DE2018725A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Herstel-IHBf Hugn§sMtirc-r§rr8o"!; Culver City, Calif. (V.St.A.) - Google Patents

Description

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Anmolderint Stuttgart, den 16.April

Hughes Aircraft Company '■ P 2118 S/kg Oentinela Avenue and Teale Street
Culver City, Calif., V.St.A,

Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Metallgitters

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines Metallgitters, insbesondere für Kathodenstrahlröhren·

Bisher -wurden die Metallgitter, mit denen sich die Erfindung befaßt, mit Hilfe einer photographischen Vervielfältigung photographischer Originale hergestellt. Die auf diese Weise hergestellten Sitter waren jedoch für verschiedene Anwendungen nicht vollständig befriedigend, trotz der höchsten Präzision, mit der die einzelnen, bei

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der Herstellung dieser Gitter erforderlichen Schritte ausgeführt worden sind. Für gewisse Speicherröhren, die von gitterförmigen Speicherelektroden Gebrauch machen, wie beispielsweise bei der Feststellung schwacher Signale^ sollen Schwankungen in dem Abstand der Gitterstriche so klein wie nur möglich gehalten werden. Bei anderen Anwendungen in Speicherröhren, bei denen ein von dem Speichergitter der Röhre herrührender räumlicher Rauschanteil eine Feststellung Signale geringer Leistung beeinträchtigt, wird die Nützlichkeit solcher Gitter dadurch übermäßig beschränkt, daß verschiedene Unvollkommenheiten der Gitterelektrode nicht innerhalb annehmbarer Grenzen gehalten werden können. Allgemein können Unvollkommenheiten im Gitter auf Unvollkommenheiten im photographischen Original zurückgeführt werden, die ihrerseits vornehmlich auf die Bildung der Gitterstriche auf dem phot©graphischen Original mit Hilfe einer mechanischen Graviertechnik zurückgehen.

Als Beispiel für die bekannte Herstellungsweise kann ein photographisches Original betrachtet werden, das aus einem "undurchsichtigen. Film auf einem Glas träger

■besteht, in den ein® Yi©lsahl von schlitzförmigen öifaragea eingraviert worden sind₉ die ein Muster bilden» das sur H©rst®ilra,g ©ines entsprechenden Metall« phötögraphiseii vervielfältigt werden kann₀ Ein

E> Abstand zwischen benachbarten Schlitzen periodisch© Fehlsr in d®a B©ii2>aubenantrisb feavieraseehin© gtarüeksuführea rad qs' ist daaa inf©lgod®iSi©3a d®r. Abstand auis ©&,©:& den ß-i'ii'feQE'Striüb.ea eines ws, dea pk©t©§2?a]pMseii©xi 'Original abgolGli?Gtoa Sitters

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ungleichmäßig oder schwankend· Weiterhin sind vollkommen gerade, ununterbrochene Schlitzöffnungen äußerst schwierig zu erzielen, wenn die Anzahl der erforderlichen Schlitzöffnungen in Betracht gezogen wird« Ein wellenförmiger Verlauf, Sprünge und andere Unvollkommenheiten in einzelnen Schlitzen sind unvermeidbar. Diese Unvollkommenheiten werden in dem Gitter, das letztlich von dem photographischen Original abgeleitet wird, wiederholt. Die oben erwähnten unregelmäßigen Abstände sowie die oben erwähnten Unvollkommenheiten begrenzen effektiv die Nützlichkeit von Gittern für viele Anwendungen· - ■

Das nutzbare Signal-Rausch-Verhältnis einer Speicherröhre kann definiert werden als das 20-fache des Logarithmus des halben Verhältnisses der von Spitze zu Spitze gemessenen Signalausgangsspannung zum Effektivwert der räumlichen Hintergrund-Rauschspannung, die auf Unregelmäßigkeiten in dem Speichergitter zurückzuführen sind. In einer Speicherröhre mit festem Dielektrikum ist das Verhältnis der Flächen benachbarter metallfreier Quadrate auf der Oberfläche des Gitterträgers zwischen den Gitterstrichen dem oben definierten Decibel-Fehler stark angenähert, weil das geschriebene Signal zu der elektrischen Kapazität der metallfreien Quadrate in Beziehung steht.

Mit den bisher bekannten Techniken, wie beispielsweise der oben behandelten Technik, die vom wiederholten Einritzen von Schlitzöffnungen in einen Film auf einem Glasträger zur Bildung eines photographischen Originals Gebrauch macht, konnten Speicher elektroden mit einer Fehler»« gleichförmigkeit von nicht besser als etwa 33 bis 35 db

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erzeugt werden, waa auf eine Schwankung benachbarter metallfreier Quadrate von etwa 3 bis 5% hinweist. Flächenschwankungen oder Fehler dieser Größe sind bei vielen Anwendungen in Speieherröhren untragbar, wenn räumliche Rauschverteilungen der Speicherelektrode die Feststellung von schwachen Signalen beeinträchtigen und dadurch die Brauchbarkeit der hergestellten Speicherelektrode beeinträchtigen.

Demgemäß liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, diese Nachteile der bekannten Speicherelektroden, die durch die Art ihrer Herstellung bedingt sind, durch ein verbessertes Verfahren zur Herstellung entsprechender Metallgitter zu vermeiden, die frei von Unvollkomraenheiten sind. Demgemäß liegt der Erfindung auch die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung eines photographischen Originals zu schaffen, das nahezu vollkommene, im wesentlichen identische, undurchsichtige Striche oder Streifen mit gleichförmigem Abstand aufweist und zur Herstellung von Speichergittern für Speicherröhren reproduziert werden kann.

