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DE2350848A1 - Durchflussmengenmesser - Google Patents

Durchflussmengenmesser

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DE2350848A1
DE2350848A1 DE19732350848 DE2350848A DE2350848A1 DE 2350848 A1 DE2350848 A1 DE 2350848A1 DE 19732350848 DE19732350848 DE 19732350848 DE 2350848 A DE2350848 A DE 2350848A DE 2350848 A1 DE2350848 A1 DE 2350848A1
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DE
Germany
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flow meter
sensor elements
meter according
temperature
measuring channel
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DE19732350848
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Richard Frederick Blair
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Entegris Inc
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Tylan Corp
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6847Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow where sensing or heating elements are not disturbing the fluid flow, e.g. elements mounted outside the flow duct

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)

Description

G 49 o83 -su
Firma TYLAN CORPORATION, 42o3 Spencer Street, TORRANCE, Californien 9o5o3 (USA)
Durchflußmengenmesser
Die Erfindung bezieht sich allgemein auf das Prinzip der Durchflußmessung und betrifft im einzelnen einen Durchflußmengenmesser zum Bestimmen der Strömungsrate eines Fluids in einem Meßkanal.
Bei den herkömmlichen Durchflußmengenmessern wird dem das Fluid führenden Meßrohr oder unmittelbar dem Fluid Wärme zugeführt, wobei die Temperatur des Fluids vor und nach der Zuführung gemessen wird. Wenn im Normalfall die Temperatur stromaufwärts gleich der Temperatur des nicht erwärmten Stromes ist, kann die Durchflußmenge bei einer konstanten Wärmezuführung als umgekehrt proportional zur Temperaturdifferenz gemessen werden. Dabei kann ein herkömmlicher Brückenkreis benutzt werden, um ein elektrisches Signal in Abhängigkeit der Strömungsfunktion zu erzielen. Bei einer anderen Anordnung wird die Wärme einem Meßrohr zugeführt, wobei die Temperatur des Rohres vor und nach der Wärmezüführung gemessen wird. Stromaufwärts wird die Temperatur des Fluids infolge der Erhitzung des Rohres beeinflußt und ist etwa gleich der Heisertemperatur bei der Strömungsrate 'Null'. Die Durchflußroenge
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ORi INSPECTED
des Fluids ist proportional zur Temperaturdifferenz bei konstanter Wärmezuführung. Bei einer dritten Anordnung wird einem kleinen Draht, einem Meßkopf bzw. einer Sonde oder einem Thermistor im Fluidstror.1 Wärme zugeführt, wobei der Kühleffekt der Fluidströnung gemessen wird. Die Kühlung des Elements stellt eine Funktion der Durchflußmenge dar«. Bei einer weiteren Anordnung wird einem Rohr über eine Widerstandserhitzung gleichförmig Wärme zugeführt, wobei der Kühleffekt des Fluids zur Bestimmung der Durchflußmenge mit Thermoelementen gemessen wird. Ferner wurde bereits vorgeschlagen, ein Paar von temperaturabhängigen Wider standsdrahtspulen um die Außenfläche eines Meßrohres zu winden, durch das das Fluid strömt. Dabei werden die Spulen erhitzt und die Durchflußrate des Fluids, die direkt proportional zur Tempe raturdifferenz der Spulen ist, mit einem Brückenkreis gemessen.
Ferner befassen sich folgende US-Patente mit der Durchflußmessung 946.886; I.o43.983; 1.193.488; 1.218.717; 1.222.494; 1.254.374; 1.261.O86; 1.6ol.513; 2.594.618; 2.832.O18; 2.953.O22; 2.972.885? 2.994.222? 3.O56.295? 3.181.357? 3.229.522? 3.246.523? 3.251.225; 3.422.O68; 3.435.676; 3.5oo.686 und 3.65o.l5l. Ferner wird noch auf das deutsche Patent 876.484 und das britische Patent 673.143 verwiesen. Bei einer weiteren Veröffentlichung handelt es sich um 'Variable Resistance Sensors Work Better With Constant Current Excitation1, von CA. Bowes, Instrumentation Technology (1966).
Die zuletzt erwähnte Anordnung unter Verwendung eines Paars von Widerstandsspulen führt zu einer vergrößerten Meßwirksamkeit aufgrund des verminderten Wärmeverlustes in den Fühlelementen. Der Abstand bzw. die Lagerung und die Größe der Fühlelemente ermöglicht ein schnelles Ansprechen auf Strömungsänderungen. Die Fühlelemente erfassen die aufgrund ihres Eigenverlustes erzeugten Temperaturen, wodurch die thermische Verschiebung oder Nacheilung auf einem absoluten Minimum gehalten wird.
