DE2112069C3

DE2112069C3 - Elektronischer Schalter

Info

Publication number: DE2112069C3
Application number: DE2112069A
Authority: DE
Inventors: Detlef Dr. 8000 Muenchen Haberland; Dieter Dr. Wien Schuoecker
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1971-03-12
Filing date: 1971-03-12
Publication date: 1974-11-07
Also published as: AT314022B; DE2112069B2; US3774084A; DE2112069A1

Description

Es sind bereits zweipolige elektronische Schalter aus glasartigem Halbleitermaterial bekannt (siehe z.B. USA.-Patentschrift 3343004, deutsche Auslegeschrift 1261252, deutsche Offeulegungsschrift 1933 831). Ein derartiges Halbleitermaterial kann aus verschiedenen Elementen der IV., V. und VT. Gruppe des Periodischen Systems der Elemente bestehen, wie z. B. Blei, Phosphor, Arsen, Antimon, Schwefel, Selen, Tellur, Germanium, Silizium und anderen weniger häufig vorkommenden Elementen. Ein derartiges Halbleitermaterial ist bekanntlich von einem

ίο Zustand kleiner Leitfähigkeit in einen Zustand großer Leitfähigkeit und umgekehrt umrnLaltbar. Um es bei einem elektronischen Schalter zu benutzen, wird es mit mehreren KoEtaktelektroden versehen, die sperrschichtfrei aur das Halbleitermaterial aufgebracht sind. Es ergibt sich dann z.B. ein elektronischer Schalter, bei dem sich beim Anlegen einer Spannung ein Pfad höherer Temperatur und damit großer elektrischer Leitfähigkeit bilden kann (siehez.B. deutsche Auslegeschrift 1 465 450). Es ist auch bekannt, meh-

ao rere solcher elektronischer Schalter in einem einzigen Halbleiterkörper zu vereinigen (siehe z. B. deutsche Auslegeschriften 1 263 079 und 1 464 880), wobei die einzelnen Schaltstrecken selbständig betrieben werden und einander, abgesehen davon, daß sie eine gemeinsame Elektrode aufweisen, nicht beeinflussen. Es ist auch bekannt, bei einem derartigen elektronischen Schalter zwei Paar Kontaktelektroden vorzusehen, wobei das eine Paar von Elektroden zur Zuführung eines Steuerstromes bestimmt ist, durch

den die zwischen dem anderen Paar von Elektroden liegende Schalterstrecke gesteuert wird (s. deutsche Offenlegungsschrift 1465 470). Hierbei wird der Strom, der über die gesteuerte Schaltstrecke fließt, mit Hilfe eines Gleichspannungssteuersignals unterbrachen, das den Steuerelektroden zugeführt wird. Diese Unterbrechung bleibt auch nach Ende des Gleichspannungssignals erhalten (siehe a. a. O.,S. 10/ 11). Dieser elektronische Schalter wirkt daher offensichtlich auch als Speicherelement. Es ist auch ein anderes ähnlich aufgebautes Speicherelement bekannt (s. die Zeitschrift »Applied Physics Letters«, vol. 15, Nr. 10, S. 323 bis 325, 15. November 1969), bei dem nicht nur paarweise gegenüberstehende Elektroden vorgesehen sein können, da bei diesem Speicherelement die Steuerfunktion und die Speicherfunktion «'ich .'U Hilfe von drei nebeneinander-Heger.den E'öK rai^n erzielt werden kann.

Eine nä*we T Versuchung der Vorgänge, die in einem in Fragv Kommenden glasartigen Halbleitermaterial stattfinden, wenn seine elektrische Leitfähigkeit geändert wird, hat gezeigt, daß der damit zusammenhängende Speichereffekt mit einer Änderung des Aggregatzustandes des Halbleitermaterials zusammenhängt (s. »Nachrichtentechnische Zeitschrift«, 1970, Heft 9, S. 449 bis 455). Wenn sich nämlich, wie bereits erwähnt, beim Anlegen einer Spannung ein Pfad höherer Temperatur und damit großer elektrischer Leitfähigkeit bildet, ändert sich dabei auch der Aggregatzustand, da ein Schmelzen auftritt, das bei Unterbrechung des Stromes von einem Auskristallisieren gefolgt werden kann, das der Schaltstrecke weiterhin eine große Leitfähigkeit gibt. Es hat sich dabei auch gezeigt, daß außer diesem mit Speichereffekt verbundenen Vorgängen auch ein reversibler Schalteffekt auftreten kann, der mit keiner Änderung" des Aggregatzustandes verbunden ist. Dieser Effekt läßt sich ebenfalls für den Betrieb eines elektronischen zweipoligen Schalters ausnutzen. Der Zu-

