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DE20118421U1 - Air bearing monitoring device - Google Patents

Air bearing monitoring device

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Publication number
DE20118421U1
DE20118421U1 DE20118421U DE20118421U DE20118421U1 DE 20118421 U1 DE20118421 U1 DE 20118421U1 DE 20118421 U DE20118421 U DE 20118421U DE 20118421 U DE20118421 U DE 20118421U DE 20118421 U1 DE20118421 U1 DE 20118421U1
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DE
Germany
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air bearing
monitoring
data
monitoring device
air
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Application number
DE20118421U
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German (de)
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Festo SE and Co KG
Original Assignee
Festo SE and Co KG
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Publication date
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Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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Description

G 19814 - les 17. Oktober 2001G 19814 - 17 October 2001

FESTO AG & CO, 73734 Esslinqen Luftlager-ÜberwachungseinrichtungFESTO AG & CO, 73734 Esslinqen Air bearing monitoring device

Die Erfindung betrifft eine Luftlager-Überwachungseinrichtung, mit der die Funktionsfähigkeit von im Betrieb befindlichen Luftlagern überwacht werden kann.The invention relates to an air bearing monitoring device with which the functionality of air bearings in operation can be monitored.

Im Allgemeinen werden Luftlager eingesetzt, wenn in Bezug auf die Leichtgängigkeit und die Verschleißanfälligkeit besonders hohe Anforderungen gestellt werden. Luftlager zeichnen sich konzeptbedingt durch Verschleißfreiheit, hohe Tragkraft und besonders ruhiges Laufverhalten aus. Mögliche Ausführungen von Luftlagern werden beispielsweise in dem Prospektblatt "EITZENBERGER - KOMPETENZ IN LUFTLAGER-TECHNIK" der Firma Eitzenberger Luftlagertechnik, 82405 Wessobrunn (Veröffentlichungsdatum nicht bekannt), erläutert. Luftlager eignen sich zur Lagerung von sowohl rotativ als auch translatorisch relativ zueinander zu bewegenden Bauteilen.In general, air bearings are used when particularly high demands are placed on smooth running and susceptibility to wear. Due to their design, air bearings are characterized by freedom from wear, high load-bearing capacity and particularly smooth running behavior. Possible designs of air bearings are explained, for example, in the brochure "EITZENBERGER - COMPETENCE IN AIR BEARING TECHNOLOGY" from Eitzenberger Luftlagertechnik, 82405 Wessobrunn (publication date unknown). Air bearings are suitable for supporting components that move relative to one another both in a rotary and a translational manner.

Beim Einsatz von Luftlagern wird unter Druck stehende Luft zwischen die relativ zueinander bewegbaren Bauteile gepresst, so dass sich ein Luftpolster ausbildet, das die Bauteile auf Abstand hält. Damit die Lagerung die gewünschte Tragkraft aufbringen kann, ist eine präzise Druckeinstellung notwendig. Auch die Durchflusseinstellung unterliegt hohen Genauigkeitsanforderungen, da der Durchfluss eine Kenngröße für das her-When using air bearings, pressurized air is pressed between the components that are movable relative to each other, so that an air cushion is formed that keeps the components at a distance. In order for the bearing to be able to provide the desired load-bearing capacity, a precise pressure setting is necessary. The flow setting is also subject to high accuracy requirements, since the flow is a parameter for the produced

vorgerufene Spaltmaß, also den Abstand zwischen den zu lagernden Bauteilen, bildet. Ist der momentane Durchfluss zu gering, kann im schlimmsten Fall das Spaltmaß so weit reduziert werden, dass sich die normalerweise auf Abstand zueinander gehaltenen Bauteile berühren und Beschädigungen auftreten. The gap dimension created, i.e. the distance between the components to be stored, is formed. If the current flow is too low, in the worst case the gap dimension can be reduced so much that the components, which are normally kept at a distance from each other, touch each other and damage occurs.

Um die erwähnten Zustandsgrößen wie Druck und Durchfluss der zur Lagerung verwendeten Luft überwachen und erforderlichenfalls verändern zu können, werden nach Kenntnis der Anmelderin, ohne allerdings einen druckschriftlichen Nachweis zur Verfügung zu haben, bisher schon Luftlager-Überwachungseinrichtungen eingesetzt, die über Druck- und Durchflusssensoren verfügen, welche die aktuell erfassten Daten als analoge Spannungswerte über eine Kabelverbindung zu einem externen Steuergerät übermitteln, das diese Ist-Überwachungsdaten zur Anzeige bringt. Das Bedienpersonal kann die Daten ablesen und von Fall zu Fall einen in die Druckluftströmung eingebauten manuellen Druckregler so nachjustieren, dass die eingestellten und zur Anzeige gebrachten Ist-Überwachungsdaten den für einen optimalen Betrieb erforderlichen Soll-Überwachungsdaten entsprechen. Die für den Betrieb der Sensoren erforderliche elektrische Energie wird mittels geeigneter Kabelverbindungen eingespeist.To the applicant's knowledge, although without having any written evidence, in order to be able to monitor and, if necessary, change the above-mentioned state variables such as pressure and flow of the air used for storage, air bearing monitoring devices have already been used that have pressure and flow sensors that transmit the currently recorded data as analog voltage values via a cable connection to an external control unit that displays this actual monitoring data. The operating personnel can read the data and, from case to case, readjust a manual pressure regulator built into the compressed air flow so that the actual monitoring data set and displayed correspond to the target monitoring data required for optimal operation. The electrical energy required to operate the sensors is fed in via suitable cable connections.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Luftlager-Überwachungseinrichtung zu schaffen, die sich einfach installieren und mit hoher Funktionssieherheit betreiben lässt.It is the object of the present invention to provide an air bearing monitoring device which is easy to install and operates with high functional reliability.

Gelöst wird diese Aufgabe durch eine Luftlager-Überwachungseinrichtung, mit mindestens einer Überwachungseinheit, die mit einer zur Erfassung von Druck- und/oder Durchflussdaten der zu mindestens einem Luftlager strömenden Druckluft vorgesehenen Überwachungselektronik ausgestattet ist und die mindestens einen von der strömenden Druckluft antreibbaren Generator zur Erzeugung der von der Überwachungselektronik benötigten elektrischen Energie aufweist.This object is achieved by an air bearing monitoring device with at least one monitoring unit which is equipped with monitoring electronics for recording pressure and/or flow data of the compressed air flowing to at least one air bearing and which has at least one generator which can be driven by the flowing compressed air for generating the electrical energy required by the monitoring electronics.

