[go: up one dir, main page]

DE2736008A1 - Piezoelektrischer oszillator - Google Patents

Piezoelektrischer oszillator

Info

Publication number
DE2736008A1
DE2736008A1 DE19772736008 DE2736008A DE2736008A1 DE 2736008 A1 DE2736008 A1 DE 2736008A1 DE 19772736008 DE19772736008 DE 19772736008 DE 2736008 A DE2736008 A DE 2736008A DE 2736008 A1 DE2736008 A1 DE 2736008A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
capacitor
acceleration
capacitor plate
movable
capacitance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19772736008
Other languages
English (en)
Other versions
DE2736008B2 (de
DE2736008C3 (de
Inventor
Armand B Dupuy
Michel M Valdois
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Office National dEtudes et de Recherches Aerospatiales ONERA
Original Assignee
Office National dEtudes et de Recherches Aerospatiales ONERA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from FR7624571A external-priority patent/FR2361774A1/fr
Priority claimed from FR7723990A external-priority patent/FR2399761A2/fr
Application filed by Office National dEtudes et de Recherches Aerospatiales ONERA filed Critical Office National dEtudes et de Recherches Aerospatiales ONERA
Publication of DE2736008A1 publication Critical patent/DE2736008A1/de
Publication of DE2736008B2 publication Critical patent/DE2736008B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2736008C3 publication Critical patent/DE2736008C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03BGENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
    • H03B5/00Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
    • H03B5/30Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator
    • H03B5/32Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03LAUTOMATIC CONTROL, STARTING, SYNCHRONISATION OR STABILISATION OF GENERATORS OF ELECTRONIC OSCILLATIONS OR PULSES
    • H03L1/00Stabilisation of generator output against variations of physical values, e.g. power supply

Landscapes

  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)

