DE20022256U1

DE20022256U1 - Arrangement for examining microscopic preparations with laser scanning microscope, has optical component between laser and optical device for expanding light generated from laser

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Publication number: DE20022256U1
Application number: DE20022256U
Authority: DE
Original assignee: Leica Microsystems CMS GmbH
Current assignee: Leica Microsystems CMS GmbH
Priority date: 2000-06-17
Filing date: 2000-06-17
Publication date: 2007-02-15
Anticipated expiration: 2010-06-18

Abstract

An arrangement for examining microscopic preparations by a scanning microscope including a laser (1) and optical device (12) that focuses the light generated by the laser onto a research test slide. Between the laser and the optical device is provided an optical component (3), which expands the light generated by the laser (1) during a single transit. An independent claim is included for an illumination device for scanning microscope with laser.

Description

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Untersuchen mikroskopischer Präparate mit einem Scanmikroskop. Im Besonderen betrifft die Erfindung eine Anordnung zum Untersuchen mikroskopischer Präparate mit einem Scanmikroskop, das einen Laser und ein optisches Mittel umfasst, das das von dem Laser erzeugte Licht auf eine zu untersuchende Probe abbildet. Das Scanmikroskop kann auch als konfokales Mikroskop ausgestaltet sein.The The invention relates to an arrangement for examining microscopic ones preparations with a scanning microscope. In particular, the invention relates to a Arrangement for examining microscopic specimens with a scanning microscope, which comprises a laser and an optical means, that of the Laser generates light on a sample to be examined. The Scanning microscope can also be configured as a confocal microscope.

Des Weiteren betrifft die Erfindung eine Beleuchtungseinrichtung für ein Scanmikroskop.Of Furthermore, the invention relates to a lighting device for a scanning microscope.

In der Scanmikroskopie wird eine Probe mit einem Lichtstrahl abgerastert. Hierzu werden oft Laser als Lichtquelle eingesetzt. Aus der EP 0 495 930 : „Konfokales Mikroskopsystem für Mehrfarbenfluoreszenz" ist beispielsweise ein Anordnung mit einem einzelnen, mehrere Laserlinien emittierenden Laser bekannt. Derzeit werden hierfür meist Mischgaslaser, insbesondere ArKr-Laser, eingesetzt.In scanning microscopy, a sample is scanned with a light beam. For this purpose, lasers are often used as the light source. From the EP 0 495 930 For example, "a confocal microscopic system for multicolor fluorescence" is an arrangement comprising a single laser emitting a plurality of laser lines, and currently mixed gas lasers, in particular ArKr lasers, are used for this purpose.

Im Einsatz sind auch Diodenlaser und Festkörperlaser.in the Also used are diode lasers and solid-state lasers.

Aus der Patenschrift US-A-5,161,053 mit dem Titel „Confocal Microscope" ist ein konfokales Mikroskop bekannt, bei dem Licht einer externen Lichtquelle mit Hilfe einer Glasfaser zum Strahlengang des Mikroskops transportiert wird und das Ende der Glasfaser als Punktlichtquelle dient, so dass eine mechanische Blende überflüssig wird.Out US Pat. No. 5,161,053 titled "Confocal Microscope" is a Confocal Microscope known in the light of an external light source using a Glass fiber is transported to the beam path of the microscope and the end of the glass fiber serves as a point light source, so that a mechanical Aperture becomes superfluous.

Das Emissionsspektrum von Lasern ist auf einen schmalen Wellenlängenbereich eingegrenzt, so dass zur simultanen Mehrlinienanregung das Licht mehrerer Laser zu einem Beleuchtungsstrahl vereinigt werden muss.The Emission spectrum of lasers is on a narrow wavelength range limited, so that the simultaneous multi-line excitation, the light of several Laser must be combined into a beam of illumination.

Die als Mehrlinienlaser meist eingesetzten Gaslaser sind sehr aufwendig und teuer. Darüber hinaus sind sie sehr wartungsbedürftig, was den Dauereinsatz bei vielen mikroskopischen Anwendungen erschwert.The As a multi-line laser most commonly used gas lasers are very expensive and expensive. About that In addition, they are very in need of maintenance, which makes continuous use difficult in many microscopic applications.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Scanmikroskop zu schaffen, das die Probenuntersuchung mit mehreren spektralen Linien ermöglicht, ohne dabei auf den Einsatz vom Mehrlinienlaser angewiesen zu sein.Of the The invention has for its object to provide a scanning microscope, which allows sample analysis with multiple spectral lines, without being dependent on the use of the multi-line laser.