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stand großer Leitfähigkeit wird dabei jedoch nur so leitfähigen Bereich hervorruft, aber sonst dem Steuerlange aufrechterhalten, wieein gewisser Mindeststrom strom entsprechend wirkt ein die Lastelektrode und fließt Ein derartiger elektroniscbsr Schalter unter- die Grundelektrode verbindender Bereich großer scheidet sich daher von einem anderen bekannten Leitfähigkeit für einen Laststrom über die Lastelekdurchschaltenden Speicherelement (s. deutsche Offen- 5 trode und die Grundelektrode ensteht, der bei Unterlegungsschnft 1549 077), bei dem zwar beim Betrieb brechung des Steuerstroms erhalten bleibt, bis durch keine Änderung des Aggregatzustandes auftritt, bei Absenkung der Hilfsspannung unter eine Haltespaudem aber mit zunehmender Spannung zunächst eine nung vom Zustand großer Leitfähigkeit in den Zusehr kleine, dann eine sehr große und schließlich stand kleiner Leitfähigkeit umgeschaltet wird und der wieder eine sehrkleine!elektrische Leitfähigkeit auf- io Laststrom unterbrochen wird, und bei dem die Grundtritt (siehe a. a. O., S. 3) elektrode gegenüber den beiden anderen konzentri-

Bei der Erfindung wird nun von einem bekannten sehen Kontaktelektroden getrennt durch das Halbleielektromschcn Schalter aus glasartigem Halbleiter- termaterial liegt Dieser elektronische Schalter ist gematerial ausgegangen, das von einem Zustand kleiner maß der Erfindung dadurch gekennzeichnet, daß die elektrischer Le,tfähigkeit in einem Zustand großer 15 Lastelektrode die Steuerelektrode ringförmig umLeitfähigkeit und umgekehrt ohne Änderung seines gibt.

