DE2951761A1

DE2951761A1 - Elektrostatisches mikrophon

Info

Publication number: DE2951761A1
Application number: DE19792951761
Authority: DE
Inventors: Hideki Matsutani; Hiroto Wada
Original assignee: Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1978-12-23
Filing date: 1979-12-21
Publication date: 1980-06-26
Also published as: US4321432A; GB2044037A; SG14384G; GB2044037B

Description

21. Dezember 1979

Die Erfindung betrifft ein elektroatatischea Mikrophon.

Ea aind verachiedene Arten von elektroatatiachen Mikrophonen oder Kondensatormikrophonen in Miniaturbauweiae bekannt worden. Beispielsweise weist ein bekanntea Kondensatormikrophon der in Fig. 1 dargestellten Art eine Schaltungsanordnung ait einest Impedanzwandler auf. Das Kondensatormikrophon nach Fig. 1 ist aiit eine· elektrisch leitenden Gehäuse 2 siit einer Schallesipfangsplatte 4 versehen, in der eine Vielzahl von Perforationen ausgebildet ist* lsi Gehäuse 2 ist ein Tragteil 6 angeordnet, daa eine Aussparung, die zur Aufnahme eines akustischen Widerstandseleaentes 8 auf der der Schallesipf angsplatte 4 gegenüberliegenden oberen Oberfläche ausgebildet ist, sowie eine zylindrische Seitenwand 10 an der Unterseite aufweist, um eine gedruckte Schaltungsplatte 12 zu tragen. Eine stationäre Elektrode l4, die dadurch hergestellt wird, daß «an einen Kunststoffils auf einer Metallplatte ausbildet und den Kunststoffile zu einesi Elektretfilm verarbeitet, und die mit einer Vielzahl von Perforationen versehen ist, ist am Tragteil 6 und dem akustischen Viderstandselement β befestigt. Ein Diaphragma l6 ist parallel zur Schallempfangsplatte 4 und der stationären Elektrode l4 angeordnet, wobei der Umfang des Diaphragaas l6 zwischen einem isolierenden Abstandshalter l8 und einem elektrisch leitenden Ring 20 eingeklemmt ist, welcher am Gehäuse 2 befestigt ist. Das Diaphragma l6 ist in Form einea Metall-Diaphragmas ausgebildet, beispielsweise aus Titan mit einer Dicke von einigen Mikrometern.

Eine Schaltungsanordnung 22 mit einem Impedanzwandler usw. ist auf der gedruckten Schaltungsplatte angeordnet. Das Tragteil 6 ist außerdem mit einer Vielzahl von Perforationen versehen, die mit den Perforationen der stationären Elektrode l4 am Boden der Aussparung zur Aufnahme

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d«a akuatiachan Vidaratandaalaaiantaa 8 auagafluchtat alnd. Bei diaaar lonatruktion warden Schwingungen daa Diaphragma a i6 auf aina Luftkammer 2% Übertragen, die von der «ylindriachen Seitenwand IO dea Tragteilea 6 und der gedruckten Schaltungaplatte 12 gebildet wird, und swar durch die Perforationen der atationären Elektrode 1%, daa akustische Wideratandselement 8 und die Perforationen des Tragteiles 6, so daft das Diaphragma l6 in Abhängigkeit von durch die Schallempfangaplatte k zugeführten Schall relativ frei schwingen kann· Mit anderen Worten, das Diaphragma l6 achwingt in Abhängigkeit von eine· Eingangaschalldruck mit einer relativ hohen Empfindlichkeit, um die Kapazität eines Kondensator·, der von dem Diaphragma l6 und der atationären Elektrode 1% gebildet wird, mit hoher Empfindlichkeit zu variieren. Die untere Öffnung des Gehäuses 2 ist mit einem-Deckel 25 verschlossen·

Die zylindrische Seitenwand 10 des Tragteil·· 6 ist mit einander gegenüberliegenden Löchern oder Perforationen 26 und 28 versehen, während Löcher oder Perforationen und 32 in der Seitenwand dea Gehäuses 2 auagebildet aind, die mit den Perforationen 26 und 28 ausgefluchtet sind. In den Fällen, wo diese Perforationen 26, 28, 30 und 32 vorhanden aind, besitzt daa Kondensatormikrophon eine Ausrichtung in einer Richtung, wenn andererseits diese Perforationen und das akuatiache Viderstandselement 8 weggelassen sind, so ist daa Mikrophon nicht ausgerichtet.

