DE2543762A1

DE2543762A1 - Spule zur erzeugung eines magnetfeldes

Info

Publication number: DE2543762A1
Application number: DE19752543762
Authority: DE
Inventors: Thomas Tsung Chen; John Edward Ypma; Clyde Lonzo Zachry
Original assignee: Rockwell International Corp
Current assignee: Boeing North American Inc
Priority date: 1974-10-02
Filing date: 1975-10-01
Publication date: 1976-04-15
Also published as: JPS5545987B2; JPS5161739A; NL7511495A; GB1484807A; FR2287097A1; FR2287097B1

Description

Die Erfindung bezieht sieh auf eine Magnetfeldspule und im spezielien auf eine Spule in gedruckter Schaltungstechnik, die beispielsweise in Einrichtungen verwendet werden kann, bei denen
innerhalb einer großen Fläche ein gleichmäßiges magnetisches
Feld nötig ist, beispielsweise bei den sogenannten feldgesteuerten Blasen-Speichereinrichtungen (field access bubble memory
devices)*

Die vorgenannten feldgesteuerten Blasendomänen-Einrichtungen erfordern zu ihrem Betrieb ein magnetisches Feld» das in einer Ebene rotiert. Dieses ebene rotierende Feld wird im allgemeinen durch Windungen einer Spule hergestellt. Im Idealfall soll die Spule
ein gleichförmiges Feld erzeugen, geringe elektrische Verluste
aufweisen und relativ leicht wiederholbar in derselben Geometrie zu winden sein« Aus einem Draht gewundene Spulen, wie sie gegenwärtig benutzt werden, können die vorgenannten Anforderungen nicht lückenlos erfüllen.

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Bei einer aus Draht gewundenen Spule ist die Stromdichte entlang der Spulenachse gleichmäßig; dies bedingt, daß die magnetische Feldstärke im Spulenzentrum einen Maximalwert hat, wobei sie nach den beiden Enden der Spule hin fortschreitend abfällt«Die Gieren—

zusätzliche mäßigfceit des magnetischen Feldes kann verbessert werden durcit / Windungen in der Nähe der beiden Enden der Spule. Biese Anordnung von zusätzlichen Windungen hat in nicht wünschenswerter Weise zur Folge, daß die Spule eine doch ungewöhnliche Konfiguration erhält, in Verbindung damit, daß die Spulengroße ansteigt. Mit den aus Draht gewundenen Spulen simuntrennbar der Skin-Effekt und der Eigenkapazitäts-Effekt verbunden. Diese Effekte sind primär bedingt durch die Kopplung zwischen den dicht gewundenen Drahtschleifen und bedingen einen Hochfrequenzverlust. Mit Litzen, d.h. mit Leitern, die aus verschiedenen einzelnen Drähten bestehen, können in bekannter Weise die Hochfrequenzverluste ver-.mieden werden. So gut diese Lösung auch ist, sie ist sehr teuer.

Zusammenfassend ist zu sagen, daß die bekannten Verfahren zum Winden einer Spule nicht dazu führen, daß ein gleichförmiges Feld erzeugt werden kann, und daß sie darüber hinaus sehr beschwerlich sind, wobei die Verbesserungen, die notwendig sind, um diese Nachteile zu korrigieren, unwirtschaftlich sind*

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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die vorgenannten Nachteile zu vermeiden und eine Spule anzugeben, die auf vorteilhafte Weise die eingangs genannten Forderungen erfüllt.

Die Lösung dieser Aufgabe gelingt gemäß den kennzeichnenden Merkmalen des Hauptanspruches.

Die erfindungsgemäße Spule ist somit vom Leiterstreifen-Typ, wobei die Windungen auf einer Leiterbahn-Folie geätzt sind, und die Folie ihrerseits von einem isolierenden Filmträger getragen wird. Es werden Leiter mit variierender Breite verwendet und die Streifenleiter-Muster werden in einer Mehrfachschichten-Streifen-Struktur angeordnet, und zwar derart, daß die Leiter in Reihe entlang der Schichtrichtung ausgerichtet sind und nicht in der axialen Richtung.

