DE2619327A1 - Elektrooptischer umschalter - Google Patents
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Description
| Pate· ι tan walte | 2619327 | Dipl.-lng. | |
| Dipl.-Chem. | G. Leiser | ||
| Dipl.-Ing. | Dr. G. Hauser | ||
| E. Prinz | Ernsbergerstrasse 19 | ||
| 8 München 60 | |||
30. April 1976
Unser Zeichen:
T
1999
IHOMSON-CSF
173 Bd. Haussmann
75008 Paris, Frankreich
Elektrooptischer Umschalter
Die Erfindung betrifft einen elektrooptischen Umschalter, der insbesondere auf dem Gebiet der integrierten Optik anwendbar
ist. Eine solche Vorrichtung gestattet, mittels elektrischer Steuerung zwischen zwei Wellenleitern, die eine gemeinsame Kopplungszone haben, die durch einen von ihnen fortgeleitete Lichtenergie
ganz oder teilweise zu übertragen. Sie gestattet außerdem, die durch einen der Wellenleiter fortgeleitete Lichtenergie zu modulieren.
Unter dem Begriff "integerierte Optik" sind monolithische Dünnfilmstrukturen
zur Verarbeitung von Lichtsignalen zu verstehen, welche durch Niederschlagsverfahren, Diffusion und Gravieren mit Maskierung
hergestellt werden, die den bei der Herstellung von integrierten
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elektronischen Schaltungen benutzten analog sind. Insbesondere können durch diese Verfahren lineare Strukturen hergestellt
werden, die durch e inen BrechungsindeK gekennzeichnet sind, der größer ist als der des umgebenden Mediums, und die Wellenleiter
bilden, längs welchen sich das Licht durch eine Folge von Totalreflexionen oder von fortschreitenden Brechungen ausbreitet.
Es ist bekannt, zwei derartige Wellenleiter einander zuzuordnen, indem sie parallel zueinander auf einem Teil ihrer Strecke ange- N
ordnet werden, um Richtkoppler zu schaffen. Aufgrund der Erscheinung,
daß eine Welle nach und nach verschwindet, geht die in dem ersten Wellenleiter fortgeleitete Energie fortschreitend
in den zweiten Wellenleiter über und man beobachtet ein Maximum der übertragenen Energie nach einer gewissen, als Kopplungslänge
bezeichneten Länge, die von den geometrischen und optischen Parametern der Struktur und insbesondere von dem Wert der
Brechungsindizes der Materialien abhängig ist, aus welchen die beiden Wellenleiter und das sie trennende Medium bestehen.
Danach geht die Energi e wieder fortschreitend von dem zweiten Wellenleiter in den ersten Wellenleiter über, usw. Es ist außerdem
bekannt, dadurch, daß für eines der die Wellenleiter oder das sie trennende Medium bildenden Materialien ein elektrooptisches
Material benutzt wird, den Brechungsindex unter der Einwirkung eines elektrischen Feldes zu verändern, was gestattet, durch
Einwirkung auf die Kopplungslänge den von einem Wellenleiter in
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den anderen übertragenen Energieteil elektrisch zu steuern.
Es ist zu erkennen, daß es mit demselben Prinzip außerdem möglich ist, einen Lichtmodulator zu schaffen, indem parallel
zu dem Wellenleiter, welcher die Lichtwelle führt, ein Wellenleiterabschnitt angeordnet wird, in welchem ein mehr oder weniger
großer Teil dieser Energie übertragen wird.
Es hat sich herausgestellt, daß die Lösung, welche für einen bestimmten Koppler die minimale Steuerspannung verlangt, diejenige
ist, bei welcher unter Verwendung von zwei geradlinigen gleichen Wellenleitern einem von ihnen eine bestimmte Brechungsindexänderung
und dem anderen eine Änderung mit derselben Amplitude, aber mit entgegengesetztem Vorzeichen gegeben wird.