Der Kürze und Einfachheit halber aind in Fig. 1 die Verdrahtungen zwischen der stationären Elektrode 1%, der gedruckten Schaltungsplatt· 12, der Schaltungsanordnung 22 sowie der äußeren Schaltung nicht dargestellt.

Obwohl das in Fig. 1 dargestellte Kondensatormikrophon wegen aeiner geringen Größe sufriedenatellend ist, ver-

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bleiben immer noch einige Probleme unter de« Gesichtspunkt seiner Eigenschaften, des Verfahrene tu seiner Herstellung sowie der Kosten.

Genauer gesagt führt die Anbringung der Perforationen für die stationäre Elektrode oft zu Graten und Verformungen, welche die Betriebseigenschaften des Kondensatormikrophone verschlechtern· Außerdem verringert die Anbringung der Per· forationen in den stationären Elektroden l4 seinen effektiven Bereich und verringert damit das Ausmaß der Kapazitätsänderung, die durch die Vibration des Diaphragmas hervorgerufen wird. Außerdem wird der effektive Bereich der stationären Elektrode durch die Verwendung des Abstandshalters l8 weiter verringert und die Anzahl von Herstellungeschritten sowie die damit verbundenen Kosten vergrößert.

Um dem Kondensatormikrophon seine Ausrichtung in einer Richtung tu verleihen, werden die Perforationen 26, 28, 30 und 32 ausgebildet und ein akustisches Widerstandselement aus Papier oder Gewebe verwendet, um den Staub abzuhalten. Es ist Jedoch schwierig, das Tragteil 6 im Gehäuse 2 so anzuordnen, daß die Perforationen 26 und sowie die Perforationen 28 und 32 ausgerichtet sind. Da außerdem das akustische Viderstandselement 8 mit einem Bindemittel am Tragteil 6 befestigt ist, wird es schwierig, die stationäre Elektrode tk und das Diaphragma l6 in perfekter paralleler Anordnung zu halten, und zwar aufgrund der Änderungen hinsichtlich der Menge des Bindemittels und der Dicke des akustischen Viderstandselementes 8. Üblicherweise kann die Ausrichtung in einer Richtung dadurch erhalten werden, daß man Schallsignale miteinander auslöscht, die eine Phasendifferenz von l80° miteinander haben, jedoch kann bei dem in Pig. I dargestellten Mikrophon die Ausrichtung in einer Richtung dadurch erhalten werden, daß man Schallsignale

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gegeneinander aufbebt, die eine Pbaaendifferenz von haben, so daß hinsichtlich dieser Ausrichtung in einer Richtung keine rolle Zufriedenheit erreicht werden kann*

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein verbesserte· elektrostatisches Mikrophon anzugeben, das ait einfachen Heratellungeschritten hergestellt werden und eine stationäre Elektrode in wirksamer Weise ausnutzen kann·
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Die erfindungsgemäße Lösung besteht darin, ein Mikrophon der in Rede stehenden Art gemäß de« Kennzeichen des Hauptanspruchs auszubilden.

Gesäß der Erfindung weist das elektrostatische Mikrophon ein elektrisch leitendes Diaphragma, eine stationäre Elektrodenplatte, ein Tragteil, welches das Diaphragma im wesentlichen parallel zur stationären Elektrodenplatte hält, sowie eine Einrichtung auf, um eine Luftkammer zu bilden, die mit einem Luftspalt zwischen dem schwingenden Diaphragma und der stationären Elektrodenplatte am Umfangsteil des Luftspaltes in Verbindung steht.

