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DE2330161A1 - IMPROVED CIRCUITS AND METHOD OF MANUFACTURING THEREOF - Google Patents

IMPROVED CIRCUITS AND METHOD OF MANUFACTURING THEREOF

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Publication number
DE2330161A1
DE2330161A1 DE2330161A DE2330161A DE2330161A1 DE 2330161 A1 DE2330161 A1 DE 2330161A1 DE 2330161 A DE2330161 A DE 2330161A DE 2330161 A DE2330161 A DE 2330161A DE 2330161 A1 DE2330161 A1 DE 2330161A1
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DE
Germany
Prior art keywords
conductive
dielectric substrate
holes
pillars
predetermined pattern
Prior art date
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Ceased
Application number
DE2330161A
Other languages
German (de)
Inventor
Jun Murray Olyphant
Robert R Rohloff
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
3M Co
Original Assignee
Minnesota Mining and Manufacturing Co
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Filing date
Publication date
Application filed by Minnesota Mining and Manufacturing Co filed Critical Minnesota Mining and Manufacturing Co
Priority to DE2330161A priority Critical patent/DE2330161A1/en
Publication of DE2330161A1 publication Critical patent/DE2330161A1/en
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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Combinations Of Printed Boards (AREA)

Description

Verbesserte ochal-tkreise und und Verfahren zu deren Herstellung Die vorliegende Erfindung betrifft gedruckte Schaltungen und insbesondere Verfahren zum Verbinden elektrischer mit gedruckten Schaltkreisen.IMPROVED OCHING CIRCUITS AND AND METHOD FOR MANUFACTURING THEIR The present invention relates to printed circuit boards and, more particularly, to methods for connecting electrical and printed circuits.

5 sind verschiedene herkömmliche Verfahren zum Verbinden von Halbleiterrschaltkreisen mit gedruckten Schaltungen verfügbar.5 are various conventional methods of connecting semiconductor circuits available with printed circuits.

Nach diesem Verfahren verwendet man üblicherweise hochstehende leitende buckel, die entweder auf deci Talbleiterelement oder auf der gedruckten Schaltung angeora£iet sind, oder ausragende Leitungsenden, verformbare Lotkugelchen oder leitende, nicht verformbare Kügelchen.This method usually uses high level conductive ones humps that are either on deci Talconductor element or on the printed circuit board are arranged, or protruding cable ends, deformable solder balls or conductive, non-deformable beads.

Diese Verfahren haben bestimmte liachteile. beis1ielsweise konnen Kurzschlüsse zwischen benachbarten Leiterrbahnen der gedruckten Schaltungen oder auf dem Halbleiterelement selbst auftreten, wenn man die Technik des Verfahrens nicht genau im Griff hat.These procedures have certain drawbacks. for example, you can Short circuits between adjacent conductor tracks of the printed circuits or occur on the semiconductor element itself when considering the technique of the process not exactly under control.

Weiterhin kann ein unerwünschter Lotrückfluß die Leiterbahnen entlang aus der Verbindungszone heraus stattfinden. weiterhin gewährleisten diese Verfahren nicht aus sich heraus eine Abstandhaltung zwischen dem tialbleiterelement und der gedruckten Schaltung. Insbesondere sind die Verfahren nach dem Stand der Technik im allgemeinen sehr teuer und erfordern mehrere Verfahrensschritte.Furthermore, an undesirable flow of solder back along the conductor tracks take place out of the connection zone. continue to ensure these procedures not in and of itself a spacing between the tialbleiterelement and the printed circuit. In particular, the methods are according to the prior art generally very expensive and require several processing steps.

