DE20122211U1

DE20122211U1 - Adjusting table for aligning a body such as wafer in horizontal plane, e.g. for semiconductor device manufacture, has body on receptacle displaceable in intermediate frame

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Publication number: DE20122211U1
Application number: DE20122211U
Authority: DE
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2001-06-13
Filing date: 2001-06-13
Publication date: 2004-09-16
Anticipated expiration: 2011-06-14

Abstract

The table has an outer frame (10), with an intermediate frame (40) displaceable along an X direction, and a receptacle (60) that is displaceable in a Y direction within the intermediate frame. The intermediate frame can be positioned relative to the outer frame. The body is accommodated on the receptacle.

Description

Die Erfindung betrifft einen Justiertisch zur Ausrichtung eines Körpers in einer horizontalen Ebene.The Invention relates to an adjustment table for aligning a body in a horizontal plane.

Beispielsweise bei der Erstellung von elektrischen Strukturen (Schaltungen) auf Halbleiterscheiben (Wafern) mittels lithographischer Verfahren ist es notwendig, den Wafer gegenüber der Maske in einer horizontalen Ebene exakt zu positionieren. Eine entsprechende Problematik ergibt sich auch im Bereich weiterer verfahrenstechnischer Stufen bei der Herstellung, Bearbeitung oder Verarbeitung von Wafern.For example when creating electrical structures (circuits) Semiconductor wafers by means of lithographic processes it is necessary to face the wafer position the mask exactly in a horizontal plane. A Corresponding problems also arise in the area of further process engineering Stages in the manufacture, processing or processing of wafers.

Während die Ausrichtung des Wafers in x- und y-Richtung innerhalb einer Ebene beispielsweise mit einem Mikroskop überwacht werden kann, bereitet es erhebliche konstruktive Probleme, den Wafer auf einem entsprechenden Aufnahmeteil zu konfektionieren, der die gewünschte Beweglichkeit in x- und y-Richtung sowie eine sichere Fixierung in der jeweiligen Endposition gewährleistet.While the Alignment of the wafer in the x and y direction within a plane can be monitored using a microscope, for example there are significant design problems in placing the wafer on an appropriate Assembling the receiving part, which the desired mobility in x and y direction as well as a secure fixation in the respective end position guaranteed.

Mit der Erfindung soll eine solche Möglichkeit aufgezeigt werden.With The invention is intended to demonstrate such a possibility become.

Dabei liegt der Erfindung folgender Gedanke zugrunde: Ein entsprechender Justiertisch muß mindestens zwei bewegliche Teile umfassen, die in mindestens zwei unterschiedlichen Richtungen (x, y) verstellbar sind. Auf diese Weise kann, gegebenenfalls kombiniert mit einer winkelmäßigen Verschiebbarkeit (Drehung), innerhalb der maximalen Verschiebewege jede beliebige Endposition angesteuert werden. Die beweglichen Teile wiederum sind an einem feststehenden Teil zu führen, der einerseits der Konfektionierung der innerhalb einer horizontalen Ebene beweglichen Teile dient und andererseits eine vertikale Verstellmöglichkeit für die gesamte Einrichtung (den Justiertisch) schafft.there the invention is based on the following idea: a corresponding one Adjustment table must at least include two moving parts that are in at least two different Directions (x, y) are adjustable. In this way, if necessary combined with an angular displacement (Rotation), any within the maximum displacement End position can be controlled. The moving parts are in turn to lead on a fixed part on the one hand, the packaging of those within a horizontal plane serves moving parts and on the other hand a vertical adjustment for the entire facility (the adjustment table).

Die Erfindung geht weiter von der Überlegung aus, die einzelnen Bauteile des Justiertisches quasi „ineinander zu schachteln", so dass ein dem feststehenden Teil innenseitig benachbarter erster beweglicher Teil in einer horizontalen Richtung und ein darin angeordneter zweiter beweglicher Teil in einer dazu senkrechten horizontalen Richtung verschiebbar ist.The Invention continues from deliberation , the individual components of the adjustment table are “one inside the other to nest ", so that a first movable inside adjacent to the fixed part Part in a horizontal direction and a second arranged therein moving part in a horizontal direction perpendicular thereto is movable.