Während eine derartige doppelte Spulenanordnung eine Durchflußmengenmessung eines Fluids über einen weiten Temperaturbereich
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erlaubt, ist ein zufriedenstellender Betrieb weitgehend nur bei der Lage bzw. Einstellung möglich, bei der das Meßrohr beim Abgleichen des Brückenkreises ausgerichtet ist. Wenn das Meßrohr in einer Luftumgebung angeordnet ist, führen konvektive Luftströme im Bereich der Spulen die erzeugte Wärme nach oben und von der Anordnung fort. Wenn das Meßrohr gekippt wird, so daß eine Spule höher als die andere liegt, wird die von der unteren Spule erzeugte Wärme zur oberen Spule befördert und erhöht deren Widerstand, wodurch der Brückenkreis aus dem Gleichgewicht gerät. Er ist bei verschwindender Strömung und bei horizontalem Meßrohr ausgeglichen bzw. abgestimmt (oder es befinden sich beide Spulen auf demselben Niveau, wenn das Rohr gebogen ist). Daher wird der Brückenausgang von der Lageposition des Meßrohres beeinflußt und ist nicht nur eine Funktion der Strömungsrate des Fluids.
Die Aufgabe der Erfindung besteht in der Schaffung eiies Durchflußmengenmessers der genannten Art, der in wirkungsvoller Weise arbeitet und bei dem die beschriebenen Nachteile nicht auftreten.
Die Lösung der gestellten Aufgabe wird mit einem Durchflußmengenmesser der genannten Art erzielt, der sich auszeichnet durch eine Vielzahl von eigenerwärmten und außerhalb des Meßkanals sowie längs des Strömungspfades des Fluids angeordneten FühlerÄlementen ferner durch eine Einrichtung zum Erwärmen der Fühlerelemente, durch eine Einrichtung zum Erfassen des Temperaturdifferentials der Fühlerelemente und durch ein die Fühlerelemente umhüllendes Offenzellen-Schaummaterial. Bei einem derartigen Durchflußmesser liegt nur eine verminderte Empfindlichkeit in bezug auf Lageänderungen vor, was dadurch erzielt wird, daß die Spulen des Meßrohres von einem Offenzellen-Schaummaterial umhüllt sind. Als Ergebnis dieser Maßnahme werden die natürliche Konvektion um die Fühlerspulen und die Lageempfindlichkeit von normalerweise mehr als 5o % ohne Umhüllung auf weniger als o,5 % reduziert.
Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung in bezug auf den Aufbau und die Arbeitsweise ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen unter Hinweis auf die Zeichnungen* Es zeigen; ~ 4 -
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Figur 1 - eine teilweise schematische Kreisdarstellung des Systems der vorliegenden Erfindung,
Figur 2 - eine detaillierte schematische Ansicht eines erfindungsgemäßen Durchflußmengenmessers und
Figur 3 - eine alternative Kreisdarstellung, die zur Temperaturstabilisierung der Vorrichtungen aus Figuren 1 und 2 verwendet wird.
In Figur 1 ist ein Ausführungsbeispiel des Durchflußmeßsystems nach der Erfindung dargestellt. Dieses enthält einen an ein Meßrohr 14 angekoppelten Brückenkreis 12. Der Brückenkreis ist herkömmlicher Art und enthält einen ersten Brückenwiderstand 16 und einen zweiten Brückenwiderstand 18. Ferner enthält der Brückenkreis ein stromaufwärts gelegenes Fühlerelement 22 und ein stromabwärts gelegenes Fühlerelement 24. Diese Fühlerelemente 22 und 24 sind angrenzend aneinander um das Meßrohr gewunden, wobei das stromaufwärts gelegene Fühlerelement 22 näher am Eingangsende 26 des Rohres 14 und das stromabwärts gelegene Fühlerelement 24 näher am Ausgangsende 28 des Rohres 14 liegen.