Description

Dipl.-lng. G. ScMiebs I1 « d—««« daudiusweg i/a
I H Telefon (06151) 467 53
a en anwa Postscheckkonto: Frankfurt a. M. 1111 57 -606
Bankverbindung: Deutsche Bank AG., Darmstadt
Konto-Nr. 461 434 Γ Patentanwalt Dipt Ing Schliebs. Claudiusweg 17A. 61 Darmstadt Tetegramme: invention
An das
Deutsche Patentamt
Zweibrückenstraße 12
München 2
Ihr Zeichen Ihr Schreiben Mein Zeichen M 354 hi Tag 8.8.1977
Betrifft Patentanmeldung
Anmelder: OFFICE IUTIOHAIi ü'ETUDES ET DE RECHERCHES
AEROoTAT IALEÜ (O.N.E.R.A. ), CHATILLON (Prankreich)
Piezoelektrischer Oszillator
Die Erfindung bezieht sich auf einen piezoelektrischen Oszillator mit einem Kristallresonator, der in Schleife mit einer der Einstellung der Oszillatorfrequenz dienenden verstellbaren Kapazität geschaltet ist, die aus raindestens einem Stellkondensator besteht·
Spezieller bezieht sich die Erfindung auf Oszillatoren für Frequenznormale von Taktgebern oder Uhren in Luft- und Raumfahrzeugen im Hinblick auf die zeitgebundene Plugwegaufzeichnung und auf die Lenkung von Luft- oder Raumfahrzeugen.
Obwohl sich Quantenoszillatoren und insbesondere Cäsiumatomuhren als primäres Frequenznormal für derartige Anwendungszwecke praktisch zwingend anbieten, haben piezoelektrische Oszillatoren und spezieller Quarzoszillatoren inzwischen eine derartige Langzeitstabilität erreicht, daß sie in vielen Fällen Quantenoszillatoren vorteilhaft
809810/0649
Für das Auftragsvcrhältnis gilt die Qebührenordnung der Deutschen Patentanwaltskammer - Gerichtsstand für Leistung und Zahlung: Darmstadt
Gespräche am Fernsprecher haben keine rechtsverbindliche Wirkung! Brief vom Blatt *:
an das Deutsche Patentamt, Millionen Patentanwalt
ersetzen können, weil 3le leichter, kleiner und billiger sind. Die Arbeitsweise der piezoelektrischen Oszillatoren ist aber mit den Phänomenen mechanischer Resonanz verbunden, was diese Oszillatoren gegenüber den vom Trügerfahrzeug verursachten Beschleunigungen empfindlich macht«
Die Erfindung stellt sich einen piezoelektrischen Oszillator, namentlich einen Quarzoszillator der eingangs genannten Art zur Aufgabe, der gegenüber starken Beschleunigungen praktisch unempfindlich ist und der folglich al« Frequenznormal in einem Luft- oder Raumfahrzeug eingesetzt werden kann.
Die Erfindung beruht auf einigen im folgenden angegebenen und erläuterten Feststellungen, die teilweise von den Erfindern erarbeitet wurden. Diese Feststellungen gelten für Beschleunigungen, die in den Resonatoren oder ihren Trägern keine nichtlinearen Verformungen hervorrufen. Sie lauten:
Die Frequenzänderurg eines piezoelektrischen Oszillators ist eine lineare Funktion de3 Betrages der aufgebrachten Beschleunigung;
die Frequenzänderung ist eine Sinusfunktion des Winkels zwischen der Richtung der Beschleunigung und einer Bezugsrichtung, die namentlich von der Anzahl und der Lage der Befestigungspunkte des PiezokrJstalls auf seinem Träger abhängt;
der Proportionalitätskoeffizient zwischen der Frequenzänderung und dem Betrag der Beschleunigung ist praktisch unabhängig von der Anzahl und der Lage der Befestigungspunkte.
Außerdem kann man bekanntlich die Frequenz eines piezoelektrischen Resonators, der in eine Oszillatorschleife
809810/06AÖ
Brief wn Blatt j Dlpl.-Ing. G. Schlicb·
an das Ueut3Che Patentamt, München
eingefügt ist, in einem gewissen Maße korrigieren, indem mn η eine verstellbare Kapazität in Reihe schaltet.
Ausgehend von diesen Feststellungen schlägt die Erfindung einen Oszillator rait piezoelektrischem Resonator der eingangs genannten Art vor, der durch eine mechanische Vorrichtung gekennzeichnet ist, die auf die Beschleunigung anspricht, der der Oszillator unterworfen ist, und die den Ver.;tellkonden3ator derart steuert, daß die durch diesen erzeugte Frequenzänderung entgegengesetzt gleich der durch die Beschleunigung des Resonators erzeugten Frequenzänderung ist.
V/enn also eine in Betrag und Richtung definierte Beschleunigung eine Veränderung Δ F der Resonatorfrequenz hervorruft, dünn bewirkt die verstellbare Kapazität selbsttätig eine Frequenzänderung gleich - ΔF.
Au3 Gründen der leichten Realisierbarkeit ist nur ein Parameter des Verstellkondensators in Abhängigkeit von der Frequmzänderung verstellbar, nämlich der Abstand zwischen den Xondenaatorplatten oder die wirksame Fläche zwischen den Kondensatorplatten.
Nach einem weiteren Merkmal der Erfindung besitzt hierzu der Stellkondensator eine feste Kondensatorplatte und eine einen Translationsfreiheitsgrad aufweisende bewegliche Kondensatorplatte, deren Bewegung die Änderung der Kapazitat des ütellkondensators sicherstellt. Ferner besitzt die auf die Beschleunigung ansprechende mechanische Vorrichtung ein elastisches Rückholelement für die bewegliche Kondensatorplatte·
Bei einer ersten bevorzugten Ausbildungsform der Erfindung verändert sich der geometrische Parameter des Stellkondensators,
809810/0648
Brief vom Blatt /·. ΟφΙ.-tag. G.
*» das Deutsche Patentamt, München Patentanwalt
in diesem Falle der Abstand zwischen den Kondensatorplatten, linear mit der Frequenz, damit die Frequenzkoicpensation genau gleich der Frequenzänderung durch die Beschleunigung ist. Erfindungsgemäß ist also beim Stellkondensator der Abstand zwischen den Kondensatorplatten veränder lich, und das elastische Rückholelement besteht aus biegsamen Federblättern, die an der beweglichen Kondensatorplatte befestigt sind, die parallel zu der gegenüber liegenden festen Kondensatorplatte verschiebbar ist.
