DE2634560A1

DE2634560A1 - METHOD AND DEVICE FOR DISCONNECTING CONNECTED

Info

Publication number: DE2634560A1
Application number: DE19762634560
Authority: DE
Inventors: Liviu Dipl Ing Enea; Werner Dipl Chem Dr Franke
Original assignee: Hoechst AG
Current assignee: Hoechst AG
Priority date: 1976-07-31
Filing date: 1976-07-31
Publication date: 1978-02-02
Also published as: GB1588780A; CA1093366A; JPS5317334A; BE857280A

Description

HOECHST AKTIENGESELLSCHAFTHOECHST AKTIENGESELLSCHAFT

KALLE Niederlassung der Hoechst AG K 2470 + HKALLE branch of Hoechst AG K 2470 + H

Wiesbaden-Biebrich 14. Juli 1976Wiesbaden-Biebrich July 14, 1976

WLK-Dr.I.-urWLK-Dr.I.-ur

Verfahren und Vorrichtung zur Trennung von VerbundenMethod and device for separating compounds

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Trennung von Verbunden, wie sie in der Reprographie, beispielsweise als Schichtübertragungsmaterialien, Anwendung finden.The invention relates to a method and a device for separating compounds, as used in reprography, for example as layer transfer materials, Find application.

Schichtübertragungsmaterialien werden häufig zur Herstellung gedruckter Schaltungen verwendet, sie bestehen beispielsweise aus einer lichtempfindlichen Schicht (der sogenannten Photoresistschicht), die zwischen zwei Folien aus verschiedenen Polymeren, wobei eine als Träger- und eine als Deckfolie fungiert, eingeschlossen ist. Die Folien zeigen in der Regel ein unterschiedliches Haftvermögen gegenüber der lichtempfindlichen Schicht und sollen derart eine gezielte einseitige Abtrennung (Delaminierung) ermöglichen. DieLayer transfer materials are often used for Manufacture of printed circuits used, they consist, for example, of a photosensitive Layer (the so-called photoresist layer), which is sandwiched between two sheets of different polymers, one functioning as a carrier film and one as a cover film is included. The slides usually show a different adhesiveness compared to the photosensitive Layer and should enable a targeted one-sided separation (delamination). the

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relativ leichter ablösbare bzw. die zuerst abzulösende Folie wird als Deckfolie bezeichnet, die andere als Trägerfolie. Derartige Schichtübertragungsmaterialien, die im Handel unter der Bezeichnung TrockenresistfiIme bekannt sind, werden beispielsweise in der DT-AS 1 522 515, der DT-OS 2 064 080 und der DT-OS 2 205 146 beschrieben; dabei ist die lichtempfindliche Schicht gewöhnlich eine photopolymerisierbare Schicht.The film that is relatively easier to remove or the film to be removed first is referred to as the cover film, the other as Carrier film. Such film transfer materials, those commercially available under the name TrockenresistfiIme are known, for example in DT-AS 1 522 515, DT-OS 2 064 080 and DT-OS 2 205 146 described; the photosensitive layer is usually one photopolymerizable layer.

Die Schichtübertragung erfolgt im allgemeinen in der Weise, daß die nach Abtrennen der Deckfolie freiliegende Oberfläche der lichtempfindlichen Schicht z. B. unter Erwärmen und Druck auf die endgültige Unterlage, beispielsweise eine Kupfer/Aluminium-Bimetal1 platte oder eine Kunststoffplatte mit aufkaschierter Kupferhaut, kaschiert wird.The layer transfer is generally carried out in such a way that that which is exposed after the cover sheet has been separated off Surface of the photosensitive layer e.g. More colorful Heating and pressure on the final base, for example a copper / aluminum bimetal1 plate or a plastic plate with laminated copper skin, is laminated.

Nach dem Belichten des so hergestellten Verbundes durch die Folie auf die Seite der lichtempfindlichen Schicht wird die Trägerfolie abgezogen.After the composite produced in this way has been exposed the film on the side of the photosensitive layer the carrier film is peeled off.

Für die zur Schichtübertragung gewünschte, zunächst einseitige Delaminierung ist es u. a. erforderlich, daß die Haftung der Deckfolie deutlich geringer ist als die der Trägerfolie, aber gerade noch ausreicht, um die HerstellungFor the initially one-sided delamination desired for the layer transfer, it is inter alia. required that the Adhesion of the cover film is significantly lower than that of the carrier film, but is still just enough to produce

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eines temporär beständigen Kaschierverbundes zu ermöglichen, der bei der Lagerung und Verarbeitung so lange wie erforderlich intakt bleibt, damit z. B. kein einseitiges Ablösen einer Folienbahn oder keine Einwanderung oder kein Einschluß von Luft bzw. Sauerstoff erfolgen. Der Einschluß von (sauerstoffhai tiger) Luft führt nämlich bei lichtempfindlichen, zur Additionspolymerisation befähigten Photopolymerschichten zu unerwünschten Nebenreaktionen, d. h. zur Verminderung der praktischen Lichtempfindlichkeit.to enable a temporarily stable laminate that lasts so long during storage and processing remains intact as necessary so that e.g. B. no unilateral detachment of a film web or no immigration or there is no inclusion of air or oxygen. The inclusion of (oxygen-shark tiger) air leads namely in the case of light-sensitive photopolymer layers capable of addition polymerization, undesirable side reactions, d. H. to reduce practical photosensitivity.

