DE2458398A1 - Phasen-messvorrichtung fuer ein bewegtes element - Google Patents
Phasen-messvorrichtung fuer ein bewegtes elementInfo
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Description
Tsu 3097
Sony Corporation, Tokyo / Japan
Phasen-Meßvorrichtung für ein bewegtes Element
Die Erfindung betrifft eine Phasen-Meßvorrichtung für ein bewegliches Element mit einer Reihe darauf
angebrachter Magnete, insbesondere auf eine Phasen-Meßvorrichtung
für ein magnetisch gesteuertes Signal, dessen Phasendifferenz mit hoher Genauigkeit ermittelt
wird.
. Zur Bestimmung der Phasendifferenz eines magnetisch gesteuerten Signales finden bisher mit einer Vielzahl
von Spalten versehene Magnetköpfe gemäß Fig. 1 Verwendung.
Wie Fig. 1 zeigt, besitzen zwei Vielspalt-Magnetköpfe 20A, 20B eine Anzahl von Spalten g mit
der Selektivität einer Wellenlänge. Die Vielspalt-Magnetköpfe 20A, 20B enthalten eine Anzahl von in Reihe
miteinander geschalteten und in regelmäßigen Abständen angeordneten Magnetköpfen 20. Der Magnetkopf 20 trägt
einen Kern 21, auf den eine Spule 22 aufgebracht ist,
"Selektivität einer Wellenlänge" bedeutet die Funktion, aus einem zusammengesetzten Signal verschiedener Frequenzkomponenten
selektiv Signale mit bestimmten Frequenzen herauszufinden. Stellen die Vielspalt-Magnetköpfe wiederholte
magnetische Flußänderungen (erzeugt durch die Reihe der Magnete) fest, so bedeutet der Ausdruck "Wellenlängen-Selektivität"
die Funktion, selektiv Flußänderungen fest-
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zustellen, deren Wellenlängen den zweifachen, vierfachen, sechsfachen usw. Wert des Abstandes zwischen benachbarten
Spalten des Vielspalt-Magnetkopfes betragen.
Läuft ein normaler Magnetkopf parallel zur Reihe der Magnete, so ändert sich die Frequenz und Amplitude
des festgestellten sinusförmigen Ausgangssignales mit der Laufgeschwindigkeit des Magnetkopfes. Bleibt der
Magnetkopf stehen, so liefert er kein Ausgangssignal.
Bei einer bekannten Meßvorrichtung wird dem in Fig. 2
dargestellten Magnetkopf 20 eine Wechselspannung mit
f
der Frequenz ■* zugeführt. Diese Wechselspannung reicht aus, um den Magnetkopf beinahe zu sättigen. Am Ausgangsanschluß 23 erhält man stets ein Ausgangssignal mit der Frequenz f. Bleibt der Magnetkopf 20 stehen, so liefert er ein Ausgangssignal entsprechend dem an der Stoppstelle vorhandenen Magnetfluß.
der Frequenz ■* zugeführt. Diese Wechselspannung reicht aus, um den Magnetkopf beinahe zu sättigen. Am Ausgangsanschluß 23 erhält man stets ein Ausgangssignal mit der Frequenz f. Bleibt der Magnetkopf 20 stehen, so liefert er ein Ausgangssignal entsprechend dem an der Stoppstelle vorhandenen Magnetfluß.
Die Vielspalt-Magnetköpfe 20A, 20B entsprechen sich hinsichtlich des Magnetflusses. Der Abstand zwischen
den Vielspalt-Magnetköpfen 20A und 20B beträgt (n + -π-) Tvm, wobei η = 0, 1, 2 und 7\,m eine Wellenlänge
darstellt (vgl. Fig. 1). Eine Wechselspannung V sin —^ t wird dem einen Vielspalt-Magnetkopf 20A zugeführt.
Der andere Vielspalt-Magnetkopf 20B wird mit einer Wechselspannung V cos —~- t gespeist, die gegenüber
der Spannung V sin -4j- t um 90° in der Phase verschoben
ist. Werden die Vielspalt-Magnetköpfe 20A, 20B um χ aus der in Fig. 1 dargestellten Lage versetzt, unter
Einhaltung des Abstandes zwischen diesen Magnetköpfen 20A, 20B, so ergeben sich an denJAusgangsanschlüssen 23,
23' folgende Ausgangsspannungen V. und Vß:
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V. = .-h-.y sin tot* cos 4^- x .,.....,(1)
A Tllll
_. = h*V cos ißt ' sin ·=τ-^ χ .,.......(2)
χ? fv m
In den obigen Gleichungen ist h eine Konstante, die von der Form der Vielspalt-Magnetköpfe 20A3 2OB, von
dem Spaltverlust, der Wellenlängen-Selektivität und von weiteren Einzelgrößen abhängt. Die Konstante wird
durch den Abstand 7Ve zwischen benachbarten Spalten bestimmt, durch den Abstand (n + jr) %τα zwischen den Viel
spalt-Magnetköpfen 2OA, 2OB, durch die Wellenlänge der aufgezeichneten Signale usw. Die Ausdrücke
2 /T1"1 27f
cos τς— χ und sin s—— χ in den obigen Gleichungen stellen die Amplitudenänderungen der Ausgangsspannungen V. und VR
cos τς— χ und sin s—— χ in den obigen Gleichungen stellen die Amplitudenänderungen der Ausgangsspannungen V. und VR
2 If
dar. Die Trägerwelle V sin tut ist mit cos ,s-~- χ amplitudenmoduliert
gegenüber der.Äusgangsspannung V.. Die Trägerwelle V cos 40t ist gegenüber der Aus gangs spannung Vn um
2 Ψ
sin —u* χ amplitudenmoduliert. Durch Addition der Aus-Tb111
gangsspannung V. zur Ausgangsspannung V„ ergibt sich ein
magnetisch gesteuertes Signal Vp:
Vp = VA + VB = h-Vsin (^t +|^x) (3)
Ist die Verschiebung χ ein geradzahliges Vielfaches der Wellenlänge Mn, so kann sie durch die Wellenlängen-Selektivität
der Vielspalt-Magnetköpfe 2OA, 2OB ausgewertet werden. Ist dagegen die Verschiebung χ kein ganzzahliges
Vielfaches der Wellenlänge % m oder bleiben die Vielspalt-Magnetköpfe 2OA, 2OB an einer Stelle stehen,
an der die Spalte g von der entsprechenden Grenzlinie zwischen benachbarten Magneten abweichen, so kann diese
Abweichung nicht durch die Wellenlängen-Selektivität ausgewertet werden.