Bei einer zweiten bevorzugten Ausbildungsform der Erfindung verändert sich der geometrische Parameter des Stellkondensators, in diesem Fall die wirksame Kondensatorfläche zwischen den Kondensatorplatten, nicht linear mit der Frequenz, damit die Frequenzkompensation genau gleich der Frequenz änderung durch Beschleunigung ist.
Erfindungsgenäß besitzt in diesem Fall die feste Kondensatorplatte des Stellkondensators zwischen den beiden senkrecht zur Verschiebungsrichtung der rechteckfönnigen beweglichen Kondensatorplatte verlaufenden geraden Kanten zwei ein Profil bildende Kanten derart, daß die durch die Beschleunigung bewirkte lineare Verschiebung der beweglichen Kondensatorplatte durch eine nichtlineare Veränderung der Kapazität des Stellkondensators eine Frequenzänderung erzeugt, die die durch die Beschleunigung des Resonators bewirkte lineare Frequenzänderung kompensiert.
Gemäß weiterer Erfindung kann das elastische Rückholelement aus einer biegsamen Blattfeder bestehen, die die bewegliche Kondensatorplatte in einem konstanten Abstand zur parallel verlaufenden festen Kondensatorplatte hält. Sie ein Profil bildenden Kanten der festen Kondensatorplatte können der von der Verschiebung der beweglichen Kondensatorplatte abhängenden Funktion P(u) = 1/(A(u-K) ) gehorchen,
809810/06Ad
Brief vom Blatt 5 Dlpl.-Ing. G. Schllebs
an das Deutsche Patentamt, München Patentanwalt
wobei A eine Konstante ist, die von den geometrischen und mechanischen Parametern des elastischen Rückholelementes und des LStellkondensators abhängt, und K eine Konstante ist, die ebenfalls von diesen Parametern, ferner von den anderen Kapazitäten des Oszillators sowie von der Kondensatorfläche abhängt, die zwischen den beiden Kondensatorplatten unter der Beschleunigung Null wirksam ist#
Wenn der Empfindlichkeitsvektor für die Resonatorbeschleunigung bekannt ist, dann ist die Verschiebungsrichtung der beweglichen Kondensatorplatte bei der ersten Ausbildungsform der Erfindung senkrecht und bei der zweiten Ausbildungsform parallel zu den Flächen der Kondensatorplatten. Gemäß einem weiteren Kennzeichen der Erfindung verläuft demnach die Verschiebungsrichtung der beweglichen Kondensatorplatte des Stellkondensators parallel zum Empfindlichkeitsvektor, der die Frequenzänderung des Kristallresonatora infolge Beschleunigung kennzeichnet.
Wenn der Empfindlichkeitsvektor der Resonatorbeschleunigung unbekannt ist, dann schlägt die Erfindung vor, daß die verateilbare Kapazität drei Stellkondensatoren umfaßt, die je eine beschleunigungeempfindliche und unter der Wirkung des Rückholelementes stehende bewegliche Kondensatorplatte aufweisen, die untereinander parallel und mit dem Resonator seriell verbunden sind und bei denen die Verschiebungsrichtung der beweglichen Kondensatorplatten in Richtung der drei Hauptachsen des Kristallresonators steht«.
Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen. Die Beschreibung erfolgt anhand der Zeichnungen, in diesen zeigt:
809810/0648
Brief vom Blatt X Dlpl.-Ing. Q. Schlteto
an da3 Deutsche Patentamt, MÜnCfcan Patentanwalt
<j
Pig. 1 in einem Ersatzschaltbild einen Oszillator mit piezoelektrischen Resonator und verstellbarer Kapazität;
Figo 2 schematisch in perspektivischer Ansicht einen piezoelektrischen Kristall mit seinen drei Haupt
achsen;
Fig. 3 in seitlicher Ansicht und teilweise im Schnitt einen Stellkondensator zur Beschleunigungskompensation nach der ersten Ausbildungsform der Erfindung;
Fig. 4 den Kondensator in Fig. 3 im gleichen Maßstab in Ansicht von oben;
Fig. 5 schematisch in perspektivischer Ansicht einen Stellkondensator zur Beschleunigungskompensation nach der zweiten Ausbildungsform der Erfindung;
Fig. 6 in achematischer Stirnansicht die feste Kondensatorplatte des Kondensators in Fig. 5;
Fig. 7 ein Maßbeispiel der Profilform der Seitenflächen der Kondensatorplatte in Fig. 6;
Fig. 8 zwei Aasführungsbeispiele der Anordnung dreier und 9 verstellbarer Kapazitäten de3 Stellkonderi3atoru zur Be3chleunigung3korapen3ation für den Fall eines unbekannten Empfindlichkeitsvektora dec Resonatorbes chleuni gung.
Der piezoelektrische Oszillator in Fig. 1 besitzt i.n wesentlichen eine Schleife, in der ein in seiner Gesamtheit
809810/0648
Brief vom Blatt ^ Dipl.-Ing. Q. Schlltb·
an das Deutsche Putontarnt, M'jr.chan Patentanwalt
mit 10 bezeichneter 3tellkonden3ator, ein piezoelektrischer Kristall resonator 30 und ein Verstärker 40 in Reihe gejchaltet ;>ind. Eine Platte des Stellkondensators ist mit dem Ausgang 11 der Schleife verbunden. Eine Klemme des piezoelektrischen Kris tnllre:3onators 30 ist rnit der anderen Kondensatorplatte des Kondensators 10 verbunden. Der blinking les Vör.jtärkeru 40 ist .nit der anderen Klemme des Kondensator 10 verbunden und der Ausgang 4-1 dieses Verstärkers int .■nit dem Ausgang 11 der Schleife verbunden.
Ein Anpaaaungskreis 50, dessen Eingang mit dem Ausgang 11 der Schleife verbunden ist, stellt die Pegel- und Impedanzanpassung des Oszillatorsignals sicher, daß vom Ausgang 11 der ochleife übertragen wird und vom Kreis 50 über dessen Ausgang 52 an nachgesehaltete, nicht dargestellte Organe zur eingangs geschilderten Verwendung übertragen wird.