Zur Erfüllung dieser Bedingung ist bereits vorgeschlagen worden,
parallel zu den Wellenleitern in der Kopplungszone drei Elektroden anzuordnen, von denen sich die eine zwischen den beiden Wellenleitern
und die anderen beiden beiderseits der Wellenleiter befinden. Es ist auf diese Weise möglich, die beiden Wellenleiter
des Kopplers elektrischen Feldern mit demselben Wert, aber mit entgegengesetzter Richtung auszusetzen. Aber die bestehende
Notwendigkeit, den Zwischenraum zwischen den Wellenleitern in der Kopplungszone auf einige Wellenlängen zu verringern, erfordert,
daß die mittlere Elektrode eine sehr geringe Breite und infolgedessen einen hohen Widerstand hat. Da die Eigenkapazität
des aus den drei Elektroden bestehenden Systems nicht vernachlässigbar ist, begrenzt die hohe Zeitkonstante der Schaltung letztere
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ORiGiNALlNSPECTED
auf relativ niedrige Umschalt- oder Modulationsfrequenzen.
Außerdem führt das Vorhandensein dieser mittleren Elektrode, wie schmal sie auch ist, zu einer Vergrößerung des Abstandes
zwischen den Wellenleitern, was unter Verringerung des Wirkungsgrades der Kopplung zu einer Vergrößerung der Kopplungslänge
führt.
Ebenfalls zu dem Zweck, entgegengesetzte Brechungsindexänderungen in den beiden Wellenleitern zu erzielen, ist bereits vorgeschlagen
worden, die zuvor beschriebene 3-Elektr öden-Vor richtung zu benutzen,
um bei der Herstellung des Kopplers das die Wellenleiter bildende Material in zwei einander entgegengesetzten, zu den
Wellenleitern senkrechten Richtungen vorzupolarisieren. Zu diesem Zweck wird die gesamte Vorrichtung auf eine Temperatur gebracht,
die oberhalb des Curiepunktes des die Wellenleiter bildenden ferroelektrischen Materials liegt. Dann wird eine elektrische
Spannung an die mittlere Elektrode und die seitlichen Elektroden angelegt, währenddessen die Anordnung langsam abgekühlt wird.
Die mittlere Elektrode wird dann beseitigt und die allein an die beiden seitlichen Elektroden angelegte Steuerspannung erzeugt
ein elektrisches Feld, welches, da es die beiden Wellenleiter in derselben Richtung durchquert, für einen der Wellenleiter dieselbe
Richtung wie der Polarisationsvektor und für den anderen die entgegengesetzte Richtung hat. Dieses Feld verursacht so Brechungsindexänderungen
entgegengesetzter Richtung in den beiden Wellen-"leitern
des Kopplers. Aber, wie bei der zuvor erläuterten Vorrichtung,
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erfordert das vorübergehende Vorhandensein einer mittleren
Elektrode einen gewissen Abstand der beiden Wellenleiter. Außerdem ist zur Herstellung dieser Art von Koppler eine
Behandlung der gesamten integrierten optischen Schaltung bei hoher Temperatur vorzunehmen, was die Herstellung
kompliziert und sich nicht mit dem Vorhandensein anderer Elemente in der Schaltung vertragen kann.
Der Umschalter nach der Erfindung enthält zwei parallele Wellenleiter, die auf ein und dasselbe Substrat aufgetragen und
aus ein und demselben elektrooptischen Material hergestellt sind. Diese beiden Wellenleiter sind auf ihrer gesamten Kopplungslänge jeweils von einer Steuerelektrode überdeckt. Eine an diese
beiden Elektroden angelegte Spannung erzeugt ein elektrisches Feld, welches die beiden Wellenleiter in im wesentlichen parallelen,
aber entgegengesetzten Richtungen durchquert und darin auf diese Weise Brechungsindexänderungen mit demselben Absolutwert,
aber mit entgegengesetztem Vorzeichen hervorruft. Dieser Umschalter weist so denselben Vorteil wie die beiden zuvor beschriebenen
Lösungen auf, durch elektrische Signale kleiner Leistung, wie sie von herkömmlichen integrierten Schaltungen
abgegeben werden, gesteuert werden zu können, unter gleichzeitiger Vermeidung der Nachteile: er gestattet auf einer
minimalen Länge eine schnelle Umschaltung und seine Herstellung ist einfach.
