DE202009002567U1

DE202009002567U1 - Device for the contactless detection of glass plates

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Publication number: DE202009002567U1
Application number: DE200920002567
Authority: DE
Original assignee: Grenzebach Maschinenbau GmbH
Current assignee: Grenzebach Maschinenbau GmbH
Priority date: 2009-02-23
Filing date: 2009-02-23
Publication date: 2009-06-25
Anticipated expiration: 2019-02-24

Abstract

Vorrichtung zum berührungslosen Erfassen von Glasplatten, insbesondere von Glasplatten der Größenordnung mehrerer Quadratmeter, mit den folgenden Merkmalen:
a) wenigstens eine schwingungsfähige, rechteckige, plattenförmige, Schwingplatte (1) mit wenigstens einem Schwingungserzeuger (8), wobei die vier Ecken der Schwingplatte (1) von jeweils einer, im Wesentlichen quadratischen, die Schwingplatte (1) um etwa die Hälfte überragenden, Teilfläche (9) gebildet werden, und wobei jede dieser Teilflächen (9) an ihren vier Ecken zungenförmige Ausbuchtungen aufweist, und wobei die Teilflächen (9) miteinander durch Stege (10) verbunden sind,
b) jede Teilfläche (9) weist eine zentrale Öffnung zur Aufnahme eines, an der Oberseite installierten, Absaugrohrs (2) zur Luftabsaugung auf,
c) an der Unterseite jeder Teilfläche (9) ist eine kreisförmige, mit der zentralen Öffnung verbundene Aussparung vorgesehen,
d) die plattenförmige Schwingplatte (1) ist über vier, jeweils am Absaugrohr (2) einer Teilfläche (9) befestigte und in der Mitte der Schwingplatte (1) zusammengeführte Verbindungsträger (7) mit einem zentralen, nach...Device for the non-contact detection of glass plates, in particular glass plates of the order of several square meters, having the following features:
a) at least one oscillatory, rectangular, plate-shaped, vibration plate (1) having at least one vibration generator (8), wherein the four corners of the vibration plate (1) of one, substantially square, the vibrating plate (1) by about half Partial surface (9) are formed, and wherein each of these partial surfaces (9) has tongue-shaped bulges at its four corners, and wherein the partial surfaces (9) are interconnected by webs (10),
b) each partial surface (9) has a central opening for receiving a suction pipe (2) for the extraction of air installed at the top,
c) on the underside of each partial surface (9) is provided a circular recess connected to the central opening,
d) the plate-shaped oscillating plate (1) via four, in each case on the suction tube (2) of a partial surface (9) fixed and in the middle of the vibrating plate (1) merged connection carrier (7) with a central, after ...

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung berührungslosen Erfassen von Glasplatten, insbesondere von Glasplatten der Größenordnung mehrerer Quadratmeter. Solche Glasplatten sind zum Beispiel aus der Photovoltaik bekannt und tragen oftmals eine berührungsempfindliche Beschichtung.The The present invention relates to a non-contact device Detecting glass plates, in particular glass plates of the order of several Square meters. Such glass plates are for example from the photovoltaic known and often carry a touch-sensitive Coating.

Aus dem Stand der Technik erscheinen folgende Druckschriften relevant.Out The following documents are relevant to the state of the art.

Aus der DE 100 39 482 A1 ist ein Handler zum Transportieren von flachen, in der Halbleiterindustrie zur Anwendung kommenden, Substraten, insbesondere Wafern, zwischen zwei Stationen, bekannt. Die diesem Handler zugrunde liegende Aufgabe besteht darin, bei diesem Transport die Berührung mit einer Auflagefläche weitgehend zu vermeiden.From the DE 100 39 482 A1 is a handler for transporting flat substrates used in the semiconductor industry, in particular wafers, between two stations. The object underlying this handler is to largely avoid contact with a support surface in this transport.