Außerdem ist der in beliebiger Richtung denkbare Vektor Γ der Beschleunigung angegeben, der der Oszillator unterliegt und deren Wirkung durch die Erfindung kompensiert werden soll, indem 3ich die Kapazität C* des Stellkondensators 10 automatisch veränderte
In Pig. 2 ist der piezoelektrische Kristall 31 de3 Resonators 30 mit seinen drei Hauptachsen dargestellt, die wie üblich mit OX', OY1 und OZ1 bezeichnet sind. Der Kristall 31 ist beispielsweise ein Quarz im AT-Schliff. Bekanntlich stellt dieser ochliff eine maximale Frequenzstabilität und eine minimale Temperaturempfindlichkeit sicher. Um eine maximale Resonanz zu erzielen, ist die Fläche 32 des Kristalles 31 eine sphärische Halbkugel, deren konvexe Seite in Richtung OY1 orientiert i3t.
Mit Hilfe von Schleuderversuchen wurde die Frequenzänderung ^F derartiger Quarze in verschiedenen Richtungen bezüglich der Hauptachsen bestimmt, wobei die Anzahl der
809810/0648
Brief vom Blatt β Dipl.-Ing. G. ScMMm
an das Deutsche Patentamt, MLLuc^en Patentanwalt
Stützpunkte, die in Figo 2 nicht dargestellt sind, für verschiedene Be3chleunigungswerte variiert wurde. Es wurde gefunden, daß 3ich in allen Fällen die Frequenzänderung Δ F beidseitig der durch die Beschleunigung Null definierten Nennfrequenz durch folgende Gleichung ausdrücken läßt:
In dieser Gleichung hat AF die Dimension Hz. Pv» P sind die Vektorkomponenten des Be3chleunigungsvektors P bezüglich der drei Hauptachsen OX1, OY1 und OZ1» k , k und k sind die kennzeichnenden Froportionalitätskoeffizienten des betrachteten Resonators, die in einem großen Be3chleunigungsbereich praktisch konstant sind.
Als Beispiel wurde für einen wie oben definierten Quarz im AT-Schliff und mit einer Nennfrequenz von 5*10 Hz folgende Koeffizienten gefunden:
kx = 10~2 k = 2«10~2 kz = 10~2
Diese Werte gelten für Beschleunigungen zwischen -50g und +50g. Die Koeffizienten kx, k und kg haben die Dimension Hz je Erdbeschleunigungseinheit, also Hz/g.
Gleichung (1) ist die entwickelte Form des Skalarproduktee: (2) AF = k · ψ°
Hierin ist P der Beschleunigungsvektor und k ein Empfindlichkeitsvektor, der die Empfindlichkeit des betrachteten Resonators gegenüber der Beschleunigung nach Betrag und Richtung kennzeichnet.
Die Oszillationsfrequenz des Resonators 30 (Fig. 1) kann in an sich bekannter Weise durch öerienzuschaltung einer Kapazität korrigiert werden. In Fig. 1 ist das elektrische
809810/0648
Brief vom Blatt j/ Dlpl.-Ing. G. Schllebs
an dar? Deuts ehe Patentamt, Lunchen Patentanwalt
d des Resonators 30 und die schaltung den utellkonden3atoT3 10 zur Frequenzkorrektur oder Frequenz koni ensat] on dargestellt. Der serielle Resonatorkreis besteht au« dem Widerstand R, der Selbstinduktion L und lj dem Kondensator C, der dam piezoelektrischen Kristall entspricht. Parallel dazu ist der Kondensator CQ geschaltet, der die Kapazität zwischen den Elektroden kenn zeichnet. C1 ist der Wert der dem Stel!kondensator 10 zugeordneten Kapazität.
Die Frequenzänderung &F, die durch Hinzufügung der Kapazität C1 hervorgerufen wird, drückt sich durch die fol gende Gleichung aus:
(3) AF/F = 0/(2(C0+C1)) + R2 cg/(2 LC1)
Für einen Quarz der schon beschriebenen Art mit einer Nenn.frequenz F = 5*10 Hz lassen sich etwa folgende Wer-
te annehmen: C = ίο-16 F
R = 100 Λ
L = 10 H
C0 = 5·1Ο""12 F
Wenn die Kapazität C1 wesentlich höher ist als die Kapazität C0, dann wird die Gleichung (3) in erster Näherung zu:
(4) AF/F = 0/(2(C0+C1))
Um eine genaue Einstellung der Frequenz zu erreichen, besteht der Kondensator 10 der Kapazität C^ im allgemeinen aus zwei parallel geschalteten Kondensatoren, einem Festkondensator der Kapazität C2 und einem Stellkondensator der Kapazität C,. Die Kapazität C2 ist hierbei wesentlich
809810/0648
Brief vom Blatt \A IMpL-lng. G. ScMMm
das Deutsche Patentamt, Mü.ichen Patentanwalt
größer al3 die Kapazität C,. Gleichung (4) wird al.10 zu:
(5) ΔΡ/F - C/U'(CO+C2+C3))
und die Einstellempfindlichkeit läßt sich wie fol:;t Ausdrücken:
(6) d(ÄF) = - Δ P . dC3 /(Co+OV,fC5) , also ist:
(7)
Au3 diesen Betrachtungen ergibt sich, daß es gemäß Jer Erfindung möglich ist, mit einem ijtellkondensator, der serieil mit einem Resonator verbunden ist, und mit Mitteln zur Kapazitätssteuerung dieses Kondensators in Abhängigkeit von der Beschleunigung die Frequenzänderung de:3 Resonators durch diese Beschleunigung zu kompensieren, fcian könnte z.B. einen mit einem Freiheitsgrad versehenen geometrisehen Parameter (Überdeckung oder Abstand der Kondensatorplatten), der die Kapazität des ^tellkonden3ators festlegt, auf den Wert eines von einem Beschleunigungsgeber gelieferten Signales einstellen. Die Erfindung sieht aber als Vorzug3lösung eine besonders einfache und wirksame Anordnung vor, die darin besteht, den Beschleunigungsgeber mit dem ätellkondensator zu integrieren, indem die bewegliche Konden3atorplatte dieses Kondensators an einem elastischen Rückholorgan befestigt ist.
Bei der eingangs erwähnten ersten Ausbildungsform der Erfindung wird eine von der Beschleunigung linear abhängige Verschiebung gewühlt, indem der beweglichen Kondensatorplatte eine bestimmte Ma3ue M zugeteilt ist und für das RUckholorgan eine definierte steifigkeit λ vorgesehen ist. Aus Gründen einer ausreichenden Empfindlichkeit und einer leichten Realisierbarkeit wird für die beschleunigungsabhängige Verschiebung bevorzugt der Abstand zwischen den
809810/0648
Brief vom Blatt \/jf Dlpl.-Ing. G. Schlieb«