Die objektive Aufgabe wird gelöst durch eine Anordnung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass zwischen dem Laser und dem optischen Mittel ein optisches Bauelement vorgesehen ist, das das vom Laser erzeugte Licht bei einmaligem Durchlauf spektral verbreitert.The objective task is solved by an arrangement characterized in that between the laser and the optical means provided an optical component is that spectrally the light generated by the laser at a single pass widened.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, eine Beleuchtungseinrichtung für ein Scanmikroskop zu schaffen, die weitere spektrale Bereiche zugänglich macht, die bisher nicht adressierbar waren.A Another object of the invention is an illumination device for a To create a scanning microscope that makes more spectral areas accessible, that were not addressable so far.

Die objektive Aufgabe wird gelöst durch eine Beleuchtungseinrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass an der Lichtaustrittsöffnung ein optisches Bauelement angebracht ist, das aus photonic-band-gap-material besteht.The objective task is solved by a lighting device characterized that at the light exit opening An optical component is attached, consisting of photonic-band-gap-material consists.

Das optische Bauelement in der Form eines „photonic-band-gap-material" hat den Vorteil, dass durch den optisch nichtlinearen Aufbau der Faser ein kurzer Laserimpuls verbreitert wird und somit ein spektral breites, kontinuierliches Lichtspektrum entsteht. Bei „Photonic-band-gap-material" handelt es sich um mikrostrukturiertes durchsichtiges Material. Meist durch Zusammenfügen von verschiedenen Dielektrika lässt sich dem resultierenden Kristall eine Bandstruktur für Photonen aufprägen, die an die elektronische Bandstruktur von Halbleitern erinnert.The optical component in the form of a "photonic band gap material" has the advantage that by the optically non-linear structure of the fiber a short Laser pulse is broadened and thus a spectrally broad, continuous Light spectrum is created. "Photonic-band-gap-material" is around microstructured transparent material. Mostly by joining together different dielectrics the resulting crystal a band structure for photons impress, which is reminiscent of the electronic band structure of semiconductors.

Die Technik wird neuerdings auch bei Lichtleitfasern verwirklicht. Die Fasern werden durch Ausziehen von strukturiert angeordneten Glasrohren hergestellt. Den Fasern liegt eine besondere Struktur zugrunde: In Faserrichtung sind kleine Kanülen frei gelassen, die einen Abstand von etwa 2–3 μm und einen Durchmesser von ca. 1 μm haben und meist mit Luft gefüllt sind. In der Mitte der Faser liegt keine Kanüle vor. Diese Art von Fasern sind als "photon crystal fibres", „holey fibers" oder „microstructured fibers" bekannt.The Technology is now also realized in optical fibers. The Fibers are made by removing structured glass tubes produced. The fibers are based on a special structure: In the fiber direction are small cannulas left a distance of about 2-3 microns and a diameter of approx. 1 μm have and mostly filled with air are. There is no cannula in the middle of the fiber. This type of fibers are called "photon crystal fibers "," holey fibers "or" microstructured fibers ".

"Photon crystal fibres" können für die Erzeugung einer kontinuierlichen spektralen Verteilung über den gesamten sichtbaren Wellenlängenbereich eingesetzt werden. Hierzu wird das Licht eines Kurzpulslasers in die Faser eingekoppelt. Durch den optisch nichtlinearen Aufbau der Faser verbreitert sich das Frequenzspektrum des Lasers. Es entsteht ein spektral breites, kontinuierliches Lichtspektrum."Photon crystal fibers" can be used for the production a continuous spectral distribution over the entire visible Wavelength range used become. For this purpose, the light of a short pulse laser in the fiber coupled. Broadened by the optically non-linear structure of the fiber the frequency spectrum of the laser. The result is a spectrally broad, continuous light spectrum.