Zur Lösung dieser Aufgabe wird im Wesentlichen vorgeschlagen, dass ein Schwingungserzeuger zur Erzeugung einer longitudinalen Ultraschallschwingung mit einem Tragarm zusammenwirkt, sodass auf diesem Tragarm eine stationäre Schwingung mit mindestens einem Schwingungsbauch einstellbar ist, die eine Levitation eines darauf abgelegten Substrats ermöglicht. Weiter ist in dieser Druckschrift offenbart, dass Mittel zur Lagevorgabe des Substrats für eine laterale Positionierung durch ausschließlich eine Wechselwirkung mit dem Randbereich eines Substrats ausgebildet sind.to Solution to this problem is essentially proposed that a vibration generator for generating a longitudinal Ultrasonic vibration interacts with a support arm so that on this support arm a stationary oscillation with at least a vibration abdomen is adjustable, which is a levitation of a deposited substrate allows. Next is in this Publication discloses that means for determining the position of the substrate for lateral positioning by exclusively formed an interaction with the edge region of a substrate are.

Zum berührungslosen Erfassen großer Glasplatten ist dieser Handler offensichtlich nicht geeignet.To the non-contact detection of large glass plates is this handler obviously not suitable.

In der DE 103 52 944 A1 wird eine Vorrichtung zum berührungslosen Transportieren, Handhaben und Lagern von Bauteilen und Materialien beschrieben, bei der zum Erzeugen eines Schwebezustandes durch Schallevitation eines Gegenstandes über einer schallabstrahlenden Fläche im Wesentlichen eine starre Stützkonstruktion, ein dünnes, parallel zur Stützkonstruktion angeordnetes, schwingungsfähiges Flächenelement und Schwingungserzeugungsmittel vorgeschlagen werden. Dieser Vorrichtung liegt die Aufgabe zugrunde, einerseits eine Lagerung mittels Luftdüsen zu vermeiden, andererseits die bestehende Diskrepanz zwischen dem Verfahren der Schallevitation und den Anforderungen an eine Transportbahn und Lagervorrichtung zu überwinden. In der DE 103 52 944 A1 wird zwar beschrieben wie Bleche über einer Oberfläche in der Schwebe gehalten, fixiert und transportiert werden können, aber die Probleme beim berührungslosen Erfassen und Anheben großer Glasplatten entgegen der Schwerkraft sind mit dieser bekannten Vorrichtung ersichtlich nicht zu lösen.In the DE 103 52 944 A1 a device for non-contact transporting, handling and storage of components and materials is described in which are provided for generating a floating state by Schallvitation an object over a sound radiating surface substantially a rigid support structure, a thin, arranged parallel to the support structure, vibratory surface element and vibration generating means , This device is based on the object, on the one hand to avoid storage by means of air nozzles, on the other hand, to overcome the existing discrepancy between the method of Schrievitation and the requirements of a transport path and storage device. In the DE 103 52 944 A1 Although it is described how sheets above a surface can be suspended, fixed and transported, but the problems of non-contact detecting and lifting large glass plates against gravity can not be solved with this known device.

Aus der DE 10 2007 016 840 A1 ist ferner eine Vorrichtung zum Transportieren und Halten von berührungsempfindlichen flachen Gegenständen und Materialien bekannt, die im Wesentlichen eine plattenförmige Aufnahme mit einem Schwingungserzeuger und wenigstens zwei Abstützelemente aufweist. Hinsichtlich der Lokalisierung des Schwingungserzeugers und der Abstützelemente, sowie der Frequenz des Schwingungserzeugers werden zusätzliche, im Prinzip lediglich eine Aufgabe formulierende, Angaben gemacht. Dieser Vorrichtung liegt das Ziel zugrunde, eine Technologie mittels Schallschwingungen bereitzustellen, die auch für den Transport und zum Halten nicht nur von kleinflächigen und leichten Bauteilen, wie z. B. Wafern, sondern auch für größer und schwerere als den vorhergehend genannten Bauteilen geeignet ist. Als Beispiel werden hierbei Glasplatten in der Größenordnung von einem Quadratmeter angegeben. In diesem Zusammenhang wird in der DE 10 2007 016 840 A1 darauf hingewiesen, dass die herkömmliche Technik, die für den Wafertransport entwickelt wurde, prinzipiell auch für den Transport größerer Bauteile geeignet wäre, wenn die Anzahl der Schwinger entsprechend erhöht und über die gesamte zu tragende Bodenfläche des Bauteils verteilt würde. Dazu wäre jedoch eine Vielzahl von separaten Schwingungssystemen erforderlich, die alle zueinander genau justiert werden müssten. Diese Maßnahmen würden eine erhebliche Verteuerung bedeuten. Abgesehen davon ist hier nur ein Transport in horizontaler Richtung möglich. Ein Anheben von Bauteilen entgegen der Schwerkraft ist mit dieser Vorrichtung nicht möglich.From the DE 10 2007 016 840 A1 Furthermore, a device for transporting and holding touch-sensitive flat objects and materials is known, which essentially has a plate-shaped receptacle with a vibration generator and at least two support elements. With regard to the localization of the vibration generator and the support elements, as well as the frequency of the vibrator additional, formulating in principle only one task, information is made. This device is the object of the invention to provide a technology by means of sound vibrations, which also for the transport and to hold not only small-scale and lightweight components such. As wafers, but also for larger and heavier than the aforementioned components is suitable. As an example, this glass plates are given in the order of one square meter. In this context, in the DE 10 2007 016 840 A1 It should be noted that the conventional technique developed for wafer transport would, in principle, also be suitable for the transport of larger components if the number of oscillators were to be correspondingly increased and distributed over the entire floor surface of the component to be supported. However, this would require a large number of separate vibration systems, which would all have to be precisely adjusted to one another. These measures would mean a considerable increase in costs. Apart from that only a transport in the horizontal direction is possible here. A lifting of components against gravity is not possible with this device.

