DE2618759A1 - Acceleration meter using oscillating quartz system - arranged so that inertial acceleration force acts on weight at moving end of quartzes - Google Patents
Acceleration meter using oscillating quartz system - arranged so that inertial acceleration force acts on weight at moving end of quartzesInfo
- Publication number
- DE2618759A1 DE2618759A1 DE19762618759 DE2618759A DE2618759A1 DE 2618759 A1 DE2618759 A1 DE 2618759A1 DE 19762618759 DE19762618759 DE 19762618759 DE 2618759 A DE2618759 A DE 2618759A DE 2618759 A1 DE2618759 A1 DE 2618759A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- quartz
- weight
- acceleration
- oscillating
- crystals
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010453 quartz Substances 0.000 title claims abstract description 106
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 106
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 title claims abstract description 27
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 title abstract 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 66
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 230000035559 beat frequency Effects 0.000 claims description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 6
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 3
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 101100394003 Butyrivibrio fibrisolvens end1 gene Proteins 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000010358 mechanical oscillation Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002688 persistence Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 239000011345 viscous material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/097—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by vibratory elements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
Description
Beschleunigungsmesser Accelerometer
Die Erfindung betrifft einen Beschleunigungsmesser mit einer Schwingquarzanordnung für ein sich bewegendes Objekt, der Teil eines elektrischen Schwingkreises ist, derart, daß der oder die Schwingquarze als Teile eines Elementes zur Bestimmung der Frequenz der elektrischen Schwingung zur Erfassung der Beschleunigung auf der Basis einer Änderung der Ausgangs-Schwingfrequenz der Schaltungsanordnung dient bzw. dienen. The invention relates to an accelerometer with a quartz oscillator arrangement for a moving object that is part of an electrical oscillating circuit, in such a way that the crystal or quartz oscillators are used as parts of an element for determination the frequency of the electrical oscillation to detect the acceleration on the The basis of a change in the output oscillation frequency of the circuit arrangement is used or serve.
Aufgrund der fortschreitenden Miniaturisierung elektronischer Schaltungsanordnungen ist.es z.B. möglich, einen in integrierter Bauweise ausgeführten Sender oder Meßwertgeber innerhalb eines Hohlraums des Beschleunigungsmessers anzuordnen, so daß ein Schwingquarz-Beschleunigungsmesser erhalten wird, der aufgrund seiner geringen Abmessungen sehr handlich ist und die Bewegung eines Objektes an einem festen Punkt dynamisch erfassen kann. Due to the advancing miniaturization of electronic circuit arrangements For example, it is possible to use an integrated transmitter or transducer to be placed within a cavity of the accelerometer, so that a quartz crystal accelerometer is obtained, which is very handy due to its small dimensions and the Can dynamically detect movement of an object at a fixed point.
Wirkt eine äußere Kraft auf schwingende Schwingquarze ein, so ändert sich die Resonanzfrequenz der Schwingquarze. Erfindungsgemäß wird diese Erscheinung zur Herstellung eines Schwingqunarz-Beschleunigungsmessers ausgenutzt. If an external force acts on oscillating quartz crystals, it changes the resonance frequency of the crystal. This phenomenon becomes according to the invention exploited for the production of a Schwingqunarz accelerometer.
Eine Ausführungsform der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben. Es zeigen: Fig. 1 eine schematische Darstellung, die beispielhaft das der Erfindung zugrundeliegende Meßprinzip veranschaulicht, Fig. 2 einen Längsschnitt durch eine Ausführungsform der Erfindung; Fig. 3 eine schematische Darstellung, die die bei der Anordnung gemäß Fig. 2 erfindungsgemäß vorgenommene Temperaturkompensation veranschaulicht; Fig. 4 ein Schaubild, dem die Kennlinien der beiden erfindungsgemäß verwendeten Schwingquarze hinsichtlich der Frequenzänderung der Resonanzfrequenz in Abhängigkeit von der Belastung zu entnehmen sind; Fig. 5 ein Schaubild, das die Frequenzänderung in Abhängidkeit von der Temperatur veranschaulicht; und Fig. 6 ein Schaubild, das die mechanischen Schwingungskennwerte eines sich bewegenden Systems veranschaulicht. An embodiment of the invention is shown in the drawing and is described in more detail below. They show: FIG. 1 a schematic representation, which exemplifies the measuring principle on which the invention is based, 2 shows a longitudinal section through an embodiment of the invention; Fig. 3 a Schematic representation, which in the arrangement according to FIG. 2 according to the invention illustrates temperature compensation made; Fig. 4 is a diagram to which the Characteristic curves of the two quartz crystals used according to the invention with regard to the Frequency change in the resonance frequency depending on the load are; 5 is a graph showing the frequency change as a function of the temperature illustrates; and FIG. 6 is a graph showing the mechanical vibration characteristics of a moving system.
Fig. 1 veranschaulicht das der Erfindung zugrundeliegende Meßprinzip und zeigt schematisch die Anordnung zweier Schwingquarze, wobei die Bezugszahl 1 den ersten plattenförmigen Schwingquarz und die Bezugszahl 2 den zweiten plattenförmigen Schwingquarz, die Bezugszahl 3 eine Elektrode, die die Verbindung zu einer elektrischen Schaltungsanordnung herstellt, die Bezugszahl 4 ein Abstandsstück, die Bezugszahl 5 eine Befestigungsplatte und der Buchstabe W ein Gewicht bezeichnen. 1 illustrates the measuring principle on which the invention is based and shows schematically the arrangement of two quartz oscillators, the reference number 1 the first plate-shaped quartz crystal and the reference number 2 the second plate-shaped Quartz crystal, reference number 3 an electrode that connects to an electrical Circuit arrangement produces, the reference number 4 a spacer, the reference number 5 denotes a mounting plate and the letter W denotes a weight.