Der Brückenkreis 12 enthält ferner eine Gleichspannungsquelle 3o, die einerseits an die Verbindung der Fühlerelemente 22 und 24 und andererseits über einen Schalter 32 an der Verbindung der Brükkenwiderstände 16 und 18 angeschlossen ist. Die Ausgangssignale des Brückenkreises werden zwischen einem ersten Ausgangsanschluß 34 und einem zweiten Ausgangsanschluß 36 abgenommen. Der erste Ausgangsanschluß 34 ist mit der Verbindung des stromaufwärts gelegenen Fühlerelementes 22 und des ersten Brückenwiderstands 16 verbunden, während der zweite Ausgangsanschluß 36 mit der Verbindung des stromabwärts gelegenen Fühlerelementes 24 und dem zweiten Brückenwiderstand 18 verbunden ist. Die beiden Fühlerelemente 22, 24 bestehen aus temperaturabhängigem Widerstandsdraht, der um das Äußere des Rohres 14 gewunden ist. Der Draht kann eine Eisen-Nickel-Legierung und beispielsweise das unter der Handelsbezeichnung 'Balco1 der Wilbur-Driver Company erhältliche Material sein. Vorzugsweise ist das Rohr 14 ein dünnwandiges Metallglied, beispielsweise aus rostfreiem Stahl oder ähnlichem, wobei - 5 -
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jedoch auch andere Materialien zur Bildung des Rohres verwendbar sind.
Nach der vorliegenden Erfindung wird dem Rohr 14 unter Umhüllung der Fühlerelemente 22 und 24 und unter Formanpassung ein Isoliermaterial 37 zugefügt. Das Isoliermaterial muß eine geringe' Masse aufweisen, um den Einfluß auf die Reaktionszeit des Fühlers minimal zu halten. Ferner muß das Isoliermaterial eine niedrige thermische Leitfähigkeit aufweisen, um eine regellose oder übermäßige Reduktion im Fühlergewinn aufgrund des Wärmeverlustes durch das Isoliermaterial zu vermeiden. Diese Erfordernisse werden gleichermaßen von einem Schaummaterial mit offenem Zellenaufbau erfüllt. Geeignete Materialien enthalten Polystyren, Polyurethanschaum, geschäumtes Polyäthylen, geschäumtes Polypropylen und ähnliches. Hinsichtlich anderer"Materialien wird auf 'Handbook of Foam Plastics' von Rene J. Bender, Lake Publishing Corporation Libertyville, Illinois (1956); 'Modern Plastics Encyclopedia1, McGraw Hill, Inc. (1968) and auf 'Encyclopedia of Polymer Science and Technology1, Interscience Publishers, New York (197ο), verwiesen.
Bei einem speziellen und in Figur 2 dargestellten Aufbau ist ein umgebördelter Polystyrenschaum mit einer offenen Zellenstruktur und einer Dichte von etwa l,o lb/cu ft oder o,ol6 kg/dm in zwei zusammenpassende Blöcke 37a und 37b aufgeschnitten und unter Formsitz auf entsprechende Oberflächen auf das Meßrohr aufgebracht. Die Blöcke sind dann verklebt,bewickelt oder zum Umhüllen der Spulen mit dem Meßrohr verklammert.
Wenn der Schalter 32 im Betrieb geschlossen ist ,begründet der durch die Fühlerelemente 22 und 24 fließende Strom in diesem eine Wärmeerzeugung, wodurch die Temperatur des an die Elemente angrenzenden Rohres 14 angehoben wird. Eine Erwärmung der Elemente 22 und 24 führt ebenfalls zu einer Erhöhung ihrer Widerstände. Bei verschwindender Fluidströmung durch das Rohr 14 sind dia Temperaturen der Fühlerelemente 22 und 2 4 gleich groß und die Brücke daher abgeglichen, wodurch a^n-3 Ausgangsspar.nung der Größe
U 0 9 8 ι 7 / 0 3 ζ 2
'Null' an den Ausgangsklemmen 34 und 36 erzeugt wird. Wenn das Fluid in das Eingangsende 26 des Rohres 14 eintritt, wird die von den Elementen 22 und 24. erzeugte Wärme von dem Fluid stromabwärts in Richtung zum Ausgangsende 28 des Rohres 14 geführt. Daher wird ein Temperaturdifferential zwischen den Elementen 22 und 24 erzeugt, und zwar aufgrund des sich verschiebenden Temperaturprofiles längs des Rohres 14. Beim Ansteigen der Strömungsrate des Fluids im Rohr nehmen die Temperatur des stromaufwärts gelegenen Elementes 22 wie auch dessen Widerstand ab, während gleichzeitig die Temperatur des stromabwärts gelegenen Elementes 24 wie auch dessen Widerstand ansteigen. Die Brückenausgangsspannung an den Klemmen 34 und 36 steigt daher in etwa linear proportional zur Strömungsrate.