Für das Erfassen und Anheben von Glasplatten in der Flächengröße von mehreren Quadratmetern ist diese Vorrichtung nicht konzipiert und auch deshalb nicht geeignet, weil Glasplatten von den Ausmaßen von mehreren Quadratmetern produktionsbedingt großflächige Unebenheiten aufweisen und sich zudem bei dem Anheben in der Mitte wegen ihres Eigengewichts nach allen Richtungen durchbiegen. Diese nicht vorhersehbaren Unebenheiten in Verbindung mit dem Vorgang des randseitigen Durchhängens machen den Einsatz der in der DE 10 2007 016 840 A1 beschriebenen Vorrichtung unmöglich.For the detection and lifting of glass plates in the area of several square meters, this device is not designed and therefore not suitable because glass plates of dimensions of several square meters due to production large unevenness and also in the middle of lifting because of their own weight after all Bend directions. These unpredictable bumps in connection with the process of marginal sag make the use of in the DE 10 2007 016 840 A1 described device impossible.

Der erfindungsgemäßen Vorrichtung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, ein berührungsloses Erfassen und Anheben von berührungsempfindlichen Glasplatten in der flächenmäßigen Größenordnung mehrerer Quadratmeter auf wirtschaftliche und sichere, sowie kostengünstige Weise zu ermöglichen.Of the The device according to the invention is therefore the Task based, a non-contact detection and lifting of touch-sensitive glass plates in the areal Magnitude of several square feet on economic and to allow safe, as well as cost effective way.

Diese Aufgabe wird gelöst mit einer Vorrichtung nach Anspruch 1, bzw. Anspruch 2.These The object is achieved with a device according to claim 1, or claim 2.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung wird im Folgenden näher beschrieben.The device of the invention is in Described in more detail below.

Es zeigen im Einzelnen:It show in detail:

1: eine Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Schwingplatte 1 : A plan view of a vibrating plate according to the invention

2: eine Seitenansicht der Schwingplatte der 1 2 a side view of the swing plate of the 1

3: eine verkleinerte Bauform der erfindungsgemäßen Vorrichtung 3 : a reduced size of the device according to the invention

4: eine alternative Konfiguration der Bauform nach 3b 4 : an alternative configuration of the design 3b

5: eine erfindungsgemäße Anwendungsform der Strömung nach Bernoulli 5 : an application form of the flow according to Bernoulli invention

Das grundlegende Funktionsprinzip der erfindungsgemäßen Vorrichtung beruht auf dem Zusammenwirken von Ultraschall und Unterdruck gegenüber der Umgebungsluft bei dem berührungslosen Erfassen von flächenförmigen Körpern, insbesondere Glasplatten. Auf diese Weise ist ein berührungsloses Anheben solcher Körper entgegen der Schwerkraft möglich. Zu diesem Zweck wird eine biegesteife Platte über einen Schwingungserzeuger in Schwingungen versetzt, an bestimmten Stellen der Unterseite dieser Platte wird hinsichtlich der Umgebungsluft ein Unterdruck erzeugt, und die Platte wird auf diese Weise berührungslos mit dem zu hebenden Körper verbunden. Da sich im Fall des Erfassens und Anhebens großflächiger, schwerer Glasplatten besondere Probleme ergeben, wurde erfindungsgemäß die vorliegende spezielle Vorrichtung geschaffen.The basic operating principle of the invention Device is based on the interaction of ultrasound and negative pressure relative to the ambient air in the non-contact Capture of sheetlike bodies, especially glass plates. This way is a non-contact Lifting such bodies against gravity possible. For this purpose, a rigid plate over a Vibration generator vibrated at certain points the underside of this plate is in terms of ambient air creates a negative pressure, and the plate is thus contactless connected to the body to be lifted. As in the case of Grasping and lifting larger, heavier Glass plates particular problems, according to the invention was the present special device created.

