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DE20011590U1 - Semiconductor chip module with protective film - Google Patents

Semiconductor chip module with protective film

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DE20011590U1
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semiconductor chip
protective film
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semiconductor
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DE20011590U
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Infineon Technologies AG
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Infineon Technologies AG
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Publication date
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    • H10W42/121
    • H10W74/144

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  • Wire Bonding (AREA)
  • Die Bonding (AREA)

Description

Halbleiterchip-Modul mit SchutzfolieSemiconductor chip module with protective film

Die Erfindung betrifft ein Halbleiterchip-Modul, in welchem die Halbleiterchips besonders gut gegen Beschädigungen geschützt sind.The invention relates to a semiconductor chip module in which the semiconductor chips are particularly well protected against damage.

Vor allem bei Chip Size Packages, bei welchen das den HaIbleiterchip umschließende Gehäuse nur unwesentlich größer als der Halbleiterchip selbst ist, liegen in vielen Fällen die Chiprückseiten frei. Sie sind daher mechanischen Beschädigungen sehr leicht ausgesetzt und können bei mechanischer Belastung leicht zu Bruch gehen. In einigen Fällen wird die Be-Schädigungsgefahr dadurch verringert, dass der Halbleiterchip im fertigen Modul mit einer Abdeckung (Globetop) geschützt wird. Auch Heatspreader, welche zur Abfuhr der im Halbleiterchip erzeugten Wärme auf der Chiprückseite befestigt sind, erhöhen den Schutz vor mechanischen Beschädigungen. Bei der 0 Anbringung eines Heatspreaders werden aber auf Modulebene hohe Anforderungen an die Koplanarität der Einzelkomponenten gestellt. Zum Schutz der Halbleiterchips ist es weiterhin bekannt, sogenannte Support-Ringe um den Halbleiterchip herumzuführen. Hierzu muss jedoch der Abstand zwischen den HaIbleiterchips vergrößert werden, und außerdem ist die Anbringung einzelner Support-Ringe für jeden Halbleiterchip relativ aufwändig.In chip size packages in particular, where the housing enclosing the semiconductor chip is only slightly larger than the semiconductor chip itself, the back of the chip is often exposed. They are therefore very easily exposed to mechanical damage and can easily break under mechanical stress. In some cases, the risk of damage is reduced by protecting the semiconductor chip in the finished module with a cover (globetop). Heat spreaders, which are attached to the back of the chip to dissipate the heat generated in the semiconductor chip, also increase protection against mechanical damage. When attaching a heat spreader, however, high demands are placed on the coplanarity of the individual components at module level. To protect the semiconductor chips, it is also known to run so-called support rings around the semiconductor chip. However, this requires the distance between the semiconductor chips to be increased, and attaching individual support rings for each semiconductor chip is relatively complex.

Aufgabe der Erfindung ist es entsprechend, ein HaIbleiterchip-Modul anzugeben, in welchem der oder die Halbleiterchips trotz einfacher und kostengünstiger Herstellungsweise gut gegen mechanische Beschädigungen geschützt sind. The object of the invention is accordingly to provide a semiconductor chip module in which the semiconductor chip or chips are well protected against mechanical damage despite a simple and cost-effective method of manufacture.

Die Lösung dieser Aufgabe gelingt mit dem Halbleiterchip-Modul gemäß Anspruch 1. Bevorzugte Ausführungsformen sind in den Unteransprüchen beschrieben.This object is achieved with the semiconductor chip module according to claim 1. Preferred embodiments are described in the subclaims.

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Im erfindungsgemäßen Halbleiterchip-Modul, in welchem wenigstens ein Halbleiterchip auf einem Träger befestigt und mit diesem elektrisch leitend kontaktiert ist, erfolgt der Schutz des Halbleiterchips dadurch, dass auf die vom Träger abgewandte Oberfläche des Halbleiterchips eine Schutzfolie aufgeklebt wird. Diese Schutzfolie besteht aus einer Klebeschicht und einer Elastomerschicht. Sie wird mit der Klebeschicht voran derart auf dem Halbleiterchip befestigt, dass die Schutzfolie allseitig über die Oberfläche des Halbleiterchips übersteht. Durch die überstehende Schutzfolie werden die Chipkanten besonders gut gegen mechanische Belastungen geschützt. In the semiconductor chip module according to the invention, in which at least one semiconductor chip is attached to a carrier and is in electrically conductive contact with the carrier, the semiconductor chip is protected by a protective film being glued to the surface of the semiconductor chip facing away from the carrier. This protective film consists of an adhesive layer and an elastomer layer. It is attached to the semiconductor chip with the adhesive layer first in such a way that the protective film protrudes over the surface of the semiconductor chip on all sides. The protruding protective film protects the chip edges particularly well against mechanical stress.