Die Erfindung wird nachstehend anhand der Beschreibung von Aueführungebeispielen und unter Bezugnahme auf die beiliegende Zeichnung näher erläutert. Die Zeichnung zeigt in

einen Querschnitt durch ein Kondensatormikrophon zur Erläuterung einer herkömmlichen Aueführungaform;

•inen Querschnitt durch ein Kondensatormikrophon zur Erläuterung einer ersten Ausführungsform der Erfindung;

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	Fig.	1
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	Fig.	2
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Fig. 3 einen Schnitt des Kondensatormikrophona nach Fig. 2 längs der Linie IH-III;

Fig. k eine elektrische Schaltung des Kondensatormikrophons gemäß Fig. 2 und 3i

Fig. 5 einen Schnitt eines Kondensatormikrophons zur Erläuterung einer abgewandelten Ausführungeform der Erfindung;

Fig. 6 einen Schnitt des Kondensatormikrophons gemäß Fig. 5 längs der Linie VI-VI;

einen Schnitt durch ein Mikrophon zur Erläuterung einer weiteren Ausführungsform

der Erfindung;

Fig. 8 eine Darstellung im Schnitt zur Erläuterung einer abgewandelten Schaltungsanordnung, die bei den Kondensatormikrophonen

nach Fig. 2 bis 6 Verwendung findet;

Fig. 9 eine Darstellung im Schnitt zur Erläuterung einer abgewandelten Schaltungaanordnung für das Kondensatormikrophon nach

Fig. 7i und in

Fig. 10 eine Darstellung im Schnitt zur Erläuterung einer weiteren abgewandelten Schaltungsanordnung zur Verwendung bei den Kon·

denaatormikrophonen nach Fig. 2 bia 6.

Daa in Fig. 2 und 3 dargestellte Kondensatormikrophon weist ein Gehäuse 10 aua Metall, wie z.B. Aluminium, auf; es hat einen Außendurchmesser von ungefähr 10 ma,

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wobei daa Obartail ait einar Vielzahl von Perforationen auagebildet iat und ala Schalleapfangateil 104 arbeitet, la Inneren dea metallischen GehMuaea 102 iat ein Diaphragma 106 gehalten, daa aua einer elektrisch leitenden Folie, wie s.B. einer Aluainiuafolie, hergeatellt iat und de· Schalleapfangateil 10% gegenüberliegt, wobei aein Uafang swischen einem elektriach leitenden Ring 1O8 und eine· äußeren ringföraiigen Voraprung 110 einea iaolierenden Tragteilea 112 eingekleaat iat. Der elektriach leitende Ring ΐΟβ iat in daa Gehäuse 102 eingeaetBt, ua daa Gehäuae 102 und daa Diaphragma 106 elektriach Miteinander BU verbinden. Daa Tragteil 112 iat alt einea inneren ringförmigen Voraprung 11% veraehen, der ao ausgelegt iat, daß er eine stationäre Elektrode Il6 tragt. Diese atationäre Elektrode Il6 wird ao hergeatellt, daß aan einen Kunatatoffila auf einer Metallplatte anordnet und den Kunststoffila in der Veiae bearbeitet, daß beispielsweise eine Elektretfolie gebildet wird; ferner aind vier elaatiache tragende Finger Il8 bis 121 ait oberen Stiften vorgesehen, welche in der Weise arbeiten, daß aie die stationäre Elektrode Il6 in Richtung des inneren ringförmigen Vorsprunges Il4 drücken und auf dieae Veiae die stationäre Elektrode Il6 sicher befestigen. Die ringförmigen Vorspränge 110 und Il4 sind so ausgelegt, daß aie daa Diaphragma 106 und die stationäre Elektrode Il6 in einem vorgegebenen Abstand von beispielsweise 0,1 mm halten. Daa Diaphragma 106, das Tragteil 112 und die stationäre Elektrode Il6 wirken in der Weise suaammen, daß sie eine Luftkammer 122 bilden, die dem Diaphragma 1O6 ermöglicht, relativ frei su schwingen.

