DE29718464U1

DE29718464U1 - Pressure sensor element

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Publication number: DE29718464U1
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Priority date: 1997-10-17
Filing date: 1997-10-17
Publication date: 1997-12-18
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Also published as: DE19847793A1; DE19847793B4

Description

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BOEHMERT & BOEHMERTBOEHMERT & BOEHMERT

Uuchnim & [!uniline« · Niciiuiiiiswcj; 133 · 0-24105 KielUuchnim & [!uniline« · Niciiuiiiiswcj; 133 · 0-24105 Kiel

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DR.-JNG. KARL BOEIlMERT, &Rgr;&Lgr; <iuj.inj) DlPL-ING. ALBERT BOEHMERT, PA <i»4.im) WILHELM J.H. STAHLBERG, RA, u«£Men DR.-ING. WALTER HOORMANN, PA\ orümek DIPL-PHYS. DR. HEINZ GODDAR, PA", München DR.-1NG. ROLAND LIESEGANG, PA^-, München WOLF-DIETER KUNTZE, RA, dremcn. aucanie DlPL-PHYS. ROBERT MONZHUBER, PA (HM-HH) DR. LUDWIG KOUKER, RA, naiäum DR. (CHEM.) ANDREAS WINKLER, PA', ürcmen MICHAELA HUTH, RA, MOtraiffl D1PL.-PHYS. DR. MARION TÖNHARDT, PA', düssi-umw DR. ANDREAS EBERT-WEIDENFELLER, RA, dmmcnDR.-JNG. KARL BOEHMERT, LL.M. <iuj.inj) DlPL-ING. ALBERT BOEHMERT, PA <i»4.im) WILHELM JH STAHLBERG, RA, u«£Men DR.-ING. WALTER HOORMANN, PA\ orümek DIPL-PHYS. DR. HEINZ GODDAR, PA", Munich DR.-1NG. ROLAND LIESEGANG, PA ^- , Munich WOLF-DIETER KUNTZE, RA, Dr. (CHEM.) ANDREAS WINKLER, PA', Dr. MICHAELA HUTH, RA, Dr. (CHEM.) D1PL.-PHYS. DR. MARION TÖNHARDT, PA', Dr. ANDREAS EBERT-WEIDENFELLER, RA, Dr.

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PA - PatcniaawaSt / Palait Attorney RA · Rechtsanwalt/ Aliomcyal Law ' - European Patent Attorney Alle zugdasjcn beim EU-MarStcnamt, Alicaiitc AU admitted at IhC EU-Tradcniaii: Ollicc AlicantePA - Patent Attorney / Patent Attorney RA · Attorney/ Aliomcyal Law ' - European Patent Attorney All registered at the EU Trademark Office, Alicante AU admitted at the EU Trademark Office: Ollicc Alicante

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16.10.199716.10.1997

Dr. Erhard Giese Hasenhof 24, 24941 FlensburgDr. Erhard Giese Hasenhof 24, 24941 Flensburg

DrucksensorelementPressure sensor element

Die Erfindung betrifft ein Drucksensorelement mit einer ersten topfförmigen Membran und einem auf die nach außen weisende Rundfläche der Membran aufgebrachten Dehnungsmeßstreifen. The invention relates to a pressure sensor element with a first pot-shaped membrane and a strain gauge applied to the outward-facing round surface of the membrane.

Drucksensoren werden in vielfältiger Weise zur Überwachung von Förder- und Verarbeitungsvorgängen verwendet.Pressure sensors are used in a variety of ways to monitor conveying and processing operations.

940940

Nicmannswcg 133 ■ D-24105 Kiel · Telephon (04 31) 8 40 75 · Telefax (04 31) 8 40 77Nicmannswcg 133 ■ D-24105 Kiel · Telephone (04 31) 8 40 75 · Fax (04 31) 8 40 77

MÜNCHEN - BREMEN - BERLIN - DÜSSELDORF - POTSDAM - ALICANTE - BRANDENBURG - HÖHENKIRCHEN - KIEL - LEIPZIGMUNICH - BREMEN - BERLIN - DÜSSELDORF - POTSDAM - ALICANTE - BRANDENBURG - HÖHENKIRCHEN - KIEL - LEIPZIG

e-mail: Postmaster@Bochmert.Boehmert.dee-mail: Postmaster@Bochmert.Boehmert.de

itit

Bei dem bekannten Drucksensorelement bildet sich innerhalb der topfförmigen Membran ein Totraum, wodurch seine Verwendung bei einer Mehrzahl von Anwendungsfällen, beispielsweise in der Lebensmittelindustrie, unmöglich wird.In the known pressure sensor element, a dead space forms within the cup-shaped membrane, which makes its use impossible in a majority of applications, for example in the food industry.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Drucksensorelement zu schaffen, das kein Totvolumen aufweist.The invention is based on the object of creating a pressure sensor element which has no dead volume.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe gelöst durch eine zweite, zu der ersten umgekehrt angeordnete und mit dieser fest verbundene zweite topfförmige Membran und einen zwischen den beiden Grundflächen der Membrane angeordneten, eine Wölbung der Grundfläche der zweiten Membran auf die erste Membran übertragenden Stift.According to the invention, this object is achieved by a second pot-shaped membrane arranged in reverse to the first and firmly connected to it and a pin arranged between the two base surfaces of the membrane and transferring a curvature of the base surface of the second membrane to the first membrane.

Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel zeichnet sich dadurch aus, daß der Stift zweiteilig mit einem der ersten Membran zugehörigen Abschnitt und einem der zweiten Membran zugehörigen Abschnitt ausgebildet ist.A preferred embodiment is characterized in that the pin is formed in two parts with a section belonging to the first membrane and a section belonging to the second membrane.

Weiter wird die Vorsehung eines zwischen den beiden Membranen angeordneten, mit diesen fest verbundenen Ringkörper vorgeschlagen.Furthermore, the provision of a ring body arranged between the two membranes and firmly connected to them is proposed.

Die Erfindung wird im folgenden anhand einer Zeichnung erläutert. Dabei zeigt:The invention is explained below with reference to a drawing.

Fig. 1 ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung; undFig. 1 shows a first embodiment of the invention; and

Fig. 2 ein zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung. Fig. 2 shows a second embodiment of the invention.

Das Drucksensorelement besteht aus einer ersten topfförmigen Membran 12, auf deren nach außen weisender Grundfläche eine Widerstandsanordnung aufgebracht ist, bei der es sich um aufgeklebte Dehnungsmeßstreifen oder eine in Dücchschichttechnik direkt auf die Metalloberfläche aufgedampfte oder aufgesputterte Isolierschicht und Meßwiederstandsanordnung handeln kann.The pressure sensor element consists of a first pot-shaped membrane 12, on whose outward-facing base surface a resistance arrangement is applied, which can be glued-on strain gauges or an insulating layer and measuring resistance arrangement vapor-deposited or sputtered directly onto the metal surface using a thin-film technique.

Eine zweite topfförmige Membran 16, deren Grundfläche von der ersten Membran 12 weg weist, ist über einen Ringkörper 14 mit der ersten Membran 12 fest verbunden. Der Ringkörper 14 ist dabei mit einem Ringflansch 24 versehen, der zur Befestigung des Drucksensorelements am Meßort dient.A second pot-shaped membrane 16, the base of which faces away from the first membrane 12, is firmly connected to the first membrane 12 via an annular body 14. The annular body 14 is provided with an annular flange 24, which serves to fasten the pressure sensor element at the measuring location.

Die Membran 16 trägt einen axial verlaufenden Stift 10, der mit der Grundfläche der ersten Membran 12 verschweißt ist. Ein Druck, der auf die Grundfläche der zweiten Membran 16 aufgebracht wird und dessen Wölbung in Richtung auf die erste Membran 12 hin wirkt, verursacht eine Verlagerung des Stifts 10 (in der Zeichnung nach oben) und damit eine Wölbung der zweiten Membran 12 und der auf deren Grundfläche aufgebrachten Widerstandsanordnung 2 0.The membrane 16 carries an axially extending pin 10 which is welded to the base of the first membrane 12. A pressure which is applied to the base of the second membrane 16 and whose curvature acts towards the first membrane 12 causes a displacement of the pin 10 (in the drawing upwards) and thus a curvature of the second membrane 12 and the resistance arrangement applied to its base 2 0.

Bei dem in Fig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Stift 10 zweiteilig ausgebildet, wobei der eine Abschnitt der ersten Membran 18 und der zweite Abschnitt der zweiten Membran 22 zugehörig ist. Die freien Enden der den Stift 10 bildenden Abschnitte liegen spielfrei aufeinander.In the embodiment shown in Fig. 2, the pin 10 is formed in two parts, with one section belonging to the first membrane 18 and the second section belonging to the second membrane 22. The free ends of the sections forming the pin 10 lie on top of one another without play.

Claims

J ,* JAN C. TOIiNlES G 5094 CLAIMS

1. Pressure sensor element, with a first cup-shaped membrane (12, 18) and a resistance arrangement (20) applied to the outward-facing base surface of the membrane, characterized by a second cup-shaped membrane (16, 22) arranged in reverse to the first and firmly connected to it and a pin (10) arranged between the two base surfaces of the membranes (12, 16; 18, 22) and transferring a curvature of the base surface of the second membrane (16, 22) to the first membrane (12, 18).

2. Pressure sensor element according to claim 1, characterized in that the pin (10) is formed in two parts with a section belonging to the first membrane (18) and a section belonging to the second membrane (22).

3. Pressure sensor element according to claim 1 or 2, characterized by an annular body (14) arranged between the two membranes (12, 16) and firmly connected thereto.