Zusammenfassend bezieht sich daher die Erfindung auf eine Spule zur Erzeugung eines magnetischen Feldes in der gedruckten Schaltungstechnik, die auf einem flexiblen Leiterbahn-Träger hergestellt wird, indem ein gewünschtes Streifenleiter-Muster herausgeätzt wird, und zwar derart, daß die Leiter variierende Breiten auf der Leiterbahn-Folie haben, die ihrerseits von einem isolierenden Film getragen wird, z*B. kalt gewäztes Kupfer auf einem Polyamid-Film. Das Streifen-Leitermuster auf dem Film wird um

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eine feste Spulenform geschlungen. Die äußeren Enden werden nach Art einer Abbiegung bzw. Abkröpfung verbunden, d.h. versetzt durch eine Zeile von Leitern werden alle Streifenleiter zu einer einzigen Schleife elektrisch verbunden. Die Mehrfachschichten-Struktur wird so aufgebaut, daß die Leiter entlang der Schichtrichtung aufgereiht sind und nicht in der axialen Richtung. Die Leiterlänge, die Leiterbreite und die Abstände zwischen den Leitern werden durch das geätzte Muster vorgegeben. Diese vorgegebene Geometrie und die aneinandergereihten Verbindungen sind der tiefe Grund für die verbesserten Spulenparameter, beispielsweise hinsichtlich der Impedanz, der gleichförmigen Feldverteilung, des Dämpfungsfaktors, der Größe, der Abmessungen und der Hochfrequenz-Arbeitsweise.

Weitere Merkmale, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der Erfindung ergeben sich anhand der Beschreibung von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen.

Es zeigt:

Fig. 1 die Draufsicht auf das Spulen-Streifenleitermuster, bevor es zur Feldspule geschlungen ist;

Fig. 2 einen Schnitt entlang der Linie 2-2 der Fig. 1;

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Pig, 3 eine perspektivische Ansicht der vollständigen Streifenleiter-Spulenwicklung gemäß der Erfindung}

Fig. 3a eine Teilansicht der Pig* 3, wo sich die Leiterteile A, B überlappen;

Fig. 4 einen Schnitt durch eine Streifenleiter-Spule mit unterschiedlichen Streifenbreitenj

Pig* 5a einen Teilschnitt eines auf einer Seite angeordneten Leiters mit doppelter Stärke;

Fig. 5b einen Teilschnitt von doppelseitig angeordneten Leiterstreifen;

Fig. 6a die Endansicht einer Mehrfachschicht-Streifenleiter-Spule, hergestellt aus der doppelseitigen Streifenleiter-Anordnung nach Fig. 5b;

Fig. 6b einen Schnitt entlang der Linie 6b-6b der Fig. 6a; und Fig. 6c eine ungefaltete Leitstreifenbahn der Spule nach Fig. 6a.

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In den Fig. 1 und 2 ist eine L-förmige Streifen-Leitungsanordnung 10 dargestellt, die eine geätzte Le it erbahn folie 11 aufweist, die sich auf einem isolierenden Filmträger 12 befindet. Vorzugsweise wird die Leiterbahnschicht 11 durch Kupfer auf einem Polyamid-Film 12 gebildet. Eine Methode zur Herstellung des Streifen-Leitungsmusters auf der Leiterbahnschicht ist die bekannte photolithographische Technik, die darauf beruht, daß man die Kupferoberfläche mit einer dünnen Schicht von lichtempfindlichem Material bedeckt, die so überzogene Oberfläche durch einsi Photomaster belichtet, wobei diese Photomaster das gewünschte Streifenleitermuster aufweist; es schließt sich dann ein EntwicklungsVorgang" sowie ein Ätzvorgang hinsichtlich des Leitermaterials an, um auf diese Weise das Muster zu erzeugen, beispielsweise das parallele Leiterbahnmuster nach Fig. 1.

hergestellt

Nach Fig.2 kann eine Feldspule mit festen Abmessungen dadurch / werden, daß man zunächst die Streifenleiter-Anordnung 10 nach Fig. um eine nicht dargestellte Spuienform schlingt. Das innere Ende B' des Schenkels 14 der Anordnung 10 wird dabei über die Spulenform geschlungen und wird dann mehrfach mit einer vorgegebenen Zahl von Windungen um diese Form gewunden in Richtung auf das innere Ende B der Fig. 1, währenddessen der kürzere Schenkel aus dem Innern der Windungen nach außen sich erstreckt. Das laschenförmige Ende A des kurzen Schenkels 16 wird anschließend um die Spulenform

