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DE202006019492U1 - Filter- und Sterilisiervorrichtung - Google Patents

Filter- und Sterilisiervorrichtung Download PDF

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Abstract

Filter- und Sterilisiervorrichtung, die eine Schwerkraftfiltervorrichtung mit einem Flüssigkeitszulauf (L1), einem Abwärtsfilter (F) und einem Reinflüssigkeitsablauf (L3) sowie eine hydraulisch mit dem Abwärtsfilter verbundene Sterilisiervorrichtung (U) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die mit dem Reinflüssigkeitsablauf (L3) des Abwärtsfilters (F) verbundene Sterilisiervorrichtung (U) höhenverstellbar ist und die Form eines Zulaufkanals zu einem Überlaufwehr (Y) hat, wobei das Flüssigkeitsniveau in dem Zulaufkanal (K) vor Filtrationsbeginn annähernd höhengleich mit dem Wasserspiegel im Abwärtsfilter (F) oberhalb des Filtermediums (M) einstellbar ist.

Description

  • Bekanntlich setzt sich eine Abwärtsfiltervorrichtung aus drei wesentlichen Bestandteilen, dem Filtertank mit dem Ablaufsammler, dem Zulaufverteiler und dem im Filtertank befindlichen Filtermedium zusammen. Soll das Filtrat noch sterilisiert werden, so ist es üblich dem Filter noch eine Sterilisiervorrichtung nachzuschalten.
  • Ein Problem bei Abwärtsfiltervorrichtungen besteht darin, dass der Filter bei Betriebsunterbrechungen oder stossweisem Betrieb trocken laufen kann, d.h. dass der Flüssigkeitspegel unter das Niveau der Oberseite des Filters fällt. Weitere Probleme können entstehen, wenn die Sterilisiervorrichtung leer läuft. Infolgedessen ist es notwendig, den der Sterilisiervorrichtung vorgeschalteten Filterkreis mit zusätzlichen Halte- und Durchflussregelventilen auszustatten, wodurch bekanntlich auf Grund des absatzweisen Filter/Waschzyklus der Filtriereinrichtung eines der schwierigsten Regelprobleme zu lösen ist.
  • Es ist die Aufgabe der Erfindung, eine im Aufbau vereinfachte, kompakte Filter- und Sterilisiervorrichtung bereit zu stellen, bei der dennoch die Funktion des Filters auch bei schwankendem Zufluss oder Filterstillstand gewährleistet ist.
  • Zur Lösung dieser Aufgabe ist die erfindungsgemäße Filter- und Sterilisiervorrichtung, die eine Schwerkraftfiltervorrichtung mit einem Flüssigkeitszulauf, einem Abwärtsfilter und einem Reinflüssigkeitsablauf sowie eine hydraulisch mit dem Abwärtsfilter verbundene Sterilisiervorrichtung aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die mit dem Reinflüssigkeitsablauf des Abwärtsfilters Sterilisiervorrichtung höhenverstellbar ist und die Form eines Zulaufkanals zu einem Überlaufwehr hat, wobei das Flüssigkeitsniveau in dem Zulaufkanal vor Filtrationsbeginn annähernd höhengleich mit dem Wasserspiegel im Abwärtsfilter oberhalb des Filtermediums einstellbar ist.
  • Die vorliegend beschriebene kompakte Filter- und Sterilisiervorrichtung bietet eine überraschende Anzahl von wichtigen technischen Vorteilen. Bei der erfindungsgemäßen Filter- und Sterilisiervorrichtung sind keine stetigen Regelventilen im Filter- und Rückspülkreislauf der Filtervorrichtung erforderlich. Daher wird durch den Fortfall der schwierig und teuer herzustellenden Durchflussregeleinrichtung im Filtratkreislauf eine sehr wesentliche Vereinfachung für den Bau der Filter- und Sterilisiervorrichtung erzielt.
  • Weiterhin erreicht man auf dem erfindungsgemäßen Wege eine überaus zuverlässige und störungsfreie Sterilisierung des Reinwasserstroms. Aufgrund des einfachen, kompakten Aufbaues, ist der Betriebs- und Wartungsaufwand sehr gering und hat nur minimalen hydraulischen Energieverbrauch durch den Fortfall der stetigen Regelventile. Weiterhin gelangt man auf dem erfindungsgemäßen Wege zu einem geringem Flächenbedarf der gesamten Filter- und Sterilisiervorrichtung, da sehr viel Raum zwischen den Apparateteilen eingespart wird.
  • Eine weitere Sicherung für außergewöhnliche Betriebsstörungen besteht darin, den Zufluss abzuschalten, wodurch die Filter-Sterilisiervorrichtung selbsttätig in Wartezustand zwischen zwei Filtrationszyklen übergeht. Besonders überraschend und wichtig ist die Feststellung, dass bei der erfindungsgemäßen Ausbildung der Sterilisiervorrichtung mit Überlaufwehr auch die Gefahr der Untersterilisierung des Reinwassers selbst dann weitestgehend ausgeschaltet ist, wenn der Fall des stossweisen Filtratzuflusses eintritt.
  • Nach einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist die Filter- und Sterilisiervorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass Sterilisiervorrichtung eine Ultraviolettschleuse ist. Ultraviolettzellen sind bei diesem Anwendungsfall bevorzugt, und für eine Abwärtsfiltervorrichtung bestehen sie üblicherweise aus einem geschlossenen Rohr, das mit je einem Zu- und einem Ablaufstutzen versehen ist und das eine oder mehrere Ultraviolettlampen von 1,2 bis etwa 1,5 Meter Länge enthält. Zur einwandfreien Funktion der vorgenannten Art von Ultraviolettzellen ist es erforderlich, dass der Zellenkörper stets vollständig mit Wasser gefüllt ist und dass kein Lufteintrag infolge von Zuflussschwankungen oder infolge von Filterunterbrechung erfolgt. Dies ist ein weiterer Grund dafür, dass bisher aufwendige Regelvorrichtungen für das Flüssigkeitsniveau erforderlich waren. Demgegenüber wurde durch die erfindungsgemäße Ausgestaltung der Filter- und Sterilisiervorrichtung auch der Einsatz von Ultraviolettzellen vereinfacht und deren Betrieb verbessert.
  • Nach einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist die Filter- und Sterilisiervorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass mehrere, hydraulisch-parallel geschaltete, nebeneinander liegende, höhenverstellbare Ultraviolettvorrichtungen vorgesehen sind, was insbesondere bei einem großen Flüssigkeitsdurchsatz durch den Filter vorteilhaft ist.
  • Nach einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist die Filter- und Sterilisiervorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass die mehreren, hydraulisch-parallel geschalteten, nebeneinander liegenden Ultraviolettvorrichtungen separat höhenverstellbar sind, wodurch die von der Sterilisiervorrichtung abgegebenen Flüssigkeitsmenge in vorteilhafter Weise flexibel einstellbar ist.