Die vorliegende Erfindung schafft Verfahren und Schaltungen, um Halbleiterelemente mit weiteren Schaltkreisen zu verbinden. Das Verfahren gewährleistet eine genaue Abstandhaltung zwischen Halbleiterelement und gedruckter Schaltung und eliminiert die unerwünschten kurzschlüsse zwischen eng benachbarten Leiterbahnen auf dem Element und der gedruckten Schaltung. Weiterhin tritt keinerlei Lotrückflu@ entlang den iieiterbrnen aus den Verbindungszonen heraus auf.The present invention provides methods and circuits to Semiconductor elements to be connected to other circuits. The procedure ensures an accurate Distance between the semiconductor element and the printed circuit and eliminated the undesired short circuits between closely spaced conductor tracks on the element and the printed circuit. Furthermore, no solder return flow occurs along the They burn out from the connection zones.

Die Verfahren nach uer vorliegenden rfindung erfordern weniger Verfahrensschritte und weniger Steuerung als die Methoden des Standes der Technik. Die Anwendung der neuartigen Verfahren erlaubt es, unmodifizierte Halbleiteranordnungenn (d.h. solche ohne vorstehende buckel) schnell und sicher mit gedruckten Schaltungen so zu verbinden, ohne Kurzschlüsse oder Schüden befürchten zu müssen.The processes according to the present invention require fewer process steps and less control than the prior art methods. The application of the novel processes allow unmodified semiconductor devices (i.e. such without protruding humps) to be connected quickly and safely to printed circuits in such a way that without having to fear short circuits or damage.

Sach der vorliogenden Erfindung umfa@t das Verfahren zur Anbrinngung eines Halbleiter chips auf einer gedruckten Schaltung folgende Schritte : (a) an sieht ein eines dielektrisches Substrat mit einer mit einer oberfläche verbundenen dünnen leitenden Schicht vor; (b) Man sieht ein vorbestimmtes muster einer Vielzahl von Löchern in dem dielektrischen Substrat vor, die sich durch das Substrat hindurch erstrecken und tjit der Unterseite der leitenden Schicht in Verbindung stehen; (c) Nun bildet in den Offnungen leitende Säulen aus, die elektrisch mit der Unterseite der leitenden Schicht in Verbindung stehen und von denen ein Teil zur Verbino.un mit weiteren elektrischen Schaltkreisen zur gegenüberlie genden Oberfläche hin frei liegt; (d) Nun wandelt die lei-i,ende schicht in ein vorbestimmtes muster von leitenden Auflageflächen um, wobei jede leitende huflagefläche in elektrischer Verbindung mit einer separaten leitenden Säule steht; (e) Man verbindet die Kontaktflächen eines @albleiterelements mit den offenliegenden eilen der leitenden Sauren.The subject matter of the present invention includes the method of attachment a semiconductor chip on a printed circuit, the following steps: (a) on provides a dielectric substrate with one bonded to a surface thin conductive layer before; (b) One sees a predetermined pattern of a plurality of holes in the dielectric substrate extending through the substrate extend and communicate with the underside of the conductive layer; (c) Now forms conductive pillars in the openings, which electrically connect to the underside the conductive layer and some of which are connected to the Verbino.un with further electrical circuits to the opposite lowing surface freely lies; (d) Now the lei-i, end layer transforms into a predetermined pattern of conductive material Pads around, with each conductive pad in electrical communication with a separate head Pillar stands; (e) One connects the Contact surfaces of a semiconductor element with the exposed parts of the conductive ones Acids.