Weitere Besonderheiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen der
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Erfindung. In den Zeichnungen zeigen: ,
die Fig. 1 und 2 im Schnitt bzw» in Draufsicht eine
Ausführungsform des Umschalters nach der Erfindung, und
Fig. 3 im Schnitt eine weitere Ausführungs
form des Umschalters nach der Erfindung. ;
Die Fig. 1 und 2, welche einen Umschalter nach der Erfindung
im Schnitt bzw. in Draufsicht darstellen, zeigen zwei Lichtwellenleiter
1 und 2, die auf ein Substrat 3 aufgebracht sind. Auf ihrer von der mit dem Substrat in Berührung befindlichen
Fläche abgewandten Fläche tragen die beiden Wellenleiter 1 und 2 jeweils eine metallische Elektrode 10 bzw. 20, die von dem
Wellenleiter durch eine lichtdurchlässige dielektrische Schicht bzw. 21 isoliert ist. Diese beiden Wellenleiter haben vorzugsweise
dieselben Breite und dieselben Dicke und, wie Fig. 2
zeigt, sind parallel zueinander auf einem geradlinigen Teil mit
der Länge L, die von einem Parameter abhängig ist, bei welchem es sich um die weiter unten erläuterte Kopplungslänge handelt»
Der Abstand zwischen den geradlinigen parallelen Teilen hat einen Wert d, der einige Wellenlängen (gerechnet in dem Medium, das
die beiden Wellenleiter trennt, in vorliegendem Fall Luft) des durch die Leiter fortgeleiteten Lichtes nicht überschreiten soll.
-Die· beiden Wellenleiter bestehen aus dem gleichen elektrooptischen
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ORSGINAL INSPECTED
Material, welches, wenn es einem elektrischen Feld ausgesetzt ist, einen Brechungsindex besitzt, der in Abhängigkeit
von dem Wert des angelegten Feldes veränderlich ist. Der Brechungsindex dieses Materials ist so gewählt, daß er selbst
in Gegenwart des angelegten elektrischen Feldes größer als der Brechungsindex des Materials bleibt, aus welchem das
Substrat 3 besteht.
Wenn eine Spannung an den Elektroden 10 und 20 anliegt,
verursacht die auf diese Weise erzeugte Verteilung der Potentiale eine Verteilung der elektrischen Feldlinien, die in Fig. 1 mit
4 bezeichnet ist. Es ist zu erkennen, daß die Feldlinien die beiden Wellenleiter und das Substrat durchqueren. Aufgrund
dieser Verteilung sind die die Wellenleiter 1 und 2 durchquerenden elektrischen Felder h. bzw. h im wesentlichen senkrecht zu der
Ebene des Substrats 3 und haben gleiche Absolutwerte und entgegengesetzte Vorzeichen. Aufgrund der elektrooptischen Eigenschaft des die Wellenleiter 1 und 2 bildenden Materials erzeugt
diese Verteilung der Feldlinien in den Wellenleitern innerhalb derselben Brechungsindexänderungen mit im wesentlichen gleichen
Absolutwerten, aber mit entgegengesetzten Vorzeichen.
Nun ist aber bekannt, daß, wenn eine Welle in einem Wellenleiter
fortgeleitet wird, ein Teil der Energie sich außerhalb des Wellenleiters in dem ihn umgebenden Medium in Form einer nach und
nach verschwindenden Welle ausbreitet. Die Amplitude dieser Welle
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nimmt exponentiell abs wenn man sich von den Wänden des
Wellenleiters entfernt. Wenn ein zweiter Wellenleiter parallel zu dem ersten Wellenleiter angeordnet ist, fängt er auf dem
Weg über diese nach und nach "verschwindende Welle die in dem ersten Wellenleiter fortgeleitete Energie fortschreitend auf,
und zwar umso schneller, je näher die beiden Wellenleiter beieinander liegen. Nach einer gegebenen Strecke, die als
•Kopplungslänge bezeichnet wird und sowohl von den geometrischen
als auch von den optischen Parametern der beiden Wellenleiter und des sie trennenden Mediums abhängt (und insbesondere von
den Brechungsindizes), ist ein Maximum an Energie von dem ersten Wellenleiter in den zweiten Weilenleiter übertragen worden.