  • Nach einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist die Filter- und Sterilisiervorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Abwärtsfilter (F) und der Sterilisiervorrichtung (U) ein Auf-Zu-Ventil (A) vorgesehen ist. Als Auf-Zu-Ventil können in vorteilhafter Weise einfache Ventile, wie Klappenventile, Kugelventile oder Schlauchventile, verwendet werden. Ferner ergibt sich eine einfache und kostengünstige Möglichkeit zur automatischen Ablaufsteuerung der Auf-Zu-Ventile mittels Druckluft oder Kraftstrom.
  • Nach einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist die Filter- und Sterilisiervorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass das Auf-Zu-Ventil zwischen dem Abwärtsfilter und der Sterilisiervorrichtung ein langsam schließendes und öffnendes Auf-Zu-Ventil ist, wobei die betriebsmäßige Filtersteuerung sich besonders weich und stossfrei gestaltet.
  • Nach einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist die Filter- und Sterilisiervorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass das Überlaufwehr einen V-förmigen Überlauf aufweist, was in vorteilhafter Weise eine genaue Bemessung der Überlaufmenge ermöglicht.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung werden an Hand der beigefügten Zeichnungen erläutert, in denen:
  • 1 schematisch das perspektivische Fliessschema der erfindungsgemäßen Schwerkraftfiltervorrichtung mit höhenjustierbarer Ultraviolettschleuse zeigt, und
  • 2 eine Ultraviolettschleuse zeigt,
  • Wie aus 1 zu ersehen ist, fließt der zu reinigende Rohwasserstrom Q durch die Leitung L1 und durch die Leitung L2 in die Verteilerrinne V, weiche sich oben im offenen Filtertank F befindet. Das Rückspülventil D ist dabei geschlossen.
  • Der Rohwasserstrom Q fließt über den Rand der Verteilerrinne V und fällt bis auf den Flüssigkeitsspiegel N1. Das zu reinigende Wasser fließt abwärts durch das Filtermedium M, wird am Boden des Abwärtsfilters F gesammelt und fließt von dort, gereinigt von suspendierten Stoffen, durch die Leitung L3 zum Verteilerkopf V. Bei geschlossen Ventilen B und C und bei offenem Ventil A fließt das Filtrat durch die Leitung L4 in die mittels einer mechanische Stellvorrichtung höhenjustierbare Ultraviolettsterilisiervorrichtung, die Ultraviolettschleuse U.
  • Ultraviolettschleuse U ist durch eine Stellvorrichtung vertikal höhenjustierbar und hat die Form eines rechteckigen Kanals K, der von einem Überlaufwehr Y begrenzt wird.
  • Das Sterilwasser R fließt über dieses Überlaufwehr Y, wodurch sich im Kanal ein Flüssigkeitsniveau N2 ausbildet. Das Überlaufwehr Y kann, wie im 1 gezeigt ist, die Form des so genannten Thomson Wehrs mit V-Schlitz aufweisen. Das gereinigte, sterilisierte Wasser R kann auch über eine gerade Kante der gesamten Kanalbreite fallen, dass heißt wie bei einen so genannten Bazin Wehr. Eine oder mehrere Ultraviolettlampen L sind versenkt, d.h. unterhalb des Flüssigkeitsniveaus N2, im Kanal angebracht und sterilisieren den Reinwasserstrom.
  • Die Ultraviolettschleuse U kann mechanisch so höhenjustiert werden, dass bei abgestelltem Zufluss Q und geöffnetem Ventil A sich ein Flüssigkeitsspiegel N1 in dem Filter F auf wenige Zentimeter oberhalb der Oberfläche O des Filtermediums M einstellt. Damit ist sichergestellt, dass bei Unterbrechung des Filtrationsbetriebes das Filtermedium M nicht trocken fällt.
  • Da bei Filterstillstand und geöffnetem Ventil A das Flüssigkeitsniveau N1 und das Flüssigkeitsniveau N2 annähernd die gleiche Höhe haben, ist gewährleistet, dass die Ultraviolettlampe(n) L sich auch dann unter Wasser befinden, wenn der Filtrationsprozess zum Stillstand kommt.
  • Während des Filtrationsvorganges steigt bei konstantem Zufluss der Rohwassermenge Q der Flüssigkeitsspiegel N1 im Filtertank um 1 bis 3 Meter an. Demgegenüber bleibt N2 nahezu konstant einige Zentimeter über der Kante des Wehrablaufes Y. Ändert sich die Zuflussmenge Q beispielsweise um plus minus 15%, so schwankt der Wasserspiegel N2 nur um wenige Millimeter.
  • Wie man erkennt, ist der Vorteil dieser Schwerkraftfiltervorrichtung mit höhenverstellbarer Ultraviolettschleuse, dass auch bei schwankendem Zufluss Q ohne Einsatz von Halte- oder Regelventilen stets ein steriles und reines Filtrat R den Apparat verlässt.
  • Wenn beim fortgesetzten Filtrieren der Flüssigkeitsspiegel N1 in etwa die Überlaufkante der Verteilerrinne V erreicht, wird der Zufluss von Q unterbrochen, das Ventil A wird geschlossen und das Ventil B wird geöffnet. Durch die Leitung L5 wird Waschwasser W mit hoher Geschwindigkeit von unten durch die Leitung L3 in das Filterbett gepumpt. Durch diese hohe Geschwindigkeit expandiert das Filterbett M um etwa 15 bis 25 Volumenprozent, und die auf der Filtermasse anhaftenden Verunreinigungen werden abgewaschen und fließen aufwärts mit dem Waschwasserstrom in die Verteilerrinne V und von dort aus durch L2 und das Ventil D in die Spülwasserleitung L und Figuren den Spülwasserstrom S. Während des Waschvorganges befindet sich das Flüssigkeitsniveau im Filtertank oberhalb der Überlaufkante der Verteilerrinne V.
  • Ist der Waschprozess des Filtermediums beendet, so werden die Ventile B und D geschlossen und das Ventil C geöffnet. Das Ventil A bleibt zunächst geschlossen bis das über L7 aus L6 fließende sogenannte "Erstwasser" klar abläuft und sich der Wasserspiegel N1 annähernd auf das Flüssigkeitsniveau N2 abgesenkt hat. Ist dies der Fall, wird das Ventil C geschlossen und Ventil A geöffnet, und ein neuer Filtrationszyklus mit Zufluss von Q beginnt. Annähernd gleicher Wasserspiegel bzw. gleiches Flüssigkeitsniveau ist dann erreicht, wenn die geometrische Höhendifferenz von N1 minus N2 weniger als etwa zehn Zentimeter beträgt.
  • Wie man erkennt, wird der Funktionsablauf der gesamten erfindungsgemäßen Schwerkraftfiltervorrichtung mit wenigen Auf-Zu-Ventilen gesteuert. Infolge der Ausbildung der im Ablauf des Filterkreises liegenden erfindungsgemäßen, höhenjustierbaren Ultraviolettschleuse U als Kanalschacht mit Überlaufwehr Y, kann überdies die pro Stunde gewonnene Menge an Sterilwasser während des Filtrationsvorganges durch eine einfache Niveaumessung am Überlaufwehr genau bemessen werden.