Dabei sind die in x- und y-Richtung verschiebbaren Bauteile geometrisch so aufeinander abzustimmen, dass jedes bewegliche Bauteil in einer exakt linearen Bewegungsrichtung in einer horizontalen Ebene verschoben werden kann.there the components that can be moved in the x and y directions are geometric to coordinate with each other in such a way that each moving component is exactly in one linear direction of movement in a horizontal plane can be.

Darüber hinaus schließlich sind Einrichtungen vorzusehen, die die beweglichen Teile in der gewünschten Endposition fixieren.Furthermore finally devices must be provided which keep the moving parts in the desired Fix end position.

Danach betrifft die Erfindung in ihrer allgemeinsten Ausführungsform einen Justiertisch zur Ausrichtung eines Körpers, beispielsweise eines Wafers, in einer horizontalen Ebene, mit folgenden Merkmalen:After that relates to the invention in its most general embodiment an adjustment table for aligning a body, for example one Wafers, in a horizontal plane, with the following features:

- an outer frame,
An intermediate frame movable in a first horizontal direction (x) in the outer frame along a first path (X tot .),
A receiving part for the body which is movable in a second horizontal direction (y) perpendicular to the first horizontal direction (x) in the intermediate frame along a second path (Y tot .),
The intermediate frame can be positioned relative to the outer frame via a first adjustment device articulated on the intermediate frame at a freely definable location along the first path (X total ),
- The receiving part can be positioned relative to the intermediate frame via a second adjustment device articulated on the receiving part at a freely definable point along the second path (Y total ).

Mit anderen Worten: der äußere, in der horizontalen Ebene unbewegliche Rahmen nimmt einen Zwischenrahmen auf, der entlang der gesamten Länge (X_ges.) des ersten Weges in x-Richtung verschiebbar ist.In other words: the outer frame, which is immovable in the horizontal plane, accommodates an intermediate frame which can be displaced in the x direction along the entire length (X _tot .) _Of the first path.

Der Zwischenrahmen nimmt analog einen Aufnahmeteil auf, der über die gesamte Länge (Y_ges.) des zweiten Weges innerhalb des Zwischenrahmens verschiebbar ist. Dabei können die Weglängen des ersten und zweiten Weges gleich sein, beispielsweise jeweils 5 mm. Ein solches „Spiel" reicht in der Regel für den genannten Anwendungsbereich zur Positionierung von Wafern in einer entsprechenden Vorrichtung aus, um diesen beispielsweise gegenüber einer korrespondierenden Maske zu positionieren.Analogously, the intermediate frame accommodates a receiving part which can be moved within the intermediate _frame over the entire length (Y _tot .) _Of the second path. The path lengths of the first and second path can be the same, for example 5 mm each. Such a “game” is generally sufficient for the application area mentioned for positioning wafers in a corresponding device in order to position it, for example, in relation to a corresponding mask.

Über die Verstelleinrichtungen lassen sich der Zwischenrahmen sowie der Aufnahmeteil an der im jeweiligen Anwendungsfall gewünschten Position des ersten und zweiten Weges festlegen. Zusätzlich kann ein, zum Beispiel der Aufnahme eines Wafers dienender Abschnitt des Aufnahmeteils, wie ausgeführt, in der horizontalen Ebene drehbar angeordnet werden.About the Adjustment devices can be the intermediate frame and the receiving part at the desired position of the first in the respective application and second way. In addition can a section serving, for example, to accommodate a wafer of the receiving part, as stated, can be rotatably arranged in the horizontal plane.

Dabei kann der Zwischenrahmen auf einer korrespondierenden Auflagefläche des äußeren Rahmens angeordnet sein. Der äußere Rahmen kann dazu innenseitig beispielsweise eine falzartige Stufe aufweisen, auf der der Zwischenrahmen umlaufend in einem randnahen Bereich aufliegt. Zur Verbesserung der Gleitfähigkeit zwischen Zwischenrahmen und äußerem Rahmen sieht eine Ausführungsform die Anordnung von Gleitelementen vor.there can the intermediate frame on a corresponding contact surface of the outer frame be arranged. The outer frame can have a fold-like step on the inside, on which the intermediate frame runs all around in an area close to the edge rests. To improve the sliding between the intermediate frame and outer frame sees an embodiment the arrangement of sliding elements.

