DE2746269C3 - Mikroskopobjektiv für 40-fache Vergrößerung - Google Patents
Mikroskopobjektiv für 40-fache VergrößerungInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Mikroskopobjektiv für 40fache Vergrößerung, das aus einem ersten
Linsenglied in Form einer dicken meniskusförmigen Zerstreuungslinse mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig, aus einem zweiten Linsenglied in Form einer meniskusförmigen Sammellinse mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig, einem dritten Linsenglied in Form eines sammelnden Kittgliedes, einem vierten Linsenglied in Form eines sammelnden Kittgliedes und einem fünften Linsenglied in Form eines zerstreuenden meniskusförmigen Kittgliedes mit konkaver Oberfläche bildseitig besteht.
Aus der DE-OS 24 05 446 ist ein Mikroskopobjektiv dieser Art bekannt, das eine numerische Apertur N.A. = 0,65 und ein Sehfeld von IH = 3 besitzt.
Objektive für Mikroskope mit ähnlichem Aufbau sind auch aus der US-PS 34 81 665 bekannt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Objektive dieser Art anzugeben, die selbst bei einer erheblich vergrößerten numerischen Apertur von N.A. = 0,7 und einem vergrößerten Sehfeld (IH = 3,2 ~ 3,5) gute Abbildungseigenschaften besitzen.
Dies wird bei Objektiven der eingangs erwähnten Art erfindungsgemäß erreicht durch die im kennzeichnenden Teil der Ansprüche aufgeführten Merkmale.
Die Erfindung wird nun anhand erfindungsgemäßer Objektive mit Bezug auf die Zeichnungen erläutert. In den Zeichnungen zeigt
Fig. 1 eine schematische Schnittansicht durch die Mikroskopobjektive nach der Erfindung,
Fig. 2 die Korrekturkurven eines ersten Objektivs nach der Erfindung,
Fig. 3 die Korrekturkurven eines zweiten Objektivs nach der Erfindung,
Fig.4 die Korrekturkurven eines dritten Objektivs nach der Erfindung,
Fig.5 die Korrekturkurven eines vierten Objektivs nach der Erfindung,
Fig.6 die Korrekturkurven eines fünften Objektivs nach der Erfindung,
Fig. 7 die Korrekturkurven eines sechsten Objektivs nach der Erfindung,
Fig. 8 die Korrekturkurven eines siebten Objektivs nach der Erfindung,
Fig. 9 die Korrekturkurven eines achten Objektivs nach der Erfindung,
Fig. 10 die Korrekturkurven eines neunten Objektivs nach der Erfindung.
Die Mikroskopobjektive nach der Erfindung besitzen den schematisch in Fig. 1 dargestellten Aufbau. Sie bestehen aus fünf Linsengliedern, wobei das erste von der Gegenstandsseite aus gerechnet eine dicke meniskusförmige Zerstreuungslinse mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig, das zweite Linsenglied eine meniskusförmige Sammellinse mit konkaver Fläche gegenstandsseitig, das dritte Linsenglied ein Kittglied mit positiver Brechkraft, das vierte Linsenglied ebenfalls ein Kittglied mit positiver Brechkraft und das fünfte Linsenglied ein meniskusförmiges zerstreuendes Kittglied mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig ist.
Bei der Entwicklung der erfindungsgemäßen Objektive hat sich die Einhaltung der folgenden Bedingungen aus den nachstehend näher erläuterten Gründen als wesentlich erwiesen.
r[tief]1 und r[tief]2 die Krümmungsradien der Oberflächen des ersten Linsenglieds,
r[tief]4 den Krümmungsradius der bildseitigen Oberfläche des zweiten Linsenglieds,
r[tief]5 den Krümmungsradius der gegenstandsseitigen Oberfläche des dritten Linsenglieds,
r[tief]8 den Krümmungsradius der gegenstandsseitigen Oberfläche des vierten Linsenglieds,
r[tief]11 und r[tief]13 die Krümmungsradien der gegenstandsseitigen und bildseitigen Oberfläche des fünften Linsenglieds,
d[tief]1 die Dicke des ersten Linsenglieds,
d[tief]11 und d[tief]12 die Dicken der das fünfte Linsenglied bildenden Linsen,
d[tief]10 den Luftabstand zwischen viertem und fünftem Linsenglied,
n[tief]1 den Brechungsindex des ersten Linsenglieds,
n[tief]2 den Brechungsindex des zweiten Linsenglieds,
n[tief]3 den Brechungsindex der gegenstandsseitig angeordneten Linse im dritten Linsenglied,
n[tief]5 den Brechungsindex der gegenstandsseitigen Linse im vierten Linsenglied,
n[tief]7 und n[tief]8 die Brechungsindizes der das fünfte Linsenglied bildenden Linsen,
kleines Ny[tief]3, kleines Ny[tief]4, kleines Ny[tief]5 und kleines Ny[tief]6 die Abbe-Zahlen der das dritte bzw. vierte Linsenglied bildenden Linsen.