Der erste Schwingquarz 1 und der zweite Schwingquarz 2 sind einander gegenüberliegend angeordnet und fest mit einem Ende an der Befestigungsplatte 5 und mit dem anderen Ende an dem Abstandsstück 4 befestigt und somit miteinander verbunden, wodurch relativ zum Gewicht W auf der Seite der Befestigungsplatte 5 ein fest angeordnetes, unbewegliches Ende und relativ zu dem Gewicht W auf der Seite des Abstandsstückes 4 ein bewegliches, freies Ende der Anordnung gebildet wird. The first quartz crystal 1 and the second quartz crystal 2 are mutually exclusive arranged opposite and fixed with one End on the mounting plate 5 and attached at the other end to the spacer 4 and thus to one another connected, whereby relative to the weight W on the side of the mounting plate 5 a fixed, immobile end and relative to the weight W on the side of the spacer 4 a movable, free end of the arrangement is formed.
Im allgemeinen ändert sich die elektrische Resonanzfrequenz (Frequenz der elektrischen Eigenschwingung, die im folgenden als elektrische Resonanzfrequenz bezeichnet werden soll) eines Schwingquarzes, der sogenannte Dickenschwingungen, also Schwingungen in Richtung seiner Dicke, ausführt, proportional zu den von einem Gewicht hervorgerufenen Spannungen (oder dem Betrag der Deformation aufgrund der Spannungen des Schwingquarzes), und zwar unabhängig von der Art der von einer Last erzeugten Spannung, was durch folgende Gleichungen ausgedrückt werden kann: In den Gleichungen (1) und (2) bezeichnet f die Resonanzfrequenz, a f den Betrag der Änderung der Resonanzfrequenz, F die aufgrund der auf den Schwingquarz ausgeübten Kraft entstehende Zug- oder Druckspannung, Cij die elastische Konstante des Schwingquarzes, t die Dicke des Schwingquarzes und p die Dichte des Schwingquarzes.In general, the electrical resonance frequency (frequency of the electrical natural oscillation, which is to be referred to as the electrical resonance frequency in the following) of a quartz oscillator, which carries out so-called thickness oscillations, i.e. oscillations in the direction of its thickness, changes proportionally to the stresses caused by a weight (or the Amount of deformation due to the stresses of the quartz crystal), regardless of the type of stress generated by a load, which can be expressed by the following equations: In equations (1) and (2), f denotes the resonance frequency, af the amount of change in the resonance frequency, F the tensile or compressive stress resulting from the force exerted on the quartz crystal, Cij the elastic constant of the quartz crystal, t the thickness of the quartz crystal and p is the density of the quartz crystal.
Die Auslenkung des freien Endes zweier gegenüberliegend angeordneter Plättchen aufgrund einer Last oder Belastung W läßt sich mit Hilfe der Gleichung für die Kurve eines Kragbalkens ermitteln: In Gleichung (3) bezeichnet v die Aus lenkung der Spitze des Kragbalkens, W die Last, t die Länge der langen Seite (horizontale Richtung) des Schwingquarzes,'b die Länge der kurzen Seite (nichthorizontale Richtung) des Schwingquarzes, Ah den Abstand zwischen zwei Schwingquarzen, t die Dicke des Schwingquarzes und E den Elastizitätsmodul.The deflection of the free end of two oppositely arranged plates due to a load or load W can be determined with the help of the equation for the curve of a cantilever beam: In equation (3), v denotes the deflection of the tip of the cantilever, W the load, t the length of the long side (horizontal direction) of the quartz crystal, 'b the length of the short side (non-horizontal direction) of the quartz crystal, Ah the distance between two quartz crystals, t is the thickness of the quartz and E is the modulus of elasticity.
Nun ist bekannt, daß die Spannung F dem Betrag der Auslenkung proportional ist, so daß sich hieraus unter Verwendung der Gleichungen (1) und (3) ergibt, daß die Auslenkung der Spitze eines Schwingquarzes proportional sawohl zu Änderungen der Last W als auch der Resonanzfrequenz des Schwingquarzes ist. It is now known that the voltage F is proportional to the amount of deflection so that, using equations (1) and (3), it follows that the deflection of the tip of a quartz crystal is proportional to changes is the load W as well as the resonance frequency of the quartz crystal.
Fig. 4 ist ein Schaubild, in dem die Meßergebnisse für die beiden in Fig. 1 dargestellten Schwingquarze aufgetragen sind. In dem Schaubild ist mit (a) die Kennlinie des ersten Schwingquarzes und mit (b) die Kennlinie des zweiten Schwingquarzesbezeichnet. Jeder der beiden plattenförmigen Schwingquarze besteht aus einem Element, das die gleiche Kennlinie der normierten Frequenzänderung Af/f in Abhängigkeit von der Spannung (Last W) aufweist. Fig. 4 is a graph showing the measurement results for the two quartz crystals shown in FIG. 1 are applied. In the diagram is with (a) the characteristic of the first quartz crystal and with (b) the characteristic of the second Called quartz crystal. Each of the two plate-shaped quartz crystals is made from an element that has the same characteristic curve of the normalized frequency change Af / f as a function of the voltage (load W).
Die Kennlinien (a) und (b) verlaufen zwar in entgegengesetzter Richtung, jedoch ist zu erkennen, daß die absoluten Werte des Frequenzänderungsverhältnisses 8 f/f gleich sind. Dies beruht auf der Tatsache, daß eine Zugkraft auf den ersten Schwingquarz und eine Druckkraft auf den zweiten Schwingquarz wirken und die absoluten Beträge der Zugkraft und der Druckkraft in einem Bereich gleich sind, in dem die Spitzenauslenkung der Schwingquarze nicht so groß ist. The characteristics (a) and (b) run in the opposite direction, however, it can be seen that the absolute values of the frequency change ratio 8 f / f are the same. This is due to the fact that there is a tensile force at first Quartz oscillators and a compressive force act on the second quartz oscillator and the absolute ones Amounts of the tensile force and the compressive force are equal in a range in which the The tip deflection of the quartz crystal is not that great.
Im folgenden soll unter Bezugnahme auf Fig. 2, Fig. 3, Fig. 5 und Fig. 6 eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Schwingquarz-Beschleunigungsmessers beschrieben werden, die sich der voraufgehend beschriebenen Prinzipien bedient. In the following, with reference to FIGS. 2, 3, 5 and 6 shows an embodiment of the quartz oscillator accelerometer according to the invention using the principles described above.