  • Die Einzelheiten der höhenjustierbaren Ultraviolettschleuse U sind 2 zu entnehmen. Danach hat die höhenjustierbaren Ultraviolettschleuse U vorzugsweise die Form eines oben offenen rechteckigen Kanals K bestehend aus der Bodenplatte UB, den beiden langen Seitenwänden US und der dazu relativ kurzen Rückseite UR. Die Rückseite UR enthält Durchführungsöffnungen, welche unterhalb des Wasserspiegels N2 angebracht sind. Eines oder mehrere abgedichtete Quarzrohre L ragen durch diese Öffnungen in den Kanalschacht. In den Quarzrohren befinden sich die eigentlichen UV-Strahler, die eine Länge von etwa 1, 2 bis ca. 1,6 Meter Länge haben.
  • In der Praxis wird man mindestens zwei UV-Strahler einsetzen, um sicherzustellen, dass bei Ausfall eines Strahlers die Funktionsfähigkeit, den Reinwasserstrom zu sterilisieren, nicht verloren geht. Eine der langen Seitenflächen US enthält, wie 2 zu entnehmen ist, an der Ecke zu UR einen Rohrstutzen, an dem die Zuführungsrohrleitung L4 angeschlossen ist.
  • Wie man erkennt, ist die höhenjustierbaren Ultraviolettschleuse U am vorderen Ende abgeschlossen durch das Überlaufwehr Y, über welches der Sterilwasserstrom R austritt. Vorzugsweise wird die höhenjustierba ren Ultraviolettschleuse U durch einen Deckel UD nach oben hin verschlossen. Am besten führt man den Deckel UD so aus, dass er leicht abgenommen werden kann. Damit erleichtert man eine Inspektion der Ultraviolettschleuse und kann eine eventuell notwendige Reinigung derselben leicht durchführen, ohne dass die höhenjustierbaren Ultraviolettschleuse ausgebaut werden muss.
  • In einem anderen Ausführungsbeispiel enthält die erfindungsgemäße Filter- und Sterilisiervorrichtung mehrere parallel nebeneinander liegende höhenjustierbare Ultraviolettvorrichtungen der oben beschriebenen Bauart. Diese parallel nebeneinander liegenden Ultraviolettvorrichtungen werden beispielsweise von einer gemeinsamen Leitung L4 mit Filtratwasser gespeist, und diese Art der Zusammenschaltung der Filter- und Sterilisiervorrichtung ist dann vorteilhaft, wenn große Wasserströme zu sterilisieren sind.

Claims (7)

  1. Filter- und Sterilisiervorrichtung, die eine Schwerkraftfiltervorrichtung mit einem Flüssigkeitszulauf (L1), einem Abwärtsfilter (F) und einem Reinflüssigkeitsablauf (L3) sowie eine hydraulisch mit dem Abwärtsfilter verbundene Sterilisiervorrichtung (U) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die mit dem Reinflüssigkeitsablauf (L3) des Abwärtsfilters (F) verbundene Sterilisiervorrichtung (U) höhenverstellbar ist und die Form eines Zulaufkanals zu einem Überlaufwehr (Y) hat, wobei das Flüssigkeitsniveau in dem Zulaufkanal (K) vor Filtrationsbeginn annähernd höhengleich mit dem Wasserspiegel im Abwärtsfilter (F) oberhalb des Filtermediums (M) einstellbar ist.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Sterilisiervorrichtung (U) eine Ultraviolettschleuse ist.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere, hydraulisch-parallel geschaltete, nebeneinander liegende, höhenverstellbare Ultraviolettvorrichtungen (U) vorgesehen sind.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die mehreren, hydraulisch-parallel geschalteten, nebeneinander liegenden Ultraviolettvorrichtungen (U) separat höhenverstellbar sind.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Abwärtsfilter (F) und der Sterilisiervorrichtung (U) ein Auf-Zu-Ventil (A) vorgesehen ist.
  6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Auf-Zu-Ventil (A)zwischen dem Abwärtsfilter (F) und der Sterilisiervorrichtung (U) ein langsam schließendes und öffnendes Auf-Zu-Ventil (A) ist.
  7. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Überlaufwehr (Y) einen V-förmigen Überlauf aufweist.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2923478A1 (fr) * 2007-11-13 2009-05-15 Alain Picard Procede et dispositif de traitement d'un effluent.
WO2009156066A1 (de) 2008-06-24 2009-12-30 Holger Blum Verfahren und vorrichtung zur wasseraufbereitung

Families Citing this family (284)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202008011162U1 (de) 2008-08-21 2008-10-30 Blum, Holger Abwasserreinigungsvorrichtung
US20130023129A1 (en) 2011-07-20 2013-01-24 Asm America, Inc. Pressure transmitter for a semiconductor processing environment
US10714315B2 (en) 2012-10-12 2020-07-14 Asm Ip Holdings B.V. Semiconductor reaction chamber showerhead
US20160376700A1 (en) 2013-02-01 2016-12-29 Asm Ip Holding B.V. System for treatment of deposition reactor
US11015245B2 (en) 2014-03-19 2021-05-25 Asm Ip Holding B.V. Gas-phase reactor and system having exhaust plenum and components thereof
US10858737B2 (en) 2014-07-28 2020-12-08 Asm Ip Holding B.V. Showerhead assembly and components thereof
US10941490B2 (en) 2014-10-07 2021-03-09 Asm Ip Holding B.V. Multiple temperature range susceptor, assembly, reactor and system including the susceptor, and methods of using the same
US10276355B2 (en) 2015-03-12 2019-04-30 Asm Ip Holding B.V. Multi-zone reactor, system including the reactor, and method of using the same
US10458018B2 (en) 2015-06-26 2019-10-29 Asm Ip Holding B.V. Structures including metal carbide material, devices including the structures, and methods of forming same
WO2017033487A1 (ja) * 2015-08-21 2017-03-02 三浦工業株式会社 バラスト水処理装置及びバラスト水処理方法
JP6011748B1 (ja) * 2015-08-21 2016-10-19 三浦工業株式会社 バラスト水処理装置及びバラスト水処理方法
US10211308B2 (en) 2015-10-21 2019-02-19 Asm Ip Holding B.V. NbMC layers
US11139308B2 (en) 2015-12-29 2021-10-05 Asm Ip Holding B.V. Atomic layer deposition of III-V compounds to form V-NAND devices
US10529554B2 (en) 2016-02-19 2020-01-07 Asm Ip Holding B.V. Method for forming silicon nitride film selectively on sidewalls or flat surfaces of trenches
US10343920B2 (en) 2016-03-18 2019-07-09 Asm Ip Holding B.V. Aligned carbon nanotubes
US10367080B2 (en) 2016-05-02 2019-07-30 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a germanium oxynitride film
US11453943B2 (en) 2016-05-25 2022-09-27 Asm Ip Holding B.V. Method for forming carbon-containing silicon/metal oxide or nitride film by ALD using silicon precursor and hydrocarbon precursor
US9859151B1 (en) 2016-07-08 2018-01-02 Asm Ip Holding B.V. Selective film deposition method to form air gaps
US10612137B2 (en) 2016-07-08 2020-04-07 Asm Ip Holdings B.V. Organic reactants for atomic layer deposition
US9812320B1 (en) 2016-07-28 2017-11-07 Asm Ip Holding B.V. Method and apparatus for filling a gap
US9887082B1 (en) 2016-07-28 2018-02-06 Asm Ip Holding B.V. Method and apparatus for filling a gap