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Eine Phasendifferenz entsprechend einer Länge der Verschiebung, die kürzer als eine Wellenlänge "7Vm ist,
kann mittels einer Meßmethode bestimmt werden, die eine Schaltung gemäß Fig. 3 benutzt.
Gemäß Fig. 3 wird ein Bezugssignal R einer Schmidt-Schaltung 25 zugeführt. Als Bezugssignal R wird ein
Signal V sin tct verwendet, das in Fig. 4a dargestellt
ist. Die Schmidt-Schaltung 25 erzeugt ein Rechtecksignal gemäß Fig. 4c. Fig. 4b veranschaulicht die
Spannung Vp gemäß Gleichung 3. Die Spannung Vp ist
2 TT
gegenüber dem Bezugssignal R in der Phase um —— χ
A/m
verschoben. Sie wird einer weiteren Schmidt-Schaltung zugeführt, die das Rechtecksignal gemäß Fig. 4d liefert.
Es ist gegenüber der Rechteckwelle der Fig. 4d in der
Phase um -=r-^· χ verschoben. Die Rechteckwellen der Fig. 4c
/vm
und 1Jd werden einer UND-Schaltung 27 zugeführt, die Impulse
(gemäß Fig. 4e) mit der Breite ■—- χ liefert. Diese Impulse
gelangen als Torsignale zu einer Torschaltung 28. Solange diese Impulse zugeführt werden, können Zählimpulse
eines Zählimpulsgenerators 29 durch die Torschaltung 28 zum Ausgangsanschluß 30 gelangen. Fig. 4f
zeigt das Ausgangssignal an diesem Ausgangsanschluß 30. Der Abstand zwischen benachbarten Zählimpulsen ist eine
meßbare Einheit der Phasendifferenz, die als bestimmter Bruchteil der Wellenlänge 7\, m dargestellt wird. Die der
2 Tb
Phasendifferenz -~- χ entsprechende Länge kann somit durch Auszählen der Zählimpulse während eines Torintervalles gemessen werden.
Phasendifferenz -~- χ entsprechende Länge kann somit durch Auszählen der Zählimpulse während eines Torintervalles gemessen werden.
In der Schaltung gemäß Fig. 3 bestimmt ein Integrator 31 die Richtung der Bewegung der Vielspalt-Magnetköpfe
20A, 20B. Werden,diese Magnetköpfe in Fig. 1 nach rechts
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bewegt, so liefert der Integrator 31 an seinem Ausgangsanschluß 32 ein Sägezahnsignal gemäß Fig. 4g. Bewegen
sich die Magnetköpfe 2OA, 20B dagegen nach links (gemäß Fig. 1), so erhält man am Ausgangsanschluß 32 des Integrators
das Sägezahnsignal gemäß Fig. 4h. Fig. 4g zeigt ein aufsteigendes und Fig. 4h ein absteigendes Sägezahnsignal.
Durch Differentiation dieser Sägezahnsignale gemäß Fig. 4g bzw. 4h erhält man positive bzw. negative
Impulse. Die Bewegungsrichtung der Vielspalt-Magnetköpfe 20A, 20B und damit die Richtung der Phasenänderung
kann auf diese Weise festgestellt werden.
. Die oben beschriebene Meßmethode unter Verwendung von Vielspalt-Magnetköpfen ist mit zahlreichen Nachteilen
behaftet. Die Magnetköpfe 20 benötigen Spulen und bedingen damit einen komplizierten Aufbau. Die Meßvorrichtung
ist ferner empfindlich gegenüber Temperaturänderungen sowie Störeinflüssen äußerer Magnetfelder.
Da ferner die Frequenz der Bezugsspannung doppelt so groß wie die der Spulenspeisespannung ist, wird eine
Frequenz-Vervielfachung oder Teilung notwendig.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Phasen-Meßvorrichtung für ein bewegtes Element
mit darauf angebrachten Magneten zu schaffen, die die Nachteile der bekannten Ausführungen vermeidet, bei der
insbesondere die Ausgangssignale der Meßvorrichtungweniger verzerrt sind, die eine größere Genauigkeit
besitzt, bei der die Frequenz des Bezugssignales gleich der Frequenz der Speisespannung ist, die sich weiterhin
durch einen einfachen Aufbau, eine Unabhängigkeit von äußeren Temperatureinflüssen und von äußeren-Magnetfeldänderungen
auszeichnet.
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Diese Aufgabe wird durch die im Anspruch 1 gekennzeichneten Merkmale gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen
der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
In der Zeichnung zeigen
Fig. 1 eine Schemadarstellung einer bekannten Meßvorrichtung
für ein magnetisch gesteuertes Signal, unter Verwendung von Vielspalt-Magnetköpfen;
Fig. 2 eine schematische Stirnansicht eines einzelnen Magnetkopfes, der zu dem Vielspalt-Magnetkopf
der Fig. 1 gehört;
Fig. 3 ein Blockschaltbild einer in der bekannten Meßvorrichtung verwendeten Phasendifferenzschaltung;
Fig. Ha bis Hh Diagramme zur Erläuterung der Funktion
der bekannten Meßvorrichtung gemäß den Fig. 1 bis 3;
Fig. 5 eine Aufsicht auf ein bei der erfindungsgemäßen Meßvorrichtung verwendetes magnetoresistives
Element;
Fig. 6 ein schematisches Schaltbild zur Erläuterung des Prinzips des magnetoresistiven Elementes
gemäß Fig. 5;
Fig. 7 ein Diagramm zur Erläuterung der Beziehung
zwischen einer Änderung der Ausgangsspannung
des magnetoresistiven Elementes und der Richtung des auf das magnetoresistive Element wirkenden
Magnetfeldes;
509825/077 5
Pig. 8 ein Ersatz-Schaltbild zu Pig. 5;
Pig. 9 'eine Schemadarstellung eines magnetoresistiven
Vielfach-Elementes gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung;
Pig. 10 bis 12 schematische Darstellungen anderer Ausführungsbeispiele erfindungsgemäßer
magnetoresistiver Vielfach-Elemente;
Fig. 13 eine Schemadarstellung zur Erläuterung der Beziehung zwischen den von einer Reihe von
Magneten ausgehenden Signal-Magnetflüssen
und einem magnetoresistiven Vielfach-Element;
Fig. m eine vergrößerte Aufsicht auf einen Teil eines
magnetoresistiven Vielfach-Elementes;
Fig. 15 eine Aufsicht auf ein magnetoresistives Vielfach-Element ;
Fig. 16 eine Schemadarstellung zur Erläuterung eines
Ausführungsbeispieles der erfindungsgemäßen Meßvorrichtung für ein magnetisch gesteuertes
Signal;
Fig. 17 eine schematische Darstellung eines weiteren Ausführungsbeispieles der Erfindung;
Fig. 18a, b und c Schemadarstellungen zur Erläuterung
weiterer Ausführungsbeispiele der Erfindung;
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Fig. 19 eine perspektivische Ansicht einer rotierenden Magnet-Skala, bei der ein Ausführungsbeispiel der Erfindung eingesetzt ist.
