durch ein Flip-Flop gebildet ist, dessen Umschalt-Steuereingang an einen Ausgang {464; 474) des Vorwärts—Rückwärts-Zählers (461) derart angeschlossen ist, daß das Flip-Flop beim Erreiohen des Zählerstands Null umgeschaltet wird, und daß ein Ausgang (Q") des Flip-Flops (462; 472) mit einem die Zählrichtung bestimmenden Eingang (466; 476) des Vorwärts-Rückwärts-Zählers (461; 471) verbunden ist.14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die an den Ausgängen (Q, Q) des Flip-Flops (462; 472) erscheinenden Signale (DIR -Y, DIR +Y; DIR -X, DIR +X) zur Anzeige des Vorzeichens der Differenz (Q) verwendet werden.15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorwärts-Rückwärts-Zähler (461; 471) ein mehrstufiger Binärzähler ist, und daß die an den Ausgängen von Stufen des Binärzählers erscheinenden digitalen Signale (AA, AB, AC; BA, BB, BO) zur Anzeige des Betrags der Differenz (Q) verwendet werden.16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß das am Ausgang einer weiteren Stufe des Binärzählers (461; 471) erscheinende Signal (OVRA; OVR B) zur Anzeige eines das Ausrichten nicht zulassenden Überschreitungszustandes verwendet wird.030038/052217. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Zählsignaleingang (465; 475) des Vorwärts-Rückwärts-Zählers (461; 471) jeder Ausrieht-Zählanordnung (460; 470) mit dem Ausgang einer Verkntipfungsachaltung (463) verbunden ist, die für jedes Markierungssignal (MK A15 bis MK AO; MK B15 Ms MK BO der zugeordneten Markierungssignalgruppe (MK A; MK B), in dessen Verlauf der Anteil des ersten Signalwerts im digitalen Videosignal (DIGVID A) den vorbestimmten Mindestwert überschreitet, ein und nur ein Ausgangssignal abgibt und die Abgabe weiterer Ausgangssignale sperrt, wenn im Verlauf eines Markierungsßignals der vorbestimmte Anteil des ersten Signalwerts im digitalen Videosignal (DIGVID A) nicht erreicht worden ist.18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Verknüpfungsschaltung (463) der Analyseschaltung (460, 463), die für die Analyse der den horizontalen Markierungslinien (A15 bis AO) entsprechenden Markierungssignale (MK A15 bis MK AO) vorgesehen ist, an einem Eingang die digitalen Videosignale (DIGVID A) und am anderen Eingang die Markierungssignale (MK A15 bis MK AO) empfängt.19. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Analysesehaltung (470, 473, 478, 480, 481), die für die Analyse der den vertikalen Markierungslinien (B15 bis BO) entsprechenden Markierungssignale (MK Bi5 bis MK BO) vorgesehen ist, eine Halteschaltung (480) aufweist, die für jedes einer Markierungslinie (B15 bis BO) entsprechende Markierungssignal (MK B15 bis MK BO) eine Haltestufe aufweist, die in einen vorbestimmten Zustand gebracht wird, wenn der Anteil des ersten Signalwerts im digitalen Videosignal (DIGVID A) während des Bestehens dieses Markierungssignals den vorbestimmten Mindestwert überschreitet,0 3 0 0 3 8/0522und daß eine Auswertesehaltung (481» 475» 478) zur Auswertung der am Ende der vollständigen Bildung der Markierungssignale (MK B15 bis MK BO) der betreffenden Markierungssignalgruppe (MK B) bestehenden Zustände der Haltestufen vorgesehen ist.20. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß der Halteschaltung (480) eine Abfrageschaltung (481) zugeordnet ist, welche die Ausgänge der Haltestufen der Reihe nach auf das Bestehen des vorbestimmten Zustande abfragt und deren Ausgang (482) mit einem Eingang der Verknüpfungsschaltung (473) verbunden ist.21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß eine Steuerschaltung (478) vorgesehen ist, die ein Steuersignal (S) erzeugt, das im Verlauf der letzten Fernsehzeile, in der die Markierungssignale (MK B15 bis MK BO) der betreffenden Markierungssignalgruppe (MK B) erzeugt werden, während der Dauer dieser Markierungssignale vorhanden ist, und daß der das Steuersignal (S) liefernde Ausgang der Steuerschaltung (478) mit einem Steuereingang (477) der Verknüpfungsschaltung (473) verbunden ist.22. Vorrichtung nach Anspruch 20 oder 21, gekennzeichnet durch einen im Takt der den vertikalen Markierungslinien (B15 bis BO) entsprechenden Markierungssignalen (MK B15 bis MK BO) im Verlauf jeder Teilbildzeile fortgeschalteten Bildementadresszähler (456), der eine die Nummer jeder vertikalen Markierungslinie (B15 bis BO) darstellende Gruppe von AusgangsSignalen (ADD A, ADD B, ADD C, ADD D) erzeugt, die an Adresseneingänge der Halteschaltung (4öO) und der Abfrageschaltung (481) angelegt sind.030038/052223. Torrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der vorbestimmte Mindestwert des Anteils am ersten Signalwert im digitalen Videosignal (BIGrVID A) dem einmaligen Erreichen dieses Signalwerts entspricht.24. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem in zwei Achsrichtungen (X, Y) einstellbaren Träger (2) die Datenfenstergruppen (MK A, MK B) Videobildbereiohen (A, B) entsprechen, die am unteren Hand bzw. am rechten Rand des Videobildes des Objekts liegen.25. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß bei in Abständen nebeneinander auf dem Träger (2) angeordneten Objekten (1; 52) die !Peilung der den Datenfenstern (MK A15 bis MK AO; MK B15 bis MK BO) jeder Datenfenstergruppe (MK A; MK B) entsprechenden Videobildbereiche (A15 bis AO; B15 bis BO) kleiner als der Zwischenraum (53) zwischen zwei nebeneinanderliegenden Objekten (1; 52) ist, so daß in jeder Stellung des auszurichtenden Objekts wenigstens ein Datenfenster-Videobildbereich (A15 bis AO; B15 bis BO) vollständig in dem Zwischenraum (53) liegt.030038/0522
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|---|---|---|---|
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|---|---|
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|---|---|
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3213299A1 (de) * | 1981-04-08 | 1982-10-28 | Ampex Corp., 94063 Redwood City, Calif. | Bilderkennungs-schaltungsanordnung |
| EP0079070A1 (de) * | 1981-11-09 | 1983-05-18 | American Semiconductor Equipment Technologies | Automatisches Abgleichverfahren für Halbleiterscheiben, Verfahren zum Bestimmen der Kantenplazierung und Abgleichsystem für diese Scheiben |
| DE3837042A1 (de) * | 1988-10-31 | 1990-05-03 | Battelle Institut E V | Vorrichtung zum positionieren von materialien in einem kraftfeld |
| DE3911357A1 (de) * | 1989-04-07 | 1990-10-18 | Nokia Unterhaltungselektronik | Verfahren zum gegenseitigen justieren zweier bauteile einer anzeigeeinrichtung |
Families Citing this family (32)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5600734A (en) * | 1991-10-04 | 1997-02-04 | Fujitsu Limited | Electron beam tester |
| US4389669A (en) * | 1981-02-27 | 1983-06-21 | Ilc Data Device Corporation | Opto-video inspection system |
| JPS58114178A (ja) * | 1981-12-26 | 1983-07-07 | Fujitsu Ltd | 2値化装置 |
| US4466073A (en) * | 1982-04-26 | 1984-08-14 | The Perkin Elmer Corporation | Wafer prealigner using pulsed vacuum spinners |
| US4550374A (en) * | 1982-11-15 | 1985-10-29 | Tre Semiconductor Equipment Corporation | High speed alignment method for wafer stepper |
| DE3340705A1 (de) * | 1982-11-22 | 1984-05-24 | View Eng | Hochgeschwindigkeits-mustererkennungsgeraet |
| GB2131162B (en) * | 1982-11-27 | 1986-04-30 | Ferranti Plc | Aligning objects |
| US4620785A (en) * | 1982-12-01 | 1986-11-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Sheet-like member having alignment marks and an alignment apparatus for the same |
| JPS59119204A (ja) * | 1982-12-27 | 1984-07-10 | Toshiba Corp | マ−ク位置検出方法 |
| US4672557A (en) * | 1983-03-26 | 1987-06-09 | Disco Abrasive Systems, Ltd. | Automatic accurate alignment system |
| US4546260A (en) * | 1983-06-30 | 1985-10-08 | International Business Machines Corporation | Alignment technique |
| JPS60122304A (ja) * | 1983-11-09 | 1985-06-29 | Shinetsu Eng Kk | 自動寸法測定装置 |
| US4825394A (en) * | 1985-05-07 | 1989-04-25 | General Dynamics Corporation | Vision metrology system |
| US4651203A (en) * | 1985-10-29 | 1987-03-17 | At&T Technologies, Inc. | Video controlled article positioning system |
| JPS6362245A (ja) * | 1986-09-02 | 1988-03-18 | Canon Inc | ウエハプロ−バ |
| JPH07123135B2 (ja) * | 1986-09-30 | 1995-12-25 | 東京エレクトロン株式会社 | プローバの誤差補正方法 |
| US4972311A (en) * | 1988-08-15 | 1990-11-20 | Kulicke And Soffa Industries Inc. | X-Y table error mapping apparatus and method |
| JPH02165699A (ja) * | 1988-12-20 | 1990-06-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 産業用ロボットによるフラットパッケージ型icの装着方法 |
| US5097602A (en) * | 1990-07-09 | 1992-03-24 | Westinghouse Electric Corp. | Apparatus and method for automated inspection of a surface contour on a workpiece |