KR102532607B1 (ko) 2016-07-28 2023-05-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 가공 장치 및 그 동작 방법
US11532757B2 (en) 2016-10-27 2022-12-20 Asm Ip Holding B.V. Deposition of charge trapping layers
US10714350B2 (en) 2016-11-01 2020-07-14 ASM IP Holdings, B.V. Methods for forming a transition metal niobium nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures
KR102546317B1 (ko) 2016-11-15 2023-06-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기체 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR102762543B1 (ko) 2016-12-14 2025-02-05 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US11581186B2 (en) 2016-12-15 2023-02-14 Asm Ip Holding B.V. Sequential infiltration synthesis apparatus
US11447861B2 (en) 2016-12-15 2022-09-20 Asm Ip Holding B.V. Sequential infiltration synthesis apparatus and a method of forming a patterned structure
KR102700194B1 (ko) 2016-12-19 2024-08-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US10269558B2 (en) 2016-12-22 2019-04-23 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a structure on a substrate
US11390950B2 (en) 2017-01-10 2022-07-19 Asm Ip Holding B.V. Reactor system and method to reduce residue buildup during a film deposition process
US10468261B2 (en) 2017-02-15 2019-11-05 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a metallic film on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures
US10529563B2 (en) 2017-03-29 2020-01-07 Asm Ip Holdings B.V. Method for forming doped metal oxide films on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures
US10770286B2 (en) 2017-05-08 2020-09-08 Asm Ip Holdings B.V. Methods for selectively forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures
US12040200B2 (en) 2017-06-20 2024-07-16 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor processing apparatus and methods for calibrating a semiconductor processing apparatus
US11306395B2 (en) 2017-06-28 2022-04-19 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related deposition apparatus
KR20190009245A (ko) 2017-07-18 2019-01-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반도체 소자 구조물 형성 방법 및 관련된 반도체 소자 구조물
US10541333B2 (en) 2017-07-19 2020-01-21 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures
US11374112B2 (en) 2017-07-19 2022-06-28 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures
US11018002B2 (en) 2017-07-19 2021-05-25 Asm Ip Holding B.V. Method for selectively depositing a Group IV semiconductor and related semiconductor device structures
US10590535B2 (en) 2017-07-26 2020-03-17 Asm Ip Holdings B.V. Chemical treatment, deposition and/or infiltration apparatus and method for using the same
TWI815813B (zh) 2017-08-04 2023-09-21 荷蘭商Asm智慧財產控股公司 用於分配反應腔內氣體的噴頭總成
US10770336B2 (en) 2017-08-08 2020-09-08 Asm Ip Holding B.V. Substrate lift mechanism and reactor including same
US10692741B2 (en) 2017-08-08 2020-06-23 Asm Ip Holdings B.V. Radiation shield
US11769682B2 (en) 2017-08-09 2023-09-26 Asm Ip Holding B.V. Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith
US11139191B2 (en) 2017-08-09 2021-10-05 Asm Ip Holding B.V. Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith
US11830730B2 (en) 2017-08-29 2023-11-28 Asm Ip Holding B.V. Layer forming method and apparatus
US11056344B2 (en) 2017-08-30 2021-07-06 Asm Ip Holding B.V. Layer forming method
US11295980B2 (en) 2017-08-30 2022-04-05 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a molybdenum metal film over a dielectric surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures
KR102491945B1 (ko) 2017-08-30 2023-01-26 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US10658205B2 (en) 2017-09-28 2020-05-19 Asm Ip Holdings B.V. Chemical dispensing apparatus and methods for dispensing a chemical to a reaction chamber
US10403504B2 (en) 2017-10-05 2019-09-03 Asm Ip Holding B.V. Method for selectively depositing a metallic film on a substrate
US10923344B2 (en) 2017-10-30 2021-02-16 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a semiconductor structure and related semiconductor structures
US11022879B2 (en) 2017-11-24 2021-06-01 Asm Ip Holding B.V. Method of forming an enhanced unexposed photoresist layer
US11639811B2 (en) 2017-11-27 2023-05-02 Asm Ip Holding B.V. Apparatus including a clean mini environment
TWI779134B (zh) 2017-11-27 2022-10-01 荷蘭商Asm智慧財產控股私人有限公司 用於儲存晶圓匣的儲存裝置及批爐總成
US10872771B2 (en) 2018-01-16 2020-12-22 Asm Ip Holding B. V. Method for depositing a material film on a substrate within a reaction chamber by a cyclical deposition process and related device structures
TWI852426B (zh) 2018-01-19 2024-08-11 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 沈積方法
KR102695659B1 (ko) 2018-01-19 2024-08-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 플라즈마 보조 증착에 의해 갭 충진 층을 증착하는 방법
US11081345B2 (en) 2018-02-06 2021-08-03 Asm Ip Holding B.V. Method of post-deposition treatment for silicon oxide film
KR102657269B1 (ko) 2018-02-14 2024-04-16 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 주기적 증착 공정에 의해 기판 상에 루테늄-함유 막을 증착하는 방법
US10896820B2 (en) 2018-02-14 2021-01-19 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a ruthenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process
US10731249B2 (en) 2018-02-15 2020-08-04 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a transition metal containing film on a substrate by a cyclical deposition process, a method for supplying a transition metal halide compound to a reaction chamber, and related vapor deposition apparatus
KR102636427B1 (ko) 2018-02-20 2024-02-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법 및 장치
US10975470B2 (en) 2018-02-23 2021-04-13 Asm Ip Holding B.V. Apparatus for detecting or monitoring for a chemical precursor in a high temperature environment
US11473195B2 (en) 2018-03-01 2022-10-18 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor processing apparatus and a method for processing a substrate
US11629406B2 (en) 2018-03-09 2023-04-18 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor processing apparatus comprising one or more pyrometers for measuring a temperature of a substrate during transfer of the substrate
US11114283B2 (en) 2018-03-16 2021-09-07 Asm Ip Holding B.V. Reactor, system including the reactor, and methods of manufacturing and using same
KR102646467B1 (ko) 2018-03-27 2024-03-11 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 상에 전극을 형성하는 방법 및 전극을 포함하는 반도체 소자 구조
US11088002B2 (en) 2018-03-29 2021-08-10 Asm Ip Holding B.V. Substrate rack and a substrate processing system and method