Gegenstand der älteren Anmeldung P 24 33 645.6 (vom 12.7.1974) der Anmelderin ist ein neuartiges magnetoresistives
Element. Gegenstand der weiteren Anmeldung P 24 53 540.8 ist ein magnetoresistives Vielfach-Element
mit einer Wellenlängen-Selektivität unter Verwendung des magnetoresistiven Elementes der erstgenannten Anmeldung.
Im folgenden seien zunächst die Grundzüge des Gegenstandes
der beiden erwähnten älteren Anmeldungen erläutert.
Das in Fig. 5 veranschaulichte magnetoresistive Element
enthält auf einer aus Glas bestehenden Grundplatte 1 Filmstreifen A und B aus ferromagnetischem Material mit einem
anisotropen magnetoresistiven Effekt, beispielsweise aus Nickel-Kobalt. Die Filmstreifen A und B sind im Vakuum-Auf
dampf -Verfahr en auf die Grundplatte 1 aufgebracht.
Sie können statt dessen auch auf der Grundplatte 1 in einem Ätzverfahren hergestellt werden, nachdem zuvor
ein Film aus ferromagnetischem Material auf die ganze Oberfläche der Grundplatte 1 aufgebracht wurde. Die Streifen
A und B enthalten eine Anzahl von Hauptstromwegteilen 2A, 2B und eine Anzahl von Verbindungsteilen 3A, 3B. Die
Hauptstromwegteile 2A laufen senkrecht zu den Hauptstromwegteilen 2B. Ein Ende 4A des letzten Hauptstromwegteiles
2A ist mit dem einen Ende 4B des ersten Hauptstromwegteiles 2B verbunden. Demgemäß sind die Streifen A und B
in Reihe miteinander geschaltet. Ein Ausgangsanschluß ist mit dem Verbindungspunkt der Streifen A und B verbunden
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Ein Stromzuführanschluß 7A ist mit dem Ende 6k des ersten
Hauptstromwegteiles 2A verbunden; ein weiterer Stromzuführaischluß
7B ist an das eine Ende 6B des letzten Hauptstromwegteiles 2B angeschlossen.
Wie aus Fig. 6 hervorgeht, sind die Stromzuführanschlüsse
7A und 7B mit einer Stromquelle 8 verbunden·. Der Anschluß 7B liegt ferner an Masse. Auf diese Weise wird
ein Meßkreis 9 zur Bestimmung der Richtung des Magnetfeldes H geschaffen.
Ein Magnetfeld H, das in seiner Stärke ausreicht, um die aus ferromagnetisehern Material bestehenden Streifen
A und B zu sättigen, wirkt auf die Streifen A und B unter
einem Winkel θ gegenüber der Längsrichtung der Hauptstromwegteile
2A des Streifens A. Die Widerstände ? A und §ß
der Streifen A und B ergeben sich aus folgenden Gleichungen:
2 Q 2
" θ + >,, cos θ (H)
" θ + >,, cos θ (H)
^B = ^l cos29 + %/ sin2e ....(5)
Hierbei ist Sj- der Widerstand des ferromagnetisehen
Streifens A bzw. B bei Sättigung durch ein Magnetfeld,
das senkrecht zur Stromflußrichtung des ferromagnetisehen
Streifens A oder B verläuft; 5// ist der Widerstand des
ferromagnetischen Streifens bei Sättigung durch ein Magnetfeld, das parallel zur Stromflußrichtung des ferromagnetischen
Streifens A bzw. B verlauft.
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Die Spannung Vg am Ausgangsanschluß 5 ergibt sich
wie folgt: ' .
V = —
Θ 9
wobei VQ die Spannung der Stromlinie 8 ist. Setzt man
die Gleichungen 4 und 5 in Gleichung 6 ein, so erhält man
V λ ^ cos 2Θ
ν = ° - 3-4 r-' V ■ (7)
θ . 2 2( C? , , + Q .) Vo Kl)i
wobeii-j- '.j
In der Gleichung 7 gibfr der erste Ausdruck eine Standard-Spannung
Vo wieder (V = —%— ), während der zweite Ausdruck
S Si.
einer Änderung Δ Vq der Ausgangsspannung entspricht.
Dieser zweite Ausdruck läßt sich umformen in
• cos 2Θ »V (8)
wobei 2 § = %, . +Sx bedeutet und $* der Widerstand des
ferromagnetischen Streifens A oder B ist, wenn kein Magnetfeld auf den ferromagnetischen Streifen wirkt.
Wie Pig. 7 zeigt, ist die Änderung der Ausgangsspannung ein Minimum bei Richtungen 0° und l80° der Magnetfelder H
und ein Maximum bei den Richtungen 90° und 270° der Magnetfelder H. Die Änderung der Ausgangsspannung verläuft
sinusförmig.
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Pig. 8 zeigt ein Ersatz-Schaltbild zu Fig. 5. Da sich
die Widerstände der ferromagnetischen Streifen A und B mit der Richtung des Magnetfeldes H ändern, können die
ferromagnetischen Streifen A und B als veränderliche Widerstände betrachtet werden.
