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DE20117817U1 - Device for spray treatment of printed circuit boards - Google Patents

Device for spray treatment of printed circuit boards

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Publication number
DE20117817U1
DE20117817U1 DE20117817U DE20117817U DE20117817U1 DE 20117817 U1 DE20117817 U1 DE 20117817U1 DE 20117817 U DE20117817 U DE 20117817U DE 20117817 U DE20117817 U DE 20117817U DE 20117817 U1 DE20117817 U1 DE 20117817U1
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DE
Germany
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nozzle
nozzle carrier
coupling
treatment chamber
side wall
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Expired - Lifetime
Application number
DE20117817U
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German (de)
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Pill eK
Original Assignee
Pill eK
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Publication date
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Publication of DE20117817U1 publication Critical patent/DE20117817U1/en
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Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/08Apparatus, e.g. for photomechanical printing surfaces
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/14Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means with multiple outlet openings; with strainers in or outside the outlet opening
    • B05B1/20Perforated pipes or troughs, e.g. spray booms; Outlet elements therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B13/00Machines or plants for applying liquids or other fluent materials to surfaces of objects or other work by spraying, not covered by groups B05B1/00 - B05B11/00
    • B05B13/02Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work
    • B05B13/0207Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work the work being an elongated body, e.g. wire or pipe
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B15/00Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
    • B05B15/60Arrangements for mounting, supporting or holding spraying apparatus
    • B05B15/65Mounting arrangements for fluid connection of the spraying apparatus or its outlets to flow conduits
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0085Apparatus for treatments of printed circuits with liquids not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46; conveyors and holding means therefor

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Description

G 19855 - lehö 02. November 2001G 19855 - lehö November 2, 2001

Pill e.K., Industriestraße 7, 71549 Auenwald Vorrichtung zur Sprühbehandlung von LeiterplattenPill e.K., Industriestraße 7, 71549 Auenwald Device for spray treatment of printed circuit boards

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Sprühbehandlung von Leiterplatten bei der Leiterplattenfertigung, mit einem Gehäuse, das mindestens einen von einer Seitenwand begrenzten Behandlungsraum aufweist, durch den die zu behandelnden Leiterplatten durchtransportiert werden, und mit mehreren Sprüheinheiten, die jeweils ein sich im Behandlungsraum oberhalb und/oder unterhalb der Transportebene der Leiterplatten quer zu deren Transportrichtung erstreckendes Düsenrohr mit einer oder mehreren Sprühdüsen aufweisen.The invention relates to a device for spray treatment of circuit boards during circuit board production, with a housing which has at least one treatment chamber delimited by a side wall through which the circuit boards to be treated are transported, and with several spray units, each of which has a nozzle tube with one or more spray nozzles extending in the treatment chamber above and/or below the transport plane of the circuit boards transversely to their transport direction.

Eine Vorrichtung dieser Art geht beispielsweise aus dem deutschen Gebrauchsmuster G 94 07 413.5 hervor und wird vorwiegend bei der Ätzbehandlung von Leiterplatten im Rahmen der Leiterplattenfertigung eingesetzt. Die entsprechend vorbereiteten Leiterplatten werden mit Hilfe eine geeigneten Transporteinrichtung durch den Behandlungsraum hindurchtransportiert, wobei sie einer Sprühbehandlung, beispielsweise mit einer Ätzflüssigkeit, ausgesetzt werden, die aus Sprühdüsen oberhalb oder unterhalb der Transportebene austritt. Die Sprühdüsen sitzen in der Regel zu mehreren an einer Mehrzahl von Düsenrohren, die in der Transportrichtung aufeinanderfolgend angeordnet sind und sich jeweils quer zur Transportrich-A device of this type is, for example, known from the German utility model G 94 07 413.5 and is used primarily for the etching treatment of circuit boards in the context of circuit board production. The appropriately prepared circuit boards are transported through the treatment room with the aid of a suitable transport device, where they are subjected to a spray treatment, for example with an etching liquid, which emerges from spray nozzles above or below the transport level. The spray nozzles are usually located in several parts on a plurality of nozzle tubes, which are arranged one after the other in the transport direction and are each arranged transversely to the transport direction.

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tung erstrecken. Auch bei einem Ätzvorgang nachfolgenden Behandlungen, beispielsweise bei Spülbehandlungen, kann eine solche Vorrichtung eingesetzt werden.Such a device can also be used in treatments following an etching process, for example in rinsing treatments.

Treten im Betrieb der Vorrichtung Funktionsstörungen auf, die auf Verschmutzung oder Verstopfung der Sprühdüsen zurückzuführen sind, muss die Vorrichtung stillgelegt werden, damit die Sprühdüsen gereinigt werden können. Der damit zusammenhängende vorrübergehende Ausbau der Sprühdüsen ist relativ umständlich und auch nicht eben angenehm, da im Innern des Behandlungsraumes hantiert werden muss. Nach Kenntnis der Anmelderin existieren daher bereit Vorrichtungen, bei denen sämtliche Sprüheinheiten in einem schubladenartigen Einsatz zusammengefaßt sind, der zu Wartungszwecken herausgezogen werden kann, um die Zugänglichkeit zu verbessern. Gleichwohl ist auch hier problematisch, dass bei den Wartungsarbeiten eine relativ große Öffnung zum Behandlungsraum freigegeben wird, aus der Chemikaliendämpfe austreten können. Überdies ist der mit einer solchen Bauform verbundene konstruktive Aufwand relativ groß und verteuert den Aufbau der Anlage.If malfunctions occur during operation of the device due to soiling or blockage of the spray nozzles, the device must be shut down so that the spray nozzles can be cleaned. The associated temporary removal of the spray nozzles is relatively complicated and not particularly pleasant, as work has to be carried out inside the treatment room. To the applicant's knowledge, devices already exist in which all spray units are combined in a drawer-like insert that can be pulled out for maintenance purposes in order to improve accessibility. However, this also poses a problem in that maintenance work opens up a relatively large opening to the treatment room, from which chemical vapors can escape. In addition, the construction effort associated with such a design is relatively high and makes the installation of the system more expensive.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art zu,schaffen, die eine einfachere, umweltfreundlichere Wartung der Sprühdüsen gestattet.It is the object of the present invention to provide a device of the type mentioned above which allows simpler, more environmentally friendly maintenance of the spray nozzles.

Zur Lösung dieser Aufgabe ist vorgesehen, dass das Düsenrohr einer jeweiligen Sprüheinheit Bestandteil eines lösbar eingesetzten länglichen Düsenträgers ist, der mit seinem vorderenTo solve this problem, it is intended that the nozzle tube of each spray unit is part of a detachably inserted elongated nozzle carrier, which with its front

Endbereich voraus durch eine Installationsöffnung der Seitenwand hindurch in den Behandlungsraum hineinragt und dessen außerhalb des Behandlungsraumes liegender rückwärtiger Endbereich eine Handhabe für sein Einsetzen und/oder Entnehmen unabhängig von den Düsenträgern der anderen Sprüheinheiten aufweist. End area projects forward through an installation opening in the side wall into the treatment room and the rear end area outside the treatment room has a handle for its insertion and/or removal independently of the nozzle carriers of the other spray units.

Innerhalb der einzelnen Sprüheinheiten sind nun die Sprühdüsen mit dem zugeordneten Düsenrohr zu einer als Düsenträger be2eichneten Baueinheit zusammengefaßt, die sich bei jeder Sprüheinheit, unabhängig von den anderen Sprüheinheiten, nach Bedarf einsetzen oder entnehmen lässt. Tritt also beispielsweise lediglich an den Düsen eines Düsenrohres eine Verstopfung auf, genügt es, den speziellen Düsenträger zu Reinigungszwecken zu entnehmen, wobei die übrigen Düsenträger an Ort und Stelle verbleiben können. Die Handhabung ist folglich sehr einfach und auch die bei entnommenem Düsenträger freigelegte Installationsöffnung kann relativ klein gehalten werden, so dass der Austritt von Chemikaliendämpfen beschränkt ist. Eine solche kleine Öffnung kann auch leicht vorrübergehend abgedeckt werden. Die Installation und Deinstallation des Düsenträgers kann bequem von einer Seite der Vorrichtung her erfolgen, wobei die rückseitig vorgesehene, im installierten Zustand außerhalb des Behandlungsraumes liegende Handhabe ein bequemes Handhaben zum Herausziehen bzw. Einführen gestattet.Within the individual spray units, the spray nozzles are combined with the associated nozzle pipe to form a structural unit called a nozzle carrier, which can be inserted or removed as required in each spray unit, independently of the other spray units. If, for example, a blockage occurs in only the nozzles of one nozzle pipe, it is sufficient to remove the special nozzle carrier for cleaning purposes, while the other nozzle carriers can remain in place. Handling is therefore very simple and the installation opening exposed when the nozzle carrier is removed can also be kept relatively small, so that the escape of chemical vapors is limited. Such a small opening can also easily be temporarily covered. The nozzle carrier can be installed and uninstalled conveniently from one side of the device, with the handle provided on the back, which lies outside the treatment area when installed, allowing convenient handling for pulling it out or inserting it.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen hervor.Advantageous further developments of the invention emerge from the subclaims.