US11230766B2 (en) 2018-03-29 2022-01-25 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus and method
KR102600229B1 (ko) 2018-04-09 2023-11-10 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 지지 장치, 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
US12025484B2 (en) 2018-05-08 2024-07-02 Asm Ip Holding B.V. Thin film forming method
KR102709511B1 (ko) 2018-05-08 2024-09-24 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 상에 산화물 막을 주기적 증착 공정에 의해 증착하기 위한 방법 및 관련 소자 구조
US12272527B2 (en) 2018-05-09 2025-04-08 Asm Ip Holding B.V. Apparatus for use with hydrogen radicals and method of using same
KR102596988B1 (ko) 2018-05-28 2023-10-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법 및 그에 의해 제조된 장치
TWI840362B (zh) 2018-06-04 2024-05-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 水氣降低的晶圓處置腔室
US11718913B2 (en) 2018-06-04 2023-08-08 Asm Ip Holding B.V. Gas distribution system and reactor system including same
US11286562B2 (en) 2018-06-08 2022-03-29 Asm Ip Holding B.V. Gas-phase chemical reactor and method of using same
KR102568797B1 (ko) 2018-06-21 2023-08-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 시스템
US10797133B2 (en) 2018-06-21 2020-10-06 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a phosphorus doped silicon arsenide film and related semiconductor device structures
CN112292477A (zh) 2018-06-27 2021-01-29 Asm Ip私人控股有限公司 用于形成含金属的材料的循环沉积方法及包含含金属的材料的膜和结构
KR102854019B1 (ko) 2018-06-27 2025-09-02 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 금속 함유 재료를 형성하기 위한 주기적 증착 방법 및 금속 함유 재료를 포함하는 필름 및 구조체
US10612136B2 (en) 2018-06-29 2020-04-07 ASM IP Holding, B.V. Temperature-controlled flange and reactor system including same
US10755922B2 (en) 2018-07-03 2020-08-25 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition
US10388513B1 (en) 2018-07-03 2019-08-20 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition
US11053591B2 (en) 2018-08-06 2021-07-06 Asm Ip Holding B.V. Multi-port gas injection system and reactor system including same
US11430674B2 (en) 2018-08-22 2022-08-30 Asm Ip Holding B.V. Sensor array, apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods
KR102707956B1 (ko) 2018-09-11 2024-09-19 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 증착 방법
US11024523B2 (en) 2018-09-11 2021-06-01 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus and method
US11049751B2 (en) 2018-09-14 2021-06-29 Asm Ip Holding B.V. Cassette supply system to store and handle cassettes and processing apparatus equipped therewith
CN110970344B (zh) 2018-10-01 2024-10-25 Asmip控股有限公司 衬底保持设备、包含所述设备的系统及其使用方法
US11232963B2 (en) 2018-10-03 2022-01-25 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus and method
KR102592699B1 (ko) 2018-10-08 2023-10-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 박막 증착 장치와 기판 처리 장치
KR102546322B1 (ko) 2018-10-19 2023-06-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
KR102605121B1 (ko) 2018-10-19 2023-11-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
USD948463S1 (en) 2018-10-24 2022-04-12 Asm Ip Holding B.V. Susceptor for semiconductor substrate supporting apparatus
US12378665B2 (en) 2018-10-26 2025-08-05 Asm Ip Holding B.V. High temperature coatings for a preclean and etch apparatus and related methods
US11087997B2 (en) 2018-10-31 2021-08-10 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus for processing substrates
KR102748291B1 (ko) 2018-11-02 2024-12-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
US11572620B2 (en) 2018-11-06 2023-02-07 Asm Ip Holding B.V. Methods for selectively depositing an amorphous silicon film on a substrate
US11031242B2 (en) 2018-11-07 2021-06-08 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a boron doped silicon germanium film
US10818758B2 (en) 2018-11-16 2020-10-27 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a metal silicate film on a substrate in a reaction chamber and related semiconductor device structures
US10847366B2 (en) 2018-11-16 2020-11-24 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a transition metal chalcogenide film on a substrate by a cyclical deposition process
US12040199B2 (en) 2018-11-28 2024-07-16 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus for processing substrates
US11217444B2 (en) 2018-11-30 2022-01-04 Asm Ip Holding B.V. Method for forming an ultraviolet radiation responsive metal oxide-containing film
KR102636428B1 (ko) 2018-12-04 2024-02-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치를 세정하는 방법
US11158513B2 (en) 2018-12-13 2021-10-26 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a rhenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures
TWI874340B (zh) 2018-12-14 2025-03-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成裝置結構之方法、其所形成之結構及施行其之系統
TWI819180B (zh) 2019-01-17 2023-10-21 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法
KR102727227B1 (ko) 2019-01-22 2024-11-07 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
CN111524788B (zh) 2019-02-01 2023-11-24 Asm Ip私人控股有限公司 氧化硅的拓扑选择性膜形成的方法
KR102626263B1 (ko) 2019-02-20 2024-01-16 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 처리 단계를 포함하는 주기적 증착 방법 및 이를 위한 장치
JP7509548B2 (ja) 2019-02-20 2024-07-02 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 基材表面内に形成された凹部を充填するための周期的堆積方法および装置
TWI873122B (zh) 2019-02-20 2025-02-21 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 填充一基板之一表面內所形成的一凹槽的方法、根據其所形成之半導體結構、及半導體處理設備
TWI838458B (zh) 2019-02-20 2024-04-11 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於3d nand應用中之插塞填充沉積之設備及方法
TWI842826B (zh) 2019-02-22 2024-05-21 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 基材處理設備及處理基材之方法
KR102782593B1 (ko) 2019-03-08 2025-03-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. SiOC 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법
US11742198B2 (en) 2019-03-08 2023-08-29 Asm Ip Holding B.V. Structure including SiOCN layer and method of forming same
KR102858005B1 (ko) 2019-03-08 2025-09-09 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체
JP2020167398A (ja) 2019-03-28 2020-10-08 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー ドアオープナーおよびドアオープナーが提供される基材処理装置
KR102809999B1 (ko) 2019-04-01 2025-05-19 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반도체 소자를 제조하는 방법
US11447864B2 (en) 2019-04-19 2022-09-20 Asm Ip Holding B.V. Layer forming method and apparatus
KR20200125453A (ko) 2019-04-24 2020-11-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기상 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
KR20200130121A (ko) 2019-05-07 2020-11-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 딥 튜브가 있는 화학물질 공급원 용기