Somit steht eine Luftlager-Überwachungseinrichtung zur Verfügung, deren Überwachungseinheit hinsichtlich der erforderlichen elektrischen Energie autark und ohne Kabelverbindung zu einer stationären Energieversorgung betrieben werden kann. Die von der Überwachungselektronik benötigte elektrische Energie wird unmittelbar in der Überwachungseinheit durch den an oder in dieser vorgesehenen Generator erzeugt, der von der zur Versorgung des Luftlagers zugeführten Druckluft angetrieben wird. Ein funktionssicherer Betrieb der Luftlager-Überwachungseinrichtung ist daher selbst bei mobiler Ausgestaltung der Überwachungseinheit möglich, da auf elektrische Verbindungsleitungen zu einer stationären Energiequelle verzichtet werden kann. Dadurch wird insbesondere auch die Möglichkeit eröffnet, die Überwachungseinheit ummittelbar an einer Luftlager-Komponente zu installieren und mit dieser als Baueinheit auszuführen. Dies schafft die Voraussetzung für kompakte Abmessungen und auch kurze Luftwege zwischen den zur Erfassung der Druckluftdaten vorgesehenen Erfassungsmitteln und der eigentlichen Lagerstelle.This provides an air bearing monitoring device whose monitoring unit can be operated independently in terms of the required electrical energy and without a cable connection to a stationary power supply. The electrical energy required by the monitoring electronics is generated directly in the monitoring unit by the generator provided on or in it, which is driven by the compressed air supplied to supply the air bearing. Reliable operation of the air bearing monitoring device is therefore possible even with a mobile design of the monitoring unit, since electrical connection lines to a stationary energy source are not required. This also opens up the possibility of installing the monitoring unit directly on an air bearing component and designing it as a structural unit with it. This creates the prerequisite for compact dimensions and also short air paths between the recording devices provided for recording the compressed air data and the actual bearing location.

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Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen hervor.Advantageous further developments of the invention emerge from the subclaims.

Bevorzugt ist die Überwachungselektronik der Überwachungseinheit mit Ausgabemitteln ausgestattet, die die erfassten Druck- und/oder Durchflussdaten als Ist-Überwachungsdaten ausgeben können. Anhand der ausgegebenen Ist-Überwachungsdaten kann der Betriebszustand des oder der überwachten Luftlager kontrolliert werden, um erforderlichenfalls Änderungen bzw. Korrekturen vornehmen bzw. veranlassen zu können. Bei einer besonders einfachen Bauform verfügen die Ausgabemittel über an der Überwachungseinheit vorgesehene optische Anzeigemittel, die ein einfaches Ablesen der ermittelten Ist-Überwachungsdaten ermöglichen. Bei einer komfortableren Lösung sind die Ausgabemittel zusätzlich oder alternativ mit Sendemitteln ausgestattet, durch die die Ist-Überwachungsdaten drahtlos an ein getrennt von der Überwachungseinheit vorgesehenes Datenverarbeitungsgerät übermittelt werden können. Hier bietet sich eine Infrarotübertragung oder vor allem eine Funkübertragung, letzteres insbesondere nach dem so genannten Bluetooth-Standard, an.Preferably, the monitoring electronics of the monitoring unit are equipped with output means that can output the recorded pressure and/or flow data as actual monitoring data. The operating status of the air bearing(s) being monitored can be checked using the actual monitoring data output in order to be able to make or initiate changes or corrections if necessary. In a particularly simple design, the output means have optical display means provided on the monitoring unit that enable the determined actual monitoring data to be easily read. In a more convenient solution, the output means are additionally or alternatively equipped with transmission means that can be used to wirelessly transmit the actual monitoring data to a data processing device provided separately from the monitoring unit. Infrared transmission or, above all, radio transmission, the latter in particular according to the so-called Bluetooth standard, is suitable here.

Bei bevorzugter Ausgestaltung kann das Datenverarbeitungsgerät über optische Anzeigemittel verfügen, die eine Visualisierung der empfangenen Ist-Überwachungsdaten ermöglichen. Handelt es sich bei dem Datenverarbeitungsgerät um ein Mobilgerät, hat das Bedienpersonal die Möglichkeit, bei einem Kontrollgang nacheinander die Daten unterschiedlicher Überwachungseinheiten abzufragen.In a preferred embodiment, the data processing device can have optical display means that enable visualization of the actual monitoring data received. If the data processing device is a mobile device, the operating personnel have the option of querying the data from different monitoring units one after the other during an inspection tour.

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Vor allem dann, wenn die Überwachungseinheit mit Mitteln ausgestattet ist, die eine Beeinflussung der Druck- und/oder Durchflussdaten der strömenden Druckluft ermöglichen, kann der Betriebskomfort der Luftlager-Überwachungseinrichtung dadurch gesteigert werden, dass man die Überwachungseinheit mit Eingabemitteln ausstattet, über die von der Überwachungselektronik zu berücksichtigende Soll-Überwachungsdaten eingebbar sind.Especially when the monitoring unit is equipped with means that allow the pressure and/or flow data of the flowing compressed air to be influenced, the operating comfort of the air bearing monitoring device can be increased by equipping the monitoring unit with input means via which the target monitoring data to be taken into account by the monitoring electronics can be entered.

Die Eingabemittel können beispielsweise in Gestalt von unmittelbar an der Überwachungseinheit vorgesehenen manuellen Eingabemitteln ausgeführt sein, beispielsweise in Gestalt von Tasten, Knöpfen oder dergleichen. Besonders empfehlenswert ist es jedoch, die Eingabemittel mit Empfangsmitteln auszustatten, die in der Lage sind, von den Sendemitteln eines Datenverarbeitungsgerätes stammende Soll-Überwachungsdaten drahtlos zu empfangen. Die Dateneingabe ist dann problemlos möglich, ohne dass ein direkter Zugang zur Überwachungseinheit erforderlich wäre. Auch hier ist eine Datenübertragung mittels Funk- oder Infrarotsignalen besonders empfehlenswert.The input means can, for example, be designed in the form of manual input means provided directly on the monitoring unit, for example in the form of keys, buttons or the like. However, it is particularly advisable to equip the input means with receiving means that are able to wirelessly receive target monitoring data from the transmitting means of a data processing device. Data input is then possible without any problems, without direct access to the monitoring unit being necessary. Here, too, data transmission using radio or infrared signals is particularly recommended.