Im folgenden sei nun ein magnetoresistives Vielfach-Element
erläutert, das die oben erwähnte Wellenlängen-Selektivität besitzt und eine Form aufweist, wie sie
bei einem später erläuterten bevorzugten Ausführungsbeispiel verwendet wird.
Fig. 9 zeigt die Beziehung zwischen einem bevorzugten Ausführungsbeispiel eines magnetoresistiven 'Vielfachelementes
10 und wiederholten Magnetpaaren 11 einer Reihe von Magneten. Die wiederholten Magnetpaare werden durch
zahlreiche kleine Magnete gebildet. Die Länge von zwei benachbarten Magneten, d.h. die Wellenlänge der sich
wiederholenden, magnetischen Flußänderungen, beträgt Twm.
Bei dem magnetoresistiven Vielfach-Element ist eine magnetoresistive Streifengruppe A in Reihe zu einer
anderen magnetoresistiven Streifengruppe B geschaltet. In der Gruppe A sind die beiden ferromagnetischen
Streifen A gemäß Fig. 5 elektrisch miteinander in Reihe geschaltet. Der Abstand zwischen den beiden ferromagnetischen
Streifen A beträgt 7^e (= ^p ). In entsprechender
Weise sind in der Gruppe B die beiden ferromagnetischen Streifen B gemäß Fig. 5 elastisch miteinander in Reihe
geschaltet. Der Abstand zwischen den beiden ferromagnetischen Streifen B beträgt Tu . Auch der Abstand zwischen
dem rechten ferromagnetischen Streifen b der Gruppe A und dem linken ferromagnetischen Streifen c der Gruppe B
beträgt 7v»e. Ein Ausgangsanschluß 12 ist an einen Ver-
.5 0 9 825 /0775
bindungspunkt der Gruppen A und B angeschlossen. Die Stromquelle 8 ist mit dem linken ferromagnetischen Streifen
a der Gruppe A verbunden. Der rechte ferromagnetische Streifen d der Gruppe B ist an Masse angeschlossen. Bei
diesem Ausführungsbeispiel sind für die Gruppen A und B jeweils zwei ferromagnetische Streifen A und B verwendet.
Es können jedoch für die Gruppen A und B ganz allgemein n-ferromagnetische Streifen A und B benutzt werden, wobei
η = 2, 3, M ....
Werden die magnetoresistiven Streifen a, b, c und d nahe den Mittelteilen der Magnete angeordnet, die die
Magnetpaare 11 bilden, so wirken die Magnetfelder H auf die magnetoresistiven Streifen a, b, c und d unter Winkeln
von 90°, 270°, 90° und 270°; man erhält daher am Ausgangsanschluß 12 des magnetoresistiven Vielfach-Elementes
10 eine maximale Ausgangsspannung (vgl. Fig. 7)·
Sind die Abstände zwischen den magnetoresistiven Streifen a' und b1, b» und c', c» und d' nicht gleich -^ ,
wie in Pig. 9 gestrichät angedeutet, so verringert sich
die Ausgangsspannung. Demgemäß kann das magnetoresistive
Vielfach-Element eine Wellenlängenselektivität besitzen und kann genau die Länge von drei Wellen ausmessen, wenn
\» = -^r ist. Wenn K = -^ k (wobei k = 1, 2, 3 .·.), so
wc e <~
wirken, allgemein ausgedrückt, die Magnetfelder H auf die magnetoresistiven Streifen a, b, c und d unter demselben
Winkel oder unter Winkeln, die gegeneinander um l80° verschoben sind; das magnetoresistive Vielfach-Element besitzt
daher Wellenlängen-Selektivität. Die Komponenten der Wellenlängen, die durch das magnetoresistive Vielfach-Element
ausgewertet werden können, vergrößer sich mit der Zahl der magnetoresistiven Streifen. Die Meßgenauigkeit
kann daher durch die Anzahl der magnetoresistiven Streifen verbessert werden.
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Pig. 10 veranschaulicht ein anderes Ausführungsbeispiel
für die Formgebung des magnetoresistiven Vielfach-Elementes.
Die Gruppen A und B liegen durch eine Isolierschicht oder eine Grundplatte getrennt über—einander.
Fig. 11 und 12 zeigen weitere Formen des magnetoresistiven
Vielfach-Elementes. '
Bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 11 werden nur ferromagnetische Streifen des Typs A verwendet. Die
Gruppen A und A-1- sind elektrisch in Reihe miteinander
geschaltet. Bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. B sind nur ferromagnetische Streifen des Typs B verwendet.
Die Gruppen B und B' sind auch hier elektrisch in Reihe
miteinander geschaltet. Der Abstand % · zwischen den Gruppen
A und A1 oder zwischen den Gruppen B und B' ist gleich
(| k + }■■)"^m (vgl. Fig. 11 und 12). Wirkt das Magnetfeld H
auf den magnetoresistiven Streifen b der Gruppe A unter " einem Winkel von 90°, so wirkt es auf den magnetoresistiven
Streifen c der Gruppe A1 unter dem Winkel 0° (vgl. Fig.13)
Das Magnetfeld H wirkt auf den magnetoresistiven Streifen c des ferromagnetisehen Streifens d unter dem Winkel 90°
bzw. 270°. Demgemäß wirkt das Magnetfeld H auf das ganze magnetoresistive Vielfach-Element 10 der Fig. 9 unter
dem Winkel 90° bzw. 270°. Ein Ausgangsanschluß 12 nimmt
daher eine maximale Ausgangsspannung ab; das magnetoresistive
Vielfach-Element 10 besitzt demzufolge Wellenlängen-Selektivität.
Fig. 14 zeigt eine vergrößerte Aufsicht auf einen Teil des magnetoresistiven Vielfach-Elementes 10 gemäß
Fig. ll. Verbindungsteile 45 der magnetoresistiven Streifen
A sind aus ferromagnetisehen Filmen hergestellt. Die
509825/0775
Breite W der Verbindungsteile 45 ist so groß, daß sich der
Widerstand des Verbindungsteiles 45 mit dem äußeren Magnetfeld
nicht ändert. Die Breite W ist praktisch etwa, zehnmal so groß wie die Breite w des Hauptstromteiles 2A.