Zum Einsatz in der Mikroskopie ist es wichtig, Mittel zur Wellenlängenauswahl und zur Lichtleistungsstabilisierung zu implementieren. Daher lässt sich in vorteilhafter Weise ein solcher Faserlaser mit akusto- oder elektrooptischen, einstellbaren Filtern (AOTF), mit akusto- oder elektrooptischen Deflektoren (AOD), akusto- oder elektrooptischen Strahlteilern (AOBS) kombinieren. Diese können zum einen zur Wellenlängenauswahl als auch zur Ausblendung des Detektionslichtes verwendet werden (unsere deutsche Anmeldung DE 199 06 757 A1 : „Optische Anordnung").For use in microscopy, it is important to implement means for wavelength selection and light power stabilization. Therefore, such a fiber laser can advantageously be combined with acousto-optical or electro-optical, adjustable filters (AOTF), with acousto-electro-optical deflectors (AOD), acousto-optical or electro-optical beam splitters (AOBS). These can be used on the one hand for wavelength selection as well as for the suppression of the detection light (our German application DE 199 06 757 A1 : "Optical arrangement").

Insbesondere in der konfokalen Mikroskopie läßt sich das Faseraustrittsende als Punktlichtquelle nutzen, wodurch die Verwendung einer Anregungsblende überflüssig wird. Bei einer solchen Ausgestaltung wäre es von besonderem Vorteil, das Faserende selbst teilreflektierend zu beschichten, so dass dieser Teilreflektor einen Resonatorendspiegel bildet.Particularly in confocal microscopy, the fiber exit end can be used as a point light source, whereby the use of an excitation aperture becomes superfluous. In such an embodiment, it would be particularly advantageous to coat the fiber end itself partially reflective, so that this partial reflector forms a Resonatorendspiegel.

In weiteren Ausführungsformen sind Vorrichtungen zur Kompensation von Lichtleistungsschwankungen vorgesehen. Beispielsweise kann eine Regelschleife zur Lichtleistungsstabilisierung eingebaut werden, die parasitär die Lichtleistung im Strahlengang des Mikroskops misst und beispielsweise durch Variation der Pumplichtleistung oder mit Hilfe eines akusto- oder elektrooptischen Elements die Probenbeleuchtungslichtleistung konstant hält. Zu diesem Zweck könnten auch LCD-Abschwächer verwendet werden.In further embodiments are devices for compensation of light power fluctuations intended. For example, a control loop for light power stabilization be installed, the parasitic measures the light output in the beam path of the microscope and, for example by varying the pumping light power or by means of an acoustical or electro-optical element, the sample illumination light output keeps constant. For this purpose could also LCD attenuator be used.

Ein weiterer Vorteil der Erfindung ist, wenn die Beleuchtungeeinrichtung bereits entsprechend gestaltet ist, dass sie mehrere spektrale Bereiche zur Beleuchtung liefert. Der Laser, der die Beleuchtungseinrichtung für ein Scanmikroskop darstellt, hat an der Lichtaustrittsöffnung ein optisches Bauelement befestigt. Das optische Bauelement besteht aus photonic-band-gap-material. Ferner kann das photonic-band-gap-material als Lichtleitfaser ausgestaltet sein.One Another advantage of the invention is when the Beleuchtungeeinrichtung Already designed accordingly is that they have multiple spectral ranges supplies to the lighting. The laser, the lighting device for a Scanning microscope represents, has at the light exit opening attached optical component. The optical component consists from photonic band gap material. Furthermore, the photonic band gap material can be designed as an optical fiber.

In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand schematisch dargestellt und wird anhand der Figuren nachfolgend beschrieben. Dabei zeigen:In the drawing of the subject invention is shown schematically and will be described below with reference to the figures. Showing:

1 eine erfindungsgemäße Anordnung mit einem Konfokalmikroskop, 1 an arrangement according to the invention with a confocal microscope,

2 eine Anordnung, bei der auf ein Beleuchtungspinhole verzichtet wurde, und 2 an arrangement in which was dispensed with a lighting pinhole, and

3 eine Anordnung mit Lichtleistungsstabilisierung. 3 an arrangement with light power stabilization.