Als optimal wird angesehen, sowohl an der Überwachungseinheit als auch an einem separaten Datenverarbeitungsgerät jeweils sowohl Sendemittel als auch Empfangsmittel vorzusehen, so dass eine drahtlose Übertragung von Daten in beiden Richtungen möglich ist.It is considered optimal to provide both transmitting and receiving means on the monitoring unit and on a separate data processing device so that wireless transmission of data is possible in both directions.

Zur Erfassung der Druck- und/oder Durchflussdaten der strömenden Druckluft ist die Überwachungselektronik mit geeigneten Druckerfassungs- und/oder DurchflusserfassungsmittelnTo record the pressure and/or flow data of the flowing compressed air, the monitoring electronics must be equipped with suitable pressure and/or flow detection devices

ausgestattet. Empfehlenswert ist eine zusätzliche Ausstattung mit Temperaturerfassungsmitteln, und zwar vor allem dann, wenn mehrere Lagerstellen vorhanden sind, an denen die gleichen Betriebszustände herrschen sollen.It is advisable to additionally equip the system with temperature measurement devices, especially if there are several storage locations where the same operating conditions are to prevail.

Bevorzugt ist die Überwachungselektronik mit einem Mikrocontroller ausgestattet, der die ermittelten Daten verarbeiten und gegebenenfalls auch die drahtlose Signalübertragung kontrollieren kann.Preferably, the monitoring electronics are equipped with a microcontroller that can process the data collected and, if necessary, also control the wireless signal transmission.

An Bord der Überwachungseinheit befinden sich zweckmäßigerweise auch Mittel zur geregelten Beeinflussung der Druck- und/oder Durchflussdaten der strömenden Druckluft, so dass in einem Regelkreis unter Berücksichtigung vorgegebener SoIl-Überwachungsdaten eine geregelte Einstellung des gewünschten Betriebszustandes möglich ist. Die Regelungsmittel, beispielsweise ein elektrisch betätigter Druckregler, können die erforderliche Betriebsenergie ebenfalls von einem durch die Druckluft angetriebenen Generator beziehen, so dass die autarke elektrische Betriebsweise gewährleistet ist. Insoweit ist es empfehlenswert, Regelungsmittel mit einem piezoelektrisch betätigbaren Stellglied einzusetzen, das über einen nur geringen elektrischen Energiebedarf verfügt.On board the monitoring unit there are also useful means for controlling the pressure and/or flow data of the flowing compressed air, so that a controlled setting of the desired operating state is possible in a control loop taking into account the specified target monitoring data. The control means, for example an electrically operated pressure regulator, can also obtain the required operating energy from a generator driven by the compressed air, so that self-sufficient electrical operation is guaranteed. In this respect, it is advisable to use control means with a piezoelectrically operated actuator that has only a low electrical energy requirement.

Die Antriebseinheit des Generators verfügt zweckmäßigerweise über mindestens ein Antriebsrad, beispielsweise ein Flügelrad, das von der vorbeiströmenden Luft in Rotation versetzt wird. Darüber hinaus enthält der Generator vorzugsweise auch einen Stromwandler, der den auf diese Weise erzeugten Wechselstrom in Gleichstrom umwandelt.The drive unit of the generator expediently has at least one drive wheel, for example an impeller, which is set in rotation by the air flowing past. In addition, the generator preferably also contains a current transformer which converts the alternating current generated in this way into direct current.

Anstelle lediglich eines druckluftbetriebenen Generators können auch mehrere, jeweils an geeigneter Stelle entlang des Luftströmungsweges platzierte Generatoren zum Einsatz kommen.Instead of just one compressed air-powered generator, several generators can be used, each placed at a suitable location along the air flow path.

Eine besonders kompakte Anordnung ergibt sich, wenn die Überwachungseinheit als Baueinheit mit derjenigen Luftlager-Komponente ausgeführt ist, die mit Druckluft versorgt wird.A particularly compact arrangement is achieved if the monitoring unit is designed as a structural unit with the air bearing component that is supplied with compressed air.

Bei Bedarf kann die Überwachungselektronik zur Erfassung der Druck- und/oder Durchfluss- und/oder Temperaturdaten der zu mehreren Luftlagern strömenden Druckluft ausgebildet sein. Es besteht die Möglichkeit, sämtliche dafür vorgesehenen Erfassungsmittel mit einem Generator gemeinsam zu versorgen. Erfassungsmitteln mehrerer Luftlager kann auch ein gemeinsamer Mikrocontroller zugeordnet sein.If required, the monitoring electronics can be designed to record the pressure and/or flow and/or temperature data of the compressed air flowing to several air bearings. It is possible to supply all of the recording devices provided for this purpose with a generator. A common microcontroller can also be assigned to the recording devices of several air bearings.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnung näher erläutert. Die einzige Figur zeigt exemplarisch eine Luftlager-Überwachungseinrichtung in Verbindung mit einem zu überwachenden Luftlager.The invention is explained in more detail below with reference to the accompanying drawing. The single figure shows an example of an air bearing monitoring device in connection with an air bearing to be monitored.

Im Einzelnen offenbart die Zeichnung, in schematischer Darstellung, ein Luftlager 1 und eine zur Überwachung dieses Luftlagers 1 vorgesehene Luftlager-Überwachungseinrichtung 2.In detail, the drawing discloses, in a schematic representation, an air bearing 1 and an air bearing monitoring device 2 provided for monitoring this air bearing 1.

Das Luftlager 1 verfügt über zwei relativ zueinander bewegliche Luftlager-Komponenten 3a, 3b. Die erste Luftlager-Komponente 3a ist beim Ausführungsbeispiel stationär ausgeführt, während die zweite Luftlager-Komponente 3b gemäß Doppelpfeilen 9 relativ zur ersten Luftlager-Komponente 3a be-The air bearing 1 has two air bearing components 3a, 3b that can move relative to one another. The first air bearing component 3a is stationary in the embodiment, while the second air bearing component 3b is movable relative to the first air bearing component 3a according to double arrows 9.

weglich ist. Die Bewegung ist vorliegend eine translatorische Bewegung, beispielsweise eine Linearbewegung. Denkbar wäre aber auch eine Bauform, bei der die Luftlager-Komponenten relativ zueinander verdrehbar oder verschwenkbar sind.is movable. In this case, the movement is a translational movement, for example a linear movement. However, a design in which the air bearing components can be rotated or pivoted relative to one another would also be conceivable.