Für die nach der Schichtübertragung und der Belichtung erforderliche Delaminierung der zweiten Folienschicht ist es weiterhin erforderlich, daß die Haftung der Trägerfolie zur lichtempfindlichen Schicht geringer ist als die Haftung der lichtempfindlichen Schicht zu metallischen Unterlagen, beispielsweise solchen aus Kupfer, deren Oberflächen mit der lichtempfindlichen Schicht in an sich bekannter Weise abgedeckt und weiteren modifizierenden Behandlungsschritten zugeführt werden sollen. Ein empfindlicher Nachteil eines derartigen Aufbaus in Verbindung mit den bekannten Delaminierungs- und Laminierungstechniken ist z. B. die technisch und kommerziell aufwendige Notwendigkeit der Verwendung von Folien mit unterschiedlichen, auf die lichtempfindliche Schicht abgestimmten Hafteigenschaften.For the delamination of the second film layer required after the layer transfer and exposure it is also necessary that the adhesion of the carrier film to the photosensitive layer is less than that Adhesion of the photosensitive layer to metallic Documents, such as those made of copper, their Surfaces with the photosensitive layer in on are covered in a known manner and are to be added to further modifying treatment steps. A A sensitive disadvantage of such a structure in connection with the known delamination and lamination techniques is e.g. B. the technical and commercial elaborate need to use films with different, on the photosensitive layer coordinated adhesive properties.

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In der Praxis werden heute häufig Polyäthylen als Deck- und biaxial verstrecktes Polyäthylenterephthalat als Trägerfolie verwendet, die gegenüber den bekannten Zusammensetzungen von lichtempfindlichen Schichten unterschiedliche Haftwerte zeigen.In practice today, polyethylene is often used as the cover film and biaxially oriented polyethylene terephthalate as the carrier film, which shows different adhesion values compared to the known compositions of photosensitive layers.

Die eingesetzten Polyäthylenfolien stammen hauptsächlich aus dem an Billigfolien interessierten Verpackungssektor und sind deshalb qualitativ nur bedingt brauchbar, weil sie im Gegensatz zu den als Trägerfolien verwendeten Folien aus Polyäthylenterephthalat z. B. nicht oder nur bedingt dimensionsstabil, durch eingeschlossene Stippen oftmals ungleichmäßig dick und außerdem für verschiedene Gase und Dämpfe unterschiedlich durchlässig sind. Die Nachteile dieser Eigenschaften liegen für den Durchschnittsfachmann auf der Hand. Selbst bei unterschiedlichen Haftkräften der Träger- bzw. Deckfolien gegenüber der lichtempfindlichen Schicht, beispielsweise einer Differenz von 5 g/100 mm, kann es aufgrund qualitätsbestimmender oder bei der Herstellung herrschender Einflüsse leicht zu einer Delaminierung zur falschen Folienseite hin kommen, was mit den derzeitig bekannten Dalaminier- und Laminierverfahren bzw. -maschinen nicht sicher verhindert werden kann. Zu diesen Einflüssen zählen z. B. in die Resistschicht eingedrückte Stippen, Verklebungen verursacht durch die an den RoIlenschnitt-The polyethylene films used come mainly from the packaging sector interested in cheap films and are therefore only of limited use in terms of quality because, in contrast to the films made of polyethylene terephthalate z. B. not or only partially dimensionally stable, often unevenly thick due to enclosed specks and also differently permeable to different gases and vapors. The disadvantages of these properties are for those of ordinary skill in the art. Even with different adhesive strengths of the carrier or cover film compared to the light-sensitive layer, for example a difference of 5 g / 100 mm, delamination to the wrong side of the film can easily occur due to influences that determine the quality or during manufacture , which is the case with the currently known Dalaminier- and lamination processes or machines cannot be prevented with certainty. These influences include: B. in the resist layer indented specks, adhesions caused by the ROI lenschnitt-

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kanten freiliegende lichtempfindliche Schichtmasse, während der Konfektionierung gegen Ende der Messerstandzeit auftretende Schnittunregelmäßigkeiten am Rollenrand, eine ungleichmäßige Wicklung oder Verblockungserscheinungen zwischen den Resistfolienbahnen auf der Rolle. Demzufolge kann mit den bekannten Laminier- und Delaminiervorrichtungen eine lichtempfindliche Schicht, die zwischen zwei gleichartigen Folien eingeschlossen ist, noch weniger gezielt und seitenrichtig delaminiert werden.edges exposed light-sensitive layer compound, During assembly towards the end of the knife service life, irregularities in the cut on the Roll edge, uneven winding or blocking phenomena between the resist film webs on the roll. As a result, with the known lamination and Delamination devices a photosensitive layer, which is enclosed between two similar foils, delaminated even less in a targeted manner and on the correct side.

Vorrichtungen, die beispielsweise zum Aufbringen einer lichtempfindlichen Schicht auf die zu laminierende Unterlage verwendet werden können, sogenannte Laminatoren, sind an sich bekannt. Die in den US-PS 3 143 454 und US-PS 3 309 983 beschriebenen Vorrichtungen sind unter anderem dazu geeignetj Identitätsträger zwischen zwei gleichartige, heißsiegelfähige Folien einzuschließen, wobei die Folien von zwei getrennten Rollen zugeführt werden. Eine andere AusfUhrungsform eines Laminators mit einer speziellen Laminierrollen-Konstruktion wird in der US-PS 3 401 439 beschrieben. Eine einwandfreie Delaminierung ist bei mit solchen oder ähnlichen Vorrichtungen hergestellten Verbunden nur dann gut möglich, wenn die Deck- und Trägerfolien sehr unterschiedliche Haftkräfte gegen-Devices that are used, for example, for applying a photosensitive layer on the one to be laminated Underlay can be used, so-called laminators, are known per se. Those disclosed in U.S. Patents 3,143,454 and U.S. Patents 3 309 983 described devices are suitable, inter alia, to j identity carriers between two include similar, heat-sealable films, the foils being fed from two separate rolls. Another embodiment of a laminator with a special laminating roll construction is used in the U.S. Patent 3,401,439. A proper delamination is produced with such or similar devices It is only possible to bond well if the cover and carrier foils counteract very different adhesive forces.