Diese Aufgabe wird nach der Erfindung dadurch gelöst, daß eine Photomaske, die einen einzigen Schlitz auf v/eist, auf eine photographische Platte, die aus einem durchsichtigen Träger und einer Schicht einer lichtempfindlichen Emulsion besteht, ausgerichtet und über die photographische Platte hinweg bewegt wird* während intermittierend Licht durch den Schlitz hinduroto auf die lichtempfindliche Emulsion projiziert wird, so daß eine Anzahl paralleler, einen gleichen Abstand voneinander aufweisenden latenter

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Linienbilder in der lichtempfindlichen Emulsion erzeugt wird, von denen jedes dem Schlitz entspricht, daß dann die lichtempfindliche Emulsion entwickelt wird, um ein photographisches Original mit einem Muster undurchsichtiger Linien auf durchsichtigem Hintergrund in der. Emulsion zu bilden, daß anschließend das photographische Original auf eine durchsichtige Platte ausgerichtet wird, die mit einer ersten Schicht aus Metall und einer ersten Schicht aus Photolack bedeckt ist, und die-.erste Photolackschicht durch das photographische Original hindurch belichtet wird, so daß ein unbelichtetes Photolackbild entsteht, das den undurchsichtigen Linien des photographischen Originals entspricht, daß weiterhin die erste Photolackschicht entwickelt und dadurch der unbelichtete Photolack und anschließend das Metall an den Stellen entfernt wird, an denen vorher der unbelichtete Photolack entfernt worden ist, so daß eine photographische Schablone entsteht, die in der ersten Metallschicht ein aus Schlitzen bestehendes Muster aufweist, daß dann die Schablone mit einem Träger zur Deckung gebracht wird, auf den nacheinander eine zweite Schicht aus Metall und eine zweite Schicht aus Photolack aufgebracht worden sind* die zweite Photolackschicht durch die Schablone hindurch belichtet wird, anschließend die Schablone eine neue Lage, in der sie zu der Lage während der Belichtung im wesentlichen senkrecht ausgerichtet ist, gebracht und dann die zweite Photolackschicht erneut belichtet wird, daß die unbelichteten Stellen der zweiten Schicht aus Photolack selektiv entfernt werden, so daß ein Gitter aus sich orthogonal schneidenden Linien belichteten Photolacks entsteht, und daß endlich auf dem Träger ein Metall-

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gitter aus sich orthogonal schneidenden Metalllnien erzeugt wird, in dem selektiv die zwischen den Linien des Photolackgitters liegenden Abschnitte der zweiten Metallschicht und das Photolackgitter entfernt werden.

Nach der Erfindung wird also nicht ein Original dadurch hergestellt, daß eine Vielzahl paralleler Schlitze in einen undurchsichtigen PiIm auf einem Glasträger eingraviert wird, sondern es wird von einem einzigen Schlitz in einem undurchsichtigen Metallfilm auf einem durchsichtigen Träger Gebrauch gemacht, der nahezu vollkommen hergestellt ist· Mit Hilfe dieses einzigen Schlitzes wird dann photographisch ein Original mit parallelen Linien, eine Schablone mit parallelen Schlitzen und endlich ein Metallgitter hergestellt, dessen einzelne Striche ebenso vollkommen sind wie der einzige Strich der ursprünglichen Photomaske· Tatsächlich haben die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Gitter für Speicherröhren einen Decibel-lehler von 40 db oder mehr· Dieser Wert sseigt an» daß Flächenschwankungen zwischen benachbarten_s metallfreien Quadraten auf der Schirmfläche auf einem Wert von etwa 1% gehalten werden*

Die Erfindung "betrifft auch ein® Vorrichtung sur Durchführung des ©rfindungsgemäßen Verfahrens„ die"dadurch gekennzeichnet ist_e. daß sie ©in® TraßeinsaehtmiK sum

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@k®a mit ©timu Schiita,

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einen Antrieb zum Bewegen der Piiotomaake in seitlicher Richtung in bezug auf die Trageinrichtung, eine Interferometer anordnung zur Messung der Relativstellung der Photomaske in bezug auf die Trageinrichtung mit einem Detektor, der für diese -^elativstellungen charakteristische Signale erzeugt, einen Zähler, der diese Signale zählt· und bei Erreichen einer bestimmten Anzahl dieser Signale ein Ausgangssignal erzeugt, und eine auf die Ausgangssignale ansprechende Triggereinrichtung zumAuslösen der Blitzeinrichtung umfaßt»

Bei der praktischen Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird demnach mit Hilfe der erfindungsgemäßen Vorrichtung die Photomaske über einer photographischen Platte in der Weise angeordnet, daß der Metallfilm der Emulsion gegenübersteht. Die Photomaske wird quer zur Längsrichtung des Schlitzes über die Filmoberflache mit einer im wesentlichen konstanten Geschwindigkeit hinwegbewegt, während einen gleichen Abstand voneinander aufweisende Streifen der Emulsion durch die Schlitzöffnung hindurch in periodischen räumlichen Abständen, die durch das Zählen von Interferenzstreifen bestimmt werden, Lichtimpulsen mit hohem Ultraviolettanteil ausgesetzt werden; Nachdem die gewünschte Anzahl von Belichtungen stattgefunden hat, wird die Emulsion entwickelt und in einen hellen, weitgehend durchsichtigen Film mit einer-Anzahl von dunklen, undurchsichtigen Linien oder Strichen umgewandelt. Das transparente Material entspricht der nichtbelichteten Emulsion, während das undurchsichtige Material der belichteten Emulsion entspricht. Anschließend wird

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das gewünschte Gitter unter Verwendung der photographischen Vervielfachung des undurchsichtigen Linienmusters in dem von der entwickelten photographischen Platte gebildeten photographischen Original hergestellt.

Weitere Einzelheiten und Ausgestaltungen der Erfindung sind der folgenden Beschreibung zu entnehmen, in der die Erfindung anhand der in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiele näher beschrieben und erläutert wird. Die der Beschreibung und der Zeichnung zu entnehmenden Merkmale können bei anddren Ausführungsformen der Erfindung einzeln für sich oder zu mehreren in beliebiger Kombination Anwendung finden» Es zeigen

FiG. 1 eine Vorrichtung nach der Erfindung in schematischer Darstellung,

Flg. 2 einen Ausschnitt aus der in der Vorrichtung nach Fig. 1 verwendeten Photomaske in Verbindung mit einem Abschnitt eines Werkzeuges zu ihrer Herstellung,

Fig. 3 Querschnitte durch die Photomaske und das photographische Original zur Veranschaulichung der Verfahrensschritte bei der Herstellung des photographischen Originals,

Querschnitte durch das photographische Original und die photographisch© Schablone zur Veranschaulichung der Verfahrensschritte bei der Heretellung der photographi&ohen Schablone _%

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Fig· 5 Querschnitte durch die photographische Schablone und das Metallgitter zur Veranschaulichung der Schritte bei der Herstellung des Metallgitters und

Fig. £ eine Draufsicht auf ein nach der Erfindung hergestelltes Metallgitter·

Fig. 2 veranschaulicht die Weise, in der eine einzige schlitzförmige Öffnung hoher Genauigkeit in einen undurchsichtigen Metallfilm eingearbeitet werden kann, der sich auf einem durchsichtigen !Präger befindetj um eine Photomaske zu bilden, die in der Vorrichtung nach Fig. 1 verwendet werden kann. Bevor die Fig. 2 im einzelnen beschrieben wird, soll die Weise behandelt werden, in der ein Metallfilm auf dem Glasträger hereestellt wird, weil es sehr wichtig ist, daß der Metallfilm relativ dünn und doch ausreichend dick ist, um undurchsichtig zu sein. Es ist weiterhin wichtig, daß der undurchsichtige Metallfilm sauber, gleichförmig und leicht gravierbär oder ritzbar ist, . .