Daa Tragteil 112 ist außerdem mit vier in Längsrichtung verlaufenden, durchgehenden Löchern 12% bis 127 versehen, die mit der Luftkaaaer 122 in Verbindung atehen, um dea Eondenaatoraikrophon eine Ausrichtung in einer Richtung

BU verleihen; ferner ist daa Tragteil alt einer Aussparung

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versehen, um eine Schaltungsanordnung 130 aufzunehmen, die einen al* Impedanzwandler arbeitenden Faldeffekttranaistor enthalt.

Die elektrisch· Schaltungsanordnung 130 i»t zwangsläufig in die Aussparung eingepaßt und dort elastisch gehalten. Die Gate-Elektrode des Feldeffekttransistors in der Schaltungsanordnung 130 erstreckt sich in Längsrichtung, usi ■it der rückseitigen Oberfläche oder der aufgedampften Metalloberfläche der stationären Elektrode Il6 in Eingriff zu kommen und auf diese Weise einen elektrischen Kontakt mit dieser herzustellen. Die Source-Elektrode und die Drain-Elektrode des Feldeffekttransistors sind an eine auf einer gedruckten Schaltungeplatte 132 ausgebildeten Schaltung durch entsprechende Perforationen angeschlossen. Die gedruckte Schaltungsplatte 132 ist mit weiteren Perforationen versehen, die mit Perforationen 124 bis 126 des Tragteiles 112 über ein akustisches Widerstandselement 134 in Verbindung stehen, das zwischen dem Tragteil 112 und der gedruckten Schaltungsplatte 132 eingeklemmt ist, um Staub abzuhalten. Das Tragteil 112 und die gedruckte Schaltungeplatte 132 sind durch Einsetzen von Stiften 136 am Boden des Tragteiles 112 in Aussparungen 138 in der gedruckten Schaltungsplatte 132 in einer vorgegebenen Anordnung zueinander gehalten.

Das untere Ende des Gehäuses 102 ist nach innen gebogen, um das Diaphragma 106, das Tragteil 112 sowie die gedruckte Schaltungsplatte 132 in einer vorgegebenen Positionierungsanordnung zu halten und einen elektrischen Kontakt mit der im Schaltungsmuster vorgesehenen Erdungsklemme der gedruckten Schaltungeplatte 132 herzustellen.

Wie in der elektrischen Schaltungsanordnung nach Fig. h dargestellt, welche einem Kondeneatormikrophon gemäß

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Fig. 2 und 3 entspricht, weist die Schaltungsanordnung 130 «in«n Feldeffekttransistor 150 und «in· Diode 152 auf, die zwischen die Source-Elektrode und die Gate-Elektrode des Feldeffekttransistors 150 geschaltet ist. Außer· den ist die Gate-Elektrode des Feldeffekttransistors •n eine erste Elektrode 154 angeschlossen, die der stationären Elektrode Il6 entspricht. Die erste Elektrode 154 und eine zweite Elektrode 156, die de« Diaphragma l06 entspricht, bilden einen Kondensator, dessen Kapa-

jO zität sich in Abhängigkeit von der Schwingung des Diaphragmas iO6 ändert. Die Drain- und Source-Elektroden des Feldeffekttransistors 150 und die zweite Elektrode 156 sind elektrisch ait drei verschiedenen Anschlüssen der gedruckten Schaltungsplatte 132 verbunden. Der FeId-

!5 effekttransistor 150 arbeitet in der Weise, daß er einen Ausgang hoher Impedanz des Kondensators, der von den ersten und zweiten Elektroden 154 und 156 gebildet wird, in einen Ausgang niedriger Impedanz umwandelt, bo daß das Kondensatormikrophon von Induktionsgeräuschen befreit wird, welche von einer nicht dargestellten externen Schaltung verursacht werden.

