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DE2164340A1 - Verfahren zur Bildung einer flexiblen, elektrisch leitfähigen Schicht - Google Patents

Verfahren zur Bildung einer flexiblen, elektrisch leitfähigen Schicht

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DE2164340A1
DE2164340A1 DE19712164340 DE2164340A DE2164340A1 DE 2164340 A1 DE2164340 A1 DE 2164340A1 DE 19712164340 DE19712164340 DE 19712164340 DE 2164340 A DE2164340 A DE 2164340A DE 2164340 A1 DE2164340 A1 DE 2164340A1
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electrically conductive
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Description

: . . * · · ·· Patentanwälte Dipl.-Ing.» TF..WfefcMnAj«N; * : 216 A3 AO
Dipl.-Ing. H.Weickmann, Üipl.-Phys. Dr. K. Fincki D1PL.-ING. R A.WEICKMANN, Dipl.-Chem. B. Huier
I MÖNCHEN 16, DEN POSTFACH »60 820
XEROX COBPOEATIOIi, möhlstrasse 22, rufnummer 413921/22
Xerox Square, <983921/22>
Rochester. N.Y.14603/V.St.A.
Verfahren zur Bildung einer flexiblen, elektrisch leitfähigen Schicht
Die Erfindung ■betrifft ein Verfahren zur Bildung einer flexiblen, elektrisch leitfähigen Schicht auf der Oberfläche einer· im elektrischen Feld deformierbaren elastomer en Schicht.
Es ist bereite bekannt, Bilder auf thermoplastischen Flächen durch Reliefbildung zu erzeugen, indem diese Flächen in bildmäßiger Verteilung deformiert werden. Die Bilderzeugung erfolgt dabei durch Bildung von Erhebungen und Vertiefungen auf der thermoplastischen Fläche. An der verformten Fläche reflektiertes oder durch sie hindurchgelassenes Licht kann das aufgezeichnete Bild sichtbar machen, da das Licht durch die Verformungen gestreut oder gebrochen wird. Man unterscheidet drei verschiedene Arten der Reliefbilderzeugung auf thermoplastischen Flächen.
Die erete Bilderzeugungsart ist das sogenannte "Mattierungsverfahren", das in den US-Patentschriften 3 196 009, 3 196 011, 3 25Θ 336 und 3 196 008 beschrieben ist. Die liattierungsbilderzeugung wurde bisher so durchgeführt, daß an einer dünnen, isolierenden, thermoplastischen Schicht
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ein Spannungsmuster erzeugt wurde. Dieses Spannungsmuster wird normalerweise mit einer "benachbarten Schicht eines fotoleitfähigen Materials erzeugt, jedoch kann auch die thermoplastische Schicht selbst fotoleitfähig sein. Das elektrische Feld wird an der Schichtanordnung aus thermoplastischer und fotoleitfähiger Schicht oder an der fotoleitfähigen thermoplastischen Schicht erzeugt. Das Lichtintensitätsmuster des auf das fotoleitfähige Material einwirkenden Bildes erzeugt ein veränderliches elektrostatisches Feld.
Es wurde festgestellt, daß eine dünne, flüssige Schicht, an der ein starkes elektrisches Feld erzeugt v/ird, vorzugsweise in einem Muster deformiert wird, das genau den räumlichen Frequenzänderungen dieses Feldes angepaßt ist, wenn die Änderungen vornehmlich aus räumlichen Frequenzen im Bereich der charakteristischen oder Resonanzfrequenz der Schicht liegen. Für mittlere elektrische Feldstärkewerte hat diese Frequenz normalerweise den Wert 1/2 T, wobei T die Dicke der flüssigen Schicht ist. Ändert sich das Feldmuster langsamer, so werden auf der Oberfläche der Schicht Runzeln oder regellose Deformationen gebildet, die charakteristische räumliche Frequenzen im Bereich von 1/2 T haben und als Mattierung bezeichnet werden. Bilder mit Raumfrequenzen innerhalb des Bereichs der Resonanzfrequenz der deformierbaren Oberfläche werden durch eine derartige Deformation sehr gut reproduziert. Bilder mit Raumfrequenz en, die niedriger als diese Resonanzfrequenz liegen, erzeugen Mattierungen in den Bereichen stärkerer Beleuchtung« In Verbindung mit einem optischen Schlieren-System oder einer anderen geeigneten .anordnung können aus den Mattierungsdeformationen Bilder guter Qualität rekonstruiert werden. Das Eigenrauschen des Mattierungsbildes wirkt sich jedoch für einige Anwendungsfälle nachteilig aus.