Eine analoge Zuordnung kann auch zwischen Zwischenrahmen und Auflageteil erfolgen.A Analog assignment can also be between the intermediate frame and the support part respectively.

Die Gleitelemente bestehen nach einer Ausführungsform aus Kugeln oder Kugelrollen, die zum Beispiel in nutartigen Vertiefungen korrespondierender Flächenabschnitte relativ zueinander bewegbarer Teile (Außenrahmen, Zwischenrahmen; Zwischenrahmen, Aufnahmeteil) konfektioniert werden. Es ist selbstverständlich, dass die Anordnung korrespondierender Bauteile vorzugsweise dabei so erfolgt, dass die relativ zueinander zu bewegenden Teile außerhalb der Gleitelemente in geringem Abstand zueinander stehen. Über die Anordnung und Ausbildung der Gleitelemente kann gleichzeitig die Bewegungsrichtung (x-, y-Richtung) der entsprechenden Bauteile unterstützt werden.The According to one embodiment, sliding elements consist of balls or Ball rollers that correspond, for example, in groove-like depressions surface sections parts movable relative to each other (outer frame, intermediate frame; Intermediate frame, receiving part). It goes without saying that the arrangement of corresponding components is preferred is done so that the parts to be moved relative to each other outside the sliding elements are at a short distance from each other. About the Arrangement and design of the sliding elements can simultaneously Direction of movement (x, y direction) of the corresponding components are supported.

Eine weitere Auführungsform sieht vor, dass der Zwischenrahmen entlang eines Bodens bewegbar ist, der umlaufende, vorstehende Rahmenteile des äußeren Rahmens verbindet. Bei dieser, auch in der nachfolgenden Figurenbeschreibung dargestellten Ausführungsform besitzt der äußere Rahmen eine Art „Wannenform".A another form of performance provides that the intermediate frame is movable along a floor is the circumferential, projecting frame parts of the outer frame combines. In this, also in the following description of the figures illustrated embodiment the outer frame has one Kind of "tub shape".

Der Boden des äußeren Rahmens kann dabei nicht nur der gleitenden Aufnahme des Zwischenrahmens dienen, sondern gleichzeitig auch der Aufnahme des innerhalb des Zwischenrahmens angeordneten Aufnahmeteils.The Bottom of the outer frame can not only the sliding recording of the intermediate frame serve, but also the inclusion of the within the Intermediate frame arranged receiving part.

Eine definierte Bewegung in x- beziehungsweise y-Richtung der genannten Bauteile kann dadurch unterstützt werden, dass der äußere Rahmen und der Zwischenrahmen über Federn miteinander verbunden sind, die mindestens in Richtung des ersten Weges bewegbar sind und ebenso der Zwischenrahmen und der Aufnahmeteil über Federn miteinander verbunden sind, die mindestens in Richtung des zweiten Weges bewegbar sind.A defined movement in the x or y direction of the named Components can be supported that the outer frame and the intermediate frame over Springs are interconnected, at least in the direction of first way are movable and so is the intermediate frame and the Recording part about Springs are interconnected, at least in the direction of the second Are movable.

Im erstgenannten Fall können die Federn dabei im wesentlichen senkrecht zur Richtung des ersten Weges angeordnet sein, wobei sie aber in der gleichen Ebene verlaufen und jeweils in einem zwischen äußerem Rahmen und Zwischenrahmen ausgebildeten Raum angeordnet sind.in the the former case can the springs are essentially perpendicular to the direction of the first Way be arranged, but they run in the same plane and each in an between outer frame and intermediate frame trained space are arranged.

Im zweiten Fall können die Federn analog im wesentlichen senkrecht zur Richtung des zweiten Weges verlaufen, aber in der gleichen Ebene und jeweils in einem zwischen Zwischenrahmen und Aufnahmeteil ausgebildeten Raum angeordnet werden.in the second case can the springs are essentially perpendicular to the direction of the second path run, but in the same plane and in each case in between Intermediate frame and receiving part trained space can be arranged.

Um die gewünschte Bewegung in x- und y-Richtung zu unterstützen wird vorgeschlagen, den äußeren Rahmen, den Zwischenrahmen und den Aufnahmeteil so auszubilden, dass sie in der Aufsicht eine im wesentlichen rechteckige Außenkontur aufweisen.Around the desired It is proposed to support movement in the x and y directions, the outer frame, form the intermediate frame and the receiving part so that they in the supervision an essentially rectangular outer contour exhibit.