Die Erfindung sieht weiterhin einen durchgehenden streifen mit gedruckten Schaltungen vor, von denen Jede auf einer ioeite ein Halbleiterelement aufnehmen kann, wobei Leitungen zu weiteren elektrischen Schaltkreisen auf der entgegen esetzten Oberfläche vorgesehen sind. Jede gedruckte Schaltung weist auf (a) ein dünnes flexibles dielekbrisches Substrat mit einer Dicke im bereich von etwa o,oo25 bis 0,25 nun; (b) ein vorbestimmtes Muster von leitenden Auflageflächen, die mit einer uberfläche des dielektrischen Substrats fest verbunden sind und eine Dicke von weniger als etwa o,127 mm haben; (c) eine Vielzahl von leitenden aulen, die sich durch das Substrat hindurch erstrecken und deren eines Ende elektrisch in Verbindung steht mit einer einzigen leitenden Auflagefläche auf der einen Oberfläche des dielektrischen oiubstrats und deren anderes bnde auf der entgegengesetzten Oberfläche des dielektrischen Substrats offenliegt; wobei das offenliegende Ende der leitenden Säulen einen Ort bilden, der ein Ralbleiterelement in leitender Verbindung aufnehmen kann.The invention also provides a continuous strip with printed Circuits, each of which accommodates a semiconductor element on one side can, with lines to other electrical circuits on the opposite one Surface are provided. Each printed circuit board has (a) a thin flexible one dielectric substrate ranging in thickness from about 0.025 to 0.25 mm; (b) a predetermined pattern of conductive pads that meet a surface of the dielectric substrate are firmly bonded and have a thickness of less than about 0.17 mm; (c) a plurality of conductive pillars extending through the substrate extend therethrough and one end of which is in electrical communication with a single conductive bearing surface on one surface of the dielectric substrate and the other band thereof on the opposite surface of the dielectric substrate exposed; the exposed end of the conductive pillars forming a place which can hold a conductor element in conductive connection.

Die Erfindung wird nun im einzelnen unter bezug auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben, in denen gleiche bezugszahlen gleiche Elemente bezeichnen: Fig. 1 ist eine Perspektivansicht eines durchgehenden Streifens von gedruckten Schaltungen; Sig. 2 ist eine Schnittansicht des Streifens mit gedruckten ochaltungen nach ig. 1; Fig. 3, 4 und 5 zeigen aufeinanderfolgende Schritte in der Durchführung der Erfindung; Fig. 6 zeigt eine weitere Form, in der die Erfindung ausgeführt werden kann; Fig. 7 zeigt eine weitere Art gedruckter Schaltungen, die in der Durchführung der vorliegenden Erfindung nützlich sind.The invention will now be described in more detail with reference to the accompanying drawings Drawings in which like numerals indicate like elements: Figure 1 is a perspective view of a continuous strip of printed circuit boards; Sig. 2 is a sectional view of the strip with printed circuit boards of FIG. 1; Figures 3, 4 and 5 show sequential steps in implementation the Invention; Figure 6 shows another form in which the invention can be carried out can; Fig. 7 shows another type of printed circuit which is in implementation of the present invention are useful.

Die ßig. . 1 zeigt einen durchgehenden Streifen 1o aus Material, wie es für gedruckte Schaltun en verwendet wird, mit einem sich wiederholender leitender Auflageflächen 14, die an einer Oberfläche des Substrats 12 befestigt sind. Die leitenden Auflageflächen 14 liegen voneinander auf ;1bstand und haben innere Enden 16, die zu einem gemeinsamen Flächenteil des Substrats zusammenlaufen. Richt gezeigte Säulen 20 erstrecken sich durch das Substrat 12 und stehen elektrisch in Verbindung mit den leitenden Auflageflächen 4 auf einer Oberfläche des Substrats.The thirty. . 1 shows a continuous strip 1o of material such as it is used for printed circuit boards, with a repeating conductive Support surfaces 14 which are fastened to a surface of the substrate 12. the Conductive bearing surfaces 14 rest from one another, are spaced and have inner ends 16, which converge to form a common surface part of the substrate. Properly shown Pillars 20 extend through substrate 12 and are in electrical communication with the conductive bearing surfaces 4 on a surface of the substrate.

Die Teile 21 der leitenden Säulen 20 liegen offen an der oberen Oberfläche des Substrats und bilden Orte, die später ein nalbleiterelement in elektrisch leitender Verbindung aufnehmen.The parts 21 of the conductive pillars 20 are exposed on the upper surface of the substrate and form places that later become an electrically conductive element To get in touch.