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Die zweite Bilderzeugungsart wird auch als "Rastermattierung" bezeichnet und ist durch die US-Patentschriften 3 196 012 und 3 436 216 "bekannt. Dieses AbMl dungs verfahren ermöglicht die Aufzeichnung von Deformationsbildern mit Raumfrequenzen, die viel niedriger als die Resonanzfrequenz der deforrai erbaren Schicht sind. Es wurde gezeigt, daß durch ein Linien-Absorptionsraster mit einer Raumfrequenz nahe der Resonanzfrequenz der deformierbaren Fläche zwischen dem projizierten Bild auf dem Fotoleiter und dem Fotoleiter selbst eine Deformation erzeugt werden kann, die in den beleuchteten Bereichen des Fotoleiters keine Mattierung zeigt. Die durchgehenden Bildflächenteile, d.h. Berei- " ehe mit niedriger Raumfrequenz sind dabei mit Mattierungen angefüllt, wobei jedoch noch Reste des Rasters vorhanden sind. Wenn diese nicht erwünscht sind, so können sie durch nachfolgendes räumliches Filtern oder durch andere bekannte Verfahren entfernt werden.
Die dritte Bilderzeugungsart ist eine Variante der beiden erstgenannten, jedoch wird sie wegen ihrer Wichtigkeit besonders erläutert. Sie ermöglicht das Aufzeichnen von Hologrammen auf einer deformierbaren Schicht und wurde von Cathey für gebleichte Gelatineemulsionen und von Urbach für eine Schichtanordnung aus einer thermoplastischen und i einer fotoleitfähigen Schicht beschrieben. Ein Hologramm ist eine Aufzeichnung des Interferenzmusters zweier Lichtstrahlen, die miteinander kohärent sind. Ein Lichtstrahl enthält normalerweise Informationen eines Objekts, der andere ist ein Bezugsstrahl mit im allgemeinen einfacher Struktur. Das Interferenzmuster hat normalerweise die Erscheinung eines in gewisser Weise verstümmelten Bildes auf einem Bildträger. Nähert sich die Raumfrequenz des Bildträgers der Resonanzfrequenz der dünnen, flüssigen Schicht an, so deformiert sich die Oberfläche längs der
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Struktur des Interferenzmusters, und es wird ein nur geringes Rauschen erzeugt.
Alle vorstehend genannten Bilderzeugungsarten arbeiten nit Deformation einer dünnen Plastikschicht, die durch Wärmeeinwirkung oder Lösungsmitteldämpfe erweiohbar ist. Sie können prinzipiell wiederholt durchgeführt werden, indem Wärme oder Lösungsmitteldämpfe zur Erweichung des Kunststoffs zur Einwirkung gebracht werden und das jeweils aufgezeichnete Bild gelöscht wird. Eormalerweise kann sich dann die Oberfläche wieder verfestigen, indem sie gekühlt oder einem Ventila-A tionsgerät ausgesetzt wird. Dann kann ein weiteres Bild erzeugt werden. Diese Verfahren können jedoch nicht sehr schnell zyklisch durchgeführt werden. Ferner erfordert eine zyklische Durchführung den Aufwand von Lösungsmitteln oder großer Eingangsleistungen. Ferner wurde wiederholt beobachtet, daß die technischen Kunststoffe nicht völlig gelöscht werden können, da mit dem Entwicklungsverfahren chemische Änderungen verbunden sind. Deshalb kann mit diesen Stoffen eine nur begrenzte Anzahl Bilderzeugungszyklen durchgeführt werden. Es besteht daher der Bedarf für ein verbessertes Reproduktionsverfahren, das wiederholt und schnell sowie wirtschaftlich zyklisch durchgeführt werden kann und einen geringen Leistungsbedarf verursacht.
Es wurde bereits ein die vorstehend aufgezeigten Nachteile vermeidendes elektrofotografisches Reproduktionsverfahren vorgeschlagen, bei dem ein Aufzeichnungsträger mit einer elektrisch isolierenden, elastomeren Schicht verwendet wird und die Bestrahlung bis zu einer dem Licht-Schatten-Muster entsprechenden Verformung dieser Schicht durchgeführt wird.