In der 1 ist eine Draufsicht auf eine Schwingplatte 1 dargestellt. Die Schwingplatte 1 hat hierbei eine rechteckige Grundform, die in den vier Eckbereichen Teilflächen 9 mit einer jeweils im Wesentlichen quadratischen Ausgestaltung aufweist. Die vier quadratischen Teilflächen 9 bilden zusammen mit den zwei langen und den zwei kurzen Verbindungsstegen 10 eine einstückige Schwingplatte 1, an die ein Schwingungserzeuger 8 angekoppelt ist. Die vier quadratischen Teilflächen 9 weisen jeweils an ihren vier Ecken zungenartige Ausläufer auf die der Harmonisierung des Schwingungsverlaufes dienen. Jede Teilfläche 9 weist in ihrem Zentrum ein Absaugrohr 2 auf, das auf der Unterseite der Teilfläche 9 jeweils in eine kreisförmige Aussparung mündet. Konzentrisch um ein Absaugrohr 2 ist ein, die Schwingung der Schwingplatte 1 absorbierendes, elastisches Material 3 gefügt, das jeweils von einem Haltering 4 umschlossen wird. An jeder Teilfläche 9 ist der Haltering 4 jeweils mit einem Verbindungsträger 7 verbunden. Alle vier Verbindungsträger 7 sind weiter oberhalb der Mitte der Schwingplatte 1 mit einem zentralen Dämpfungsgelenk 5 verbunden, an das sich die zentrale Befestigung 6 anschließt. Das zentrale Dämpfungsgelenk 5 weist ein weiteres, eine eventuelle Restschwingung dämpfendes, Material 3 auf und ist an der zentralen Befestigung 6 nach allen Seiten schwenkbar gelagert.In the 1 is a plan view of a swing plate 1 shown. The swing plate 1 This has a rectangular basic shape, the partial areas in the four corners 9 having a respective substantially square configuration. The four square faces 9 Make up along with the two long and two short connecting bars 10 a one-piece swing plate 1 to which a vibrator 8th is coupled. The four square faces 9 have at their four corners tongue-like extensions on the harmonization of the vibration course serve. Each subarea 9 has a suction tube in its center 2 on that on the underside of the subarea 9 each opens into a circular recess. Concentric around a suction tube 2 is one, the vibration of the vibration plate 1 absorbent, elastic material 3 joined, each of a retaining ring 4 is enclosed. On every surface 9 is the retaining ring 4 each with a connection carrier 7 connected. All four connecting beams 7 are further above the center of the vibrating plate 1 with a central damping joint 5 connected to the central attachment 6 followed. The central damping joint 5 has another, a possible residual vibration damping material 3 on and is at the central fortification 6 swivel-mounted on all sides.

Dies betrifft eine wesentliche Funktion der erfindungsgemäßen Vorrichtung, da mit dieser Maßnahme gewährleistet ist, dass sich die Schwingplatte 1 insgesamt an Unebenheiten der Glasplatten anpassen kann. Denn es ist fertigungstechnisch bedingt, dass Glasplatten von den Ausmaßen von mehreren Quadratmetern naturgemäß großflächige Unebenheiten aufweisen und es ist mechanisch bedingt, dass sich solche Glasplatten bei dem Anheben in der Mitte wegen ihres Eigengewichts nach allen Richtungen durchbiegen.This relates to an essential function of the device according to the invention, since this measure ensures that the oscillating plate 1 Total can adjust to bumps in the glass plates. Because it is due to manufacturing technology, that glass plates of the dimensions of several square meters naturally have large-scale unevenness and it is mechanically limited that bend such glass plates in the middle of lifting in the middle because of their own weight in all directions.