Fig. 15 zeigt eine Aufsicht auf die Gesamtanordnung
des magnetoresistiven Vielfach-Elementes 10, wie es bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel verwendet wird. Auf
der Grundplatte 1 sind zwei Gruppen A oder B und A' oder B' vorgesehen. Die Gruppen A oder B und.A1 oder B' enthalten
jeweils 10 magnetoresistive Streifen, die durch die Verbindungsteile 45 miteinander verbunden sind. Auf der Grundplatte
1 sind außerdem noch die Stromzuführanschlüsse 7A, 7B und der Ausgangsanschluß 12 ausgebildet.
Erfindungsgemäß werden zwei der oben erläuterten magnetoresistiven
Vielfach-Elemente benutzt. Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im folgenden näher
erläutert.
Gemäß Fig. 16 sind Ausgangsanschlüsse 4lA, 4lB mit magnetoresistiven Vielfach-Elementen 4OA, 40B verbunden.
Parallel-Widerstände 42A, 42B mit beweglichen Kontakten 43A, 43B bilden zusammen mit den magnetoresistiven Vielfach-Elementen
40A, 40B Brücken. Eine Wechselspannungsquelle 44a mit einer Spannung ν sin ύύ t ist an das magnetoresistive
Vielfach-Element 40A angeschlossen, während eine Wechselstromquelle 44B mit einer Spannung ν cosoit (diese
mit gegenüber der Spannung V sinWt um 90° phasenverschoben ist), ist an das magnetoresistive Vielfach-Element 40B
angeschaltet. Die beiden Elemente 4OA und 40B sind um einen
1 1
Abstand d = (-^m + 7τ)7γ,ΐη voneinander getrennt, wobei m = 0, 1, 2, 3 ··.· Der Abstand d ist zwischen dem letzten magnetoresistiven Streifen des magnetoresistiven Vielfach-
Abstand d = (-^m + 7τ)7γ,ΐη voneinander getrennt, wobei m = 0, 1, 2, 3 ··.· Der Abstand d ist zwischen dem letzten magnetoresistiven Streifen des magnetoresistiven Vielfach-
509825/0775
Elementes 40A und dem ersten magnetoresistiven Streifen
des magnetoresistiven Vielfach-Elementes 40B gemessen (vgl. Fig. 16).
Die Ausgangsspannungen V. und V„ an den Ausgangsanschlüssen
41A und 4lB lassen sich wie folgt ermitteln:
Es werden die Richtungen der zusammengesetzten magnetischen Flüsse gegenüber den ferromagnetischen Streifen A und B
ermittelt. Demgemäß erhält man bezüglich der ferromagnetischen Streifen A und B die Gesamtwiderstände §A0 und §ß0
die sich mit den Richtungen der zusammengesetzten Magnetflüsse ändern. Die Aus gangs spannung v\. und Vß ergibt
sich aus folgenden Gleichungen:
V = . V sin^t =
3AO + >
B0
sin wfcos (— 1 + ^- x ) (9)
m Am
cosiüt =
sin (H 1 + OLx) (10)
Hierbei bedeutet 1 die Breite der ferromagnetischen Streifen A oder B und D eine Konstante für das ferromagnetische
Vielfach-Element 40A bzw. 40B, entsprechend der
Konstanten h in den Gleichungen 6 und 7.
Der erste Ausdruck in den Gleichungen 9 und 10 entspricht Bezugsspannungen, die jedoch ausgelöscht werden durch die
Differentialfunktion der Brücken, die die Parallel-Widerstände
42A und 42B enthalten. Demgemäß ergeben sich zwischen
509 8 2 5/0775
den Ausgangsanschlüssen 4lA und 43A bzw. zwischen den
Ausgangsanschlüssen 4lB und 43B Ausgangsspannungen ^V.
und ΔVn gemäß folgenden Beziehungen:
AVA = D'V slnO)t · cos (|-^ 1 + ~A x) (n)
t »sin (^l + ij|x) .........(12)
Diese Gleichungen 11 und 12 entsprechen den Gleichungen 1 bzw. 2. Die Trägerwellen V sin^üt und V cos£*>t sind
bezüglich der Ausgangsspannungen AV und Δν amplitudenmoduliert.
Die Ausgangsspannung AVgWird von der Ausgangsspannung
ÄV. subtrahiert:
kit Verglichen mit Gleichung 3 ist die Phasendifferenz ^— χ
doppelt so groß wie -^- x. Da ^— 1 eine Konstante ist,
7um /um ij ß-
wird die Messung bezüglich der Phasendifferenz =-— χ ausgeführt.
Bei der Messung wird das magnetisch gesteuerte Signal ΔνΛ n der Schmidt-Schaltung 26 zugeführt.; die Spannunp
V sin£üt gelangt als Bezugssignal R zur Schmidt-Schaltung
25 (vgl. die Meßschaltung gemäß Fig. 3). Torimpulse mit
2 7Γ 4 I^
der Breite (^rt β1 + —— x) werden dann von der UND-Schaltung 27 geliefert.
der Breite (^rt β1 + —— x) werden dann von der UND-Schaltung 27 geliefert.
Fig. 17 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung. Magnetoresistive Vielfach-Elemente 4OA' und 40B·
bilden zusammen mit den magnetoresistiven Vielfach-Elementen 40A und 40B (anstelle der Parallel-Widerstände 42A und 4 2B
gemäß Fig. 16) Brücken. In den Gleichungen 9 und 10 können
509 825/077 5
dann wie beim ersten Ausführungsbeispiel der Pig. 16 die ersten Ausdrücke gestrichen werden.
Die Fig. l8a, b und c zeigen weitere Ausführungsbeispiele der Erfindung. Hierbei können die magnetoresistiven
Vielfach-Elemente 40A und 40B von Pig. Il oder 12 verwendet werden. Ein magnetoresistives Vielfach-Element
ist teilweise über den anderen magnetoresistiven Element angeordnet.
Gemäß Fig. 18a bilden die nicht dargestellten Parallel-Widerstände
42A und 42B zusammennit den magnetoresistiven
Elementen 4OA und 1IOB Brücken, wie bei der Ausführung
gemäß Fig. 16. Bei den Anordnungen der Fig. 18b und l8c bilden die magnetoresistiven Vielfach-Elemente
4üA' und 1IOB1 Brücken zusammen mit den magnetoresistiven
Vielfach-Elementen 1IOA und 1IOB (wie im
Falle der Fig. 17). Bei den Fig. 18a, b und c ist d=(-|· m + -g·) 7Lm und d1 = (λ' = |- k + ^) Ttm, wobei m und k
= 0, 1, 2, 3 ··. Die Verbindungen sind dieselben wie bei den Ausführungsbe.ispielen der Fig. 16 und 17.