Jedenfalls haben die beiden Luftlager-Komponenten 3a, 3b einander zugewandte, erste und zweite Lagerflächen 4a, 4b, zwischen denen ein Luftpolster erzeugt werden kann, das einen Lagerspalt 5 hervorruft, so dass die beiden Lagerflächen 4a, 4b entsprechend der Spaltweite mit einem gewissen Abstand zueinander angeordnet sind.In any case, the two air bearing components 3a, 3b have first and second bearing surfaces 4a, 4b facing each other, between which an air cushion can be generated that creates a bearing gap 5, so that the two bearing surfaces 4a, 4b are arranged at a certain distance from each other according to the gap width.

Auf Grund des erzeugten Luftpolsters sind die beiden Luftlager-Komponenten verschleißfrei und ohne Abrieb relativ zueinander bewegbar. Das Luftlager kann daher auch an solchen Orten eingesetzt werden, wo hohe Anforderungen an die Luftreinhaltung bestehen.Due to the air cushion created, the two air bearing components can move relative to each other without wear and abrasion. The air bearing can therefore also be used in places where there are high requirements for air pollution control.

Die zur Erzeugung des Luftpolsters im Lagerspalt 5 erforderliche Druckluft wird von einer Druckluftquelle P bereitgestellt. Sie steht über mindestens einen Einspeisekanal 6 mit einer der Luftlager-Komponenten 3b in Verbindung, in der eine Vielzahl von Ausströmkanälen 7 definiert ist, die mit dem Einspeisekanal 6 kommunizieren. Die Ausströmkanäle 7 münden zur Lagerfläche 4b der betreffenden Luftlager-Komponente 3b aus, wobei durch eine geeignete Verteilung die Erzeugung eines großflächigen Luftpolsters gewährleistet ist. Die Ausströmkanäle 7 könnten beispielsweise auch von Zwischenräumen eines porösen Materials gebildet sein.The compressed air required to create the air cushion in the bearing gap 5 is provided by a compressed air source P. It is connected to one of the air bearing components 3b via at least one feed channel 6, in which a plurality of outflow channels 7 are defined, which communicate with the feed channel 6. The outflow channels 7 open out to the bearing surface 4b of the relevant air bearing component 3b, whereby the creation of a large-area air cushion is ensured by suitable distribution. The outflow channels 7 could also be formed, for example, by gaps in a porous material.

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Um die momentan anstehende Lagerungsaufgabe optimal erfüllen zu können, muss die Druckluft dem Lagerspalt 5 jeweils unter einem bestimmten Druck und mit einem bestimmten Durchfluss zugeführt werden, wobei unter Umständen die Einhaltung gewisser Druck- bzw. Durchflussbereiche ausreicht. So wirkt sich die Höhe des Druckes der Druckluft entscheidend auf die mögliche Tragkraft aus, mit der eine der Luftlager-Komponenten rechtwinkelig zu ihrer Bewegung 9 belastet werden kann. Der Durchfluss, also die pro Zeiteinheit hindurchströmende Luftmenge, ist eine Kenngröße für das Spaltmaß des Lagerspaltes 5.In order to optimally fulfill the current bearing task, the compressed air must be supplied to the bearing gap 5 at a certain pressure and with a certain flow rate, whereby in some cases it may be sufficient to adhere to certain pressure or flow ranges. The level of the compressed air pressure has a decisive effect on the possible load-bearing capacity with which one of the air bearing components can be loaded at right angles to its movement 9. The flow rate, i.e. the amount of air flowing through per unit of time, is a parameter for the gap size of the bearing gap 5.

Mit der Luftlager-Überwachungseinrichtung 2 können die Druck- und/oder Durchflussdaten der zu dem Luftlager 1 strömenden Druckluft, und bei Bedarf auch noch weitere Daten, überwacht werden, um bei Bedarf Veränderungen vornehmen zu können.With the air bearing monitoring device 2, the pressure and/or flow data of the compressed air flowing to the air bearing 1, and if necessary also other data, can be monitored in order to be able to make changes if necessary.

Die Luftlager-Überwachungseinrichtung 2 verfügt über eine Überwachungseinheit 12, die mit einer zur Erfassung der zuvor erwähnten Daten dienenden Überwachungselektronik 13 ausgestattet ist. Obgleich beim Ausführungsbeispiel die Überwachungseinheit 12 zur Überwachung lediglich eines Luftlagers dient, kann sie auch zur gleichzeitigen Überwachung mehrerer Luftlager, insbesondere ein und derselben Maschine, eingesetzt werden.The air bearing monitoring device 2 has a monitoring unit 12 which is equipped with monitoring electronics 13 for recording the aforementioned data. Although in the exemplary embodiment the monitoring unit 12 serves to monitor only one air bearing, it can also be used to simultaneously monitor several air bearings, in particular one and the same machine.

Der zur Zufuhr der Druckluft dienende Einspeisekanal 6 verläuft durch die Überwachungseinheit 12 hindurch. Besonders kurze Luftwege lassen sich einhalten, wenn die Überwachungseinheit 12, wie dies beim Ausführungsbeispiel der Fall ist,The feed channel 6 used to supply the compressed air runs through the monitoring unit 12. Particularly short air paths can be maintained if the monitoring unit 12, as is the case in the embodiment,

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als Baueinheit mit der mit Druckluft zu versorgenden Luftlager-Komponente 3b ausgeführt ist. Beim Ausführungsbeispiel ist dies die sich im Betrieb bewegende Luftlager-Komponente, es könnte sich aber auch um eine feststehende Luftlager-Komponente handeln. Zweckmäßigerweise ist die Überwachungseinheit 12 an geeigneter Stelle an die erwähnte Luftlager-Komponente 3b angebaut. Eine zumindest teilweise Integration wäre ebenfalls möglich. Lange Schlauchverbindungen zwischen der Überwachungseinheit 12 und dem Luftlager 1 können auf diese Weise vermieden werden.is designed as a structural unit with the air bearing component 3b to be supplied with compressed air. In the exemplary embodiment, this is the air bearing component that moves during operation, but it could also be a fixed air bearing component. The monitoring unit 12 is expediently attached to the air bearing component 3b mentioned at a suitable location. At least partial integration would also be possible. Long hose connections between the monitoring unit 12 and the air bearing 1 can be avoided in this way.