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über der lichtempfindlichen Schicht aufweisen, d. h. wenn die Haftkraft der Trägerfolie mindestens doppelt so stark ist wie die der Deckfolie.have over the photosensitive layer, d. H. if the adhesive force of the carrier film is at least twice as strong as that of the cover film.

Wird die zum Laminieren geeignete Vorrichtung gemäß der US-PS 3 401 439 auch zum Del aminieren eines für die Schichtübertragung einer lichtempfindlichen Schicht geeigneten Verbundes verwendet, so erfolgt beispielsweise die Trennung der Polyolefindeckföl ie von der auf einer Polyesterträgerfolie aufgebrachten lichtempfindlichen Schicht dadurch, daß die Deckfolie in Laufrichtung der Folie von dem Verbund abgetrennt wird. Eine einwandfreie Delaminierung ist auch bei dieser Vorrichtung nur bei Vorhandensein von Folien sehr unterschiedlicher Haftkraft bezüglich der lichtempfindlichen Schicht möglich; oftmals treten dabei auch Verblockungseffekte an den Lauf- und Heizrollen oder andere von außen einsetzende, störende Haftkräfte auf.If the device suitable for lamination according to US Pat. No. 3,401,439 is also used to delaminate one for the Layer transfer of a photosensitive layer suitable Composite used, for example the separation of the polyolefin cover film from the one on one Polyester carrier film applied light-sensitive Layer in that the cover film is separated from the composite in the running direction of the film. A flawless one Delamination is also only present in this device Presence of foils with very different adhesive strength possible with respect to the photosensitive layer; often There are also blocking effects on the running and Heating rollers or other external, disruptive adhesive forces.

Aus der US-PS 3 404 057 ist eine Vorrichtung zum Beschichten eines Trägermaterials mit einer lichtempfindlichen Schicht bekannt, wobei sich die lichtempfindliche Schicht aus einem photopolymerisierbaren Material im Verbund zwischen einer Träger- und einer Deckschicht befindet. Diese Vorrichtung weist u. a.US Pat. No. 3,404,057 discloses a device for coating a carrier material with a light-sensitive one Layer known, wherein the photosensitive layer consists of a photopolymerizable Material is located in the composite between a carrier and a top layer. This device includes, inter alia.

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eine Einrichtung zum Abziehen der Deckschicht vom Restverbund aus Träger- und lichtempfindlicher Schicht auf. Die Abzugeinrichtung, vorteilhaft eine Abziehrolle, wird mit höherer Geschwindigkeit angetrieben als die Einrichtung, mit deren Hilfe der Verbund transportiert wird. Der Delaminierungvorgang innerhalb dieser Vorrichtung erfolgt also durch eine von einer Walze verursachte Umlenkung, wodurch ebenfalls die bereits aufgeführten Schwierigkeiten auftreten, so daß sich nur solche Verbünde delaminieren lassen, bei denen die Deck- und Trägerfolien eine unterschiedliche Haftkraft gegenüber der lichtempfindlichen Schicht besitzen.a device for peeling off the cover layer from the remaining composite of carrier and photosensitive layer on. The take-off device, advantageously a take-off roller, is driven at a higher speed than that Facility with the help of which the network transports will. The delamination process within this device is therefore carried out by one caused by a roller Redirection, which also causes the difficulties already listed, so that only delaminate those composites in which the cover and carrier films have different adhesive strengths opposite to the photosensitive layer.

Eine Vorrichtung zum Etikettieren von zylindrischen Gegenständen wird in der FR-PS 1 421 605 beschrieben. In dieser Vorrichtung werden selbstklebende Etiketten, die auf einem Trägerband aufgereiht sind, dadurch vom Trägerband getrennt, daß man dieses um eine scharfe Kante einer Abtrennplatte herumführt. Die Aufgabe, die sich dem Erfinder stellte, liegt also auf einem anderen technischen Gebiet und geht von einem andersartigen Verbund aus, bei dem während der gesamten Verarbeitung nur eine der äußeren Schichten abgelöst werden muß, währendA device for labeling cylindrical Objects is described in FR-PS 1 421 605. In this device self-adhesive labels, which are lined up on a carrier tape, separated from the carrier tape that this is a sharp Edge of a partition plate. So the task that the inventor set himself lies on another technical area and is based on a different type of composite, in which only during the entire processing one of the outer layers must be peeled off while

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die andere - nämlich die Etikettenschicht - immer mit dem Kleber verbunden bleibt, deren Haftkraft gegenüber dem Kleber also belanglos ist, relativ zur Haftkraft der abzulösenden Schicht gegenüber dem Kleber. Zudem unterscheiden sich die bei diesem Verbund verwendeten Schichtmaterialien wie Papier, Klebstoff und Trennpapier wesentlich von den in der vorliegenden Erfindung aufzutrennenden Verbundmaterialien: Folien und lichtempfindliche Masse.the other - namely the label layer - always remains connected to the adhesive, its adhesive force compared to the adhesive is therefore irrelevant, relative to the adhesive force of the layer to be removed compared to the Glue. In addition, the layer materials used in this composite, such as paper, Adhesive and release paper essentially differ from the composite materials to be separated in the present invention: Foils and photosensitive compounds.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es demnach, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Trennung von als Schichtübertragungsmaterial verwendbaren Verbunden vorzugschlagen, die aus einer Deck-, einer Trägerfolie und einer zwischen ihnen eingeschlossenen thermoplastischen lichtempfindlichen Schicht bestehen, wobei sowohl Deck- als auch Trägerfolie die gleiche bzw. eine nahezu gleiche Haftkraft gegenüber der lichtempfindlichen Schicht besitzen.The object of the present invention is therefore to provide a method and a device for separating suggest usable as a layer transfer material composites, consisting of a cover, a Carrier film and a thermoplastic photosensitive layer enclosed between them exist, with both cover and carrier film having the same or almost the same adhesive force of the photosensitive layer.