Aggregatzustandes umschaltbar ist Bei einem derar- Bei dem bekannten elektronischen Schalter, von tigen elektronischen Schalter sind auf das Halbleiter- dem die Erfindung ausgeht, umgibt die Steuerelekmaterial sperrschichtfrei mehrere Kontaktelektroden trode die Lastelektrode konzentrisch. Demgegenüber aufgebracht. Es ist nun bereits bekannt, bei einem 20 sind also bei der Erfindung Lastelektrode und Steuerderartigen elektronischen Schalter zum Umschalten elektrode räumlich gegeneinander vertauscht. Dies aus dem Zustand kleiner Leitfähigkeit in den Zustand hat verschiedene vorteilhafte Effekte zur Folge. Zugroßer Leitfähigkeit einen Kanal großer Leitfähigkeit nächst wird dadurch erzwungen, daß der zwischen zwischen einer Steuerelektrode und einer Grundelek- der Steuerelektrode und der Grundelektrode hervortrode nur einen über die Steuerelektrode und die 25 gerufene Kanal grober Leitfähigkeit sich bei Zunah-Grundelektrode fließenden Steuerstrom hervorzu- me des Steuerstromes räumlich nur in Richtung zur rufen und unter dem Einfluß einer an eine Lastelek- Lastelektrode hin verbreitern kann. Bei dem bekanntrode und die Grundelektrode angelegten Hilfsspan- ten Schalter kann er sich dagegen auch räumlich in nung, die für sich keinen leitfähigen Bereich hervor- 'einer Richtung ausbreiten, die von der Lastelektrode ruft, aber sonst dem Steuerstrom entsprechend wirkt, 30 wegzeigt. Eine derartige Verbreiterung des Kanals einen die Lastelektrode und die Grundelektrode ver- großer Leitfähigkeit ist für den Umschalteeffekt wirbindenden Kanal großer Leitfähigkeit für einen Last- kungslos und daher nachteilig. Der entsprechende strom über die Lastelektrode und die Grundelektrode Nachteil tritt auf, wenn im Kanal großer Leitfähigentstehen zu lassen, der bei Unterbrechung des keit entsprechende Wärme die Ausbildung dieses Ka-Steuerstromes erhalten bleibt, bis durch Absenkung 35 nals begünstigt. Diese Begünstigung wirkt sich stärder Hilfsspannung unter eine Haltespannung vom ker aus, wenn dieser Kanal innerhalb des Bereichs Zustand großer Leitfähigkeit in den Zustand kleiner der ringförmigen Lastelektrode hervorgerufen wird. Leitfähigkeit umgeschaltet und der Laststrom unter- Wenn er nämlich innerhalb dieses Bereichs hervorgebrochen wird (s. deutsche Offenlegungsschrift rufen wird, so muß die Wärme in Richtung zur ring-1 589 739). Dabei wird der Kanal zwischen Steuer- 40 förmigen Elektrode abgeleitet werden. Im anderen elektrode und Grundelektrode durch zunehmenden Fall wird zumindestens ein Teil der Wärme abgelei-Steuerstrom räumlich verbreitert. Es ist auch bekannt, tet, ohne den Bereich der Lastelektrode zu erreichen, einen derartigen elektronischen Schalter derart auf- Ein weiterer Vorteil des erfindungsgemäßen elektrozubauen, daß die Grundelektrode gegenüber den nischen Schalters ist darin zu sehen, daß hier zeitlich beiden anderen Kontaktelektroden getrennt durch 45 aufeinanderfolgend zunächst der die Steuerelektrode das Halbleitermaterial liegt. Die beiden anderen Kon- und die Grundelektrode verbindende Kanal großer taktelektroden können bekanntlich beispielsweise Leitfähigkeit hervorgerufen wird und erst danach bei konzentrisch zueinander angeordnet sein. Zunahme des Steuerstromes bei seiner räumlichen

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Verbreiterung der Laststrom eingeschaltet wird. Es

derartigen elektronischen Schalter so zu verbessern, 50 ist dann nämlich der Steuerstromkreis bereits vor

daß der Umschaltvorgang sicherer als sonst abläuft Einschaltung des Laststromes niederohmig. Mit dem

und daß zur Durchschaltung selber eine besonders Einschalten des Lastkreises finden nur verhältnismä-

kleine Steuerleistung benötigt wird. ßig geringe Spannungs- und Stromänderungen im

Die Erfindung betrifft also einen elektronischen Steuerstromkreis statt. Im Augenblick des Einschal-Schalter aus glasartigem Halbleitermaterial, das von 55 tens des Laststroms hat dieser Steuerstromkreis daher einem Zustand kleiner elektrischer Leitfähigkeit in einen sehr niedrigen differentiellen Widerstand,
einen Zustand großer Leitfähigkeit und umgekehrt Dementsprechend ist zur Einschaltung des Lastohne Änderung seines Aggregatzustandes umschalt- Stroms selber nur eine verhältnismäßig geringe bar ist, bei dem zum Umschalten aus dem Zustand Steuerleistung erforderlich. Der Umstand, daß die kleiner Leitfähigkeit in den Zustand großer Leitfähig- 60 Lastelektrode die Steuerelektrode ringförmig umgibt, keit zwischen einer sperrschichtfreien Steuerelek- kann auch dazu ausgenutzt werden, die Steuerelektrode und einer sperrschichtfreien Grundelektrode trode gegenüber elektrischen Störungen abzuschirdurch einen über die Elektroden fließenden Steuer- men. Außerdem läßt es sich dann leichter erreichen, strom ein sich mit zunehmendem Steuerstrom räum- der Steuerelektrode eine besonders kleine Kapazität lieh verbreiternder Kanal großer Leitfähigkeit her- 63 zu geben, wenn dies von Bedeutung ist.
vorgerufen wird und unter dem Einfluß einer an eine Die Erfindung wird im folgenden an Hand mehsperrschichtfreie Lastelektrode und die Grundelek- rerer Figuren erläutert,
trode angelegten Hilfsspannung, die für sich keinen F i g. 1 zeigt in schematischer Darstellung die