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gewickelt und wird schließlich unter einem Winkel von ungefähr lJ5° auf sich selbst gefaltet, so daß die parallelen Leiterbahnen in dem Laschenende A mit den parallelen Leiterbahnen des inneren Endes B fluchten. Danach werden, in eine bevorzugten Ausführungsform, die Leiter im Ende A durch geeignete Mittel, z.B. Löten, elektrisch mit den Leitern im Ende B verbunden, wie aus den Figuren 3 und 3a hervorgeht, wobei sie eine einzige geschlossene Schleife bilden. Auf diese Weise läuft der Strom in der versetzt parallel angeordneten Leiterbahnen in einem kontinuierlichen Strompfad um die geschlossene Schleife. Die Leiterbahnlänge, ihre Breite und die Abstände der einzelnen Leiterbahnen werden durch die dem geätzten Muster innewohnende Genauigkeit vorgegeben. Dadurch erzielt man auch eine erhebliche Genauigkeit in den Spulenparametern, beispielsweise hinsichtlich der Impedanz, der Feldgleichmäßigkeit des Dämpfungsfaktors und der Größe sowie der äußeren Gestaltung.

Eines der Probleme, die bei den konventionellen mit Draht gewickelten Spulen auftreten, ist die Dichtheit der Drahtwindungen, die eine Verkoppelung zwischen den Drähten sowie HochfrequenzVerluste bedingt. Die erfindungsgemäße Vielschicht-Streifenleiterspule 13 wie sie in Pig. 4 gezeigt ist, reduziert wesentlich die Hochfrequenzverluste, und zwar aufgrund von den folgenden zwei Gegebenheiten: Zunächst kann der Abstand zwischen den Schichten oder den

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Säulen 17 von Leiterbahnen in geeigneter Weise durch das vom Photomaster erzeugte Muster so vorgegeben werden, daß ein genügender Abstand zwischen den Leitern vorhanden ist, um auf diese V/eise den oben erwähnten Nachteil der Verkopplung zwischen den Drähten zu vermeiden. Als zweite Gegebenheit kommt der Stromfluß in Betracht. Wenn die Windungen der Spule in Reihe geschaltet sind, dann ist die Folge des Stromflusses so, wie es die Fig. 4 zeigt. Daraus erkennt man, daß der Strom in Reihe durch benachbarte vertikale Gruppen oder Säulen 17 von Leiterbahnen fließt. Der Strom fließt in einer einzigen Reihenschleife von dem Leiter 1 zu dem Leiter 2, dann zum Leiter 3 (die erste vertikale Gruppe oder Säule 17), dann von dem Leiter 3 zum Leiter h, zum Leiter 5 und zum Leiter 6 (die nächste Säule 17), von diesem Leiter 6 zu dem Leiter 7, von dort nach 8 und von dort nach 9 (die nächste Säule 17) und so weiter. Diese Windungs-Anordnung verkleinert die Potentialdifferenzen zwischen benachbarten Windungen und verkleinertdadurch die Hochfregienzrrerluste, die durch die Verkopplung zwischen den Drähten bedingt sind. Diese Windungsanordnung hilft weiterhin, eine ungleichförmige Stromverteilung bei hohen Frequenzen zu verkleinern, die an sich bei Spulen mit parallel gewundenen Schichten auftritt. Die wirksamen Windungen in diesem Windungs schema könneidurch Änderung der Leiterbahnbreite eingestellt werden. Dies bedeutet, daß bei ansteigender Leiterbahnbreite die Zahl der effektiven Windungen der Wicklung erniedrigt wird.

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Bei mit Draht gewickelten Spulen hat die magnetische Feldstärke in dem Spulenzentrum ein Maximum und fällt dann nach beiden Spulenenden hin schrittweise ab. Diese Feldverluste an den Spulenenden können dadurch verbessert werden, daß man zusätzliche Drahtwindungen in der Nähe der beiden Spulenenden anbringt. Diese Wicklungs-Anordnung bedingt jedoch eine ungewöhnliche Gestalt der Spule und vergrößert zudem die Spulengröße. Die vorliegende Erfindung trägt dem Feldabfall an den Enden der Spulen durch Än- -derung der Leiterbahnbreite, wie es die Fig. H zeigt, Rechnung. Das heißt, die Leiterbahnbreite ist entlang der Spulenachse, so wie es erforderlich ist, nach beiden Enden hin verringert, wodurch die Felddichte nach den Enden zu ansteigt, wodurch entlang der Spulenachse ein gleichmäßiges, magnetisches Feld aufgebaut wird. Da die Streifen, wie erwähnt, photolithographisch geätzt sind, kann die Änderung in der Streifenbreite sehr genau gesteuert werden.