| DE4033556A1 (de) * | 1990-10-22 | 1992-04-23 | Suess Kg Karl | Messanordnung fuer x,y,(phi)-koordinatentische |
| JP2991593B2 (ja) * | 1993-08-19 | 1999-12-20 | 株式会社東京精密 | ダイシング装置の半導体ウェハ形状認識装置 |
| US6026172A (en) * | 1996-09-06 | 2000-02-15 | Lewis, Jr.; Clarence A. | System and method for zoom lens calibration and method using same |
| US5734594A (en) * | 1996-09-25 | 1998-03-31 | Chartered Semiconductor Manufacturing Pte Ltd. | Method and system for enhancement of wafer alignment accuracy |
| US6374149B1 (en) * | 1998-05-18 | 2002-04-16 | Texas Instruments Incorporated | System and method for determining the center of a wafer on a wafer table |
| US6252631B1 (en) * | 1998-09-14 | 2001-06-26 | Advancedinteractive, Inc. | Apparatus and method for encoding high quality digital data in video |
| US6705925B1 (en) * | 2000-10-20 | 2004-03-16 | Lightwave Microsystems | Apparatus and method to dice integrated circuits from a wafer using a pressurized jet |
| JP2002141310A (ja) * | 2000-11-06 | 2002-05-17 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置 |
| DE10232026B3 (de) * | 2002-07-16 | 2004-01-08 | Man Roland Druckmaschinen Ag | Vorrichtung zur Einstellung des Seitenregisters für Druckwerke von Rotationsdruckmaschinen |
| US7054477B2 (en) * | 2002-11-13 | 2006-05-30 | Uni-Tek System, Inc. | Automatic accurate alignment method for a semiconductor wafer cutting apparatus |
| JP2007519002A (ja) * | 2004-01-29 | 2007-07-12 | マイクロニック レーザー システムズ アクチボラゲット | 偏向器システムにおいてマークの位置を測定するための方法 |
| CN101208635A (zh) * | 2005-04-25 | 2008-06-25 | 麦克罗尼克激光系统公司 | 用于测量在微型平版印刷偏转器系统中的标记位置的方法 |
| EP3408788B1 (de) | 2016-01-26 | 2021-08-04 | Microsoft Technology Licensing, LLC | Ausrichtung von objekten auf ein mehrschichtiges rasterlayout |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2225011B2 (de) * | 1971-05-26 | 1975-05-22 | Western Electric Co. Inc., New York, N.Y. (V.St.A.) | Verfahren und Vorrichtung zum Positionieren eines Gegenstandes |
| DE2803653A1 (de) * | 1978-01-27 | 1979-08-02 | Texas Instruments Deutschland | Ausricht- und erkennungsvorrichtung |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3899634A (en) * | 1971-05-26 | 1975-08-12 | Western Electric Co | Video controlled positioning method and apparatus |
| DE2643809B2 (de) * | 1976-09-29 | 1980-10-09 | Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt | Verfahren zum Einjustieren eines Körpers |
| DE2643810C2 (de) * | 1976-09-29 | 1983-08-11 | Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt | Verfahren zum Einjustieren |
-
1979
- 1979-03-17 DE DE2910580A patent/DE2910580C3/de not_active Expired
-
1980
- 1980-03-17 US US06/130,646 patent/US4301470A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2225011B2 (de) * | 1971-05-26 | 1975-05-22 | Western Electric Co. Inc., New York, N.Y. (V.St.A.) | Verfahren und Vorrichtung zum Positionieren eines Gegenstandes |
| DE2803653A1 (de) * | 1978-01-27 | 1979-08-02 | Texas Instruments Deutschland | Ausricht- und erkennungsvorrichtung |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3213299A1 (de) * | 1981-04-08 | 1982-10-28 | Ampex Corp., 94063 Redwood City, Calif. | Bilderkennungs-schaltungsanordnung |
| EP0079070A1 (de) * | 1981-11-09 | 1983-05-18 | American Semiconductor Equipment Technologies | Automatisches Abgleichverfahren für Halbleiterscheiben, Verfahren zum Bestimmen der Kantenplazierung und Abgleichsystem für diese Scheiben |
| US4475122A (en) * | 1981-11-09 | 1984-10-02 | Tre Semiconductor Equipment Corporation | Automatic wafer alignment technique |
| EP0143893A1 (de) * | 1981-11-09 | 1985-06-12 | American Semiconductor Equipment Technologies | Automatisches Abgleichverfahren für Halbleiterscheiben, Verfahren zum Bestimmen der Kantenplazierung und Abgleichsystem für diese Scheiben |
| DE3837042A1 (de) * | 1988-10-31 | 1990-05-03 | Battelle Institut E V | Vorrichtung zum positionieren von materialien in einem kraftfeld |
| DE3911357A1 (de) * | 1989-04-07 | 1990-10-18 | Nokia Unterhaltungselektronik | Verfahren zum gegenseitigen justieren zweier bauteile einer anzeigeeinrichtung |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE2910580C3 (de) | 1982-01-21 |
| DE2910580B2 (de) | 1981-04-30 |
| US4301470A (en) | 1981-11-17 |
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