Bei der vorliegenden Ausführungsform der Erfindung wird ein plattenförmiger Schwingquarz (im folgenden auch als Schwingquarzplatte bezeichnet) als Quarzresonator oder Schwingquarz verwendet. In the present embodiment of the invention, a plate-shaped Quartz oscillator (hereinafter also referred to as a quartz oscillator plate designated) used as a quartz resonator or quartz oscillator.
In Fig. 2 ist in Form eines mittigen Längsschnittes der erfindungsgemäße Schwingquarz-Beschleunigungsmesser veranschaulicht, wobei die Bezugszahl 1 die erste Schwingquarzplatte, die Bezugszahl 2 die zweite Schwingquarzplatte, die Bezugszahl 3 eine Elektrode zum Anschluß einer elektrischen Schaltungsanordnung, die Bezugszahl 4 ein Verbindungsteil, die Bezugszahl 5 einen Basisblock, die Bezugszahl 6 ein stiftartiges Element, die Bezugszahl 7 zwei Auflagerzapfen, die Bezugszahl 8 einen Balg, die Bezugszahl 9 ein Gewicht, die Bezugszahl 10 ein verschiebbares Bauteil, die Bezugszahl 11 ein Gehäuse, die Bezugszahl 12 ein Einstelloch, die Bezugszahl 13 eine Verschlußschraube für das Einstelloch, die Bezugszahl 14 ein Einfülloch für ein Dämpfungsmedium, die Bezugszahl 15 eine VerschlußschraUbe für das Einfülloch, die Bezugszahl 16 ein Einfülloch für inertes Gas, die Bezugszahl 17 Löcher für Befestigungsschrauben, die Bezugszahl 18 einen ersten, von dem Gehäuse 11, dem Balg 8, dem Gewicht 9 usw. gebildeten Hohlraum, und die Bezugszahl 19 einen zweiten Hohlraum innerhalb des Balges 8 bezeichnen. In Fig. 2 is in the form of a central longitudinal section of the invention Quartz crystal accelerometer illustrated, with reference number 1 being the first Quartz oscillator plate, the reference number 2 the second quartz oscillator plate, the reference number 3 an electrode for connecting an electrical circuit arrangement, the reference number 4 a connecting part, the reference number 5 a base block, the reference number 6 a pin-like block Element, reference number 7 two bearing journals, reference number 8 a bellows, the Reference number 9 a weight, reference number 10 a displaceable component, the reference number 11 a housing, reference numeral 12 an adjusting hole, reference numeral 13 a locking screw for the adjustment hole, the reference numeral 14 is a filling hole for a damping medium, the Reference number 15 a screw plug for the filling hole, reference number 16 a filling hole for inert gas, the reference number 17 holes for mounting screws, the reference number 18 a first cavity formed by the housing 11, the bellows 8, the weight 9, etc., and the reference numeral 19 denotes a second cavity within the bellows 8.
Die festliegenden Enden der ersten Schwingquarzplatte 1 und der zweiten Schwingquarzplatte 2, die sich mit ihren größten Flächen einander gegenüberliegen, sind in den Basisblock 5 eingelegt bzw. eingefügt, während die freien Enden der Schwingquarzplatten fest durch das Verbindungsteil 4 zusammengehalten werden. The fixed ends of the first quartz crystal plate 1 and the second Quartz crystal plate 2, the largest areas of which are opposite one another, are inserted or inserted into the base block 5, while the free ends of the Quartz crystal plates are firmly held together by the connecting part 4.
Das Gewicht 9 weist eine Schraubvorrichtung auf und ist mit dem verschiebbaren Element 10 mittels einer Schraubverbindung verbunden, wobei das Gewicht 9 derart ausgebildet ist, daß es sich bei Drehung mittels eines Schraubenziehers in Richtung der Horizontalen der beiden Schwingquarzplatten 1 und 2 mittels des verschiebbaren Elementes 10 bewegt, wobei die aus dem Gewicht 9 und den beiden Schwingquarzplatten 1 und 2 bestehende Anordnung gleitend zwischen den an dem Gewicht 9 vorgesehenen Auflagerzapfen 7 und dem zylindrischen Stift 6, der fest an dem Verbindungsteil 4 befestigt ist, gehalten wird. The weight 9 has a screw device and is displaceable with the Element 10 connected by means of a screw connection, the weight 9 such is designed that when turned by means of a screwdriver in the direction the horizontal of the two quartz crystal plates 1 and 2 by means of the movable Element 10 is moved, with the weight 9 and the two quartz oscillating plates 1 and 2 existing Arrangement sliding between the on the weight 9 provided support pin 7 and the cylindrical pin 6, which is fixed to the connecting part 4 is attached, is held.
Der Balg 8 ist fest mit dem 13asisblock 5 und dem verschiebbaren Element 10 verbunden, und der zweite Hohlraum 19 wird vcn dem Basisblock 5, dem Balg 8, dem verschiebbaren Element 10 und dem Gewicht 9 gebildet. The bellows 8 is fixed to the base block 5 and the sliding one Element 10 connected, and the second cavity 19 is vcn the base block 5, the Bellows 8, the displaceable element 10 and the weight 9 are formed.
Das Gehäuse 11 ist mit einemEinstelloch 12 versehen, über das das Gewicht 9 in der Richtung der beiden Schwingquarzplatten 1 und 2 gleitend verschoben wird, um die 3Position des Gewichtes 9 einzustellen, und außerdem sind SchrauDenl öc:her 17 im Gehäuse 11 vorgesehen, um den erfindungsgemäßen Beschleunigungsmesser an einem zu messenden Objekt zu befestigen, während im Basisblock 5 außerdem eine EinfüllöXefnung 16 zum Einfüllen inerten Gases, wie z.B. trockenen Stickstoffes, in den zweiten Hohlraum innerhalb des Balgs 8 vorgesehen ista so daß das Gehäuse 11 und der Basisblock 5 zwei Schwingquarzplatten 1 und 2 umgeben, die von dem Balg 8 umschlossen werden und somit das Innere der Anordnung luftdicht abgeschlossen ist. The housing 11 is provided with an adjustment hole 12 through which the Weight 9 slid in the direction of the two quartz crystal plates 1 and 2 is used to set the 3 position of the weight 9, and also screws are öc: her 17 provided in the housing 11 to the accelerometer according to the invention to be attached to an object to be measured, while in the base block 5 also a Filling opening 16 for filling inert gas, such as dry nitrogen, is provided in the second cavity within the bellows 8 so that the housing 11 and the base block 5 surround two oscillating quartz plates 1 and 2, which are held by the bellows 8 are enclosed and thus the interior of the arrangement is airtight is.