Die vorliegende Erfindung hat sich die Aufgabe gestellt, ein Verfahren zur Bildung einer flexiblen, elektrisch leitfähigen Schicht auf der Oberfläche einer elastomeren
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Schicht anzugeben, das schnell, einfach und ohne großen Aufwand durchzuführen ist.
Ein solches Verfahren, wie es auch eingangs angegeben ist, kann gemäß der Erfindung zur Lösung der vorstehend aufgezeigten Aufgabe derart durchgeführt werden, daß ein Material mit hohem Schmelzpunkt in Vakuum verdampft und auf der Oberfläche der elastomeren Schicht kondensiert wird und daß ein Material mit niedrigem Schmelzpunkt in Vakuum verdampft und auf der Oberfläche der elastomeren Schicht kondensiert wird.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im folgenden für die Herstellung eines Aufzeichnungsträgers mit elastomerer Schicht beschrieben. Die Bezeichnung "elastomer" betrifft im folgenden ein normalerweise amorphes Material, welches bei Auftreten einer Deformation eine Rückbildungskraft hat. Ein solches Material deformiert sich also unter einer Krafteinwirkung und neigt zu einer Rückbildung seiner Form durch Volumen- und Oborflächenkräfte, so daß es wieder die Form annimmt, die es vor der Krafteinwirkung hatte.
Bei dem hier betrachteten Ausführungsbeispiel ist ein Aufzeichnungsträger mit einer Unterlage vorgesehen, die je nach Verwendungszweck durchsichtig oder undurchsichtig sein kann. Ist die Unterlage nicht leitfähig, so ist sie mit einer elektrisch leitfähigen Schicht versehen. Y/enn sie transparent ist, so kann die elektrisch leitfähige Schicht ^leichfallα transparent sein. Auf der elektrisch leitfähigen Schicht oder auf der gegebenenfalls leitfähigen Unterlage ifjt eine fotoleitfähig Schicht angeordnet. Über der fotoleitfühigen Schicht befindet sich eine elastomere Schicht, die durch ein elektrostatisches Ladungsbild auf der fotoleitfähigen Schicht deformierbar ist. Eine
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dünne, elektrisch leitfähige Schicht liegt auf der elastomer en Schicht und muß so flexibel sein, daß sie den Deformationen der elastomeren Schicht folgt, \7enn die dünne, elektrisch leitfähige Schicht undurchsichtig ist, beispielsweise ein dünner Metallfilm, so muß die Unterlage und ihre leitfähige Schicht transparent sein, damit die Bildinformationen die fotoleitfähige Schicht erreichen. In diesem Falle können die Bildinformationen kontinuierlich gelesen werden, wenn das dazu verwendete Licht von der richtigen Seite her einfällt. Yfenn die dünne, elektrisch leitfähige Schicht transparent ist, kann das Licht an ihrer Oberfläche reflektiert v/erden oder die Anordnung wird bei Durchleuchtung verwendet, wenn die Unterlage und ihre leitfähige Schicht transparent sind.
Die dünne, elektrisch leitfähige Schicht kann eine dünne Schicht aus Gold oder aus Indium oder eine Kombination beider Stoffe sein, es können auch geeignete andere Metallschichten vorgesehen sein. Die Dicke der Metallschichten liegt normalerweise zwischen ca. 50 Angströmeinheiten und einigen Tausend Angströmeinheiten, was von der gewünschten Flexibilität und der erforderlichen Leitfähigkeit abhängt. Eine transparente und leitfähige Schicht kann auch verwendet werden, beispielsweise besteht diese aus dem Harz ECR 54 von Dow Corning und ist auf die Oberfläche der elastomeren Schicht aufgebracht. Andere leitfähige Schichten, wie sie dem Fachmann bekannt sind, können gleichfalls beim erfindungsgemäßen Verfahren angewendet werden. Zur Erzeugung und Blockierung des Deformationsbildes wird eine Spannung zwischen der Unterlage und der leitfähigen Schicht angewendet, die ungefähr zwischen 1 und 25000 Volt liegt, was von der Dicke und den anderen Eigenschaften des Elastomers abhängt.
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An die dünne, leitfähige Schicht sind folgende Anforderungen zu stellen: ausreichende leitfähigkeit zur Bildung einer Äquipotentialfläche bei Verbindung mit einer elektrischen Energiequelle, ausreichende Flexibilität zur Anpassung an die Deformationen des Elastomers, ausreichende Alterungsfestigkeit gegenüber zahlreichen und schnellen Bildungen und Löschungen von Oberflächendeformationen und in einigen Fällen hohe TJndurchlässigkeit und Reflexionsfähigkeit, wenn die Informationen durch eine hochintensive Lichtquelle gelesen werden, für die die fotoleitfähige Schicht empfindlich ist.