1 zeigt ein Konfokalmikroskop, das ein optisches Bauelement 3 zur Aufweitung eines von einem Pulslaser 1 erzeugten Laserimpulses verwendet. Der Pulslaser 1 definiert einen gepulsten Laserstrahl 2, der durch das optische Bauelement 3 geleitet wird. Das optische Bauelement 3 ist ein „photonic-band-gap-material. Aus dem optischen Bauelement 3 tritt ein spektral breitbandiges Beleuchtungslicht 4 aus, das von einer ersten Optik 5 auf ein Beleuchtungspinhole 6 abgebildet wird und dann auf einen Strahlteiler 7 trifft. Vom Strahlteiler 7 gelangt das spektral breitbandige Beleuchtungslicht 4 zu einer zweiten Optik 8, die einen parallelen Lichtstrahl 4a erzeugt, der auf einen Scanspiegel 9 trifft. Dem Scanspiegel 9 sind mehrere Optiken 10 und 11 nachgeschaltet, die den Lichtstrahl 4a formen. Der Lichtstrahl 4a gelangt zu einem Objektiv 12, von dem er auf eine Probe 13 abgebildet wird. Das von der Probe reflektierte oder ausgesendete Licht definiert einen Beobachtungsstrahlengang 4b. Das Licht des Beobachtungsstrahlengang 4b tritt abermals durch die zweite Optik 8 und wird auf ein Detektionspinhole 14 abgebildet, das vor einem Detektor 15 sitzt. Durch das optische Bauelement 3 ist es möglich, das für die Untersuchung der Probe 13 notwendige Laserlicht entsprechend dem gewünschten Spektrum zu erzeugen. 1 shows a confocal microscope, which is an optical device 3 for widening one of a pulse laser 1 generated laser pulse used. The pulsed laser 1 defines a pulsed laser beam 2 passing through the optical component 3 is directed. The optical component 3 is a photonic band gap material. From the optical component 3 occurs a spectrally broadband illumination light 4 from a first look 5 on a lighting pinhole 6 is imaged and then onto a beam splitter 7 meets. From the beam splitter 7 the spectrally broadband illumination light arrives 4 to a second optics 8th that have a parallel beam of light 4a generated on a scanning mirror 9 meets. The scanning mirror 9 are several optics 10 and 11 downstream, the light beam 4a to shape. The light beam 4a gets to a lens 12 from which he is on a trial 13 is shown. The light reflected or emitted by the sample defines an observation beam path 4b , The light of the observation beam 4b steps again through the second optics 8th and gets to a detection pinhole 14 pictured in front of a detector 15 sitting. Through the optical component 3 is it possible for the study of the sample 13 to generate necessary laser light according to the desired spectrum.

Das in 2 dargestellte Ausführungsbeispiel zeigt ein Konfokalmikroskop, bei dem auf das Beleuchtungspinhole 6 verzichtet wurde. Alle Elemente, die mit den Elementen aus 1 übereinstimmen, sind mit dem gleichen Bezugszeichen bezeichnet. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist an Stelle der ersten Optik 5 ein AOTF 16 (acousto optical tunable filter) eingesetzt, der mit einer entsprechenden AOTF-Ansteuerung 17 verbunden ist. Da das optische Bauelement 3 ein breitbandiges Beleuchtungslicht 4 erzeugen kann, ist es notwendig, Mittel zur Wellenlängenauswahl und Lichtleistungsstabilisierung vorzusehen. In vorteilhafter Weise kann man akusto- oder elektrooptisch einstellbare Filter (AOTF) mit akusto- oder elektrooptischen Deflektoren (AOD) und akusto- oder elektrooptischen Strahlteilern (AOBS) kombinieren. Diese können zum einen zur Wellenlängenauswahl als auch zur Ausblendung des Detektionslichtes verwendet werden. Dem AOTF 16 ist ferner ein Strahlsumpf 18 zugeordnet, der die nicht verwendeten spektralen Anteile der Beleuchtungslicht fängt, um unnötige Störungen des Scanmikroskops zu vermeiden.This in 2 illustrated embodiment shows a confocal microscope, in which the illumination pinhole 6 was waived. All elements made with the elements 1 are identical, are denoted by the same reference numeral. In this embodiment, instead of the first optics 5 an AOTF 16 (acousto optical tunable filter) used with a corresponding AOTF control 17 connected is. As the optical component 3 a broadband illumination light 4 It is necessary to provide means for wavelength selection and light power stabilization. It is advantageously possible to combine acousto-optically or electro-optically adjustable filters (AOTF) with acousto-optical or electro-optical deflectors (AOD) and acousto-optical or electro-optical beam splitters (AOBS). These can be used for wavelength selection as well as for masking the detection light. The AOTF 16 is also a jet sump 18 associated, which captures the unused spectral components of the illumination light to avoid unnecessary interference of the scanning microscope.