Es ist zweckmäßig, wenn der Düsenträger die zugeordnete Installationsöffnung unter Abdichtung durchgreift. Zur Abdichtung kann beispielsweise ein einfacher Dichtungsring, insbesondere ein O-Ring vorgesehen werden.It is useful if the nozzle carrier passes through the associated installation opening and is sealed. A simple sealing ring, in particular an O-ring, can be used for sealing.

Ein exakter Einbau ist möglich, wenn an der Installationsöffnung eine fest mit der Seitenwand verbundene Zentrierbuchse vorgesehen ist, in die der installierte Düsenträger mit einem Zentrierkörper passend eintauchen kann.Precise installation is possible if a centering bushing is provided at the installation opening, which is firmly connected to the side wall and into which the installed nozzle carrier with a centering body can be inserted.

Im Bereich der Installationsöffnung können im übrigen gehäusefeste erste Befestigungsmittel vorgesehen sein, die mit am rückwärtigen Endbereich des Düsenträgers vorgesehenen zweiten Befestigungsmitteln zusammenwirken können, beispielsweise um den eingesetzten Düsenträger am rückwärtigen Endbereich zu fixieren und/oder um eine Dichtung zu beaufschlagen. Bevorzugt sind die zweiten Befestigungsmittel von einer relativ zu dem das Düsenrohr enthaltenden Hauptteil des Düsenträgers verdrehbaren Überwurfmutter gebildet, die mit einem Gegenstück der gehäuseseitigen ersten Befestigungsmittel gekoppelt werden kann, beispielsweise durch Verschrauben. Ein zwischen der Überwurfmutter und dem Gegenstück plazierter Dichtungsring kann zum einen zur Abdichtung und zum anderen, aufgrund seiner Verformung, zur reibschlüssigen Fixierung des Hauptteils des Düsenträgers dienen.In the area of the installation opening, first fastening means fixed to the housing can also be provided, which can interact with second fastening means provided on the rear end area of the nozzle carrier, for example to fix the inserted nozzle carrier to the rear end area and/or to apply a seal. The second fastening means are preferably formed by a union nut that can be rotated relative to the main part of the nozzle carrier containing the nozzle tube, which can be coupled to a counterpart of the first fastening means on the housing side, for example by screwing. A sealing ring placed between the union nut and the counterpart can serve on the one hand for sealing and on the other hand, due to its deformation, for frictionally locking the main part of the nozzle carrier.

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Die rückseitige Handhabe ist in einem sehr einfachen Ausführungsbeispiel als einfacher axialer Handhabungsvorsprung ausgebildet, der umfangsseitig über eine Riffelung oder Rändelung verfügen kann, um ein sicheres Ergreifen zu ermöglichen.In a very simple embodiment, the rear handle is designed as a simple axial handling projection, which can have a groove or knurling on the circumference to enable secure gripping.

Es wäre zwar prinzipiell möglich, den Düsenträger am vorderen Endbereich innerhalb des Behandlungsraumes frei endend auszuführen. Um im eingesetzten Zustand eine stabile Befestigung zu erhalten, verfügt jedoch jede Sprüheinheit zweckmäßigerweise über eine Kupplungseinrichtung zum lösbaren mechanischen fixieren des vorderen Endbereiches des Düsenträgers an dem der Installationsöffnung gegenüberliegenden Seitenwandabschnitt des Behandlungsraumes. Beim Einsetzen wird der Düsenträger mit dem vorderen Endbereich voraus durch die Installationsöffnung hindurch in den Behandlungsraum eingeführt und soweit eingesteckt, bis die Kupplungseinrichtung wirksam werden kann. Die Kupplungseinrichtung basiert vorzugsweise auf einem Steck-Dreh-Verbindungsprinzip, insbesondere nach Art eines sogenannten Bajonettverschlusses. Auf diese Weise ist ein rasches Herstellen und Lösen der Kupplungsverbindung möglich. In principle, it would be possible to make the nozzle carrier freely ending at the front end area within the treatment chamber. In order to ensure stable fastening when installed, each spray unit expediently has a coupling device for releasably mechanically fixing the front end area of the nozzle carrier to the side wall section of the treatment chamber opposite the installation opening. When installing, the nozzle carrier is inserted with the front end area first through the installation opening into the treatment chamber and inserted until the coupling device can become effective. The coupling device is preferably based on a plug-and-turn connection principle, in particular in the manner of a so-called bayonet lock. In this way, the coupling connection can be quickly established and released.

Die Speisung eines jeweiligen Düsenrohres mit dem für die Sprühbehandlung vorgesehenen flüssigen Behandlungsmedium erfolgt zweckmäßigerweise vom vorderen Endbereich her. Dort kann der Düsenträger über eine geeignete Einspeiseöffnung verfügen.The supply of the liquid treatment medium intended for the spray treatment to each nozzle pipe is preferably carried out from the front end area. The nozzle carrier can have a suitable feed opening there.

Von Vorteil ist es, wenn die Kupplungseinrichtung nicht nur dem mechanischen Fixieren des Düsenträgers dient, sondern gleichzeitig auch zum lösbaren Herstellen einer dichten FIuidverbindung zwischen dem Düsenrohr und einem gehäusefesten Einspeisekanal. Dadurch wird beim Lösen der Kupplung zum Zwecke des Ausbaues des Düsenträgers gleichzeitig auch die FIuidverbindung getrennt, ohne dass es hierzu eines gesonderten Handhabungsvorganges bedürfte. Das Herstellen und Trennen der mechanischen und der fluidischen Verbindung kann also mit einem einzigen Vorgang zeitsparend stattfinden.It is advantageous if the coupling device not only serves to mechanically fix the nozzle carrier, but also to detachably create a tight fluid connection between the nozzle pipe and a feed channel fixed to the housing. This means that when the coupling is released to remove the nozzle carrier, the fluid connection is also separated at the same time, without the need for a separate handling process. The mechanical and fluid connections can therefore be established and separated in a single process, saving time.

Die mit den Handhaben ausgestatteten rückwärtigen Endbereiche sämtlicher Düsenträger befinden sich zweckmäßigerweise in einem dem Behandlungsraum insbesondere seitlich vorgelagerten Revisionsraum. Dieser ist zur Vornahme der Wartungsarbeiten durch eine geeignet gestaltete Revisionsöffnung zugänglich, die normalerweise durch einen Deckel verschlossen ist. Der Deckel ist zweckmäßigerweise wegschwenkbar, um die Handhabungsbereiche der einzelnen Düsenträger zugänglich zu machen.The rear end areas of all nozzle carriers equipped with the handles are conveniently located in an inspection room, particularly at the side in front of the treatment room. This is accessible for carrying out maintenance work through a suitably designed inspection opening, which is normally closed with a cover. The cover can conveniently be swung away to make the handling areas of the individual nozzle carriers accessible.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnung näher erläutert. In dieser zeigen·.The invention is explained in more detail below with reference to the accompanying drawing. In this drawing:·.

Figur 1 in schematischer Darstellungen einen Querschnitt durch eine erste mögliche Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung,Figure 1 shows a schematic cross section through a first possible embodiment of the device according to the invention,

Figur 2 einen Ausschnitt der Vorrichtung aus Figur 1 in einer Seitenansicht mit Blickrichtung gemäß Pfeil II,Figure 2 shows a section of the device from Figure 1 in a side view looking in the direction of arrow II,

Figur 3 eine vergrößerte Teildarstellung der in Figur 1 gezeigten Vorrichtung im Bereich einer Sprüheinheit im eingesetzten Zustand des zugeordneten Düsenträgers , undFigure 3 is an enlarged partial view of the device shown in Figure 1 in the area of a spray unit in the inserted state of the associated nozzle carrier, and

Figur 4 die Anordnung aus Figur 3 bei teilweise entnommenem Düsenträger und entsprechend gelöster Kupplungsverbindung .Figure 4 shows the arrangement from Figure 3 with the nozzle carrier partially removed and the coupling connection correspondingly released.

Die in der Zeichnung allgemein mit Bezugsziffer 1 bezeichnete Behandlungsvorrichtung ist zur Sprühbehandlung von Leiterplatten bei der Leiterplattenfertigung vorgesehen. Sie kann beispielsweise zur Ätzbehandlung, zur Entwicklungsbehandlung und/oder zur Spülbehandlung von Leiterplatten eingesetzt werden. The treatment device generally designated with reference number 1 in the drawing is intended for the spray treatment of circuit boards during circuit board production. It can be used, for example, for the etching treatment, the development treatment and/or the rinsing treatment of circuit boards.

