DE2000889A1

DE2000889A1 - Elektronenkanone und damit versehenes Elektronenstrahlgeraet

Info

Publication number: DE2000889A1
Application number: DE19702000889
Authority: DE
Inventors: Smith Kenneth Charles Arthur; Swann David John
Original assignee: SMITH KENNETH CHARLES ARTHUR; SWANN DAVID JOHN
Current assignee: SMITH KENNETH CHARLES ARTHUR; SWANN DAVID JOHN
Priority date: 1968-07-07
Filing date: 1970-01-09
Publication date: 1971-01-21
Also published as: US3728570A; GB1291221A

Description

K. CH. A. SMITH und D. J. SV/ANN, Cambridge, Großbritannien

Elektronenkanone· und damit versehenes Elektronenstrahlgerat

Die Erfindung bezieht sich auf eine Elektronenkanone mit einer Elektronenquelle und einer damit zusammen einen Elektronenstrahl bildenden Anode. Sie hat ferner ein Elektronenstrahlgerat mit einer solchen Elektronenkanone sum Gegenstand. Derartige Geräte v/erden beispielsweise in abtastenden Elektronenmikroskopen verwendet, d. h. in Elektronensonden bildenden Anordnungen großer Helligkeit bzw. Klarheit.

Bekannte Elektronenkanonen besitzen eine Elektronenquelle und eine mit einer Bohrung versehene Anode, durch welche die Elektronen nach ihrer Beschleunigung auf die Anode zu durch eine zwischen die Quelle und die Anode gelegte Spannung hindurchlaufen. Die durch die Anode hindurchlaufenden Elektronen bilden einen Strahl, der durch ein gesondertes Verkleinerungslinsensystem zur Bildung einer Sonde gebündelt werden kann. Durch dieses Linsensystem läuft der von der Kanone kommende Strahl hindurch. Zusätzlich oder stattdessen kann zu diesem Zweck in der Kanone zwischen der Quelle und der Anode eine Elektrode vorgesehen sein. Die Quelle ist gewöhnlich thermionischer Art und gibt eine wirksame Quellengröße in der

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Größenordnung von 50 μ im Durchmesser, während die gebil-

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dete Sonde einen Durchmesser in der Größe von 100 Angstrom im Brennpunkt aufweisen kann, was einer Verkleinerung durch das Linsensystem um einen Faktor der Größenordnung 5OOO entspricht.

Die erfindungsgemäße Elektronenkanone der eingangs geschilderten Art ist dadurch gekennzeichnet, daß mindestens die Elektronenquelle innerhalb einer den Elektronenstrahl sammelnden, als Immersionslinse ausgebildeten magnetischen Linse versenkt ist. Vorteilhafterweise ist auch die Anode innerhalb der Linse angeordnet.

Die Anordnung der Linse um die Elektronenquelle und gegebenenfalls die Anode herum ermöglicht den Betrieb der Linse mit kurzen Brennweiten in der Größenordnung von nur einigen wenigen Millimetern, v/as optische _t Aberrationen zu vermeiden, mindestens jedoch in vorteilhafter V/eise gering zu halten erlaubt. Dieser Vorteil ist besonders wichtig, wenn die Elektronenquelle nach dem Feldemissionsprinzip arbeitet. Eine derartige Elektronenquelle kann eine effektive Quellengröße in der Größenordnung von lediglich 100 p. geben, und die Linse muß dann nur mit 1:1-Vergrößerung betrieben werden. Bei diesen Bedingungen können Aberrationen bei solchen Linsen besonders groß sein, welche keine kurzen Brennweiten aufweisen.

In vorteilhafter Weiterbildung der Erfindung ist . die Linse asymmetrisch. Sie weist zwei benachbarte Polstücke mit weiter bzw. enger Bohrung auf, wobei die Elektronenquelle im wesentlichen innerhalb des Polstücks mit weiter Bohrung und die Anode zwischen der Quelle und dem Polstück mit enger Bohrung angeordnet ist. Ferner sind die Quelle, eine Bohrung in der Anode, und die Bohrungen der beiden Polstücke

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miteinander fluchtend angeordnet und bilden eine Elektronenstrahlbahn.