Die Erfindung geht aus von einem Verfahren zur Trennung (Del aminierung) von als Schichtübertragungsmaterialien verwendbaren Verbunden, die aus einer Deck-, einer Trägerfolie und einer zwischen ihnen eingeschlossenen thermoplastischen lichtempfindlichen Schicht bestehen,The invention is based on a method for separating (delaminating) as layer transfer materials Usable composites consisting of a cover film, a carrier film and one enclosed between them thermoplastic photosensitive layer,

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und deren Folien eine gleiche oder wenig verschiedene Haftkraft gegenüber der lichtempfindlichen Schicht aufweisen. Das erfindungsgemäße Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, daß die Deckfolie in einem spitzen AbIenk-Winkel entgegen der Bewegungsrichtung des Verbundes von diesem abgetrennt wird. In einer bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens ist der Ablenk-Winkel ^ 40°.and their films have the same or slightly different adhesive force with respect to the photosensitive layer exhibit. The inventive method is thereby characterized in that the cover sheet is at an acute deflection angle counter to the direction of movement of the composite is separated from this. In a preferred embodiment of the method, the deflection angle is ^ 40 °.

Die Erfindung umfaßt auch eine Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemaßen Verfahrens, bestehend ausThe invention also comprises an apparatus for carrying out the method according to the invention, consisting the end

a) einer Einrichtung zum Abrollen des Verbundes aus einer Vorratsrolle,a) a device for unrolling the composite from a supply roll,

b) einer Einrichtung zum Ablenken der Deckfolie vom Verbund,b) a device for deflecting the cover sheet from the composite,

c) einer Einrichtung zum Aufrollen der abgetrennten Deckfolie,c) a device for rolling up the separated cover sheet,

d) einer Einrichtung zum Laminieren des Restverbundes aus Trägerfolie und lichtempfindlicher Schicht auf ein Basismaterial, insbesondere zur Herstellung von Leiterplatten undd) a device for laminating the remaining composite of carrier film and light-sensitive layer on a base material, in particular for the production of printed circuit boards and

e) Einrichtungen zum Transport des Verbundes, der abgetrennten Deckfolie und des Restverbundes innerhalb der Vorrichtung.e) Devices for transporting the composite, the separated cover film and the remaining composite inside the device.

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Diese ist dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung b) scharfkantig ausgebildet ist und zusätzlich eine Einrichtung zum veränderlichen Einstellen des Winkels zwischen der Laufrichtung des Verbundes und der Laufrichtung der abgetrennten Deckfolie aufweist.This is characterized in that the device b) is sharp-edged and in addition one Device for variable adjustment of the angle has between the running direction of the composite and the running direction of the separated cover sheet.

Im folgenden wird die Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Dabei sind dargestellt:The invention is explained in more detail below with reference to the drawing. The following are shown:

in Fig. 1 schematisch die wesentlichen Verfahrensschritte und Vorrichtungsprinzipien,in Fig. 1 schematically the essential process steps and device principles,

in Fig. 2 ein Teil von Fig. 1 vergrößert,in FIG. 2 a part of FIG. 1 is enlarged,

in Fig. 3 ein Querschnitt einer Vorrichtung, in der eine der möglichen Anordnungen des Verfahrensprinzips verwirklicht ist,in Fig. 3 is a cross section of a device in which one of the possible arrangements of the Procedural principle is implemented,

in Fig. 4 und 5 im Querschnitt die Ausbildung der Ablenkvorrichtung b) als Umlenkstab oder Draht.4 and 5 in cross section the design of the deflection device b) as Deflection rod or wire.

Der Verbund 1 aus Deck-, Trägerfolie und zwischen ihnen angeordneter lichtempfindlicher Schicht wird (siehe Fig. 1) unterhalb der Ablenkvorrichtung 3 vorbeigeführt. An der scharfkantig ausgebildeten Spitze der Ablenkvorrichtung, die, falls sie als keilförmige Rakel ausgebildet ist, im Querschnitt die Form eines spitzwinkligen Dreiecks aufweist,The composite 1 of cover film, carrier film and light-sensitive layer arranged between them is (see Fig. 1) passed below the deflection device 3. On the sharp-edged Tip of the deflection device, which, if it is designed as a wedge-shaped doctor blade, in cross section has the shape of an acute triangle,

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wird die Deckfolie 2 vom Verbund dadurch abgetrennt, daß sie um die scharfe Kante, die gegebenenfalls auch leicht abgerundet sein kann, abgelenkt wird. Der Restverbund 4 wird über einen Heizschuh 5 weitergeleitet und zwischen der Transportwalze 6 und der Andruckwalze 7 auf das Basismaterial 8, z. B. eine Kunststoff-Kupferplatte für die Herstellung von gedruckten Schaltungen, kaschiert. Der neue Verbund 9 kann dann einer weiteren Verarbeitung zugeführt werden.the cover sheet 2 is separated from the composite in that it is around the sharp edge, which may also be can be slightly rounded, is distracted. The remaining composite 4 is passed on via a heating shoe 5 and between the transport roller 6 and the pressure roller 7 onto the base material 8, e.g. B. a plastic copper plate for the production of printed circuits, laminated. The new composite 9 can then one further processing.