Nachdem die Position des Gewichtes 9 über das Einstelloch 12 eingestellt ist, wird dieses Loch mittels einer Verschlußschraube 13 verschlossen. An dieser VersEhlußschradbe 13 ist ein Einfülloch 14 vorgesehen, durch das ein Dämpfungsmedium in Form einer viskosen Substanz, wie z.B. Silikonöl, in den ersten Zwischenraum 18 eingefüllt werden kann, worauf das Einfülloch 14 durch die Verschlußschraube 15 verschlossen wird. After the position of the weight 9 has been set via the adjustment hole 12 is, this hole is closed by means of a locking screw 13. At this VersEhlußschradbe 13, a filling hole 14 is provided through which a damping medium in the form of a viscous substance, such as silicone oil, into the first space 18 can be filled, whereupon the filling hole 14 through the screw plug 15 is closed.
Das im Basisblock 5 vorgesehene Einfülloch 16 wird z.B. The filling hole 16 provided in the base block 5 is e.g.
durch synthetisches Harz verschlossen, nachdem inertes Gas in den zweiten Hohlraum 19 innerhalb des Balges 8 eingefüllt worden ist.sealed by synthetic resin after inert gas into the second cavity 19 has been filled within the bellows 8.
Der Grund, aus dem das Gewicht 9 in der Horizontalrichtung der Schwingquarzplatten beweglich bzw. verschiebbar angeordnet ist, besteht darin, daß hierdurch Abweichungen hinsichtlich der Kraft-Frequenz-Abhängigkeit und mechanischen Resonanzfrequenz durch Xnderung der Position der Auflagerzapfen beim Auftreten von Kräften ausgeglichen bzw. korrigiert werden können, wobei diese Abweichungen oder Fehler aufgrund einer gewissen Streuung oder Teilung der bei der gleichen Beschleunigung auf die beiden Schwingquarzplatten 1 und 2 einwirkenden Kräfte entstehen können und dann zu Differenzen hinsichtlich der Resonanzfrequenz führen. The reason why the weight 9 is in the horizontal direction of the quartz crystal plates is movably or displaceably arranged, is that as a result, deviations in terms of the force-frequency dependency and mechanical Resonance frequency by changing the position of the bearing journals when Forces can be balanced or corrected, with these deviations or Error due to a certain spread or division of the at the same acceleration forces acting on the two quartz crystal plates 1 and 2 can arise and then lead to differences in the resonance frequency.
Insbesondere wird die Verschiebung des Gewichtes 9 aufgrund einer gewissen Kraft in eine Biegung der beiden Schwingquarzplatten 1 und 2 umgesetzt, wobei der Umfang bzw. Betrag der Durchbiegung durch Verschieben der Positionen der Auflagerzapfen 7 geändert werden kann und somit die Zugkraft und die Druckkraft, die auf die erste Schwingquarzplatte 1 und die zweite Schwingquarzplatte 2 einwirken, eingestellt bzw. geregelt werden können.In particular, the displacement of the weight 9 is due to a a certain force is converted into a bend of the two quartz crystal plates 1 and 2, where the extent or amount of deflection by moving the positions of the Support pin 7 can be changed and thus the tensile force and the compressive force, which act on the first quartz oscillating plate 1 and the second quartz oscillating plate 2, can be set or regulated.
Das in den ersten Hohlraum 18 eingefüllte Dämpfungsmedium schränkt die mechanische Vibration des Gewichtes 9 ein, wodurch eine Beschädigung der Schwingquarzplatten aufgrund mechanischer Resonanz sowie auch bei der üblichen Anzeige eines gemessenen Wertes verhindert wird. The damping medium filled into the first cavity 18 restricts the mechanical vibration of the weight 9, thereby damaging the oscillating quartz plates due to mechanical resonance as well as the usual display of a measured Value is prevented.
Wird die dem Gewicht entsprechende Masse mit m, die Federkonstante bzw. elastische Konstante der Schwingquarzplatte mit k und der Viskositätswiderstand aufgrund des Dämpfungsmediums mit R bezeichnet, so gilt für die Bewegungsgleichung der Schwingquarzplatte im Falle einer kragbalkenartigen Einspannung: wobei 0 die Kreisfrequenz der mechanischen Schwingung des sich bewegenden Systems einschließlich der Schwingquarzplatte und A eine Konstante sind.If the mass corresponding to the weight is denoted by m, the spring constant or elastic constant of the quartz plate is denoted by k and the viscosity resistance due to the damping medium is denoted by R, then the following applies to the equation of motion of the quartz plate in the case of a cantilever-like restraint: where 0 is the angular frequency of the mechanical vibration of the moving system including the quartz crystal plate and A is a constant.
Durch Auflösung von Gleichung (4) ergibt sich: wobei gilt: #o bzw. #1 sind die Kreisfrequenzen der mechanischen Schwingung 0 des sich bewegenden Systems einschließlich der Schwingquarzplatten für R s 0 und R = O.Solving equation (4) gives: where: #o and # 1 are the angular frequencies of the mechanical oscillation 0 of the moving system including the oscillating quartz plates for R s 0 and R = O.
In Gleichung (5) ist der hinsichtlich des Dämpfungsmediums in Frage kommende Ausdruck der zweite Term, so daß sich, wenn B die Amplitude bezeichnet, und außerdem gilt: Die Beziehung zwischen ist in Fig. 6 graphisch dargestellt.In equation (5), the expression in question with regard to the damping medium is the second term, so that if B denotes the amplitude, and also: The relationship between is shown graphically in FIG.