Insbesondere die in Bewegungsrichtung des Bauteils verlaufenden Außenkanten des Bauteils müssen ebenso wie die dazu korrespondierenden Flächenabschnitte des benachbarten Bauteils eine exakt lineare Führung ermöglichen, weshalb sie üblicherweise in Form ebener Flächen ausgebildet sind.In particular the outer edges running in the direction of movement of the component of the component just like the corresponding surface sections of the neighboring one Component is an exactly linear guide enable, which is why they usually in the form of flat surfaces are trained.

Demgegenüber können die senkrecht zur Bewegungsrichtung des jeweiligen Bauteils verlaufenden Bauteil-Seiten nahezu beliebig gestaltet sein.In contrast, the perpendicular to the direction of movement of the respective component Component pages can be designed almost arbitrarily.

Diese Außenseiten können beispielsweise mittig einen nach außen vorspringenden Absatz aufweisen, auf dem jeweils zwei Federn befestigt sind, die in unterschiedlicher Richtung mit Abstand zueinander von diesem Absatz aus verlaufen und mit ihrem jeweils anderen Ende an dem korrespondierenden Bauteil befestigt sind. Diese Anordnung von jeweils zwei Federn auf gegenüberliegenden Seiten jedes beweglichen Bauteils unterstützt die exakt lineare Bewegung des jeweiligen Bauteils in x- beziehungsweise y-Richtung. Auch diese Ausführungsform wird in der nachfolgenden Figurenbeschreibung näher erläutert.This outsides can for example, have a shoulder projecting outwards in the middle, on which two springs are attached, each in different Direction at a distance from each other from this paragraph and with their respective other ends on the corresponding component are attached. This arrangement of two springs on opposite Sides of each moving component support the exactly linear movement of the respective component in the x or y direction. This too embodiment is explained in more detail in the following description of the figures.

Der vorspringende Absatz kann gleichzeitig dazu dienen, eine Anlenkstelle für die Verstelleinrichtung zu schaffen, wie dies ebenfalls nachstehend anhand der Figuren näher beschrieben wird.The projecting paragraph can also serve as a link for the To create adjustment device, as also below based on the figures is described.

Die Verstelleinrichtung kann aus einer Motor-/Getriebe-Einheit bestehen. Dabei kann die Verstelleinrichtung, die (von außen) auf den Zwischenrahmen wirkt, ortsfest ange ordnet werden, beispielsweise am äußeren Rahmen, während die Verstelleinrichtung, die auf den inneren Aufnahmeteil wirkt, senkrecht zur Bewegungsrichtung des Aufnahmeteils, also in Bewegungsrichtung des Zwischenrahmens, mitführbar sein muß. Sie kann entsprechend unmittelbar am Zwischenrahmen befestigt werden. Eine andere Möglichkeit ist, diese Verstelleinrichtung in einer entsprechenden Aussparung des äußeren Rahmens anzuordnen, die eine Verschiebung der Verstelleinrichtung mit dem Zwischenrahmen erlaubt.The Adjustment device can consist of a motor / gear unit. The adjustment device can (from the outside) on the intermediate frame acts, be arranged stationary, for example on the outer frame, while the adjustment device, which acts on the inner receiving part, vertically to the direction of movement of the receiving part, that is to say in the direction of movement of the intermediate frame, can be carried have to be. Accordingly, it can be attached directly to the intermediate frame. A different possibility is, this adjustment device in a corresponding recess of the outer frame to arrange a displacement of the adjusting device with the Intermediate frame allowed.

Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den Merkmalen der Unteransprüche sowie den sonstigen Anmeldungsunterlagen. Dabei enthält auch die nachfolgende Figurenbeschreibung Hinweise auf erfindungsgemäße Merkmale, die in beliebigen Kombinationen untereinander realisierbar sind.Further Features of the invention result from the features of the subclaims and the other registration documents. The following description of the figures also contains this References to features according to the invention, that can be implemented in any combination with each other.

1 zeigt eine Aufsicht auf einen erfindungsgemäßen Justiertisch in stark schematisierter Darstellung. 1 shows a plan view of an adjustment table according to the invention in a highly schematic representation.