Von diesen Bedingungen dienen die Bedingungen (1) und (2) dazu, die Brechkraft und die Durchbiegung des ersten Gliedes festzulegen, welches eine zerstreuende meniskusförmige Einzellinse ist. In Verbindung mit den Bedingungen (3) und (4), deren Bedeutung nachstehend noch näher erläutert wird, dienen diese Bedingungen auch dazu, die Bildfeldkrümmung durch Korrektur der Petzval-Summe des Gesamtobjektivs zu beseitigen und darüber hinaus sphärische Aberration und Koma des Gesamtobjektivs gut zu korrigieren. Wenn der in der Bedingung (1) angegebene Ausdruck größer als der obere Grenzwert der Bedingung (1) ist, wird die Bildfeldkrümmung überkorrigiert und Queraberration von Schrägstrahlen wird unterkorrigiert. Wenn der in der Bedingung (1) angegebene Ausdruck kleiner als der untere Grenzwert ist, wird die Bildfeldkrümmung unterkorrigiert und Queraberration überkorrigiert. Wenn der durch die Bedingung (2) begrenzte Ausdruck größer als der obere Grenzwert der Bedingung (2) ist, wird die Bildfeldkrümmung unterkorrigiert und Queraberration durch Schrägstrahlung überkorrigiert. Wenn
der durch die Bedingung (2) begrenzte Ausdruck kleiner als der untere Grenzwert wird, wird die Bildfeldkrümmung überkorrigiert und Queraberration durch Schrägstrahlung unterkorrigiert. Die Bedingungen (3) und (4) dienen zur Bestimmung der Brechkraft und der Durchbiegung des fünften Linsenglieds, das ein zerstreuendes meniskusförmiges Kittglied aus zwei Linsen ist. Zusammen mit den oben erwähnten Bedingungen (1) und (2) dienen diese Bedingungen dazu, die Bildfeldkrümmung und die Astigmatismusdifferenz durch Korrektur der Petzval-Summe zu beseitigen. Darüber hinaus dienen diese Bedingungen in Verbindung mit der Bedingung (6) dazu, Koma zu beseitigen. Wenn der durch die Bedingung (3) begrenzte Ausdruck größer als der obere Grenzwert der Bedingung (3) ist, wird die Bildfeldkrümmung sowie die Astigmatismusdifferenz überkorrigiert und die zonale Aberration der sphärischen Aberration durch Schrägstrahlen ist groß. Wenn der durch die Bedingung (3) begrenzte Ausdruck kleiner als der untere Grenzwert ist, wird die Bildfeldkrümmung und Astigmatismusdifferenz unterkorrigiert.
Wenn der durch die Bedingung (4) begrenzte Ausdruck größer als der obere Grenzwert der Bedingung (4) ist, wird die Bildfeldkrümmung und Astigmatismusdifferenz überkorrigiert und die sphärische Aberration durch Schrägstrahlen ist groß. Wenn der durch die Bedingung (4) begrenzte Ausdruck größer als der untere Grenzwert ist, wird die Bildfeldkrümmung und Astigmatismusdifferenz unterkorrigiert.
Die Bedingung (5) dient dazu, die Durchbiegung des dritten Linsenglieds, das ein sammelndes Kittglied ist, zu begrenzen. Diese Bedingung ist in der Hauptsache zur guten Korrektur der Astigmatismusdifferenz und daneben zur Beseitigung von Koma vorgesehen. Wenn der durch die Bedingung (5) begrenzte Ausdruck größer als der obere Grenzwert der Bedingung (5) ist, wird die Astigmatismusdifferenz unterkorrigiert und es wird unmöglich, die verbleibende Astigmatismusdifferenz durch andere Faktoren gut zu korrigieren. Darüber hinaus wird Einwärtskoma groß. Wenn der durch die Bedingung (5) begrenzte Ausdruck kleiner als der untere Grenzwert ist, wird die Astigmatismusdifferenz überkorrigiert und Auswärtskoma wird groß.