das Deutsche Paten tarn1;, Münciitn Patentanwalt
Kondensatorplatten gewählt. Als elastisches Rückholelement könnte ein zwi.sehen den Kondenaatorplatten und einer elastischen dichten Hülle eingeschlossenes Gajvolujaen die nen· Ea i?Jt inde.<; woientlich einfacher, eine elaati3Che Federblattaufhängung zu wählen, wie sie unter Beaug auf Fi«a } und 4 im folgenden beschrieben ist.
Die feite Kondensatorplatte 12 de3 otel lkoridensators C, ist bei diesem Ausführuntrsbeispiel auf einen Isolierträger Π geklebt, der seitliche Arme 14 besitzt. Die beweglichs Kondensatorplat te 15 verläuft parallel zur Platte 12 und lat eine Scheibe auμ einem elastischen Leiterwerkstoff, z.Bo einer Nickellegierung. Diese bewegliche Kondensatorplatte besitzt zwei seitliche Federblätter 16 der oteifigkeit A» die über die Arme 14 reichen und in denen Längaschlitze 17 vorgesehen 3ind. Stehbolzen 18 in den Armen 14 tragen die Federblätter 16, indem sie durch die Längsschlitze 17 :nit Gewindezapfen 19 durchreichen, auf die Muttern 21 geschraubt sind. Die Muttern 21 3ind in Fig. 4 weggelassen. Eine Scheibe 22 aus Isolierwerkatoff i3t auf die bewegliche Kondensatorplatte 15 geklebt und bildet den Maasenträger der »lasse M.
Dia Kondensatorplattan 12 und 15 aind über Leiter 23 und 24 angeschlossen, welche die Isolierteile 13 und 22 durchqueren und an Ausgangs leitungen 25 und 26 führen.
Die ütellkapazitat C, de3 in Fig. 3 und 4 darge3tellten Koniensators ergibt sich aus der klassischen Gleichung:
(H) C3 , C0 - a/e
Hierbei ist £n die Dielektrizitätskonstante für Luft gleich 0,04*10" F/ra, J die wirksame Fläche zwischen den Kondensatorplatten und ti der Abstand zwischen den Kondensatorplat ten« Bei einem symmetrischen Aufbau des
809810/0648
Brief vom BIaIt V£ Oipl.-Ing. G. Schlieb·
an das Deutsche 2 a 1. en tarnt, I.aineheii Patentanwalt
Kondensat.or:3 ist U praktisch unverMiiderli ch^vnri iod j ^!Ii oh £ ändert sich linear mit der Leschleut.i ^;ui.,_;. 7/em. die Richtung den Vektors k (:-;■! ehe Gleichung (>J J) bekannt i^t, z.B. durch eine zuvor erfolgte L-est ironuing dtr Koni '^i ::i enten k , kir und k von Gleichung; (1)» danr. 3äf:t κ.ί c-h der Kondensator derart anordnen, daß seine Jlatter: senxrec-hi. zum genannter Vektor stehen.
Eiri eine Veränderung d£ des Anstandet: e_ bewirkender Wert p. der Komponente des Vektors Γ führt ζυ folgender l^apiizitätsänderung:
(9) dC^ = - £ Sde / e2 und damit:
(10) dC5 i^ - de
Pur eine gegebene Masse deo I.iassentrJigers V2 (wobei die Masse der Kondensatorplatte 15 vernachlässigbar ist) und eine Steifigkeit Λ- der von den Federblättern 16 gebildeten Biegefedern ist:
(11) de ~ P Daraus folgt:
(12) dC, *v - P
Durch Vergleich der Gleichungen (7) und (12) erhält man:
(13) d(AF) ^ -dC^rv _ f
Sieht man einen Stellkondensator mit elastischer Aufhängung einer Kondensatorplatte entsprechend der in Fig. 3 und 4 beschriebenen Art vor und legt man dessen geometrisehe und mechanische Parameter (Abstand zwischen den Kondenaatorplatten, wirksame Kondensatorfläche, Steifigkeit der Federn) konstruktiv oder mit Hilfe nicht in Fig. 3
809810/0648
Brief vom Blatt "\$ Dlpt.-Ing. Q. Schllab·
an das Deutsche Patentamt, München Patentanwalt
und 4 gezeigter Einstellorgane fest, dann ist es also möglich, die Frequenzänderung des Oszillators infolge der Beschleunigung praktisch vollständig zu kompensieren.
Bei der zweiten Ausbildungsform der Erfindung ist die Kompensation der Frequenzänderung durch Oszillatorbeschleuni gung streng exakt.
Aus Gleichung (5) läßt sich für die Einstellempfindlichkeit herleiten:
(H) d (AF) = -C-P-OC3/ (2(C0 + C2 + C3)2^ Ebenso läßt sich aus Gleichung (2) ableiten: (15) d (ΔΡ) = d {T"V)
Aus diesen beiden Gleichungen wird offensichtlich, daß die Kompensation der Beschleunigungseffekte durch eine verstell bare Kapazität C nicht rein linear ist, und zwar wegen des nicht linearen Auftretens der Kapazität C, im Nenner der Gleichung (H). So hängt das Gesetz der gesamten Frequenzänderung einerseits vom Gesetz der Frequenzänderung in Abhängigkeit von der Kapazität C1 des Stellkondensators 10 ab und andererseits von dem Gesetz der änderung der Kapa zitat C1 in Abhängigkeit von der Beschleunigung.
Wie schon erwähnt ist das zweite Gesetz im wesentlichen von zwei geometrischen Parametern abhängig, nämlich entsprechend Gleichung (8) von dem Abstand e, und der Fläche S der Kondensatorplatten der Kapazität C3. Hieraus läßt sich für die Kapazitätsänderung ableiten:
Auch bei der zweiten Ausbildungsform der Erfindung wird wie bei der ersten aus Gründen einer einfaohen Realisierbarkeit nur auf einen der beiden ParaBeter <» und S
809810/0648
Brief vom Blatt y( Dipl.-Ing. Q. Sdtlteba
an das Deutsche Patentamt, Münchuü Patentanwalt
zurückgegriffen, dessen nichtlineare Änderung zu einer Korrektur der Elektrodenform des Kondensators C, derart führen mu3, daß die linearen Prequenzänderungen des Resonators infolge der Beschleunigung P exakt kompensiert werden.
Bei dem in Pig« 5 dargestellten, bevorzugten Ausführungsbeispiel ändert sich die Kapazität C, über die Kondensatorfläche S mit Hilfe einer Blattfeder 160, deren eines Ende fest eingespannt ist, während am anderen Ende eine bewegliche Kondensatorplatte 150 des Stellkondensators C, befestigt ist. Diese bewegliche Kondensatorplatte in Form eines Rechteckquaders steht in konstantem Abstand e_ einer festen Kondensatorplatte 120 gegenüber und hat mit dieser zusammen eine wirksame Kondensatorfläche S (Fig. 6), die durch Projektion der Kondensatorplatte 150 auf die Kondensatorplatte 120 definierbar ist.