Der optimale Wert des Viskositätswiderstandes R wird gemäß der Kennlinie B in Fig. 6 erhalten, so daß sich für bei dem erfindungsgemäßen Beschleunigungsmesser R = 14,2 x 10 2 14,7 x 10 2 (dyn sec/cm) ergibt.The optimum value of the viscosity resistance R is obtained according to the characteristic curve B in FIG. 6, so that for in the case of the accelerometer according to the invention, R = 14.2 x 10 2 14.7 x 10 2 (dyn sec / cm) results.
Der Viskositätswiderstand R wird weiterhin durch Form und Abmessungen des Gewichtes bestimmt, da gilt: R = c6 wobei C eine durch Form und Abmessung des Gewichtes bestimmte Konstante und ender Koeffizient der dynamischen Viskosität sind. The viscosity resistance R is further determined by the shape and dimensions of the weight, since the following applies: R = c6 where C is one of the shape and dimensions of the The constant and the coefficient of dynamic viscosity are determined by the weight.
Für die vorgeschlagene Ausführungsform der Erfindung wurde ermittelt, daß ein Wert von = 120 Zentipoise (1/100 dyn . sec/cm2) zur Bildung des Wertes von R geeignet ist.For the proposed embodiment of the invention, it was determined that a value of = 120 centipoise (1/100 dyn. sec / cm2) to form the value of R is suitable.
Da der Koeffizient der dynamischen Viskosität für Wasser "1" ist, beträgt der erfindungsgemäß zu verwendende Koeffizient der dynamischen Viskosität das 120fach des Koeffizienten von Wasser. Since the coefficient of dynamic viscosity for water is "1", is the coefficient of dynamic viscosity to be used according to the invention 120 times the coefficient of water.
Ein solcher Wert des Koeffizienten der dynamischen Viskosität von 6 = 120 Zentipoise kann leicht durch Verwendung handelsüblichen Silikonöls erreicht werden. Such a value of the coefficient of dynamic viscosity of 6 = 120 centipoise can easily be achieved by using commercially available silicone oil will.
Außer flüssigen Stoffen, wie z.B. Silikon öl, kann auch pulverförmiges Material Verwendung finden, wie im allgemeinen jegliches Material verwendbar ist, das eine dämpfende Wirkung ausübt. In addition to liquid substances such as silicone oil, powdery substances can also be used Find material use, as in general any material can be used, that has a dampening effect.
Die Einfüllung inerten Glases in den zweiten Hohlraum innerhalb des Balges 8 erfolgt aus einem üblichen Grund. Durch die Anordnung von Schwingquarzplatten in einer Atmosphäre aus inertem Gas wird nämlich beabsichtigt, die Alterung zu verlangsamen, eine Oxidation der Elektrode 3 zu verhindern usw., und damit die Betriebszuverlässigkeit der Anordnung zu erhöhen. The filling of inert glass in the second cavity within the Bellows 8 is done for a common reason. Through the arrangement of oscillating quartz plates In an atmosphere of inert gas, the aim is to slow down aging, prevent oxidation of the electrode 3, etc., and hence the operational reliability to increase the arrangement.
Der Grund für die Verwendung des Balges 8, der es dem Gewicht 9 ermöglicht, sich in der Horizontalrichtung der beiden Schwingquarzplatten 1 und 2 zu bewegen, besteht insbesondere auch in der Absorbierung des Volumenzuwachses aufgrund thermischer Expansion des Dämpfungsmediums. The reason for using the bellows 8 that allows the weight 9 to to move in the horizontal direction of the two quartz crystal plates 1 and 2, consists in particular in the absorption of the increase in volume due to thermal Expansion of the damping medium.
Bewegt sich nun ein Objekt, an dem Messungen vorgenommen werden sollen, mit einer gewissen Beschleunigung in Richtung des Pfeiles A, so bewegt sich der Beschleunigungsmesser ebenfalls mit der gleichen Beschleunigung in Richtung des Pfeiles A. Zu diesem Zeitpunkt wird auf das Gewicht 9 eine derartige Kraft ausgeübt, daß es an seiner ursprünglichen Position aufgrund seines Beharrungsvermögens bzw. seiner Trägheit verbleibt, und diese Kraft wirkt gleichermaßen wie die in entgegengesetzter Richtung zu dem Pfeil A auf die beiden Schwingquarzplatten 1 und 2 ausgeübte Belastung. Der erste und der zweite Schwingquarz 1 und 2 werden gebogen, da sich die aneinander befestigten freien Enden in einer zur Richtung des Pfeiles A entgegengesetzten Richtung bewegen. If an object moves on which measurements are to be made, with a certain acceleration in the direction of arrow A, the moves Accelerometer also with the same acceleration in the direction of the Arrow A. At this point in time, such a force is exerted on the weight 9, that it is in its original position due to its persistence or its indolence remains, and this force acts equally as that in the opposite Load exerted on the two quartz crystal plates 1 and 2 in the direction of arrow A. The first and the second quartz crystal 1 and 2 are bent because they are attached to each other attached free ends in a direction opposite to the direction of arrow A. move.
Daher wirkt eine Zugkraft auf die erste Schwingquarzplatte 1 und eine Druckkraft auf die zweite Schwingquarzplatte 2, und die entsprechende Resonanzfrequenz ändert sich proportional zum Betrag der Beschleunigung, wie den Kennlinien a und b in Fig. 4 zu entnehmen ist.Therefore, a tensile force acts on the first quartz oscillator plate 1 and a Pressure force on the second quartz oscillator plate 2, and the corresponding resonance frequency changes proportionally to the amount of acceleration, such as the characteristics a and b can be seen in FIG.
Da bei der vorliegenden Ausführungsform der Erfindung die Beschleunigung aufgrund der Schwebungsfrequenz zwischen der ersten Schwingquarzplatte 1 und der zweiten Schwingquarzplatte 2 bestimmt wird, wird die Beschleunigung durch eine ungefähr zweimalige Variation der Resonanzfrequenz einer Schwingquarzplatte erfaßt. As in the present embodiment of the invention, the acceleration due to the beat frequency between the first quartz crystal plate 1 and the second quartz crystal plate 2 is determined, the acceleration is by an approximate two variations of the resonance frequency of an oscillating quartz plate detected.