KR102869364B1 (ko) 2019-05-07 2025-10-10 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 비정질 탄소 중합체 막을 개질하는 방법
KR20200130652A (ko) 2019-05-10 2020-11-19 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 표면 상에 재료를 증착하는 방법 및 본 방법에 따라 형성된 구조
JP7598201B2 (ja) 2019-05-16 2024-12-11 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
JP7612342B2 (ja) 2019-05-16 2025-01-14 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
USD975665S1 (en) 2019-05-17 2023-01-17 Asm Ip Holding B.V. Susceptor shaft
USD947913S1 (en) 2019-05-17 2022-04-05 Asm Ip Holding B.V. Susceptor shaft
USD935572S1 (en) 2019-05-24 2021-11-09 Asm Ip Holding B.V. Gas channel plate
USD922229S1 (en) 2019-06-05 2021-06-15 Asm Ip Holding B.V. Device for controlling a temperature of a gas supply unit
KR20200141002A (ko) 2019-06-06 2020-12-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 배기 가스 분석을 포함한 기상 반응기 시스템을 사용하는 방법
KR102918757B1 (ko) 2019-06-10 2026-01-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 석영 에피택셜 챔버를 세정하는 방법
KR20200143254A (ko) 2019-06-11 2020-12-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조
USD944946S1 (en) 2019-06-14 2022-03-01 Asm Ip Holding B.V. Shower plate
USD931978S1 (en) 2019-06-27 2021-09-28 Asm Ip Holding B.V. Showerhead vacuum transport
KR102911421B1 (ko) 2019-07-03 2026-01-12 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법
JP7499079B2 (ja) 2019-07-09 2024-06-13 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 同軸導波管を用いたプラズマ装置、基板処理方法
CN112216646B (zh) 2019-07-10 2026-02-10 Asmip私人控股有限公司 基板支撑组件及包括其的基板处理装置
KR102895115B1 (ko) 2019-07-16 2025-12-03 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
KR20210010816A (ko) 2019-07-17 2021-01-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법
KR102860110B1 (ko) 2019-07-17 2025-09-16 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법
US11643724B2 (en) 2019-07-18 2023-05-09 Asm Ip Holding B.V. Method of forming structures using a neutral beam
TWI839544B (zh) 2019-07-19 2024-04-21 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成形貌受控的非晶碳聚合物膜之方法
KR102903090B1 (ko) 2019-07-19 2025-12-19 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 토폴로지-제어된 비정질 탄소 중합체 막을 형성하는 방법
CN112309843B (zh) 2019-07-29 2026-01-23 Asmip私人控股有限公司 实现高掺杂剂掺入的选择性沉积方法
CN112309899B (zh) 2019-07-30 2025-11-14 Asmip私人控股有限公司 基板处理设备
CN112309900B (zh) 2019-07-30 2025-11-04 Asmip私人控股有限公司 基板处理设备
KR20210015655A (ko) 2019-07-30 2021-02-10 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치 및 방법
US11227782B2 (en) 2019-07-31 2022-01-18 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly
US11587815B2 (en) 2019-07-31 2023-02-21 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly
US11587814B2 (en) 2019-07-31 2023-02-21 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly
KR20210018759A (ko) 2019-08-05 2021-02-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 화학물질 공급원 용기를 위한 액체 레벨 센서
KR20210018761A (ko) 2019-08-09 2021-02-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 냉각 장치를 포함한 히터 어셈블리 및 이를 사용하는 방법
USD965524S1 (en) 2019-08-19 2022-10-04 Asm Ip Holding B.V. Susceptor support
USD965044S1 (en) 2019-08-19 2022-09-27 Asm Ip Holding B.V. Susceptor shaft
JP7810514B2 (ja) 2019-08-21 2026-02-03 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 成膜原料混合ガス生成装置及び成膜装置
KR20210024423A (ko) 2019-08-22 2021-03-05 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 홀을 구비한 구조체를 형성하기 위한 방법
USD930782S1 (en) 2019-08-22 2021-09-14 Asm Ip Holding B.V. Gas distributor
USD940837S1 (en) 2019-08-22 2022-01-11 Asm Ip Holding B.V. Electrode
USD949319S1 (en) 2019-08-22 2022-04-19 Asm Ip Holding B.V. Exhaust duct
USD979506S1 (en) 2019-08-22 2023-02-28 Asm Ip Holding B.V. Insulator
US11286558B2 (en) 2019-08-23 2022-03-29 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a molybdenum nitride film on a surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures including a molybdenum nitride film
TWI838570B (zh) 2019-08-23 2024-04-11 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 使用雙(二乙基胺基)矽烷藉由peald沉積具有經改良品質之氧化矽膜的方法
KR102868968B1 (ko) 2019-09-03 2025-10-10 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 칼코지나이드 막 및 상기 막을 포함한 구조체를 증착하기 위한 방법 및 장치
KR102806450B1 (ko) 2019-09-04 2025-05-12 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법
KR102733104B1 (ko) 2019-09-05 2024-11-22 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US12469693B2 (en) 2019-09-17 2025-11-11 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a carbon-containing layer and structure including the layer
US11562901B2 (en) 2019-09-25 2023-01-24 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing method
CN112593212B (zh) 2019-10-02 2023-12-22 Asm Ip私人控股有限公司 通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法
KR20210042810A (ko) 2019-10-08 2021-04-20 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 활성 종을 이용하기 위한 가스 분배 어셈블리를 포함한 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
TW202128273A (zh) 2019-10-08 2021-08-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 氣體注入系統、及將材料沉積於反應室內之基板表面上的方法
TWI846953B (zh) 2019-10-08 2024-07-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 基板處理裝置
KR102879443B1 (ko) 2019-10-10 2025-11-03 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 포토레지스트 하부층을 형성하기 위한 방법 및 이를 포함한 구조체
US12009241B2 (en) 2019-10-14 2024-06-11 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly with detector to detect cassette
TWI834919B (zh) 2019-10-16 2024-03-11 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 氧化矽之拓撲選擇性膜形成之方法
US11637014B2 (en) 2019-10-17 2023-04-25 Asm Ip Holding B.V. Methods for selective deposition of doped semiconductor material
KR102845724B1 (ko) 2019-10-21 2025-08-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 막을 선택적으로 에칭하기 위한 장치 및 방법
KR20210050453A (ko) 2019-10-25 2021-05-07 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 표면 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조
US11646205B2 (en) 2019-10-29 2023-05-09 Asm Ip Holding B.V. Methods of selectively forming n-type doped material on a surface, systems for selectively forming n-type doped material, and structures formed using same
KR102890638B1 (ko) 2019-11-05 2025-11-25 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 도핑된 반도체 층을 갖는 구조체 및 이를 형성하기 위한 방법 및 시스템
US11501968B2 (en) 2019-11-15 2022-11-15 Asm Ip Holding B.V. Method for providing a semiconductor device with silicon filled gaps
KR102861314B1 (ko) 2019-11-20 2025-09-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템
