DE29600887U1 - Antriebsvorrichtung für einen Mikroskop-Kreuztisch - Google Patents
Antriebsvorrichtung für einen Mikroskop-KreuztischInfo
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Description
B 3161 DE-18.01.1996
Die Neuerung betrifft eine Antriebsvorrichtung für einen Mikroskop-Kreuztisch,
gemäß dem Oberbegriff des Schutzanspruchs 1.
Bekannte Mikroskop-Kreuztische weisen eine ortsfest angeordnete Grundplatte
und zwei damit verbundene Schlitten auf. Die Schlitten dienen der Positionierung des zu betrachtenden Objektes und sind in X- bzw. Y-Richtung
verschiebbar ausgebildet. Als Handhabe zur Verstellung der Schlitten sind am Mikroskop-Kreuztisch koaxiai angeordnete Drehknöpfe vorgesehen, die über ein
Getriebe mit den Schlitten verbunden sind.
Eine derartige Antriebsvorrichtung ist in der DE 35 28 615 A1 beschrieben. Die
Bedienknöpfe sind über zwei einzelne, koaxial angeordnete Wellen und zwei Antriebsritzel mit Zahnstangen verbunden. Die Zahnstangen sind fest am
Schlitten angeordnet, so daß die Drehbewegung am jeweiligen Bedienknopf direkt auf den Schlitten übertragen wird. Um einen möglichst großen
Verschiebeweg für die beiden Schlitten zu realisieren und dabei über den gesamten Verschiebeweg eine gleichbleibende Präzision in der Führung zu
gewährleisten, sind die Zahnstangen größer dimensioniert als die jeweiligen Schlitten. Dies hat jedoch zur Folge, daß die Zahnstangen über die Schlitten
hinausragen, so daß ein größerer Platzbedarf für den Mikroskop-Kreuztisch entsteht.
Aus der DE 30 27 461 A1 ist eine Antriebsvorrichtung bekannt, die zusätzlich zu
den Ritzel-Zahnstangenverbindungen eine SchneSiverstellung für den
Objekttisch aufweist. Dazu sind die koaxial angeordneten Wellen der Bedienknöpfe mit Reibrädern versehen, die in einer Wirkverbindung mit der
B 3161 DE-18.01.1996
Ritzel-Zahnstangenverbindung stehen. Durch diese Reibräder ist eine
Schnellverstellung des Mikroskop-Kreuztisches über eine separate Handhabe möglich.
Die in der Halbleiter-Inspektion verwendeten Mikroskop-Kreuztische sind,
bedingt durch die immer größer werdenden Wafer bzw. Masken, in ihrer Dimensionierung gewachsen. Dies hat jedoch zur Folge, daß die bekannten
Zahnstangen-Antriebe einen immer größer werdenden Platzbedarf beanspruchen, so daß es schwierig wurde, ein derartiges Mikroskop in einer
Fertigungslinie zu integrieren.
Ein Mikroskop-Kreuztisch mit einem integrierten Antrieb ist aus der
DE 35 14 431 A1 bekannt. In dieser Schrift wird ein Antrieb offenbart, der die
Schlittenverstellung am Kreuztisch über mehrfach umgelenkte Seilzüge realisiert. Um diesen Antrieb möglichst spielfrei auszugestalten, sind die
Seilzüge über Federmittel vorgespannt. Bei diesem Antrieb kann jedoch nicht ausgeschlossen werden, daß zwischen den Seilzügen und den Antriebsrollen
Schlupf entsteht und somit keine präzise Führung bzw. Verstellung des Kreuztisches möglich ist.
Aus der DE 33 18 959 A1 ist eine weitgehend spielfrei ausgebildete
Antriebsvorrichtung für den Objektträger auf einem Mikroskoptisch bekannt, bei dem der Objektträger über einen Halter in X-Y-Richtung positioniert werden
kann. Als Antrieb ist der Objektträger mit zwei drehbar gelagerten Gewindespindeln verbunden, wobei die Gewindespindeln über flexible Wellen
mit jeweils einem motorischen Antrieb verbunden sind. Bei dieser Antriebseinrichtung ist jedoch keine manuelle Verstellung möglich.
Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Neuerung, ausgehend vom bekannten
Stand der Technik, eine Antriebsvorrichtung für einen Mikroskop-Kreuztisch mit einer präzisen Ritzel-Zahnstangenführung und einem großen Schlitten-Verschiebebereich
so weiterzubilden, daß die Zahnstangen vollständig im Mikroskop-Kreuztisch integriert werden.
B 3161 DE-18.01.1996
Diese Aufgabe wird neuerungsgemäß durch die im kennzeichnenden Teil des
Anspruches 1 angegebenen Merkmale gelöst. Weitere vorteilhafte Weiterbildungen der Neuerung sind Gegenstand der Unteransprüche.
Die Neuerung wird anhand eines Ausführungsbeispiels mit Hilfe der schematischen Zeichnungen näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 : eine Ansicht des Mikropskop-Kreuztisches Fig. 2 : einen Ausschnitt aus der Fig. 1 im Bereich der X-Verstellung
Fig. 3 : einen Ausschnitt aus der Fig. 1 im Bereich der Y-Verstellung
Die Figur 1 zeigt einen Mikroskop-Kreuztisch 1 mit einer feststehenden
Grundplatte 2, die an einem Mikroskopstativ (nicht mit dargestellt) angeordnet
ist. Auf dieser Grundplatte 2 ist ein Y-Schlitten 4 verschiebbar gelagert. Die Lagerung erfolgt vorzugsweise über Kreuzrollenlager 13. Am Y-Schlitten 4 sind
zwei koaxial angeordnete Drehknöpfe 9 befestigt, die über eine getriebiiche Verbindung 12 mit je einer Umlenkroile (nicht mit dargestellt) verbunden sind.
Der Aufbau der Drehknöpfe 9 und der Aufbau der getrieblichen Verbindung ist nicht Gegenstand der Neuerung und entspricht dem Aufbau aus der
DE 30 27 461 Al
Die beiden Umienkrollen der getriebiichen Verbindung 12 weisen jeweils einen
Zahnriemen 10 und 11 auf, wobei der Zahnriemen 11 mit einer Umlenkrolle 18
für den Y-Antrieb verbunden ist. Der Umlenkrolle 18 ist ein Antriebsritzel 8 fest
zugeordnet.
Auf dem Y-Schlitten 4 ist der X-Schlitten 3 über Kreuzroüenlager 14 so
angeordnet, daß bei einer Bewegung des Y-Sch!ittens 4 der X-Schlitten 3 in Y-Richtung
mitbewegt wird. Bei einer Bewegung des X-Schlittens 3 wird die Lage
des Y-Schlittens 4 nicht verändert. Der Antrieb des X-Schlittens 3 erfolgt in
äquivalenterWeise zum Antrieb des Y-Schlittens 4, wobei der Zahnriemen 10
mit der Umlenkroüe 17 verbunden ist, der ein Antriebsritzel 7 fest zugeordnet ist.
Das Antriebsritzel 17 mit der Umlenkrolle 10 wird von einem Abdeckblech 16
gegenüber äußeren Einflüssen geschützt.
B 3161 DE-18.01.1996 .**..** .**. .: .**..*·
Bei der Verwendung von Zahnriemen für die beiden Antriebe ist es natürlich von
Vorteil, wenn die Umlenkrollen der getrieblichen Verbindung und die Umlenkrollen 17 und 18 mit einer entsprechenden Verzahnung ausgestattet
sind, um somit einen möglicherweise auftretenden Schlupf zwischen Umlenkrolle und Zahnriemen auszuschließen.
Die getriebliche Verbindung 12 mit den Bedienknöpfen 9 und daran befestigten
Umlenkrollen sind zusammen mit den zugehörigen Umlenkroüen 17 und 18 für
den X- und Y-Schlitten ortsfest am Y-Schlitten 4 befestigt, so daß aus einer
Bewegung der beiden Schlitten 3 und 4 keine Längenänderung der Zahnriemen 10 und 11 resultiert.