Sofern die Strömungsrate weiter bis zu einem Wert ansteigt, der mehrere Male so groß wie der verwendbare volle Meßbereich des Systems ist, nähert sich die Temperatur des stromaufwärts gelegenen Fühlerelementes 22 derjenigen des Einlaßfluids an, während die Temperatur des stromabwärts gelegenen Fühlerlementes 24 zunächst flacher wird und dann mit der Rohrtemperatur zu fallen beginnt, da mehr und mehr Wärme von der Fluidströmung fortgeführt wird. Daher erreicht die Brückenausgangsspannung eine Spitze, fällt dann ab und nähert sich dem Wert 1NuIl1 asymptotisch an.
Die Wirkung der Schaumisolation 37 wurde in Versuchen mit und ohne Isolation überprüft. In einer horizontalen Position, wo sich die beiden Spulen 22 und 24 auf demselben Niveau befinden, ergibt sich keine spürbare Differenz im Brückenausgangssignal. Wenn jedoch der Fühler gekippt wird, so daß eine der Spulen vertikal über der anderen liegt, wird ohne Isolation eine Lageempfindlichkeit von 5o % beobachtet, während der Versuch mit einer Isolation der beschriebenen Art eine Lageempfindlichkeit von weniger als o,5 % ergibt. Obwohl sich ein geringer Verlust im Fühlergewinn und in der Reaktionszeit von.jedoch nicht mehr als 2o % ergibt, erlaubt die Gesamtwirksamkeit der vorliegenden Vorrichtung derartige Reduzierungen ohne' bedeutsame 'Beeinträchtigung der Verwendbarkeit und wird durch den Gewinn ar. Genauigkeit in ■ ■ · - 7 -
IJf Hi
BAD
bezug auf sich ändernde Lagesituationen mehr als ausgeglichen.
Zur Messung von Strömungsraten, die in einem höheren Bereich als die mit dem Fühlersystem aus Figur 1 meflbarenliegen, kann man die Technik einer Strömungsaufzweigung gemäß Figur 2 verwenden. Bei dem System aus Figur 2 kann bei einer gewünschten Vollbereichsströmung dieselbe Strömungsrate durch das Fühlersystem wie bei Figur 1 erzielt werden. Nach Figur 2 wird ein Teil des Fluids in einem Hauptströmungsrohr 52 in ein zweites Meßrohr 54 an einem Einlaßende 56 eingekoppelt und an einem Auslaßende 58 zum Hauptströmungsrohr 52 zurückgeführt. Zur Erzielung genauer Messungen sollte das Meßrohr 54 dieselben Charakteristiken des von der Strömungsrate abhängigen Druckverlustes wie das Hauptströmungsrohr 52 aufweisen, was mittels bekannter Stromaufteilungstechniken erzielt werden kann. Durch Variation der Form bzw. Größe und der Wirksamkeit einer Druckdrosselvorrichtung 6o im Hauptströmungsrohr 52 kann eine nahezu unbegrenzte Anzahl von Durchflußmesserbereichen geschaffen werden.
Beim zweiten Meßrohr 54 entsprechen "stromaufwärts und stromabwärts gelegene Fühlerelemente 62 und 64 den stromaufwärts und stromabwärts gelegenen Fühlerelementen 22 und 24 aus Figur 1. Die Elemente 62 und 64 sind als einzige Spule mit einem Mittelabgriff dargestellt. Durch Verwendung einer einzigen Spule mit einem Mittelabgriff statt zweier getrennter Fühlerelemente ist es möglich, die Spulen enger aneinander anzuordnen. Dadurch werden der Wärmeverlust reduziert, ein Abgleichen bzw. eine Gleichmachung zwischen den stromaufwärts und stromabwärts gelegenen Fühlerelementen vereinfacht und der Kreisgewinn (Temperaturänderung pro Strömungseinheit) größer. Zusätzlich wird ein schnelleres Ansprechen des Kreises erzielt, und der Bereich einer nutzbaren Strömungsmessung und die Linearität des Kreises werden vergrößert. Wie bereits erwähnt wurde, werden über dem Meßrohr 54 unter Einhüllung der Spulen 62 und 64 zusammengehörige Blöcke 37a und 37b' aus einem Polystyrenschaum mit einer offenen Zellenstruktur angebracht.