Die Anode kann dabei in vorteilhafter V/eise rohrförmig ausgebildet sein und in das Polstück mit weiter Bohrung, die Quelle umgebend, hineinragen, ferner kann die Anode einen geschlossenen Boden aufweisen, der als Durchlaß für den Elektronenstrahl mit einer Bohrung versehen ist. In vorteilhafter Weiterbildung der Erfindung kann die Elektronenquelle an einem Träger angebracht sein, v/elcher eine Einstelleinrichtung zur Einstellung der fluchtenden Position der Quelle bezüglich der Anode aufweist. Die Anode kann ferner mit Vorteil eine bis auf die Bohrung in der Anode luftdichte Kammer umschließen, welche unmittelbar an eine Vakuum-Pumpe angeschlossen ist.

In weiterer'Vervollkommnung arbeitet die Elektronenquelle nach dem Feldemissionsprinzip. Sie weist dann vorzugsweise eine Spitze aus Lanthanhexaborid auf. Zur Abschirmung der Quelle von der Beschleunigungsspannung an der Anode kann um die Elektronenquelle herum eine dritte Elektrode angeordnet sein. Dabei hat es sich als vorteilhaft herausgestellt, wenn zwischen Quelle und Gitter eine-pulsierende Spannungsdifferenz aufrechterhalten ist, so daß ein pulsierender Elektronenstrahl emittiert wird. Diese Maßnahmen so wie die bereits hervorgehobene Anordnung der Elektronenquelle in einem luftdichten Gehäuse, das von der Anode gebildet wird und an eine Vakuumpumpe angeschlossen ist, so daß der Emitter in einem Hochvakuum arbeitet, dienen alle zur Verlängerung der Lebensdauer der Elektronenquelle. Im Idealfall wäre der Raum um die Elektronenquelle ultrahoch evakuiert, urn die längcti.iögliche Lebensdauer zu erzielen.

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Es ist jedoch festgestellt worden, daß diese Bedingung nicht streng eingehalten werden muß und unverhältnismäßig verwickelte i/umpenanordnungen vermieden werden können, wobei trotzdem eine zufriedenstellende Lebensdauer der Elektronenquelle sichergestellt ist. Wenn die Elektronenkanone in einer eingeschlossenen sondenbildenden Anordnung verwendet ist, dann können die übrigen Teile der Anordnung mit der Elektronenkanone über die Bohrung in der Anode kommunizieren, in welchem Fall die gesamte Anordnung evakuiert werden muß. Der restliche Teil des Systems braucht jedoch nicht in demselben Maße evakuiert zu werden, wie die Elektronenkanone, so daß eine ausreichende Enge der Bohrung in der Anode zur Aufrechterhaltung des erforderlichen Differenzdrucks genügt.

Wie erwähnt, bezieht sich die Erfindung auch auf ein Elektronenstrahlgerät mit einer Elektronenkanone, wie sie im vorstehenden angegeben' ist. Das erfindungsgemäße Elektronenstrahlgerät ist dadurch gekennzeichnet, daß das Innere der magnetischen Linse wenigstens Teil einer luftdichten Kammer ist, wobei die von der Linse gebildete luftdichte Kammer vorteilhafterweise unmittelbar an eine Pumpe angeschlossen ist. Die Vakuumpumpen halten einen Druckunterschied zwischen den beiden Kammern an der Bohrung der Anode aufrecht, wobei der niedrigere Druck in der Kammer innerhalb der Anode aufrechterhalten ist. Insbesondere wird innerhalb der Anode ein Hochvakuum aufrechterhalten, und der Druckunterschied macht eine Größenordnung aus.

Hinter der Elektronenkanone kann mindestens eine zusätzliche Linse für den Elektronenstrahl vorgesehen sein.

llachs Lebend ist die Erfindung an Hand der beigefügten Zeichnungen I)(JJn])IoIsWeISe beschrieben. Darin üoi{_:on:

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Fig. 1 die Ansicht eines Querschnitts in schematischer Wiedergabe durch ein Elektronenstrahlgerät, bei dem der gebildete Elektronenstrahl als Sonde wirkt, und welches eine Elektronenkanone gemäß der Erfindung aufweist;

Fig. 2 den die erfindungsgemäße Elektronenkanone betreffenden Teil der Ansicht nach Fig. 1 in vergrößerter Wiedergabe;

Fig. 5 eine der Fig. 2 entsprechende Ansicht; und

Fig. 4- eine andere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Elektronenkanone in der Ansicht gem. Fig. 2 und 3.