Die Behandlungsvorrichtung stellt zweckmäßigerweise eine modulartige Einheit dar, die sich mit anderen, bei der Leiterplattenfertigung zu verwendenden Arbeitsmodulen zu einer Anlage mit unterschiedlichen Anforderungen kombinieren lässt.The treatment device conveniently represents a modular unit that can be combined with other work modules to be used in printed circuit board production to form a system with different requirements.

Die Behandlungsvorrichtung 1 verfügt über ein allgemein mit Bezugsziffer 3 bezeichnetes Gehäuse, das im Innern einen Behandlungsraum 4 definiert. Zu behandelnde Leiterplatten 2 werden in einer durch Pfeile angedeuteten Transportrichtung 5The treatment device 1 has a housing, generally designated with reference number 3, which defines a treatment chamber 4 inside. Circuit boards 2 to be treated are transported in a direction 5 indicated by arrows

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durch den Behandlungsraum 4 hindurchtransportiert. Geeignete Transportmittel 6 definieren dabei eine sich horizontal erstreckende Transportebene 7, die von den Leiterplatten 2 mit ebenfalls horizontal ausgerichteter Leiterplattenebene in der Transportrichtung 5 aufeinanderfolgend durchlaufen wird.transported through the treatment room 4. Suitable transport means 6 define a horizontally extending transport plane 7, through which the circuit boards 2, also with a horizontally aligned circuit board plane, pass one after the other in the transport direction 5.

Beim Ausführungsbeispiel verfügen die Transportmittel 6 über untere Transportrollen 8, die vergleichbar einer Rollenbahn verteilt und ausgerichtet sein können und die zumindest partiell drehangetrieben sind, um die auf ihnen liegenden Leiterplatten 2 durch Reibschluß vorwärts zu bewegen. Während des Hindurchlaufens durch den Behandlungsraum 4 liegen die Leiterplatten 2 mit ihrer flächigen Unterseite von oben her auf den unteren Transport rollen 8 auf und werden durch diese horizontal verlagert.In the exemplary embodiment, the transport means 6 have lower transport rollers 8, which can be distributed and aligned in a similar way to a roller conveyor and which are at least partially rotationally driven in order to move the circuit boards 2 lying on them forwards by friction. As they pass through the treatment room 4, the circuit boards 2 rest with their flat undersides on the lower transport rollers 8 from above and are displaced horizontally by them.

Bei Bedarf können die Transportmittel 6 zusätzlich über obere Transportrollen 12 verfügen, die oberhalb der Transportebene 7 entlang der Transportrichtung 5 verteilt sind und die auf der vertikal nach oben orientierten Oberseite der den Behandlungsraum 4 durchlaufenden Leiterplatten abrollen können. Diese oberen Transportrollen haben insbesondere die Funktion von Niederhaltern zum Fixieren der Leiterplatten 2, wenn diese von unten her angesprüht werden.If required, the transport means 6 can additionally have upper transport rollers 12, which are distributed above the transport plane 7 along the transport direction 5 and which can roll on the vertically upwardly oriented upper side of the circuit boards passing through the treatment room 4. These upper transport rollers have in particular the function of hold-down devices for fixing the circuit boards 2 when they are sprayed from below.

Beim Hindurchlaufen durch den Behandlungsraum 4 werden die Leiterplatten 2 mit einem flüssigen Behandlungsmedium besprüht. Im Falle einer Ätzbehandlung kann eine ÄtzflüssigkeitWhen passing through the treatment chamber 4, the circuit boards 2 are sprayed with a liquid treatment medium. In the case of an etching treatment, an etching liquid

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zum Einsatz kommen, die auf Kupferchlorid oder auf einem alkalischen Mittel basiert. Die Ätzflüssigkeit ätzt auf an sich bekannte Weise die nicht benötigten Kupferschichtanteile von den Leiterplatten-Oberflächen weg, so dass nur noch die für eine elektronische Schaltung benötigten Leiterbahnen verbleiben. Bei anderen Behandlungsarten werden entsprechend andere flüssige Behandlungsmedien verwendet.which is based on copper chloride or an alkaline agent. The etching liquid etches away the unnecessary copper layer portions from the circuit board surfaces in a known manner, so that only the conductor tracks required for an electronic circuit remain. For other types of treatment, other liquid treatment media are used accordingly.

Es sind Sprühbehandlungen möglich, bei denen entweder nur die Oberseite oder nur die Unterseite der Leiterplatten besprüht werden. Beim Ausführungsbeispiel ist ein Besprühen von sowohl der Oberseite als auch der Unterseite vorgesehen. Entsprechende Sprühstrahlen 14 gehen von einer Vielzahl stationärer Sprühdüsen 15 aus, die innerhalb des Behandlungsraumes 4 in einer gewünschten Verteilung oberhalb und unterhalb der von den Leiterplatten durchlaufenen Transportebene 7 plaziert sind.Spray treatments are possible in which either only the top or only the bottom of the circuit boards are sprayed. In the embodiment, spraying of both the top and the bottom is provided. Corresponding spray jets 14 emanate from a large number of stationary spray nozzles 15, which are placed within the treatment room 4 in a desired distribution above and below the transport plane 7 through which the circuit boards pass.

Zweckmäßigerweise sind jeweils mehrere Sprühdüsen 15 in einer Sprüheinheit 16 zusammengefasst. Diese Sprüheinheiten 16 haben eine längliche Gestalt und sind so angeordnet, dass ihre Längsachsen 13 parallel zur Transportebene 7 und zugleich rechtwinkelig zur Transportrichtung 5 verlaufen. Oberhalb und unterhalb der Transportebene 7, jeweils mit vertikalem Abstand zu den hindurchlaufenden Leiterplatten, befinden sich jeweils mehrere Sprüheinheiten 16, die in der Transportrichtung 5 mit Abstand aufeinanderfolgend angeordnet sind. DieseExpediently, several spray nozzles 15 are combined in a spray unit 16. These spray units 16 have an elongated shape and are arranged so that their longitudinal axes 13 run parallel to the transport plane 7 and at the same time at right angles to the transport direction 5. Above and below the transport plane 7, each with a vertical distance to the circuit boards passing through, there are several spray units 16, which are arranged one after the other at a distance in the transport direction 5. These

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Art der Aufreihung wird insbesondere auch aus Figur 2 deutlich. The type of arrangement is particularly clear from Figure 2.

Der Behandlungsraum 4 wird ringsum von einer Seitenwand 17 begrenzt. Die Seitenwand 17 verfügt über - bezogen auf die Transportrichtung 5 - vordere und rückwärtige Seitenwandabschnitte sowie über zwei sich rechtwinkelig zur Transportrichtung 5 gegenüberliegende seitliche Seitenwandabschnitte 17a, 17b. Die Seitenwand 17 bildet zusammen mit einer Bodenwand 18 ein wannenartiges Gefäß, das oben durch einen abnehmbaren oder aufklappbaren Deckel 22 verschlossen ist und gemeinsam mit diesem den schon erwähnten Behandlungsraum 4 begrenzt .The treatment chamber 4 is delimited all around by a side wall 17. The side wall 17 has - in relation to the transport direction 5 - front and rear side wall sections as well as two lateral side wall sections 17a, 17b that are opposite one another at right angles to the transport direction 5. The side wall 17, together with a base wall 18, forms a tub-like vessel that is closed at the top by a removable or hinged lid 22 and together with this delimits the aforementioned treatment chamber 4.

Beim Ausführungsbeispiel ist in dem Behandlungsraum 4 unterhalb der Sprüheinheiten 16 und mit Abstand oberhalb der Bodenwand 18 ein Zwischenboden 19 eingesetzt, der bei Bedarf entnommen werden kann. Es ist auch möglich, an Stelle des Zwischenbodens 19 unmittelbar die Bodenwand 18 vorzusehen.In the embodiment, an intermediate floor 19 is installed in the treatment room 4 below the spray units 16 and at a distance above the floor wall 18, which can be removed if necessary. It is also possible to provide the floor wall 18 directly instead of the intermediate floor 19.

Aus den Sprühdüsen 15 ausgesprühtes Behandlungsmedium sammelt sich im unteren Bereich des Behandlungsraumes 4 und wird von dort, erforderlichenfalls nach vorheriger Aufbereitung, mittels einer Pumpeinrichtung 23 den Sprühdüsen 15 erneut zugeführt. Es liegt also zweckmäßigerweise in Bezug auf die Behandlungsflüssigkeit ein Kreislaufbetrieb vor, wobei lediglich geringfügige Fremdeinspeisungen erforderlich sind, umTreatment medium sprayed out of the spray nozzles 15 collects in the lower area of the treatment chamber 4 and is fed from there, if necessary after prior processing, to the spray nozzles 15 again by means of a pump device 23. In relation to the treatment liquid, there is therefore expediently a circulatory operation, with only minor external feeds being necessary in order to

Verluste auszugleichen und die Chemikalienkonzentration auf dem gewünschten Niveau zu halten.To compensate for losses and maintain the chemical concentration at the desired level.