Um einen solchen Film herzustellen, wird von einem Träger 2 aus Glas oder einem anderen geeigneten durchsichtigen Material Gebrauch gemacht· Der Glasträger 2 wird zunächst mit einem kalkhaltigen Putzmittel gescheuert und dann in Salpetersäure (HNO^) gereinigt· Anschließend wird auf den !Präger eine Aluminiumschicht mit einer Dicke von etwa 250 £ aufgedampft. Diese Schicht wird dann mit einem mit Wasser befeuchteten Wattebausch gerieben, gespült und anschließend durch Schleudern getrocknet· Pie Scheuer-, Spül- und Trockenachritte im

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Anschluß an das Aufdampfen dienen dazu, das aufgedampfte Aluminium zu reinigen, indem von dessen Oberfläche Verunreinigungen entfernt werden. Die vorstehend erwähnten Aufdampfungs- und Reinigungsschritte werden hoch zweimal wiederholt, damit ein Aluminiumfilm 4 von etwa 750 £ Dicke auf dem Glasträger 2 gebildet wird. Durch Aufdampfen des Aluminiums in mehreren Schritten, die jeweils vo*¹ Reinigungsschritten zur Entfernung von Verunreinigungen gefolgt werden, wird die Wahrscheinlichkeit, daß zurückbleibende Verunreinigungen übereinander zu liegen kommen und die Ursache von winzigen Löchern werden, die sich vollständig durch den Aluminiumfilm hindurch erstrecken, praktisch zu Null«

Anschließend kann dann in den Aluminiumfilm in der in Fig. 2 -veranschaulichten Weise ein Schlitz eingraviert werden. Kurz gesagt wird der beschichtete Glasträger 2 in eine Graviermaschine eingespannt, die einen Diamentstichel 6 aufweist. Eine Relativbewegung zwischen dem Diamantstichel und dem Träger wird mit Hilfe eines mit Gegengewichten versehenen Hollenmechanismus erzielt, der mit einem den Glaaträger 2 tragenden Werktisch verbunden ist, der den Träger unter dem stationär gehaltenen Stichel entlang bewegt. Der Diamantstichel 6 überquert den Träger und gräbt eine öffnung in Form eines geraden Schlitzes 8 gleichförmiger Breite in den Aluminiumfilm 4· Die Form des Stichels und der auf den Träger 2 ausgeübte Druck bestimmen die Genauigkeit des resultierenden Schlitzes« Beispielsweise kann ein Stichel mit einer Spitze von 5/ua Breite, einem Spanwinkel von etwa 10° und einem Freiwinkel von etwa 5° unter einem Gravierdruck von etwa 300 biß 400 mg dazu benutzt werden, in eine

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Aluminiumschicht von 750 -S Dicke einen Schlitz von 5 Breite einzugraben, der eine Länge von 10 cm und mehr hat. Da. es erwünscht ist, daß der eine öffnung bildende Schlitz 8 von größtmöglicher Vollkommenheit ist, kann eine Vielzahl von aluminiumbeschichteten Glasträgern 2 vorgesehen werden und in den Aluminiumfilm 4 Jedes Glasträgers ein einziger Schlitz θ eingeschnitten werden, so daß der Träger 2 mit dem Aluminiumfilm 4, in den der beste Schlitz 8 eingeschnitten worden ist, zur Verwendung als Photomaske 10 in der in Fig. 1 dargestellten Weise ausgewählt werden kann.

Das hier offenbarte Verfahren nach der Erfindung zur Erzeugung von Metallgittern und insbesondere Gittern für Speicherröhren hat eine Wiederholung von Unvollkömmenheiten oder Fehlern wie einer Ausbuchtung in jeder Gitterlinie an dem entsprechenden Punkt zur Folge_t so daß ein wiederholter Fehler erzeugt wird, der allgemein als unerwünscht betrachtet wird. Aus diesem Grund werden große Anstrengungen gemacht, um in der anhand Fig. 2 beschriebenen Weise eine Linie mit der größtmöglichen Vollkommenheit zu erzielen·

Fig. 1 veranschaulicht eine auf einem Tisch angeordnete Vorrichtung 12, die sich zum Ausschluß von Licht unter einer nicht näher dargestellten Abdeckung befindet. Statt dessen könnte die Vorrichtung 12 auch in einem dunklen Raum angeordnet sein. Auf dem Gehäuse 16 eines Strahlteilers ist eine stationäre Tragplatte 14 befestigt· In parallelen Führungsblöcken 24 ist ein Schlitten 18 verschiebbar gelagert, der aus einer Basis 20 und einem

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hochstehenden Pfeiler 22 "besteht. Ein auf dem Pfeiler angebrachter Bolzen 26 trägt einen Arm 28, an dem eine Photolampe 30 befestigt ist. An dem Pfeiler 22 ist weiterhin auf geeignete Weise ein Steg 32 in einer solchen Höhe angebracht, daß er sich im Abstand über einer photographischen Platte 34· befindet, die einen aus einer Emulsion hoher Auflösung bestehenden Film 36 auf einer durchsichtigen Glasplatte 38 aufweist (siehe Fig. 3a) und auf der Tragplatte 14 angeordnet ist· Ein an den Steg 32 angeklebtes Blech bildet eine Lichtblende 40, die eine auf die oben anhand Fig. 2 beschriebene und an die Unterseite der Lichtblende 4-0 angeklebte Photomaske 10 ausgerichtete Schlitzöffnung 8a aufweist· Es können auch andere Arten von Photomasken verwendet werden, Jedoch wird die Verwendung der behandelten Photomaske 10 bevorzugt, weil diese Photomaske in Form der Aluminiumschicht 4 eine relativ dünne, den Schlitz enthaltende, undurchsichtige Lichtsperre aufweist, was für die Erzeugung scharf begrenzter Bilder, die mittels einer Belcihtung durch den Schlitz der Photomaske hindurch hergestellt werden, von Wichtigkeit ist· Eajkönnen auch andere Anordnung benutzt werden, um die Photomaske zum Zwecke der Bewegung mit dem Schlitten 19 zu verbinden.

