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DE29700870U1 - Vorrichtung zur Angabe des Niveaus einer Fahrzeugachse - Google Patents

Vorrichtung zur Angabe des Niveaus einer Fahrzeugachse

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Publication number
DE29700870U1
DE29700870U1 DE29700870U DE29700870U DE29700870U1 DE 29700870 U1 DE29700870 U1 DE 29700870U1 DE 29700870 U DE29700870 U DE 29700870U DE 29700870 U DE29700870 U DE 29700870U DE 29700870 U1 DE29700870 U1 DE 29700870U1
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DE
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contact
resistance
magnetic
track
housing
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Application number
DE29700870U
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English (en)
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Siemens AG
Original Assignee
Mannesmann VDO AG
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Publication date
Application filed by Mannesmann VDO AG filed Critical Mannesmann VDO AG
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Publication of DE29700870U1 publication Critical patent/DE29700870U1/de
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Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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    • B60G17/01933—Velocity, e.g. relative velocity-displacement sensors
    • G—PHYSICS
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Description

VDO Adolf Schindling AG Rüsselsheimer Str. 22
60326 Frankfurt
K46-R/RA-ah
3496
Beschreibung Vorrichtung zur Angabe des Niveaus einer Fahrzeugachse
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Angabe des Niveaus einer Fahrzeugachse mit einem dem Niveau der Fahrzeugachse folgenden Bezugsmarkengeber, welcher fest an der Fahrzeugachse angeordnet ist und infolge der Niveauänderung der Achse seine Position ändert, wobei an einem fest mit dem Fahrzeugaufbau verbundenen Widerstandsnetzwerk ein dem Niveau der Achse entsprechendes elektrisches Signal abnehmbar ist.
Derartige Vorrichtungen zur Angabe des Niveaus der Fahrzeugachse sind allgemein bekannt, insbesondere um das maximale Gesamtgewicht und die zulässige Achslast des Fahrzeuges zu bestimmen. Die genaue Kenntnis des Ladezustandes ist nicht nur aus Gründen der Verkehrssicherheit, sondern auch aus Wirtschaftlichkeitsgründen wünschenswert.
In Abhängigkeit vom Niveau der Fahrzeugachse wird an einem Schieiferpotentiometer ein elektrisches Signal abgenommen, was z. B. zur Bestimmung des Ladegewichts oder auch zur Einstellung der Fahrzeugdämpfung genutzt wird.
Derartige Schleiferpotentiometer unterliegen einem Verschleiß ihrer mechanischen Teile und sind nur schwer gegen äußere Einflüsse abzudichten.
Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, einen Niveaugeber anzugeben, weicher verschleißarm arbeitet, billig herstellbar ist und trotzdem eine hohe Genauigkeit aufweist.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß dem Widerstandsnetzwerk eine Kontaktstruktur zugeordnet ist, die unter Einwirkung einer durch die Positionsänderung des Bezugsmarkengebers bewegbaren Magneteinrichtung in der Art auslenkbar ist, daß eine vom Niveau der Achse abhängige elektrische Verbindung bewirkt wird.
Der Vorteil dieser Vorrichtung besteht darin, daß sie vollständig verschleißfrei arbeitet. Weiterhin besitzt sie eine hohe Kontaktzuverlässigkeit und weist eine hohe Auflösung auf. Die Kontaktstruktur kann dabei jede Struktur sein, die auf irgendeine Art und Weise zungenartige Federelemente aufweist, egal ob diese Federelemente einzeln aufgesetzt werden oder im Verbund von mehreren Federelementen als einstückige Struktur ausgebildet sind.
In einer Weiterbildung ist der Bezugsmarkengeber über eine Hebelverbindung mit der Magneteinrichtung verbunden. Dabei ist der Bezugsmarkengeber vorteiihafterweise selbst als starrer Hebel ausgebildet, welcher einen Stößel bewegt, an dessen dem Hebel abgewandten Seite die Magneteinrichtung fest angeordnet ist.
In einer Ausbildung ist der die Magneteinrichtung tragende Stößel in einem an dem Fahrzeugaufbau montierten Gebergehäuse beweglich gelagert.
Im Gebergehäuse sind ebenfalls das Widerstandsnetzwerk und die Kontaktstruktur angeordnet.