Strom-Spannungs-Charakteristik für den bei der Er- und der Grundelektrode G durch einen über diese findung ausgenutzten reversiblen Schalteffekt in glas- beiden Kontaktelektroden fließenden Steuerstrom Is artigem Halbleitermaterial; hervorgerufen, wozu die Spannung V1 hinreichend Fig. 2 zeigt ein Ausführungsbeispielfür den erfin- groß zu machen ist. Es zeigt sich, daß sich dieser dungsgemäßen elektronischen Schalter, bei dem drei 5 Kanal bei Zunahme des Steuerstromes Is räumlich Kontaktelektroden vorgesehen sind; verbreitert und daß bei hinreichender Verbreiterung Fig. 3 zeigt ein Beispiel für den elektronischen dieses Kanals in Richtung zu der LastelektrodeL hin Schalter gemäß der Erfindung, bei dem die Lastelek- unter dem Einfluß der angelegten Hilfsspannung U 2 trode aus mehreren Teilen besteht. ein die Lastelektrode L und die Grundelektrode G Wie bereits erwähnt, wird bei der Erfindung von io verbindender Kanal großer Leitfähigkeit entsteht, so einem zweipoligen elektronischen Schalter aus glas- daß nunmehr ein Laststrom // über die Lastelekartigem Halbleitermaterial ausgegangen, der einen trode L und die Grundelektrode G fließen kann, der sogenannten reversiblen Schalteffekt aufweist. Ein im wesentlichen durch den Lastwiderstand Rl bederartiger elektronischer Schalter kann z. B. in Form grenzt wird. Dieser Laststrom // bleibt auch bei eines Dünnfilmelementes aufgebaut werden. In F i g. 1 15 Unterbrechung des Steuerstromes erhalten. Es wird ist schematisch die Strom-Spannungs-Charakteristik erst unterbrochen, wenn durch Absenkung der Hilfsfür den reversiblen Schalteffekt dargestellt. Fährt man spannung V 2 vom Zustand großer Leitfähigkeit in auf dem kleine Leitfähigkeit betreffenden Ast RH der den Zustand kleiner Leitfähigkeit umgeschaltet wird. M-i-Kennlinie in Richtung größeren Stromes z. so er- Bei dem elektronischen Schalter gemäß F i g. 2 kann reicht man eine Schwellenspannung uS bzw. einen 20 also ein Laststrom Il für einen bestimmten Stromkreis Schwellenstrom iS. Beim Überschreiten dieser Schwel- mit Hilfe eines davon unabhängigen Steuerstromes Is lenwerte springt der Widerstand des Schalters nach eingeschaltet werden.

