DE29816225U1

DE29816225U1 - Meßvorrichtung zur In-Situ-Funktionsprüfung eines Filters einer Filteranlage durch Bestimmung der Partikelanzahl in einer Gasprobe und Filteranlage zur Abscheidung von Partikeln aus einem Gasstrom

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Publication number: DE29816225U1
Application number: DE29816225U
Authority: DE
Original assignee: Camfil GmbH
Current assignee: Camfil GmbH
Priority date: 1998-09-10
Filing date: 1998-09-10
Publication date: 1999-08-12
Anticipated expiration: 2008-09-11

Description

Camfil GmbH ; j ;·; j ··; · ··; ; : 2907/46

9. September 1998

BESCHREIBUNG

Meßvorrichtung zur In-Situ-Funktionsprüfung eines Filters einer FiI-teraniage durch Bestimmung der Partikelanzahl in einer Gasprobe und Filteranlage zur Abscheidung von Partikeln aus einem Gasstrom

Die Erfindung betrifft eine Meßvorrichtung zur In-Situ-Funktions-prüfung eines Filters einer Filteranlage durch Bestimmung der Partikelanzahl in einer Gasprobe.

Die Reinigung von Gasströmen von Partikeln und insbesondere die Reinigung von Luft ist eine sich heute in vielen Bereichen der Technik stellende Aufgabe, wobei in vielen Fällen, beispielsweise im Klinik- und Lebensmittelbereich, in Reinluftlaboren oder in Kraftwerken es erforderlich ist, höchste Abscheideraten von Partikeln bestimmter Größe sicherzustellen.

Die Abscheiderate bei der Filterung von Luft hängt in erster Linie von der ordnungsgemäßen Funktion des verwendeten Filters ab. Die in Filteranlagen verwendeten Filter zur Abscheidung von Partikeln bestehen in der Regel aus einem dünnwandigen Material, welches bei Einwirkung von kompakten Gegenständen leicht beschädigt wird. Daher werden Filter in stabilen Gehäusen oder Filterkammern, die eine Beschädigung des Filters verhindern sollen, gehaltert. Vor einem Einbau werden die verwendeten Filter zudem einzeln auf ihre Funktion hin geprüft.

Trotz der Sicherheitsmaßnahmen, die getroffen werden, um einen Filter vor Beschädigung zu schützen, besteht die Gefahr, daß Filter im Betrieb durch äußere Einwirkung bereichsweise zerstört werden. Daher ist es in vielen Anwendungsfällen erforderlich, die Funktionsfähigkeit ei-

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ner Filteranlage von Zeit zu Zeit zu überprüfen. In vielen Fällen wird dazu das Filter ausgebaut und einer Funktionsprüfung unterzogen. Dieser Ausbau ist jedoch mit einem hohen Aufwand verbunden und birgt zudem die Gefahr, daß das Filter durch den Aus- und Wiedereinbau beschädigt wird. Darüber hinaus gibt es Anwendungsfälle, die eine Funktionsprüfung außerhalb der Filteranlage nicht erlauben, da die Gefahr besteht, daß das Filter durch gesundheitsgefährdende Stoffe kontaminiert ist. Ein solcher Einsatzfall ist beispielsweise die Verwendung eines Filters in einer Filteranlage als Abluftfilter eines Labores in der chemischen oder biologischen Forschung.

Für den Bereich der Lüftungs-Technik in hochsensiblen Bereichen ist es bekannt, Filter einer Aerosol-Sichtprüfung zu unterziehen, bei welcher einem Gasstrom vor einem Filter ein Aerosol zugeführt wird. Ist das Aerosol hinter dem Filter beobachtbar, ist der Rückschluß möglich, daß das Filter defekt ist. Wesentliche Nachteile dieser Prüfung sind die Verschmutzung des Filters durch das Aerosol und die mangelnde Objektivierbarkeit, da die Beobachtung für die Bewertung ausschlaggebend ist. Bei einer Prüfung einer Filteranlage mit den bekannten Mitteln besteht daher eine Unsicherheit, die als nicht akzeptabel empfunden wird.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die Sicherheit beim Betrieb von Filteranlagen zu erhöhen.

Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß mit den Merkmalen der Ansprüche 1 bzw. 6.

Gemäß der Erfindung ist vorgesehen, eine Meßvorrichtung bzw. eine Filteranlage derart auszulegen, daß sie eine In-Situ-Funktionsprüfung eines Filters einer Filteranlage durch die Bestimmung der Partikelanzahl in einer Gasprobe erlauben. Durch die Verwendung eines Gasstromes, insbesondere eines Luftstromes wird eine Kontamination des Filters

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vermieden und durch die Bestimmung der Partikelanzahl in den Gasstrom bzw. einer Gasprobe wird eine objektive Meßgröße zur Verfügung gestellt, die eine exakte Bewertung der Funktion einer Filteranlage ermöglicht .
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Die erfindungsgemäße Meßvorrichtung zur In-Situ-Funktionsprüfung einer Filteranlage durch die Bestimmung der Partikelanzahl in einer Gasprobe weist eine Eingangsseite zum Anschluß von Meßsonden, einen Laserpartikelsensor, eine auf der Ausgangsseite des Laserpartikelsensors angeordnete Vakuumvorrichtung, eine Laserpartikelsensor-Spülvorrichtung und mindestens eine Spülleitung zur Umgehung des Laserpartikelsensors auf. Die Spülleitung erlaubt die Umleitung eines von den Meßsonden kommenden Gas- oder Luftstromes direkt zur Ausgangsseite des Laserpartikelsensors, so daß eine Entfernung von Verunreinigungen in der Meßvorrichtung vor der Messung möglich ist, ohne den Laserpartikelsensor zu verschmutzen. Dadurch ist es möglich mit der Meßvorrichtung vor Ort zu gehen und dort Messungen an einer Filteranlage durchzuführen.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung weist die Eingangsseite einen ersten und einen zweiten Eingangszweig mit jeweils einer Abzweigung auf, wobei in dem ersten Eingangszweig eine Gasverdünnungsvorrichtung angeordnet ist. Die Gasverdünnungsvorrichtung dient dazu, einen eine hohe Partikelkonzentration aufweisenden Gasstrom so zu verdünnen, daß die Bestimmung der Partikelanzahl einer Probe, die vor einem Filter entnommen worden ist, den Laserpartikelsensor nicht derart verschmutzt, daß eine nachfolgende Vergleichs-bestimmung mit einer Probe, die hinter dem Filter entnommen worden ist, gar nicht oder nur mit großem zeitlichen Abstand nach einer Spülung des Laserpartikel sensors möglich ist. Die Gasverdünnungs-vorrichtung ermöglicht damit eine zügige Funktionsprüfung der Filteranlage.

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Vorzugsweise ist die Meßvorrichtung mit einem Eingangsfeinstfilter in einem Ansaugkanal für Raumluft versehen. Dadurch ist es möglich, die Meßvorrichtung an jedem beliebigen Ort ohne Hilfsaggregate einzusetzen. Es werden darüber hinaus Kosten für teure Spülgase vermieden. Ein in einer Ausgangsleitung vorzugsweise vorgesehener Ausgangsfeinstfilter verhindert eine Kontamination der Umgebung, wenn die Meßvorrichtung ohne Absaugvorrichtung betrieben wird, insbesondere wenn die Meßvorrichtung nach einer Kontamination im Spülbetrieb läuft.

Die erfindungsgemäße Filteranlage zur Abscheidung von Partikeln aus einem Gasstrom weist eine Zuleitung, die in eine Filterkammer mündet, und eine hinter der Filterkammer angeordnete Ableitung auf, wobei eine in der Zuleitung angeordnete Eingangssonde und ein in der Ableitung angeordnetes Ausgangssondenfeld die Entnahme von Gasproben zur In-Situ-Funktionsprüfung durch Bestimmung der Partikelanzahl in einer Gasprobe ermöglichen. Durch das Ausgangssondenfeld ist es möglich, einen Filter bereichsweise zu überprüfen, so daß auch kleine Filterschädigungen, die auf die Gesamtleistung des Filters keinen Einfluß hätten, gleichwohl aber bedenklich wären, feststellbar sind.