Vorteilhafterweise ist das Widerstandsnetzwerk auf einem Substrat angeordnet und die Knotenpunkte des Widerstandsnetzwerkes sind mit ebenfalls auf dem Substrat aufgebrachten Kontaktflächen verbunden. Die Verbesserung der Kontaktfähigkeit erfolgt durch die auf dem Substrat aufgebrachten Kontaktflächen, wodurch ein erschütterungsfreier und robuster Aufbau des Positionssensors mit nur geringen Abmessungen möglich ist, was besonders für den Einsatz in Kraftfahrzeugen vorteilhaft ist.
In einer Weiterbildung sind auf dem Substrat Leiterbahnen angeordnet, wobei das Ende jeder Leiterbahn eine Kontaktfläche bildet.
Die Kontaktstruktur ist dabei im konstanten Abstand zu den Kontaktflächen angeordnet, welche unter Einwirkung der Magneteinrichtung mit der Kontaktstruktur in Berührung treten. Die Kontaktstruktur kann dabei eine Kontaktfederstruktur sein oder aus separaten Kontaktfedern bestehen. Die Kontaktfederstruktur kann aber auch eine einstückige Biegebalkenstruktur sein.
In einer Ausführung ist das Widerstandsnetzwerk als schichtförmige Widerstandsbahn ausgebildet und kann sowohl in Dünnschicht- oder in Dickschichttechnik hergestellt sein. Die Leiterbahnen sind teilweise mit der Widerstandsbahn bedeckt und das Ende jeder Leiterbahn bildet dabei die Kontaktfläche.
Vorteilhafterweise sind mindestens die Kontaktflächen und die Kontaktstruktur in einem dichten Gehäuse eingeschlossen und die Magneteinrichtung ist außerhalb des dichten Gehäuses bewegbar. Eine solche Pedaleinrichtung weist keine offenen Kontakte gegenüber dem ihn umgebenden Medium auf.
In einer Ausführung dient das das Widerstandsnetzwerk tragende isolierende Substrat gleichzeitig als Gehäusewandung, welches mit einer Gehäuseabdeckung dicht verschlossen ist. So ist nur mit wenigen Bauteilen eine Vorrichtung zur Niveaubestämmung herstellbar, die unempfindlich gegenüber aggressiven Umgebungsbedingungen ist.
Eine zuverlässige Arbeitsweise wird ermöglicht, wenn die Magneteinrichtung gegen die Außenseite des Gehäuses vorgespannt ist, so daß sie leicht berührend bewegbar ist.
Weitere Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.
Die Erfindung läßt zahlreiche Ausführungsformen zu, wobei eine anhand der in der Zeichnung dargestellten Figuren näher erläutert werden soll.
Es zeigt:
Fig. 1 schematische Darstellung der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Niveaubestimmung einer Fahrzeugachse,
Fig. 2 als Potentiometer ausgebildeter linearer magnetischer Positionssensor,
Fig. 3 Widerstandsbahn mit Leiterbahn im Schnitt,
Fig. 4 Ausgangssignal der erfindungsgemäßen Vorrichtung,
Fig. 5 Ersatzschaltbild des magnetischen Positionssensors,
Fig. 6 Kontaktierung der elektrischen Anschlüsse.
Gleiche Merkmale sind in allen Figuren mit den gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet.
Das Meßprinzip der Niveaubestimmung einer Fahrzeugachse basiert auf der Erscheinung, daß die Fahrzeugachsen, entsprechend ihrer Belastung, eine proportionale Verformung im elastischen Bereich erfahren.
Üblicherweise wird ein Bezugsmarkengeber in der Mitte einer nicht angetriebenen Achse angeordnet. Bei angetriebenen Achsen wird je ein Geber rechts und links des Differentials angeordnet.
In Figur 1 ist die Fahrzeugachse 1 mit dem daran montierten Rad 2 nur sehr schematisch dargestellt, um das Meßprinzip zu verdeutlichen. An der Achse 1 ist ein hebelartiger Bezugsmarkengeber 3 angeordnet, weicher mechanisch mit einem Stößel 28 fest verbunden ist. Der Stößel 28 ist durch eine Montageplatte 29, die den Fahrzeugaufbau verdeutlichen soll, in den Innenraum eines Gebergehäuses 30 geführt, das ebenfalls fest mit der Montageplatte 29 verbunden ist. Wird das Fahrzeug beladen, verformt sich die Achse 1 und der Bezugsmarkengeber 3 zieht den Stößel 28 in Pfeiirichtung. Der
Stößel 28 trägt an dem dem Bezugsmarkengeber 3 entgegengesetzten Ende in einer Öffnung 4 in einer Hülse 5 einen Dauermagneten 5. Entsprechend der Position des Bezugsmarkengebers 3 bewegt sich der fest am Stößel 28 verankerte Magnet 5 schleifend an dem Substrat 7, 8 eines linearen magnetischen Positionssensors, wie es in Figur 2 ausführlich dargestellt ist.