Die Beschleunigung und die aufdie Schwingquarzplatte aufgrund der Beschleunigung wirkende Kraft sind zueinander proportional, und die auf die Schwingquarzplatte wirkende Kraft und die Resonanzfrequenz der Schwingquarzplatten stehen ebenfalls in proportionalem Verhältnis zueinander, so daß es leicht ist, aus der Änderung der Resonanzfrequenz den Betrag der Beschleunigung abzuleiten. The acceleration and the on the quartz crystal plate due to the The forces acting on the acceleration are proportional to each other, and those on the quartz crystal plate acting force and the resonance frequency of the quartz plates are also available in proportion to each other so that it is easy to get out of the change derive the amount of acceleration from the resonance frequency.
Im folgenden soll die Xnderung der Kennwerte der Schwingquarzplatten aufgrund von Temperaturänderungen erläutert werden. The following describes the change in the characteristic values of the quartz oscillator plates explained due to temperature changes.
Aufgrund der Xnderungen der Umgebungstemperatur üben der Basisblock 5 und das Verbindungsteil 4 Kräfte aus, die Spannungen in der ersten Schwingquarzplatte 1 und der zweiten Schwingquarzplatte 2 erzeugen, so daß, auch wenn die Temperaturkennwerte der Schwingquarzplatten selbst gut sind, sich ihre Resonanzfrequenz ändert. Da jedoch die Änderungen der Resonanzfrequenz der ersten Schwingquarzplatte und der zweiten Schwingquarzplatte im wesentlichen gleich sind (die Änderungen der Resonanzfrequenz der beiden Schwingquarzplatten 1 und 2 sind im Idealfall genau gleich, wobei die Anordnung, bestehend aus der Befestigungsplatte 5, dem Verbindungselement 4 und den beiden Schwingquarzplatten 1 und 2, genau aufeinander abgestimmt ist), und die Änderung von der Schwebungsfrequenz nach dem Mischen aufgenommen wird, löschen sich Änderungen der Resonanzfrequenz aufgrund von Temperaturänderungen gegenseitig aus, so daß ein temperaturbeständiger Beschleunigungsmesser erhalten wird. Due to the changes in ambient temperature, practice the basic block 5 and the connecting part 4 forces out the stresses in the first oscillating quartz plate 1 and the second quartz crystal plate 2, so that even if the temperature characteristics the quartz crystal plates themselves are good, their resonance frequency changes. However, since the changes in the resonance frequency of the first quartz crystal plate and the second Quartz crystal plate are essentially the same (the changes in the resonance frequency of the two quartz crystal plates 1 and 2 are ideally exactly the same, with the Arrangement consisting of the mounting plate 5, the connecting element 4 and the two quartz crystal plates 1 and 2, are precisely matched to one another), and the Any change in the beat frequency after mixing is recorded will cancel each other out Changes in the resonance frequency due to temperature changes are mutually exclusive, so that a temperature resistant accelerometer is obtained.
Im übrigen können die Schwingquarzplatten z.B. sogenannte AT-Schnitte sein, wobei ein einfach gedrehter AT-Schnitt (rxl)+35 15' selbst zwar eine gute Resonanzfrequenz/Temperaturkennlinie aufweist, jedoch die Spannungsänderungen in Abhängigkeit von der Resonanzfrequenz, d.h. die Kraftempfindlichkeit, eine Temperaturabhängigkeit aufweist. Die Fig. d in Fig. 5 zeigt ein solches Beispiel, bei dem die Änderung der Resonanzfrequenz in Abhängigkeit von Temperaturänderungen als Gerade hinsichtlich Temperaturänderungen verläuft. In addition, the oscillating quartz plates can, for example, have so-called AT cuts be, with a simply rotated AT cut (rxl) +35 15 'itself a good one Has resonance frequency / temperature characteristic, but the voltage changes in Dependence on the resonance frequency, i.e. the force sensitivity, a temperature dependence having. Fig. D in Fig. 5 shows such an example in which the change the resonance frequency as a function of temperature changes as a straight line with respect to Changes in temperature.
Um Meßfehler aufgrund der Temperaturabhängigkeit dieser Kraftempfindlichkeit zu vermeiden, wird die thermische Ausdehnung des Dämpfungsmediums erfindungsgemäß positiv ausgenutzt. To measurement errors due to the temperature dependence of this force sensitivity to avoid the thermal expansion of the damping medium according to the invention positively exploited.
Vergrößert das bei der Anordnung gemäß Fig. 2 in den ersten Hohlraum 18 eingefüllte Dämpfungsmedium aufgrund eines Temperaturanstiegs sein Volumen, so verschiebt sich das Gewicht 9 in Richtung der Schwingquarzplatten 1 und 2, welcher Zustand in Fig. 3 veranschaulicht ist. This enlarges in the arrangement according to FIG. 2 in the first cavity 18 filled damping medium due to a temperature increase its volume, see above shifts the weight 9 in the direction of the quartz crystal plates 1 and 2, which State is illustrated in Fig. 3.
In Fig. 3 veranschaulicht das in ausgezogenen Linien dargestellte Gewicht 9 den Zustand vor der Verschiebung, während das in gestrichelten Linien dargestellte Gewicht 9' den Zustand nach der Verschiebung veranschaulicht. In Fig. 3 illustrates that shown in solid lines Weight 9 the state before the shift, while that in dashed lines shown weight 9 'illustrates the state after the displacement.