Die Überwachungselektronik 13 verfügt beim Ausführungsbeispiel über Druckerfassungsmittel 14 und über Durchflusserfassungsmittel 15, die zum einen an den Einspeisekanal 6 angeschlossen sind, so dass sie den in dem Einspeisekanal 6 herrschenden Luftdruck sowie den Durchfluss erfassen können. Die erfassten Werte werden als Spannungssignale einem Mikrocontroller 16 (&mgr;&thgr; der Überwachungselektronik 13 zugeleitet. Dieser Mikrocontroller 16 ist in der Lage, die auf diese Weise erfassten und eventuell zuvor noch in gewisser Weise aufbereiteten Druck- und/oder Durchflussdaten als Ist-Überwachungsdaten auszugeben.In the exemplary embodiment, the monitoring electronics 13 have pressure detection means 14 and flow detection means 15, which are connected to the feed channel 6 so that they can detect the air pressure prevailing in the feed channel 6 and the flow. The detected values are fed as voltage signals to a microcontroller 16 (μθ of the monitoring electronics 13). This microcontroller 16 is able to output the pressure and/or flow data detected in this way and possibly previously processed in a certain way as actual monitoring data.

Die Datenausgabe erfolgt durch geeignete Ausgabemittel 17 der Überwachungselektronik 13. Im einfachsten Fall können als Ausgabemittel 17 in der Zeichnung strichpunktiert angedeutete optische Anzeigemittel 17a unmittelbar an der Überwachungseinheit 12 vorgesehen sein, die dem Bedienpersonal ein Ablesen der erfassten Ist-Überwachungsdaten ermöglichen. Die optischen Anzeigemittel 17a können hierzu mindestens ein Anzei-The data is output by suitable output means 17 of the monitoring electronics 13. In the simplest case, optical display means 17a, indicated in dash-dotted lines in the drawing, can be provided directly on the monitoring unit 12 as output means 17, which enable the operating personnel to read the recorded actual monitoring data. The optical display means 17a can have at least one display

ge-Display aufweisen.ge display.

Ein komfortablerer Betrieb ist möglich, wenn die Ausgabemittel 17, wie dies beim Ausführungsbeispiel der Fall ist, zur drahtlosen Datenübermittlung ausgebildet sind und über an der Überwachungseinheit 12 vorgesehene Sendemittel 17b verfügen, mit denen die Ist-Überwachungsdaten drahtlos zu den Empfangsmitteln 18 eines getrennt von der Überwachungseinheit 12 ausgebildeten Datenverarbeitungsgerätes 19 der Luftlager-Überwachungseinrichtung 2 übermittelt werden können.A more convenient operation is possible if the output means 17, as is the case in the embodiment, are designed for wireless data transmission and have transmission means 17b provided on the monitoring unit 12, with which the actual monitoring data can be transmitted wirelessly to the reception means 18 of a data processing device 19 of the air bearing monitoring device 2, which is designed separately from the monitoring unit 12.

Das Datenverarbeitungsgerät 19 verfügt zweckmäßigerweise seinerseits über optische Anzeigemittel 22, die in der Lage sind, die empfangenen ist-Überwachungsdaten anzuzeigen, so dass sie vom Bedienpersonal problemlos abgelesen werden können. The data processing device 19 expediently has optical display means 22 which are able to display the received actual monitoring data so that they can be easily read by the operating personnel.

In diesem Zusammenhang empfiehlt sich ein Datenverarbeitungsgerät 19, das als Mobilgerät ausgebildet ist, insbesondere als Handgerät, so dass es von einer Person problemlos zum Einsatzort der Überwachungseinheit 12 transportiert werden kann, um dort eine Datenabfrage vorzunehmen. Das Datenverarbeitungsgerät kann beispielsweise ein Laptop oder Notebook oder, vorzugsweise, ein PDA sein.In this context, a data processing device 19 is recommended which is designed as a mobile device, in particular as a handheld device, so that it can be easily transported by a person to the location of the monitoring unit 12 in order to query data there. The data processing device can be, for example, a laptop or notebook or, preferably, a PDA.

Die Sendemittel 17b und Empfangsmittel 18 sind insbesondere so ausgebildet, dass sie eine Funk- oder Infrarotübertragung ermöglichen. Zu empfehlen ist beispielsweise eine Übertragung nach dem so genannten Bluetooth-Standard.The transmitting means 17b and receiving means 18 are designed in particular to enable radio or infrared transmission. For example, transmission according to the so-called Bluetooth standard is recommended.

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Wenn sich anhand der ermittelten Ist-Überwachungsdaten Handlungsbedarf für eine Veränderung der Druck- und/oder Durchflusseinstellung der Druckluft ergibt, kann dies beispielsweise durch Veränderung der Einstellung eines in den Verlauf des Einspeisekanals 6 eingeschalteten manuellen Druckreglers geschehen, der auch außerhalb der Überwachungseinheit 12, beispielsweise im Bereich der Druckluftquelle P, installiert sein kann. Vorzuziehen ist jedoch eine in die Überwachungseinheit 12 integrierte Zustandsregelung, die dafür Sorge trägt, dass die Ist-Überwachungsdaten die gewünschten Werte bzw. Bereiche auch bei sich ändernden Umgebungsbedingungen zuverlässig einhalten.If the actual monitoring data determined indicate that there is a need for action to change the pressure and/or flow setting of the compressed air, this can be done, for example, by changing the setting of a manual pressure regulator connected in the course of the feed channel 6, which can also be installed outside the monitoring unit 12, for example in the area of the compressed air source P. However, it is preferable to have a status control integrated into the monitoring unit 12, which ensures that the actual monitoring data reliably adhere to the desired values or ranges even when the ambient conditions change.

Um dies zu gewährleisten, ist die Überwachungseinheit 12 beim Ausführungsbeispiel mit zur Beeinflussung der Druck- und/oder Durchflussdaten der zum Luftlager 1 strömenden Druckluft dienenden Regelmitteln 23 ausgestattet. Sie befinden sich vorzugsweise an Bord der Überwachungseinheit 12 und werden elektrisch angesteuert. Beispielsweise enthalten diese Regelmittel 23 einen elektrisch ansteuerbaren Druckregler 24, insbesondere in Gestalt eines elektrisch betätigen Proportionalventiles. To ensure this, the monitoring unit 12 in the exemplary embodiment is equipped with control means 23 for influencing the pressure and/or flow data of the compressed air flowing to the air bearing 1. They are preferably located on board the monitoring unit 12 and are controlled electrically. For example, these control means 23 contain an electrically controllable pressure regulator 24, in particular in the form of an electrically operated proportional valve.