Eine weitere Ausführungsform der Erfindung ist in 3 dargestellt. Hier ist an Stelle des optischen Bauelements 3 eine Lichtleitfaser 20 verwendet, die aus dem photonic-band-gap-material besteht. Vom Pluslaser 1 wird der gepulste Laserstrahl 2 über eine Optik 19 in ein Eintrittsende 20a der Lichtleitfaser 20 eingekoppelt. Da die Lichtleitfaser 20 aus dem photonic-band-gap-material aufgebaut ist, tritt aus einem Austrittsende 20b ein spektral verbreiterter Laserimpuls aus, der über eine Optik 21 ausgekoppelt wird. Bevor der spektral verbreiterte Laserimpuls auf das Beleuchtungspinhole 6 trifft, wird eine spektrale Filterung vorgenommen. Dazu sind mehrere Farbfilter 24 auf einem Revolver 23 angeordnet. Über einen Motor 22 ist der Revolver 23 drehbar, so dass die entsprechenden Farbfilter 24 in den Strahlengang eingebracht werden können. Ebenso ist eine lineare Anordnung der Farbfilter 24 denkbar, dabei werden die Farbfilter 24 mittels einer Linearbewegung in einen Beleuchtungsstrahlengang 50 verfahren. Der Beleuchtungsstrahlengang 50 nach dem Beleuchtungspinhole 6 ist mit dem Strahlengang aus 1 vergleichbar. Wie bereits in 1 erwähnt, lenkt der Strahlteiler 7 das Licht auf den Scanspiegel 9. Ein Teil des Licht tritt durch den Strahlteiler 7 hindurch und definiert einen Verlusistrahlengang 50a. Dieser Anteil des Lichts ist für die Beobachtung oder Messung verloren. Aus diesem Grunde ist im Verluststrahlengang 50a ein Detektor 25 vorgesehen, der das Verlustlicht bestimmt und daraus eine elektronische Größe ermittelt, die mittels einer Leitung 30 an eine Regelungselektronik 26 geleitet wird. Die Regelungselektronik 26 ist über eine weitere Leitung 32 mit dem Pulslaser 1 verbunden. Über die Leitung 32 regelt die Regelungselektronik 26 die Intensität des Pulslasers 1 in der Weise, dass an der Probe 13 immer eine konstante Lichtleistung auftrifft. Beispielsweise kann eine Regelschleife zur Lichtleistungsstabilisierung derart vorgesehen sein, dass sie parasitär die Lichtleistung im Strahlengang des Mikroskops misst und beispielsweise durch Variation der Pumplichtleistung oder mit Hilfe eines akusto- oder elektrooptischen Elements die Probenbeleuchtungslichtleistung konstant hält. Zu diesem Zweck könnten auch LCD-Abschwächer verwendet werden.Another embodiment of the invention is in 3 shown. Here is in place of the optical device 3 an optical fiber 20 used, which consists of the photonic band gap material. From the plus laser 1 becomes the pulsed laser beam 2 about a look 19 in an entrance end 20a the optical fiber 20 coupled. As the optical fiber 20 composed of the photonic band gap material, emerges from an exit end 20b a spectrally broadened laser pulse, which has an optic 21 is decoupled. Before the spectrally broadened laser pulse on the illumination pinhole 6 meets, a spectral filtering is made. These are several color filters 24 on a revolver 23 arranged. About a motor 22 is the revolver 23 rotatable so that the corresponding color filters 24 can be introduced into the beam path. Likewise, a linear arrangement of the color filters 24 conceivable, this will be the color filter 24 by means of a linear movement in an illumination beam path 50 method. The illumination beam path 50 after the lighting pinhole 6 is off with the beam path 1 comparable. As already in 1 mentioned, the beam splitter deflects 7 the light on the scanning mirror 9 , Part of the light passes through the beam splitter 7 through and defines a loss run 50a , This portion of the light is for observation or Measurement lost. For this reason is in the loss ray path 50a a detector 25 provided, which determines the loss of light and determines an electronic variable, which by means of a line 30 to a control electronics 26 is directed. The control electronics 26 is over another line 32 with the pulse laser 1 connected. About the line 32 regulates the control electronics 26 the intensity of the pulse laser 1 in the way that on the sample 13 always a constant light output hits. For example, a control loop for light power stabilization may be provided such that it parasitically measures the light power in the beam path of the microscope and, for example, by varying the pumping light power or with the aid of an acousto-or electro-optical element, the sample illumination light power keeps constant. LCD attenuators could also be used for this purpose.