Das Substrat 7 ist dicht mit der Gehäuseabdeckung 8 des Positionsgebers verbunden und über eine Klipseinrichtung 9 mit dem Gebergehäuse 30 verbunden, das mit einem Deckel 31 verschlossen ist. Aus dem Deckel 31 des Gebergehäuses 30 sind nur die elektrischen Anschlüsse 11, 12, 13 des Positionsgebers herausgeführt. Der Stößel 28 ist gegen den Bezugsmarkengeber 3 durch Feder 32 vorgespannt, die an der Innenseite des Deckels 31 des Gebergehäuses 30 befestigt ist.
Der in Figur 2 dargestellte magnetische Positionssensor besteht dabei aus einem die Widerstandsbahn 14 tragenden Substrat 7 und einer Gehäuseabdeckung 8.
Das Gehäuse 7, 8 besteht aus einem isolierenden Substrat 7, welches mit einer Gehäuseabdeckung dicht verlötet, verschweißt oder verklebt ist. Das Substrat 7 und die Gehäuseabdeckung bestehen aus Material mit gleichem bzw. ähnlichem Temperaturausdehnungskoeffizienten.
Der magnetische Positionssensor ist schematisch auf der Basis einer Dickschichtanordnung in Form eines linearen Potentiometers dargestellt.
Das unmagnetische Substrat 7 trägt ein Widerstandsnetzwerk in Form einer schichtförmigen Widerstandsbahn 14, welche sich zwischen den elektrischen Anschlüssen 11 und 12 erstreckt.
Unter der Widerstandsbahn 14 sind auf dem Substrat 7 mehrere Leiterbah-
nen 15 angeordnet (Fig. 3). Die Leiterbahnen 15 werden teilweise von der Widerstandsbahn 14 abgedeckt. Dabei bildet ein von der Widerstandsbahn nicht bedecktes Ende jeder Leiterbahn 15 eine Kontaktfläche 16, die mit Gold oder Silber beschichtet ist.
Die Schnittdarstellung in Figur 3 zeigt, daß die Leiterbahnen 15 im Bereich der Widerstandsbahn 14 vollständig von dieser umschlossen sind, um eine zuverlässige elektrische Kontaktierung zu gewährleisten. Gemäß Figur 2 ist auf dem Substrat 7 deckungsgleich zur Widerstandsbahn 14 ein Abstandshalter 17 angeordnet, auf welchem eine einstückige, kammförmige Biegebalkenstruktur 18 in Form einer weichmagnetischen Folie aufgebracht ist.
Alternativ dazu besteht die Biegebalkenstruktur 18 aus nicht magnetischem Material, welches mit einer magnetischen Schicht versehen ist.
Die kammförmige weichmagnetische Biegebalkenstruktur 18 besteht aus einseitig gestützten, frei beweglichen Biegebalken 19. Die Biegebalken 19 sind zur Reduzierung des Kontaktwiderstandes galvanisch mit einer Goldoder Silberschicht beschichtet.
Der Abstandshalter 17 hält die frei beweglichen Enden der Biegebalkenstruktur 18 in einem definierten Abstand zu den Kontaktflächen 16.
Die frei beweglichen Enden der Biegebalken 19 sind überdeckend zu den Kontaktflächen 16 angeordnet. Dabei ist die als weichmagnetische Folie ausgebildete Biegebalkenstruktur 18 selbst elektrisch leitfähig und steht mit dem außenliegenden elektrischen Anschluß 13 in Verbindung.
Die Widerstandsbahn 14 ist, wie bereits erläutert, über die Anschlüsse 11 und 12 elektrisch mit Masse und der Betriebsspannung UB verbunden. Die Signalspannung UAUS des Positionsgebers ist über den elektrischen Anschluß 13 abgreifbar, der mit der Biegebalkenstruktur 18 verbunden ist. Die Signalspannung UAUS ist im Bereich von 0 V bis U8 variierbar und stellt die
• ·
Position eines Permanentmagneten 5 dar.