Die Regelmittel 23 verfügen über mindestens ein bewegliches, positionierbares Stellglied 25, dessen aktuelle Position den herrschenden Druck und somit auch den momentanen Durchfluss beeinflusst.The control means 23 have at least one movable, positionable actuator 25, the current position of which influences the prevailing pressure and thus also the current flow.

Die elektrische Stellgröße liefert der angeschlossene Mikrocontroller 16 auf Basis eines Vergleichs der von den Drucker-The electrical control variable is provided by the connected microcontroller 16 based on a comparison of the printer

fassungsmitteln 14 und den Durchflusserfassungsmitteln 15 erfassten Ist-Überwachungsdaten und zuvor anwendungsspezifisch eingegebenen Soll-Überwachungsdaten. Auf diese Weise ist die Überwachungseinheit 12 in der Lage, Druck und Durchfluss ungeachtet von sich eventuell ändernden Betriebsbedingungen konstant zu halten.actual monitoring data recorded by the flow detection means 14 and the flow detection means 15 and target monitoring data previously entered for the specific application. In this way, the monitoring unit 12 is able to keep pressure and flow constant regardless of possibly changing operating conditions.

Zur Eingabe der Soll-Überwachungsdaten ist die Überwachungseinheit 12 mit geeigneten Eingabemitteln 26 ausgestattet. Im einfachsten Fall kann es sich hier beispielsweise um eine Eingabetastatur oder um sonstige manuelle Eingabemittel handeln, die unmittelbar an der Überwachungseinheit 12 angeordnet sind. Beim Ausführungsbeispiel kommt jedoch wiederum eine komfortablere Lösung zum Einsatz, indem hier die Eingabemittel 2 6 zusätzlich oder alternativ mit an der Überwachungseinheit 12 vorgesehenen Empfangsmitteln 26a ausgestattet sind, welche in der Lage sind, von Sendemitteln 27 eines Datenverarbeitungsgerätes 19 ausgesandte Soll-Überwachungsdaten drahtlos zu empfangen.The monitoring unit 12 is equipped with suitable input means 26 for entering the target monitoring data. In the simplest case, this can be, for example, an input keyboard or other manual input means that are arranged directly on the monitoring unit 12. In the exemplary embodiment, however, a more convenient solution is used in that the input means 26 are additionally or alternatively equipped with receiving means 26a provided on the monitoring unit 12, which are able to wirelessly receive target monitoring data transmitted by transmitting means 27 of a data processing device 19.

Wie schon die Ausgabe der Ist-Überwachungsdaten erfolgt auch der Empfang der Soll-Überwachungsdaten zweckmäßigerweise in Gestalt von Funk- oder Infrarotsignalen entsprechend der oben geschilderten Weise.As with the output of the actual monitoring data, the reception of the target monitoring data is also conveniently carried out in the form of radio or infrared signals in the manner described above.

Zweckmäßigerweise wird im Zusammenhang mit der Luftlager-Überwachungseinrichtung 2 ein Datenverarbeitungsgerät 19 verwendet, das sowohl über Empfangsmittel 18 für die Ist-Überwachungsdaten als auch über Sendemittel 27 für die Soll-Überwachungsdaten verfügt, so dass nicht auf zwei getrennte Da-It is expedient to use a data processing device 19 in connection with the air bearing monitoring device 2, which has both receiving means 18 for the actual monitoring data and transmitting means 27 for the target monitoring data, so that two separate data

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tenverarbeitungsgeräte zurückgegriffen werden muss, was jedoch prinzipiell möglich wäre.data processing equipment must be used, which would, however, be possible in principle.

Bei dem Datenverarbeitungsgerät 19 kann es sich im Übrigen auch um ein Stationärgerät handeln, beispielsweise einen PC oder eine SPS, das drahtlos, insbesondere auch über größere Entfernungen hinweg, mit der Überwachungselektronik 13 der Überwachungseinheit 12 kommunizieren kann.The data processing device 19 can also be a stationary device, for example a PC or a PLC, which can communicate wirelessly, in particular over larger distances, with the monitoring electronics 13 of the monitoring unit 12.

Um bei Bedarf auch eine Temperaturkompensation vornehmen zu können, ist die Überwachungseinheit 12 zweckmäßigerweise zusätzlich mit Temperaturerfassungsmitteln 28 ausgestattet, deren Daten ebenfalls dem Mikrocontroller 16 zur Auswertung zugeleitet werden.In order to be able to carry out temperature compensation if necessary, the monitoring unit 12 is expediently additionally equipped with temperature detection means 28, the data of which are also fed to the microcontroller 16 for evaluation.

Die für den Betrieb der Überwachungselektronik 13 erforderliche elektrische Energie wird in vorteilhafter Weise unmittelbar an Bord der Überwachungseinheit 12 erzeugt. Dadurch erübrigen sich elektrische Leitungen zu stationären, externen Energieerzeugern.The electrical energy required for the operation of the monitoring electronics 13 is advantageously generated directly on board the monitoring unit 12. This eliminates the need for electrical cables to stationary, external energy generators.

Erzeugt wird die elektrische Energie durch einen an oder in der Überwachungseinheit 12 angeordneten Generator 32, der von der durch den Einspeisekanal 6 hindurchströmenden Druckluft angetrieben wird. Bei Bedarf können auch mehrere derartige Generatoren vorgesehen werden.The electrical energy is generated by a generator 32 arranged on or in the monitoring unit 12, which is driven by the compressed air flowing through the feed channel 6. If required, several such generators can also be provided.

Beispielsweise enthält der Generator 32 eine im Luftweg der strömenden Druckluft platzierte Antriebseinheit 33 mit einem oder mehreren, durch die Druckluftströmung in Rotation ver-For example, the generator 32 contains a drive unit 33 placed in the air path of the flowing compressed air with one or more rotors 34 which are set in rotation by the compressed air flow.

setzbaren Antriebsrädern 34. Bei den Antriebsrädern kann es sich beispielsweise um Flügelräder handeln. Nach dem an sich bekannten Generatorprinzip wird durch die rotierenden Antriebsräder 34 eine Wechselspannung erzeugt, die in einem Spannungswandler 35 in eine Gleichspannung umgewandelt und dann der Überwachungselektronik 13 zugeleitet wird.adjustable drive wheels 34. The drive wheels can be impellers, for example. According to the known generator principle, the rotating drive wheels 34 generate an alternating voltage, which is converted into a direct voltage in a voltage converter 35 and then fed to the monitoring electronics 13.