KR20210065848A (ko) 2019-11-26 2021-06-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 제1 유전체 표면과 제2 금속성 표면을 포함한 기판 상에 타겟 막을 선택적으로 형성하기 위한 방법
CN112951697B (zh) 2019-11-26 2025-07-29 Asmip私人控股有限公司 基板处理设备
CN112885693B (zh) 2019-11-29 2025-06-10 Asmip私人控股有限公司 基板处理设备
CN112885692B (zh) 2019-11-29 2025-08-15 Asmip私人控股有限公司 基板处理设备
JP7527928B2 (ja) 2019-12-02 2024-08-05 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 基板処理装置、基板処理方法
KR20210070898A (ko) 2019-12-04 2021-06-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
CN112992667A (zh) 2019-12-17 2021-06-18 Asm Ip私人控股有限公司 形成氮化钒层的方法和包括氮化钒层的结构
KR20210080214A (ko) 2019-12-19 2021-06-30 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조
JP7636892B2 (ja) 2020-01-06 2025-02-27 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー チャネル付きリフトピン
KR20210089077A (ko) 2020-01-06 2021-07-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 가스 공급 어셈블리, 이의 구성 요소, 및 이를 포함하는 반응기 시스템
US11993847B2 (en) 2020-01-08 2024-05-28 Asm Ip Holding B.V. Injector
KR102882467B1 (ko) 2020-01-16 2025-11-05 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 고 종횡비 피처를 형성하는 방법
KR102675856B1 (ko) 2020-01-20 2024-06-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 형성 방법 및 박막 표면 개질 방법
TWI889744B (zh) 2020-01-29 2025-07-11 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 污染物捕集系統、及擋板堆疊
TWI871421B (zh) 2020-02-03 2025-02-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 包括釩或銦層的裝置、結構及其形成方法、系統
KR20210100010A (ko) 2020-02-04 2021-08-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 대형 물품의 투과율 측정을 위한 방법 및 장치
US11776846B2 (en) 2020-02-07 2023-10-03 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing gap filling fluids and related systems and devices
TW202146691A (zh) 2020-02-13 2021-12-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 氣體分配總成、噴淋板總成、及調整至反應室之氣體的傳導率之方法
KR102916725B1 (ko) 2020-02-13 2026-01-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 수광 장치를 포함하는 기판 처리 장치 및 수광 장치의 교정 방법
TWI855223B (zh) 2020-02-17 2024-09-11 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於生長磷摻雜矽層之方法
TWI895326B (zh) 2020-02-28 2025-09-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 專用於零件清潔的系統
KR20210113043A (ko) 2020-03-04 2021-09-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반응기 시스템용 정렬 고정구
KR20210116240A (ko) 2020-03-11 2021-09-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 조절성 접합부를 갖는 기판 핸들링 장치
US11876356B2 (en) 2020-03-11 2024-01-16 Asm Ip Holding B.V. Lockout tagout assembly and system and method of using same
KR102775390B1 (ko) 2020-03-12 2025-02-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 타겟 토폴로지 프로파일을 갖는 층 구조를 제조하기 위한 방법
US12173404B2 (en) 2020-03-17 2024-12-24 Asm Ip Holding B.V. Method of depositing epitaxial material, structure formed using the method, and system for performing the method
KR102755229B1 (ko) 2020-04-02 2025-01-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 형성 방법
TWI887376B (zh) 2020-04-03 2025-06-21 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 半導體裝置的製造方法
TWI888525B (zh) 2020-04-08 2025-07-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於選擇性蝕刻氧化矽膜之設備及方法
US11821078B2 (en) 2020-04-15 2023-11-21 Asm Ip Holding B.V. Method for forming precoat film and method for forming silicon-containing film
KR20210128343A (ko) 2020-04-15 2021-10-26 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 크롬 나이트라이드 층을 형성하는 방법 및 크롬 나이트라이드 층을 포함하는 구조
US11996289B2 (en) 2020-04-16 2024-05-28 Asm Ip Holding B.V. Methods of forming structures including silicon germanium and silicon layers, devices formed using the methods, and systems for performing the methods
TW202143328A (zh) 2020-04-21 2021-11-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於調整膜應力之方法
TWI887400B (zh) 2020-04-24 2025-06-21 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於穩定釩化合物之方法及設備
KR20210132600A (ko) 2020-04-24 2021-11-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 바나듐, 질소 및 추가 원소를 포함한 층을 증착하기 위한 방법 및 시스템
TWI884193B (zh) 2020-04-24 2025-05-21 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成含氮化釩層及包含該層的結構之方法
KR102866804B1 (ko) 2020-04-24 2025-09-30 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 냉각 가스 공급부를 포함한 수직형 배치 퍼니스 어셈블리
TW202208671A (zh) 2020-04-24 2022-03-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成包括硼化釩及磷化釩層的結構之方法
KR102783898B1 (ko) 2020-04-29 2025-03-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 고체 소스 전구체 용기
KR20210134869A (ko) 2020-05-01 2021-11-11 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. Foup 핸들러를 이용한 foup의 빠른 교환
JP7726664B2 (ja) 2020-05-04 2025-08-20 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 基板を処理するための基板処理システム
JP7736446B2 (ja) 2020-05-07 2025-09-09 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 同調回路を備える反応器システム
KR102788543B1 (ko) 2020-05-13 2025-03-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반응기 시스템용 레이저 정렬 고정구
TW202146699A (zh) 2020-05-15 2021-12-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成矽鍺層之方法、半導體結構、半導體裝置、形成沉積層之方法、及沉積系統
KR102905441B1 (ko) 2020-05-19 2025-12-30 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
KR20210145079A (ko) 2020-05-21 2021-12-01 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판을 처리하기 위한 플랜지 및 장치
KR102795476B1 (ko) 2020-05-21 2025-04-11 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 다수의 탄소 층을 포함한 구조체 및 이를 형성하고 사용하는 방법
KR102702526B1 (ko) 2020-05-22 2024-09-03 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 과산화수소를 사용하여 박막을 증착하기 위한 장치
KR20210146802A (ko) 2020-05-26 2021-12-06 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 붕소 및 갈륨을 함유한 실리콘 게르마늄 층을 증착하는 방법
TWI876048B (zh) 2020-05-29 2025-03-11 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 基板處理方法
TW202212620A (zh) 2020-06-02 2022-04-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 處理基板之設備、形成膜之方法、及控制用於處理基板之設備之方法
AT522689B1 (de) * 2020-06-15 2021-01-15 Andritz Delkor Pty Ltd Vorrichtung und verfahren zur trennung einer suspension
KR20210156219A (ko) 2020-06-16 2021-12-24 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 붕소를 함유한 실리콘 게르마늄 층을 증착하는 방법
KR102916735B1 (ko) 2020-06-24 2026-01-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 실리콘이 구비된 층을 형성하는 방법
TWI873359B (zh) 2020-06-30 2025-02-21 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 基板處理方法
US12431354B2 (en) 2020-07-01 2025-09-30 Asm Ip Holding B.V. Silicon nitride and silicon oxide deposition methods using fluorine inhibitor
TW202202649A (zh) 2020-07-08 2022-01-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 基板處理方法
KR20220010438A (ko) 2020-07-17 2022-01-25 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 포토리소그래피에 사용하기 위한 구조체 및 방법