Nachdem die photographische Platte 34 auf der Tragplatte in die gewünschte Lage gebracht worden ist, wird Immersionsöl 41, wie es auch in der Mikroskopie verwendet wird und das eine nur geringe Fluoreszenz aufweist, auf die lichtempfindliche Emulsion der pliotographischen Platte 34 aufgebracht. Da wenigstens ein hoher Anteil des von der Photooder Blitzlampe 30 ausgehenden Lichtes im Ultraviolettbereich liegt, ist es wesentlich, daß das Immersionsöl

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nicht selbst in Abhängigkeit von der Beleuchtung durch ultraviolettes Licht eine Lichtquelle bildet, weil das von dieser Quelle ausgehende Licht eine Verzerrung des Bildes hervorrufen würde* Darum wird ein.für mikroskopische Zwecke geeignetes Immersionsöl benutzt» Das ausgewählte Immersionsöl hat vorzugsweise einen Brechungsindex, der der Brechungsindex der durchsichtigen Träger der photοgraphischen Platte 34 und der Photomaske 10 angenähert ist· Dann wird die Photomaske 10 darüber angeordnet· Das Immersionsöl schmiert die Berührungsflächen zwischen der Photomaske 10 und der photographischen Platte 34 und erleichtert dadurch die Bewegung der Photomaske 10 über die photographische Platte 34 beim Betrieb der Vorrichtung. Außerdem achlioßt das Immersionsöl die Bildung oder die Existenz von Luft- :** spalten an der Grenzfläche aus und verhindert dadurch schädliche Lichtreflexionen, die auf Sprünge im Brechungsindex zurückzuführen sidd und die es sonst verhindern wurden, scharf begrenzte undurchsichtige Bilder in einem durchsichtigen Feld auf der photographischen Platte 34 zu erhalten·

Die Photolampe 30 enthält vorzugsweise eine Xenon-Blitzlampe hoher. Intensität als Lichtquelle, die in der Lage ist, die Photomasks mit parallelen Lichtstrahlen gleichförmiger Intensität zu beleuchten· Die Höhe der Photolampe 30 und damit ihr Abstand von der Lichtblende 40 ist leicht einstellbar, indem der Arm 28, der die Photolampe 30 trägt, an dem Bolzen 26 in der Höhe verschoben und dann eine Rändelschraube 42 angezogen wird, die sich in einer Gewindebohrung im Arm 28 befindet und mit der

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Oberfläche des Bolzens 26, auf dem der Arm 28 gelagert ist, in Eingriff kommt. Ein Elektromotor 44 ist mit Hilfe eines Treibriemens 46 mit einem Untersetzungsgetriebe 48 verbunden, in dem eine drehbare Schraube drehbar gelagert ist· Die drehbare Schraube 50 steht mit dem Schlitten 18 derart in Eingriff, daß eine Drehung der Schraube dem Schlitten 18 eine geradlinige Bewegung längs des mit Hilfe der Führungsblocke 24 definierten Weges erteilt.

Ein Läser 52 erzeugt einen kohärenten Lichtstrahl, der mit Hilfe auf dem Tisch angeordneter Spiegel 54 und 56 in die öffnung des Strahlteilergehäuses 16 gerichtet wirdi Der Laser 52 kann von einem Helium-Neon-Gaslaser gebildet werden, der rotes Licht mit einer Wellenlänge von 6328 S. erzeugen kann. Mit Hilfe einer noch zu beschreibenden Einrichtung wird bewirkt, daß immer dann, wenn der Schlitten 18 sich um eine Strecke fortbewegt hat, die 80 halben Wellenlängen des kohärenten Lichtstrahles entspricht, also etwa 25 Atm beträgt, von der Photplampe 30 ein Lichtimpuls emittiert wird. Dementsprechend erfolgen bei einer Bewegung des Schlittens um 25 mm etwa 1000 Lichtimpulse.

Der Laser 52, der oben erwähnte Strahlteiler, ein auf dem Schlitten angeordneter Spiegel 60 und andere Elemente bilden ein mit kohärentem Licht arbeitendes Interferometer, das dazu dient, die Stellung des Schlittens in bezug auf die Tragplatte 14 zu bestimmen· Das Interferometer arbeitet in der Weise, daß der in die öffnung 58 des Gehäuses 16 eintretende Lichtstrahl auf die Strahlteiler-

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anordnung fällt und in zwei Komponenten aufgespalten ,. wird. Die eine Strahlkomporiente trifft auf den Spiegel 60, während die andere Komponente auf einen stationären Bezugsspiegel innerhalb des Gehäuses 16 fällt. Diese Spiegel reflektieren die entsprechenden Strahlkomponenten zurück auf die Strahlteilereinrichtung, in der die Strahlkomponenten wieder .vereinigt und auf ein lichtempfindliches Element geworfen werden, beispielsweise auf eine in Sperrichtung vorgespannte Photodiode, die einen Teil eines Interferenzstreifendetektors 62 zur Umwandlung des widervereinigten Lichtstrahles in ein entsprechendes elektrisches Signal bildet· Die Weglänge für die auf den Spiegel 60 auftreffende Strahlkomponente nimmt zu, wogegen die Weglänge für die auf den oben erwähnten, stationären Bezugsspiegol auftreffende Strahlkomponente konstant bleibt, wenn sich der Schlitten 18 seitlich von der Tragplatte 14- hinweg bewegt· Die Intensität des wiedervereinigten kohärenten Lichtstrahles, der auf das lichtempfindliche Element des Detektors 62 auftrifft, ändert sich sinusförmig, wenn sich der Schlitten 18 zur Erzeugung von Interferenzstreifen bewegt, die der maximalen Intensität des wiedervereinigten Strahles entsprechen, die jedesmal auftritt, wenn die V/eglänge, die die eine Strahlkomponente zu durchlaufen hat, sich um eine volle Wellenlänge ändert· Der Detektor 62 wandelt die festgestellte, sich sinusförmig ändernde Intensität des zusammengesetzten Strahles in einen sich sinusförmig ändernden Strom um. Die Verwendung eines Interferometers mit kohärentem Licht wird bevorzugt, um Interferenzstreifeh mit größtmöglicher Schärfe zu erhalten. Es versteht sich (jedoch, daß auch ein statt mit kohärentem Licht mit nichtkohärentem,

monochromatischem Licht arbeitendes Interferometer mit Erfolg benutzt werden kann. Relativ scharfe Interferenzstreifen sind Jedoch im Hinblick auf das Ziel, in dem letztlich herzustellenden Gitter Linien mit genau gleichem Abstand zu erhalten, mit hohem Maße erwünscht.