2 ist eine Schnittdarstellung entlang der Linie 2-2 in 1. 2 FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line 2-2 in FIG 1 ,

Der in 1 dargestellte Justiertisch umfaßt einen äußeren Rahmen 10 mit einer quadratischen Außenkontur. In den Eckbereichen sind Öffnungen 20 zu erkennen. Über die Öffnungen 20 kann der Justiertisch auf vier Säulen vertikal verfahrbar angeordnet werden.The in 1 Adjustment table shown includes an outer frame 10 with a square outer contour. There are openings in the corner areas 20 to recognize. Over the openings 20 the adjustment table can be arranged vertically on four columns.

Aus der Zusammenschau der 1 und 2 ergibt sich, dass der äußere Rahmen 10 einen Boden 10b aufweist, von dem randseitig vier ineinander übergehende Schenkel 10.1, 10.2, 10.3, 10.4 nach oben vorstehen. Der Boden 10b kann Durchbrechungen aufweisen.From the synopsis of 1 and 2 emerges that the outer frame 10 a floor 10b has, from the edge four merging legs 10.1 . 10.2 . 10.3 . 10.4 protrude upwards. The floor 10b can have openings.

Benachbart zu den Schenkeln 10.1 bis 10.4 wird entsprechend eine umlaufende Auflagefläche 10a für einen Zwischenrahmen 40 gebildet.Adjacent to the thighs 10.1 to 10.4 accordingly, a circumferential contact surface 10a for an intermediate frame 40 educated.

Wie 2 zeigt, ist die Bauhöhe des Zwischenrahmens 40 geringer als die des äußeren Rahmens 10, so dass der Zwischenrahmen 40 etwas versenkt im äußeren Rahmen 10 einliegt.How 2 shows is the overall height of the intermediate frame 40 less than that of the outer frame 10 so that the intermediate frame 40 something sunk in the outer frame 10 rests.

Der Zwischenrahmen 40 stellt einen „echten Rahmen" dar, besitzt im Gegensatz zum äußeren Rahmen 10 also keinen mittigen Boden.The intermediate frame 40 represents a "real frame", in contrast to the outer frame 10 so no central floor.

Korrespondierend zu den inneren Flächen der Schenkel 10.1, 10.2 des äußeren Rahmens 10 sind die Schenkel 40.1, 40.2 des Zwischenrahmens 40 flächig und geradlinig gestaltet.Corresponding to the inner surfaces of the legs 10.1 . 10.2 of the outer frame 10 are the thighs 40.1 . 40.2 of the intermediate frame 40 flat and straightforward.

Während die Schenkel 40.1, 40.2 nahezu spielfrei parallel zu den Schenkeln 10.1, 10.2 des äußeren Rahmens verlaufen, befinden sich alle weiteren Rahmenabschnitte, beispielsweise 40.3, 40.4 des Zwischenrahmens 40 in der dargestellten Position des Justiertisches im Abstand zu den benachbarten korrespondierenden Schenkeln, beispielsweise 10.3, 10.4 des äußeren Rahmens 10. Die Summe dieser Abstände bestimmt den maximalen Weg X_ges., über den der Zwischenrahmen 40 innerhalb des äußeren Rahmens 10 in x-Richtung verschiebbar ist.While the thighs 40.1 . 40.2 almost free of play parallel to the legs 10.1 . 10.2 of the outer frame, there are all further frame sections, for example 40.3 . 40.4 of the intermediate frame 40 in the illustrated position of the adjustment table at a distance from the adjacent corresponding legs, for example 10.3 . 10.4 of the outer frame 10 , The sum of these distances determines the maximum path X _tot. over which the intermediate frame 40 inside the outer frame 10 is displaceable in the x direction.

An den mit 42 gekennzeichneten Stellen befindet sich auf der Unterseite des Zwischenrahmens 40 jeweils eine Vertiefung (2) und korrespondierend dazu eine weitere Vertiefung im Boden 10b des äußeren Rahmens, die in 2 mit 12 gekennzeichnet ist.To the with 42 marked positions is on the underside of the intermediate frame 40 one deepening each ( 2 ) and correspondingly another deepening in the floor 10b of the outer frame, which in 2 With 12 is marked.