Durchlaufen des Bereiches negativen Widerstandes Nähere Untersuchungen über die Hervorrufung auf einen durch den dem Schalter vorgeschalteten Be- und die Entstehung des erwähnten Kanals großer grenzungswiderstand RV bestimmten Wert auf den 25 Leitfähigkeit zeigen, daß hierfür jeweils Ladungsträ-Ast RN für große Leitfähigkeit. Die Restspannung uR ger im Halbleitermaterial eingefangen werden, deren ist in diesem Zustand konstant. Solange jetzt ein be- weiteres Vorhandensein dann durch Einhalten einer stimmter Haltestrom iH nicht unterschritten wird, charakteristischen Mindeststromdichte gesichert wird, bleibt der Schalter niederohmig. Beim Unterschreiten Dementsprechend wird auch ein Kanal jeweils durch des Haltestroms iH springt der Widerstand jedoch 30 Einhalten dieser charakteristischen Mindeststromwieder reversibel auf seinen ursprünglichen hohen dichte aufrechterhalten. Dadurch werden jeweils zu-Wert RH zurück. Dieses Rückschalten erfolgt in nächst eingefangene, aber danach wieder weggejedem Fall beim Unterschreiten von iH. und zwar führte Ladungsträger ständig ersetzt. Bei dem Schalunabhängig von der Stromabnahmegeschwindigkeit. ter wird die Mindeststromdichte zunächst in dem Es ist also kein stromunabhängiger Speichereffekt 35 durch den Steuerstrom hervorgerufenenen Kanal zwivorhanden. Dasselbe Einschalt- und Rückschaltver- sehen Steuerelektrode S und Grundelektrode G erhalten zeigt sich auch, wenn der Schalter mit einem reicht. Bei Vergrößerung des Steuerstromes breitet Strom anderer Richtung betrieben wird, wie auch sich der Kanal aus, da die Stromdichte im wesentaus der Strom-Spannungs-Charakteristik gemäß liehen gleichbleibt. Wenn der Kanal sich in das zwi-Fig. 1 hervorgeht. Es handelt sich also um einen 40 sehen der LastelektrodeL und der Grundelektrode G Schalter, der bidirektional ist und der daher auch mit liegende Gebiet ausdehnt, setzt der Laststrom ein. Wechselstrom betrieben werden kann. der dann sprungartig ansteigt. Dies geschieht also. In der Fig. 2 ist ein Querschnitt durch einen der- wenn der Steuerstrom die für das Durchschalten des artigen Schalter mit einer zusätzlichen Steuerelek- Laststromkreises erforderliche Stärke erreicht hat. trode gezeigt. Auf der als Grundelektrode G dienen- 45 Vorher kann höchstens eine geringfügige Erhöhung den Grundplatte ist die dünne Schicht M aus glasar- des Stromes im Lastkreis eintreten. Das im Lasttigem Halbleitermaterial aufgebracht, und auf dieser Stromkreis liegende Halbleitermaterial behält so lange Schicht befinden sich die Steuerelektrode S und die seine große Leitfähigkeit, wie dort die charakteri-Lastelektrode L. Die Steuerelektrode S wird von der stische Mindeststromdichte aufrechterhalten bleibt. Lasiclektrode L ringförmig umgeben. Die Grundelek- 50 Erst wenn diese z. B. durch hinreichende Absenkung trode ist durch das Halbleitermaterial getrennt ge- oder durch Abschaltung der Hilfsspannung untergeniiber den anderen beiden Kontaktelektroden an- schritten wird, wird das Halbleitermaterial in den Zugeordnet. Mit Hilfe der Spannung l/l kann über den stand kleiner Leitfähigkeit umgeschaltet Widerstand Rs ein über die Steuerelektrode S und die Um unbeabsichtigte Speichereffekte zu vermeiden, Grundelektrode L fließender Steuerstrom Is hervor- 55 ist bei all diesen Vorgängen die Änderung des Aggregerufen werden. Über den Lastwiderstand R1 ist gatzustandes zu vermeiden. Dies kann z. B. dadurch außerdem die Hilfsspannung 1/2 an die Lastelek- geschehen, daß eine gute Wärmeabfuhr vorgesehen trode G angelegt. Die Hilfsspannung V 2 ist kleiner ist, z. B. über die als Metallplatte ausgebildete Grundais die Schwellenspannung uS, aber größer oder gleich elektrode. Wärmestauungen, die den Aggregatzustand der Haltespannung uR. Unter ihrem alleinigen Ein- 60 ändern könnten, können dadurch vermieden werden, fluß wird daher das Halbleitermaterial nicht in den daß der Laststrom jeweils durch hinreichend lange Zustand großer Leitfähigkeit gebracht. Die Hilf«.- Pausen unterbrochen wird, in denen die vorher ersnannung V 2 hat aber solche Polarität, daß sie sonst zeugte Wärme abgeführt wird. Da der beim erfineinem von der Spannung l/l hervorgerufenen Steuer- dungsgemäßen Schalter vorgesehene Umschalteffekt strom h entsprechend wirkt. Zum Umschalten aus 65 nicht mit einer Änderung des Aggregatzustandes verdcm Zustand kleiner Leitfähigkeit in den Zustand bunden ist. ergibt es sich auch, daß der Umschaltvor-■roßcr Leitfähigkeit wird nun zunächst ein Kanal gang jeweils nur verhältnismäßig wenig Zeit bean- \ _ß Leitfähigkeit zwischen der Steuerelektrode S spracht. Dadurch wird auch der Betrieb des elektro-

nischen Schalters mit Wechselstrom erleichtert. Der das Durchschalten des Schalters bewirkende Umschaltvorgang kann durch Erhöhung des Steuerstromes abgekürzt werden.