Hinsichtlich der Materialien für die erfindungsgemäße Schutzfolie gibt es keine nennenswerten Beschränkungen. Es können grundsätzlich alle im Stand der Technik üblichen Elastomere und Klebschichten eingesetzt werden. Besonders geeignet sind solche, die bereits für andere Verwendungen im Bereich der Halbleiter-Technologie eingesetzt werden. Die Materialien sollten selbstverständlich so gewählt werden, dass sie mit den Komponenten des Halbleiterchip-Moduls kompatibel sind und den zu erwartenden Betriebstemperaturen standhalten.There are no significant restrictions with regard to the materials for the protective film according to the invention. In principle, all elastomers and adhesive layers that are customary in the state of the art can be used. Those that are already used for other applications in the field of semiconductor technology are particularly suitable. The materials should of course be selected so that they are compatible with the components of the semiconductor chip module and can withstand the expected operating temperatures.

Die erfindungsgemäße Schutzfolie ist nicht nur kostengünstig, sondern kann auf einfache Weise mit herkömmlichen Verfahrensschritten und Werkzeugen auf der Chiprückseite angebracht werden. Besonders geeignet zum Aufbringen der Folie ist ein Laminierprozess.The protective film according to the invention is not only cost-effective, but can also be easily applied to the back of the chip using conventional process steps and tools. A lamination process is particularly suitable for applying the film.

Der Schutz der Halbleiterchips vor mechanischer Beschädigung mit Hilfe der Schutzfolie kann grundsätzlich bei allen üblichen Halbleiterchip-Modulen eingesetzt werden. Besonders sinnvoll ist der Einsatz bei Modulen, welche Chip Size Packages aufweisen.The protection of semiconductor chips from mechanical damage using the protective film can generally be used for all common semiconductor chip modules. It is particularly useful for modules that have chip size packages.

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Die Erfindung kann nicht nur bei Halbleiterchip-Modulen mit lediglich einem Halbleiterchip zum Einsatz kommen, sondern auch bei solchen, in welchen mehrere Halbleiterchips, beispielsweise auf einer Leiterplatte, angeordnet sind. Ein Beispiel eines Moduls, bei welchem die Erfindung besonders sinnvoll eingesetzt werden kann, ist ein SDRAM-Modul. Nach Anbringung der erfindungsgemäßen Schutzfolie ist die Gefahr, dass das SDRAM-Modul beispielsweise beim Endkunden beim Memory-upgrade des Motherboards durch unvorsichtige Ablage, Sturz usw. beschädigt wird, deutlich verringert.The invention can be used not only in semiconductor chip modules with just one semiconductor chip, but also in those in which several semiconductor chips are arranged, for example on a circuit board. An example of a module in which the invention can be used particularly effectively is an SDRAM module. After applying the protective film according to the invention, the risk of the SDRAM module being damaged by careless storage, falling, etc., for example by the end customer during a memory upgrade of the motherboard, is significantly reduced.

Sind mehrere Halbleiterchips auf einem Modul angeordnet, kann entweder jeder Halbleiterchip für sich mit einer Schutzfolie versehen werden, oder mehrere oder alle Halbleiterchips gemeinsam werden mit einer Schutzfolie bedeckt. Beispielsweise kann bei mehreren in einer Reihe angeordneten Halbleiterchips die Schutzfolie die Form eines Streifens aufweisen, welcher über sämtliche Halbleiterchips geführt ist.If several semiconductor chips are arranged on a module, either each semiconductor chip can be provided with a protective film, or several or all semiconductor chips together can be covered with a protective film. For example, if several semiconductor chips are arranged in a row, the protective film can have the form of a strip that is guided over all semiconductor chips.