Ein mit dem Interferenzstreifendetektor 62 verbundener Zähler 64- enthält einen Schmidt-Trigger, der jedesmal seinen Zustand ändert, wenn der oben erwähnte, sich sinusförmig ändernde Strom einen entsprechenden positiven und einen entsprechenden negativen Schwellenwert nahe der Nullspannung überschreitet. Der Zähler 64· ist so eingestellt, daß bei Erreichen einer vorgewählten Anzahl von Änderungen im Zustand des Schmidt-Triggers, welche Anzahl der Anzahl der festgestellten Interferenzstreifen gleich ist, eine Triggerachaltung 66 für die Photolampe ausgelöst wird.

Die Triggerschaltung 66 enthält einen steuerbaren Silizium Gleichrichter (Thyristor), der in geeigneter Weise mit einem Impulsverstärker verbunden ist. Der Impulsverstärker ist seinerseits mit Hilfe eines Impulstransformator mit einer Erregerspule für die Photolampe verbunden. Das Auslösen der Triggerschaltung hat ein Durchschalten des Thyristors zur Folge, worauf die Erregerspule der Photolampe einen Entladungsimpuls zuführt· Jedesmal, wenn ein Entladungsimpuls für die Photolampe ausgelöst wird, wird ein kurzer Lichtimpuls von etwa 10 /Is Dauer erzeugt, der die Bildung eines relativ klaren oder schleierfreien latenten photographischen Bildes auf der photographischen Platte zur Folge hat, was durch die Durchleuchtung des Schlitzes in der Photomaske bewirkt wird.

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Die Schaltungsanordnung, die den Interferenzstreifendetektor 62 mit der Photolampe 30 koppelt, ist von üblichem Aufbau und braucht nicht im einzelnen beschrieben zu werden. Der von dem Interferometer, Intereferenzstreifendetektor 62, Zähler 64 und der Triggerschaltung zu erfüllende Hauptzweck besteht darin, die Photolampe JO synchron zu der Bewegung der Photoma3ke 10 über die photographische Platte 24 zu zünden, so daß auf diese Weise aufeinanderfolgende Bilder erzeugt werden, die.mit hoher Genauigkeit einen gleichen Abstand voneinander haben." Die elektronische Zählung der Halbwellenstreifen kann auf jeden gewünschten Abstand zwischen den Bilder eingestellt werden. Es besteht die Möglichkeit, daß bei bestimmten Anwendungen der Vorrichtung der Abstand zwischen aufeinanderfolgenden Bildern gemäß bestimmten Vielfachen eines vorbestimmten Abstandsinkrementes geändert werden müssen. Eine entsprechende Ausführungsform der Erfindung kann dann vom Fachmann ohne weiteres verwirklicht werden.

Der zeitliche Abstand zwischen aufeinanderfolgenden Lichtimpulsen ist bestimmt durch die Schlittengeachwindigkeit, die Wellenlänge des von dem Laser 52 emittierten kohärenten Lichtstrahles und die Einstellung des Zählers 64. Bei dem hier beschriebenen Ausführung3beispiel ist die Geschwindigkeit der Schlittenbewegung in einem Bereich von etwa 1,25 bis 6,25 /*-m/s einstellbar» Wenn sich der Schlitten 18 mit einer Geschwindigkeit von 6,25/*m/s bewegt, die Wellenlänge des kohärenten Lichtes 6328 S. beträgt und der Zähler 64 auf 80 Interferensstreifen pro Blitz eingestallt ist, zündet die Photolampe $0 alle vier Sekunden und es treten bei einer Verschiebung des Schlittens

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um 25 mm 1000 Lichtblitze auf· Die Schlittengeschwindigkeit ist relativ gering, um Stellungsfehler der einzelnen auf der photographischen Platte 34 erzeugten Bilder möglichst klein zu halten und klare, scharf definierte, schleierfreie Bilder zu erzeugen, weil die Blitzdauer von etwa 10 /ia sehr viel kleiner ist als die Zeit, die der Schlitten 18 benötigt, um eine Distanz zu durchlaufen, die der Breite des Schlitzes 8 in der Photot maske 10 gleich ist.

Bei einem bevorzugten Verfahren wird gemäß der Erfindung die belichtete Emulsion der photographischen Platte, die mit Hilfe der. Vorrichtung nach Fig. 1 hergestellt worden ist, entwickelt, so daß eine Serie paralleler Streifen undurchsichtigen Material in einem sonst durchsichtigen Feld entsteht. Der resultierende Gegenstand kann als photographischea Original bezeichnet werden.

Danach wird ein Glasträger beschafft, der mit aufeinanderfolgenden Schichten aus Metall und Photolack versehen ist« Dieser Gegenstand kann als Schablonenplatte bezeichnet * werden. Das photοgraphische Original wird- dann auf die Schablonenplatte derart aufgelegt, daß die Emulaion des photographischen Originale den Photolack der Schablonenplatte berührt» Die vereinigten Teile werden dann Lichtstrahlen ausgesetzt, die auf das photographische Original gerichtet sind. Die Lichtstrahlen gelangen durch die transparenten Abschnitte der Emulsion auf die Abschnitte des Photolackes, die sieh darunter befinden, wogegen die undurchsichtigen Streifen der Emulsion die darunter liegenden Abschnitte des Photolacke® abdecken imd deren

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Belichtung verhindern· Der belichtete Photolack polymerisiert und härtet aus.

Danach wird der Photolack einem selektiven Lösungsmittel ausgesetzt» das den nichtbelichteten Photolack entfernt. Infolgedessen wird in dem Photolack ein Muster paralleler Schlitze gebildet, das dem Muster undurchsichtiger Streifen in der Emulsion entspricht. Das Metall am Boden der im Photolack vorhandenen Schlitze wird entfernt, so daß eine Serie metallfreier Streifen innerhalb der Metallschicht entsteht. Tforzugsweise wird danach der übrige Photolack entfernt, Jedoch ist diese Entfernung nicht notwendig· Der erhaltene Gegenstand bildet eine photο-graphische Schablone, denn es ist das zurückgebliebene Metall für Licht undurchlässig.