Die Filteranlage weist vorzugsweise mindestens eine langgestreckte Ausgangssonde mit jeweils mindestens zwei voneinander beabstandeten Meßöffnungen auf. Durch diese Ausgangssonden ist das Filter streifenweise abtastbar, so daß sich der Ort einer Fehlerstelle leicht detektieren läßt. Darüber hinaus wird eine Durchströmung der Filteranlage durch ein langgestreckte Ausgangssonden aufweisendes Ausgangssondenfeld nur unwesentlich beeinträchtigt. Ein solches Ausgangssondenfeld ist darüber hinaus wartungsarm und einfach und preisgünstig herstellbar.

Vorzugsweise sind die Eingangssonde und das Ausgangssondenfeld mit einer erfindungsgemäßen Meßvorrichtung verbunden, wobei diese Meßvor-

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richtung vorzugsweise einen Laserpartikelsensor aufweist, der zur Bestimmung der Partikelanzahl von Partikeln mit 0,1 bis 0,2 &mgr;&eegr;&eegr; Durchmesser ausgelegt ist. Durch eine solche Auslegung des Laserpartikelsensors wird eine optimale Funktionsprüfung einer Filteranlage erreicht, da sich herausgestellt hat, daß die Abscheiderate von Filtern bei Partikeln dieser Größe eine Minimum aufweist und die Anzahl der natürlichen Staubteilchen mit abnehmendem Durchmesser zunimmt. Dies gilt auch für die Funktionsprüfung von Störfallfilteranlagen von Kernkraftwerken, bei denen der Nachweis für Abscheideleistungen von Partikeln der Größe 0,3 bis 0,5 &mgr;&eegr;&pgr; Durchmesser gefordert ist. Wird die geforderte Abscheiderate bei Partikeln der Größe 0,1 bis 0,2 &mgr;&eegr;&eegr; Durchmesser erreicht, ist damit auch das Kriterium für die größeren Partikel erfüllt. Dies ist ein besonderer Vorteil des mit den erfindungsgemäßen Vorrichtungen durchführbaren Verfahrens.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen sowie aus der Zeichnung im Zusammenhang mit der Beschreibung.

Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Filteranlage gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 2 einen Abschnitt der in Fig. 1 gezeigten Filteranlage in einer Seitenansicht,

Fig. 3 den in Fig. 2 gezeigten Abschnitt der Filteranlage in einer Ansicht von oben,
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Fig. 4 eine Ansicht des Abschnitts der Filteranlage gemäß dem Pfeil IV in Fig. 2,

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Fig. 5 einen Schnitt durch den Abschnitt der Filteranlage gemäß der Linie V-V in Fig. 2,

Fig. 6 einen Schnitt durch den Abschnitt der Filteranlage gemäß der Linie VI-VI in Fig. 4 und

Fig. 7 eine Vergrößerung eines Ausschnitts aus Fig. 6.

Die in Fig. 1 gezeigte Filteranlage 10 weist eine Filterkammer 12 auf, in welcher ein Feinstfilter 14 angeordnet ist. Die Filterkammer 12 wird über eine Zuleitung 16 mit zu reinigender Luft versorgt und die gereinigte Luft wird über eine Ableitung 18 aus der Filterkammer 12 weiter transportiert.

Zur In-Situ-Funktionsprüfung des Filters 12 der Filteranlage 10 ist eine Meßvorrichtung 20 vorgesehen, deren zentrale Komponente einen Laserpartikelsensor 22 ist. Laserpartikelsensoren, bei denen Laserlicht in eine Kammer eingestrahlt wird und bei denen das Streulicht ausgewertet wird, sind an sich bekannt.

Der Laserpartikel sensor 22 dient dazu, Luftproben auszuwerten, die entweder über eine an der Zuleitung angeordnete Eingangssonde 24 oder über eine Ausgangssonde 26 des Ausgangssondenfeldes dem Laserpartikelsensor 22 zugeführt werden. Um die Luft anzusaugen ist eine Vakuumbox 30 vorgesehen, in welcher von einer Pumpe 32 ein Vakuum erzeugt wird.