Beispielsweise läßt sich ein @albleiterelement auf das Substrat auf bringen und dann mit den 'i'eilen 21 über dünne Drähte elektrisch verbinden; weiterhin ist es möglich, ein @albleiterelement ausgerichtet über die Leib 21 zu legen und mit diesen nach dem Wendeverfahren ("flip-chip bonding") zu verbinden.For example, an semiconductor element can be placed on the substrate bring and then electrically connect to the 'i' parts 21 via thin wires; Farther it is possible to place a semiconductor element aligned over the body 21 and to be connected to these using the flip-chip bonding method.

Die Fig. 2 zeigt eine Schnittansicht durch die gedruckte Schaltung der Fig. 1 entlang der Schnittlinie 2-2. Typischerweise hat das dielektrische Substrat 12 eine Dicke von 2,5 bis 250 Mikrometern. Vorzugsweise eingesetzte dielektrische Substrate bestehen aus dünnen flexiblen Polyimid-, Polyester-, Acrylharz-, Fluorocarbon-, Polysulfon-, Polyamid-, Polyolefin- und Silikonfilmen und aus glasfaserverstärkten thermoplastischen Kunststoffen.Fig. 2 shows a sectional view through the printed circuit of Fig. 1 along section line 2-2. Typically the dielectric substrate 12 a thickness of 2.5 to 250 micrometers. Preferably used dielectric Substrates consist of thin flexible polyimide, polyester, acrylic resin, fluorocarbon, Polysulfone, polyamide, polyolefin and silicone films and made of glass fiber reinforced thermoplastics.

Die leitenden Auflageflächen 14 sind vorzugsweise metallisch und bestehen bspw. aus aluminium, iuf er, wickel, Silber, Gold und dergl. Legierungen dieser iqetalle - miteinander oder mit anderen Metallen wie Eisen oder obalt - sind ebenfalls sehr brauchbar. Ebenso haben sich Bimetallstreifen - bspw. aus lotüberzogenem Aluminium oder goldplattiertem ickel - als brauchbar eriesen. Die Dicke der leiten Auflageflächen mul ausreichen, um eine elektrische Le@tung zuzulassen, und kann bis etwa 125 Mikrometer betragen, obgleich man aus wirtschaftlichen Gründen eine Dicke von 25 Mikrometern im all0'emeinen vorzieht.The conductive bearing surfaces 14 are preferably metallic and consist, for example, of aluminum, iuf er, winding, silver, gold and similar alloys these metals - with each other or with other metals such as iron or obalt - are also very useful. Likewise, bimetal strips - e.g. made of solder-coated Aluminum or gold-plated nickel - proved to be useful. The thickness of the guide Support surfaces must be sufficient to allow electrical conduction, and can to about 125 micrometers, although for economic reasons one Thickness of 25 micrometers is generally preferred.

Die leitenden Säulen 20 haben typischerweise einen Durchmesser im Bereich von 100 bis 250 Mikrometer. Die Lange, mit der der Yeil 21 über die Oberfläche des Substrats 12 hinausragt, liegt im allgemeinen im Bereich von 0 bis 250 Likrometern.The conductive pillars 20 typically have a diameter of Range from 100 to 250 microns. The length with which the Yeil 21 crosses the surface protruding from the substrate 12 is generally in the range of 0 to 250 micrometers.

Die leitenden Säulen 20 bestehen vorzugsweise aus Metallen wie Zinn/Bei-Lot, Gold, Nickel, Kupfer und deren kombinatione, obgleich auch andere leitende Materialien wie Aluminium, Silber, Indium und Zinn einsetzbar sind.The conductive pillars 20 are preferably made of metals such as tin / bei-solder, Gold, nickel, copper and their combinations, although other conductive materials as well such as aluminum, silver, indium and tin can be used.