Die feste Kondensatorplatte 120 besitzt zwei Seitenflächen, die symmetrisch zur mittleren Querebene der beweglichen Kondensatorplatte 150 nach einen Profil P(u) verlaufen, dessen Form eine Kompensation des Nichtlinearitätseffektes ermöglicht.
Die feste Kondensatorplatte 120 ist von der beweglichen Kondensatorplatte 150 isoliert, und diese ist über eine Blattfeder 160 mit Hilfe einer Befestigungsvorrichtung gehalten, die z.B. ännlioh der in Fig. 3 für die erste Ausbildungsform beschriebenen ist (Elemente 14, 17, 19, 21).
In Fig. 6 ist der Verlauf der Seitenflächen der festen Kondensatorplatte 150 mit dem Profil P(u) dargestellt, das symmetrisch bezüglich einer Achse Ou ist, die senkrecht auf der Blattfeder 160 steht und parallel zum
809810/0648
Brief vom Blatt 17 Dlpl.-Ing. G. SchlM»
an das Deutsche Patentamt, Münchoa Patentanwalt
EmpfindIichkeitsvektor kTverläuft, dessen Richtung als bekannt vorausgesetzt ist. Bezeichnet man die Masse der beweglichen Kondensatorplatte 150, die den Massenträger bildet, mit M und die Komponente des Beschleunigungsvektors P in Richtung k*"mit P, dann führt die Grund gleichung der Dynamik für eine kleine Verschiebung der Kondensatorplatte 150 in Richtung k"*"(oder Ou) zur folgenden Beziehung:
(17) λ-du = M d Γ
Hierbei ist λ. in kg/s der Steifigkeitskoeffizient der Blattfeder 160.
Ausgehend von den Gleichungen (H) bis (17) läßt sich nun das Profil P(u) formulieren, das zur Kompensation des Nichtlinearitätseffektes dient und wie folgt definiert ist:
(u + h/2
(18) S = 2 \ P(u) du
Ju -h/2 " "
Hierin bezeichnen h und u die Dicke und die Koordinate des Mittelpunktes der beweglichen Platte 150.
Indem dp aus Gleichung (17) in Gleichung (15) eingesetzt wird und dC, durch Gleichung (16) ausgedrückt wird, läßt sich Gleichung (H) wie folgt schreiben:
k ^ du
2 < 0O + C2 + V )
Diese Differentialgleichung, die die Fläche S von der Änderung von u abhängig macht, läßt sich wie folgt umsehrei ben:
(19) Adu=
^7 (S - ΒΓ
809810/0648
Brief vom Blatt 1/5 Dipl.-Ing. Q. ScMMm
•n das Deutsche Patentamt, Münchan Patentanwalt
Hierbei sind A und B Konstanten:
<20> "- u"3>
(21) B = (m2 )
Durch Integration der Gleichung (19) findet /nan:
(2P) 3^ = + B
Hierin i3t K eine Integrationskonstante, die ausgehend von den Anfangsbedingungen bei der Beschleunigung Null bestimmt wird, d#h. in Abhängigkeit von der Fläche Sq am Ruhepunkt Uq der beweglichen Kondensatorplatte 150:
K =
A(S0 - B)
Das Profil P(u) läßt sich sodann aus der Ableitung der Funktion S(u) gewinnen, die aus der Gleichung (22) hervorgeht:
(23) P(u) = 1
A(u - KT
Unter Bezug auf diese Gleichung läßt sich erkennen, daß man zunächst den Nennwert der Kapazität C, derart einstellt, daß
((V0 =Eo7 ist·
Dann erlaubt die Verschiebung du der Masse M der bewegli
chen Kondensat or plat te 150 unter einer Beschleunigung y^ eine Feinkompensation der Nichtlinearität.
In Fig. 7 ist ein Beispiel der Profilform der festen Kondensatorplatte 120 des Stellkondensators mit der Kapazität
809810/0648
Brief vom Blatt 1/Γ
an das Deutsche Patentamt, Münchan
DIpL-ln«. Q. Schlteb· Patentanwalt
C, angegeben für folgende Zahlenwerte der kennzeichnenden Größen eines piezoelektrischen Resonators nach der zweiten Ausbildungsform der Erfindung:
C = 1O"16 F ; C0 = 5 · 10~12 P ;
F = 5 · 106 Hz
λ= 105 ll/m ; M = 5 · 1O~5 kg e = 10~4 m ;
,-5 „2 .
= 20 . 10"12 P ;
~5
Ruhestellung: 3Q = 10*"5 m2 ; (uQ - K) =3 · 10~5 m .
Aus den Gleichungen (18) und (20) bis (23) läßt sich ableiten:
= 0,884.10"12 P j
A = 1,768.107 m~5 }
B = 2,82. ΙΟ""4 m2 ; und
h =
PCu0-K)
= 3,182 1O~3 m
Damit ergibt sich folgende Tafel:
(u0 - K) in mn 1 ,4 3, 3 1 4,6
P(U0) in nun 14 ,43 142 .337
Bei anderen Abwandlungsformen der Erfindung ist der Empfindlichkeitsvektor k* unbekannt. Die Rechnung zeigt, daß die
20 Kompensation mit Hilfe dreier Stellkondensatoren der zuvor
geschilderten Art erfolgen kann, die untereinander parallel und mit dem Resonator in Serie verbunden und derart angeordnet sind, daß die Verschiebungsrichtungen ihrer beweglichen Platten parallel zu den drei Hauptachsen OX', OY* und OZ'
25 des piezoelektrischen Kristalles 31 des Resonators 30 ver
laufen.
809810/0648
Brief vom Blatt Dlpl.-Ing. G. Schitob·
an das Deutsche Patentamt, München Patentanwalt
«21
Bei der Abwandlungsform der Erfindung in Pig. 8 sind die Kondensatorplatten 15 und 16 dreier Stellkondensatoren C31» C32 un<i C33 senlcrecnt zu d9n drei Achsen OX1, OY1 und OZ1 angeordnet entsprechend der Kondensatoranordnung bei der ersten Ausbildungsform der Erfindung, bei der der Plattenabetand in Richtung der Ilauptempfindlichkeitsachse veränderlich war.
Bei der Abwandlungsform der Erfindung in Fig. 9 sind bei den drei Stellkondensatoren C,.., C32 und C33 die Flächen der Platten 120 und 150 in einem konstanten Abstand e parallel zu den Achsen OX1, OY1 und OZ1 angeordnet gemäß der beschriebenen zweiten Ausbildungsform der Erfindung.
Ganz allgemein kann jeder der Kondensatoren C31, C52 oder C,, der ersten oder zweiten Ausbildungsform der Erfindung entsprechen. In allen Fällen setzt sich die Kapazität des gesamten Kompensationskondeneators wie folgt zusammen:
C1 = C2 + C31 + C32 + C33
- Patentansprüche -
809810/0648
Leerseife