Insbesondere ist darauf hinzuweisen, daß die stationäre Elektrode I16 des in Fig. 2 und 3 dargestellten Kondensatormikrophons mit keinerlei Perforation versehen ist und daß die Luftkammer 122 im Tragteil 112 in der Nähe des Umfangeteiles der stationären Elektrode II6 ausgebildet ist, so daß die Luftkammer 122 leicht mit einem Luftspalt zwischen dem schwingenden Diaphragma 1O6 und <*·*" atationären Elektrode II6 am Umfangeteil des Luftspaltes in Verbindung treten kann. Außerdem ist die stationäre Elektrode I16 so angeordnet, daß sie dem wirksamen schwingenden Teil des Diaphragmas 106 gegenüberliegt, um auf diese Weise eine wirksame Verwendung der gesamten Oberfläche der stationären Elektrode II6 su erreichen und die wirksame Fläche des Diaphragmas 1O6 zu erhöhen. _ j4 «

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Venn «in Elektret verwendet wird, um die stationäre Elektrode ll6 zu schaffen, so steht das Elektret isi wesentlichen an keiner Stelle mit anderen Bauelementen in Kontakt, so daß es Möglich ist, die auf seiner Oberfläche induzierte Ladungsdichte auf einest gleichmäßigen Wert zu halten·

Das Tragteil 112 ist aus einem Isoliermaterial geformt. Die stationäre Elektrode 116 ist auf dem Tragteil 112 angeordnet und die Schaltungsanordnung 130 zwangsläufig in das Tragteil 112 eingesetzt. Dann wird das Tragteil 112 mit der stationären Elektrode II6 und der darin gehaltenen Schaltungsanordnung 130 in das Gehäuse 102 eingesetzt, das bereite den metallenen Ring IO8 sowie das schwingende Diaphragma IO6 aufgenommen hat. Als nächstes werden das akustische Viderstandselement 134 sowie die gedruckte Schaltungeplatte 132 in dem Gehäuse 102 aufgenommen, und zwar in einer vorgegebenen positionsmäßigen Anordnung gegenüber dem Tragteil 112. Auf diese Weise kann das in Fig. 2 und 3 dargestellte Kondensatormikrophon in relativ einfacher Weise hergestellt werden.

Fig. 5 und 6 zeigen eine andere Aueführungsform des Kondensatormikrophons, bei dem diejenigen Bauteile, die denen in Fig. 2 und 3 entsprechen, mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet sind. Die abgewandelte Aueführungsform gemäß Fig. 5 und 6 ist im wesentlichen mit der ersten Ausführungsform nach Fig. 2 und 3 identisch, mit der Ausnahme, daß ein Tragring 200 die tragenden Finger II8 bis 121 zur Halterung der stationären Elektrode 116 ersetzt und daß Perforationen 202 bis 205 ausgebildet sind, die dem Kondensatormikrophon seine Ausrichtung in einer Richtung verleihen und die mit einer Luftkammer 206 zwischen dem Tragring 200 und dem äuBeren ringförmigen Vorsprung 110 in Verbindung stehen.

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Ub die stationäre Elektrode Il6 an Tragteil 112 su befestigen, wird ein elektrisch leitendes Bindemittel etwas lsi Überschuß in eine Aussparung 208 innerhalb des inneren ringförmigen Vorsprunges lik des tragenden Teiles 112 hineingegossen und anschließend die stationäre Elektrode Il6 auf der Oberseite des inneren ringföraigen Vorsprunges Il4 angebracht. Dann wird ein Teil des Bindemittels in der Aussparung 208 in einen Raus zwischen der stationären Elektrode Il6 und dem inneren ringförmi-I^en Vorsprung Il4 hinausgedrückt, um auf diese Weise die stationäre Elektrode Il6 fest mit dem Tragteil 112 zu verbinden. Zu diesem Zeitpunkt wird die Gate-Elektrode des Feldeffekttransistors der Schaltungsanordnung 130 elektrisch fest mit der stationären Elektrode Il6 verbunden sein.