Die gedruckte Schaltung 10 läßt sich nach verschiedenen Verfahren herstellen. Vorzugsweise bildet man in einem dielektrischen Substrat zuerst eine Vielzahl von Kochern in einem vorbestimmten Muster aus, wobei auf eine Oberfläche des Substrats eine durchgehende leitende Schicht fest aufgebracht ist. Die 1ig. 3 zeigt unter dem bezugszeichen 30 eine Vorstufe einer solchen platine aus einem dielektrischen Substrat 12 mit einer auf eine Oberfläche desselben aufgebrachten durchehenden leitenden schicht 13. Das Substrat 12 ist bereits mit Löchern 15 versehen, die sich zur Unterseite der leitenden Schicht 13 hindurch erstrecken.The printed circuit 10 can be made by various methods produce. Preferably, one first forms one in a dielectric substrate A plurality of cookers in a predetermined pattern, being on a surface a continuous conductive layer is firmly applied to the substrate. The 1ig. 3 shows, under the reference number 30, a preliminary stage of such a circuit board from one dielectric substrate 12 having a coated on one surface thereof continuous conductive layer 13. The substrate 12 is already provided with holes 15, which extend to the underside of the conductive layer 13 therethrough.

Die Löcher 15 lassen sich nach herkömmlichen Verfahrensweisen vorsehen - bspw. durch chemische Bearbeitung (bsuw. gemäß der US-PS 3.395.057), Laser-, Elektronenstrahl- oder mechanisches Bohren, Schleifverfahren oder dergl.The holes 15 can be provided in accordance with conventional procedures - e.g. by chemical processing (e.g. according to US-PS 3,395,057), laser, electron beam or mechanical drilling, grinding or the like.

Sodann werden die Löcher 15 - verb Fig. 4 - mit den leitenden Säulen 20 versehen. Die leitenden Säulen 20 liegen an der Unterseite der leitenden Schicht 13 an und sind elektrisch mit dieser verbunden, während die Teile 21 der leitenden Säulen 20 offen liegen bleiben; hier werden sie später mit weiteren Schaltungselementen - bspw. Ralbleiter- oder anderen Bauelomenten -verbunden. Die leitende Schicht 13 wird sodann nach herkömmlichen Verfahrensweisen (bspw. Abdecken mit @hotolack und Ätzen) zu einem vorbestimmten @uster von leitenden Auflageflächen 14 (vergl. Fig. 1 und 2) umgewandelt. Das vorbestimmte Muster der leitenden Auflageflächen muß so ausgebildet sein daß die zusammenlaufenden Enden 16 der leitenden @uflageflüchen 14 mit einem Ende der leitenden Säulen 20 in elektrischer Verbindung stehen.Then the holes 15 - verb Fig. 4 - with the conductive columns 20 provided. The conductive pillars 20 lie on the underside of the conductive layer 13 and are electrically connected to it, while parts 21 of the conductive Pillars 20 remain open; here they will be discussed later with more circuit elements - For example, conductor or other structural elements connected. The conductive layer 13 is then according to conventional procedures (e.g. covering with @hotolack and Etching) to a predetermined pattern of conductive support surfaces 14 (see Fig. 1 and 2) converted. The predetermined pattern of the conductive pads must be so be designed so that the converging ends 16 of the conductive support surfaces 14 are in electrical communication with one end of the conductive pillars 20.

Die leitenden Säulen 20 werden vorzugsweise durch galvanische Ablagerung des gewünschten Metalls (vergl. bspw. US-PSn 1.354.051 und 2.318.592) hergestellt, obgleich sich auch stromlose Aufbringungsverfahren verwenden lassen (bspw. nach den US-FSn 3.269.861 und 3.259.559).The conductive pillars 20 are preferably formed by electrodeposition of the desired metal (see e.g. US Pat. Nos. 1,354,051 and 2,318,592), although electroless application methods can also be used (e.g. according to US-FSn 3,269,861 and 3,259,559).