Vorzugsweise werden für die dünne, elektrisch leitfähige Schicht Gold und Indium verwendet. Die Schicht wird dadurch gebildet, daß die Stoffe durch Aufdampfung auf den Elastomer aufgebracht werden. Hierzu wird ein Material auf oder über, seinen Schmelzpunkt erhitzt, die Dämpfe werden auf der gewünschten Fläche kondensiert. Dieses Verfahren ist an sich geläufig, und es können die für die Verdampfung und Kondensierung üblichen Maßnahmen durchgeführt werden. Mit dem' Schrumpfen einer kondensierten Metallschicht tritt jedoch ein Problem auf, welches auf neuartige Weise zur Bildung der leitfähigen Schicht mit den vorstehend genannten Erfordernissen überwunden wird. Aufgedampfte Metalle neigen zur Schrumpfung, d.h. zum Zusammenziehen, wenn sie sich abkühlen. Bei einem gewissen Wärmeenergiezustand neigt die Metallschicht dann zur Rißbildung, so daß sie unregelmäßig wird. Dieses Zerbrechen einer Metallschicht wird im folgenden auch als "Krustenrißbildung" bezeichnet, da die Erscheinungsform solcher Schichten nach der Schrumpfung den Eindruck einer zerrissenen Schlammkruste vermittelt. Das 'hier beschriebene Verfahren sieht ferner die Aufdampfung einer zweiten Metallschicht auf die erste vor, bevor die erste Schicht einer Rißbildung unterworfen ist. Die beiden
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Stoffe können gleichzeitig aufgebracht werden. Das zweite" Hetall ist so ausgewählt, daß es einen niedrigeren Schmelzpunkt als das erste hat. Das Endprodukt ist eine kontinuierliche Schicht, di-'j die ο Den angegebenen Erfordernisse erfüllt und dabei innerhalb großer Temperaturbereiche keine Krustenrisse zeigt. Die Schicht kann Teile aufweisen, in denen die beiden Metalle (oder andere geeignete Stoffe) schichtartig übereinander liegen, jedoch auch solche Teile, wo die beiden Metalle makroskopisch und mikroskopisch (d.h. in Form einer Legierung) miteinander vermischt sind. Perner. können solche Teile vorliegen, wo die beiden Anteile nebeneinander liegen. Es können auch zusätzliche Stoffe vorgesehen sein, die bestimmte Eigenschaften verbessern oder unterdrücken.
Eine Theorie, die die Erfindung jedoch nicht einschränken soll, erklärt die Unterdrückung der ICrustenrißbildung bei der nach der Erfindung gebildeten Schicht. Sie bezieht sich auf die relative Beweglichkeit der Atome an den Oberflächen unterschiedlicher Stoffe. Die Atome von Stoffen mit hohem Schmelzpunkt haben normalerweise eine geringe Oberflächenbeweglichkeit, die zu einer Krustenrißbildung führt, wenn die Metalle als Schicht auf ein elastomeres Material aufgebracht werden. Die. Atome von Stoffen mit geringerem Schmelzpunkt zeigen eine vergleichsweise viel größere Oberflächenbeweglichkeit, ihr Vorhandensein schwächt die Auswirkungen der in dem Material mit hohem Schmelzpunkt erzeugten Spannungen ab.
Die vorzugsweise verwendeten Stoffe G-old und Indium haben einen hohen bzw. niedrigen Schmelzpunkt. Eine KrustenriiS-bildung wird normalerweise bei aufgedampften G-oldschichten innerhalb von Minuten nach Abkühlung auf Raumtemperatur beobachtet. Deshalb steht normalerweise eine ausreichende
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- Zeit zur Aufdämpfung deo Indiums auf die Goldschicht zur Verfügung. SLn Beispiel einer sehr guten Schichtbildung ergibt sich bei Ablagerung von 50 bis einigen Tausend Angströmeinheiten Gold und darauf folgende Ablagerung von 50 bis einigen Tausend Angströmeinheiten Indium auf die Goldschicht. Die erhaltene Schicht ist kontinuierlich und zeigt keine Krustenrißbildung innerhalb eines großen Temperaturbereiches. Das Indium ist besonders deshalb vorteilhaft, weil es die ITndurchsichtigkeit der gebildeten Schicht erhöht und infolge seines silbrigen Aussehens die Eeflexionsfähigkeit der Schicht verbessert.