Fig. 19 veranschaulicht ein bevorzugtes Anwendungsbeispiel
der Erfindung. Hierbei ist eine rotierende Trommel, die an ihrem Umfang eine Reihe von Magneten trägt, mit
einem magnetoresistiven Vielfach-Element kombiniert.
Gemäß Fig. 19 ist eine rotierende Trommel 47 auf einer
Welle 46 befestigt. Eine stationäre, ringförmige Grundplatte 1 ist konzentrisch zur rotierenden Trommel 47
angeordnet. Am Umfang der rotierenden Trommel 47 ist
eine Reihe von Magneten 11 ausgebildet bzw. angeordnet. Auf der Oberseite der ringförmigen Grundplatte 1 sind
eine Anzahl von magnetoresistiven Vielfach-Elementen
509825/0775
und 4OA2 vorgesehen, und zwar sehr nahe an der Reihe der
Magnete 11. Diese magnetoresistiven Vielfach-Elemente 1IOA. und 1JOAp sind miteinander in der Art des Ausführungsbeispieles
der Fig. 17 verbunden. Auf diese Weise kann der Phasenwinkel der Drehbewegung der Trommel
117 festgestellt werden.
Bei der erfindungsgemäßen Anordnung wird im Gegensatz
zu der üblichen Ausführung mit Vielspalt-Magnetköpfen keine Erregerspule benötigt, und es. ergibt sich eine
sehr einfache Konstruktion. Da bei den bekannten Ausführungen mit Vielspalt-Magnetköpfen die Frequenz der
Ausgangsspannung doppelt so groß wie die Frequenz der
der Erregerspule zugeführten Eingangsspannung ist, muß das Bezugssignal R gesondert bereitgestellt werden.
Demgegenüber kann bei der erfindungsgemäßen Lösung die
Spannung der Wechselstromquelle gleich als Bezugssignal R benutzt werden. Da ferner die Spannung der Trägerwelle
einem einfachen Widerstand und nicht einer Erregerspule zugeführt wird, ergibt sich im Ausgangssignal eine
geringere Verzerrung. Nachdem die Frequenz nicht begrenzt ist, bereitet die Dimensionierung der Schaltung keine
Schwierigkeiten. Eine Erhöhung der Meßgenauigkeit ergibt sich schließlich aus der Tatsache, daß die Phasendifferenz
für die Messung vom Wert (-^j- χ >
»r-™-· χ).
Das magnetoresistive Element wird in einem Sättigungs-Magnetfeld verwendet. Es wird infolgedessen durch ein
äußeres Magnetfeld oder durch ein nicht gleichmäßiges Magnetfeld der Reihe der Magnete nicht beeinträchtigt.
Wenngleich sich der Widerstand des magnetoresistiven Elementes mit der Temperatur ändert, sind die Änderungen
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von Δ % und $ sehr klein, da sich S. . und >x in
der Gleichung-4 gleichzeitig mit der Temperatur ändern.
Die Ausgangsspannung wird demgemäß durch Temperaturänderungen kaum beeinflußt.
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Claims (13)
1.) Meßvorrichtung zur Bestimmung eines Synchronismus
zwischen einem bewegten Element mit davon getragenen magnetischen Elementen und einem Bezugssignal, dadurch gekennzeichnet, daß an eine Stromquelle magnetoresistive
Elemente angeschlossen sind, die nahe, den magnetischen
Elementen angeordnet sind, und daß ferner Vergleichselemente vorgesehen sind, die eine Phasendifferenz
zwischen dem Bezugssignal und einem magnetisch gesteuerten Signal ermitteln, das von
der Stromquelle zusammen mit den magnetoresistiven
Elementen und den magnetischen Elementen erzeugt wird.
2. Meßvorrichtung zur Bestimmung eines Synchronismus zwischen einem bewegten Element mit davon getragenen
magnetischen Elementen und einem Bezugssignal, gekennzeichnet durch:
a) magnetische Elemente;
b) erste und zweite magnetoresistive Elemente, die voneinander um einen vorbestimmten Abstand entfernte
und nahe den magnetischen Elementen angeordnet sind, wobei jedes dieser magnetoresistiven Elemente erste
und zweite magnetoresistive Streifengruppen aus ferromagnetische!!! Material enthält, wobei die erste
und zweite Gruppe elektrisch in Reihe miteinander geschaltet und voneinander urn einen vorbestimmten
Abstand entfernt· sind und wobei ferner die magnetoresistiven
Streifengruppen mit den magnetoresistiven Streifen elektrisch miteinandei in Reihe geschaltet
5 0 9-825/0775
und voneinander um einen vorbestimmten Abstand entfernt sind;
c) einen Ausgangsanschluß, der mit einem Verbindungspunkt zwischen den ersten und zweiten magnetoresistiven
Streifengruppen jedes magnetoresistiven Elementes verbunden ist;
d) Stromzuführanschlüsse, die mit den beiden Enden jedes der magnetoresistiven Elemente verbunden
sind;
e) eine erste Wechselstromquelle, die zwischen die Stromzuführanschlüsse des ersten magnetoresistiven
Elementes geschaltet ist;
f) sowie eine zweite Wechselstromquelle, deren Spannung gegenüber der Spannung der ersten" Wechselstromquelle
um 90 in der Phase verschoben ist und die zwischen die Stromzuführanschlüsse des zweiten magnetoresistiven
Elementes geschaltet ist.
3. Meßvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der vorbestimmte Abstand zwischen
den ersten und zweiten magnetoresistiven Elementen
1 1
gleich ( Tj m + £ ) "Km ist, wobei m = 0, 1, 2 ... und A^
gleich ( Tj m + £ ) "Km ist, wobei m = 0, 1, 2 ... und A^
der Wellenlänge einer Kombination von zwei benachbarten Magneten unter den magnetischen Elementen entspricht.
4. Meßvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß Widerstände zusammen mit den ersten und zweiten magnetoresistiven Elementen zwei Brücken bilden.
509825/077 5
5. Meßvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß durch weitere Widerstände zusammen mit weiteren magnetoresistiven Elementen weitere Brückenpaare
gebildet werden.
6. Meßvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Ausgangssignal einer Brücke vom Ausgangssignal
der anderen Brücke zur Bildung eines Differenz-Ausgangssignales subtrahiert wird.
7. Meßvorrichtung zur Messung einer Phasen-Differenz zwischen einem bewegten Element mit davon getragenen
magnetischen Elementen sowie einem.Bezugssignal, gekennzeichnet durch:
a) erste und zweite magnetoresistive Elemente, die voneinander um einen vorbestimmten Abstand entfernt
und nahe an magnetischen Elementen angeordnet sind, wobei die ersten und zweiten Elemente aus
ersten und zweiten Streifengruppen aus ferromagnetschem Material bestehen, wobei ferner die ersten
und zweiten Gruppen in Reihe miteinander geschaltet und voneinander um einen vorbestimmten Abstand
entfernt sind und zwischen sich einen Ausgangsanschluß bilden, und wobei weiterhin die Streifengruppen
in Reihe miteinander geschaltete und voneinander um einen vorgegebenen Abstand entfernte
magnetoresistive Streifen enthalten;
b) eine erste Stromquelle, die zwischen die äußeren Enden des ersten Elementes geschaltet ist;
509825/0775
c) eine- zweite Stromquelle, die zwischen die äußeren Enden des zweiten Elementes geschaltet ist und
gegenüber der ersten Stromquelle eine Phasenverschiebung
von 90° aufweist. .
8. Meßvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekenn- '
zeichnet, daß die magnetischen'Elemente eine Reihe
von Magneten bilden. ■''-·■
9. Meßvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß Widerstände zusammen mit den ersten
und zweiten Elementen ein Paar Brücken bilden.
10. Meßvorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet,
daß das Ausgangssignalder einen Brücke zwecks
Bildung eines Differeriz-Ausgangssignales vom Ausgangssignal
der einen Brücke zwecks Bildung eines Differenz-Ausgangssignales vom Ausgangssignäl der
anderen Brücke subtrahiert wird.
11. Meßvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,
daß das Differenz-Ausgangssignal und das Bezugssignal einer Phasenvergleichsschaltung zur
Bestimmung der Phasendifferenz zugeführt werden, wobei das Bezugssignal dieselbe Frequenz wie die
erste und zweite Stromquelle besitzt.
12. Meßvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß Paare anderer magnetoresistiver
Elemente gleichfalls nahe den magnetischen Elementen
angeordnet sind. '
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- 2k -
13. Verfahren zur Bestimmung der Phasendifferenz zwischen einem bewegten Element und hiervon getragenen magnetische
Elementen und einer Bezugsfrequenz, dadurch gekennzeichnet, daß
a) erste und zweite magnetoresistive Elemente nahe den magnetischen Elementen angeordnet werden,
b) daß das erste Element von einer ersten Wechselstromquelle und das zweite Element von einer zweiten
Wechselstromquelle gespeist wird, die um gegenüber der ersten Stromquelle phasenverschoben
ist,
c) daß die Ausgangssignale der ersten und zweiten Elemente zur Bildung eines magnetisch gesteuerten
Signales kombiniert werden,
d) daß dieses magnetisch gesteuerte Signal mit der Bezugsfrequenz verglichen wird, wobei die Frequenz
der Wechselstromquellen dieselbe ist wie die Bezugsfrequenz und daß
e) die Phasendifferenz durch den Vergleich des magnetisch gesteuerten Signales mit der Bezugsfrequenz bestimmt
w ird.
509825/0775
is
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13898773A JPS5725766B2 (de) | 1973-12-12 | 1973-12-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE2458398A1 true DE2458398A1 (de) | 1975-06-19 |
| DE2458398C2 DE2458398C2 (de) | 1988-09-08 |
Family
ID=15234821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19742458398 Granted DE2458398A1 (de) | 1973-12-12 | 1974-12-10 | Phasen-messvorrichtung fuer ein bewegtes element |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US3993946A (de) |
| JP (1) | JPS5725766B2 (de) |
| DE (1) | DE2458398A1 (de) |
| FR (1) | FR2254818B1 (de) |
| GB (1) | GB1492980A (de) |
| NL (1) | NL7416226A (de) |
Families Citing this family (38)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6123822Y2 (de) * | 1975-12-23 | 1986-07-16 | ||
| JPS6045804B2 (ja) * | 1978-02-28 | 1985-10-12 | 日本電気株式会社 | 角度検出器 |
| JPS54118259A (en) * | 1978-03-06 | 1979-09-13 | Nec Corp | Angle detector |
| JPS54148578A (en) * | 1978-04-18 | 1979-11-20 | Nec Corp | Rotating direction detector |
| JPS5559314A (en) * | 1978-10-27 | 1980-05-02 | Sony Corp | Magnetic scale signal detector |
| US4255708A (en) * | 1978-12-15 | 1981-03-10 | International Business Machines Corporation | Magnetoresistive position transducer with invariable peak signal |
| US4418372A (en) * | 1979-08-02 | 1983-11-29 | Hitachi, Ltd. | Magnetic rotary encoder |
| US4265114A (en) * | 1979-10-15 | 1981-05-05 | Nicholas Anderson | Liquid level indicator for a reservoir |
| JPS6047988B2 (ja) * | 1979-12-19 | 1985-10-24 | 株式会社日立製作所 | 磁気ヘツド |
| FR2495764A1 (fr) * | 1980-12-10 | 1982-06-11 | Alpia Sa | Appareil de mesure d'elements de geometrie avec affichage |
| JPS57154014A (en) * | 1981-03-20 | 1982-09-22 | Hitachi Ltd | Magnetic rotary encoder |
| DE3126806A1 (de) * | 1981-07-07 | 1983-01-27 | Siemens Ag | Digitaler messsensor, seine verwendung und verfahren zu seiner herstellung |
| JPS58148914A (ja) * | 1982-03-02 | 1983-09-05 | Fanuc Ltd | パルスコ−ダ |