Obwohl die Erfindung lediglich unter Bezugnahme auf bevorzugte Ausführung»formen erläutert worden ist, darf darauf hingewiesen werden, daß die Erfindung keinesfalls auf diese speziellen Ausführung«formen beschränkt ist.

Obwohl bei diesen Ausführungeformen beispielsweise die Schaltungsanordnung 130 in der Aussparung des Tragteiles 112 enthalten war, kann die Schaltungsanordnung 130 auch in das Tragteil 112 eingebettet sein, wie es in Fig. 7 dargestellt ist. In diesem Falle ist es möglich, das Tragteil 112 integral oder einstückig mit einem Gehäuse der Schaltungsanordnung 130 auszubilden. Außerdem kann die Schaltungsanordnung 130 in Wegfall kommen, indem man die stationäre Elektrode Il6 und die gedruckte Schaltungsplatte 132 mit einem einzigen Leitungsdraht verbindet und eine externe Schaltungsanordnung an die gedruckte Schaltungeplatte 132 anschließt.

Ferner kann bei der Aueführungeform gemäß Fig. 2 die

Gate-Elektrode dee Feldeffekttransistors in der Schaltungeanordnung 130 aus einem flexiblen Material bestehen,

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während die Source- und Drain-Elektroden aus festem Material beeteben können. Wie in Fig. 8 dargestellt, wo ein wellenförmige· elastisches Material für den Leitungsdraht der Gate-Elektrode verwendet ist, kann ein besserer elektrischer Kontakt zwischen der Gate-Elektrode und der stationären Elektrode Il6 hergestellt werden, und die Federkraft des Leitungsdrahtes drückt die stationäre Elektrode Il6 gegen die tragenden Finger Il8 bis 121 (vgl. Fig. 3), so daß die stationäre Elektrode Il6 siche^rer gehalten werden kann.

Der Gate-Leitungsdraht der Schaltungsanordnung 130 kann an der Seitenwand des Tragteiles 112 kontaktiert sein, wie es in Fig. 9 dargestellt ist. Diese Konstruktion ist geeignet, da der Leitungsdraht in das Tragteil 112 eingebettet werden kann, wenn er geformt wird, um die Schaltungsanordnung 130 zu umgeben. Bei einer derartigen Ausführungeform kann ein guter elektrischer Kontakt zwischen der stationären Elektrode ll6 und dem Gate-

Leitungsdraht gewährleistet werden.

Während bei der Ausführungeform nach Fig. 2 bis 6 die Schaltungsanordnung 130 in der Aussparung des Tragteiles 112 aufgenommen ist, kann ein Luftspalt zwischen der Schal· tungsanordnung 130 und dem Tragteil 112 aufgrund von Abmessungsfehlern der Aussparung vorhanden sein, so daß die Schwingungsenergie des schwingenden oder vibrierenden Diaphragmas 106 durch diesen Luftspalt entweichen könnte. Dieses Problem läßt sich dadurch ausräumen, daß man das Gehäuse der Schaltungsanordnung 130 so ausbildet, daß es eine kegelstumpfförmige Konfiguration besitzt, wie es in Fig. 10 dargestellt ist, und indem man die Aussparung in Anpassung an die Schaltungsanordnung so gestaltet, daß sie eine entsprechende sich verjüngende Form besitzt.

Das bei den obigen Ausführungeformen angegebene Kondensatormikrophon kann so ausgelegt sein, daß es nicht auf

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•ine bestimmte Richtung ausgerichtet ist, indes «an die Miteinander in Verbindung stehenden Perforationen 124 bis 127 bzw. 202 bis 205 wegläßt, wobei es dann nicht erforderlich ist, in der gedruckten Schaltungsplatte 132 Perforationen vorzusehen.