In der Fig. 2 wird der erfindungswesentliche Teil des Verfahrens bzw. der Vorrichtung durch die Vergrößerung zusätzlich verdeutlicht. Der Verbund 1 wird in der Laufrichtung 13 auf das breite Ende der beispielsweise als keilförmige Rakel ausgebildeten Ablenkvorrichtung zubewegt und verändert an der Unterkante dieses breiten Endes seine Laufrichtung in die Richtung 12, damit eine straffe Spannung der Verbundbahn gewährleistet ist. An der Spitze der Ablenkvorrichtung wird die Deckfolie 2 vom Verbund dadurch abgetrennt, daß sie um diese Spitze abgelenkt wird. Der Ablenkwinkel kann dabei über die veränderliche Einstelleinrichtung 11 im Minimum auf den Winkel der Spitze der Ablenkvorrichtung eingestellt werden, im Maximum sollte er zweck-In Fig. 2, the essential part of the invention The method and the device are additionally clarified by the enlargement. The compound 1 is in the Running direction 13 onto the wide end of the deflecting device, which is designed, for example, as a wedge-shaped doctor blade moved towards and changed at the lower edge of this wide end its direction of travel in the direction 12, so a tight tension of the composite web is guaranteed. At the top of the deflector is the Cover sheet 2 separated from the composite in that it is deflected around this tip. The deflection angle can while using the variable setting device 11 at the minimum on the angle of the tip of the deflection device be set, at the maximum it should be

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mäßig 40° nicht überschreiten. Der Ablenkwinkel ist als Winkel zwischen der Laufrichtung 12 (des Verbundes) und der Laufrichtung 14 (der abgezogenen Deckfolie) zu verstehen. Der Restverbund aus lichtempfindlicher Schicht 15 und Trägerfolie 10 wird z. B. der oben geschilderten weiteren Verwendung zugeführt.do not exceed a moderate 40 °. The deflection angle is as an angle between the running direction 12 (of the composite) and the running direction 14 (the removed Cover sheet). The remainder of the photosensitive Layer 15 and carrier film 10 is z. B. the further use described above fed.

In der in Fig. 3 im Querschnitt dargestellten Vorrichtung ist eine der möglichen Anordnungen des Verfahrensprinzips verwirklicht. Die darin dargestellten Hauptbestandteile der Vorrichtung sind: die Vorratsrolle mit dem Abwickelkern 16, von welcher der Verbund 1, bestehend aus dem Folienpaar und der lichtempfindlichen Schicht, abgerollt wird; die Deckfolie 2 wird um die keil förmige Rakel 3 herum abgelenkt und damit selbständig vom Verbund abgetrennt. Der Ablenkwinkel kann über die Einrichtung 11 variabel gesteuert werden. Die Einrichtungen 18 sind Zwischenrollen für den Transport der entsprechenden Bänder. Die Deckfolie 2 wird als Rolle 20 um den Aufwickelkern 19 gerollt; die Aufwickel kerne 19 und 16 sind derart miteinander und mit der Transportwalze 6 verbunden, daß eine gleichbleibende Geschwindigkeit der einzelnen Bahnabschnitte zueinander gewährleistet ist. DerIn the device shown in cross section in FIG. 3, one of the possible arrangements of the method principle is implemented. The main components shown therein of the device are: the supply roll with the unwinding core 16 of which the composite 1 consists from the pair of foils and the light-sensitive Layer that is unrolled; the cover sheet 2 is deflected around the wedge-shaped doctor blade 3 and thus independently separated from the network. The deflection angle can be variably controlled via the device 11. the Devices 18 are intermediate roles for the transport the corresponding bands. The cover film 2 is rolled as a roll 20 around the winding core 19; the winding cores 19 and 16 are connected to each other and to the transport roller 6 that a constant speed of each Track sections to each other is guaranteed. Of the

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Restverbund 4 aus lichtempfindlicher Schicht und Trägerfolie wird zwischen der Transportwalze 6 und der Andruckwalze 7 auf das einzubringende Basismaterial 8 kaschiert.Residual composite 4 from photosensitive layer and The carrier film is placed between the transport roller 6 and the pressure roller 7 on the to be introduced Base material 8 laminated.

Anstelle der als scharfkantig ausgebildete Ablenkvorrichtung verwendeten keilförmigen Rakel kann auch ein Umlenkstab (21), dessen Durchmesser nicht mehr als 5 mm beträgt, verwendet werden (siehe Fig. 4). Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, daß die Trennung des Verbundes an einem über die Breite der Vorrichtung gespannten Draht (22) erfolgen kann (siehe Fig. 5). ·Instead of the wedge-shaped doctor blade used as a sharp-edged deflection device, it is also possible a deflecting rod (21), the diameter of which is not more than 5 mm, can be used (see FIG. 4). A further embodiment of the invention provides that the separation of the composite at one over the width the device tensioned wire (22) can be done (see Fig. 5). ·

Das erfindungsgemäße Verfahren kann unter bestimmten Bedingungen auch derart durchgeführt werden, daß die Deckfolie ohne Verwendung einer scharfkantig ausgebildeten Ablenkeinrichtung gleichmäßig vom Verbund abgelenkt wird. Dies gilt insbesondere dann, wenn die Deckfolie aus dem gleichen Polymerenmaterial wie die Trägerfolie besteht, aber weniger dick ist. Möglicherweise ist die Ursache für diesen speziellen Effekt darin zu sehen, daß die relativ dünnere der beiden Folien leichter oder stärker gekrümmt werden kann, d. h. daß der Radius des an der Ablenkstelle der Deckfolie vom Verbund entstehenden Krümmungshalb-The inventive method can under certain Conditions are also carried out in such a way that the cover sheet is formed without the use of a sharp-edged one Deflector is deflected evenly from the composite. This is especially true if the Cover sheet consists of the same polymer material as the carrier sheet, but is less thick. Possibly The reason for this special effect is to be seen in the fact that the relatively thinner of the two Foils can be curved more easily or more, d. H. that the radius of the at the point of deflection Cover sheet resulting from the composite curvature semi-

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kreises relativ kleiner ist. Besteht beispielsweise der Verbund aus einer Trägerfolie aus Polyester einer Dicke von etwa 23 μ, einer lichtempfindlichen Schicht einer Dicke von'etwa 25 μ und einer Deckfolie aus Polyester einer Dicke von etwa 8 bis 15 μ, bevorzugt von etwa 10 bis 13 μ, so laßt sich die Deckfolie vom Verbund gleichmäßig ohne Verwendung einer scharfkantig ausgebildeten Ablenkeinrichtung in einem spitzen Ablenkwinkel entgegen der Bewegungsrichtung des Verbunds von diesem abziehen.circle is relatively smaller. For example, there is the composite of a carrier film made of polyester with a thickness of about 23 μ, a light-sensitive one Layer with a thickness of about 25 μm and a cover sheet made of polyester with a thickness of about 8 to 15 μm, preferably from about 10 to 13 μ, so leave the cover sheet from the composite evenly without the use of a sharp-edged deflection device in a pointed Subtract the deflection angle opposite to the direction of movement of the assembly.