'Danach wird ein dielektrischer Elektrodenträger beschafft, der mit entsprechenden Schichten aus Metall und Photolack versehen ist. Dieser Gegenstand kann als Elektronen körper bezeichnet werden. Die Schablone wird auf den Elektrodenkörper so aufgelegt, daß die Metallschicht der Schablone die Photolackschicht des Elektrodenkörpers, berührt. Der Photolack des Elektrodenkörpers wird dann Licht ausgesetzt, das durch die metallfreien Streifen der Schablone hindurchtritt, um die entsprechenden Streifen des Photolackes des Elektrodenkörpers zu belichten und zu polymerisieren. Danach wird die Schablone auf "dem Elektrodenkörper in eine neue Lage gebracht, in der die metallfreien Streifen senkrecht zu den vorher belichteten Pliotolackstreifen des Elektrodenkörpers stehen. Die Belichtung wird wiederholt, um einen zweiten Satz von Streifen des Photolackes zu polymerisieren.

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Danach wird der Photolack auf dem Elektrodenkb'rper einem selektiven Lösungsmittel ausgesetzt, um die Bereiche zu entfernen, die nicht belichtet worden sind. Als Ergebnis wird ein Gitter aus sich kreuzenden Streifen polymer!- sierten Photolackeo auf dem Träger der Elektrode gebildet, bei dem quadratische Flächen ungeschützten Metalles in den Zwischenräumen des Photolackgitters vorhanden sind. Die metallischen Quadrate werden dann entfernt, so daß ein Metallgitter auf dem Träger gebildet wird, das unter dem Photolackgitter liegt. Danach wird das Photolackgitter vollständig entfernt. Der erhaltene Gegenstand kann als Elektrode in einer Speicherröhre Verwendung finden. Die vorstehend beschriebenen Schritte werden noch besser verständlich, wenn auf die Fig. 3 bis 6 Bezug genommen wird.

Fig. Ja veranschaulicht schematisch die Bewegung der Photomaske 10, durch die nacheinander der Schlitz 8 mit entsprechenden Flächenabschnitten der photographischen Platte 34 zur Deckung gebracht wird. In der gezeigten Stellung hat die Photomaske 10 bereits verschiedene Stellungen durchlaufen, an denen entsprechende latente Bilder von Streifen in dem Film 36 einer lichtempfindlichen Emulsion durch die Projektion von Licht durch den Schlitz 8 und durch die Schicht Immersionsül 41 erzeugt worden sind.

Fig. 3b zeigt die photograph!aehe Platte 3^ nach Abschluß der Belichtung· und Entwicklung der lichtempfindlichen Emulsion· Der resultierende Gegenstand oder das photographiache Original 34-a hat an den Stellen, an denen

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die Emulsion belichtet worden ist, in Fig. 3b vom Ende her gesehene undurchsichtige Emulsionsstreifen 68.

Fig. 4a zeigt die Ausrichtung des photographischen Originals 54a auf einen Schablonenkörper 70, der aus einem durchsichtigen Glasträger 72 mit einem aufgebrachten Metallfilm 74 und einem Photolackfilm 76 besteht. Der Metallfilm 74 besteht aus einer Chrom-Gold-Legierung, die durch Abscheiden einer Chromschicht von etwa 500 α Dicke auf den Glasträger und anschließendes Abscheiden einer Goldschicht von etwa 1000 S. Dicke auf die Chromschicht gebildet worden ist. Der auf den Metallfilm 74 aufgebrachte Photolackfilm 76 hat eine Dicke von etwa 2000 bis 3000 £. Wie aus Fig. 4a ersichtlich, ist das Original 34a auf den Schablonenkörper 70 derart aufgelegt, daß der Emulsionsfilm 36 an dem Photolackfilm 76 anliegt. '

Der Photolackfilm 76 wird dann ultraviolettem Licht während einer Belichtungszeit zwischen 0,5 und 2 Minuten ausgesetzt, das von einer Quecksilberdampflampe geliefert und durch die durchsichtigen Flächen des Emulsionsfilmes hindurch projiziert wird, um den freiliegenden Photolack zu polymerisieren und zu härten. Nach dieser Belichtung enthält der Photolackfilm 76 in Fig· ^b vom Ende her gesehene nicht polymerisierte Streifen 78. Der Photolackfilm 76 wird dann durch Anwenden eines öelektiven Lösungsmittels entwickelt. Das Lösungsmittel löst die nicht belichteten Photolackßtreifen 78, die während der vorhergehenden Belichtung mit den undurchsichtigen Emulsionsstreif en 68 in Deckung waren· Infolgedessen wird eine

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Anzahl paralleler Schlitze 80 in der Photolackochicht gebildet, wie es Fig. 4-c zeigt· Danach wird das Metall am Boden der Schlitze 80 entfernt, so daß die aus Fig. 4-d ersichtlichen metallfreien Streifen 82 entstehen.

Die Entfernung des Metalles zur Bildung der metallfreien Streifen 82 wird vorzugsweise mit Hilfe einer üblichen lonenstrahl-Mirkobearbeitung vorgenommen. Beispielsweise kann die Ionenstrahl-Mikrobearbeituhg dadurch erfolgen, daß der Gegenstand nach Fig. 4c in einer evakuierten Kammer auf einer Elektrode angeordnet wird, die sich in einer Entfernung von etwa 25 cm von einer Ionenstrahlkanone befindet. In der Ionenstrahlkanone enthaltenes Argongas wird durch den Zusammenstoß mit Elektronen innerhalb der Ionenstrahlkanone ionisiert. Zwischen die Elektrode und die Ionenstrahlkanone wird eine Spannung von 5000 V angelegt, um die Oberfläche des Photolackfilmes 76 mit einem ausreichend fokussierten Strahl von Argonionen zu überfluten. Diese Argonionen treffen die Oberfläche des Gegenstandes und versprühen das Metall am Boden der Schlitze 80, Es ist vorteilhaft, wenn auch nicht notwendig, die Photolackschicht 76 zu entfernen, die auf dem bearbeiteten Metallfilm 7^ zurückgeblieben ist. Diä resultierende Schablone 70a ist mit dem zurückgebliebenen Photolack in Fig. 4d dargestellt.