Wenn sich das Gewicht 9 verschiebt, gleiten die Auflagerzapfen 7 auf dem stiftartigen Element 6 und nehmen schließlich die mit der Bezugszahl 7' bezeichnete Position ein. Der Abstand zwischen dem Basisblock 5 und den Auflagerzapfen ändert sich also bei einem Temperaturanstieg von t1 zu t2. Für die gleiche, auf die Auflagerzapfen ausgeübte Kraft (d.h. die Kraft, die auf die Auflagerzapfen bei der Verschiebung des Gewichtes 9 aufgrund einer Beschleunigung ausgeübt wird) werden die Zugkraft bzw. die Druckkraft, die auf die beiden Schwingquarze 1 und 2 ausgeübt werden, aufgrund eines Temperaturanstiegs kleiner. Dementsprechend wird die Änderung der Resonanzfrequenz (Absolutbetrag) kleiner, wie der Geraden in Fig. 4 zu entnehmen ist. Da andererseits die Änderung der Resonanzfrequenz aufgrund der Temperaturabhängigkeit der Schwingquarzplatten bei einem Temperaturanstieg geradlinig ansteigt, wie der mit d bezeichneten Geraden in Fig. 5 zu entnehmen ist, löschen sich eine Änderung der Resonanzfrequenz aufgrund einer Verschiebung der Auflagerzapfen und eine Änderung der Resonanzfrequenz aufgrund der Temperaturabhängigkeit der Schwingquarzplatte gegenseitig aus, so daß der erfindungsgemäße Schwingquarz-Beschleunigungsmesser eine sehr geringe Temperaturabhängigkeit aufweist. When the weight 9 shifts, the bearing journals 7 slide on the pin-like element 6 and finally take the one with the reference number 7 ' designated position. The distance between the base block 5 and the bearing journals thus changes with a temperature increase from t1 to t2. For the same, on the force exerted on the bearing journals (i.e. the force acting on the bearing journals at the displacement of the weight 9 due to an acceleration is exerted) the tensile force or the compressive force exerted on the two quartz crystals 1 and 2 become smaller due to a rise in temperature. The change will be accordingly the resonance frequency (absolute value) is smaller, as can be seen from the straight line in FIG. 4 is. On the other hand, there is the change in the resonance frequency due to the temperature dependency of the oscillating quartz plates rises in a straight line with a rise in temperature, like the 5, a change is deleted the resonance frequency due to a displacement of the bearing journals and a change the resonance frequency due to the temperature dependence of the oscillating quartz plate mutually, so that the quartz crystal accelerometer according to the invention has a very low temperature dependence.
Das Volumen des ersten Hohlraums 18 wird unter-Einbeziehung des thermischen Expansionskoeffizienten des verwendeten Dämpfungsmediums und der Resonanzfrequenz/Temperatur-Kennlinie (Temperaturabhängigkeit) der Schwingquarze bestimmt. Insbesondere wird das Volumen des ersten Hohlraums 18 (Volumen des Dämpfungsmediums) derart bestimmt, daß die Änderung der Resonanzfrequenz aufgrund einer Verschiebung der Auflagerzapfen 7 zum Gewicht 9, die von einer Volumenänderung des Dämpfungsmediums aufgrund einer Temperaturänderung bewirkt wird, sowie die Änderung der Resonanzfrequenz der Schwingquarzplatten selbst aufgrund einer Temperaturänderung sich gegenseitig auslöschen bzw. aufheben. The volume of the first cavity 18 is taking into account the thermal Expansion coefficient of the damping medium used and the resonance frequency / temperature characteristic (Temperature dependency) of the quartz crystal is determined. In particular, the volume of the first cavity 18 (volume of the damping medium) determined such that the Change in the resonance frequency due to a displacement of the bearing pin 7 to Weight 9, which is due to a change in volume of the damping medium due to a Temperature change caused, as well as the change in the resonance frequency of the oscillating quartz plates themselves cancel or cancel each other out due to a change in temperature.
Die in Fig. 5 mit c bezeichnete Gerade veranschaulicht die Temperaturabhängigkeit der Kraftempfindlichkeit der erfindungsgemäßen Ausführungsform des Beschleunigungsmessers, der gute Kennwerte in einem weiten Temperaturbereich (-200C bis +600C) aufweist. The straight line labeled c in FIG. 5 illustrates the temperature dependency the force sensitivity of the embodiment of the accelerometer according to the invention, which has good characteristics in a wide temperature range (-200C to + 600C).
Wie aus der vorangegangenen Beschreibung ersichtlich ist, mißt der erfindungsgemäße Beschleunigungsmesser die Beschleunigung durch Erfassen der Schwebungsfrequenz zweier gegenüberliegend angeordneter Schwingquarze, so daß, obwohl der Schwingquarz bzw. die Schwingquarze Verschiebungen bzw. Deformationen an ihrem Halteteil (z.B. den innerhalb des Basisblocks 5 befestigten Teilen) aufgrund von Temperaturänderungen ausgesetzt sind, die hierauf beruhenden Meßfehler sich gegenseitig aufheben, so daß ein Beschleunigungsmesser mit einer guten Temperaturbeständigkeit bzw. guten Temperaturkennwerten erhalten wird. Aufgrund der durch den Balg und die Auflagerpunkte oder Auflagerzapfen gebildeten beweglichen Anordnung ergibt sich ein stabiler, anpassungsfähiger Aufbau, wie auch die thermische Ausdehnung des Dämpfungsmediums einer positiven Verwendung zugeführt wird, indem die auf die Schwingquarze ausgeübte Spannung variabel gehalten wird, wodurch die Resonanzfrequenz/Temperatur-Kennlinie (Temperaturabhängigkeit) bei Einheitsspannungen verbessert wird, wenn die Schwingquarze Spannungen unterworfen werden, so daß ein von Temperaturänderungen unabhängiges Schwingquarz-Beschleunigungsmeßgerät erhalten wird. As can be seen from the preceding description, the measures Accelerometer according to the invention the acceleration by detecting the beat frequency two oppositely arranged quartz crystals, so that although the quartz crystal or the quartz crystal displacements or deformations on their holding part (e.g. the parts fixed within the base block 5) due to temperature changes are exposed to cancel out the measurement errors based thereon, so that an accelerometer with a good temperature resistance or good Temperature characteristics is obtained. Because of the bellows and the support points or support pin formed movable arrangement results in a more stable, more adaptable Structure, as well as the thermal expansion of the damping medium of a positive one Use is supplied by the voltage exerted on the quartz oscillators being variable is held, whereby the resonance frequency / temperature characteristic curve (temperature dependence) at unit voltages is improved if the quartz oscillators are subjected to stresses so that a quartz crystal accelerometer independent of temperature changes is obtained.