Durch Aufteilung von Kontaktelektroden in mehrere Teilelektroden kann der erfindungsgemäße elektronische Schalter noch weiter ausgestaltet werden. An Hand der F i g. 3 ist ein Beispiel dafür gezeigt, wie die Lastelektrode in mehrere Teilelektroden aufgeteilt werden kann. Die Fig. 3 zeigt die Draufsicht des in F i g. 2 gezeigten elektronischen Schalters. Demnach befindet sich auch hier auf der als Grundplatte dienenden Grundelektrode G eine Schicht M aus Halbleitermaterial, auf der sich dann die kreisförmige Steuerelektrode S befindet. Die Steuerelektrode S ist ringförmig von mehreren Ringsektoren bildenden Lastelektroden L1, L2 ... LS umgeben. Mit

Hilfe eines über die Steuerelektrode 5 und die Grundelektrode G fließenden Steuerstromes können hier statt eines nunmehr mehrere Laststromkreise gesteuert werden, über die z. B. unterschiedliche Lastströme fließen können.

Es ist auch möglich, die Steuerelektrode in mehrere Teilelektroden aufzuteilen und damit eine Mehrfachsteuerung zu ermöglichen.

Auch für den erfindungsgemäßen elektronischen Schalter kommen als Bestandteile des glasartigen Halbleitermaterials die bereits im einzelnen angegebenen Elemente in Frage. Für einen in Dünnfilmtechnik hergestellten elektronischen Schalter hat sich ein Halbleitermaterial aus 70 Gewichtsprozent Te, 15 Gewichtsprozent As, 5 Gewichtsprozent Ge unci 10 Gewichtsprozent Si als besonders geeignet erwiesen.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Elektronischer Schalter aus glasartigem Halbleitermaterial, das von einem Zustand kleiner elektrischer Leitfähigkeit in einen Zustand großer Leitfähigkeit und umgekehrt ohne Änderung seines Aggregatzustandes umschaltbar ist, bei dem zum Umschalten aus dem Zustand kleiner Leitfähigkeit in den Zustand großer Leitfähigkeit zwischen einer sperrschichtfreien Steuerelektrode und einer sperrschichtfreien Grundelektrode durch einen über diese Elektroden fließenden Steuerstrom ein sich mit zunehmendem Steuerstrom räumlich verbreiternder Kanal großer Leitfähigkeit hervorgerufen wird und unter dem Einfluß einer an eine sperrschichtfreie Lastelektrode und die Grundelektrode angelegten Hilfsspannung, die für sich keinen leitfähigen Kanal hervorruft, aber sonst dem Steuerstrom entsprechend wirkt, ein die Lastelektrode und die Grundelektrode verbindender Kanal großer Leitfähigkeit für einen Laststrom über die Lastelektrode und die Grundelektrode entsteht, der bei Unterbrechung des Steuerstromes erhalten bleibt, bis durch Absenkung der Hilfsspannung unter eine Haltespannung vom Zustand großer Leitfähigkeit in den Zustand kleiner Leitfähigkeit umgeschaltet wird und der Laststrom unterbrochen wird, bei dem die Grundelektrode gegenüber den beiden anderen konzentrischen Kontaktelektroden getrennt durch das Halbleitermaterial liegt, dadurch gekennzeichnet, daß die Lastelektrode (L) die Steuerelektrode (S) ringförmig umgibt.

2. Schalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Kanal jeweils durch Einfangen von Ladungsträgern im Halbleitermaterial (M) hervorgerufen und durch Einhalten einer charakteristischen Mindeststromdichte aufrechterhalten Wird.

3. Schalter nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Änderung des Aggregat-Kustandes durch gute Wärmeabfuhr vermieden ist.

4. Schalter nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Änderung des Aggregatzustandes dadurch vermieden ist, daß der Laststrom durch Pausen unterbrochen wird.

5. Schalter nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerelektrode in mehrere Teilelektroden aufgeteilt ist.

6. Schalter nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundelektrode in mehrere Teilelektroden aufgeteilt ist.

7. Schalter nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerelektrode (S) ringförmig von mehreren Ringsektoren bildenden Lastelektroden (Ll, L2 ... LS) umgeben ist.

8. Schalter nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Halbleitermaterial aus Tellur, Arsen, Germanium und Silizium besteht.