Die Bedingung (6) ist zur Begrenzung des Luftabstandes zwischen der Frontlinsengruppe mit dem ersten, zweiten, dritten und vierten Linsenglied und der aus dem fünften Linsenglied bestehenden hinteren Linsengruppe vorgesehen. Diese Bedingung dient in erster Linie zur guten Korrektur von durch Schrägstrahlung verursachter Koma. Wenn der durch die Bedingung (6) begrenzte Ausdruck größer als der obere Grenzwert der Bedingung (6) ist, wird Koma hervorgerufen. Wenn der durch die Bedingung (6) begrenzte Ausdruck kleiner als der untere Grenzwert ist, wird Einwärtskoma hervorgerufen. Wenn der durch die Bedingung (6) begrenzte Ausdruck kleiner als der untere Grenzwert ist, wird Auswärtskoma hervorgerufen.
Die Bedingung (7) bezieht sich auf die achromatischen Linsen in der Frontlinsengruppe und dient zur guten Korrektur der chromatischen Längs- und Queraberration des Gesamtobjektivs. Wenn der durch die Bedingung (7) begrenzte Ausdruck größer als der obere Grenzwert der Bedingung (7) ist, wird chromatische Längsaberration durch Randstrahlen kurzer Wellenlänge zu sehr überkorrigiert, wenn chromatische Queraberration zufriedenstellend korrigiert ist und es tritt eine Unschärfe in dem Bild auf. Infolgedessen wird der Bildkontrast ungünstig. Wenn der durch die Bedingung (7) begrenzte Ausdruck kleiner als der untere Grenzwert ist, ergibt sich eine unzulässige Unterkorrektur von chromatischer Queraberration, wenn die chromatische Längsaberration zufriedenstellend korrigiert ist.
Von den übrigen Bedingungen dient die Bedingung (8) zur Begrenzung der Brechkraft des zweiten Linsenglieds, das eine sammelnde Meniskuslinse ist und diese Bedingung ist dazu vorgesehen, sphärische Aberration und Einhaltung der Sinusbedingung des Objektivs gut zu korrigieren. Wenn der durch die Bedingung (8) begrenzte Ausdruck größer als der obere Grenzwert der Bedingung (8) ist, wird sphärische Aberration überkorrigiert und die zonale Aberration der Sinusbedingung ist groß. Wenn der durch die Bedingung (8) begrenzte Ausdruck kleiner als der untere Grenzwert ist, wird sphärische Aberration unterkorrigiert. Wenn versucht wird, sphärische Aberration durch andere Faktoren zu korrigieren, wird zonale Aberration groß. Darüber hinaus wird der Ausgleich zwischen der Sinusbedingung und sphärischen Aberration gestört und asymmetrische Aberration durch Schrägstrahlen wird verursacht.
Die Bedingung (9) betrifft die Durchbiegung des vierten Linsengliedes. Diese Bedingung dient hauptsächlich zur Korrektur der Astigmatismusdifferenz des Objektivs, wie die zuvor erwähnte Bedingung (5). Bezüglich der Korrektur der Astigmatismusdifferenz ist die Bedingung (5) die Hauptbedingung und die Bedingung (9) die Sekundärbedingung. Daher ist zur Korrektur der Astigmatismusdifferenz die Bedingung (5) wirkungsvoller und wesentlicher als die Bedingung (9). Wenn der durch die Bedingung (9) begrenzte Ausdruck größer als der obere Grenzwert der Bedingung (9) ist, wird die Astigmatismusdifferenz unterkorrigiert und Einwärtskoma wird groß. Wenn der durch die Bedingung (9) begrenzte Ausdruck kleiner als der untere Grenzwert ist, wird die Astigmatismusdifferenz überkorrigiert und Auswärtskoma groß.