Claims (1)

  1. Brief vom Blatt \J0 Dlpl.-Ing. G. SchlM»
    an das Deutsche Patentamt, Münchsn Patentanwalt
    Patentansprüche
    Piezoelektrischer Oszillator mit einem Kristallresonator, der in Schleife mit einer der Einstellung der Osz.illatorf requenz dienenden veveteilbaren Kapazität geschaltet ist, die aus mindestens einem ütellkondensator besteht, gekennzeichnet durch eine mechanische Vorrichtung (16, 160), die auf die Beschleunigung (P) anspricht, der der Oszillator unterworfen i:iü, und die den 3tellkondenaai;or (10, C,) derart steuert, daß die durch diesen erzeugte Frequenzänderung (ÄF) entgegengesetzt gleich der durch die Beschleunigung des Resonators (j50) erzeugten Frequenzänderung ist.
    2. Piezoelektrischer Oszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Stellkondensator (10, C,) eine feste Kondensatorplatte (12, 120) und eine einen Translation3freiheitsgrad aufweisende bewegliche Kondensatorplatte (15, 150) besitzt, deren Bewegung die Änderung der Kapazität (C,) des Stellkondensa^ors (10) sicherstellt, und daß die auf die Beschleunigung (P ) ansprechende mechanische Vorrichtung ein elastisches Rückholelement (16, 160) für die bewegliche Kondensatorplatte besitzt.
    3. Piezoelektrischer Oszillator nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß beim Stellkondenuator (10, G,) der Abstand (e) zwischen den Kondenaatorplatten (15, 12) veränderlich ist und das elastische Rückholelement aus biegsamen Federblättern (16) besteht, die an der beweglichen Kondensatorplatte (15) befestigt sind, die parallel zu der gegenüber liegenden festen Kondensatorplatte (12) verschiebbar ist«
    809810/06Ad
    ORIGINAL INSPECTED
    Brief vom Blatt 2j6 Dlpl.-Ing. G. Schlteb·
    an das Deutsche Patentamt, Ilunchen Patentanwalt
    273600a
    4. Piezoelektrischer Oszillator nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die feste Kondensatorplatte (120) des otellkondensators (10, C,) zwischen den beiden senkrecht zur Verschiebungsrichtung (u) der rechteckförmigen beweglichen Kondensatorplatte (150) verlaufenden geraden Kanten zwei ein Profil (l(u)) bildende Kanten besitzt derart, daß die durch die Beschleunigung bewirkte lineare Verschiebung der beweglichen Kondensatorplatte durch eine nichtlineare Änderur.g der Kapazität (C,,) des Stellkondensators (10) eine Frequenzänderung ( ΔΡ) erzeugt, die die durch die Beschleunigung des Resonators bewirkte lineare Frequenzänderung kompensierb.
    5. Piezoelektrischer Oszillator nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das elastische Rückholelement aus einer biegsamen Blattfeder (160) besteht, die die bewegliche Kondensatorplatte (150) in einem konstanten Abstand (e) zur parallel verlaufenden festen Kondensatorplatte (120) hält.
    b. Piezoelektrischer Oszillator nach Anspruch 4 oder 5» dadurch gekennzeichnet, daß die ein Profil bildenden Kanten der festen Kondensatorplatte (120) der von der Verschiebung (u) der beweglichen Kondensatorplatte (150) abhängenden Punktion P(u) = 1/(A(u - K)2) gehorchen, wobei A eine Konstante ist, die von den geometrischen und mechanischen Parametern des elastischen Kückholelementes (160) und des Stellkondensators (10) abhängt, und K eine Konstante ist, die ebenfalls von diesen Parametern, ferner von den anderen Kapazitäten (C, C0, C2) des Oszillators sowie von der Kondensatorfläche (3) abhängt, die zwischen den beiden Kondensatorplatten (120, 150) unter der Beschleunigung Null wirksam ist.
    809810/0648
    Brief vom Blatt tf Dlpl.-Ing. G. ScNtote
    an das Deutsche Patentamt, München Patentanwalt
    7· Piezoelektrischer Oszillator nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschiebungsrichtung (Ou) der beweglichen Kondensatorplatte (15, 150) des Stellkondensators (10, C,) parallel zum Empfind!ichkeitsvektor (k^ verläuft, der die Frequenzänderung des Kristallreaonators (30, 31) infolge Beschleunigung kennzeichnet,
    8. Piezoelektrischer Oszillator nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die verstellbare Kapazität (10, C.) drei Stellkondensatoren (C,.., C,p, C,,) umfaßt, die je eine beschleunigungsempfindliche und unter der Wirkung eines Rückholelementes (16, 160) stehende bewegliche Kondensatorplatte (15, 150) aufweisen, die untereinander parallel und mit dem Resonator (30) seriell verbunden sind und bei denen die Verschiebungsrichtung der beweglichen Kondensatorplatten in Richtung der drei Hauptachsen (OX1, OY1, OZ1) des Kristallresonators (30, 31) steht.
    809810/0648
DE2736008A 1976-08-11 1977-08-10 Piezoelektrischer Oszillator Expired DE2736008C3 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR7624571A FR2361774A1 (fr) 1976-08-11 1976-08-11 Oscillateur a resonateur piezoelectrique et dispositif de compensation automatique de l'excursion en frequence du resonateur sous l'effet d'une acceleration
FR7723990A FR2399761A2 (fr) 1977-08-04 1977-08-04 Perfectionnements au dispositif de compensation automatique de l'excursion en frequence d'un oscillateur a resonateur piezoelectrique sous l'effet d'une acceleration