Die Erfindung wurde in Bezug auf eine besondere Ausführungsform beschrieben. Es ist jedoch selbstverständlich, dass Änderungen und Abwandlungen durchgeführt werden können, ohne dabei den Schutzbereich der nachstehenden Ansprüche zu verlassen.The The invention has been described in relation to a particular embodiment. It is, of course, that changes and modifications performed can be without departing from the scope of the following claims.

11: Pulslaserpulse laser
22: Gepulster Laserstrahlpulsed laser beam
33: optisches Bauelementoptical module
44: Spektral breitbandiges BeleuchtungslichtSpectral broadband illumination light
4a4a: Lichtstrahlbeam of light
4b4b: BeobachtungsstrahlengangObservation beam path
55: Optikoptics
66: BeleuchtungspinholeIllumination pinhole
77: Strahlteilerbeamsplitter
88th: Optikoptics
99: Scanspiegelscanning mirror
1010: Optikoptics
1111: Optikoptics
1212: Objektivlens
1313: Probesample
1414: DetektionspinholeDetection pinhole
1515: Detektordetector
1616: AOTF (acousto optical tunable filter)AOTF (acousto optical tunable filter)
1717: AOTF-AnsteuerungAOTF control
1818: Strahlsumpfray marsh
1919: Optikoptics
2020: photonic-band-gap-LichtleitfaserPhotonic-band-gap optical fiber
20a20a: Eintrittsendeentry end
20b20b: Austrittsendeexit end
2121: Optikoptics
2222: Motorengine
2323: Revolverrevolver
2424: Farbfiltercolor filter
2525: Detektordetector
2626: Regelungselektronikcontrol electronics
3030: Leitungmanagement
3232: Leitungmanagement
5050: BeleuchtungsstrahlengangIllumination beam path
50a Verluststrahlengang50a Loss optical path

Claims

Arrangement for examining microscopic specimens with a scanning microscope containing a laser ( 1 ) and an optical means ( 12 ), that of the laser ( 1 ) generated light on a sample to be examined ( 13 ), characterized in that between the laser ( 1 ) and the optical means ( 12 ) an optical component ( 3 . 20 ) provided by the laser ( 1 ) light spectrally broadened in a single pass.

Scanning microscope according to claim 1, characterized in that the optical component ( 3 . 20 ) consists of photonic band gap material.

Scanning microscope according to claim 2, characterized in that the photonic band gap material as optical fiber ( 20 ) is configured.

Scanning microscope according to one of claims 1 to 3, characterized in that the laser ( 1 ) is a pulse laser.

Scanning microscope according to one of claims 1 to 4, characterized in that the optical component ( 3 . 20 ) Medium ( 16 . 18 and / or 23, 24) for attenuating and / or hiding the light of at least one wavelength or at least one wavelength range are arranged downstream.

Scanning microscope according to claim 5, characterized in that for attenuating and / or hiding the light at least one spectrally selective filter ( 24 ) is provided.

Scanning microscope according to claim 6, characterized in that the filter is a dichroic filter ( 24 ).

Scanning microscope according to claim 5, characterized in that for attenuating and / or hiding the light, an acousto-optic filter ( 16 ) (AOTF: acousto optical tunable filter) is provided.

Scanning microscope according to claim 5, characterized in that that to mitigate and / or hiding the light an acousto-optic deflector (AOD: acousto optical deflector) is provided.

Scanning microscope according to claim 5, characterized in that that to mitigate and / or hiding the light, an LCD attenuator is provided.

Scanning microscope according to one of claims 1 to 5, characterized in that means ( 25 . 26 ) are provided for light power stabilization.

Scanning microscope according to claim 11, characterized in that that provided for light power stabilization, a control loop is.

Scanning microscope according to one of the preceding claims, characterized in that the scanning microscope is a confocal microscope.

Scanning microscope according to claim 13, characterized in that the exit end ( 20b ) of the optical fiber ( 20 ) serves as a lighting panel.

Illumination device for a scanning microscope with a laser ( 1 ), which comprises a light exit opening, characterized in that at the light exit opening an optical component ( 3 . 20 ), which consists of photonic band gap material.

Lighting device according to claim 15, characterized in that the photonic band-gap material as an optical fiber ( 20 ) is configured.

Lighting device according to claim 16, characterized in that the outlet end ( 20b ) of the optical fiber ( 20 ) serves as a lighting panel.

Lighting device according to one of claims 15 to 17, characterized in that the laser ( 1 ) is a pulse laser.