Jenseits dieser Länge tritt die umgekehrte Erscheinung aufs die Energie wird fortschreitend von dem zweiten Wellenleiter in
den ersten Wellenleiter übertragen, bis sie in dem zweiten Wellenleiter einen minimalen Wert erreicht. Jede Modifizierung des Brechungsindex
eines der vorhandenen Medien beeinflußt offenbar die Kopplungslänge in dem einen oder in denn anderen Sinn.
In der in den Fig« 1 und 2 dargestellten Vorrichtung kann die
Länge L gleich der Kopplungslänge in Abwesenheit eines angelegten elektrischen Feldes gewählt werden. Aufgrund der vollkommenen
Symmetrie der beiden Wellenleiter in der Kopplungszone erfolgt eine totale Energieübertragung von dem ersten Wellenleiter zu
dem zweiten Wellenleiter (oder von dem zweiten Wellenleiter zu dem ersten Wellenleiter). Das Anlegen einer Spannung an die
Elektroden 10 und 20 verringert die Kopplungslänge und ein Teil
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der Energie wird von dem zweiten Wellenleiter zurück zu dem ersten Wellenleiter (oder von dem ersten zu dem zweiten ) übertragen.
Das Gesamtergebnis besteht dann darin, daß entsprechend der Spannungszunahme die von dem ersten Wellenleiter zu dem
zweiten (oder von dem zweiten zu dem ersten) übertragene Energie, gemessen an dem Ende der Kopplungszone, bis zum Erreichen
eines Wertes Null abnimmt. Die Kopplung zwischen den beiden Wellenleitern nimmt auf diese Weise von 100 % bis O % ab,
wenn die an die Elektroden angelegte Spannung zunimmt. Das Ergebnis wäre das gleiche, wenn man der Länge L einen Wert
gäbe, der gleich einem ungeraden Vielfachen der Kopplungslänge bei einem'Feld mit dem Wert Null ist.
Es ist außerdem möglich, der Länge L einen Wert zu geben, der gleich einem geraden Vielfachen der Kopplungslänge bei
einem Feld mit dem Wert Null ist. Die Kopplung nimmt dann von Null aus zu, wenn die an die Elektroden angelegte Spannung
von Null aus ansteigt.
Auf diese Weise ist eine Vorrichtung geschaffen worden, welche gestattet, auf ein elektrisches Steuersignal hin die durch einen
Wellenleiter fortgeleitete Energie teilweise oder ganz auf den anderen Wellenleiter umzuschalten, der ihm in der Kopplungs—
zone zugeordnet ist.
Es versteht sich dann von selbst, daß, wenn man einen der beiden Wellenleiter auf einen Wellenleiterabschnitt begrenzt,
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- ίο -
der als minimale Länge die Länge L der Kopplungszone hat,
die zuvor beschriebene Vorrichtung gestattet, die durch den anderen Wellenleiter fortgeleitete Energie hundertprozentig zu
modulieren.
"Fig. 3 zeigt eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung,
bei welcher die Wellenleiter in das Substrat eingefügt sind. Das Material, über welches die Kopplung erfolgt, ist dann nicht
mehr Luft, sondern das das Substrat bildende Material.
Die Schnittansicht von Fig. 3 zeigt wieder die Wellenleiter 1 und 2, die parallel zueinander in dem Substrat 3 derart angeordnet
sind, daß eine ihrer Flächen mit der Oberfläche des Substrats zusammenfällt. Zwei metallische Elektroden 10 und
20, die ebenfalls zueinander parallel sind, sind auf den Wellenleitern an der Oberfläche des Substrats 3 unter Zwischenschaltung
-von Isolierschichten 11 bzw. 21 angeordnet.
Es ist möglich, die Implantation der Wellenleiter 1 und 2 in dem Substrat 3 folgendermaßen auszuführen:
Es wird zum Herstellen des Substrats 3 ein einkristallines Plättchen aus Lithiumniobat (LiNbO_) gewählt, welches ein
ferroelektrisches Material mit rhomboedrischer Kristallstruktur ist. Das Plättchen wird so geschnitten, daß die Achse des Rhornboeders.