Bei dem Elektronenstrahlgerät nach Fig. 1 ist eine Elektronenkanone vorgesehen, welche eine Feldemissionselektronenquelle 1 mit einer scharfen Spitze aus Lanthanhexaborid aufweist. Die Elektronenquelle 1 ist am Ende eines rohrförmigen Trägers 2 angeordnet, der durch eine Grundplatte 5 hindurch ragt und ihr gegenüber translatorisch verschoben sov/ie verschwenkt werden kann, und zwar mittels einer Einstelleinrichtung 4-, welche den Träger 2 mit der Grundplatte O verbindet. Eine rohrförmige Anode 5 ist um die Quelle 1 und den Träger 2 herum angeordnet und von einem Ring 6 gehalten, der an dem der Platte ? benachbarten Ende der Anode 5 angeordnet und an der Grundplatte 3 befestigt ist. Das andere Ende der Anode 5 ist geschlossen und mit einer mittleren Bohrung '/ versehen, und zwar in der liähe der Spitze der Quelle 1. Das der Quelle 1 benachbarte Ende der Anode 5 v/eist einen verminderten Querschnitt auf und ist innerhalb eines hohlen Polstücks ό einer konventionellen asymmetrischen magnetischen Linse 9 angeordnet. Das andere Polstück 10 weist eine Bohrung 11 auf und ist dem geüchlossenen Ende der Anode i? benachbart angeordnet, wobei die Bohrungen 11

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— found' 7 sowie die Spitze der Elektronenquelle 1 fluchten, d. h. aufeinander ausgerichtet sind, so daß ein von der Elektronenquelle 1 emittierter Elektronenstrahl durch die Bohrungen 7 und 11 hindurchläuft und eine Sonde bildet.

Die magnetische Linse 9 ist zwischen einem Gehäuse 12, das mit dem Ring 6 verbunden ist, und einem weiteren Gehäuse 1$ angeordnet, welches eine Prüflingskammer 14 umschließt. Ein flexibler Balg 15 ist zwischen dem Träger 2 und der Grundplatte 3 vorgesehen und vermittelt eine luftdichte Verbindung dazwischen. Die Dichtungen zwischen der Grundplatte 3» dem Ring 6 und der Anode 5 sind ebenfalls luftdicht, so daß sie mit diesen Bauteilen eine die Elektronenquelle 1 einschließende luftdichte Kammer bilden wurden, wenn die Bohrung 7 nicht vorhanden wäre. Die Dichtungen zwischen der magnetischen Linse 9 und den Gehäusen 12, 13 sowie der Ring 6 und das Gehäuse 12 sind gleichfalls luftdicht, so daß um die Anode 5 herum eine weitere luftdichte Kammer bestehend aus der Kammer 14 und dein Inneren der magnetischen Linse 9 vorhanden ist. Eine nicht dargestellte orb-ion-Pumpe ist mit der Kammer innerhalb der Anode 5 verbunden, während an die äußere Kammer um die Anode 5 herum eine Diffusionspumpe 20 und gegebenenfalls eine weitere Pumpe angeschlossen sind. Damit können beide Kammern evakuiert werden, und wenn die Bohrung 7 genügend klein ist, dann kann ein hohes oder ultra-hohes Vakuum in der inneren Kammer erzeugt werden, während in der äußeren Kammer ein normales Vakuum hervorgerufen wird, wobei an der Bohrung 7 zwischen den Kammern ein hoher Differenzdruck vorliegt. Damit ist dasjenige hohe Vakuum sichergestellt, welches für einen zufriedenstellenden Betrieb von Feldemissionselektronenquellen, also auch der Elektronenquelle 1 erforderlich ist, ohne daß ein solches hohes Vakuum in der gesamten Vorrichtung aufrechterhalten werden muß. In der inneren Kammer kann außerdem eine Heiz-

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spule angeordnet sein, welche die Anode 5 und den Träger 2 erwärmt, so daß eine gewisse Entgasung und damit ein höheres Vakuum in der inneren Kammer erzielt wird.