Der gesamte Leistungsverlust einer Spule aus Streifenleitern ist abhängig von dem gesamten elektrischen Widerstand. Mit konventionellen, aus Streifenleitern gewundenen Spulenanordnungen, ist der Leistungsverbrauch höher als bei drahtgewundenen Spulen mit denselben Abmessungen. Ein konventioneller Polyamid-Film hat in bekannter Weise eine Leiterdicke von 0^025*1 bis 0,1016 mm (0,001 bis 0,004 inches) und eine Isolatordicke von 0,0254 bis

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0,0508 mm (0,001 bis 0,002 inches). Dies bedingt, daß konventionelle, mit Streifenleitern gewundene Spulen-Konfigurationen relativ unwirksam sind, bedingt durch das niedrige Verhältnis zwischen Leiterfläche und der Wicklungs-Querschnittsflache. Darüber hinaus hat eine Streifenleiterbahn (meist aus plattiertem Kupfer) häufig einen höheren Widerstand als ein fester Drahtleiter. Obgleich der leitfähige Film bis zu einer Dicke von 1/10 mm aufgetragen werden kann, so ist doch zu bedenken, daß ein dicker leitfähiger Film nicht mit einem 'engen Radius aufgewickelt werden kann, weil die Spannung, die in den Spulenwindungen entsteht, die Leiterbahnen aufbrechen läßt, und dadurch den elektrischen Widerstand und den Leistungsverlust der Spulen ansteigen läßt. Hinzu kommt, daß ein Streifen-Leitermuster in den leitfähigen Film geätzt werden muß. Ein dicker leitfähiger Film macht das Ätzen schwieriger, und zwar aufgrund des Verhältnisses von Ätztiefe zu Ätzbreite, wodurch die Ätzverluste in dem Streifenmuster ansteigen und die Lei stungsVerluste der Spule entsprechend ebenfalls ansteigen.

Für minimale Spulengrößen und Leistungsverluste ist eine Streifenleiter-Anordnung nötig, die ein Maximum an Leiterbahndicke und ein Minimum an Isolatordicke aufweist. Die Fig. 5a und 5b zeigen bevorzugte Ausführungsbeispiele einer derartigen Streifenleiter-Spule gemäß der Erfindung, die einen minimalen Leistungsverlust aufweist, und die dazu verwendet werden kann, um in einer magne-

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-Iltischen Blasen-Speichereinrichtung ein ebenes, magnetisches Feld zu erzeugen. Die Gleichmäßigkeit des magnetischen Feldes innerhalb einer Streifenleiter-Spule ist so hoch wie möglich gemacht worden, und zwar dadurch, daß die Oberfläche des leitfähigen Materials, das das Streifenmuster bildet, im Verhältnis zu der Fläche des Isolators vergrößert wird. Entsprechend der vorliegenden Erfindung kann dieses Verhältnis Leiterbahn zu Isolator dadurch so groß wie möglich gemacht werden, indem man, wie es die Fig. 5a zeigt, einseitig eine Streifenleiter-Anordnung 20 vorsieht, die, getragen von einem isolierenden (Polyamid)-Film 22 eine doppelt so dick herausgeätzte Leiter (Kupfer)-Folie 21 im Verhältnis zu konventionellen, einseitig aufgebrachten Streifenleiter-Konfigurationen besitzt. Aus dieser Streifenleiter-Anordnung 20 der Fig. 5a kann in nicht-dargestellter Weise eine Spule hergestellt werden_f die minimale Leistungsverluste aufweist, wenn ein Leiter mit einer optimalen Dicke verwendet wird, die das Doppelte der Leiterschichttiefe bei der Arbeitsfrequenz beträgt.

Für verhältnismäßig niedrige Arbeitsfrequenzen muß die Leiterbahn-Filmschicht entsprechend dick sein, z.B. 0,1778 mm (0,007 inches) für 500 kHz, weil die optimale Arbeitsfrequenz generell umgekehrt proportional zu der Quadratwurzel aus der Leiterschichttiefe ist. Eine dicke Leiterbahn-Polyamid-Schicht ist schwierig insofern, als das Kupfer der Leiterbahnen während des Wickeins der Spule

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zum Aufbrechen tendiert. Hinzukommt, daß ein dickes Leiterbahnmuster in dem chemischen Ätzprozeß definiert herzustellen ist. Fig. 5b zeigt eine doppelseitig im Verhältnis zum Isolator aufgebrachte Streifenleiter-Anordnung 23, die einen Höchstwert hinsichtlich des Verhältnisses Leiterbahn zu Isolator aufweist, und die insbesondere für niedrige Arbeitsfrequenzen geeignet ist.