Sollten es besondere Anforderungen notwendig erscheinen lassen kann in der Mitte der Schwingplatte nach der 1 eine weitere Teilfläche 9 mit einem entsprechenden Absaugrohr 2 angefügt sein, die über zusätzliche Querstege 10 mit der Schwingplatte 1 verbunden ist. Hierfür wurde keine Figur gezeigt, da die entsprechende Konfiguration leicht nachvollziehbar erscheint.Should special requirements make it appear necessary in the middle of the swinging plate after the 1 another partial area 9 with a corresponding suction tube 2 be attached, which has additional crossbars 10 with the swinging plate 1 connected is. For this, no figure was shown because the corresponding configuration seems easy to understand.

In der Seitenansicht der 2 sind zwei Absaugrohre 2 mit jeweils einem Absaugschlauch 12 eingezeichnet, die zusammen mit den, in dieser Darstellung nicht sichtbaren, zwei weiteren Absaugrohren 2 und deren Absaugschläuchen 12 zu einer gemeinsamen, nicht extra gezeichneten, zentralen Absauganlage führen.In the side view of 2 are two suction pipes 2 each with a suction hose 12 drawn, which, together with, not visible in this illustration, two further suction tubes 2 and their suction hoses 12 lead to a common, not specially drawn, central exhaust system.

Als Beispiel für eine Möglichkeit der Absenkung der Schwingplatte 1 und der folgenden Anhebung der Schwingplatte 1 im Verbund mit einer aufgenommenen Glasplatte 17 ist in der 2 die Hubsäule 18 mit dem, die Vorrichtung tragenden, Tragarm 14 dargestellt. Zur präzisen Bewegung des Tragarms 14 dient der Servoantrieb 16. Zur Steuerung des Servoantriebs 16 wird, insbesondere bei der Annäherung der Schwingplatte 1 an die Glasplatte 17, mindestens ein Abstandssensor 11 benötigt. Durch ihn wird ein notwendiges Rückkopplungssignal für die Steuerung geliefert. Wie in der 2 in der Detail – Vergrößerung des eingezeichneten Kreises um den Haltering 4 gezeigt, ist ein solcher Abstandssensor 12 vorteilhaft in der Öffnung des Absaugrohrs 2 anzubringen. Vorteilhaft ist es ferner einen derartigen Abstandssensor 11 in jedem Absaugrohr 2 vorzusehen. Hierdurch werden mittels der zu erwartenden, im Detail unterschiedlichen, Ausgangssignale dieser Sensoren 11 zusätzliche Informationen erhalten. Aus diesen Unterschieden lassen sich zum Beispiel Rückschlüsse auf die Unebenheiten der Glasplatte 17 ziehen die dann im Steuergerät 15 verwertet und in einem Zentralrechner ausgewertet werden können. Aus der Geschwindigkeit der Änderung der Ausgangssignale dieser Abstandssensoren 11 bei der Annäherung an eine Glasplatte können wiederum wichtige Parameter zur Steuerung einer größeren Anlage mit mehreren Schwingplatten durch einen Zentralrechner gewonnen werden. In Vorversuchen ermittelte Standardwerte können als Parameter für die Programmstruktur der Steuerung verwendet werden.As an example of a possibility of lowering the vibrating plate 1 and the following raising of the swing plate 1 in conjunction with a recorded glass plate 17 is in the 2 the lifting column 18 with the device supporting the support arm 14 shown. For precise movement of the support arm 14 Serves the servo drive 16 , For controlling the servo drive 16 is, especially at the approach of the vibrating plate 1 to the glass plate 17 , at least one distance sensor 11 needed. It provides a necessary feedback signal to the controller. Like in the 2 in the detail enlargement of the drawn circle around the retaining ring 4 is shown such a distance sensor 12 advantageous in the opening of the suction tube 2 to install. It is also advantageous for such a distance sensor 11 in each suction tube 2 provided. As a result, by means of the expected, in detail different, output signals of these sensors 11 received additional information. From these differences can be, for example, conclusions about the unevenness of the glass plate 17 then pull the control unit 15 can be recycled and evaluated in a central computer. From the speed of change of off output signals of these distance sensors 11 When approaching a glass plate, in turn, important parameters for controlling a larger system with multiple vibrating plates can be obtained by a central computer. Defaults determined in preliminary tests can be used as parameters for the program structure of the controller.