Unabhängig davon, ob die Schutzfolie einen oder mehrere Halbleiterchips bedeckt, kann ihre Größe so bemessen werden, dass die überstehenden Kanten frei in der Luft stehen bleiben. Alternativ ist es möglich, wenigstens eine der über einen HaIbleiterchip überstehenden Seiten der Schutzfolie zum Träger, beispielsweise der Leiterplatte, herunter zu führen und dort anzukleben. Wird die Schutzfolie mit sämtlichen ihrer Seiten am Träger befestigt, ergibt sich nicht nur ein ausgezeichneter Schutz gegen mechanische Beschädigungen, sondern auch gegen schädigende Umwelteinflüsse.Regardless of whether the protective film covers one or more semiconductor chips, its size can be determined so that the protruding edges remain free in the air. Alternatively, it is possible to lead at least one of the sides of the protective film that protrudes over a semiconductor chip down to the carrier, for example the circuit board, and to stick it there. If the protective film is attached to the carrier with all of its sides, this not only provides excellent protection against mechanical damage, but also against harmful environmental influences.

Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass die Schutzfolie beschriftet werden kann. Die zur Beschriftung zur Verfügung stehende Fläche ist dabei sogar größer als die Chipoberfläehe, auf welche die Schutzfolie geklebt ist.Another advantage is that the protective film can be labeled. The area available for labeling is even larger than the chip surface to which the protective film is glued.

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Die Erfindung soll nachfolgend am Beispiel einer Zeichnung näher erläutert werden. Darin zeigen schematischThe invention will be explained in more detail below using the example of a drawing. In it, schematically

Fig. 1 ein erfindungsgemäßes Halbleiterchip-Modul im Querschnitt undFig. 1 shows a semiconductor chip module according to the invention in cross section and

Fig. 2Fig.2

das Modul gemäß Fig. 1 in Draufsicht.the module according to Fig. 1 in top view.

In Fig. 1 ist ein erfindungsgemäßes Halbleiterchip-Modul 1 am Beispiel eines SDRAM-Moduls dargestellt. Auf einer Leiterplatte 3 sind vier Halbleiterchips 2 befestigt und mit der Leiterplatte kontaktiert. Bei den Halbleiterchips 2 handelt es sich um Chip Size Packages, in welchen die Chiprückseite oder Chipoberfläche 4 nur schlecht gegen mechanische Beschädigungen geschützt ist. Im erfindungsgemäßen Modul 1 wird ein ausgezeichneter Schutz der Halbleiterchips 2 dadurch erreicht, dass auf den Chipoberflächen 4 eine Schutzfolie 7 angebracht ist. Die Schutzfolie 7 besteht aus einer Klebeschicht 5 mit einer anlaminierten Elastomerschicht 6.In Fig. 1, a semiconductor chip module 1 according to the invention is shown using the example of an SDRAM module. Four semiconductor chips 2 are attached to a circuit board 3 and contacted with the circuit board. The semiconductor chips 2 are chip size packages in which the chip back or chip surface 4 is only poorly protected against mechanical damage. In the module 1 according to the invention, excellent protection of the semiconductor chips 2 is achieved by applying a protective film 7 to the chip surfaces 4. The protective film 7 consists of an adhesive layer 5 with a laminated elastomer layer 6.

Die Schutzfolie 7 besitzt die Form eines Streifens, welcher sämtliche Halbleiterchips 2 überdeckt. Dies ist Fig. 2 zu entnehmen. Die Schutzfolie 7 steht dabei über sämtliche Seiten eines jeden Halbleiterchips 2 seitlich über. Dadurch werden die Kanten der Halbleiterchips 2 besonders gut gegen mechanische Beschädigungen geschützt. Die flexible und elastische Schutzfolie passt sich insgesamt allen Verformungen an und puffert so Biege- oder sonstige Belastungen auf die Chips ab.The protective film 7 has the shape of a strip which covers all the semiconductor chips 2. This can be seen in Fig. 2. The protective film 7 protrudes laterally over all sides of each semiconductor chip 2. This means that the edges of the semiconductor chips 2 are particularly well protected against mechanical damage. The flexible and elastic protective film adapts to all deformations and thus cushions bending or other loads on the chips.