Das Gerät arbeitet, wie nachstehend an Hand der Fig. 2 und ö beschrieben. Zwischen der Elektronenquelle 1 und der Anode 5 wird eine Beschleunigungsspannung aufrechterhalten, welche bewirkt, daß von der Spitze der Quelle 1 emittierte Elektronen zur Anode 5 hin beschleunigt werden. Die Trajektorien derartiger Elektronen sind durch gestrichelte Linien in den Fig. 2 und J wiedergegeben. Die Trajektorien aller dieser Elektronen sind von der magnetischen Linse 9 beeinflußt, und einige Elektronen bewegen sich so, daß sie durch die Bohrung 7 in der Anode 5 und die Bohrung 11 im Polstück 10 hindurchlaufen und in einen Brennpunkt 16 in einer Ebene 17 zusammenlaufen. Dieser gebündelte Elektronenstrahl stellt die Elektronensonde"dar. Im Falle eines abtastenden Mikroskops beispielsweise kann die Ebene 17 die Prüflingsebene darstellen, wobei Ablenkungsorganc vorgesehen sind, welche den Sondenstrahl über den Prüfling hinwegführen. Die Bohrung 7 in der Anode 5 stellt die optische Elektronengrenzöffnung der Vorrichtung dar, doch kann eine begrenzende öffnung in jeder beliebigen Stellung hinter der Anode 5 angeordnet sein. Bei der Ausführungsform nach Fig. 4 ist eine Grenzöffnung als Lochscheibe ausgebildet und in der Stirnwand der Anode angeordnet.

Bei der Ausführungsform nach Fig. 2 trifft ein grosser Anteil der von der Elektronenquelle 1 emittierten Elektronen auf die Anode 5 auf, was Gas freisetzt, welches den Druck innerhalb der Anode 5 erhöht. Ein Verfahren zur Verhinderung dieses Vorgangs ist in Fig. $ dargestellt. Die Geo metrie der Polstücke 8 und 10 und die Stärke des dadurch er zeugten magnetischen Feldes ist so getroffen, daß von der

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Quelle 1 emittierte Elektronen in einem ersten Brennpunkt in der Bohrung 7 zusammenlaufen, um dann zu einem zweiten Brennpunkt 16 in der Ebene 17 hin zu konvergieren. Zv/ischen der Bohrung 7 und der Ebene 17 ist eine nicht dargestellte optische elektronenstrahlbegrenzende Öffnung angeordnet, da in diesem Fall die Bohrung 7 nicht mehr als begrenzende üffnung dient. Durch dieses Zusammenlaufenlassen des Strahles in einem Brennpunkt in der Ebene der Bohrung 7 wird erreicht, daß die Mehrzahl der Elektronen durch die Bohrung 7 hindurchlaufen und keine Bombardierung der Anode 5 durch die Elektronen stattfindet. Da weiterhin der Querschnitt des Strahles W im ersten Brennpunkt gering ist, kann die Größe der Bohrung 7 vermindert werden, was die Aufrechterhaltung eines hohen Vakuums innerhalb der Anode 5 erleichtert.

Da die Elektronenquelle 1 mit Feldemission arbeitet, kann sie eine sehr geringe effektive Quellengröße aufweisen,

d. h. eine solche mit 'einem Durchmesser in der Größenordnung

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von 100 Angström. Daher braucht die Linse 9 die Quellengröße nicht zu verkleinern, sondern kann mit einer 1:1-Vergrößerung arbeiten, um Elektronensonden zu vermitteln, die an der Prüflingsoberfläche einen Brennpunkt in der Größenordnung

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von 100 Angström im Durchmesser aufweisen. Bei diesen Bedin- gungen können optische Aberrationen störend sein, so daß die magnetische Linse 9 mit einer so kurzen Brennweite als möglich betrieben wird, um solche Aberrationen zu vermindern. Die Erfindung ermöglicht einen Betrieb der magnetischen Linse 9 mit kürzestmöglichen Brennweiten, welche in der Größenordnung von lediglich einigen wenigen Millimetern liegen, da die Elektronenquelle 1 innerhalb der Polstücke ö, 10 der magnetischen Linse liegt.

Bei anderen Ausführungsforraen der Erfindung können eine oder mehrere zusätzliche Linsen vorgesehen sein, durch