Die Verwendung einer Ionenstrahl-Mikrobearbeitung zur Entfernung des Metalles am Boden der Schlitze im Photolack wird der Anwendung eines chemischen Mittels zum Ätzen des Metalles vorgezogen« um ein Unterschneiden des Metalles unterhalb der Photolackschicht und einen daraus

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resultierenden Verlust an Kantenschärfe der in dem Metall gebildeten Schlitze zu vermeiden. Die Ionenstrahl Mikrobe arbeitung ist in der Lage, Gitterlinien mit guter Kantenschärfe im Mikrometer-Bereich und selbst darunter au erzeugen» ·

Die resultierende Schablone 70a kann nun in der in Fig. dargestellten Weise verwendet werden, nach der eine Schablone 70a auf einen Elektrodenkörper 90 derart aufgelegt ist, daß der Photolack der Schablone auf der Photolackschicht des Elektrodenkörpers aufliegt. Der Elektrodenkörper 90 besteht aus einem Träger 92 aus dielektrischem Material, der mit einer ersten Schicht aus Metall 9^ und einer zweiten, bereits oben erwähnten Schicht aus Photolack 96 bedeckt ist. Die Belichtung der Photolackschicht 96 auf dem Elektrodenträger 92 erfolgt durch die Projektion ultravioletten Lichtes durch die Schlitze der Schablone 70a auf die Flächen der Photolackschicht, die-rsich unter den Schlitzen befinden, so daß ein in Fig. J?b veranschaulichtes Bildmuster entsteht·

Dann wird die Schablone 70a in bezug auf den Elektrodenkörper 90 neu ausgerichtet, indem die Schablone um 90° in bezug auf den Elektrodenkörper gedreht wird. Es wird dann eine weitere Belichtung des Photolackes vorgenommen, die zwei sich senkrecht schneidende Sätze belichteter und daher polymerisierter Streifen des Photolackes ergiht. Die Photolackschicht 96 wird nun entwickelt, damit der nicht belichtete Photolack'ausgewaachen wird und ein Gitter von in Fig. 5c dargestellten, belichteten Photolackstreifen 98 zurückbleibt, zwischen denen quadratische

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Flächenabschnitte der darunter liegenden Metallschicht auf dem' Träger 92 angeordnet sind. Die nachfolgende Entfernung der freigelegten quadratischen Metallflächen führt zu einem Gitter sich orthogonal schneidender Metallstreifen, die unter den zurückgebliebenen Photolackstreifen 98 liegen. Die Geradlinigkeit der Photolackstreifen bestimmt in hohem Maße die Geradlinigkeit der resultierenden Metallgitterlinien oder -streifen. Die nach der Erfindung hergestellten Photolackstreifen.haben eine solche ^üeradlinigkeit, daß die Kantenauflösung der Photolackstreifen, die als die Maximalabweichung jedes beliebigen Punktes längs eines Photolackstreifcns von einer Geraden, die mit der Kante der Gitterlinie zusammenfällt, weniger als 0,2/un beträgt. Das Photolackgitter wird nun vollständig entfernt, so daß auf dem Elektrodenträger eine Gitterelektrode zurückbleibt, die zwischen den Gitterlinien Zwischenräume in Form metallfreier Quadrate auf dem Elektrodenträger aufweist, wie es Fig.. 5d zeigt.

Die in Fig. 5d dargestellte Elektrode 90a ist in der Draufsicht nach Fig. 6 besser erkennbar. Gemäß Fig. 6 besteht die für eine Speicherröhre bestimmte Gitterelektrode aus einem runden, dielektrischen Quarzträger 92, der ein rundes Metallgitter gleichen Durchmessers trägt, das aus sich orthogonal schneidenden Gitterlinien 100 besteht, die von einem aus Gold bestehenden Rand umgeben sind, der peripher auf. die Gitterseite" des Trägers aufgebracht ist· Zum Beispiel wurde ein Träger von etwa 5 cm Durchmesser mit einem aufgebrachten Metallgitter.von gleichem Durchmesser hergestellt,.bei dem die einzelnen

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Gitterlinien 100 eine Breite von etwa 5/⁴^ aufweisen und der Mittenabstand der Gitterlinien etwa 25 /en beträgt, so daß etwa 1000 Gitterlinien pro 25 mm in senkrecht zueinander stehenden Richtungen auf dem Trägeroberfläche vorhanden sind· Allgemein kann der Träger 92 von Jeder beliebigen Größe und Form sein· Die Breite der einzelnen Gitterlinien 100 braucht nur einen Bruchteil eines Mikrometers zu betragen, beispielsweise Q, jedoch kommen Breiten der Gitterlinien zwischen 1 und 6_/um häufiger vor. Die Breite der einzelnen Gitterlinien 100 hängt von der Breite des Schlitzes ab, der in die Photomaske eingegraben worden ist· Die in Fig. ft dargestellte Vorrichtung ist in der Lage, bis zu 8000 Linien pro 2,5 cm auf einer Trägeroberfläche zu erzeugen.

Ein Verfahren zur Feststellung der Genauigkeit oder Qualität einer Gitterelektrode in allgemeiner Weise besteht darin, daß die Gitterelektrode in einer Speicherröhre in die Betriebsstellung gebracht und dann mit Hilfe eines Elektronenstrahles abgetastet wird, um eine Spannungsinformation einzuschreiben oder eine auf der Elektrode gespeicherte Information auszulesen· Die Information wird während des Lesens zugleich auf dem Bildschirm eines Oszillographen dargestellt· Die Variation in den Grauschattierungen, die auf dem Oszillographen sichtbar sind, bilden ein grobes Maß für den Bauschpegel, der auf Ungleichmäßigkeiten und Fehler im Elektrodengitter,, die durch unregelmäßige Abstände der Gitterlinien und Unregelmäßigkeiten in den einzelnen Gitterlinien bedingt sind, zurück- aufuhren ist. Da im allgemeinen die Ladungsmenge, die an einem speziellen Gitterzwischenraum auf dem Röhrenschirm

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von einem abtastenden Elektronenstrahl gepsiehcret wird, allgemein von der Größe oder der Form der zugeordneten Fläche zwischen den zugeordneten Gitterlinien abhängt, ist es verständlich, daß die Spannungsinformation, die beim Lesen der Speicherröhre sichtbar wird, zu der Gleichförmigkeit des Elektrodengittera in Beziehung steht. Mehr im einzelnen haben Abweichungen in der Fläche einzelner metallfreier Quadrate oder Flächenabschnitte auf der ™ Oberfläche des Elektrodenträgers von einer gewünachten Standardfläche Änderungen in den Grautönen zur Folge, die entweder heller oder dunkler sind als ein Standard-Grauton· Ungleiche Abstände zwischen parallelen Gitterlinien bewirken demnach ungleiche und deutlich verschiedene Grautöne beim Schreiben auf dem Röhrenschirm, die den kleinsten Signalpegel bestimmen, der von einem Hintergrund-Grauspiegel unterschieden werden kann·

Ein Maß für die Perfektion eines Elektrodengitters ist die Art des Moire-Testbildes, das beobachtet wird, wenn die Elektrode in Berührung mit einem sich genau wieder- ψ holenden Muster mit dem gleichen Linienabstand gebracht wird und die beiden in durchscheinendem Licht betrachtet werden, denn, wie allgemein bekannt, bilden Moire-Testbilder eine effektive optische Vergrößerung des Linienrasters oder Gittermusters· Typische Elektrodengitter haben Moire-Testbilder, die sich, nicht wiederholende, unregelmäßige wellenförmige Linien oder Kräuselungen umfassen· Bei Gittermustern, die nach der Erfindung . hergestellt worden sind, sind dagegen diese Eigenheiten der MoirS-Testbilder bedeutend weniger .ausgeprägt.