Der Permanentmagnet 5, welcher wie beschrieben außerhalb des Gehäuses 7, 8 beweglich gegenüber der abgewandten Seite des die Widerstandsbahn 14 tragenden Substrats 7 angeordnet ist, wird im Bereich der Überlagerung der Kontaktflächen 16 mit den frei beweglichen Enden 19 der einseitig gestützten Biegebalkenstruktur 18 bewegt. Der Permanentmagnet 5 kann dabei mittels einer Feder derart vorgespannt sein, daß er entlang der Gehäuseaußenseite, z. B. der Substrataußenseite, berührend bewegbar ist.
Die frei beweglichen Enden der Biegebalken 19 der Biegebalkenstruktur 18 werden durch das Magnetfeld des Permanentmagneten 5 auf die Kontaktflächen 16 gezogen und kontaktiert. Entsprechend der Position des Permanentmagneten 5 wird eine elektrische Verbindung zu den dazugehörigen Widerständen des Widerstandsnetzwerkes erzeugt und eine dieser Position entsprechende Signalspannung UAUS abgegriffen. Es wird dabei ein gestuftes Ausgangssignal erzeugt, wie es in Figur 4 dargestellt ist.
Die Breite des Dauermagneten 5 ist so dimensioniert, daß mehrere nebeneinander liegende, frei bewegliche Enden 19 der Biegebalkenstruktur 18 gleichzeitig mit den entsprechenden Kontaktflächen 16 kontaktiert werden und somit redundant wirken, so daß etwaige Kontaktunterbrechungen nicht zum völligen Signalausfall des Meßsystems führen.
Dies ist im elektrischen Ersatzschaltbild des Positionssensors gemäß Figur 5 noch einmal verdeutlicht.
Die Einzelwiderstände des Widerstandsnetzwerkes 14 können, wie beschrieben, als Bahn oder als separate Einzelwiderstände ausgebildet sein.
Die Berührung der Biegebalkenelemente 19 mit den Kontaktflächen 16 an den Leiterbahnen 15 führt zum Schließen eines Schalters 20, wodurch das Ausgangssignal UAUS erzeugt wird.
Der Abstandshalter 17 ist mittels einer temperaturbeständigen und ausgasungsfreien selbstklebenden Folie sowohl an der Biegebalkenstruktur 18 als auch am isolierenden Substrat 7 befestigt. Zur Herstellung einer direkten elektrischen Verbindung kann der Abstandshalter 17 metallisch ausgebildet sein.
Der Abstandshalter 17 kann vorzugsweise auch aus dem gleichen Material wie das Substrat 7 hergestellt sein.
Auch kann eine quer gebogene Biegebalkenstruktur 18 zur Abstandsgewinnung der Biegebalken 19 zu den Kontaktflächen 16 genutzt werden.
Das die Widerstandsbahn 14 und die weichmagnetische Folie 18 tragende isolierende Substrat 7 besteht aus einer Keramikplatte. Es ist aber auch der Einsatz von Glas- oder Kunststoffträgern oder glas- oder isolationsbeschichteten Metallplatten, sowie Silizium oder Epoxid-Leiterplattenmaterial denkbar.
Das isolierende Substrat 7, welches die Widerstandsbahn 14, die Leiterbahnen 15 mit den Kontaktflächen 16, den Abstandshalter 17 sowie die Biegebalkenstruktur 18 trägt, dient gleichzeitig als Gehäusewandung des Positionssensors, die mit einer Gehäuseabdeckung 8 verschlossen wird.
Bei der Verwendung einer metallischen Gehäuseabdeckung 8 kann die Abdeckung zum Korrosionsschutz und zur Verbesserung der Lötbarkeit vollständig verzinnt werden.
Anstelle der metallischen Gehäuseabdeckung 8 ist auch eine lötfähige metallisierte Keramikabdeckung verwendbar.
Eine weitere Möglichkeit besteht darin, den Gehäusedeckel 8 mit dem Substrat 7 mit Kleber oder einer Schmelzfolie zu verkleben.
Eine metallisierte Schicht 22 als umlaufender Rand auf dem isolierenden
Substrat 1 dient zur Verkapselung des Positionssensors. Zur Verbesserung der Lötbarkeit wird die Metallschicht 22 verzinnt.
Zur Realisierung der elektrischen Anschlüsse 11, 12, 13 werden Stifte durch das isolierende Substrat 7 geführt und dort hermetisch dicht und damit korrosionsbeständig mit der Widerstandsbahn 14 bzw. der Biegebalkenstruktur 18 verlötet oder verschweißt.