Die Figur 2 zeigt einen Ausschnitt aus der Figur 1 im Bereich der Umlenkrolle
17. Die Umlenkroüe 17 mit dem Zahnriemen 10 ist fest mit dem Antriebsritzel 7
verbunden und über die beiden Kreuzrollenlager 14 am Y-Schlitten 4 befestigt. Das Antriebsritzel 7 steht in Wirkverbindung mit einer Zahnstange 5, die fest am
X-Schlitten befestigt ist. Durch eine Drehung des Antriebsritzels 7 rollt die
zugehörige Zahnstange 5 auf dem Ritzel 7 ab, so daß der X-Schlitten 3 bewegt wird.
Analog zur Figur 2 zeigt die Figur 3 einen Ausschnitt aus der Figur 1 im Bereich
der Umlenkröüe 18. Die Umlenkrolle 18 mit dem Zahnriemen 11 ist fest mit dem
Antriebsritze! 8 über einen Lagerstatt 15 verbunden und über das Kreuzrollenlager 13 am Y-Schlitten 4 befestigt. Das Antriebsritzel 8 steht in einer
Wirkverbindung mit der Zahnstange 6, die fest an der Grundplatte 2 angeordnet
ist. Durch eine Drehung der Umlenkrolle 18 roüt das Antriebsritzel 8 auf der
zugehörigen Zahnstange 6 ab, so daß der Y-Schlitten 4 bewegt wird.
B 3161 DE-18.01.1996
1 - Mikroskop-Kreuztisch
2 - Grundplatte 3 - X-Schlitten
4- Y-Schlitten
5 - Zahnstange an 3
6 - Zahnstange an 4 7- Antriebsritzel für 5 8- Antriebsritzel für 6
9 - Drehknöpfe 10- Zahnriemen für 7 11 - Zahnriemen für 8
12- getriebliche Verbindung 13- Kreuzrollenlager
14- Kreuzrollenlager
15- Lagerstift
16- Abdeckblech
17- Umlenkrolle für 10 18- UmlenkroüefürH
Claims (4)
1. Antriebsvorrichtung für einen Mikroskop-Kreuztisch (1) mit einer ortsfest
angeordneten Grundplatte (2), mit daran angeordneten, in X- und Y-Richtung bewegbaren Schlitten (3, 4) zur Positionierung eines zu untersuchenden
Objektes, wobei an den beiden Schlitten (3, 4) je eine Zahnstange (5, 6) befestigt ist, die jeweils mit einem Antriebsritze! (7, 8) getrieblich verbunden ist
und als manuelle Handhabe für die Antriebsvorrichtung am Mikroskop-Kreuztisch (1) zwei übereinander angeordnete Drehknöpfe (9) vorgesehen
sind, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Drehknöpfen (9) und den Antriebsritzeln (7, 8) je ein Transmissionselement (10, 11) vorgesehen ist, das
die Drehbewegung an den Drehknöpfen (9) auf die Antriebsritze! (7, 8) überträgt.
2. Antriebsvorrichtung für einen Mikroskop-Kreuztisch (1) nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die Zahnstangen (5, 6) im Innern des Mikroskop-Kreuztisches (1) angeordnet sind.
3. Antriebsvorrichtung für einen Mikroskop-Kreuztisch (1) nach Anspruch 1-2,
dadurch gekennzeichnet, daß die Transmissionselemente (10, 11) im Innern
des Mikroskop-Kreuztisches (1) angeordnet sind.
4. Antriebsvorrichtung für einen Mikroskop-Kreuztisch (1) nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, daß die Transmissionselemente (10, 11) als Zahnriemen ausgebildet sind.
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE29600887U DE29600887U1 (de) | 1996-01-19 | 1996-01-19 | Antriebsvorrichtung für einen Mikroskop-Kreuztisch |
| PCT/EP1996/005357 WO1997026576A1 (de) | 1996-01-19 | 1996-12-03 | Antriebsvorrichtung für einen mikroskop-kreuztisch |
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| US09/101,763 US6047613A (en) | 1996-01-19 | 1996-12-03 | Drive device for the mechanical stage of a microscope |
Applications Claiming Priority (1)
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| DE29600887U DE29600887U1 (de) | 1996-01-19 | 1996-01-19 | Antriebsvorrichtung für einen Mikroskop-Kreuztisch |
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Family Applications (1)
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Effective date: 19990304 |
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Effective date: 20020801 |