Das Objektiv 1 hat die nachstehend in Tabelle 1 aufgeführten numerischen Daten:
Tabelle 1
Das Objektiv 2 hat die nachstehend in Tabelle 2 aufgeführten numerischen Daten:
Tabelle 2
Das Objektiv 3 hat die nachstehend in Tabelle 3 aufgeführten numerischen Daten:
Tabelle 3
Das Objektiv 4 hat die nachstehend in Tabelle 4 aufgeführten numerischen Daten:
Tabelle 4
Das Objektiv 5 hat die nachstehend in Tabelle 5 aufgeführten numerischen Daten:
Tabelle 5
Das Objektiv 6 hat die nachstehend in Tabelle 6 aufgeführten numerischen Daten:
Tabelle 6
Das Objektiv 7 hat die nachstehend in Tabelle 7 aufgeführten numerischen Daten:
Tabelle 7
Das Objektiv 8 hat die nachstehend in Tabelle 8 aufgeführten numerischen Daten:
Tabelle 8
Das Objektiv 9 weist die nachstehend in Tabelle 9 aufgeführten numerischen Daten auf:
Tabelle 9
Darin bezeichnen
f die Brennweite des Objektivs,
r[tief]1 bis r[tief]13 die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d[tief]1 bis d[tief]12 die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen,
n[tief]1 bis n[tief]8 die Brechungsindizes der Linsen,
kleines Ny[tief]1 bis kleines Ny[tief]8 die Abbe-Zahlen der Linsen,
N.A. die numerische Apertur,
kleines Beta die Vergrößerung und
W.D. den Arbeitsabstand.
Claims (9)
1. Mikroskopobjektiv für 40fache Vergrößerung, das aus einem ersten Linsenglied in Form einer dicken meniskusförmigen Zerstreuungslinse mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig, aus einem zweiten Linsenglied in Form einer meniskusförmigen Sammellinse mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig, einem dritten Linsenglied in Form eines sammelnden Kittgliedes, einem vierten Linsenglied in Form eines sammelnden Kittgliedes und einem fünften Linsenglied in Form eines zerstreuenden meniskusförmigen Kittgliedes mit konkaver Oberfläche bildseitig besteht, gekennzeichnet durch die nachstehend aufgeführten Daten:
Tabelle 1
oder durch Werte, die ausgehend von diesem Datensatz durch Variation aufgrund einer Variation einer der folgenden Größen entstehen
(1) - (9)
worin bezeichnen
f die Brennweite des Objektivs,
r[tief]1 bis r[tief]13 die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d[tief]1 bis d[tief]12 die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen,
n[tief]1 bis n[tief]8 die Brechungsindizes der Linsen,
kleines Ny[tief]1 bis kleines Ny[tief]8 die Abbe-Zahlen der Linsen,
N.A. die numerische Apertur,
kleines Beta die Vergrößerung,
W.D. den Arbeitsabstand.
2. Mikroskopobjektiv für 40fache Vergrößerung, das aus einem ersten Linsenglied in Form einer dicken meniskusförmigen Zerstreuungslinse mit
konkaver Oberfläche gegenstandsseitig, aus einem zweiten Linsenglied in Form einer meniskusförmigen Sammellinse mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig, einem dritten Linsenglied in Form eines sammelnden Kittgliedes, einem vierten Linsenglied in Form eines sammelnden Kittgliedes und einem fünften Linsenglied in Form eines zerstreuenden meniskusförmigen Kittglieds mit konkaver Oberfläche bildseitig besteht, gekennzeichnet durch die nachstehend aufgeführten Daten:
Tabelle 2
oder durch Werte, die ausgehend von diesem Datensatz durch Variation aufgrund einer Variation einer der folgenden Größen entstehen
(1) - (9)
worin bezeichnen
f die Brennweite des Objektivs,
r[tief]1 bis r[tief]13 die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d[tief]1 bis d[tief]12 die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen,
n[tief]1 bis n[tief]8 die Brechungsindizes der Linsen,
kleines Ny[tief]1 bis kleines Ny[tief]8 die Abbe-Zahlen der Linsen,
N.A. die numerische Apertur,
kleines Beta die Vergrößerung,
W.D. den Arbeitsabstand.