Alternativ können aber auch Verbindungsdrähte 23 über je eine dichte Glasdurchführung nach außen geführt werden, wobei jede Glasdurchführung entweder durch das Substrat 7 oder durch die Gehäuseabdeckung 8 geführt wird.
In einer weiteren Ausführung, wie sie in Figur 6 dargestellt ist, können die Durchführungslöcher für die elektrischen Anschlüsse, z.B. Anschluß 11 im Substrat 7 (oder der Gehäuseabdeckung 8), durch Zulöten mittels Auffüllen des Durchführungsloches mit Lötmittel 24 ohne Verbindungsdrähte abgedichtet werden. Der entstehende Lötpunkt 25 dient gleichzeitig als elektrischer Anschluß für von außen zugeführte Drähte 23. Dadurch wird zuverlässig verhindert, daß Feuchtigkeit durch die Durchführungslöcher in den Positionssensor eindringt. Das Widerstandsnetzwerk 14 ist über eine auf dem Substrat 7 befindliche Anschlußleiterbahn 21 mit dem Lötpunkt 25a des Lötmittels verbunden.
Im Bereich des umlaufenden Randes 26 der Gehäuseabdeckung 8 sind Substrat 7 und Gehäuseabdeckung 8, wie beschrieben, über die metallisierte Schicht 22 verlötet, verschweißt oder verklebt.
Anstelle der beschriebenen einstückigen Biegebalkenstruktur 18 können einzelne Biegebalkenelemente verwendet werden. Auch diese Biegebalkenelemente bestehen aus einer weichmagnetischen Folie und sind elektrisch leitfähig ausgebildet. Sie werden ebenfalls mittels einer selbstklebenden Folie am Abstandshalter 17 befestigt. Die Biegebalkenelemente sind so
dimensioniert, daß sie durch eigene Federkraft ohne zusätzliche Hilfsmittel bei Nachlassen der Magneteinwirkung zurückstellen. Diese selbsttätige Rückstellung gilt auch für die zuvor beschriebene Biegebalkenstruktur.
Die Biegebalkeneiemente sind elektrisch mit dem Abgriff 13 zur Lieferung des Positionssignals UAUS verbunden. Diese Biegebalkeneiemente können entweder aus weichmagnetischem Materia! oder aus einem nicht magnetischen Materia! bestehen, welches mit magnetischen Schichten versehen ist. Die Biegebalkeneiemente sind dabei ebenfalls partiell mit einer Edelmetallschicht überzogen.
Der magnetische Positionssensor ist, wie beschrieben, einfach in Dickschichttechnik herstellbar. Dabei beträgt die Dicke der Schicht 5-50 pm, die Breite annähernd 0,2 mm und die Länge ungefähr 100 mm. Die Schichten werden in bekannter Dickschichttechnik mit Siebdruck aufgebracht und anschließend eingebrannt.
Das Widerstandsnetzwerk 14 des Positionssensors kann auf dem Substrat aber auch in Dünnschichttechnik hergestellt werden. Hier beträgt die Schichtdicke üblicherweise 0,5 bis 2 pm, die Schichtbreite wird zwischen 5 pm und 5 mm gewählt, während die Schichtlänge 1 mm bis 100 mm beträgt.
Die Leiterbahnen 15 liegen entweder zwischen Substrat 7 und Widerstandsbahn 14 oder die Widerstandsbahn 14 ist direkt auf dem Substrat 7 angeordnet und die Leiterbahnen 15 sind in der beschriebenen Konfiguration auf der Widerstandsbahn 14 angeordnet. Dies hat den Vorteil, daß die gesamte Fläche einer Leiterbahn 15 als Kontaktfiäche 16 in der beschriebenen Art und Weise verwendbar ist. Es ist auch denkbar, daß Widerstandsbahn 14 und Kontaktflächen 16 in einem Layout auf das Substrat aufgebracht werden. Die Widerstandsbahn 14 weist dabei eine mäanderförmige Struktur auf, wodurch eine bessere Unterteilung der Widerstandsbahn 14 in Einzelwiderstände möglich ist. An jeden Mäander schließt sich einstückig eine Kontaktfläche 16 an.