Außerdem kann das schwingende Diaphragma Il6 in der Weise hergestellt werden, daß eian ein Metall durch Verdampfung auf einen dielektrischen hochpolymere!! Film aufbringt, beispielsweise auf einen Polypropylen- oder Tetrafluoräthylen-Film.

Zusammenfassend wird somit ein Kondensatormikrophon mit einem Diaphragma, einer stationären Elektrode und einem Tragteil angegeben, welches das Diaphragma und die Elektrode im Abstand und parallel zueinander hält. Das Tragteil ist mit einem inneren ringförmigen Vorsprung zur Halterung der stationären Elektrode und einem äußeren ringförmigen Vorsprung zur Halterung des Diaphragmas versehen. Eine Luftkammer ist zwischen den inneren und äußeren ringförmigen Vorsprüngen vorgesehen und steht mit einem Luftspalt zwischen dem Diaphragma und der stationären Elektrode am Umfang des Luftspaltes in Verbindung.

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Leerseite

Claims

Pat e η t a η a ρ r ü c h e

1/ Elektrostatisches Mikrophon, mit einem elektrisch leitenden Diaphragma, mit einer stationären Elektrodenplatte und mit einem Tragteil, welches das schwingende Diaphragma im wesentlichen parallel zur stationären Elektrodenplatte hält, wobei das Tragteil eine Luftkammer im Mikrophon bildet, dadurch gekennzeichnet , daß die Luftkammer mit einem Luftspalt zwischen dem Diaphragma und der stationären Elektrodenplatte am Umfang des Luftspaltee in Verbindung steht.

2. Elektrostatisches Mikrophon nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Schaltungsanordnung
■it einem Impedanzwandler, der elektrisch an die stationäre Elektrodenplatte angeschlossen ist und eine hohe Impedanz eines aus dem Diaphragma und der stationären Elektrodenplatte bestehenden Kondensators in eine niedrige Impedanz umwandelt.

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ORfGfNAL INSPECTED

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3· Elaktroatatiachaa Mikrophon nach Anapruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet , daß daa Tragtail ■it einer Aussparung zur Auf η «haie der Schaltungsanordnung veraahen ist.

k. Elektrostatisches Mikrophon nach Anapruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet , daß die Schaltungaanordnung ein Gehäuse aufweist, daa integral mit de« Tragteil auagebildet iat.

5· Elektrostatisches Mikrophon nach eine« der Ansprüche bis 4, gekennzeichnet durch eine gedruckte Schaltungeplatte «it einer Schaltung, die elektriach an die Schaltungsanordnung angeachloaaen iat.

6. Elektrostatiaches Mikrophon nach Anapruch 5» gekennzeichnet durch ein elektriach leitendea Gehäuse, welches das Diaphragma, die stationäre Elektrodenplatte und die gedruckte Schaltungeplatte enthält.

7* Elektrostatisches Mikrophon nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch einen elektrisch leitenden Ring, der in dem Gehäuse enthalten ist und das Diaphragma zusammen mit dem Tragteil haltert.

8. Elektrostatischea Mikrophon nach Anapruch 5t S · kennzeichnet durch eine Verbindungeeinrichtung zur Verbindung von Tragteil und gedruckter Schaltungeplatte, um das Tragteil und die gedruckte Schaltungsplatte in einer bestimmten positionsmäßigen Anordnung zu halten.

9. Elektroatatisches Mikrophon nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet , daft die Verbindungeeinrichtung mindestena einen ·■ Tragteil ausgebildeten

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Stift und Mindesten· «in· in der gedruckten Schaltunseplatte ausgebildete Öffnung zur Aufηahne de· Stift·· aufweist.