Die Fig. 7 zeigt eine alternative Form einer gedruckten Schaltung, bei der die leitenden Säulen 20 sich nicht über die Oberfläche des dielektrischen Substrats hinaus erstrecken. atschlich brauchen die säulen sich nur teilweise durch das Substrat zu erstrecken, sofern ein Teil der Säule gegenüber der entgegengesetzten Oberfläche des dielektrischen Substrats offenliegt.Fig. 7 shows an alternative form of printed circuit, in which the conductive pillars 20 do not extend over the surface of the dielectric Extend substrate beyond. Of course, the pillars only need to partially penetrate to extend the substrate provided part of the column opposite to the opposite Surface of the dielectric substrate is exposed.

Die i4g. 5 zeigt ein Halbleiterelement 5o mit Kontaktlaschen 52, die mit den offenliegenden eilen 21 der leitenden Säulen 20 der gedruckten Schaltung verbunden sind. In dieser figur ist das Halbleiterelement nach dem @endeverfahren ("flip-chip bonding") mit der gedruckten Schaltung verbunden; es lassen sich aber auch andere Befestigungsverfahren verwenden - bspw. über auskragende Zuleitungen ("beam lead bonding") oder Zuleitungsdrähte ("wire bonding").The i4g. 5 shows a semiconductor element 5o with contact tabs 52, the with the exposed parts 21 of the conductive pillars 20 of the printed circuit are connected. In this figure the semiconductor element is after the end method ("flip-chip bonding") connected to the printed circuit; but it can be also use other fastening methods - e.g. via protruding supply lines ("beam lead bonding") or lead wires ("wire bonding").

Die Fig. 6 zeigt eine weitere Art, die vorliegende Erfindung durchzuführen, d.h. für die gegenseitige verbindung einer Vielzahl von gedruckten Schaltungen. In der dargestellten ?orm lassen sich die gedruckten Schaltun en Übereinander stapeln, wodurch die gegenseitige Verbindung durch leitende Säulen 20 erfolgt, die sich durch das dielektrische ubstrat hindurch erstrecken, um die Verbindung zum jeweils nächstliegenden Muster leitender Auflageflächen herzustellen.Fig. 6 shows another way of carrying out the present invention, i.e. for interconnecting a variety of printed circuit boards. In the form shown, the printed circuits can be stacked on top of each other, whereby the interconnection takes place through conductive pillars 20, which extend through the dielectric substrate extend therethrough to connect to the nearest one Produce patterns of conductive support surfaces.

Claims (7)