KR20220011092A (ko) 2020-07-20 2022-01-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 전이 금속층을 포함하는 구조체를 형성하기 위한 방법 및 시스템
TWI878570B (zh) 2020-07-20 2025-04-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於沉積鉬層之方法及系統
TW202219303A (zh) 2020-07-27 2022-05-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 薄膜沉積製程
KR20220020210A (ko) 2020-08-11 2022-02-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 상에 티타늄 알루미늄 카바이드 막 구조체 및 관련 반도체 구조체를 증착하는 방법
KR102915124B1 (ko) 2020-08-14 2026-01-19 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법
US12040177B2 (en) 2020-08-18 2024-07-16 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a laminate film by cyclical plasma-enhanced deposition processes
KR20220026500A (ko) 2020-08-25 2022-03-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 표면을 세정하는 방법
TW202534193A (zh) 2020-08-26 2025-09-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成金屬氧化矽層及金屬氮氧化矽層的方法
KR20220027772A (ko) 2020-08-27 2022-03-08 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 다중 패터닝 공정을 사용하여 패터닝된 구조체를 형성하기 위한 방법 및 시스템
TWI904232B (zh) 2020-09-10 2025-11-11 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 沉積間隙填充流體之方法及相關系統和裝置
USD990534S1 (en) 2020-09-11 2023-06-27 Asm Ip Holding B.V. Weighted lift pin
KR20220036866A (ko) 2020-09-16 2022-03-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 실리콘 산화물 증착 방법
USD1012873S1 (en) 2020-09-24 2024-01-30 Asm Ip Holding B.V. Electrode for semiconductor processing apparatus
TWI889903B (zh) 2020-09-25 2025-07-11 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 基板處理方法
US12009224B2 (en) 2020-09-29 2024-06-11 Asm Ip Holding B.V. Apparatus and method for etching metal nitrides
KR20220045900A (ko) 2020-10-06 2022-04-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 실리콘 함유 재료를 증착하기 위한 증착 방법 및 장치
CN114388427A (zh) 2020-10-06 2022-04-22 Asm Ip私人控股有限公司 用于在特征的侧壁上形成氮化硅的方法和系统
CN114293174A (zh) 2020-10-07 2022-04-08 Asm Ip私人控股有限公司 气体供应单元和包括气体供应单元的衬底处理设备
TW202229613A (zh) 2020-10-14 2022-08-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 於階梯式結構上沉積材料的方法
KR102873665B1 (ko) 2020-10-15 2025-10-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반도체 소자의 제조 방법, 및 ether-cat을 사용하는 기판 처리 장치
TW202217037A (zh) 2020-10-22 2022-05-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 沉積釩金屬的方法、結構、裝置及沉積總成
TW202223136A (zh) 2020-10-28 2022-06-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於在基板上形成層之方法、及半導體處理系統
TW202229620A (zh) 2020-11-12 2022-08-01 特文特大學 沉積系統、用於控制反應條件之方法、沉積方法
EP4244190B1 (de) * 2020-11-12 2024-11-27 Rainwell Ab Langsamer sandwasserfilter für off-grid-verwendung
TW202229795A (zh) 2020-11-23 2022-08-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 具注入器之基板處理設備
TW202235649A (zh) 2020-11-24 2022-09-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 填充間隙之方法與相關之系統及裝置
TW202235675A (zh) 2020-11-30 2022-09-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 注入器、及基板處理設備
US12255053B2 (en) 2020-12-10 2025-03-18 Asm Ip Holding B.V. Methods and systems for depositing a layer
TW202233884A (zh) 2020-12-14 2022-09-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成臨限電壓控制用之結構的方法
US11946137B2 (en) 2020-12-16 2024-04-02 Asm Ip Holding B.V. Runout and wobble measurement fixtures
TW202232639A (zh) 2020-12-18 2022-08-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 具有可旋轉台的晶圓處理設備
TW202231903A (zh) 2020-12-22 2022-08-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 過渡金屬沉積方法、過渡金屬層、用於沉積過渡金屬於基板上的沉積總成
TW202242184A (zh) 2020-12-22 2022-11-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 前驅物膠囊、前驅物容器、氣相沉積總成、及將固態前驅物裝載至前驅物容器中之方法
TW202226899A (zh) 2020-12-22 2022-07-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 具匹配器的電漿處理裝置
USD1023959S1 (en) 2021-05-11 2024-04-23 Asm Ip Holding B.V. Electrode for substrate processing apparatus
USD980814S1 (en) 2021-05-11 2023-03-14 Asm Ip Holding B.V. Gas distributor for substrate processing apparatus
USD980813S1 (en) 2021-05-11 2023-03-14 Asm Ip Holding B.V. Gas flow control plate for substrate processing apparatus
USD981973S1 (en) 2021-05-11 2023-03-28 Asm Ip Holding B.V. Reactor wall for substrate processing apparatus
USD990441S1 (en) 2021-09-07 2023-06-27 Asm Ip Holding B.V. Gas flow control plate
USD1099184S1 (en) 2021-11-29 2025-10-21 Asm Ip Holding B.V. Weighted lift pin
USD1060598S1 (en) 2021-12-03 2025-02-04 Asm Ip Holding B.V. Split showerhead cover

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5211847A (en) * 1991-04-22 1993-05-18 Infilco Degremont Inc. Denitrification methods
JPH06315693A (ja) * 1991-05-25 1994-11-15 Nippon Kentetsu Co Ltd 廃水処理装置
US5217607A (en) * 1992-02-21 1993-06-08 Diamond Water Systems, Inc. Water decontamination system with filter, electrostatic treatment and UV radiation chamber
DE9320594U1 (de) * 1993-06-18 1995-02-02 Delta UV GmbH Entkeimungstechnik, 33818 Leopoldshöhe Vorrichtung zur UV-Bestrahlung von Wasser
US6123858A (en) * 1993-10-27 2000-09-26 University Technologies International Inc. Slow sand filter for use with intermittently flowing water supply and method of use thereof
JP4172048B2 (ja) * 1997-05-13 2008-10-29 千代田工販株式会社 被処理水の外照式紫外線消毒装置
JPH11128913A (ja) * 1997-10-29 1999-05-18 Sanden Corp 浄水殺菌装置
DE10005079A1 (de) * 2000-02-04 2001-08-09 Peter Ueberall Flutbare Vorrichtung für die obere Begrenzung des Strömungsquerschnittes in einem kanalartigen Gerinne mit einer darunter angeordneten UV-Strahlerkonfiguration, vorzugsweise für ein UV-Bestrahlungsgerinne für Abwasser
US6803587B2 (en) * 2001-01-11 2004-10-12 Waterhealth International, Inc. UV water disinfector
JP3937150B2 (ja) * 2002-03-19 2007-06-27 株式会社マリンリバー 魚介類の出荷に使用する海水の濾過槽一体形殺菌装置
US20050263447A1 (en) * 2004-05-27 2005-12-01 Mcgrew Henry E Jr Wastewater treatment system
DE102004051621A1 (de) * 2004-10-22 2006-04-27 Binowa Umweltverfahrenstechnik Gmbh Vorrichtung zur UV-Bestrahlung von Wasser

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2923478A1 (fr) * 2007-11-13 2009-05-15 Alain Picard Procede et dispositif de traitement d'un effluent.
WO2009068797A1 (fr) * 2007-11-13 2009-06-04 Alain Picard Procede et dispositif de traitement d'un effluent
WO2009156066A1 (de) 2008-06-24 2009-12-30 Holger Blum Verfahren und vorrichtung zur wasseraufbereitung
DE102008029923A1 (de) 2008-06-24 2009-12-31 Holger Blum Verfahren und Vorrichtung zur Wasseraufbereitung
DE102008029923B4 (de) * 2008-06-24 2016-06-30 Holger Blum Verfahren und Vorrichtung zur Wasseraufbereitung

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