Das erfindungsgemäße Verfahren und die dafür vorgeschlagene Vorrichtung eignen sich generell für die Trennung von Verbunden, insbesondere jedoch von als Schichtübertragungsmaterialien ausgebildeten, die aus einem Folienpaar und einer zwischen ihnen eingeschlossenen thermoplastischen lichtempfindlichen Schicht bestehen. Das verwendete Folienpaar kann im einfachsten Fall aus verschiedenen Materialien bestehen, so wie sie in den derzeitig auf dem Markt befindlichen Trockenresistfilmen Verwendung finden. Besonders vorteilhaft sind das erfindungsgemäßeThe method according to the invention and the one proposed for it Devices are generally suitable for the separation of compounds, but in particular as Layer transfer materials formed, the of a pair of films and a thermoplastic photosensitive layer enclosed between them Layer. In the simplest case, the pair of foils used can consist of different materials, as they are used in the dry resist films currently on the market. Those according to the invention are particularly advantageous

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Verfahren und die Vorrichtung dann zu verwenden, wenn eine Trennung von Verbunden durchgeführt werden soll, deren Folienpaar die gleiche oder nahezu die gleiche Haftkraft gegenüber der von ihnen eingeschlossenen thermoplastischen Schicht besitzen.To use the method and the device when a separation of compounds is to be carried out, their pair of foils have the same or almost the same adhesive force compared to that enclosed by them own thermoplastic layer.

Eine gleiche Haftkraft ist dann gegeben, wenn Deck- und Trägerfolie aus dem gleichen Material bestehen oder wenn zwar Deck- und Trägerfolie voneinander verschieden sind, die zur Optimierung ihrer Oberflächeneigenschaften angewandte haftvermittelnde Vorbehandlung jedoch die gleiche ist, und die jeweils vorbehandelten Folienflächen dazu verwendet werden, die zu schützende thermoplastische Schicht abzudecken.The same adhesive force is given when the cover and carrier film are made of the same material or if the cover and carrier film are different from one another, the optimization of their surface properties applied adhesion-promoting pretreatment is the same, and each pretreated foil surfaces are used to cover the thermoplastic layer to be protected.

Durch das erfindungsgemäße Verfahren ist es möglich, in einem Verbund die Abtrennung einer Deckschicht ohne Verletzung der Zwischenschicht vorzunehmen, wodurch die Zwischenschicht, z. B. eine lichtempfindliche Schicht, nach der Abtrennung der Deckfolie auf der Trägerfolie vollständig, d. h. mit der genannten Fläche, haften bleibt.The method according to the invention makes it possible to make the separation of a top layer in a composite without damaging the intermediate layer, whereby the intermediate layer, e.g. B. a photosensitive Layer, after separation of the cover film on the carrier film completely, d. H. with the mentioned Surface that sticks.

Die nachfolgend angeführten Beispiele erläutern die Erfindung, ohne sie auf diese zu beschränken:The examples given below explain the invention without restricting it to them:

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example 1

Eine 25 μ starke Polyäthylenterephthalatfolie wird mit der Mischung aus einem Photomonomeren (200 g), bestehend aus dem Umsetzungsprodukt von 2,2,4-Trimethyl-hexamethylen-diisocyanat mit 2-Hydroxyäthylmethacrylat und einem Terpolymeren (200 g), bestehend aus n-Hexyl-methacrylat, Methacrylsäure und Styrol, der noch folgende Substanzen zugesetzt sind: 9-Phenylacridin (6,15 g), Michlers Keton (0,46 g), Triäthylenglykoldimethacrylat (4,6 g), Samaronmarineblau HGL (1,07 g) beschichtet. Die Beschichtungslösung wird vorher durch Zusatz von Methyläthyl keton auf eine Viskosität von 60 - 70 cST (bei 25° C) gebracht. Nach der Trocknung der 45 μ dicken lichtempfindlichen Schicht bei 130° C erfolgt die Aufkaschierung der Deckfolie, die hinsichtlich Stärke und Zusammensetzung der verwendeten Trägerfolie entspricht.A 25 μ thick polyethylene terephthalate film is used with the mixture of a photomonomer (200 g) consisting of the reaction product of 2,2,4-trimethylhexamethylene diisocyanate with 2-hydroxyethyl methacrylate and a terpolymer (200 g) made of n-hexyl methacrylate, methacrylic acid and styrene, to which the following substances have also been added: 9-phenylacridine (6.15 g), Michler's ketone (0.46 g), triethylene glycol dimethacrylate (4.6 g), samaron navy blue HGL (1.07 g) coated. The coating solution is previously ketone by adding methylethyl Bred viscosity of 60 - 70 cST (at 25 ° C). After the 45 μ thick light-sensitive layer has dried at 130 ° C., it is laminated on the cover film, which corresponds in terms of thickness and composition to the carrier film used.

Zur Auflaminierung der lichtempfindlichen Schicht auf die Leiterplatte wird eine der beiden Polyesterfolien durch Ablenkung um die Spitze einer keilförmigen Rakel mit einem Ablenkwinkel von 25° vom Verbund abgetrennt und die auf der anderen Polyes.terfolie verbleibende lichtempfindliche Schicht dann in üblicher Weise auf die Leiterplatte aufgebracht.For lamination of the photosensitive layer One of the two polyester films is applied to the circuit board by deflecting it around the tip of a wedge-shaped squeegee with a deflection angle of 25 ° from The composite is separated and the photosensitive layer remaining on the other polyether film is then removed applied to the circuit board in the usual way.