PatentansprücheClaims 1. Verfahren zum @efestigen eines Halbleiterchips auf einer gedruckten Schaltun aus einem dunnen dielektrischen Substrat, auf dessen Oberfläche eine dänne leitende Schicht befestigt ist, dadurch gekennzeichnet, daß man (a) das dielektrische Substrat mit einer Vielzahl von Löchern versieht, die ein vorobestimmtes Muster bilden, wobei man die Löcher einbringt, bevor man die leitende Schicht zu einem vorbestimmten Muster leitender Auflageflächen umwandelt, und die Löcher sich durch das dielektrische Substrat hindurch erstrecken und mit eilen der unterseite der leitenden Schicht in Verbindung stehen; (b) in den Löchern leitende Säulen ausbildet, die elektrisch mit der Unterseite der leitenden Schicht in Verbindung stehen und von denen Teile der entgegengesetzten Oberfläche des Substrats gegenüber offenliegen, um dort weitere elektrische Schaltelemente anzubrinfen, und (c) die Kontaktelemente eines Iialbleiterchips mit den offenliegenden eilen der leitenden Säulen verbindet. 1. Method for @emaining a semiconductor chip on a printed Circuitry made from a thin dielectric substrate with a thin one on its surface conductive layer, characterized in that one (a) the dielectric Provides substrate with a multitude of holes that form a predetermined pattern form, introducing the holes before the conductive layer to one converts predetermined pattern of conductive bearing surfaces, and the holes through extend through the dielectric substrate and with parts of the underside of the conductive layer connected; (b) forms conductive pillars in the holes, which are electrically connected to the underside of the conductive layer and parts of which are exposed to the opposite surface of the substrate, in order to attach further electrical switching elements there, and (c) the contact elements a semiconductor chip with the exposed parts of the conductive pillars. 2. Verfahren zum Befestigen eines albleiterchips auf einer gedruckten Schaltung, die besteht aus einem dünnen dielektrischen Substrat mit einem auf eine Oberfläche desselben aufgebrachten vorbestimmten Muster leitender Auflageflächen, dadurch gekennzeichnet, daß man (a) das dielektrische Substrat mit einer Vielzahl von Löchern versieht, die sich durch das dielektrische Substrat hindurch erstrecken und mit der Unterseite mindestens eines @eiles der leitenden Auflageflächen in Verbindung stehen, wobei die Locher in einem vorbestimmten Muster vorliegen, (b) in den Löchern leitende Säulen ausbildet, die mit der Unterseit e der leitenden Auflageflächen in elektrisch leitender Verbinaung stehen und die in Teilen offenliegen, um weitere elektrische Schaltungselemente anzuschließen, und daß man (c) die Kontaktelemente einer Halbleiterchips elektrisch mit den offenliegenden Teilen der leitenden Saulen vorsindet.2. Method of attaching a semiconductor chip to a printed one Circuit that consists of a thin dielectric substrate with one on top of one Surface of the same applied predetermined pattern of conductive bearing surfaces, characterized in that (a) the dielectric substrate having a plurality provided by holes extending through the dielectric substrate and with the underside of at least one part of the conductive bearing surfaces in connection stand with the holes in a predetermined pattern, (b) in the holes guiding pillars formed with the underside e the senior Contact surfaces are in electrically conductive connection and which are partially exposed, to connect further electrical circuit elements, and that one (c) the contact elements a semiconductor chip electrically with the exposed parts of the conductive pillars is present. 3. Verfahren nacn Anspruch 1, dadurcij gekennzeichnet, dal.3. The method according to claim 1, dadurcij characterized, dal. die leitenden Säulen sich üner die Oberfläche des dielektrischen Substrats hinauserstrecken läßt 4. Durchgehender Streifen mit gedruckten Schaltkreisen, von denen jeder ein Halbleiterchip aufnehmen kann, wobei jeder gedruckte Schaltkreis aus einem dünnen dielektrischen Substrat mit einer sicke von 2,5 bis 25o Mikrometer besteht und ein vorbestimntes Muster leitender Auflageflächen aufweist, die auf eine Fläche des dielektrischen Substrats aufgebracht sind, und weiterhin die leitenden Auflageflächen eine Dicke von weiiiger als etwa 125 Mikrometer haben, jede der gedruckten Schaltungen dadurch gekennzeichnet, daß eine Vielzahl leitender Säulen sich durch das Substrat erstrecken, die mit einem Ende an der Unterseite einer einzelnen leitenden Auflagefläche des vorbestimmten Musters anliegen und mit dieser in elektrisch leitender Verbindung stehen und mit dem anderen Ende der entgegengesetzten Oberfläche des dielektrischen Substrats gegenüber offenliegen, wobei die offenliegenden bilden der leitenden Säulen einen Ort bilden, der ein Halbleiterelement elektrisch aufnehmen kann.the conductive pillars extend over the surface of the dielectric substrate 4. Continuous strip with printed circuits, from each of which can accommodate a semiconductor