Im allgemeinen ist die Meßvorrichtung 20 in einem fahrbaren Schrank angeordnet und über flexible Leitungen an die Eingangssonde 24 und das Ausgangssondenfeld 28 anschließbar. Ein erster Eingangszweig 34, der abschnittsweise als flexible Schlauchleitung ausgebildet ist, führt zunächst von der Eingangssonde 24 zu einer Abzweigung 36, von der aus

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eine Gasprobe entweder zu einer Gasverdünnungsvorrichtung 38 oder in eine erste Spülleitung 40 geleitet wird. Von der Gasverdünnungsvorrichtung geht dann eine Verbindungsleitung 42 zu dem Laserpartikelsensor 22.
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Auch das Ausgangssondenfeld 28 ist über eine abschnittsweise flexible Schlauchleitung mit einer Abzweigung 42 verbunden, wobei die flexible Schlauchleitung in diesem Falle einen Teil des zweiten Eingangszweiges 46 bildet.

Von der Abzweigung 44 verläuft eine zweite Verbindungsleitung 48 zu dem Laserpartikel sensor 22 und eine zweite Spülleitung 50 unter Umgehung des Laserpartikelsensors 22 direkt zu der Vakuumbox 30.

Um den Laserpartikel sensor 22 ohne Kontamination betreiben zu können, ist eine Laserpartikelsensor-Spülvorrichtung 52 vorgesehen, die einen Eingangsfeinstfilter 54 aufweist, über welchen Raumluft angesaugt wird. Um eine Kontamination der Umgebung zu verhindern, wenn durch einen Meßvorgang kontaminierende Stoffe in die Meßvorrichtung gelangt sind, ist an der Ausgangsseite ein Ausgangsfeinstfilter vorgesehen, über welchen die Pumpe 32 angesaugte Luft abbläst.

Bei der In-Situ-Funktionsprüfung eines Filters wird wie folgt vorgegangen:

Nach dem Anschließen der Meßvorrichtung wird zunächst der erste Eingangszweig 34 gespült, in dem ein erstes, in der ersten Spülleitung vorgesehenes Ventil 58 geöffnet, und ein in der ersten Verbindungsleitung 42 vorgesehenes zweites Ventil 60 geschlossen wird. Gleichzeitig sind ein in der zweiten Spülleitung 50 vorgesehenes drittes Ventil 62, ein in der zweiten Verbindungsleitung vorgesehenes viertes Ventil 64 und ein zur Abriegelung der Laserpartikelsensor-Spülvorrichtung vorge-

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sehenes fünftes Ventil 66 geschlossen. Anschließend wird das erste Ventil 58 geschlossen und das zweite Ventil 60 geöffnet. Dadurch kann eine Gasprobe von der Eingangssonde 24 über die Gasverdünnungsvorrichtung 38, in welcher mit einem bekannten Verdünnungsfaktor, vorzugsweise exakt im Verhältnis 1:100 verdünnt wird, in den Laserpartikelsensor 22 eingesaugt werden. In dem Laserpartikel sensor 22 erfolgt dann die Bestimmung der Partikelanzahl in dem Gasstrom vor dessen Reinigung .

Nachdem dieser Wert bestimmt worden ist, wird das Ventil 60 geschlossen. Durch Öffnen des fünften Ventils 66 kann der Laserpartikelsensor 22 dann ohne Verunreinigung betrieben werden.

Um die Abscheiderate des Filters 14 zu bestimmen wird anschließend nach einem Spülen über die zweite Spülleitung 50 der Laserpartikelsensor 22 nacheinander mit Gasströmen der einzelnen Ausgangssonden 26 des Ausgangssondenfeldes 28 versorgt. Meßfehler können durch eine zyklische Wiederholung der Messungen ausgeschlossen werden. Es sollten auch Nullpunktsüberprüfungen durchgeführt werden, bei welchen der Laserpartikelsensor 22 die Anzahl der Partikel in einem von der Laserpartikelsensor-Spülvorrichtung 52 kommenden Luftstrom ermittelt.

Ein Beispiel für eine In-Situ-Funktionsprüfung eines Filters 14 einer Störfallfilteranlage ist in der nachfolgenden Tabelle wiedergegeben.