Wie aus Figuren 3 und 4 näher hervorgeht, die jeweils eine der Sprüheinheiten 16 in Einzeldarstellung zeigen, enthält eine jeweilige Sprüheinheit 16 ein sich linear erstreckendes Düsenrohr 24, an dem, in Längsrichtung verteilt, mehrere Sprühdüsen 15 angeordnet sind. Letztere sind beispielsweise durch Bajonettverschlüsse an rohrstutzenartigen Rohrabzweigen fixiert. Die Längsrichtung des Düsenrohres 24 fällt mit der Längsrichtung 13 der Sprüheinheit 16 zusammen.As can be seen in more detail from Figures 3 and 4, which each show one of the spray units 16 in an individual representation, each spray unit 16 contains a linearly extending nozzle tube 24 on which several spray nozzles 15 are arranged, distributed in the longitudinal direction. The latter are fixed, for example, by bayonet locks to pipe socket-like pipe branches. The longitudinal direction of the nozzle tube 24 coincides with the longitudinal direction 13 of the spray unit 16.

Das Düsenrohr 24 ist ein fester Bestandteil einer langgestreckten Baueinheit, die als Düsenträger 25 bezeichnet sei. Dieser Düsenträger 25 ist eine einheitlich handhabbare Komponente. The nozzle tube 24 is an integral part of an elongated structural unit, which is referred to as nozzle carrier 25. This nozzle carrier 25 is a uniformly handled component.

Der Düsenträger 25 besitzt einen vorderen Endbereich 26 und einen axial entgegengesetzten rückwärtigen Endbereich 27. Am rückwärtigen Endbereich 27 befindet sich eine Handhabe 28, an der sich der Düsenträger 25 mit einer oder beiden Händen ergreifen lässt, um ihn in einer gewünschten Weise manuell handzuhaben.The nozzle carrier 25 has a front end region 26 and an axially opposite rear end region 27. At the rear end region 27 there is a handle 28 by which the nozzle carrier 25 can be grasped with one or both hands in order to handle it manually in a desired manner.

Die erwähnte Handhabung besteht insbesondere in einem Einsetzen oder Entnehmen des Düsenträgers 25 in die bzw. aus der aus Figuren 1 und 3 hervorgehenden betriebsbereiten Arbeitsposition. Da die Düsenträger 25 sämtlicher Sprüheinheiten 16The mentioned handling consists in particular in inserting or removing the nozzle carrier 25 into or from the operational working position shown in Figures 1 and 3. Since the nozzle carriers 25 of all spray units 16

getrennt voneinander ausgebildet sind und nicht zusammenhängen, können Sie problemlos unabhängig voneinander gehandhabt werden. Man hat auf diese Weise beispielsweise die Möglichkeit, einen Düsenträger 25 vorübergehend zu entnehmen, um verstopfte Sprühdüsen 15 zu reinigen. Auch ist problemlos ein individueller Austausch einzelnen Düsenträger 25 möglich. Auf diese Weise kann die Vorrichtung mit minimalen Stillstandszeiten rasch umgerüstet werden.are designed separately from one another and are not connected, they can be handled independently of one another without any problem. In this way, for example, it is possible to temporarily remove a nozzle carrier 25 in order to clean clogged spray nozzles 15. Individual nozzle carriers 25 can also be easily replaced. In this way, the device can be quickly converted with minimal downtime.

Der eine, erste seitliche Seitenwandabschnitt 17a ist im Bereich einer jeweiligen Sprüheinheit 16 mit einer Installationsöffnung 32 versehen. Diese ermöglicht einen Durchgriff durch die Seitenwand 17 von außen her in den Behandlungsraum 4 hinein. Durch diese Installationsöffnung 32 hindurch ragt der Düsenträger 25, mit seinem vorderen Endbereich 26 voraus, in den Behandlungsraum 4 hinein. Bei Einnahme der in Figur gezeigten Arbeitsposition ist der Düsenträger 25 an seinem vorderen Endbereich 26 zweckmäßigerweise mechanisch an der der Installationsöffnung 32 gegenüberliegenden Stelle am anderen, zweiten seitlichen Seitenwandabschnitt 17b fixiert. Dies geschieht mit Hilfe einer später noch zu erläuternden Kupplungseinrichtung 33.The first lateral side wall section 17a is provided with an installation opening 32 in the area of a respective spray unit 16. This allows access through the side wall 17 from the outside into the treatment chamber 4. The nozzle carrier 25 projects through this installation opening 32 into the treatment chamber 4 with its front end region 26 leading. When the working position shown in the figure is assumed, the nozzle carrier 25 is expediently mechanically fixed at its front end region 26 at the point opposite the installation opening 32 on the other, second lateral side wall section 17b. This is done with the aid of a coupling device 33 to be explained later.

Der rückwärtige Endbereich 27 ist am ersten seitlichen Seitenwandabschnitt 17a in Querrichtung abgestützt und insbesondere zentriert, so dass sich eine stabile Lage einstellt. Zugleich befindet sich die Handhabe 28 außerhalb des Behandlungsraumes 4, insbesondere in einem als Revisionsraum 34 be-The rear end region 27 is supported on the first lateral side wall section 17a in the transverse direction and in particular is centered so that a stable position is established. At the same time, the handle 28 is located outside the treatment room 4, in particular in a room known as an inspection room 34.

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zeichneten Gehäuseraum, der dem Behandlungsraum 4 seitlich, auf der entgegengesetzten Seite des ersten seitlichen Seitenwandabschnittes 17a, vorgelagert ist.drawn housing space, which is arranged laterally in front of the treatment chamber 4, on the opposite side of the first lateral side wall section 17a.

Bei Einnahme der Arbeitsposition gemäß Figuren 1 und 3 ragen die Düsenträger 25 mit ihren die Handhabe 28 aufweisenden rückwärtigen Endbereichen 27 ausgehend von der Seitenwand 17 in den Revisionsraum 34 hinein. Dieser ist zweckmäßigerweise ringsum verschlossen und dadurch vor unbefugten Zugriffen geschützt. Gleichwohl ist bei Bedarf ein bequemer Zugang und Zugriff möglich, indem eine Revisionsöffnung 35 vorgesehen ist, die von einem entfernbaren Deckel 36 verschlossen wird. Der Deckel 36 ist zweckmäßigerweise schwenkbar am Gehäuse 3 gelagert, so dass er gemäß Doppelpfeil 3 7 verschwenkt werden kann, um die Revisionsöffnung 35 nach Bedarf freizugeben oder zu verschließen.When the working position is assumed according to Figures 1 and 3, the nozzle carriers 25 with their rear end areas 27, which have the handle 28, protrude from the side wall 17 into the inspection chamber 34. This is expediently closed all around and thus protected from unauthorized access. Nevertheless, convenient access is possible if required by providing an inspection opening 35 which is closed by a removable cover 36. The cover 36 is expediently pivotally mounted on the housing 3 so that it can be pivoted according to the double arrow 3 7 in order to open or close the inspection opening 35 as required.

Die Gestaltung des Deckels 36 ist insbesondere so gewählt, dass er im geöffneten Zustand einen gleichzeitigen Zugriff zu sämtlichen Handhaben 28 der Düsenträger 25 gestattet.The design of the cover 36 is in particular chosen such that, when opened, it allows simultaneous access to all handles 28 of the nozzle carriers 25.

In diesem Zusammenhang ist auch vorteilhaft, wenn die Sprüheinheiten 16 so angeordnet sind, dass die Handhaben 28 sämtlicher Düsenträger 2 5 auf der gleichen Außenseite des Behandlungsraumes 4 plaziert sind und sich insbesondere in ein und demselben Revisionsraum 34 befinden.In this context, it is also advantageous if the spray units 16 are arranged such that the handles 28 of all nozzle carriers 25 are placed on the same outside of the treatment room 4 and are in particular located in one and the same inspection room 34.

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Beim Ausführungsbeispiel ist an der jeweiligen Installationsöffnung eine fest mit der Seitenwand 17, 17a verbundene Zentrierbuchse 3 8 vorgesehen. Sie ist koaxial zur Installations öffnung 32 angeordnet, die sie von außen her zumindest teilweise durchgreift. Der größte Teil der Zentrierbuchse 3 8 ragt zweckmäßigerweise nach außen, vom Behandlungsraum 4 weg. Zwischen der Zentrierbuchse 3 8 und der Seitenwand 17 liegt eine dichte Verbindung vor, beispielsweise durch Verkleben oder Verschweißen.In the embodiment, a centering bush 38 is provided at the respective installation opening, which is firmly connected to the side wall 17, 17a. It is arranged coaxially to the installation opening 32, which it at least partially passes through from the outside. The largest part of the centering bush 38 expediently projects outwards, away from the treatment chamber 4. There is a tight connection between the centering bush 38 and the side wall 17, for example by gluing or welding.