In einem oder mehreren Absaugrohren 2 können ferner optische Sensoren 13 zur Detektion von Glasschäden der anzuhebenden Glasplatte 17 angebracht sein. Solche Sensoren registrieren meist das durch Glasschäden verursachte Streulicht eingestrahlter Laserstrahlen. Beispielhaft für einen weiteren, außerhalb der Glasplatte installierten, Sensor ist in der 2 auf der rechten Seite zusätzlich ein Sensor 13 dargestellt. Die Auswahl, Anordnung und Ansteuerung solcher Sensoren hängt von der Konfiguration der jeweiligen Anlage ab. Diese Aufgabe ist dem Fachmann geläufig.In one or more suction tubes 2 can also optical sensors 13 for detecting glass damage to the glass plate to be lifted 17 to be appropriate. Such sensors usually register the scattered light caused by glass damage of irradiated laser beams. Exemplary of another, installed outside the glass plate, sensor is in the 2 on the right side additionally a sensor 13 shown. The selection, arrangement and control of such sensors depends on the configuration of the respective system. This task is familiar to the person skilled in the art.

In der 3 sind verkleinerte Bauformen der erfindungsgemäßen Vorrichtung dargestellt. So entspricht in der 3a die gezeigte Schwingplatte einer Teilfläche 9 der in der 1 gezeigten Verbindung von vier Teilflächen 9. Da bei dem berührungslosen Erfassen von großen Glasplatten unterschiedlichste Formate auftreten können, ist es notwendig für die Erfassung einer, zum Beispiel langen aber schmalen, Glasplatte mehrere Vorrichtungen hintereinander einzusetzen. Für diesen Zweck können mehrere Schwingplatten gemäß 3a zur Bewältigung dieser Aufgabe verwendet werden. Je nach der Länge einer solchen Glasplatte mag es auch genügen eine Schwingplatte gemäß der 3b einzusetzen.In the 3 are shown reduced designs of the device according to the invention. So corresponds in the 3a the oscillating plate of a partial surface shown 9 the Indian 1 shown connection of four faces 9 , Since the most diverse formats can occur in the non-contact detection of large glass plates, it is necessary for the detection of a, for example, long but narrow, glass plate several devices in a row to use. For this purpose, several swing plates according to 3a be used to accomplish this task. Depending on the length of such a glass plate may also satisfy a vibrating plate according to the 3b use.

Die zungenförmigen Ausbuchtungen sind dann an den Ecken der gesamten vorliegenden Konfiguration vorzusehen.The tongue - shaped bulges are then at the corners of the provided throughout the present configuration.

Es kann sich aber auch als zweckmäßig erweisen für die berührungslose Erfassung einer komplex strukturierten Glasplatte eine Kombination von Schwingplatten der 3a und der 3b zu verwenden.It may also prove to be useful for the non-contact detection of a complex structured glass plate, a combination of vibrating plates of 3a and the 3b to use.

Für diese Fälle weisen jedoch die betreffenden Schwingplatten jeweils einen eigenen Schwingungserzeuger 8 und ein eigenes Absaugrohr 2 auf.For these cases, however, the respective vibrating plates each have their own vibration generator 8th and its own suction tube 2 on.

4 weist eine Alternative der Bauform nach 3b auf. Hier sind für den Fall einer besonders breiten Glasplatte zwei Schwingplatten nach der Konfiguration der 3b mittels eines Verbindungsträgers 7 verbunden. In der Mitte dieser Bauform ist das zentrale Dämpfungsgelenk 5 als Teil einer Hebevorrichtung eingezeichnet. 4 indicates an alternative to the design 3b on. Here are in the case of a particularly wide glass plate two vibrating plates after the configuration of 3b by means of a connecting carrier 7 connected. In the middle of this design is the central damping joint 5 drawn as part of a lifting device.