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	O-Count	Vor 1	Sonde 1	Sonde 2	Sonde 3	Sonde 4	Sonde 5	Sonde 6	Vor 2	0-Count
Messung 1	0	4635	58	70	57	47	1835	545	4542	0
Messung 2	0	4508	65	54	50	46	2343	758	4751	0
Messung 3	1	4636	65	48	47	51	1619	769	4522	0
Messung 4	0	4439	47	55	61	33	1652	818	4476	0
Messung 5	0	4561	59	69	60	45	1791	766	4624	1
Messung 6	2	4664	51	56	63	46	1826	706	4261	0
Messung 7	&Iacgr;	4633	49	108	39	37	2083	802	4411	0
Messung 8	1	4922	69	60	79	33	1964	724	4283	1
Messung 9	0	4907	40	92	57	52	2055	784	4076	0
Messung 10	0	5067	48	43	48	55	2004	776	4022	4
Durch schnitt	0	4697	55	65	56	44	1917	744	4396	0
I.O.?	OK	OK	OK	OK	OK	OK	Leck	Leck	OK	OK
Abscheidegr		454650	99,99	99,99	99,99	99,99	99,57935	99,83735

Diese Tabelle zeigt, daß im Bereich der Sonden 5 und 6 gegenüber den anderen Sonden erheblich höhere Partikelanzahlen ermittelt wurden. Dies läßt eindeutig den Schluß zu, daß im Bereich der Sonden 5 und 6 eine Leckage vorhanden ist. Andererseits läßt das Ergebnis erkennen, daß die Meßvorrichtung in Ordnung ist, da in Bereichen, in denen keine Leckage vorhanden ist, sich erwartete Meßergebm'sse eingestellt haben.

In Fig. 1 ist ein Abschnitt einer Filteranlage 10, der eine Filterkammer 12 sowie einen Abschnitt einer Zuleitung 16 und einer Ableitung aufweist, schematisch gezeigt. Die Fig. 2 bis 7 zeigen diesen Abschnitt zwischen Zuleitung 16 und Ableitung 18 im Detail. Dabei ist insbesondere die Ausbildung des Ausgangssondenfeldes 28 mit seinen einzelnen Ausgangssonden 26 von Interesse.

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Das Ausgangssondenfeld 28 befindet sich in einem Bereich der Filteranlage, in welchem sich der durchströmte Querschnitt hinter einem in einer Filterkammer 12 angeordneten Feinstfilter 14 aufweitet. Die einzelnen langgestreckten, geraden Sonden 26 des Ausgangssondenfeldes 28 sind dabei senkrecht zur Hauptdurchströmungsrichtung in einem Abstand von etwa 300 mm hinter dem stromabseitigen Abschluß des Feinstfilters angeordnet. Da die Filterkammer 12 im wesentlichen quadratisch ausgebildet ist und eine Kantenlänge von etwa 750 mm aufweist, sind im Bereich des Ausgangssondenfeldes 28, in welchem der durchströmte Bereich bei quadratischer Ausbildung bereits eine Kantenlänge von etwa 890 mm hat, sechs Ausgangssonden 26 angeordnet, die jeweils bis auf einen unteren Abschnitt von 40 mm sich über die gesamte Höhe des an dieser Stelle durchströmten Querschnitts erstrecken. Die Ausgangssonden 26 sind im Querschnitt kreisförmig ausgebildet und weisen jeweils 13 kreisförmige Meßöffnungen 70 auf. Dadurch ergibt sich je dm² durchströmten Querschnitts im Bereich des Ausgangssondenfeldes 26 jeweils eine Meßöffnung. Die Ausgangssonden 26 bestehen dabei aus einem 10 &khgr; 1 Rohr mit konstantem Querschnitt, wobei die Meßöffnungen 70 als Bohrungen mit einem Querschnitt von etwa 2 mm ausgebildet sind. Grundsätzlich gilt, daß der Abstand der einzelnen Ausgangssonden 26 voneinander 100 bis 150 mm betragen sollte. Der gesamte Öffnungsquerschnitt der Meßöffnungen 70 je Ausgangssonde 26 sollte ca. 50 bis 80 % des lichten Querschnitts der jeweiligen Ausgangssonde 26 betragen, so daß sichergestellt ist, daß bei einem Absaugen durch die Ausgangssonde 26 ein Probengas über die gesamte Höhe der Ausgangssonde 26 angesaugt wird. Die Absauggeschwindigkeit sollte dabei ca. 5 bis 9 m pro Sek. betragen.