Im Bereich dieser korrespondierenden sickenförmigen Aussparungen 12, 42 liegen Kugeln 22 ein, die Gleitelemente im Sinne der Erfindung bilden und die Gleitbewegung des Zwischenrahmens 40 in x-Richtung gegenüber dem äußeren Rahmen 10 unterstützen.In the area of these corresponding bead-shaped recesses 12 . 42 there are balls 22 a, the sliding elements in the sense of the invention and the sliding movement of the intermediate frame 40 in the x direction compared to the outer frame 10 support.

1 läßt erkennen, dass die zwischen den Schenkeln 40.1, 40.2 verlaufenden Schenkel 40.3, 40.4 jeweils etwa mittig einen in Richtung auf den äußeren Rahmen 10 vorspringenden Absatz 44 aufweisen, auf dem wiederum etwa mittig ein Lagerbolzen 46 vertikal nach oben (aus der Zeichenebene heraus) absteht. 1 shows that the between the legs 40.1 . 40.2 trending thigh 40.3 . 40.4 each approximately in the middle towards the outer frame 10 projecting paragraph 44 have, on the turn a bearing pin in the middle 46 protrudes vertically upwards (out of the drawing plane).

Auf dem zum Schenkel 40.4 gehörenden Absatz 44 sind ferner zwei Blattfedern 48.1, 48.2 angeordnet, die mit ihrem einen Ende jeweils am Absatz 44 befestigt sind und sich von dort, in der Darstellung nach 1, im wesentlichen parallel zum Schenkel 40.4 in entgegenge setzter Richtung erstrecken und mit ihrem jeweils gegenüberliegenden Ende am Schenkel 10.4 des äußeren Rahmens 10 befestigt sind.On the thigh 40.4 belonging paragraph 44 are also two leaf springs 48.1 . 48.2 arranged with one end each on the paragraph 44 are attached and from there, in the illustration 1 , essentially parallel to the leg 40.4 extend in the opposite direction and with their opposite end on the leg 10.4 of the outer frame 10 are attached.

Ein entsprechender Aufbau ergibt sich für den Bereich des Schenkels 40.3.A corresponding structure results for the area of the leg 40.3 ,

Dort ist zusätzlich zu erkennen, dass vom Lagerbolzen 46 senkrecht zum Schenkel 40.3 eine Spindel 52 verläuft, die Bestandteil einer Verstelleinrichtung 50 ist, zu der im Weiteren ein Motor 54 gehört, der am äußeren Rahmen 10 befestigt ist. Über den Motor 54 kann die Spindel 52 betätigt werden, wobei parallel zur Betätigung der Spindel 52 der Zwischenrahmen 40 in x-Richtung verschoben wird.There you can also see that from the bearing pin 46 perpendicular to the thigh 40.3 a spindle 52 runs, which is part of an adjustment device 50 is a motor 54 heard that on the outer frame 10 is attached. About the engine 54 can the spindle 52 be operated, parallel to the actuation of the spindle 52 the intermediate frame 40 is moved in the x direction.

Die skizzierte Anordnung der Federn 48.1, 48.2 unterstützt dabei die exakt lineare Bewegung des Zwischenrahmens 40 innerhalb des äußeren Rahmens 10 in x-Richtung.The sketched arrangement of the springs 48.1 . 48.2 supports the exact linear movement of the intermediate frame 40 inside the outer frame 10 in X direction.

Eine ähnliche Verbindung, wie vorstehend zwischen Zwischenrahmen 40 und äußerem Rahmen 10 beschrieben, ergibt sich auch für einen inneren Aufnahmeteil 60 innerhalb des Zwischenrahmens 40. Dabei ist die Anordnung jedoch jeweils um 90° versetzt, um eine Bewegungsrichtung des Aufnahmeteils 60 in y-Richtung, also senkrecht zur x-Richtung zu schaffen, und zwar innerhalb des Zwischenrahmens 40.A similar connection as above between intermediate frames 40 and outer frame 10 described also results for an inner receiving part 60 within the intermediate frame 40 , However, the arrangement is offset by 90 ° in each case by a direction of movement of the receiving part 60 in the y direction, i.e. perpendicular to the x direction, within the intermediate frame 40 ,

Der Aufnahmeteil 60 weist mittig eine kreisrunde Öffnung 70 auf, über der beispielsweise ein Wafer randseitig aufgelegt werden kann. Ebenso kann in der Öffnung 70 ein auf dem Boden 10b drehbarer und in gewünschter Position fixierbarer Teller zur Aufnahme des Wafers angeordnet werden.The recording part 60 has a circular opening in the middle 70 on which, for example, a wafer can be placed on the edge. Likewise, in the opening 70 one on the floor 10b rotatable and fixable in the desired position plate for receiving the wafer can be arranged.