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Example 2

Auf eine 25 μ dicke Polyäthylenterephthalatfolie wird die nachstehend beschriebene Beschichtungslösung aufgebracht und bei 120° C getrocknet:On a 25 μ thick polyethylene terephthalate film the coating solution described below was applied and dried at 120 ° C:

2,8 Gew.-Teile eines Terpolymerisats aus2.8 parts by weight of a terpolymer

Methylmethacrylat, n-Hexyl-meth-Methyl methacrylate, n-hexyl meth-

acrylat und Methacrylatsäureacrylate and methacrylic acid

(75 Gew.-T. : 375 Gew.-T.(75 parts by weight: 375 parts by weight

: 90 Gew.-T.) mit der Säurezahl 209;: 90 parts by weight) with an acid number of 209;

2,8 Gew.-Teile des in Beispiel 1 beschriebenen, Urethangruppen enthaltenden Photomonomeren;2.8 parts by weight of that described in Example 1 containing urethane groups Photomonomers;

0,2 Gew.-Teile 9-Phenyl-acridin; 0,25 Gew.-Teile Triäthylenglykoldiacetat;0.2 part by weight of 9-phenyl-acridine; 0.25 part by weight of triethylene glycol diacetate;

0,03 Gew.-Teile Tri-4-(3-methyl-phenylamino)-0.03 part by weight of tri-4- (3-methyl-phenylamino) -

phenyl-methylacetat;phenyl methyl acetate;

30 Vol.-Teile Äthylenglykolmonoäthyläther.30 parts by volume of ethylene glycol monoethyl ether.

Auf die 25 μ dicke lichtempfindliche Schicht wird dann eine ca. 25 μ starke Polypropylenfolie, die sich in der Haftung nicht oder nur gering von jener der TrägerfolieThen on the 25 μ thick photosensitive layer an approx. 25 μ thick polypropylene film, which is in the Adhesion not or only slightly different from that of the carrier film

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unterscheidet (Oberflächenspannung ca. 38 mN/m£O>54OvU aufkaschiert und der Verbund in Rollen gelagert.differs (surface tension approx. 38 mN / m £ O> 54 OvU laminated and the composite stored in rolls.

Für die Herstellung von Leiterplatten o. ä. wird die Polyproplyendeckfolie durch Ablenkung um einen Stab von 3 mm Durchmesser mit einem Ablenkwinkel von 15° derart abgetrennt, daß die lichtempfindliche Schicht vollflächig auf der Trägerfolie haften bleibt und in üblicher Weise mit Hilfe von Laminatoren zu Leiterplatten verarbeitet werden kann.For the production of printed circuit boards o. Ä. The polypropylene cover film is deflected by a Rod of 3 mm diameter with a deflection angle of 15 ° separated so that the photosensitive The layer remains adhering to the entire surface of the carrier film and in the usual way with the aid of laminators can be processed into printed circuit boards.

Beispiel 3 Λ Example 3 Λ

Ein aus einer 25 μ dicken Folie aus Chill-RoI1 Hochdruckpolyäthylen vom Schmelzindex 2 und einer 25 μ dicken Folie aus Polyäthylenterephthalat bestehender Verbund, dessen 40 μ dicke lichtempfindliche Zwischenschicht nachstehender Zusammensetzung ohne die erfindungsgemäße Trenneinrichtung teilweise auf beiden Folien oder nur auf der Polyesterfolie haften bleibt, wird bei Verwendung der Trenneinrichtung nach Beispiel 1 gleichmäßig und vollflächig getrennt, wenn die als Deckfolie verwendete Polyesterfolie um die keilförmige Rakel abgelenkt wird. A composite consisting of a 25 μ thick film made of Chill-ROI 1 high-pressure polyethylene with a melt index of 2 and a 25 μ thick film made of polyethylene terephthalate, whose 40 μ thick light-sensitive intermediate layer of the following composition remains partially adhered to both films or only to the polyester film without the separating device according to the invention If the separating device according to Example 1 is used, the entire surface is separated evenly when the polyester film used as the cover sheet is deflected around the wedge-shaped doctor blade.

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Die Beschichtungslösung hat folgende Zusammensetzung:The coating solution has the following composition:

Copolymeres aus 37 % Styrol und 63 % Monobutylmaleat, MG 20000,Copolymer of 37% styrene and 63 % monobutyl maleate, MW 20,000,

Trimethylolpropantriacrylat (22 g)Trimethylolpropane triacrylate (22 g)

Tetraäthylenglykoldiacrylat (11 g)Tetraethylene glycol diacrylate (11 g)

Benzophenon (2,3 g)Benzophenone (2.3 g)

4,4'-B is-(dimethyI ami no)-4,4'-B is- (dimethyI ami no) -

benzophenon (0,3 g)benzophenone (0.3 g)

2,2'-Methylen-bis-(4-äthy 1-2,2'-methylene-bis- (4-ethy 1-

6-tert.-butylphenol) (0,1 g)6-tert-butylphenol) (0.1 g)

Methylviolett 2 B Base (0,07 g)Methyl Violet 2 B Base (0.07 g)

Benztriazol (0,20 g)Benzotriazole (0.20 g)

Methyläthyl keton (140,0 g)Methyl ethyl ketone (140.0 g)

und wird bei ca. 120° C getrocknet.and is dried at approx. 120 ° C.