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welche der Elektronenstrahl nach dem Verlassen der Elektronenkanone und vor seiner Bündelung zur endgültigen Elektronensonde hindurch läuft. Bei einer Ausführungsform kann beispielsweise ein zusätzliches Polstück, welches dem Polstück 10 ähnlich ist, in der Nähe des letzteren angeordnet sein, so daß diese beiden Polstücke eine Linse zwischen sich bilden. Diese Linse vermittelt der Vorrichtung eine größere Bündelungsflexibilität. Die zusätzliche Linse kann durch die Spule der Linse 9 oder aber von einer gesonderten Spule erregt werden. Bei anderen Ausführungsformen können die gegenseitigen Stellungen der Elektronenquelle 1 und der Bohrung 7> die Geometrie der Linse 9 und die Stärke ihres magnetischen Feldes derart eingestellt sein, daß ein konvergierender oder divergierender Elektronenstrahl erzeugt wird, der auf die Linsen trifft, welche die endgültige Elektronensonde bilden. Der Vorteil der Linse 9, welcher in ihrer kurzen Brennweite liegt, wirkt sich auch bei diesen Vorrichtungen aus. Bei einer solchen Ausführungsform arbeitet die Elektronenkanone, wie in den Fig. 2 und 3 dargestellt, und zwar mit starker Vergrößerung, d. h. der in der Ebene 17 gebildete Brennpunkt läge in einem beträchtlichen Abstand von der magnetischen Linse 9· Eine zweite Linse verkleinert den Brennpunkt, um den endgültigen Elektronenstrahl, d. h. die endgültige Elektronensondc zu bilden. Ein derartiges Zweilinsensystem erleichtert die Strahlausrichtung und die Anordnung von Abtastspulen oder anderen Einrichtungen zwischen den Linsen.

Einem weiteren kennzeichnenden Merkmal der Erfindung zufolge kann die Elektronenkanone mit einer weiteren Elektrode in G_estalt eines Gitters oder einer Kathode 18 versehen sein, und zwar um die Spitze der Elektronenquelle 1 herum, wie in Fig. 4 dargestellt. Mittels dieses Gitters 18 kann der von der Quelle 1 emittierte Elektronenstrahl pulsierend betrieben werden, indem Spannungsirapulse dem Gitter 18 aufge-

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. geben werden. Diese Spannungsimpulse können negativ verlaufend bezüglich der Quelle 1 sein und die Elektronenemi s-r sion versiegen lassen, wenn sie dem Gitter 18 aufgegeben ', werden.

Der pulsierende Elektronenstrahl hat eine Steigerung der Lebensdauer der Peldemissionselektronenquelle 1 zur Folge. Demselben Zweck dient die Verwendung von Larrthanhexaborid oder eines ähnlichen feuerfesten Materials für die Herstellung der Quellenspitze und die Aufrechterhaltung des hohen Vakuums innerhalb der Anode 5. Alle diese Maßnahmen zur W . Verbesserung der Lebensdauer der Elektronenquelle 1 haben zusammen eine solche V/irkung, daß die Bedingung der Aufrechterhaltung eines Vakuums innerhalb der Anode 5 nicht allzu streng erfüllt sein muß, um immer noch eine annehmbare Lebensdauer sicherzustellen. Das Erfordernis^ eines ultra-hohen Vakuums kann fallengelassen werden. Stattdessen wird innerhalb der Anode 5 lediglich ein solches Vakuum erzeugt, dass an der Bohrung 7 in der Anode 5 lediglich ein mäßiger Differenzdruck sich einstellt.

Die Gitterspannung kann auch dazu verwendet werden, eine Variation der wirksamen Beschleunigungsspannung der ) Elektronenkanone zu erzielen. Ist kein solches Gitter vorhanden, dann ist das Potential, bis auf welches die Anode gebracht werden kann, durch die Tatsache begrenzt, daß ein übermäßiges Potential ein solches Feld an der Spitze ent- . stehen lassen würde, daß sich eine übermäßige Emission ergeben würde, die eine schnelle Erosion der Spitze zur Folge hätte. Durch das Einsetzen des Gitters kann das Feld unmittelbar um den Emitter herum so gesteuert werden, daß es innerhalb eines weiten Anodenspannungsbereiches konstant ist. Auf diese Weise kann ein Arbeiten mit konstanter Feldemi3*- sion innerhalb eines Anodenspannungsbereiches zwischen bei-

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spielsweise 2 und 10 Kilovolt sichergestellt werden, wenn das Gitter innerhalb des Bereiches von 3 bis 2 Kilovolt verändert wird. Die genauen Spannungen hängen von der Geometrie der Elektrodenanordnung ab. In allen Fällen liegt die Beschleunigungsspannung jedoch in der Größenordnung von nur wenigen Kilovolt. Wo höhere Strahlenergien erforderlich sind, kann hinter der Elektronenkanone ein orthodoxes Beschleunigungselektrodensystem vorgesehen sein.