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Die folgenden Angaben gelten beispielhaft für zahlreiche Werte von Komponenten der Ausführungsform gemäß Figur 2, die in den Brückenkreis aus Figur 1 eingeschaltet sind, wie auch für das Ansprechvermögen bei durch das Rohr 54 fließendem Stickstoff (N2) :
Material des Meßrohres - rostfreier Stahl Typ 316; Länge des Meßrohres - 3, ο inch; Außendurchmesser des Meßrohres - ο, Ol 4 inch; Wandungsdicke des Meßrohres - o,oo2 inch; Widerstand des Fühlerelements - 29o Ohm jeweils bei 32° F (Elemente 62 und 64); Material des Fühlerelements - Balco; Länge des Fühlerelements - o,2 inch pro Element (of4 inch insgesamt); Isolierschaummaterial -
3 3
l,o lb/ft bzw. ο,öl6 kg/dm ungebördelter Polystyrenschaum; Schaumdimension - o,8o χ o,5o χ ο,12 für jeden Block; Strom des Fühlerelements - Ιο,ο Milliampere; Brückenausgangssignal als Funktion einer StickstoffStrömungsrate von ο bis 5,ο SCCM (Standardkubikzentimeter pro Minute) - ο bis loo Millivolt; Linearität des Ausgangssignals über den Strömungsbereich - - 2 Millivolt; Änderung des Ausgangssignals über einen Bereich der Umgebungstemperatur von 5o bis 15o° F - - l,o Millivolt bei 5,oo SCCM einer ^-Strömung; Ansprechzeit (2o bis loo % Stufenänderung der Strömung) - 12 Sekunden bis zum Erreichen von 98 % des endgültigen Wertes.
Bei einer Änderung der Umgebungstemperatur ändern sich auch der Widerstand des Fühlerelementes und damit das Verlustleistungsniveau. Ebenfalls werden die Fluideigenschaften, die Wärmeüber- gangskoeffizienten und die relativen Temperaturdifferenzen geändert. Daher muß ein bestimmtes Brückenverhältnis, das vom Temperaturkoeffizienten des Materials der Fühlerelemente abhängt, zur Erzeugung einer Änderung im Ausgangsgewinn mit der Änderung des Fühlerwiderstandes benutzt werden, so daß weitgehend die Effekte aufgehoben werden, die durch die Änderung der Fühlerelementtemperatur und anderer von der Umgebungstemperatur abhängiger Variabler begründet werden. Durch ein entsprechendes Verhältnis wird der Brückenausgang durch Änderungen der Umgebungstemperatur nicht mehr beeinflußt und spricht nur auf die Strömungsrate des
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Fluids durch das Rohr an-. Aufgrund komplexer Wärmeübergangs ausdrucke und geometrischer Konfigurationen wird das für eine Kompensation gültige Brückenverhältnis am besten empirisch bestimmt, und zwar durch einen Versuch über den gewünschten Betriebstemperaturbereich. Während auch andere Kreise zur !Erzeugung eines elektrischen Äusgangssignals für zahlreiche Strömungscharakteristiken benutzt werden können, erzeugt der aufgezeigte Brückenkreis mit dem bestimmten Brückenverhältnis über einen großen Bereich der Ctogebungstemperatur eine hervorragende
In Figur 3 ist eine alternative Anordnung des aus Figur 1 dargestellt, liach Figur 3 sind die Brüeke&wMearstSißde IS und 18 aus Figur 1 durch ein Paar von Konstaint'Stroinquelle-n IZ •and 74 ersetzt» Daher können sich änderungen der iMgsbungsteinpe— ratur nicht auf die Temperaturstabilität des Brückenkreises aus Figur 3 auswirken, da «die Konstantstromquellesra für eiaa. unbegrenztes Brückeiiverhaltaais sorgen» ι
Aufgrund der Kompliziertheit eines Aufbaues von zwei getrennten j und gleichen Stromquellen in der Anordnung aus Figur 3 ist es j selbstverständlich auch möglich,, den Strom durch die Fühler*lememi te dadurch weitgehend konstant zu haltern» daß die Widerstände 1€ ·] und 18 im Vergleich zu den Fühlerelementea 22 und 24 ausreichend j groß gewählt werden und daß in Seihe zur Spannungsguelle 3o aus ! Figur 1 eine einzige Konstantstromquelle eingefügt wird. Eine | solche Anordnung weist den Vorteil auf« daß nur eine Stromquelle ! erförderlich ist. Daher werden bei praktischen Anwendungen von \ Stromungsmeßsystemen, bei denen die umgebungstemperatur selten \ konstant gehalten wird und bei denen die Temperaturstabilität des' Systems von größter Wichtigkeit zur Erzielung einer guten Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Messungen ist, die mit Änderungen in der Umgebungstemperatur verbundenen Probleme normalerweise mit der oben erwähnten alternativen Anordnung überwunden, bei der ein oder mehrere KonstantStromquellen vorgesehen sind.