Außerdem ist die Verschiebung der Auflagerpunkte oder Auflagerzapfen sogar manuell möglich, wodurch sich eine Korrekturmöglichkeit für die Änderung der Resonanzfrequenz in Abhängigkeit von der Beschleunigung der Schwingquarze ergibt, und da ein Dämpfungsmedium vorhanden ist, wird eine Beschädigung der Schwingquarze aufgrund medEanischer Resonanz des sich bewegenden Systems verhindert und eine in einer kurzen Zenit erfaßte bzw. gemessene Beschleunigung angezeigt. In addition, there is the shifting of the support points or support journals even possible manually, which means that there is a possibility of correction for changing the Resonance frequency as a function of the acceleration of the quartz oscillators, and since a damping medium is present, damage to the quartz crystal will occur because of Medical resonance of the moving system is prevented and one in a short time Acceleration recorded or measured at the zenith is displayed.
Erfindungsgemäß liegt somit ein vorteilhafter Schwingquarz-Beschleunigungsmesser oder Beschleunigungsdetektorvor, bei dem mehrere Schwingquarze einander gegenüberliegend angeordnet sind, wobei ein Ende der Schwingquarze fest angeordnet und das andere Ende frei beweglich ist, ein Gewicht an dem freien Ende befestigt ist1 das ein großes Trägheitsmoment gegenüber der zu messenden Beschleunigung entwickelt, wenn eine Beschleunigung auf das Gewicht ausgeübt wirkt, und wobei die Auslenkung oder Verschiebung dieses Gewichtes aufgrund der damit zusammenhängenden Abweichung der Resonanzfrequenz der Schwingquarze zur Erfassung bzw. Messung dieser Beschleunigung ausgenutzt wird. According to the invention, there is thus an advantageous quartz oscillator accelerometer or acceleration detector, in which several quartz oscillators are located opposite one another are arranged, with one end of the quartz crystal arranged fixedly and the other End is freely movable, a weight is attached to the free end1 which is a large one Moment of inertia with respect to the acceleration to be measured develops when a Acceleration acts on the weight being exerted and being deflected or shifted this weight due to the associated deviation of the resonance frequency the quartz crystal is used to record or measure this acceleration.
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19762618759 DE2618759C3 (en) | 1976-04-28 | 1976-04-28 | Accelerometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19762618759 DE2618759C3 (en) | 1976-04-28 | 1976-04-28 | Accelerometer |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE2618759A1 true DE2618759A1 (en) | 1977-11-10 |
| DE2618759B2 DE2618759B2 (en) | 1978-09-28 |
| DE2618759C3 DE2618759C3 (en) | 1979-05-23 |
Family
ID=5976567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19762618759 Expired DE2618759C3 (en) | 1976-04-28 | 1976-04-28 | Accelerometer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE2618759C3 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2529681A1 (en) * | 1982-07-02 | 1984-01-06 | Thomson Csf | ELASTIC SURFACE WAVE ACCELEROMETER |
| DE4208043A1 (en) * | 1992-03-13 | 1993-09-23 | Bosch Gmbh Robert | Measuring acceleration - using silicon@ crystal spring-mass system which is excited into oscillation and measuring oscillation frequency |
-
1976
- 1976-04-28 DE DE19762618759 patent/DE2618759C3/en not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2529681A1 (en) * | 1982-07-02 | 1984-01-06 | Thomson Csf | ELASTIC SURFACE WAVE ACCELEROMETER |
| DE4208043A1 (en) * | 1992-03-13 | 1993-09-23 | Bosch Gmbh Robert | Measuring acceleration - using silicon@ crystal spring-mass system which is excited into oscillation and measuring oscillation frequency |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE2618759B2 (en) | 1978-09-28 |
| DE2618759C3 (en) | 1979-05-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE3013185C2 (en) | ||
| DE69314350T2 (en) | COMBINATION OF A FORCE AND A TEMPERATURE SENSOR | |
| DE3044430C2 (en) | Method and device for determining the modulus of elasticity E '(ω) and the loss modulus E "(ω) of a visco-elastic material | |
| DE19519488A1 (en) | Rotation sensor for motor vehicle | |
| DE3345885A1 (en) | ACCELEROMETER | |
| DE102021202132A1 (en) | Method for determining a detection sensitivity of a rotation rate sensor | |
| DE10230528B4 (en) | Improvements in a system for eliminating the deviation for a vibrating gyroscope | |
| DE19651384A1 (en) | Packaging seal verification method with acceleration or rotation sensor | |
| DE4040084C2 (en) | Non-contact distance measuring device | |
| DE102021212327A1 (en) | Method and device for determining dynamic parameters of a MEMS device, and MEMS device | |
| DE3843143A1 (en) | SENSOR FOR DETERMINING THE ANGLE SPEED | |
| DE2618759A1 (en) | Acceleration meter using oscillating quartz system - arranged so that inertial acceleration force acts on weight at moving end of quartzes | |
| EP1127253A1 (en) | Capacitive measuring sensor and method for operating same | |
| DE3917611A1 (en) | METHOD FOR CALIBRATING AN ACCELERATOR | |
| DE2144770C2 (en) | Material physical characteristic measurement device - has immersion sensor with resistive surfaces connected to two-directional vibration system | |
| DE3822993A1 (en) | LEVEL INDICATOR | |
| DE3834531A1 (en) | ACCELERATOR | |
| DE3918835C2 (en) | Method and device for determining the dynamic parameters of elastic materials | |
| EP0316644A1 (en) | Measuring device with sensor elements | |
| DE19848878A1 (en) | Detecting changes in physical values associated with multi-component liquids involves using sensitized polymer network operated as transducer which detects change in mass or other mechanical properties and converts it into electrical signal | |
| AT383220B (en) | MEASURING VALUE WITH A PIEZOELECTRIC MEASURING ELEMENT | |
| DE10114482A1 (en) | Rail vehicle axle loading or weight measuring device uses signals provided by force sensors incorporated in track rail | |
| DE2603182C3 (en) | Arrangement for testing mechanical properties of solid plastics | |
| DE4413239A1 (en) | Method for evaluating the measuring signals from a mass flow meter | |
| DE3705471A1 (en) | Force-measuring device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) |