Example 4

Es wird wie in Beispiel 3 verfahren, jedoch wird die Polyäthylenfolie anstelle der Polyesterfolie um die Rakel vom Verbund abgelenkt. Es trennt sich die lichtempfindliche Schicht - die ohne Ablenkung teilweise auf beiden Folien haften bleibt - vollflächig von der Polyäthylenfolie und bleibt fest mit derThe procedure is as in Example 3, but the polyethylene film instead of the polyester film around the Squeegee deflected from the composite. The light-sensitive layer separates - the one without deflection in part sticks to both foils - the entire surface of the polyethylene foil and remains firmly with the

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Polyesterfolie verbunden. Die Trennung erfolgt bei einer Geschwindigkeit der Folienbahn von 2 m/min, die anschließende Kaschierung der lichtempfindlichen Schicht auf die Kupferoberfläche des Leiterplattenmaterials bei der gleichen Geschwindigkeit. Nach der Belichtung der lichtempfindlichen auf Kupfer aufgebrachten Schicht durch die Polyesterfolie hindurch ließ sich die abdeckende Polyesterfolie leicht und ohne Verletzungen der lichtempfindlichen Schicht abziehen.Polyester film connected. The separation takes place at a speed of the film web of 2 m / min, the subsequent lamination of the photosensitive Layer on the copper surface of the circuit board material at the same speed. After Exposure of the photosensitive layer applied to copper through the polyester film the covering polyester film could be easily and without damaging the light-sensitive layer pull off.

Beispiel 5Example 5

Eine Polyesterfolie von 23 μ Dicke, auf die eine 25 μ dicke lichtempfindliche Schicht der nachstehenden Zusammensetzung aufgebracht und bei etwa 130° C getrocknet wird, kaschiert man mit einer Polyesterfolie von 12 μ Dicke, aber gleicher chemischer Zusammensetzung, verglichen mit der erstgenannten Folie, und rollt den Verbund auf.A polyester film of 23 μ thick, on which a 25 μ thick photosensitive layer of the following Composition is applied and dried at about 130 ° C, is laminated with a polyester film of 12 μ thickness, but the same chemical Composition, compared with the first-mentioned film, and rolls up the composite.

Als Beschichtungslösung wird eine Mischung angewendet, die aus einem Photomonomeren (200 g), bestehend aus dem Umsetzungsprodukt von 2,2,4-Trimethylhexamethylen-diisocyanat mit 2-Hydroxyäthylmethacrylat und einem Terpolymeren (200 g), bestehendA mixture consisting of a photomonomer (200 g) is used as the coating solution consisting of the reaction product of 2,2,4-trimethylhexamethylene diisocyanate with 2-hydroxyethyl methacrylate and a terpolymer (200 g)

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aus n-Hexyl-methacrylate Methacrylsäure und Styrol zusammengesetzt ist; diese Mischung enthält außerdem nochfrom n-hexyl methacrylate methacrylic acid and styrene is composed; this mixture also contains

6,15 g 9-Phenylacridin, 0,46 g Michlers Keton,6.15 g 9-phenylacridine, 0.46 g Michler's ketone,

4.6 g Triäthylenglykoldimethacrylat,4.6 g triethylene glycol dimethacrylate,

1.07 g Samaronmarineblau HCL.1.07 g Samaron Navy Blue HCL.

Die Beschichtungslösung wird vorher durch Zusatz von Methyläthyl keton auf eine Viskosität von 60 - 70 cST (bei 25° C) gebracht.The coating solution is previously ketone by adding methylethyl to a viscosity of 60-70 cST (at 25 ° C) brought.

Deck- und Trägerfolie bestehen aus biaxial verstreckter und den VDE-Forderungen für Isolierstoffe Nr. 0304 (1959) und 0345 (1969) entsprechender Polyäthylenterephthalatfolie von einer optischen Qualität mit nicht mehr als 1 bis 2 höher kondensierten und mit unbewaffnetem Auge nicht mehr erkennbaren Teilchen (Stippen) pro m² unter 0,5 mm 0 und nicht mehr als 30 optisch nicht störenden Blasen pro m² unter 0,5 mm 0. Die Reißfestigkeit der Folie beträgt 170 N/mm² 1n Längs- und Querrichtung, die Reißdehnung ist größer als 60 % in beiden Richtungen, der Schrumpf beträgt ca. 2 % in Längs- und Querrichtung bei 150°/15 min.Cover and carrier film consist of biaxially stretched polyethylene terephthalate film corresponding to the VDE requirements for insulating materials No. 0304 (1959) and 0345 (1969) of an optical quality with no more than 1 to 2 higher condensed particles that are no longer visible to the naked eye ( Specks) per m ² below 0.5 mm 0 and not more than 30 optically non-disruptive bubbles per m ² below 0.5 mm 0. The tear strength of the film is 170 N / mm ^{2 in the} longitudinal and transverse directions, the elongation at break is greater than 60% in both directions, the shrinkage is approx. 2 % in the longitudinal and transverse directions at 150 ° / 15 min.

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L e'e r s e i t eL e'e r s e i t e

Claims

1. } A method for separating composites which can be used as layer transfer materials and which consist of a cover film, a carrier film and a thermoplastic photosensitive layer enclosed between them and the films of which have the same or slightly different adhesive force with respect to the photosensitive layer, characterized in that the cover film is separated from the composite at an acute deflection angle opposite to the direction of movement of the composite.

2. The method according to claim 1, characterized in that the deflection angle is < 40 °.

3. Device for performing the method according to claim 1 or 2, consisting of

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ORIGINAL INSPECTED

a) a device for unrolling the composite from a supply roll,

b) a device for deflecting the cover sheet from the composite,

c) a device for rolling up the separated cover sheets,

d) a device for laminating the remaining composite of carrier film and light-sensitive layer on a base material, in particular for the production of printed circuit boards and

e) Devices for transporting the composite, the separated cover film and the remaining composite within the device,

characterized in that the device b) is sharp-edged and in addition a device (11) for variable setting of the angle between the running direction (12) of the composite and the running direction (14) has the separated cover sheet.

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Device according to claim 3, characterized in that the sharp-edged device b) is a wedge-shaped doctor blade, a deflecting rod or a wire. ι

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