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Es versteht sich, daß die Erfindung nicht auf die dargestellten und behandelten Ausführungsbeispiele'beschränkt ist, sondern Abweichungen davon möglich sind, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen*

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Claims (10)

1. Patentansprüche

   Verfahren zur Herstellung eines Metallgitters, ins-, besondere für Kathodenstrahlröhren, dadurch gekennzeichnet, daß eine Photomaske (10), die einen einzigen Schlitz (8) aufweist, auf eine photographische Platte (34·), die aus einem diirchaichtigen Träger (38) mit einer Schicht (36) einer lichtempfindlichen Emulsion besteht, ausgerichtet und über die photographische Platte (34·) hinweg bewegt wird, während intermittierend Licht durch den Schlitz (8) hindurch auf die lichtempfindliche Emulsion (36) projiziert wird, so daß eine Anzahl paralleler, einen gleichen Abstand voneinander aufweisender latenter Linienbilder in der . lichtempfindlichen Emulsion erzeugt wird, von denen Jedes dem Schlitz (8) entspricht, daß dann die lichtempfindliche Emulsion (36) entwickelt wird, um ein photographisches Original (34-a) mit einem Muster undurchsichtiger Linien (68) auf durchsichtigem Hintergrund in der Emulsion zu bilden, daß anschließend das photographische Original 634-a) auf eine durchsichtige Platte (72) ausgerichtet wird, die mit einer ersten Schicht 074·) aus Metall und einer ersten Schicht (76) aus Photolack bedeckt ist, und die erste Photolackschicht (76) durch das photographische Original (34a) hindurch belichtet wird, so daß ein unbelichtetes Photolackbild entsteht, das den undurchsichtigen Linien (68) des photographischen Originals entspricht, daß weiterhin die erste Photolaokschicht (76) ent wickelt und dadurch der unbelichtete Photolack und

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   ORfGiNAL INSPECTED

   anschließend das Metall an den Stellen entfernt wird, an denen vorher der unbeliehtete Photolack entfernt worden ist, so daß eine photographische ^; Schablone (7Oa) entsteht, die in der ersten Metallschicht (74) ein aus Schlitzen (80) bestehendes Muster aufweist, daß dann die Schablone (70a) mit einein Träger (92) zu Deckung gebracht wird", auf den nacheinander eine zweite Schicht (94) aus Metall und eine zweite Schicht (96) aus Photolack aufgebracht {

   worden sind, die zweite Photolackschicht (96) durch die Schablone (7Oa) hindurch belichtet wird, anschliessend die Schablone (70a) in eine neue Lage, in der sie zu der Lage während der Belichtung im wesentlichen senkrecht ausgerichtet ist, gebracht und dann die zweite Photolackschicht (96) erneut belichtet wird, daß die unbelichteten Stellen der zweiten Schicht (96) aus Photolack selektiv entfernt werden, so daß ein Gitter aus sich orthogonal schneidenden Linien (98) belichteten Photolacks entsteht, und daß endlich auf dem Träger (92) ein·Metallgitter aus sich Orthogonal schneidenden Metallinien (100) erzeugt wird, in dem *

   selektiv die zwischen den Linien (98) des Photolackgitters liegenden Abschnitte der zweiten Metallschicht (94) und das Photolackgitter entfernt werden·
2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Photomaske (10) über die photographische Platte (34) kontinuierlich hinweg bewegt wird.
3. 3· Verfahren nach Anspruch 1 odeai 2, dadurch gekennzeichnet, daß die belichteten Abschnitte der ersten Photolackachicht (76) entfernt werden, nach-dem das Schlitzmuster in der ersten Metallschicht (74) herge stellt worden ist· . '

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4. 4· Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die selektive Entfernung von Metall mit Hilfe einer Ionenstrahl-, Mikrobearbeitung erfolgt.
5. 5· Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Photomaske (10) auf die photographische Platte (34) aufgelegt wird P und die auf einanderliegenden Flächen von Photomaske und photographischer Platte geschmiert werden, bevor die Photomaske (10) über die photographische Schicht (36) hinweg bewegt wird·
6. 6· Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine Trageinrichtung (14) zum Halten der photographischen Platte (3**·)» eine oberhalb der Trageinrichtung (14) angeordnete Blitzeinrichtung (30), eine zwischen der Blitzeinrichtung (30) und der Trageinrichtung (14) angeordnete photographische Maske (1O) fe mit einem Schlitz (8), einen Antrieb (40, 48, 50 ) zum

   Bewegen der Photomaske (10) in seitlicher Richtung in bezug auf die Trageinrichtung (14), eine Interfere— meteranordnung (52, 54-, 56, 16, 60) zur Messung der Relativstellung der Photomaske (1O) in bezug auf die Trageinrichtung (14) mit einem Detektor (62), der für diese Relativstellungen charakteristische Signale erzeugt, einen Zlähler (64), der diese Signale zählt und bei Erreichen einer bestimmten Anzahl dieser Signale ein Ausgangssignal erzeugt, und eine auf die Ausgangssignale ansprechende Triggerschaltung (66) zum Auslösen der Blitzeinrichtung (30) umfaßt·

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7. 7· Vorrichtung nach Anspruch' 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Antrieb (44, 48, 50) zum Bewegen der Photomaske (1O) der Photomaske auf einem geradlinigen Weg eine gleichförmige Geschwindigkeit erteilt.
8. 8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7» dadurch gekennzeichnet, daß die 'Photomaske (1O) einen durchsichtigen Träger (2) umfaßt, der auf einer Seite mit einem undurchsichtigen, einen Schlitz (8) aufweisenden FiIm (4) ( bedeckt ist· "
9. 9· Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Photomaske (10) und der photograph!sehen Platte (34) eine optische Iinmer-Bionsflüssigkeit (41) angeordnet ist, deren Brechungsindex im wesentlichen demjenigen an den Oberflächen der Photomaske und der photographischen Platte gleich ist.
10. 10. Vorrichtung nach Anspruch 9» dadurch gekennzeichnet, daß die optische Immersionsflüssigkeit (41) von einem ' nur schwach fluoreszierenden Schmiermittel gebildet wird·

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