Zweckmäßigerweise ist die Anordnung so getroffen, dass die vom Generator 32 gelieferte elektrische Energie zunächst in den Mikrocontroller 16 eingespeist wird, so dass dieser seine Betriebsenergie erhält, wobei die an den Mikrocontroller 16 angeschlossenen Erfassungsmittel 14, 15, 28 aus dem Mikrocontroller 16 mit der notwendigen elektrischen Energie versorgt werden.The arrangement is expediently such that the electrical energy supplied by the generator 32 is first fed into the microcontroller 16 so that the latter receives its operating energy, wherein the detection means 14, 15, 28 connected to the microcontroller 16 are supplied with the necessary electrical energy from the microcontroller 16.

Auf Grund des konzeptbedingt ständigen Luftverbrauches im Bereich des Luftlagers 1 ergibt sich eine ständige Luftströmung von der Druckluftquelle P zu dem Lagerspalt 5, so dass ständig die für den Betrieb des Generators 32 erforderliche Antriebsenergie zur Verfügung steht.Due to the concept-related constant air consumption in the area of the air bearing 1, there is a constant air flow from the compressed air source P to the bearing gap 5, so that the drive energy required for the operation of the generator 32 is constantly available.

Gleichwohl kann bei Bedarf noch ein nicht näher dargestellter Energiespeicher, beispielsweise eine wiederaufladbare Batterieanordnung, vorgesehen sein, die einen Betrieb der Überwachungselektronik 13 und beispielsweise die Einspeisung von Soll-Überwachungsdaten auch dann ermöglicht, wenn das Luftlager 1 momentan nicht betrieben wird, also beispielsweise bei Wartungs- und Einrichtarbeiten.Nevertheless, if required, an energy storage device (not shown in detail), for example a rechargeable battery arrangement, can be provided, which enables operation of the monitoring electronics 13 and, for example, the input of target monitoring data even when the air bearing 1 is not currently being operated, for example during maintenance and setup work.

Ein weiterer Vorteil der beschriebenen Luftlager-Überwachungseinrichtung 2 besteht darin, dass auch die Regelmittel 23 ihre elektrische Energie von dem druckluftbetriebenen Generator 32 erhalten, insbesondere mittelbar über den zwischengeschalteten MikroController 16. Hier ist es dann von Vorteil, Regelmittel 23 mit einem piezoelektrisch betätigbaren Stellglied 25 zu verwenden, welches kaum Energie benötigt. A further advantage of the described air bearing monitoring device 2 is that the control means 23 also receive their electrical energy from the compressed air-operated generator 32, in particular indirectly via the interposed microcontroller 16. Here, it is then advantageous to use control means 23 with a piezoelectrically actuated actuator 25, which requires hardly any energy.

Durch den Entfall elektrischer Zuleitungen zur Überwachungseinheit 12 können Fehler- und Störquellen ausgeschaltet werden und ist auch dann ein problemloser Betrieb möglich, wenn die Uberwachungseinheit 12, auf Grund einer Bewegungskopplung mit der sich im Betrieb bewegenden Luftlager-Komponente 3b, im Betrieb Bewegungen ausführt.By eliminating electrical supply lines to the monitoring unit 12, sources of errors and interference can be eliminated and problem-free operation is possible even if the monitoring unit 12 executes movements during operation due to a movement coupling with the air bearing component 3b which moves during operation.

Es besteht die Möglichkeit, die Überwachungselektronik 13 so auszubilden, dass sie zur Druck- und/oder Durchfluss- und/oder Temperaturerfassung der zu mehreren Luftlagern 1 strömenden Druckluft geeignet ist. Jedem Luftlager können dabei eigene Druck- und/oder Durchfluss- und/oder Temperaturerfassungsmittel 14, 15, 28 zugeordnet sein, die zweckmäßigerweise mit ein und demselben Mikrocontroller 16 gekoppelt sind und die vorzugsweise von einem gemeinsamen Generator 32 gespeist werden.It is possible to design the monitoring electronics 13 in such a way that it is suitable for measuring the pressure and/or flow and/or temperature of the compressed air flowing to several air bearings 1. Each air bearing can be assigned its own pressure and/or flow and/or temperature measuring means 14, 15, 28, which are expediently coupled to one and the same microcontroller 16 and which are preferably fed by a common generator 32.

Claims (20)