Es sei bemerkt, daß Indium selbst ein nicht sehr wirksames Material für die dünne, elektrisch leitfähige Schicht ist, da es eine schlechte Leitfähigkeit hat. Diese schlechte Leitfähigkeit ist eine Eigenschaft der Stoffe mit geringem Schmelzpunkt, da sie während der Kondensation Inseln bilden, die sich nicht zu einer kontinuierlichen Schicht wesentlicher Dicke verbinden. Entsprechend kann man beobachten, daß Aufdampfungen einzelner Stoffe (oder deren Legierungen) mit hohem oder niedrigem Schmelzpunkt Schichten ergeben, die weniger zufriedenstellend arbeiten als solche Schichten, dio aus Stoffen mit hohem Schmelzpunkt und aus Stoffen Mit niedrigem Schmelzpunkt gebildet sind.
Weitere geeignete Stoffe mit hohem Schmelzpunkt außer Gold sind Aluminium, Silber, Magnesium, Kupfer, Kobalt, Eisen, Chrom, ITickßl und andere. Aluminium hat die weitere günstige Eigenschaft, daß es stark korrosionsbeständig ist. Geeignete Stoffe mit niedrigem Schmelzpunkt außer Indium sind Gallium, Cadmium, Quecksilber, Blei und andere. Cadmium ha-t für sich bereits eine sehr geringe Neigung zur Eißbildung.
Die vorstehenden Probleme der Rißbildung und der Inselbildung
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können nicht auftreten, wenn die leitfähige Schicht durch chemische Reaktion, Ausfällung aus einer Lösung, Elektrophorese, Elektrolyse und/oder andere Verfahren gebildet
Auf der elektrisch leitfähigen Schicht kann auch eine wahlweise transparente Isolierstoff schicht'· aus Öl vorgesehen sein. Ihre Aufgabe besteht darin, die Herstellungserfordernisse für die Schicht anordnung weniger stark einzuschränken. Das Vorhandensein von winzigen Löchern in der elastomer en Schicht kann Kurzschlüsse hervorrufen, die möglicherweise ihre Leistungsfähigkeit herabsetzen. Die zusätzliche Ölschicht verhindert solche Kurzschlüsse, da das isolierende Öl in die Löcher hineinfließt.
Die Ölschicht hat auch eine weitere wichtige Punktion, wenn sie einen gegenüber Luft unterschiedlichen Brechungsindex hat. Das Vorhandensein des Öls auf der leitfähigen Schicht bewirkt, daß von einer Seite her einfallendes Licht stärker moduliert wird, als dies der Fall wäre, wenn nur Luft an der Grenzfläche vorhanden wäre. Der Grund besteht darin, daß für denselben Grad der Oberflächendeformation die Änderungen des optischen Weges proportional dem Brechungsindex des Mediums sind, welches an die Schicht oberfläche angrenzt.,
Das auf einem erfindungsgemäß hergestellten Aufzeichnungsträger erzeugte Bild kann gelöscht werden, indem, das elektrische Feld an dem Aufzeichnungsträger entfernt oder umgekehrt wird. Ein weiteres Verfahren zur Löschung der Oberflächendeformationen besteht darin, an der unterlage eine Lichtquelle anzuordnen und die fotoleitfähige Schicht zu beleuchten, so daß das modulierte Muster, welches durch das Bilderzeugungslicht gebildet wurde, gelöscht wird. Dies kann durchgeführt werden, solange die Felder an
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der elastomeren Schicht einen Wert haben, der noch keine Blockierung der Oberflächendeforniationen bewirkt.
Im allgemeinen sollen die elastomeren Stoffe gute Isolatoren sein und einen spezifischen Volumenwiderstand von mehr als 10 Ohm cm besitzen. Vorzugsweise wird ein Elastomer verwendet, der eine transparente Zusammensetzung aus einem elastomeren Dimethylpolysiloxansilicongel ist, hergestellt durch Zusammenbringen von ca. 1 Teil Dow Corning Kr. 182, eine härtende Siliconharzverbindung, und von 0 bis ca. 30 Teilen Dow Corning Nr. .200, Dimethylpolysiloxansiliconöl. Geeignete Harze sind transparente, flexible Organosilonanharze der in der US-Patentschrift 3 284 406 beschriebenen Art, bei denen ein größerer Anteil der organischen Gruppen an dem Silizium Methylradikale sind.