| JPS595914A (ja) * | 1982-07-02 | 1984-01-12 | Hitachi Ltd | 磁気的に位置を検出する装置 |
| US4603295A (en) * | 1982-07-15 | 1986-07-29 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Two-headed DC magnetic target proximity sensor |
| JPS5956518U (ja) * | 1982-10-08 | 1984-04-13 | パイオニア株式会社 | 位置検出装置 |
| AT384675B (de) * | 1982-12-07 | 1987-12-28 | Voest Alpine Ag | Verfahren zur ermittlung der differenz der anzahl der umdrehungen von zwei wellen od.dgl. sowie schaltungsanordnung zur durchfuehrung dieses verfahrens |
| JPS6086412A (ja) * | 1983-10-19 | 1985-05-16 | Hitachi Ltd | 磁気検出装置 |
| JPS61206588A (ja) * | 1985-03-11 | 1986-09-12 | Ibiden Co Ltd | 接続式ガウジング用カ−ボン電極棒 |
| US4785241A (en) * | 1985-08-08 | 1988-11-15 | Canon Denshi Kabushiki Kaisha | Encoder unit using magnetoresistance effect element |
| JPH0660824B2 (ja) * | 1985-08-14 | 1994-08-10 | 株式会社日立製作所 | 絶対位置検出装置 |
| DE3639208A1 (de) * | 1986-11-15 | 1988-05-19 | Bosch Gmbh Robert | Magnetoresistiver sensor zur abgabe von elektrischen signalen |
| WO1988006717A1 (en) * | 1987-02-24 | 1988-09-07 | Renishaw Plc | Scales for position determining apparatus |
| DE3739023A1 (de) * | 1987-11-17 | 1989-05-24 | S & S Elektronik Geraetebau | Verfahren zur messung und korrektur der stoesselverstellung bei schnellaufenden hubpressen und schaltung zur durchfuehrung des verfahrens |
| DE8801538U1 (de) * | 1988-02-07 | 1988-04-21 | Schmid, Stefan, Dipl.-Ing. (FH), 7504 Weingarten | Elektronisches Gerät mit Wegsensor zur Leistungserfassung beim Krafttraining mit Gewichten |
| DE3829279A1 (de) * | 1988-08-30 | 1990-03-01 | Angewandte Digital Elektronik | Verlaengerung der messstrecke eines positionsgebers |
| NL8900750A (nl) * | 1989-03-28 | 1990-10-16 | Philips Nv | Inrichting voor het meten van een relatieve verplaatsing. |
| US5696445A (en) * | 1994-09-26 | 1997-12-09 | Phase Metrics | Method and apparatus for testing the resistive properties of magneto resistive materials using a time variable magnetic field |
| US5675250A (en) * | 1995-04-28 | 1997-10-07 | Caterpillar Inc. | Angular position sensor having no physical electrical contact between a rotating portion and a stationary portion of the sensor |
| JPH0974782A (ja) * | 1995-09-05 | 1997-03-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | モータの制御装置 |
| US6784659B2 (en) * | 2001-12-05 | 2004-08-31 | Honeywell International Inc. | Magnetoresistive speed and direction sensing method and apparatus |
| DE102004010948B4 (de) * | 2004-03-03 | 2008-01-10 | Carl Freudenberg Kg | Winkelmesseinrichtung |
| CN101115967B (zh) * | 2005-02-04 | 2012-06-06 | 劳尔·德尔加多·阿卡热塔 | 子弹计数器、用于自动或半自动枪械的弹夹以及该枪械 |
| JP4288676B2 (ja) * | 2005-09-30 | 2009-07-01 | 日立金属株式会社 | 磁気エンコーダー |
| JP4240402B2 (ja) * | 2005-12-02 | 2009-03-18 | 日立金属株式会社 | 磁気エンコーダー |
| US8046946B2 (en) * | 2006-08-11 | 2011-11-01 | Packer Engineering, Inc. | Shot-counting device for a firearm |
| US20080252285A1 (en) * | 2007-02-28 | 2008-10-16 | Caterpillar Inc. | Machine with a rotary position-sensing system |
| US10119841B2 (en) * | 2014-10-24 | 2018-11-06 | Mitsubishi Electric Corporation | Magnetic position detection device and magnetic position detection method |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1138240B (de) | 1959-09-23 | 1962-10-18 | Siemens Ag | Messwertumformer |
| US3597749A (en) * | 1968-01-29 | 1971-08-03 | Sony Corp | Magnetic heads utilized as a displacement measuring instrument |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3331045A (en) * | 1967-07-11 | Galvano-magnetic semiconductor field plate | ||
| DE1185227B (de) * | 1963-07-25 | 1965-01-14 | Siemens Ag | Abtasteinrichtung mit Hallgenerator fuer periodische magnetische Aufzeichnungen |
| US3426270A (en) * | 1966-07-13 | 1969-02-04 | Sinclair Research Inc | Method for determining magnetic tape correlation |
| US3691502A (en) * | 1968-04-24 | 1972-09-12 | Kogyo Gijutsuin | Semiconductor type potentiometer device |
| JPS4835017B1 (de) * | 1968-10-02 | 1973-10-25 |
-
1973
- 1973-12-12 JP JP13898773A patent/JPS5725766B2/ja not_active Expired
-
1974
- 1974-12-04 US US05/529,403 patent/US3993946A/en not_active Expired - Lifetime
- 1974-12-05 GB GB52657/74A patent/GB1492980A/en not_active Expired
- 1974-12-10 DE DE19742458398 patent/DE2458398A1/de active Granted
- 1974-12-12 NL NL7416226A patent/NL7416226A/xx not_active Application Discontinuation
- 1974-12-12 FR FR7440993A patent/FR2254818B1/fr not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1138240B (de) | 1959-09-23 | 1962-10-18 | Siemens Ag | Messwertumformer |
| US3597749A (en) * | 1968-01-29 | 1971-08-03 | Sony Corp | Magnetic heads utilized as a displacement measuring instrument |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| DE-AS 11 38 240 * |
| In Betracht gezogene ältere Anmeldung * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5091348A (de) | 1975-07-22 |
| JPS5725766B2 (de) | 1982-06-01 |
| DE2458398C2 (de) | 1988-09-08 |
| FR2254818B1 (de) | 1978-09-22 |
| NL7416226A (nl) | 1975-06-16 |
| FR2254818A1 (de) | 1975-07-11 |
| GB1492980A (en) | 1977-11-23 |
| US3993946A (en) | 1976-11-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
| D2 | Grant after examination | ||
| 8364 | No opposition during term of opposition |