-welcher die kristalline Zelle bildet, parallel zu der in Fig. 3 mit
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C bezeichneten Richtung, d.h. senkrecht zu der Oberfläche 30 des Substrats angeordnet ist. Es werden dann auf der
Oberfläche 30 des Substrats 3 (durch Niederschlagen, Maskieren und Gravieren einer dünnen Titanschicht) zwei dünne Titanschichten
gebildet, welche zwei Streifen mit parallelen Rändern bilden, deren Umriß den Umriß wiedergibt, den die beiden Wellenleiter
1 -und 2 erhalten sollen. Das Plättchen wird anschließend erwärmt,
damit das Titan in das Lithiumniobat diffundiert. Das Titan tritt in der Diffusionszone teilweise an die Stelle des Niobiums, so daß
sich eine gemischte Zusammensetzung mit der Formel Li Ti Nb
O ergibt, die ebenfalls ferroelektrisch ist, eine rhomboetrische
Struktur hat und einen Brechungsindex aufweist, der größer ist als der des reinen Niobats. Diese diffundierten Zonen, deren
Brechungsindex größer ist als der des Substrats, bilden die Wellenleiter 1 und 2. Wenn die Diffusionstemperatur oberhalb
des Curiepunktes des Materials liegt, wird die anschließende Abkühlungsphase ausgenutzt, um das Plättchen einem homogenen
elektrischen Feld auszusetzen, damit das Plättchen gleichmäßig polarisiert wird und auf diese Weise eine Eindomänenstruktur
erzeugt wird.
Wenn an die Elektroden 10 und 20 eine Spannung engelegt wird,
ergibt sich eine Verteilung der Feldlinien, die in Fig. 3 mit der Bezugszahl 4 bezeichnet ist. Die Feldkomponente in der
Richtung C senkrecht zu der Oberfläche 30 hat in dem einen und in dem anderen Wellenleiter denselben Absolutwert und die entgegengesetzte
Richtung und verursacht Brechungsindexänderungen
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mit demselben Absolutwert und mit entgegengesetzten Vorzeichen. Gleichwohl verursacht das Vorhandensein einer
Feldkomponente, die ungleich Null ist, in einer zu der Richtung
C senkrechten Richtung sowie die Tatsache«, daß das angelegte elektrische Feld ebenfalls den Wert des Brechungsindex in dem
zwischen den beiden Wellenleitern liegenden Teil 31 des Substrats verändert,eine gewisse Asymmetrie der Erscheinung: die erzielte Kopplung
ändert sich entsprechend der Polarität der an die Elektroden 20 und 21 angelegten Spannung. Die Polarität der Spannung,
welche die maximale Kopplung liefert, kann aus der kristallographischen Orientierung des das Substrat bildenden Materials
hergeleitet werden. Wenn diese Orientierung unbekannt ist, ist es äußerst einfach, die optimale Polarität durch eine Messung
der durch einen der Wellenleiter für zwei Polaritäten mit entgegengesetzten Vorzeichen übertragenen Lichtintensität experimentell
zu bestimmen.
Wenn die metallischen Elektroden direkt auf die Oberfläche der Wellenleiter aufgebracht sind, kann das Vorhandensein einer nach
und nach verschwindenden Welle, die sich in dem relativ absorbierenden metallischen Medium ausbreitet, Energieverluste in dem
Koppler verursachen. Zu ihrer Vermeidung ist es möglich, eine lichtdurchlässige dielektrische Schicht 11 und 2i zwischen den
Wellenleitern 1 und 2 und den Elektroden 10 und 20 anzuordnen, wie in den Fig. 1 und 3 gezeigt. Diese Isolierschicht besteht aus
einem Material, welches für die Wellenlänge der durch den Wellenleiter geführten Lichtwelle einen guten Transmissionsgrad und einen
ööi;ö/
Brechungsindex aufweist, der kleiner ist als der des Wellenleiters.
Siliciumdioxid (SiO ) bildet ein vollkommen passendes Material in dem zuvor beschriebenen Fall, in welchem das
Substrat aus Lithiumniobat besteht.
Es ist außerdem möglich, in der in Fig. 3 dargestellten Ausfuhrungsform
zur Herstellung des Substrats Lithiumtantalat (Li Ta O^ zu
verwenden.in welchem ebenfalls durch Diffusion das Tantal teilweise
durch Niobium substituiert wird. Auch dieser letztgenannte Fall stellt nur ein Beispiel dar, welches keine Einschränkung bedeutet.