5 zeigt eine erfindungsgemäße Anwendungsform der Strömung nach Bernoulli. Es ist nach dem Gesetz von Bernoulli bekannt, dass sich die Fließgeschwindigkeit eines durch ein Rohr strömenden inkompressiblen Fluids zu einem sich verändernden Rohrquerschnitt umgekehrt proportional verhält. Daraus folgt, dass bei dem in der 5 im Kreis gezeigten Detail an der Unterseite in Relation zu der oben eingeblasenen Druckluft ein Unterdruck entsteht. Nach diesem Prinzip ist es ebenfalls möglich, wie in der 5 im Querschnitt in Analogie zu der 2 gezeigt, eine Glasplatte 17 entgegen der Schwerkraft anzuheben. Auch für diesen Fall ist das Drehgelenk 5 in Verbindung mit dem eingezeichneten Sensor 11 zur Lösung der, der Anmeldung zugrunde liegenden Aufgabe, notwendig. 5 shows an application form according to the invention of the Bernoulli flow. It is known by the law of Bernoulli that the flow rate of an incompressible fluid flowing through a pipe is inversely proportional to a changing pipe cross-section. It follows that in the in the 5 shown in the circle detail at the bottom in relation to the above-injected compressed air creates a negative pressure. According to this principle, it is also possible, as in the 5 in cross section in analogy to the 2 shown a glass plate 17 to lift against gravity. Also for this case is the hinge 5 in conjunction with the marked sensor 11 to solve the problem underlying the application.

Ein weiteres Levitationsprinzip besteht in der gezielten Anordnung von Zuluft und Abluft fördernden Austrittöffnungen einer Vorrichtung. Dies kann zu einem Gleichgewicht beider Luftströme führen das für Zwecke der Levitation verwendet werden kann. Dieser Effekt kann in Verbindung mit einer Platte, die, ähnlich wie bei dem beschriebenen Bernoulli-Greifer, anstelle von Absaugerohren eine Kombination von Zuluft-Rohren und Absaugerohren aufweist, die mittels vertieften Strömungskanälen verbunden sein können, erfindungsgemäß eingesetzt werden.One Another levitation principle is the targeted arrangement of Supply air and exhaust air-conveying outlet openings a device. This can lead to a balance of both air streams Do this for purposes of levitation can be. This effect can be used in conjunction with a plate, the, similar to the Bernoulli gripper described, instead of suction pipes a combination of supply pipes and suction pipes having, by means of recessed flow channels may be connected, used according to the invention become.

Da die erfindungsgemäße Vorrichtung als Teil einer großen Fertigungsanlage eingesetzt werden kann, bei der im raschen Wechsel Glasplatten unterschiedlichsten Formats mit meist empfindlicher Oberflächenbeschichtung berührungslos erfasst werden müssen, empfiehlt es sich in diesem Fall ein Magazin von Schwingplatten unterschiedlichster Größe vorzuhalten. Die hierfür notwendigen Vorrichtungen der an der Fertigungslinie bereitzustellenden Schwingplatten und der damit verbundenen Hebe- und Transportanlagen erfordern deshalb zusätzlich eine Vielzahl von Sensoren und Steuerungselementen.There the device according to the invention as part of a large production plant can be used in the in quick change glass plates of most different format with mostly sensitive surface coating contactless It is recommended in this case to keep a magazine of swinging plates of different sizes. The necessary equipment on the production line to be provided vibrating plates and the associated lifting and Transport systems therefore additionally require a large number of sensors and control elements.

11: Schwingplattevibration plate
22: Absaugrohrsuction tube
33: Elastisches Materialelastic material
44: Halteringretaining ring
55: Zentrales Dämpfungsgelenkcentral damping joint
66: Zentrale Befestigungheadquarters attachment
77: Verbindungsträgerconnection support
88th: Schwingungserzeugervibrator
99: Teilflächesubarea
10 10: Verbindungsstegconnecting web
11 11: Abstandssensordistance sensor
12 12: Absaugschlauchsuction hose
13 13: Optiksensor (Glasschaden-Sensor)optical sensor (Glass damage sensor)
14 14: TragarmBeam
15 15: Steuergerätcontrol unit
16 16: Servoantrieb einer Hebevorrichtungservo drive a lifting device
17 17: Glasplatteglass plate
18 18: HubsäuleLifting column
19 19: Bernoulli-GreiferBernoulli grippers
20 20: DruckluftleitungCompressed air line

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

- DE 10039482 A1 [0003]
- DE 10352944 A1 [0006, 0006]
- DE 102007016840 A1 [0007, 0007, 0008]