1. Luftlager-Überwachungseinrichtung, mit mindestens einer Überwachungseinheit (12), die mit einer zur Erfassung von Druck- und/oder Durchflussdaten der zu mindestens einem Luftlager (1) strömenden Druckluft vorgesehenen Überwachungselektronik (13) ausgestattet ist und die mindestens einen von der strömenden Druckluft antreibbaren Generator (32) zur Erzeugung der von der Überwachungselektronik (13) benötigten elektrischen Energie aufweist. 1. Air bearing monitoring device, with at least one monitoring unit ( 12 ) which is equipped with monitoring electronics ( 13 ) provided for detecting pressure and/or flow data of the compressed air flowing to at least one air bearing ( 1 ) and which has at least one generator ( 32 ) which can be driven by the flowing compressed air for generating the electrical energy required by the monitoring electronics ( 13 ). 2. Luftlager-Überwachungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Überwachungselektronik (13) über Ausgabemittel (17) zur Ausgabe von Ist-Überwachungsdaten verfügt. 2. Air bearing monitoring device according to claim 1, characterized in that the monitoring electronics ( 13 ) have output means ( 17 ) for outputting actual monitoring data. 3. Luftlager-Überwachungseinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausgabemittel (17) optische Anzeigemittel (17a) enthalten, insbesondere mindestens ein an der Überwachungseinheit (12) vorgesehenes Anzeige-Display. 3. Air bearing monitoring device according to claim 2, characterized in that the output means ( 17 ) contain optical display means ( 17a ), in particular at least one display provided on the monitoring unit ( 12 ). 4. Luftlager-Überwachungseinrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausgabemittel (17) Sendemittel (17b) zum drahtlosen Senden von Ist-Überwachungsdaten zu den Empfangsmitteln (18) eines Datenverarbeitungsgerätes (22) aufweisen. 4. Air bearing monitoring device according to claim 2 or 3, characterized in that the output means ( 17 ) have transmission means ( 17b ) for wirelessly transmitting actual monitoring data to the reception means ( 18 ) of a data processing device ( 22 ). 5. Luftlager-Überwachungseinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Sendemittel (17b) zur Funk- oder Infrarotübertragung von Ist-Überwachungsdaten ausgebildet sind. 5. Air bearing monitoring device according to claim 4, characterized in that the transmitting means ( 17b ) are designed for radio or infrared transmission of actual monitoring data. 6. Luftlager-Überwachungseinrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Datenverarbeitungsgerät (19) über optische Anzeigemittel (22) zur Visualisierung der empfangenen Ist-Überwachungsdaten verfügt. 6. Air bearing monitoring device according to claim 4 or 5, characterized in that the data processing device ( 19 ) has optical display means ( 22 ) for visualizing the received actual monitoring data. 7. Luftlager-Überwachungseinrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Datenverarbeitungsgerät (19) von einem Mobilgerät, beispielsweise einem Laptop, Notebook oder PDA, gebildet ist. 7. Air bearing monitoring device according to one of claims 4 to 6, characterized in that the data processing device ( 19 ) is formed by a mobile device, for example a laptop, notebook or PDA. 8. Luftlager-Überwachungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Überwachungseinheit (12) mit Mitteln (23) zur Beeinflussung der Druck- und/oder Durchflussdaten der strömenden Druckluft ausgestattet ist und über Eingabemittel (26) verfügt, über die von der Überwachungselektronik (13) zu berücksichtigende Soll-Überwachungsdaten eingebbar sind. 8. Air bearing monitoring device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the monitoring unit ( 12 ) is equipped with means ( 23 ) for influencing the pressure and/or flow data of the flowing compressed air and has input means ( 26 ) via which target monitoring data to be taken into account by the monitoring electronics ( 13 ) can be entered. 9. Luftlager-Überwachungseinrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Eingabemittel (26) über Empfangsmittel (26a) zum Empfang von den Sendemitteln (27) eines Datenverarbeitungsgerätes (19) stammender, drahtlos übertragener Soll-Überwachungsdaten verfügen. 9. Air bearing monitoring device according to claim 8, characterized in that the input means ( 26 ) have receiving means ( 26a ) for receiving wirelessly transmitted target monitoring data originating from the transmitting means ( 27 ) of a data processing device ( 19 ). 10. Luftlager-Überwachungseinrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Empfangsmittel (26a) zum Empfang von Soll-Überwachungsdaten in Gestalt von Funk- oder Infrarotsignalen ausgebildet sind. 10. Air bearing monitoring device according to claim 9, characterized in that the receiving means ( 26a ) are designed to receive target monitoring data in the form of radio or infrared signals. 11. Luftlager-Überwachungseinrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Datenverarbeitungsgerät (19) von einem Mobilgerät, beispielsweise einem Laptop, Notebook oder PDA, gebildet ist. 11. Air bearing monitoring device according to claim 9 or 10, characterized in that the data processing device ( 19 ) is formed by a mobile device, for example a laptop, notebook or PDA. 12. Luftlager-Überwachungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Überwachungselektronik (13) über Druckerfassungs- und/oder Durchflusserfassungsmittel (14, 15) verfügt. 12. Air bearing monitoring device according to one of claims 1 to 11, characterized in that the monitoring electronics ( 13 ) have pressure detection and/or flow detection means ( 14 , 15 ). 13. Luftlager-Überwachungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die überwachungselektronik (13) über Temperaturerfassungsmittel (2ß) verfügt. 13. Air bearing monitoring device according to one of claims 1 to 12, characterized in that the monitoring electronics ( 13 ) have temperature detection means (2ß). 14. Luftlager-Überwachungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die überwachungselektronik (13) einen Mikrocontroller (16) enthält. 14. Air bearing monitoring device according to one of claims 1 to 13, characterized in that the monitoring electronics ( 13 ) contains a microcontroller ( 16 ). 15. Luftlager-Überwachungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Überwachungseinheit (12) mit Regelmitteln (23) zur Beeinflussung der Druck- und/oder Durchflussdaten der zu mindestens einem Luftlager (1) strömenden Druckluft ausgestattet ist, insbesondere mit einem Druckregler (24), die ihre Betriebsenergie ebenfalls von dem Generator (32) bezieht. 15. Air bearing monitoring device according to one of claims 1 to 14, characterized in that the monitoring unit ( 12 ) is equipped with control means ( 23 ) for influencing the pressure and/or flow data of the compressed air flowing to at least one air bearing ( 1 ), in particular with a pressure regulator ( 24 ), which also draws its operating energy from the generator ( 32 ). 16. Luftlager-Überwachungseinrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Stellglied (25) der Regelungsmittel (23) piezoelektrisch betätigbar ausgebildet ist. 16. Air bearing monitoring device according to claim 15, characterized in that the actuator ( 25 ) of the control means ( 23 ) is designed to be piezoelectrically actuated. 17. Luftlager-Überwachungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Generator (32) über eine Antriebseinheit (33) mit mindestens einem, von der strömenden Druckluft in Rotation versetzbaren, vorzugsweise als Flügelrad ausgebildeten Antriebsrad (34) verfügt. 17. Air bearing monitoring device according to one of claims 1 to 16, characterized in that the at least one generator ( 32 ) has a drive unit ( 33 ) with at least one drive wheel ( 34 ) that can be set in rotation by the flowing compressed air and is preferably designed as an impeller. 18. Luftlager-Überwachungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Überwachungseinheit (12) als Baueinheit mit einer mit Druckluft zu versorgenden Luftlager-Komponente (3b) ausgeführt ist. 18. Air bearing monitoring device according to one of claims 1 to 17, characterized in that at least one monitoring unit ( 12 ) is designed as a structural unit with an air bearing component ( 3b ) to be supplied with compressed air. 19. Luftlager-Überwachungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Überwachungselektronik (13) zur Erfassung von Druck- und/oder Durchfluss- und/oder Temperaturdaten von zu mehreren Luftlagern strömender Druckluft ausgebildet ist. 19. Air bearing monitoring device according to one of claims 1 to 18, characterized in that the monitoring electronics ( 13 ) are designed to record pressure and/or flow and/or temperature data of compressed air flowing to several air bearings. 20. Luftlager-Überwachungseinrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass die zur Erfassung der mehreren Luftlagern zugeordneten Druck- und/oder Durchfluss- und/oder Temperaturdaten vorgesehenen Erfassungsmittel (14, 15, 28) von einem gemeinsamen Generator (32) mit Energie versorgt werden. 20. Air bearing monitoring device according to claim 19, characterized in that the detection means ( 14 , 15 , 28 ) provided for detecting the pressure and/or flow and/or temperature data associated with a plurality of air bearings are supplied with energy by a common generator ( 32 ).
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