Der Düsenträger 25 verfügt über eine erste, starre Komponente, die als Hauptteil 42 bezeichnet sei. Dieses Hauptteil 42 umfasst das Düsenrohr 24 mit den Sprühdüsen 15, ein am vorderen Ende angesetztes Kupplungsstück 43 der Kupplungseinrichtung 3 3 und einen am rückwärtigen, äußeren Ende des Düsenrohres 24 befestigten Abschlußkörper 44.The nozzle carrier 25 has a first, rigid component, which is referred to as the main part 42. This main part 42 comprises the nozzle tube 24 with the spray nozzles 15, a coupling piece 43 of the coupling device 33 attached to the front end and a closure body 44 attached to the rear, outer end of the nozzle tube 24.

Der Abschlußkörper 44 enthält, insbesondere in einstückiger Bauweise, einen Zentrierkörper 45. Dessen Außenumfang ist auf die Innenkontur der Zentrierbuchse 38 abgestimmt und wie diese, zweckmäßigerweise, zylindrisch.The closure body 44 contains, in particular in a one-piece construction, a centering body 45. Its outer circumference is matched to the inner contour of the centering bush 38 and, like the latter, is expediently cylindrical.

Der Abschlußkörper 44 bildet zweckmäßigerweise auch gleichzeitig die Handhabe 28. Diese ist beim Ausführungsbeispiel von einem an der dem Düsenrohr 24 entgegengesetzten Axialseite angeformten Handhabungsvorsprung 46 gebildet, der insbesondere mit einer umlaufenden Riffelung oder Rändelung verse-The closure body 44 expediently also forms the handle 28 at the same time. In the embodiment, this is formed by a handling projection 46 formed on the axial side opposite the nozzle tube 24, which is provided in particular with a circumferential corrugation or knurling.

hen ist, um ein sicheres Ergreifen mit einer Hand zu erleichtern. to facilitate safe gripping with one hand.

Der Abschlußkörper 44 ist unter Abdichtung fest mit dem Düsenrohr 24 verbunden. Letzteres ist auf diese Weise an seinem rückwärtigen Endbereich dicht verschlossen. Es kann sich beispielsweise um eine Klebe- oder Schweißverbindung handeln.The closure body 44 is firmly connected to the nozzle tube 24 in a sealed manner. The latter is thus tightly closed at its rear end area. This can be an adhesive or welded connection, for example.

Der Düsenträger 25 wird bei seiner Installation mit seinem Kupplungsstück 43 voraus von außen her durch die Zentrierbuchse 38 hindurchgeführt. Er wird soweit eingeschoben bzw. eingesteckt, bis das vorauseilende Kupplungsstück 4 3 mit einem Kupplungsgegenstück 47 der Kupplungseinrichtung 33 in Eingriff gelangt, das gegenüberliegend der Installationsöffnung 32 am zweiten seitlichen Seitenwandabschnitt 17b befestigt ist, beispielsweise durch Anschweißen oder Ankleben. Bevorzugt ist das Kupplungsgegenstück 47 in eine die Seitenwand 17, 17b durchdringende Montageöffnung 48 eingesetzt und ragt sowohl nach innen in den Behandlungsraum 4, als auch nach außen. During installation, the nozzle carrier 25 is guided through the centering bushing 38 with its coupling piece 43 leading from the outside. It is pushed or inserted until the leading coupling piece 43 engages with a coupling counterpart 47 of the coupling device 33, which is attached to the second lateral side wall section 17b opposite the installation opening 32, for example by welding or gluing. The coupling counterpart 47 is preferably inserted into an assembly opening 48 penetrating the side wall 17, 17b and projects both inwards into the treatment chamber 4 and outwards.

Gegen Ende des Einsteckvorganges des Düsenträgers 2 5 taucht der Zentrierkörper 25 in die Zentrierbuchse 3 8 ein und wird darin zentriert. Durch eine Schrägfläche 52 an der Zentrierbuchse 38 wird das Einfädeln erleichtert. Im komplett eingeschobenen Zustand ist der Düsenträger 25 zum einen über die Kupplungseinrichtung 33 und zum anderen über den in die Zentrierbuchse 38 eingreifenden Zentrierkörper 45 fixiert.Towards the end of the insertion process of the nozzle carrier 25, the centering body 25 dips into the centering bushing 38 and is centered therein. An inclined surface 52 on the centering bushing 38 makes threading easier. In the completely inserted state, the nozzle carrier 25 is fixed on the one hand via the coupling device 33 and on the other hand via the centering body 45 engaging in the centering bushing 38.

Die Zentrierung 38, 45 dient nur zur Vorgabe der Querposition. Die Axialposition des Düsenträgers 25 wird zumindest annähernd ausschließlich durch die Kupplungseinrichtung 33 gewährleistet. The centering 38, 45 serves only to specify the transverse position. The axial position of the nozzle carrier 25 is ensured at least approximately exclusively by the coupling device 33.

Bevorzugt ist die Kupplungseinrichtung 3 3 als Steck-Dreh-Kupplung ausgebildet. Beim Ausführungsbeispiel basiert ihr Wirkungsprinzip auf demjenigen sogenannter Bajonettverschlüsse. Preferably, the coupling device 3 3 is designed as a plug-in rotary coupling. In the embodiment, its operating principle is based on that of so-called bayonet locks.

Das Kupplungsstück 43 hat beispielsweise eine axial zum freien Ende hin offene Zentrierausnehmung 53, in die beim Kupplungsvorgang ein mit komplementärer Außenkontur versehener Zentriervorsprung 54 des Kupplungsgegenstückes 47 eintaucht. Im Bereich der Zentrierausnehmung 53 ist das Kupplungsstück 43 mit zwei sich diametral gegenüberliegenden Kupplungsschlitzen 55 ausgestattet, die jeweils zum Kupplungsgegenstück 47 hin offen sind und sich ausgehend von dieser Öffnung zunächst axial und dann auch in Umfangsrichtung des Kupplungsstückes 43 erstrecken.The coupling piece 43 has, for example, a centering recess 53 that is open axially towards the free end, into which a centering projection 54 of the coupling counterpart 47, provided with a complementary outer contour, is inserted during the coupling process. In the area of the centering recess 53, the coupling piece 43 is equipped with two diametrically opposed coupling slots 55, each of which is open towards the coupling counterpart 47 and, starting from this opening, extends initially axially and then also in the circumferential direction of the coupling piece 43.

Am Kupplungsgegenstück 47 befindet sich, im Bereich des Außenumfanges des Zentriervorsprunges 54, eine der Anzahl der Kupplungsschlitze 55 entsprechende Anzahl von Kupplungsvorsprüngen 56 in einer den Kupplungsschlitzen 55 entsprechenden Umfangsverteilung. Die beim Ausführungsbeispiel folglich vorhandenen zwei Kupplungsvorsprünge 56 können von den Endab-On the coupling counterpart 47, in the area of the outer circumference of the centering projection 54, there is a number of coupling projections 56 corresponding to the number of coupling slots 55 in a circumferential distribution corresponding to the coupling slots 55. The two coupling projections 56 thus present in the embodiment can be

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schnitten eines den Zentriervorsprung 54 durchsetzenden Kupplungsstiftes 57 gebildet sein.sections of a coupling pin 57 penetrating the centering projection 54.

Es versteht sich, dass die Anzahl der Kupplungsschlitze 55 und Kupplungsvorsprünge 56 auch anders gewählt werden kann.It is understood that the number of coupling slots 55 and coupling projections 56 can also be selected differently.

Beim Einführen des Düsenträgers 25 taucht der Zentriervorsprung 54 in die Zentrierausnehmung 53 des KupplungsStückes 43 ein. Dabei werden gleichzeitig die Kupplungsschlitze 55 mit ihren stirnseitigen Endabschnitten über die Kupplungsvorsprünge 56 geschoben. Noch beim Einschieben oder im Anschluss daran wird der gesamte Düsenträger 25 um seine Längsachse verdreht - dies geschieht zweckmäßigerweise durch manuelles Einleiten eines geeigneten Drehmomentes an der Handhabe 28 -, so dass die Kupplungsvorsprünge 56 von den querverlaufenden Schlitz-Längenabschnitten der Kupplungsschlitze 55 hintergriffen werden und dadurch das Kupplungsstück 43 mit dem Kupplungsgegenstück 47 axial fest verspannt wird. Mithin ist der gesamte Düsenträger 25 in axialer Richtung unbeweglich verriegelt.When the nozzle carrier 25 is inserted, the centering projection 54 is inserted into the centering recess 53 of the coupling piece 43. At the same time, the coupling slots 55 are pushed with their front end sections over the coupling projections 56. While it is being pushed in or afterward, the entire nozzle carrier 25 is rotated about its longitudinal axis - this is conveniently done by manually introducing a suitable torque on the handle 28 - so that the coupling projections 56 are gripped by the transverse slot length sections of the coupling slots 55 and the coupling piece 43 is thereby axially firmly clamped to the coupling counterpart 47. The entire nozzle carrier 25 is thus immovably locked in the axial direction.