Die doppelseitige Streifenleiter-Anordnung 23 besteht aus Leiterbahnfolien 24a und 24b, die sich auf der Vorder- bzw. Rückseite eines isolierenden Films 26 befinden. Das Streifenleitermuster ist auf beiden Seiten dieses isolierenden Films 26, wie dargestellt, eingeätzt.

Die Fig. 6a zeigt eine fertig hergestellte Spule 28 mit einer Vielschicht-Streifenleiterstruktur unter Benutzung der doppelseitigen Streifenleiter-Konfiguration 23 der Fig. 5b. Die Bezugszeichen 30 und 32 beziehen sich auf übliche, elektrisch leitende Befestigungsmittel, z.B. Lötverbindungen, um auf geeignete Weise die vorder- und rückseitigen Leiterbahnstreifenmuster 24 a und 24b im Verhältnis zueinander zwischen den Schichten von isolierendem Film 26 aneinanderzureihen (dies geht am besten aus Fig. 6b hervor); die Lötverbindungen sollen gleichzeitig die benachbarten Leiterbahnschichten zusammenhalten, die in einem sehr engen Kontakt miteinander auf demselben elektrischen Potential sind. Die Bezugszeichen 34 und 36 beziehen sich auf die Anschlüsse der

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Spulenenden, an die elektrischenKomponenten, die nicht dargestellt sind, in geeigneter Weise angeschlossen werden können.

Fig. 6b zeigt einen Schnitt entlang der Linie 6b-6b der Fig. 6a, die das Aneinanderreihen der vielschichtigen Leiterstreifen, und zwar der vorder- und rückseitigen Leitertehnfolien 24a und 2¹Ib untereinander. Wenn die Streifenleiter-Anordnung in die Spulen-Konfiguration 28 der Fig. 6a gebracht wird, liegt ein unterseitiger Leiterbahnstreifen 24 unmittelbar benachbart zu einem oberseitigen Leiterstreifen 24a, und zwar zwischen einem Paar von Isolierenden Filmschichten 26. Damit sind die benachbarten ober-

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und unterseitigen Leiterstreifen/miteinander elektrisch parallel über die Spulenwindung verbunden, um damit einen verhältnismäßig dicken Leiterbahnfilm zu bilden, der eine geringere Neigung zum Aufbrechen der Streifenleiter als konventionelle Leiterstreifen-Windungen mit relativ großen Leiterbahnflächen hat.

Bei einer Anordnung, wie sie in Fig. 6b gezeigt ist, ist keine elektrische Isolation zwischen den benachbarten unter- und oberseitigen Leiterstreifenbahnen 24b und 24a notwendig, wodurch die Fläche der Streifenleiterbahnen vergrößert und der Betrag des isolierenden Filmes, d.h. um die Hälfte, verringert wird, im Vergleich zu konventionellen Spulen-Konfigurationen mit einseitig

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angeordneten Streifenleitern. Auf diese Weise sind also der äquivalente Widerstand und der entsprechende sich einstellende

(Metallverluste)

Leistungsverlust und die Ätzverluste/in individuell leitenden Folien einer Streifenleiterspule ausgebildet entsprechend der vorliegenden-Erfindung wesentlich reduziert. Darüber hinaus werden die Schwierigkeiten, die während des Wickeins des Spulenmusters auftreten, im speziellen bei Vielschichtmustern, durch die vorliegende Erfindung verkleinert im Vergleich zu konven-'tionellen Spulen-Konfigurationen mit Streifenleitern.

Die Fig. 6c zeigt einen äquivalenten Leiterbahnpfad der doppelseitigen Streifenleiterspule nach Fig. 6a, und zwar als Teilabwicklung.

Obgleich·verschiedene Materialien zum Aufbau des Streifenleitermusters genannt worden sind, so sind diese Materialien nur beispielsweise zu verstehen. Es versteht sich, daß auch andere geeignete Materialien verwendet werden können. Hinzukommt, daß anstelle der offenbarten photolithographischen Technik zur Herstellung des Streifenleitermusters auf den leitfähigen Folien auch andere geeignete Techniken angewendet werden können.