Die Deformation des Elastomers ist unterschiedlich gegenüber derjenigen thermoplastischer Stoffe, denn sie sind unabhängig von jeglichem Entwicklungsschritt, beispielsweise von einer Erweichung durch Erwärmung und/oder Lösungsmittel, wie sie bei thermoplastischen Stoffen erforderlich ist. Ein weiterer Unterschied zwischen elastomeren und thermoplastischen Stoffen besteht darin, daß die elastomeren Deformationen einen bestimmten Grenzwert für ein vorgegebenes elektrisches EeId erreichen, da elastische Kräfte der Deformation entgegenwirken. Die thermoplastischen Deformationen zeigen keinen derartigen Grenzwert für eine gegebene Feldstärke, solange der thermoplastische Stoff in einem erweichten Zustand gehalten wird.
,Wie auch bereits vorgeschlagen wurde, ist es möglich, ein Bild auf einer undurchsichtigen Schichtanordnung mit Licht zu erzeugen, welches durch die Unterlage geleitet wird, oder
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gleichzeitig das Bild mit Licht zu rekonstruieren, welches von der anderen Seite her zugeführt wird. Die beiden Lichtstrahlen können.unterschiedliche ./ellenlangen und/oder Intensitäten haben. Es hat sich nun gezeigt, dai3 ein Lichtstrahl kohärent, der andere nicht kohärent sein kann. Das Rekonstruktion licht kann beispielsweise kohärent und durch einen Laser erzeugt sein, so daß die Bildverarbeitungsschritte auf dem Oberflächendeformationsbild durchgeführt worden können, welches mit nicht kohärentem Licht durch die Unterlage hindurch erzeugt wird. Andererseits kann das zur Erzeugung der Deformationen verwendete Licht kohärent sein, während das Rekonstruktionslicht nicht kohärent ist. Dieser Fall ist insofern günstig, als nicht kohärentes Licht dem menschlichen Auge angenehmer erscheint und die üblichen Generatoren für kohärentes Licht nur innerhalb schmaler Wellenlängenbänder arbeiten, d.h. sie erzeugen nur eine Farbe, z.B. Rot. Ein Grund zur Anwendung kohärenten Lichtes für die Erzeugung der Oberflächendeformationen ergibt sich, wenn dieses Licht das Rekonstruktionlicht zur Erzeugung von Bildern mit Hologrammen ist. Daher kann eine nach der Erfindung hergestellte Aufzeichnungsanordnung mit einem Oberflächendeformationsbild durch ein projeziertes, holografisch rekonstruiertes Bild versehen werden, wobei dieses neue Bild mit nicht kohärentem Licht wesentlich gröi3erer Intensität betrachtet werden kann. Dadurch ergeben sich Anwendungsmöglichkeiten bei großen Sichtfeldern und Anzeigevorrichtungen.
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Claims (6)

  1. - 13 Patentansprü ο h e
    Iy Verfahren zur Bildung einer flexiblen, elektrisch leitfähigen Schicht auf der Oberfläche einer im elektrischen PeId deformierbaren elastomeren Schicht, dadurch gekennzeichnet, daß ein Material mit hohem Schmelzpunkt in Vakuum verdampft und auf der Oberfläche der elastomeren Schicht kondensiert wird und dai3 ein Material mit niedrigem Schmelzpunkt in Vakuum verdampft und auf der Oberfläche der ela- . ä stomeren Schicht kondensiert wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Valcuumaufdampfung und die Kondensation beider Anteile vor einer Rißbildung des jeweils anderen Anteils durchgeführt wird.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß beide Anteile gleichzeitig in Vakuum aufgedampft und kondensiert werden.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch I9 dadurch gekennzeichnet, daß
    das Material mit niedrigem Schmelzpunkt nach dem Material " mit hohem Schmelzpunkt, jedoch vor dessen Rißbildung, auf die elastomere Schicht aufgedampft und kondensiert wird.
  5. 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß als Material mit hohem Schmelzpunkt Gold verwendet wird.
  6. 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5» dadurch gekennzeichnet, daß als Material mit niedrigem Schmelzpunkt Indium verwendet wird.
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DE2164340A 1970-12-28 1971-12-23 Verfahren zur Bildung einer flexiblen, elektrisch leitenden Schicht Expired DE2164340C3 (de)

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