Insgesamt erfolgt also an den beiden sich gegenüberliegenden seitlichen Seitenwandabschnitten 17a, 17b eine Zentrierung des Düsenträgers 25, und zusätzlich findet an dem den vorderen Endbereich 2 6 des Düsenträgers 25 zugeordneten Seitenwandabschnitt 17b eine axiale Verriegelung statt. Die Verbindung im Bereich des dem rückwärtigen Endbereich 27 zugeordneten Seitenwandabschnittes 17a ist so ausgeführt, dass dem Du-Overall, the nozzle carrier 25 is centered on the two opposite side wall sections 17a, 17b, and an axial locking also takes place on the side wall section 17b assigned to the front end region 26 of the nozzle carrier 25. The connection in the area of the side wall section 17a assigned to the rear end region 27 is designed in such a way that the nozzle carrier 25

seilträger 25 in seiner Längsrichtung ein Bewegungsfreiheitsgrad verbleibt, so dass, beispielsweise durch Wärmeausdehnungen bedingte, Relativbewegungen möglich sind und der Düsenträger 25 nicht in unerwünschter Weise verspannt wird.cable carrier 25 retains a degree of freedom of movement in its longitudinal direction so that relative movements, for example caused by thermal expansion, are possible and the nozzle carrier 25 is not stressed in an undesirable manner.

Es ist vorteilhaft, wenn im Bereich der Installationsöffnung 32 bei eingesetztem Düsenträger 25 eine Abdichtung erfolgt, die einen Austritt von Behandlungsmedium aus dem Behandlungsraum 4 in den vorgelagerten Revisionsraum 34 verhindert. Zu diesem Zweck ist vorgesehen, dass der Düsenträger 25 die Installationsöffnung 32 unter Abdichtung durchgreift. Beim Ausführungsbeispiel wird die Abdichtung durch einen Dichtungsring 58 bewirkt, der zwischen der Zentrierbuchse 3 8 und dem Abschlußkörper 44 angeordnet und wirksam ist.It is advantageous if a seal is created in the area of the installation opening 32 when the nozzle carrier 25 is inserted, which prevents the treatment medium from escaping from the treatment chamber 4 into the upstream inspection chamber 34. For this purpose, the nozzle carrier 25 extends through the installation opening 32 while sealing it. In the exemplary embodiment, the seal is created by a sealing ring 58, which is arranged and effective between the centering bush 38 and the closure body 44.

Die konkrete Realisierung beim Ausführungsbeispiel sieht im Bereich der Installationsöffnung 32 gehäusefest angeordnete erste Befestigungsmittel 62 vor, hier in Gestalt eines ein Außengewinde aufweisenden Gegenstückes 63, das zweckmäßigerweise ein fester Bestandteil der Zentrierbuchse 38 ist. Diese ersten Befestigungsmittel 62 können mit zweiten Befestigungsmitteln 64 kooperieren, die beim Ausführungsbeispiel von einer mit einem Innengewinde versehenen Überwurfmutter 65 gebildet sind, die verdrehbar koaxial auf dem Abschlußkörper 44 des Düsenträgers 25 angeordnet ist. Der Dichtungsring 58 sitzt zweckmäßigerweise ebenfalls auf dem Abschlußkörper 44, wobei er der Überwurfmutter 65 zur Zentrierbuchse 3 8 hin vor-The concrete implementation in the exemplary embodiment provides for first fastening means 62 arranged in a housing-fixed manner in the area of the installation opening 32, here in the form of a counterpart 63 with an external thread, which is expediently a fixed component of the centering bush 38. These first fastening means 62 can cooperate with second fastening means 64, which in the exemplary embodiment are formed by a union nut 65 provided with an internal thread, which is arranged rotatably coaxially on the closing body 44 of the nozzle carrier 25. The sealing ring 58 is expediently also seated on the closing body 44, whereby it protrudes from the union nut 65 towards the centering bush 38.

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gelagert ist. Dabei kann zwischen der Überwurfmutter 65 und dem Dichtungsring 58 noch ein Druckring 66 angeordnet sein.is mounted. A pressure ring 66 can also be arranged between the union nut 65 and the sealing ring 58.

Die Überwurfmutter 65 ist wie der Dichtungsring 58 und der gegebenenfalls vorhandene Druckring 66 axial verschiebbar auf dem Hauptteil 42, vorliegend dem Abschlußkörper 44, angeordnet. The union nut 65, like the sealing ring 58 and the pressure ring 66, if present, is arranged axially displaceably on the main part 42, in this case the closing body 44.

Bei der Installation des Düsenträgers 25 wird die Überwurfmutter 65 während oder nach der Herstellung des Kupplungseingriffes der Kupplungseinrichtung 33 mit seinem Schraubgewinde auf dasjenige des Gegenstückes 63 der Zentrierbuchse 38 aufgeschraubt. Dabei wird der Dichtungsring 58 zwischen der Zentrierbuchse 3 8 und dem Abschlußkörper 44 verspannt, so dass eine fluiddichte Verbindung hergestellt wird. Da der Abschlußkörper 44 hierbei nur kraftschlüssig fixiert wird, sind weiterhin die oben erwähnten axialen Relativbewegungen des Düsenträgers 25 möglich, die eine Überbestimmung der Lagerung verhindern.When installing the nozzle carrier 25, the union nut 65 is screwed onto the counterpart 63 of the centering bush 38 with its screw thread during or after the coupling engagement of the coupling device 33 is established. In this case, the sealing ring 58 is clamped between the centering bush 38 and the closure body 44 so that a fluid-tight connection is established. Since the closure body 44 is only fixed in a force-locking manner, the above-mentioned axial relative movements of the nozzle carrier 25 are still possible, which prevent overdetermination of the bearing.

Die zur Kopplung von Überwurfmutter 65 und Gegenstück 63 vorgesehenen Kopplungsmittel können anstelle von Gewindemitteln auch beispielsweise als Bajonettverbindungsmittel ausgeführt sein.The coupling means provided for coupling the union nut 65 and counterpart 63 can also be designed, for example, as bayonet connecting means instead of threaded means.

Die Überwurfmutter 65 ist an dem Hauptteil 42 zweckmäßigerweise verliergesichert angeordnet, so dass sie auch dann an Ort und Stelle verbleibt, wenn der Düsenträger 25 entnommenThe union nut 65 is conveniently arranged on the main part 42 in a captive manner so that it remains in place even when the nozzle carrier 25 is removed.

wurde. Beim Ausführungsbeispiel wird dies dadurch realisiert, dass die Überwurfmutter 65 zwischen dem Dichtungsring 58 und einem auf der axial entgegengesetzten Außenseite angeordneten Anschlag 67 des Hauptteils 42 gefangen ist. Der Anschlag 67 kann beispielsweise von dem entsprechend radial vorstehenden Handhabungsvorsprung 4 6 gebildet sein.In the embodiment, this is achieved by the union nut 65 being caught between the sealing ring 58 and a stop 67 of the main part 42 arranged on the axially opposite outer side. The stop 67 can be formed, for example, by the correspondingly radially projecting handling projection 46.

Das im Betrieb durch die Sprühdüsen 15 ausströmende Behandlungsmedium wird dem Düsenrohr 24 eines jeweiligen Düsenträgers 25 durch den dem vorderen Endbereich 2 6 des DüsenträgersThe treatment medium flowing out through the spray nozzles 15 during operation is fed to the nozzle tube 24 of a respective nozzle carrier 25 through the front end region 2 6 of the nozzle carrier

25 zugeordneten seitlichen Seitenwandabschnitt 17b zugeführt. Die Einspeisung des Behandlungsmediums in das Düsenrohr 24 erfolgt also am vorderen Endbereich 26 und nicht am rückwärtigen Endbereich 27 des Düsenträgers 25.25 associated lateral side wall section 17b. The treatment medium is thus fed into the nozzle tube 24 at the front end region 26 and not at the rear end region 27 of the nozzle carrier 25.

Das Ausführungsbeispiel sieht hierzu am vorderen EndbereichThe embodiment provides for this at the front end area

26 des Düsenträgers 25 eine Einspeiseöffnung 68 vor, die das Kupplungsstück 43 axial durchsetzt und die zum einen mit dem Innenraum 6 9 des Düsenrohres 24 verbunden ist und zum andern zu der Zentrierausnehmung 53, am Grund derselben, ausmündet.26 of the nozzle carrier 25 has a feed opening 68 which axially penetrates the coupling piece 43 and which is connected on the one hand to the interior 6 9 of the nozzle tube 24 and on the other hand opens into the centering recess 53 at the bottom thereof.

Das Kupplungsgegenstück 43 ist axial von einem Einspeisekanal 73 durchsetzt. Dieser mündet außerhalb des Behandlungsraumes 4 an einem Anschlußstutzen 74 des Kupplungsgegenstückes 47 aus, an den eine Speiseleitung 75 angeschlossen ist, über die das Behandlungsmedium zugeführt wird. Beispielsweise kann die Speiseleitung 75 über die Pumpeinrichtung 23 mit Behandlungsmedium versorgt werden.The coupling counterpart 43 is axially penetrated by a feed channel 73. This opens out outside the treatment chamber 4 at a connection piece 74 of the coupling counterpart 47, to which a feed line 75 is connected, via which the treatment medium is supplied. For example, the feed line 75 can be supplied with treatment medium via the pump device 23.