chip, with each printed circuit board made of a thin dielectric substrate with a bead of 2.5 to 25o micrometers exists and has a predetermined pattern of conductive bearing surfaces on a surface of the dielectric substrate are applied, and furthermore the conductive Seating surfaces have a thickness of less than about 125 microns, each of the printed Circuits characterized in that a plurality of conductive pillars extend through the substrate extend with one end at the bottom of a single conductive Contact surface of the predetermined pattern and with this in electrically conductive Connect and to the other end of the opposite surface of the dielectric substrate face exposed, forming the exposed of the conductive pillars form a location that electrically receives a semiconductor element can. 5. Durchgehender Streifen mit gedrucI-en Schaltungen nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die offenliegenden Enden der leitenden ouulen sich um weniger als 25o Mikrometer Über die Oberfläche des dielektrischen Substrats hinauserstrekken.5. Continuous strip with printed circuits according to claim 4, characterized in that the exposed ends of the conductive ouulen each other Extend less than 25o micrometers above the surface of the dielectric substrate. 6. Verfahren zum gegenseitigen Verbinden einer Vielzahl von gedruckten Schaltungen, dadurch gekennzeichnet, daß man (a) ein dünnes dielektrisches Substrat mit auf eine Oberfläche aufgebrachter leitender Schicht mit einer Vielzahl von Löchern versieht, die sich durch das dielektrische Substrat hindurcherstrecken und mit der Unterseite der leitenden Schicht in ver bindung stehen, wobei die Löcher in einem vorbestimmten Euster vorliegen, (b) in den Löchern leitende Säulen ausbildet, die mit der Unterseite der leitenden Schicht in elektrisch leitender Verbindung stehen und von denen jeweils ein Feil offenliegt, um dort weitere elektrische Schaltungselemente anzuschließen, (c) eine erste gedruckte Schaltung ausbildet, indem man die leitende schicht zu einem vorbestimmten Muster leitender Auflageflächen umwandelt, wobei jeweils ein Teil der unterseite der leitenden Auflageflächen, die das vorbestimmte Muster darstellen, in elektrisch leitender Verbindung mit einer leitenden Säule steht, (d) und die offenliegenden eile der leitenden säulen der ersten gedruckten Schaltung elektrisch mit einem vorbestimmten @uster leitender Auflageflächen einer zweiten gedruckten Schaltung verbindet, wobei die zweite gedruckte Schaltung eine Vielzahl leitender Säulen aufweist, die sich durch ein dielektrisches substrat hindurch erstrecken, wobei jeweils ein Ende jeder Säule an der unterseite einer einzelnen leitenden @uflagefläche des vorbestimmten riusters von Auflageflächen anliegt und mit dieser in elektrisch leitender Verbindung steht und d s andere nde der leitenden Säulen jeweils auf der entgegengesetzten Oberfläche des dielektrischen Substrats offenliegt und den Anschluß weiterer elektrischer Schaltungselemente zuläßt.6. Method of interconnecting a plurality of printed Circuits characterized by (a) a thin dielectric substrate with a conductive layer with a plurality of holes applied to a surface provides, which extend through the dielectric substrate and with the Underside of the conductive layer are connected, the holes in one predetermined Euster are present, (b) forms conductive pillars in the holes, which are in electrically conductive connection with the underside of the conductive layer and each of which has a file open to further electrical circuit elements to connect, (c) form a first printed circuit by cutting the conductive layer converts to a predetermined pattern of conductive bearing surfaces, wherein each part of the underside of the conductive bearing surfaces, which the predetermined Represent patterns in electrically conductive connection with a conductive pillar stands, (d) and the exposed parts of the conductive pillars of the first printed Circuit electrically with a predetermined pattern of conductive contact surfaces second printed circuit connects, the second printed circuit a Has a plurality of conductive pillars extending through a dielectric substrate extend, with one end of each column at the bottom of a single one conductive support surface of the predetermined pattern of support surfaces and with this is in electrically conductive connection and the other ends of the conductive Pillars each on the opposite surface of the dielectric substrate is exposed and allows the connection of further electrical circuit elements. 7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch ge@ennzeichnet, daß man danach ein Halbleiterelement elektrisch mit den offenlieenden nden der leitenden Säulen der zweiten gedruckten Schaltung verbindet.7. The method according to claim 6, characterized in that one then a semiconductor element electrically connected to the exposed ends of the conductive pillars the second printed circuit connects.
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