Während die den Schenkeln 40.3, 40.4 benachbarten Schenkel 60.3, 60.4 außenseitig geradlinig und flächig verlaufen, wie die Schenkel 40.1, 40.2 des Zwischenrahmens 40, sind die Verbindungsschenkel 60.1., 60.2 im wesentlichen analog den Schenkeln 40.3, 40.4 des Zwischenrahmens gestaltet. Dies gilt ebenso für Absätze 64, Bolzen 66 und Federn 68.1, 68.2, die den Ansätzen 44, dem Lagerbolzen 46 sowie den Federn 48.1, 48.2 am Zwischenrahmen 40 nachgebildet sind. Eckbereiche des Aufnahmeteils 60 sind entsprechend der Geometrie der korrespondierenden Abschnitte des Zwischenrahmens 40 ausgeschnitten.While the thighs 40.3 . 40.4 adjacent leg 60.3 . 60.4 run straight and flat on the outside, like the legs 40.1 . 40.2 of the intermediate frame 40 , are the connecting legs 60.1 ., 60.2 essentially analogous to the thighs 40.3 . 40.4 of the intermediate frame. This also applies to paragraphs 64 , Bolt 66 and feathers 68.1 . 68.2 that the approaches 44 , the bearing pin 46 as well as the feathers 48.1 . 48.2 on the intermediate frame 40 are reproduced. Corner areas of the up acceptance in part 60 are in accordance with the geometry of the corresponding sections of the intermediate frame 40 cut out.

Entsprechend der gewünschten Bewegungsrichtung verlaufen beispielsweise die Federn 68.1, 68.2 senkrecht zu den Federn 48.1, 48.2.For example, the springs run according to the desired direction of movement 68.1 . 68.2 perpendicular to the feathers 48.1 . 48.2 ,

Der maximale Weg in y-Richtung für den Aufnahmeteil 60 wird bestimmt durch das Spiel zwischen den Schenkeln 40.1, 60.1 beziehungsweise 40.2, 60.2 und ergibt sich gemäß 1 aus der Summe der dargestellten Abstände S1 und S2.The maximum path in the y direction for the receiving part 60 is determined by the game between the legs 40.1 . 60.1 respectively 40.2 . 60.2 and results according to 1 from the sum of the distances S1 and S2 shown.

Der Aufnahmeteil 60 weist analog zum Zwischenrahmen 40 auf seiner Unterseite Vertiefungen 62 auf, die über korrespondierenden weiteren Vertiefungen (nicht dargestellt) auf der Oberseite 10a des Bodens 10b des äußeren Rahmens 10 angeordnet sind und gemeinsam wiederum (nicht dargestellte) Kugeln aufnehmen, die die Bewegung des Aufnahmeteils 60 in y-Richtung und damit parallel zu den Schenkeln 40.3, 40.4 des Zwischenrahmens 40 erlauben.The recording part 60 points analogous to the intermediate frame 40 depressions on its underside 62 on the corresponding corresponding depressions (not shown) on the top 10a of the floor 10b of the outer frame 10 are arranged and collectively in turn (not shown) balls, which the movement of the receiving part 60 in the y direction and thus parallel to the legs 40.3 . 40.4 of the intermediate frame 40 allow.

Im Gegensatz zu der Gleitlagerung des Zwischenrahmens 40 im äußeren Rahmen 10 sind hier jedoch nur drei solcher Vertiefungen 62 vorgesehen, und zwar jeweils im Winkel von etwa 120° zueinander.In contrast to the plain bearing of the intermediate frame 40 in the outer frame 10 however, here are just three of them 62 provided, each at an angle of about 120 ° to each other.