Der Einspeisekanal 73 mündet im Innern des Behandlungsraumes 4 stirnseitig am Zentriervorsprung 54 des Kupplungsgegenstückes 47 aus. Dadurch steht er bei installiertem Düsenträger 25 mit der dann fluchtend gegenüberliegenden Einspeiseöffnung 68 in fluidischer Verbindung und das über die Speiseleitung 75 eingespeiste Behandlungsmedium kann durch die Kupplungseinrichtung 3 3 hindurch in das Düsenrohr 24 und somit zu den Sprühdüsen 15 gelangen.The feed channel 73 opens out inside the treatment chamber 4 at the front end at the centering projection 54 of the coupling counterpart 47. As a result, when the nozzle carrier 25 is installed, it is in fluid communication with the feed opening 68, which is then aligned opposite, and the treatment medium fed in via the feed line 75 can pass through the coupling device 33 into the nozzle pipe 24 and thus to the spray nozzles 15.

Die Kupplungseinrichtung 33 dient also zweckmäßigerweise sowohl zum mechanische Fixieren des Düsenträgers 25 als auch zum Herstellen einer dichten Fluidverbindung zwischen dem Düsenrohr 24 und dem mit der Speiseleitung 25 verbundenen gehäusefesten Einspeisekanal 73. Der Vorteil dieser Anordnung liegt insbesondere darin, dass mit einem einzigen Kupplungsvorgang sowohl die mechanische Verbindung als auch die fluidische Verbindung hergestellt bzw. gelöst werden kann.The coupling device 33 therefore expediently serves both for mechanically fixing the nozzle carrier 25 and for establishing a tight fluid connection between the nozzle tube 24 and the feed channel 73 fixed to the housing and connected to the feed line 25. The advantage of this arrangement lies in particular in the fact that both the mechanical connection and the fluidic connection can be established or released with a single coupling process.

Ein zwischen dem Kupplungsstück 43 und dem Kupplungsgegenstück 47 angeordneter Dichtungsring 76, beispielsweise stirnseitig an dem Zentriervorsprung 54 vorgesehen, sorgt für eine zuverlässige Abdichtung des Fügebereiches nach außen hin.A sealing ring 76 arranged between the coupling piece 43 and the coupling counterpart 47, for example provided on the front side of the centering projection 54, ensures reliable sealing of the joining area to the outside.

Wie aus Figur 1 hervorgeht, sind im Innern des Behandlungsraumes 4 zweckmäßigerweise noch Führungs- und Haltemittel 76 vorgesehen. Sie sind am Gehäuse 3, insbesondere an der Seitenwand 17, befestigt und greifen lösbar, beispielsweise im mittleren Bereich, an den einzelnen Düsenrohren 24 an. SieAs can be seen from Figure 1, guide and holding means 76 are expediently provided in the interior of the treatment chamber 4. They are attached to the housing 3, in particular to the side wall 17, and engage detachably, for example in the middle area, on the individual nozzle pipes 24. They

verhindern zum einen ein Durchbiegen der Düsenrohre 24 und bilden gleichzeitig eine Montagehilfe beim Einfädeln der Kupplungsstücke 43 in die Kupplungsgegenstücke 47. Beispielsweise kann vorgesehen sein, den Düsenträger 25 bei der Montage zunächst ein Stück weit in den Behandlungsraum 4 einzuführen, ihn dann mit den Führungs- und Haltemitteln 76 in Kontakt zu bringen und unter Beibehaltung des Führungskontaktes anschließend weiter einzuschieben, bis die Kupplungsverbindung hergestellt wurde.prevent the nozzle pipes 24 from bending and at the same time form an assembly aid when threading the coupling pieces 43 into the coupling counterparts 47. For example, it can be provided that the nozzle carrier 25 is first inserted a little way into the treatment chamber 4 during assembly, then brought into contact with the guide and holding means 76 and then pushed in further while maintaining the guide contact until the coupling connection has been established.

Die Führungs- und Haltemittel 76 können auch als getrennte Komponenten ausgeführt werden. Auch besteht die Möglichkeit, entweder nur Führungsmittel oder nur Haltemittel vorzusehen.The guide and holding means 76 can also be designed as separate components. It is also possible to provide either only guide means or only holding means.

Es versteht sich, dass die lösbare Kupplungseinrichtung 3 3 auch abweichend von der Bauform des Ausführungsbeispiels ausgeführt sein kann.It is understood that the detachable coupling device 3 3 can also be designed differently from the design of the embodiment.

Beim Ausführungsbeispiel erstrecken sich die Sprüheinheiten 16 zwischen den beiden seitlichen Seitenwandabschnitten 17a, 17b. Es ist aber auch eine Anordnung möglich, bei der die Sprüheinheiten zwischen den vorderen und den rückwärtigen Seitenwandabschnitten sitzen. Die Düsenträger 25 können mit ihrem rückwärtigen Endbereich 2 7 prinzipiell an jeder Seite des Behandlungsraumes 4 fixiert werden.In the embodiment, the spray units 16 extend between the two lateral side wall sections 17a, 17b. However, an arrangement is also possible in which the spray units are located between the front and rear side wall sections. The nozzle carriers 25 can in principle be fixed with their rear end region 27 on each side of the treatment chamber 4.

Claims (21)