Im vorstehenden ist die Elektronenquelle 1 lediglich als Feldemissionselektronenquelle umschrieben worden. Darunter ist sowohl kontinuierliche als auch pulsierende Kaltfeldemission zu verstehen, ferner kontinuierliche oder pulsierende T-F-Emission. Statt Feldemissionselektronenquellen können auch andere Elektronenquellen verwendet werden, beispielsweise spitze thermionische Emitter, welche nach Schottky-Art arbeiten. Mit der letzteren Elektronenquelle wird keine solche Klarheit erzielt, wie mit einer Elektronenquelle des Feldemissionstyps, jedoch kommt den Vakuumbedingungen geringere Bedeutung zu.

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Claims

Ansprüche

( 1.)Elektronenkanone mit einer Elektronenquelle und einer damit zusammen einen Elektronenstrahl bildenden Anode, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens die Elektronenquelle (1) innerhalb einer den Elektronenstrahl sammelnden, als Immersionslinse ausgebildeten magnetischen Linse

(9) versenkt ist.
2. Elektronenkanone nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Linse (9) asymmetrisch ist und zwei benach-

P barte Polstücke (8;10) mit weiter Bohrung bzw. enger Bohrung (11) aufweist, wobei die Elektronenquelle (1) im wesentlichen innerhalb des Polstücks (8) mit weiter Bohrung ■ und die Anode (5) zwischen der Quelle (1) und dem Polstück

(10) mit enger Bohrung (11) angeordnet ist, und wobei ferner die Quelle (1).eine Bohrung (7) in der Anode (5) und die Bohrungen der Polstücke (o;10) miteinander fluchtend angeordnet sind und eine Elektronenstrahlbahn bilden.
3. Elektronenkanone nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Anode (5) rohrförmig ausgebildet ist und in das Polstück (8) mit weiter Bohrung, die Quelle (1) umge-

) bend, hineinragt, ferner einen geschlossenen Boden aufweist, der als Durchlaß für den Elektronenstrahl mit einer Bohrung (7) versehen ist.
4. Elektronenkanone nach Anspruch 3» dadurch gekennzeichnet, daß die Elektronenquelle (1) an einem Träger (2) angebracht ist, welcher eine Einstelleinrichtung (4) zur Einstellung der fluchtenden Position der Quelle (1) bezüglich der Anode (5) aufweist.

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5. Elektronenkanone nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Anode (5) eine bis auf die Bohrung (7)luftdichte Kammer umschließt, welche unmittelbar an eine Vakuum-Pumpe angeschlossen ist·
6· Elektronenkanone nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet! daß die Elektronenquelle (1) nach dem Feldemissionsprinzip arbeitet.
7. Elektronenkanone nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektronenquelle (1) eine Spitze aus Lanthanhexaborid aufweist.
8. Elektronenkanone nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur Abschirmung der Quelle (1) von der Beschleunigungsspannung an der Anode (5) um die Quelle (1) herum eine Gitterelektrode (18) angeordnet ist.
9· Elektronenkanone nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Quelle (1) und Gitter (18) eine pulsierende Spannungsdifferenz aufrechterhalten ist, so daß ein pulsierender Elektronenstrahl emittiert wird·
10. Elektronenkanone nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die die Elektronenquelle (1) umgebende linse (9) an eine derartige ßpannungsquelle angeichloiien i«t_t daß sie eine kurze Brennweite und eine 1st* Vergrößerung aufweiit. ;

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11. Elektronenkanone nach einem der vorstehenden Ansprüche,

dadurch gekennzeichnet, dad der Elektronenstrahl an einer Bohrung (7) in der Anode (5) gebündelt iet, durch welche ■■·-:, lohyung (7) er nindurchlluft· .

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ORIGINAL INSPECTTED
12. Elektronenstrahlgerät mit einer Elektronenkanone nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Innere der Linse (9) wenigstens Teil einer luftdichten Kammer ist.
13· Gerät nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die von der Linse (9) gebildete luftdichte Kammer unmittelbar an eine Pumpe (20) angeschlossen ist.
14. Gerät nach Anspruch 15 in Verbindung mit Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,.daß die Vakuumpumpen einen Druckunterschied zwischen den beiden Kammern an der Bohrung (7) der Anode (5) aufrechterhalten, wobei der niedrigere Druck in der Kammer innerhalb der Anode (5) aufrechterhalten ist·
15· Gerät naob Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß in der Kammer innerhall» der Anode (5) «in Hochvakuum auf rechterhalten wird, wobei der Druckunterschied eine Gros- senordnung ν ausmacht·
16. Gerät naoh einem der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß hinter der Elektronenkanone mindestens ein· zusätzliche Linse für den Elektronenstrahl vorgesehen ist.

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