10. Elektrostatisches Mikrophon nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet , daß das Tragteil Mindestens •in «rates hindurchgehendes Loch aufweist, das alt der Luftkammer in Verbindung steht und sich lsi wesentlichen in einer Richtung senkrecht sub Diaphragma und der ata-

jO tionMren Elektrodenplatte erstreckt, und daß die gedruckte Schaltungsplatte mit Mindestens einem zweiten hindurchgehenden Loch versehen ist, das Bit de· ersten hindurchgehenden Loch in Verbindung steht, und daß ein akustisches Widerstandeelement zwischen den ersten und «weiten hindurchgehenden Löchern vorgesehen ist.

11. Elektrostatisches Mikrophon nach einem der Ansprüche bis %, dadurch gekennzeichnet, daß das Tragteil mindestens ein hindurchgehendes Loch aufweist, das "it <*·*" Luftkammer in Verbindung steht und sich in einer Richtung erstreckt, die im wesentlichen rechtwinklig zum Diaphragma und der stationären Elektrode verläuft, und daß ein akustisches Widerstandeelement auf dem Tragteil vorgesehen ist, welches eine Öffnung des hindurchgehenden

Loches verschließt.

12. Elektrostatisches Mikrophon nach einem der Ansprüche bis %, dadurch gekennzeichnet , daß das Tragteil einen zentralen Vorsprung, auf dem die stationäre Elek· trodenplatte montiert ist, mindestens ein Paar von elastischen tragenden Teilen, die auf gegenüberliegenden Seiten der stationären Elektrodenplatte angeordnet aind, um diese zusammen mit dem mittleren Vorsprung zu halten, aowie einen ringfttrmigen Voreprung aufweist, der den mittleren Vorsprung umgibt und die schwingende Platte haltart, wobei

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der Mittler· Vorsprung und der ringförmige Vorsprung die Luftkammer bilden.

13« Elektrostatisches Mikrophon nach Anspruch 12, g e e kennzeichnet durch einen elektrisch leitenden Ring, der «it dem ringförmigen Vorsprung des Tragteiles zur Halterung des Diaphragaias zusammenwirkt.

l4. Elektrostatisches Mikrophon nach einem der Ansprüche bi-* 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Tragteil einen mittleren Vorsprung, auf dem die stationäre Elektrodenplatte montiert ist, einen ersten ringförmigen Vorsprung, der den mittleren Vorsprung umgibt und die stationäre Elektrodenplatte enthält, sowie einen Ij zweiten ringförmigen Vorsprung aufweist, der den ersten Vorsprung umgibt und das Diaphragma haltert, wobei die ersten und zweiten ringförmigen Vorsprünge die Luftkammer bilden.

15. Elektrostatisches Mikrophon nach Anspruch l4, gekennzeichnet durch einen elektrisch leitenden Ring, der mit dem zweiten ringförmigen Vorsprung des Tragteiles zur Halterung des Diaphragmas zusammenwirkt.

l6. Elektrostatisches Mikrophon nach einem der Ansprüche bis 4, dadurch gekennzeichnet , daß der Impedanzwandler einen Feldeffekttransistor mit einer Gate-Elektrode aufweist, deren Ende wellenförmig ausgebildet ist und mit der stationären Elektrodenplatte in elastischem Eingriff steht.

17. Elektrostatisches Mikrophon nach einem der Ansprüche bis 4, dadurch gekennzeichnet , daß der Impedanzwandler einen Feldeffekttransistor aufweist, bei dem die Gate-Elektrode in das Tragteil eingebettet ist, wobei

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ein Teil der der stationären Elektrodenplatte gegenüberliegenden Gate-Elektrode freiliegt, um Bit der stationären Elektrodenplatte in Eingriff zu koraen.

l8. Elektrostatisches Mikrophon nach Anspruch 3» dadurch gekennzeichnet , daß die Schaltungsanordnung die For· eines Kegelstumpfes aufweist und in einer sich verjüngenden Aussparung des Tragteilea aufgenosmen ist.

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