1. Vorrichtung zur Sprühbehandlung von Leiterplatten bei der Leiterplattenfertigung, mit einem Gehäuse (3), das mindestens einen von einer Seitenwand (17) begrenzten Behandlungsraum (4) aufweist, durch den die zu behandelnden Leiterplatten (2) hindurchtransportiert werden, und mit mehreren Sprüheinheiten (16), die jeweils ein sich im Behandlungsraum (4) oberhalb und/oder unterhalb der Transportebene (7) der Leiterplatten (2) quer zu deren Transportrichtung (5) erstreckendes Düsenrohr (24) mit einer oder mehreren Sprühdüsen (15) aufweisen, dadurch gekennzeichnet, dass das Düsenrohr (24) einer jeweiligen Sprüheinheit (16) Bestandteil eines lösbar eingesetzten länglichen Düsenträgers (25) ist, der mit seinem vorderen Endbereich (26) voraus durch eine Installationsöffnung (32) der Seitenwand (17) hindurch in den Behandlungsraum (4) hineinragt und dessen außerhalb des Behandlungsraumes (4) liegender rückwärtiger Endbereich (27) eine Handhabe (28) für sein Einsetzen und/oder Entnehmen unabhängig von den Düsenträgern (25) der anderen Sprüheinheiten (16) aufweist. 1. Device for spray treatment of circuit boards during circuit board production, with a housing ( 3 ) which has at least one treatment chamber ( 4 ) delimited by a side wall ( 17 ) through which the circuit boards ( 2 ) to be treated are transported, and with several spray units ( 16 ), each of which has a nozzle tube ( 24 ) with one or more spray nozzles ( 15 ) extending in the treatment chamber ( 4 ) above and/or below the transport plane ( 7 ) of the circuit boards ( 2 ) transversely to their transport direction ( 5 ), characterized in that the nozzle tube ( 24 ) of a respective spray unit ( 16 ) is part of a detachably inserted elongated nozzle carrier ( 25 ) which projects with its front end region ( 26 ) through an installation opening ( 32 ) of the side wall ( 17 ) into the treatment chamber ( 4 ). and whose rear end region ( 27 ) located outside the treatment chamber ( 4 ) has a handle ( 28 ) for its insertion and/or removal independently of the nozzle carriers ( 25 ) of the other spray units ( 16 ). 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Düsenträger (25) die Installationsöffnung (32) unter Abdichtung durchgreift. 2. Device according to claim 1, characterized in that the nozzle carrier ( 25 ) passes through the installation opening ( 32 ) in a sealed manner. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass im Bereich der Installationsöffnung (32) gehäusefeste erste Befestigungsmittel (62) vorgesehen sind, die mit am rückwärtigen Endbereich des Düsenträgers (25) angeordneten zweiten Befestigungsmitteln (64) zusammenwirken können. 3. Device according to claim 1 or 2, characterized in that in the region of the installation opening ( 32 ) first fastening means ( 62 ) fixed to the housing are provided, which can interact with second fastening means ( 64 ) arranged at the rear end region of the nozzle carrier ( 25 ). 4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten und zweiten Befestigungsmittel (62, 64) mit miteinander koppelbaren Schraubgewinden und/oder Bajonettverbindungsmitteln ausgestattet sind. 4. Device according to claim 3, characterized in that the first and second fastening means ( 62 , 64 ) are equipped with screw threads and/or bayonet connecting means which can be coupled to one another. 5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die zweiten Befestigungsmittel (62, 64) von einer relativ zu dem das Düsenrohr (24) enthaltenden Hauptteil (42) des Düsenträgers (25) verdrehbaren Überwurfmutter (65) gebildet sind, die mit einem Gegenstück (63) der gehäusefesten ersten Befestigungsmittel (62) gekoppelt werden kann. 5. Device according to claim 3 or 4, characterized in that the second fastening means ( 62 , 64 ) are formed by a union nut ( 65 ) which can be rotated relative to the main part ( 42 ) of the nozzle carrier ( 25 ) containing the nozzle tube ( 24 ) and which can be coupled to a counterpart ( 63 ) of the first fastening means ( 62 ) fixed to the housing. 6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den beiden Befestigungsmitteln (62, 64) ein Dichtungsring (58) angeordnet ist, der zwischen der die Installationsöffnung (32) aufweisenden Seitenwand (17) und dem das Düsenrohr (24) enthaltenden Hauptteil (42) des Düsenträgers (25) abdichtet und insbesondere verspannbar ist. 6. Device according to one of claims 3 to 5, characterized in that a sealing ring ( 58 ) is arranged between the two fastening means ( 62 , 64 ), which seals between the side wall ( 17 ) having the installation opening ( 32 ) and the main part ( 42 ) of the nozzle carrier ( 25 ) containing the nozzle tube ( 24 ) and is in particular tensionable. 7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass an der Installationsöffnung (32) eine fest mit der Seitenwand (17) verbundene Zentrierbuchse (38) vorgesehen ist, in die der eingesetzte Düsenträger (25), insbesondere mit einem entsprechend gestalteten Zentrierkörper (45), unter Zentrierung eintaucht. 7. Device according to one of claims 1 to 6, characterized in that a centering bush ( 38 ) which is firmly connected to the side wall ( 17 ) is provided on the installation opening ( 32 ), into which the inserted nozzle carrier ( 25 ), in particular with a correspondingly designed centering body ( 45 ), dips while being centered. 8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Handhabe (28) einen an der rückwärtigen Stirnseite des Düsenträgers (25) vorgesehenen Handhabungsvorsprung (46) aufweist. 8. Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the handle ( 28 ) has a handling projection ( 46 ) provided on the rear end face of the nozzle carrier ( 25 ). 9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass jede Sprüheinheit (16) über eine Kupplungseinrichtung (33) zum lösbaren Fixieren des insbesondere innerhalb des Behandlungsraumes (4) liegenden, vorderen Endbereiches (26) des Düsenträgers (25) an dem der Installationsöffnung (32) gegenüberliegenden Seitenwandabschnitt (17) des Gehäuses (3) verfügt. 9. Device according to one of claims 1 to 8, characterized in that each spray unit ( 16 ) has a coupling device ( 33 ) for releasably fixing the front end region ( 26 ) of the nozzle carrier ( 25 ), which is located in particular within the treatment chamber ( 4 ), to the side wall section ( 17 ) of the housing ( 3 ) opposite the installation opening ( 32 ). 10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Kupplungseinrichtung (33) auf einem Steck-Dreh- Verbindungsprinzip basiert und insbesondere nach dem Funktionsprinzip eines Bajonettverschlußes ausgeführt ist. 10. Device according to claim 9, characterized in that the coupling device ( 33 ) is based on a plug-and-turn connection principle and is designed in particular according to the functional principle of a bayonet lock. 11. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Kupplungseinrichtung (33) ein am vorderen Endbereich (26) des Düsenträgers (25) angeordnetes Kupplungsstück (43) und ein mit diesem zusammenarbeitendes, an der zugeordneten Seitenwand (17, 17b) des Behandlungsraumes (4) festgelegtes Kupplungsgegenstück (47) aufweist. 11. Device according to claim 9 or 10, characterized in that the coupling device ( 33 ) has a coupling piece ( 43 ) arranged at the front end region ( 26 ) of the nozzle carrier ( 25 ) and a coupling counterpart ( 47 ) cooperating with the latter and fixed to the associated side wall ( 17 , 17b ) of the treatment chamber ( 4 ). 12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Düsenträger (25) durch die Kupplungseinrichtung (33) axial unbeweglich fixierbar ist. 12. Device according to one of claims 9 to 11, characterized in that the nozzle carrier ( 25 ) can be fixed axially immovably by the coupling device ( 33 ). 13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die zum Einspeisen des flüssigen Behandlungsmediums in das Düsenrohr (24) dienende Einspeiseöffnung (68) am vorderen Endbereich (26) eines jeweiligen Düsenträgers (25) vorgesehen ist. 13. Device according to one of claims 1 to 12, characterized in that the feed opening ( 68 ) serving for feeding the liquid treatment medium into the nozzle tube ( 24 ) is provided at the front end region ( 26 ) of a respective nozzle carrier ( 25 ). 14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Düsenrohr (24) eines jeweiligen Düsenträgers (25) an der dem rückwärtigen Endbereich (27) des betreffenden Düsenträgers (25) zugeordneten Seite dicht verschlossen ist. 14. Device according to claim 13, characterized in that the nozzle tube ( 24 ) of a respective nozzle carrier ( 25 ) is tightly closed on the side associated with the rear end region ( 27 ) of the respective nozzle carrier ( 25 ). 15. Vorrichtung nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass das flüssige Behandlungsmedium den einzelnen Düsenträgern (25) durch den dem vorderen Endbereich (26) des Düsenträgers (25) zugeordneten Seitenwandabschnitt (17b) zuführbar ist. 15. Device according to claim 13 or 14, characterized in that the liquid treatment medium can be fed to the individual nozzle carriers ( 25 ) through the side wall section ( 17b ) assigned to the front end region ( 26 ) of the nozzle carrier ( 25 ). 16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 15 in Verbindung mit einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Kupplungseinrichtung (33) sowohl zum mechanischen Fixieren des Düsenträgers (25) als auch zum Herstellen einer dichten Fluidverbindung zwischen dem Düsenrohr (24) und einem gehäusefesten Einspeisekanal (73) ausgebildet ist. 16. Device according to one of claims 13 to 15 in conjunction with one of claims 9 to 12, characterized in that the coupling device ( 33 ) is designed both for mechanically fixing the nozzle carrier ( 25 ) and for establishing a tight fluid connection between the nozzle tube ( 24 ) and a feed channel ( 73 ) fixed to the housing. 17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass der Einspeisekanal (73) in dem Kupplungsgegenstück (47) vorgesehen ist, das zweckmäßigerweise außerhalb des Behandlungsraumes (4) mit einer zum Zuführen des Behandlungsmediums dienenden Speiseleitung (75) verbunden ist. 17. Device according to claim 16, characterized in that the feed channel ( 73 ) is provided in the coupling counterpart ( 47 ), which is expediently connected outside the treatment chamber ( 4 ) to a feed line ( 75 ) serving to supply the treatment medium. 18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass oberhalb und/oder unterhalb der Transportebene (7) mehrere jeweils rechtwinkelig zur Transportrichtung (5) verlaufende und in der Transportrichtung (5) mit Abstand aufeinanderfolgend angeordnete Sprüheinheiten (16) vorgesehen sind. 18. Device according to one of claims 1 to 17, characterized in that above and/or below the transport plane ( 7 ) a plurality of spray units ( 16 ) are provided, each running at right angles to the transport direction ( 5 ) and arranged one after the other at a distance in the transport direction ( 5 ). 19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Sprüheinheiten (16) so angeordnet sind, dass sämtliche Handhaben (28) auf der gleichen Außenseite des Behandlungsraumes (4) plaziert sind. 19. Device according to one of claims 1 to 18, characterized in that the spray units ( 16 ) are arranged such that all handles ( 28 ) are placed on the same outside of the treatment chamber ( 4 ). 20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass die die Handhaben (28) aufweisenden rückwärtigen Endbereiche (27) sämtlicher Düsenträger (25) in einem dem Behandlungsraum (4) vorgelagerten Revisionsraum (34) liegen, der über eine Revisionsöffnung (35) zugänglich ist, die durch einen insbesondere verschwenkbaren Deckel (36) verschlossen ist. 20. Device according to one of claims 1 to 19, characterized in that the rear end regions ( 27 ) of all nozzle carriers ( 25 ) having the handles ( 28 ) are located in an inspection chamber ( 34 ) in front of the treatment chamber ( 4 ), which is accessible via an inspection opening ( 35 ) which is closed by a cover ( 36 ), in particular a pivotable cover. 21. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 20, gekennzeichnet durch gehäuseseitige Führungs- und/oder Haltemittel (76), die im Innern des Behandlungsraumes (4) am Düsenrohr (4) eines jeweiligen Düsenträgers (25) angreifen. 21. Device according to one of claims 1 to 20, characterized by housing-side guide and/or holding means ( 76 ) which engage the nozzle tube ( 4 ) of a respective nozzle carrier ( 25 ) in the interior of the treatment chamber ( 4 ).
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