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2736008A1 true DE2736008A1 (de) 1978-03-09
DE2736008B2 DE2736008B2 (de) 1979-06-07
DE2736008C3 DE2736008C3 (de) 1980-02-07

Family

ID=26219591

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2736008A Expired DE2736008C3 (de) 1976-08-11 1977-08-10 Piezoelektrischer Oszillator

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4100512A (de)
DE (1) DE2736008C3 (de)
GB (1) GB1560452A (de)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4318063A (en) * 1979-05-03 1982-03-02 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Crystal oscillator compensated for g-sensitivity
US4384229A (en) * 1980-02-14 1983-05-17 Nippon Electric Co., Ltd. Temperature compensated piezoelectric ceramic resonator unit
US4467235A (en) * 1982-03-12 1984-08-21 Rockwell International Corporation Surface acoustic wave interferometer
US4588969A (en) * 1984-08-17 1986-05-13 Frequency And Time Systems, Inc. Adjustable crystal oscillator with acceleration compensation
US4871986A (en) * 1988-11-04 1989-10-03 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Method of making a crystal oscillator desensitized to accelerationfields
US4891611A (en) * 1989-03-09 1990-01-02 Rockwell International Corporation Vibration compensated crystal oscillator
US6707346B2 (en) * 2001-12-19 2004-03-16 The Boeing Company Apparatus and method for improved crystal time reference
WO2006016721A1 (ja) * 2004-08-11 2006-02-16 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd 感知装置
US7804374B1 (en) * 2007-02-15 2010-09-28 Discera, Inc. Feedthrough capacitance compensation for resonant devices
WO2010054099A1 (en) 2008-11-07 2010-05-14 Greenray Industries, Inc. Crystal oscillator with reduced acceleration sensitivity
US11332362B2 (en) * 2018-02-20 2022-05-17 Bliley Technologies, Inc. Vibration isolator platform with electronic acceleration compensation
US11162972B2 (en) * 2018-05-23 2021-11-02 University Of Central Florida Research Foundation, Inc. Resonant MEMS piezoelectric sensor

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2916279A (en) * 1956-03-19 1959-12-08 Austin N Stanton Acceleration and velocity detection devices and systems
US3289055A (en) * 1965-09-30 1966-11-29 Suwa Seikosha Kk Temperature compensating capacitor for quartz crystal oscillator

Also Published As

Publication number Publication date
US4100512A (en) 1978-07-11
GB1560452A (en) 1980-02-06
DE2736008B2 (de) 1979-06-07
DE2736008C3 (de) 1980-02-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2736008A1 (de) Piezoelektrischer oszillator
DE2936887C2 (de)
DE102013208824B4 (de) Beschleunigungssensor
DE1590870C3 (de) Elektrischer Präzisionswiderstand
DE102009000606A1 (de) Mikromechanische Strukturen
DE102015001128B4 (de) Beschleunigungssensor mit Federkraftkompensation
EP0166028A2 (de) Justiereinrichtung für einen Reflektorspiegel eines Laserresonators
WO2020049165A1 (de) Ionenfalle, verfahren zum regeln der ionenfalle und verwendungen als antrieb einer ionenfalle
EP0275338A1 (de) Biegefedergelenk und Verfahren zu seiner Herstellung
EP0319470B1 (de) Verfahren und Schaltung zur Reduktion der Temperaturabhängigkeit der Schwingparameter eines Oszillators
EP2389561A1 (de) Drehratensensor
CH667732A5 (de) Wiegeeinrichtung
EP1529217B1 (de) Mikromechanisches bauelement
DE69310799T2 (de) Vibrator mit abgeglichenen Kantenbereichen
DE3038660A1 (de) Beschleunigungsaufnehmer mit piezoelektrischem wandlerelement
DE3838990C1 (de)
DE3018285C2 (de)
DE4431232A1 (de) Integrierbares Feder-Masse-System
DE1541933A1 (de) Resonator sowie Vorrichtung und Verfahren zur Veraenderung dessen Frequenz
CH652261A5 (de) Piezoelektrischer schwinger.
DE3622557A1 (de) Piezoelektrische feinpositioniervorrichtung
DE1616671B1 (de) Elektromechanisches Filter
DE1416092B1 (de) Vorrichtung zur Kompensation des Temperaturganges der Frequenz einer Schwingkristallscheibe
DE2746627B1 (de) Druckabhaengig betaetigter elektrischer Schalter,insbesondere Verdampferthermostat fuer Kuehlschraenke
DE2922451C2 (de) Piezoelektrische Resonatorvorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
OAP Request for examination filed
OD Request for examination
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
8328 Change in the person/name/address of the agent

Free format text: ZINNGREBE, H., DR.RER.NAT., PAT.-ANW., 6100 DARMSTADT

8339 Ceased/non-payment of the annual fee