Das vorliegende System wurde unter Hinweis auf die Messung der Strömungsrate eines Fluids beschrieben. Es wird darauf hingewie-
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sen, daß der Ausdruck 'Fluid1 eine Flüssigkeit, einen Dampf oder ein Gas einschließen soll, wobei ein solcher Stoff durch das Meßrohr strömt. Es ist bemerkenswert, daß der Stromungsmengenmesser durch Isolierung der Fühlerspulen in der dargestellten Weise auch in veränderlichen Positionen angeordnet sein kann, beispielsweise in tragbaren oder Raumfahrzeug-Strömungsmeßausrüstungen. Die Benutzung ermöglicht eine größere Freiheit im Systementwurf, da der Strömungsmesser nicht in einer bestimmten Position befestigt werden muß, um eine geeignete Eichung bzw. Einstellung des Instruments sicher tsu stellen,
Patentansprüche
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Claims (11)

  1. Patentansprüche
    /1·)Durchflußmengenmesser zum Bestimmen der Strömungsrate eines Fluids in einem Meßkanal/ gekennzeichnet durch eine Vielzahl von eigenerwärmten und außerhalb des Meßkanals (1.4,54) sowie längs des Strömungspfades des Fluids angeordneten Fühlerelementen (22, 24; 62, 64), ferner durch eine Einrichtung zum Erwärmen der Fühlerelemente, durch eine Einrichtung zum Erfassen des Temperaturdifferentials der Fühlerelemente und durch ein die Ftihlerelemente umhüllendes Offenzellen-Schaummaterial (37)
  2. 2. Durchflußmengenmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Schaummaterial Polystyren ist.
  3. 3. Durchflußmengenmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßkanal (14, 54) ein Eingangsende (26) und ein Ausgangsende (28) aufweist, wobei das Fluid durch das Innere des Meßkanals strömt und wobei eines der Fühlerelemente (22, 24; 62, 64) näher an einem Ende des. Meßkanals als ein anderes der Fühlerelemente liegt.
  4. 4. Durchflußmengenmesser nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß beide Fühlerelemente (22, 24; 62, 64) so ausgebildet sind, daß sie ihre eigene und von der Fluidströmung geänderte Temperatur erfassen.
  5. 5. Durchflußmengenmesser nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Fühlerelemente zwei Spulen (22, 24; 62, 64) aus einem temperaturabhängigen Widerstandsdraht enthalten, der um die Außenoberfläche des Meßkanals (14, 54) gewunden ist.
  6. 6. Durchflußmengenmesser nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß ein Ende einer der Spulen an das andere Ende der anderen Spule angrenzt.
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  7. 7. Durchflußmengenmesser nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Fühlerelemente (62, 64) aus einer mit einem Mittelabgriff versehenen Spule gebildet sind, die um die Außenoberfläche des Meßkanals (54) gewunden ist, wobei das Spulenmaterial zwischen einem Ende der Spule und dem Mittelabgriff das eine Fühlerelement und das Spulenmaterial zwischen dem -?_näsrsn Ende der Spule und dem Mittelabgriff das andere Fühlerelement bildet.
  8. 8. Durchflußmengenmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet^ daß die Fühlerelemente aus temperaturabhängiges! Widerstandsdraht gebildet sind, der um den Meßkanal gemmden xmto
  9. 9. Durchflussmengenmesser nach Anspruch 1, dadurch gekenssseichRoif daß die Fühlerelemente (22 s 24? 62 g 64) weitgehend identische Wärmeerzeugungs- und Meßcharaktsristiken aufweisen,
  10. 10. Durchflußmengenmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Erfassungseinrichtung eins Temperaturstabilitätseinrichtung zur Erzeugung eines Ausgangssignals entsprechend dem Temperaturdifferential der Fühlerelemente aufweist, wobei das Ausgangssignal relativ unabhängig von Änderungen der Umgebungstemperatur ist.
  11. 11. Durchflußmengenmesser nach Anspruch Io, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperaturstabilitätseinrichtung einen Brückenkreis aufweist, an den die Fühlerelemente angekoppelt sind, wobei der Brückenkreis eine Konstantstromquelle (72, 74) enthält.
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