Im vorstehenden wurde zusammenfassend eine verbesserte Spule zur Erzeugung eines Magnetfeldes in Blasen-Speichereinrichtungen beschrieben. Ein Spulen-Streifenleitermuster mit sich ändernden

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Breiten der Leiterbahnen wird aus einem leitfähigen Film herausgeätzt, der von einem Polyamid-Film getragen wird. Die Streifenleiterschicht wird um eine Spulenform gewunden, und die äußeren Enden der Leiterbahnen werden elektrisch versetzt zueinander angeordnet, um so eine Feldspule mit einer einzigen geschlossenen Schleife aufzubauen. Die Streifenleiterspule ist in einer Vielschichtstruktur angeordnet, bei der die Leiter mit unterschiedlichen Breiten in Reihe entlang der Schichtrichtung und nicht zur axialen Richtung aufgereiht sind, wobei dadurch die magnetische Feldstärke gleichmäßig wird und die Hochfrequenzverluste minimal gehalten werden, und zwar mit einer gleichförmig und leicht gewickelten Spulen-Konfiguration.

Eine Streifenleiterspule mit einem reduzierten Widerstand und entsprechend minimalen Leistungsverlusten kann dadurch erhalten werden, indem man das Verhältnis von Streifenleiterfläche zu isolierender Fläche vergrößert. Dies kann einmal dadurch erhalten werden, indem man eine Spule mit einem einseitig angeordneten Streifenleiter mit doppelter Stärke hinsichtlich des Leiterbahnfilmes verwendet, so ein Ausführungsbeispiel der Erfindung, oder indem man ein doppelseitig angeordnetes Streifenleitermuster ver-wendet, so eine andere Ausfuhrungsform der Erfindung.

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Claims

Patentansprüche

1. / Spule zur Erzeugung eines magnetischen Feldes, dadurch gekennzeichnet, daß ein flexibler Träger vorgesehen ist, auf dem mindestens eine erste leitfähige Schicht auf einer ersten Seite angebracht ist, die eine Vielzahl von Leiterbahnen aufweist, deren Enden elektrisch derart miteinander verbunden sind, daß sie eine geschlossene Schleife bilden.

2« Spule nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Leiterbahnen untereinander versetzt zueinander angeordnet sind.

3» Spule nach Anspruch 2,dadurch gekennzeichn e t, daß die Versetzung eine Leiterbahn-Breite beträgt.

4. Spule nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß die leitfähige Schicht eine L-förmige Konfiguration besitzt mit zwei ersten und zweiten Schenkeln, von denen der erste Schenkel erste und zweite Enden hat und der erste größer als der zweite ist, wobei der zweite Schenkel am zweiten Ende des ersten Schenkels anliegt; daß zunächst der größere freie Schenkel mindestens einmal nach seinem freien Ende hin gewunden wird, daß der kleinere * freie Schenkel

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um den ersten Sehenkel gewunden wird, und zwar in einer Richtung, die senkrecht zur Windungsrichtung des größeren freien Schenkels ist, und daß der gewundene kleinere freie Schenkel unter einem Winkel von 45° auf sich selbst gefaltet wird, wobei die Leiterbahnen in dem freien Ende des größeren Schenkels mit den Leiterbahnen in dem kleineren freien Schenkel verbunden werden.

5. Spule nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzei chnet, daß die Leiterbahnen zueinander parallel angeordnet sind,

6« Spule nach Anspruch !,dadurch gekennzeichnet, daß die Breite der Leiterbahnen unterschiedlich ist zwecks Steuerung der magnetischen Feldstärke und der Gleichförmigkeit des magnetischen Feldes.

7* Spule nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Breitender Vielzahl der Leiterbahnen, bezogen auf die Spulenmitte, progressiv, abnehmen, und zwar entlang der Spulenwicklungsachse, wodurch progressiv die Dichte des magne-• tischen Feldes nach außen entlang dieser Wieklungsachse ansteigt.

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8« Spule nach Anspruch !,dadurch gekennzeichn e t, daß die Dicke zumindest einiger der Leiterbahnen ungefähr das Zweifache ihrer Schichttiefe beträgt.

„ Spule nach Anspruch 1, dadurch. gekennzeichnet, daß auf beiden Seiten des Trägers mindestens eine
leitfähige Schicht mit einer Vielzahl von Leiterbahnen vorgesehen 1st, die elektrisch derart miteinander verbunden sind_s daß sie eine geschlossene Schleife bilden.

10. Spule nach Anspruch 9* dadurch gekennzeichnet» daß mehrere Schichten von beidseitig beschichteten
Trägern vorgesehen sind, die so angeordnet sind, daß jeweils die leitenden Schichten der einen Seite eines Trägers der
anderen leitenden Schicht eines anderen Trägers-' unmittelbar benachbart gegenüberliegt»

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