Claims

Apparatus for the non-contact detection of glass plates, in particular of glass plates of the order of magnitude of several square meters, having the following features: a) at least one oscillatory, rectangular, plate-shaped, oscillating plate ( 1 ) with at least one vibrator ( 8th ), wherein the four corners of the vibrating plate ( 1 ) of one, substantially square, the vibrating plate ( 1 ) by about half projecting, partial area ( 9 ) and each of these faces ( 9 ) has tongue-shaped bulges at its four corners, and wherein the faces ( 9 ) with each other by webs ( 10 ), b) each subarea ( 9 ) has a central opening for receiving a, at the top of installed, suction tube ( 2 ) for air extraction on, c) at the bottom of each partial area ( 9 ) is provided a circular, connected to the central opening recess, d) the plate-shaped vibrating plate ( 1 ) is over four, each at the suction tube ( 2 ) of a partial area ( 9 ) and in the middle of the oscillating plate ( 1 ) merged connection carriers ( 7 ) with a central, pivoting to all sides, damping joint ( 5 ), e) the central damping joint ( 5 ) is for decoupling the remaining system-specific vibration with a central attachment ( 6 ), f) in at least one suction tube 2 is a distance sensor 11 accommodated.

Apparatus for the non-contact detection of glass plates, in particular glass plates of the order of several square meters, comprising the following features: a) at least one, rigid rectangular plate, wherein the four corners of the plate of one, substantially square, the plate by about half outstanding , Partial area ( 9 ) are formed, and wherein the partial surfaces ( 9 ) with each other by webs ( 10 ), b) each subarea ( 9 ) has a central opening for receiving a, installed at the top, tube for compressed air supply ( 20 ), c) at the bottom of each partial surface ( 9 ) is mounted a plurality of Bernoulli grippers, which by a compressed air supply ( 20 ) are supplied with compressed air, d) the plate is over four, each at the suction tube ( 2 ) of a partial area ( 9 ) fastened and in the middle of the plate merged connection carrier ( 7 ) with a central, hinged to all sides, joint and a central attachment ( 6 ) in at least one compressed air line ( 20 ) is a distance sensor ( 11 ) housed.

Device according to one of claims 1 or 2, characterized in that in at least one suction tube 2 (Claim 1), or a compressed air line ( 20 ), (Claim 2), additionally an optical sensor ( 13 ) is housed.

Apparatus according to claim 1 or 3, characterized in that in the middle of the vibrating plate ( 1 ) another, likewise formed partial surface ( 9 ) via at least two additional transverse webs with the connecting webs ( 10 ) connected is.

Apparatus according to claim 2 or 3, characterized in that in the middle of the plate another, likewise formed partial surface ( 9 ) via at least two additional transverse webs with the connecting webs ( 10 ) connected is.

Apparatus according to claim 1 or 3, characterized in that the vibrating plate ( 1 ) from only a partial area ( 9 ), wherein the retaining ring ( 4 ) of this subarea via a single connection carrier ( 7 ) via a central damping joint ( 5 ) with a central attachment ( 6 ) connected is.

Apparatus according to claim 2 or 3, characterized in that the plate consists of only a partial surface ( 9 ), wherein the retaining ring ( 4 ) of this subarea ( 9 ) via a single connection carrier ( 7 ) via a central pivoting joint with a central attachment ( 6 ) connected is.

Apparatus according to claim 1 or 3, characterized in that the vibrating plate ( 1 ) from the joining of several faces ( 9 ), wherein the retaining ring ( 4 ) of this subarea via a single, mounted in the middle, connecting carrier ( 7 ) via a central damping joint ( 5 ) with a central attachment ( 6 ) and wherein tongue-shaped bulges are formed only at the four corners of the total area,

Apparatus according to claim 2 or 3, characterized in that the plate from the joining of several partial surfaces ( 9 ), wherein the retaining ring ( 4 ) of this subarea via a single, mounted in the middle, connecting carrier ( 7 ) via a central, pivotable joint with a central attachment ( 6 ) connected is,

Apparatus according to claim 8, characterized in that the vibrating plate ( 1 ) from the parallel, spaced-apart arrangement of two partial surfaces ( 9 ) according to claim 7, wherein this by means of a connection carrier ( 7 ) are rigidly connected and in the middle of a central Attenuation joint ( 5 ) the connection with a central attachment ( 6 ) is located.

Apparatus according to claim 9, characterized in that the plate from the parallel, spaced-apart arrangement of two partial surfaces ( 9 ) according to claim 8, wherein this by means of a connection carrier ( 7 ) are rigidly connected and in the middle of a central, pivotable joint, the connection with a central fastening ( 6 ) is located.