Aus Fig. 2 ist ersichtlich, daß das Ausgangssondenfeld 28 hinter einem Sichtfenster 72 angeordnet ist. Dieses Sichtfenster 72 erleichtert das

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Ausrichten der Ausgangssonden 26, so daß deren Meßöffnungen 70 im wesentlichen rechtwinklig zum Luftstrom angeordnet werden können.

Aus den Fig. 4, 6 und 7 ist ersichtlich, daß die Ausgangssonden 26 an eine Konsole geführt sind, an der sie an einer Schnellkupplung 74 enden. Diese Schnellkupplung 74 erlaubt eine problemlose Montage eines Schlauches eines ersten Eingangszweiges 34 einer Meßvorrichtung 20.

Claims

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ANSPRÜCHE

1. Meßvorrichtung zur In-Situ-Funktionsprüfung eines Filters einer Filteranlage durch die Bestimmung der Partikelanzahl in einer Gasprobe, mit einer Eingangsseite zum Anschluß von Meßsonden (24, 26), einem Laserpartikel sensor (22), einer auf einer Ausgangsseite des Laserpartikelsensors (22) angeordneten Vakuumvorrichtung (30, 32), einer Laserpartikelsensor-Spülvorrichtung (52) und mit mindestens einer Spülleitung (40, 50) zur Umgehung des Laserpartikelsensors (22), durch welche ein von den Meßsonden (24, 26) kommender Gasstrom, insbesondere Luftstrom direkt zur Ausgangsseite umleitbar ist.

2. Meßvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Eingangsseite einen ersten und einen zweiten Eingangszweig (34, 46) aufweist, wobei in dem ersten Eingangszweig (34) eine Gasverdünnungsvorrichtung (38) angeordnet ist.

3. Meßvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Laserpartikelsensor-Spülvorrichtung (52) mit einem Eingangsfeinstfilter (54) in einem Ansaugkanal für Raumluft versehen ist.

4. Meßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 2, dadurch gekennzeichnet, daß in einer an der Ausgangsseite angeordneten Ausgangsleitung ein Ausgangsfeinstfilter (56) vorgesehen ist.

5. Meßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Eingangsseite eine Umschaltbox vorgesehen ist, mit welcher Gasströme verschiedener Meßsonden wahlweise auf den Laserpartikelsensor (22) oder eine Spülleitung (50) aufschaltbar sind.

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6. Filteranlage zur Abscheidung von Partikeln aus einem Gasstrom, mit einer Zuleitung (16), die in eine Filterkammer (12) mündet, und mit einer hinter der Filterkammer (12) angeordneten Ableitung (18), gekennzeichnet durch eine in der Zuleitung (16) angeordnete Eingangssonde (24) und ein in der Ableitung (18) angeordnetes Ausgangssondenfeld (28) zur Entnahme von Gasproben zur In-Situ-Funktionsprüfung durch Bestimmung der Partikelanzahl in einer Gasprobe.

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7. Filteranlage nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Ausgangssondenfeld (28) mindestens zwei langgestreckte Ausgangssonden (26) mit jeweils mindestens zwei voneinander beabstandeten Meßöffnungen aufweist.

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8. Filteranlage nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Eingangssonde (24) und das Ausgangssondenfeld (28) mit einer Meßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5 verbunden sind.

9. Filteranlage nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Laserpartikelsensor (22) zur Bestimmung der Partikelanzahl von Partikeln mit 0,1 bis 0,2 &mgr;&pgr;&igr; Durchmesser ausgelegt ist.

10. Filteranlage nach einem der Ansprüche 6 bis 9, gekennzeichnet durch eine Auslegung als Filteranlage in hochsensiblen Bereichen oder Prozessen.

11. Filteranlage nach einem der Ansprüche 6 bis 9, gekennzeichnet durch eine Auslegung als Abluftfilter eines Reinluftlabores.

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