Claims (26)

VDO Adolf Schindiing AG Rüsselsheimer Str. 22 60326 Frankfurt K46-R/RA-ah 3496 Ansprüche
1. Vorrichtung zur Angabe des Niveaus einer Fahrzeugachse mit einem dem Niveau der Fahrzeugachse folgenden Bezugsmarkengeber, welcher fest an der Fahrzeugachse angeordnet ist und infolge der Niveauänderung seine Position ändert, wobei an einem fest mit dem Fahrzeugaufbau verbundenen Widerstandsnetzwerk ein dem Niveau der Achse entsprechendes elektrisches Signal abnehmbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß dem Widerstandsnetzwerk (14) eine Kontaktstruktur (18) zugeordnet ist, die unter Einwirkung einer durch die Positionsänderung des Bezugsmarkengebers (3) bewegbaren Magneteinrichtung (5) in der Art auslenkbar ist, daß eine vom Niveau der Achse abhängige elektrische Verbindung bewirkt wird.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Bezugsmarkengeber (3) über eine Hebelverbindung (28) mit der Magneteinrichtung verbunden ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Bezugsmarkengeber (3) selbst als starrer Hebel ausgebildet ist, welcher einen Stößel (28) bewegt, an dessen dem Hebel abgewandten Seite die Magneteinrichtung (5) fest angeordnet ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der die
Magneteinrichtung (5) tragende Stößel (28) in einem an dem Fahrzeugaufbau montierten Gebergehäuse (30) beweglich gelagert ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Gebergehäuse (30) das Widerstandsnetzwerk (14) und die Kontaktstruktur (18) angeordnet sind.
6. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Widerstandsnetzwerk (14) auf einem Substrat (7) angeordnet ist und die Knotenpunkte des Widerstandsnetzwerkes (14) mit ebenfalls auf dem Substrat (7) aufgebrachten Kontaktflächen (16) verbunden sind.
7. Vorrichtung nach Anspruch 1 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Substrat (7) Leiterbahnen (15) angeordnet sind und daß ein Ende jeder Leiterbahn (15) eine Kontaktfläche (16) bildet.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktstruktur (18) in konstantem Abstand zu den Kontaktflächen (16) angeordnet ist, weiche unter Einwirkung der Magneteinrichtung (5) mit der Kontaktstruktur (18) in Berührung treten.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktstruktur (18) eine Kontaktfederstruktur ist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktfederstruktur (18) aus separaten Kontaktfedern besteht.
11. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktfederstruktur (18) eine einstückige Biegebalkenstruktur ist.
12. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktfederstruktur (18) aus weichmagnetischem Material besteht.
13. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktfederstruktur (18) aus nichtmagnetischem Material besteht, welches mit mindestens einer magneti-
sehen Schicht versehen ist.
14. Vorrichtung nach Anspruch 1, 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Widerstandsnetzwerk (14) als schichtförmige Widerstandsbahn ausgebildet ist.
15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Widerstandsbahn (14) eine mäanderförmige Struktur aufweist.
16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Kontaktflächen (16) direkt an die mäanderförmige Struktur anschließen.
17. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 14, 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Widerstandsbahn (14) in Dünnschichttechnik hergestellt ist.
18. Vorrichtung nach Anspruch 14, 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Widerstandsbahn (14) in Dickschichttechnik hergestellt ist.
19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Leiterbahnen (15) ganz oder teilweise auf der Widerstandsbahn (14) angeordnet sind.
20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 und 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Leiterbahnen (15) teilweise mit der Widerstandsbahn (14) bedeckt sind und ein von der Widerstandsbahn unbedecktes Ende jeder Leiterbahn (15) die Kontaktfläche (16) bildet.
21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Leiterbahnen (15) niederohmiger als die Einzelwiderstände des Widerstandsnetzwerkes (14) ausgebildet sind.
22. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens die Kontaktflächen (16) und die Kon-
taktstruktur (18) in einem dichten Gehäuse (7, 8) eingeschlossen sind und die Magneteinrichtung (5) außerhalb des dichten Gehäuses (7, 8) bewegbar ist.
23. Vorrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß das isolierende Substrat (7) gleichzeitig als Gehäusewandung dient, welches mit einer Gehäuseabdeckung (8) dicht verschlossen ist.
24. Vorrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Magneteinrichtung (5) gegen die Außenseite des Gehäuses (7, 8) vorgespannt ist, so daß sie leicht berührend bewegbar ist.
25. Vorrichtung nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorspannung durch ein Federelement erzeugt ist, welches gleichzeitig zur Aufnahme der Magneteinrichtung (5) dient.
26. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß elektrische Anschlüsse (10, 11, 12) des Widerstandsnetzwerkes (14) und ein elektrischer Anschluß (13) der Kontaktfederstruktur (18) abgedichtet nach außen geführt sind.
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