3. Mikroskopobjektiv für 40fache Vergrößerung, das aus einem ersten Linsenglied in Form einer dicken meniskusförmigen Zerstreuungslinse mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig, aus einem zweiten Linsenglied in Form einer meniskusförmigen
Sammellinse mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig, einem dritten Linsenglied in Form eines sammelnden Kittgliedes, einem vierten Linsenglied in Form eines sammelnden Kittgliedes und einem fünften Linsenglied in Form eines zerstreuenden meniskusförmigen Kittglieds mit konkaver Oberfläche bildseitig besteht, gekennzeichnet durch die nachstehend aufgeführten Daten:
Tabelle 3
oder durch Werte, die ausgehend von diesem Datensatz durch Variation aufgrund einer Variation einer der folgenden Größen entstehen
(1) - (9)
worin bezeichnen
f die Brennweite des Objektivs,
r[tief]1 bis r[tief]13 die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d[tief]1 bis d[tief]12 die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen,
n[tief]1 bis n[tief]8 die Brechungsindizes der Linsen,
kleines Ny[tief]1 bis kleines Ny[tief]8 die Abbe-Zahlen der Linsen,
N.A. die numerische Apertur,
kleines Beta die Vergrößerung,
W.D. den Arbeitsabstand.
4. Mikroskopobjektiv für 40fache Vergrößerung, das aus einem ersten Linsenglied in Form einer dicken meniskusförmigen Zerstreuungslinse mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig, aus einem zweiten Linsenglied in Form einer meniskusförmigen
Sammellinse mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig, einem dritten Linsenglied in Form eines sammelnden Kittgliedes, einem vierten Linsenglied in Form eines sammelnden Kittgliedes und einem fünften Linsenglied in Form eines zerstreuenden meniskusförmigen Kittglieds mit konkaver Oberfläche bildseitig besteht, gekennzeichnet durch die nachstehend aufgeführten Daten:
Tabelle 4
oder durch Werte, die ausgehend von diesem Datensatz durch Variation aufgrund einer Variation einer der folgenden Größen entstehen
(1) - (9)
worin bezeichnen
f die Brennweite des Objektivs,
r[tief]1 bis r[tief]13 die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d[tief]1 bis d[tief]12 die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen,
n[tief]1 bis n[tief]8 die Brechungsindizes der Linsen,
kleines Ny[tief]1 bis kleines Ny[tief]8 die Abbe-Zahlen der Linsen,
N.A. die numerische Apertur,
kleines Beta die Vergrößerung,
W.D. den Arbeitsabstand.
5. Mikroskopobjektiv für 40fache Vergrößerung, das aus einem ersten Linsenglied in Form einer dicken meniskusförmigen Zerstreuungslinse mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig, aus einem zweiten Linsenglied in Form einer meniskusförmigen
Sammellinse mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig, einem dritten Linsenglied in Form eines sammelnden Kittgliedes, einem vierten Linsenglied in Form eines sammelnden Kittgliedes und einem fünften Linsenglied in Form eines zerstreuenden meniskusförmigen Kittglieds mit konkaver Oberfläche bildseitig besteht, gekennzeichnet durch die nachstehend aufgeführten Daten:
Tabelle 5
oder durch Werte, die ausgehend von diesem Datensatz durch Variation aufgrund einer Variation einer der folgenden Größen entstehen
(1) - (9)
worin bezeichnen
f die Brennweite des Objektivs,
r[tief]1 bis r[tief]13 die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d[tief]1 bis d[tief]12 die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen,
n[tief]1 bis n[tief]8 die Brechungsindizes der Linsen,
kleines Ny[tief]1 bis kleines Ny[tief]8 die Abbe-Zahlen der Linsen,
N.A. die numerische Apertur,
kleines Beta die Vergrößerung,
W.D. den Arbeitsabstand.
6. Mikroskopobjektiv für 40fache Vergrößerung, das aus einem ersten Linsenglied in Form einer dicken meniskusförmigen Zerstreuungslinse mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig, aus einem zweiten Linsenglied in Form einer meniskusförmigen
Sammellinse mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig, einem dritten Linsenglied in Form eines sammelnden Kittgliedes, einem vierten Linsenglied in Form eines sammelnden Kittgliedes und einem fünften Linsenglied in Form eines zerstreuenden meniskusförmigen Kittglieds mit konkaver Oberfläche bildseitig besteht, gekennzeichnet durch die nachstehend aufgeführten Daten:
Tabelle 6
oder durch Werte, die ausgehend von diesem Datensatz durch Variation aufgrund einer Variation einer der folgenden Größen entstehen
(1) - (9)
worin bezeichnen
f die Brennweite des Objektivs,
r[tief]1 bis r[tief]13 die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d[tief]1 bis d[tief]12 die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen,
n[tief]1 bis n[tief]8 die Brechungsindizes der Linsen,
kleines Ny[tief]1 bis kleines Ny[tief]8 die Abbe-Zahlen der Linsen,
N.A. die numerische Apertur,
kleines Beta die Vergrößerung,
W.D. den Arbeitsabstand.