Der Aufnahmeteil 60 wird innerhalb des Zwischenrahmens 40 wiederum über eine Verstelleinrichtung beaufschlagt, die das Bezugszeichen 80 trägt und im wesentlichen analog der Verstelleinrichtung 50 ausgebildet ist. Ein wesentlicher Unterschied zur Verstelleinrichtung 50 besteht darin, dass eine zugehörige Spindel 82 vom Bolzen 66 lediglich bis kurz vor den Schenkel 40.1 geführt ist und von dort über ein Umlenkgetriebe nach oben zu einem auf dem Schenkel 40.1 aufsitzenden Motor 84. Dies ist notwendig, da sich der Schenkel 40.1 als Bestandteil des Zwischenrahmens 40 in x-Richtung bewegen kann, und zwar auch dann, wenn parallel dazu die Spindel 82 aktiviert wird und den Aufnahmeteil 60 in y-Richtung verschiebt.The recording part 60 will be within the intermediate frame 40 in turn acted on by an adjusting device which has the reference symbol 80 carries and essentially analogous to the adjusting device 50 is trained. A major difference to the adjustment device 50 consists of an associated spindle 82 from the bolt 66 only until just before the thigh 40.1 is guided and from there via a reversing gear up to one on the leg 40.1 mounted engine 84 , This is necessary because the leg 40.1 as part of the intermediate frame 40 can move in the x direction, even if the spindle is parallel to it 82 is activated and the recording part 60 shifts in the y direction.

Claims

Adjustment table for aligning a body in a horizontal plane, with the following features: 1.1 an outer frame ( 10 ), 1.2 one in a first horizontal direction (x) in the outer frame ( 10 ) movable intermediate frame along a first path (X _tot. ) 40 ), 1.3 a in a second horizontal direction (y) in the intermediate frame (perpendicular to the first horizontal direction (x)) ( 40 ) along a second path (Y _tot. ) movable receiving part ( 60 ) for the body, 1.4 the intermediate frame ( 40 ) is relative to the outer frame ( 10 ) via a on the intermediate frame ( 40 ) articulated first adjustment device ( 50 ) can be positioned at a freely definable point along the first path (X _total ), 1.5 the receiving part ( 60 ) is relative to the intermediate frame ( 40 ) via a on the receiving part ( 60 ) articulated second adjustment device ( 80 ) can be positioned at a freely definable point along the second path (Y _total ).

Adjusting table according to claim 1, in which between the intermediate frame ( 40 ) and a corresponding contact surface ( 10a ) of the outer frame ( 10 ) Sliding elements ( 22 ) are arranged.

Adjusting table according to claim 1, in which between the receiving part ( 60 ) and a corresponding contact surface ( 10a ) of the intermediate frame or the outer frame ( 10 ) Sliding elements ( 22 ) are arranged.

Adjusting table according to claim 2 or 3, wherein the sliding elements ( 22 ) consist of balls or ball rollers.

Adjusting table according to claim 1, wherein the intermediate frame ( 40 ) along a floor ( 10b ) is movable, the peripheral, projecting frame parts ( 10.1 . 10.2 . 10.3 . 10.4 ) of the outer frame ( 10 ) connects.

Adjusting table according to claim 1, wherein the receiving part ( 60 ) along a floor ( 10b ) is movable, the peripheral, projecting frame parts ( 10.1 . 10.2 . 10.3 . 10.4 ) of the outer frame ( 10 ) connects.

Adjusting table according to claim 1, wherein the outer frame ( 10 ) and the intermediate frame ( 40 ) about feathers ( 48.1 . 48.2 ) are connected to one another, which can be moved at least in the direction of the first path (X _total ).

Adjusting table according to claim 1, wherein the intermediate frame ( 40 ) and the recording part ( 60 ) about feathers ( 68.1 . 68.2 ) are connected to one another, which can be moved at least in the direction of the second path (Y _total ).

Adjusting table according to claim 7, wherein the springs ( 48.1 . 48.2 ) essentially perpendicular to the direction of the first path (X _tot. ), but run in the same plane and each in an between the outer frame ( 10 ) and intermediate frame ( 40 ) trained room are arranged.

Adjusting table according to claim 8, wherein the springs ( 68.1 . 68.2 ) essentially perpendicular to the direction of the second path (Y _tot. ), but run in the same plane and each in a between Zwi frame ( 40 ) and recording part ( 60 ) trained room are arranged.

Adjusting table according to claim 1, wherein the outer frame ( 10 ), the intermediate frame ( 40 ) and the recording part ( 60 ) have a rectangular outer contour when viewed from above.