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Claims (10)
- Patentansprüche:^l Elektrooptischer Umschalter zur Umschaltung einer optischen Strahlung zwischen einem ersten und einem zweiten optischen Kreis unter der Steuerung durch eine elektrische Spannung, mit einem ebenen Substrat;mit einem ersten und einem zweiten Stab aus elektrooptisch em Material, die eine vorbestimmte Länge haben, deren Brechungsindex größer als der des Substrats ist und die zum Führen der Strahlung bestimmt sind, wobei die Stäbe in Reihe in den ersten bzw. in den zweiten optischen Kreis eingefügt, parallel zueinander ausgerichtet, auf der gesamten vorbestimmten Länge durch einen Teil ihrer seitlichen Oberfläche mit dem Substrat in Berührung und durch einen derartigen Abstand voneinander getrennt sind, daß die Strahlung zwischen dem einen und dem anderen der Stäbe übertragbar ist; undmit einer ersten und einer zweiten Elektrode, die parallel zu dem ersten bzw. zu dem zweiten Stab angeordnet und dem ersten bzw. dem zweiten Stab zugeordnet sind, wobei die elektrische Spannung an die Elektroden angelegt wird,um in den Stäben und in dem Substrat ein elektrisches Feld zu erzeugen, und wobei das elektrische Feld den Brechungsindex des elektrooptischen Materials verändert; ■dadurch gekennzeichnet, daß die erste und die zweite Elektrode auf der gesamten vorbestimmten Länge des ersten bzw. des zweiten Stabes angeordnet sind, um zumindest einen Teil609846/0785desjenigen Teils ihrer seitlichen Oberfläche, der nicht mit dem Substrat in Berührung ist, einzunehmen, wobei jede senkrecht zu der Oberfläche des Substrats durch die Stäbe hindurchgeführte Gerade auch die Oberfläche der zugeordneten Elektrode durchquert.
- 2. Umschalter nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die vorbestimmte Länge ein ungerades Vielfaches der Kopplungslänge bei einem Feld mit dem Wert Null ist.
- 3. Umschalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Stäbe im wesentlichen dieselbe Abmessung haben, daß das elektrooptische Material in den beiden Wellenleitern im wesentlichen gleich ist und in Abwesenheit eines elektrischen Feldes im wesentlichen denselben Brechungsindex aufweist.
- 4. Umschalter nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine lichtdurchlässige dielektrische Schicht, deren Brechungsindex kleiner ist als der der Materialien, die die Stäbe bilden, zwischen den Stäben und den Elektroden angeordnet ist.
- 5. Umschalter nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Stäbe auf der Oberfläche des Substrats angeordnet und durch Luft voneinander getrennt sind.
- 6. Umschalter nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch609846/0785gekennzeichnet, daß ein Teil der seitlichen Oberfläche der Stäbe wenn diese in das Innere des Substrats eingefugt sind, mit der ebenen Oberfläche des Substrats zusammenfällt, und daß auf diesen Teil der seitlichen Oberfläche die Elektroden aufgebracht sind.
- 7. Umschalter nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Materialien, aus welchen die Stäbe und das Substrat gebildet sind, ferroelektrische Materialien sind.
- 8. Umschalter nach Anspruch 7,dadurch gekennzeichnet, daß, wenn das ferroelektrische Material, aus welchem das Substrat besteht, Lithiumniobat ist, das Niobium in dem Lithiumniobat teilweise durch Titan substituiert ist, um das ferroelektrische Material zu schaffen, aus welchem die Stäbe bestehen.
- 9. Umschalter nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß, wenn das ferroelektrische Material, aus welchem das Substrat besteht, Lithiumtantalat ist, das Tantal in dem Tantalat teilweise durch Niobium substituiert ist, um das ferroelektrische Materialzu schaffen, aus welchem die Stäbe bestehen.
- 10. Verwendung eines Umschalters nach e inem der Ansprüche1 bis 9 in einem elektrooptischen Modulator, welcher durch eine elektrische Spannung gesteuert wird und.dazu dient, die sich in einem ersten optischen Kreis fortpflanzende Uchtenergie zu modulieren, indem sie ganz oder teilweise in einen zweiten optischen Kreis geschickt wird.609846/0785ORIGINAL ISMSPECTED
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