7. Mikroskopobjektiv für 40fache Vergrößerung, das aus einem ersten Linsenglied in Form einer dicken meniskusförmigen Zerstreuungslinse mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig, aus einem zweiten Linsenglied in Form einer meniskusförmigen
Sammellinse mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig, einem dritten Linsenglied in Form eines sammelnden Kittgliedes, einem vierten Linsenglied in Form eines sammelnden Kittgliedes und einem fünften Linsenglied in Form eines zerstreuenden meniskusförmigen Kittglieds mit konkaver Oberfläche bildseitig besteht, gekennzeichnet durch die nachstehend aufgeführten Daten:
Tabelle 7
oder durch Werte, die ausgehend von diesem Datensatz durch Variation aufgrund einer Variation einer der folgenden Größen entstehen
(1) - (9)
worin bezeichnen
f die Brennweite des Objektivs,
r[tief]1 bis r[tief]13 die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d[tief]1 bis d[tief]12 die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen,
n[tief]1 bis n[tief]8 die Brechungsindizes der Linsen,
kleines Ny[tief]1 bis kleines Ny[tief]8 die Abbe-Zahlen der Linsen,
N.A. die numerische Apertur,
kleines Beta die Vergrößerung,
W.D. den Arbeitsabstand.
8. Mikroskopobjektiv für 40fache Vergrößerung, das aus einem ersten Linsenglied in Form einer dicken meniskusförmigen Zerstreuungslinse mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig, aus einem zweiten Linsenglied in Form einer meniskusförmigen
Sammellinse mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig, einem dritten Linsenglied in Form eines sammelnden Kittgliedes, einem vierten Linsenglied in Form eines sammelnden Kittgliedes und einem fünften Linsenglied in Form eines zerstreuenden meniskusförmigen Kittglieds mit konkaver Oberfläche bildseitig besteht, gekennzeichnet durch die nachstehend aufgeführten Daten:
Tabelle 8
oder durch Werte, die ausgehend von diesem Datensatz durch Variation aufgrund einer Variation einer der folgenden Größen entstehen
(1) - (9)
worin bezeichnen
f die Brennweite des Objektivs,
r[tief]1 bis r[tief]13 die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d[tief]1 bis d[tief]12 die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen,
n[tief]1 bis n[tief]8 die Brechungsindizes der Linsen,
kleines Ny[tief]1 bis kleines Ny[tief]8 die Abbe-Zahlen der Linsen,
N.A. die numerische Apertur,
kleines Beta die Vergrößerung,
W.D. den Arbeitsabstand.
9. Mikroskopobjektiv für 40fache Vergrößerung, das aus einem ersten Linsenglied in Form einer dicken meniskusförmigen Zerstreuungslinse mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig, aus einem zweiten Linsenglied in Form einer meniskusförmigen
Sammellinse mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig, einem dritten Linsenglied in Form eines sammelnden Kittgliedes, einem vierten Linsenglied in Form eines sammelnden Kittgliedes und einem fünften Linsenglied in Form eines zerstreuenden meniskusförmigen Kittglieds mit konkaver Oberfläche bildseitig besteht, gekennzeichnet durch die nachstehend aufgeführten Daten:
Tabelle 9
oder durch Werte, die ausgehend von diesem Datensatz durch Variation aufgrund einer Variation einer der folgenden Größen entstehen
(1) - (9)
worin bezeichnen
f die Brennweite des Objektivs,
r[tief]1 bis r[tief]13 die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,
d[tief]1 bis d[tief]12 die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen,
n[tief]1 bis n[tief]8 die Brechungsindizes der Linsen,
kleines Ny[tief]1 bis kleines Ny[tief]8 die Abbe-Zahlen der Linsen,
N.A. die numerische Apertur,
kleines Beta die Vergrößerung,
W.D. den Arbeitsabstand.
Applications Claiming Priority (1)
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1976
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1977
- 1977-10-05 US US05/839,742 patent/US4184747A/en not_active Expired - Lifetime
- 1977-10-14 DE DE2746269A patent/DE2746269C3/de not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| DE2746269A1 (de) | 1978-04-27 |
| JPS5348537A (en) | 1978-05-02 |
| JPS5715368B2 (de) | 1982-03-30 |
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