Fig. 1 zeigt zwei verschiedene Möglichkeiten der Handhabung der Seitenbereiche der Schutzfolie 7. Im in Fig. 1 linken Bereich des Moduls 1 ist das seitliche Ende der Schutzfolie 7 in Richtung auf den Träger 3 heruntergeführt und an diesem angeklebt.Fig. 1 shows two different ways of handling the side areas of the protective film 7. In the left area of the module 1 in Fig. 1, the lateral end of the protective film 7 is guided down towards the carrier 3 and glued to it.

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Im Unterschied dazu ist im rechten Randbereich der Schutzfolie 7 der Überstand über den rechten Halbleiterchip geringer. Der Seitenbereich der Schutzfolie 7 steht hier frei über die Oberfläche 4 des rechten Halbleiterchips über.In contrast, in the right edge area of the protective film 7, the projection over the right semiconductor chip is smaller. The side area of the protective film 7 projects freely over the surface 4 of the right semiconductor chip.

Claims (7)

1. Halbleiterchip-Modul (1), in welchem wenigstens ein Halbleiterchip (2) auf einem Träger (3) befestigt und mit diesem elektrisch leitend kontaktiert ist, dadurch gekennzeichnet, dass auf die dem Träger (3) abgewandte Oberfläche (4) des Halbleiterchips (2) eine aus einer Klebeschicht (5) und einer Elastomerschicht (6) bestehende Schutzfolie (7) mit der Klebeschicht (5) voran aufgebracht ist und diese Schutzfolie (7) allseitig über die Oberfläche (4) des Halbleiterchips (2) übersteht. 1. Semiconductor chip module ( 1 ), in which at least one semiconductor chip ( 2 ) is fastened to a carrier ( 3 ) and is in electrically conductive contact with the latter, characterized in that a protective film ( 7 ) consisting of an adhesive layer ( 5 ) and an elastomer layer ( 6 ) is applied to the surface ( 4 ) of the semiconductor chip ( 2 ) facing away from the carrier (3), with the adhesive layer ( 5 ) first, and this protective film ( 7 ) projects over the surface ( 4 ) of the semiconductor chip ( 2 ) on all sides. 2. Halbleiterchip-Modul gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass er mehrere, auf einer Leiterplatte (3) angeordnete Halbleiterchips (2) umfasst. 2. Semiconductor chip module according to claim 1, characterized in that it comprises a plurality of semiconductor chips ( 2 ) arranged on a circuit board ( 3 ). 3. Halbleiterchip-Modul gemäß Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Halbleiterchip (2) ein Chip Size Package ist. 3. Semiconductor chip module according to claim 2, characterized in that the semiconductor chip ( 2 ) is a chip size package. 4. Halbleiterchip-Modul gemäß Anspruch 2 oder 3, nämlich SDRAM-Modul. 4. Semiconductor chip module according to claim 2 or 3, namely SDRAM module. 5. Halbleiterchip-Modul gemäß einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Halbleiterchips (2) in einer Reihe angeordnet sind und die Schutzfolie (7) in Form eines sämtliche Halbleiterchips (2) bedeckenden Streifens ausgebildet ist. 5. Semiconductor chip module according to one of claims 2 to 4, characterized in that the semiconductor chips ( 2 ) are arranged in a row and the protective film ( 7 ) is designed in the form of a strip covering all the semiconductor chips ( 2 ). 6. Halbleiterchip-Modul gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Schutzfolie (7) auf wenigstens einer ihrer über den Halbleiterchip (2) überstehenden Seiten zum Träger (3) heruntergeführt und an diesen angeklebt ist. 6. Semiconductor chip module according to one of claims 1 to 5, characterized in that the protective film ( 7 ) is led down to the carrier ( 3 ) on at least one of its sides projecting beyond the semiconductor chip ( 2 ) and is glued to the latter. 7. Halbleiterchip-Modul gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Schutzfolie (7) beschriftet ist. 7. Semiconductor chip module according to one of claims 1 to 6, characterized in that the protective film ( 7 ) is labeled.
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Date Code Title Description
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Effective date: 20001012

R150 Utility model maintained after payment of first maintenance fee after three years

Effective date: 20031028

R151 Utility model maintained after payment of second maintenance fee after six years

Effective date: 20060926

R152 Utility model maintained after payment of third maintenance fee after eight years

Effective date: 20081002

R071 Expiry of right