DE20008723U1 - Vorrichtung zum Führen eines Tisches in der X-Y-Ebene - Google Patents
Vorrichtung zum Führen eines Tisches in der X-Y-EbeneInfo
- Publication number
- DE20008723U1 DE20008723U1 DE20008723U DE20008723U DE20008723U1 DE 20008723 U1 DE20008723 U1 DE 20008723U1 DE 20008723 U DE20008723 U DE 20008723U DE 20008723 U DE20008723 U DE 20008723U DE 20008723 U1 DE20008723 U1 DE 20008723U1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- coupling plate
- support column
- linear guide
- plate
- cross
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 56
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 56
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 56
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000010438 granite Substances 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Credit Cards Or The Like (AREA)
Description
5642,16 05.2000
- 4 Vorrichtung zum Führen eines Tisches in der X-Y-Ebene
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Führen eines Tisches in der X-Y-Ebene, mit einem aus zwei Linearführungen bestehenden Kreuztisch sowie einer Abstützplatte, über welcher der Tisch mittels Luftlagerung und Druckluftzuführung zwischen Tisch und Abstützplatte auf einem Luftpolster beweglich ist Vorrichtung zum Führen eines Tisches in einer Ebene; ebenso betrifft die Erfindung einen derartigen Luftlagertisch.
Es sind Kreuztische bekannt, bei denen zwei Linearschlitten jeweils für sich auf je einer Schiene linear geführt in einem rechten Winkel zueinander aufgebaut sind. Eine derartige Linearführung besteht aus einem feststehenden Teil, dem sogenannten Bett, und einem beweglichen Teil, dem Schlitten. Bei einem Kreuztisch, welcher aus zwei Linearführungen besteht, wird auf den Schlitten der unteren Linearführung das Bett der oberen Linearführung in einem rechten Winkel befestigt. Somit kann sich der auf der oberen Linearführung geführte obere Schlitten und ein dort aufgebauter Tisch in einer X-Y-Ebene bewegen.
Eine Linearführung kann ihren Schlitten fertigungsbedingt aber nicht absolut gerade im Raum bewegen, sondern besitzt sechs Fehler. Dies sind drei lineare Fehler und drei rotatorische Fehler. Wird der Schlitten einer Linearführung bewegt, so ist diese Bewegungsrichtung die X-Richtung, die Bewegung horizontal zur Bewegungsrichtung ist die Y-Richtung und die Bewegung vertikal zur Bewegungsrichtung ist die Z-Richtung. Wird ein Schlitten in X-Richtung verschoben, so entsteht ein linearer Fehler jeweils in X-, Y- und in Z-Richtung. Auch fährt der Schlitten Kreisbahnen, und zwar vertikale Kreisbahnen um die Y-Achse, das sogenannte Nicken, horizontale Kreisbahnen um die Z-Achse, das sogenannte Gieren und Kreisbahnen in der Bewegungsrichtung selbst, nämlich eine Schraubbewegung um die X-Achse, das sogenannte Rollen. Werden zwei Linearführungen zu einem Kreuztisch aufeinandergebaut, so bewegt sich der obere Tisch in der Ebene mit zwölf Fehlern, nämlich sechs Fehler aus der unteren Linearführung und sechs Fehler aus der oberen Linearführung.
Des Weiteren sind luftgelagerte Tische bekannt, welche prinzipiell aus zwei übereinander angeordneten Tischflächen bestehen. Der untere Tisch besitzt eine ebene Oberfläche und besteht zum Beispiel aus geschliffenem Granit; der darüber angeordnete Tisch besitzt eine ebene Unterseite. Zwischen den Tischflächen tritt Druckluft aus, so dass dazwischen ein Luftpolster entsteht, welches die obere Tischfläche von der unteren Tischfläche um einen kleinen Abstand abhebt. Dann kann die obere Tischfläche gegenüber der unteren Tischfläche bewegt werden. Es ist bekannt, dass bei derartigen luftunterstützten Bewegungen des oberen Tisches gegenüber dem unteren Tisch nur sehr kleine Linearfehler in vertikaler Richtung, also in Z-Richtung, entstehen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Führen eines Tisches in der X-Y-Ebene der eingangs genannten Gattung dergestalt zu verbessern, dass sowohl Fehler bei einer linearen Bewegung in Z-Richtung als auch rotatorische Fehler um die Horizontale des Kreuztisches weitestgehend unterdrückt werden.
Die Lösung der Aufgabe besteht in einer Vorrichtung zum Führen eines Tisches in der X-Y-Ebene, mit einem aus zwei Linearführungen bestehenden Kreuztisch sowie einer Abstützplatte, auf welcher der Tisch mittels Luftlagerung und Druckluftzuführung zwischen Tisch und Abstützplatte auf einem Luftpolster beweglich ist, wobei auf dem oberen beweglichen Teil der oberen Linearführung des Kreuztisches eine Koppelplatte angeordnet ist, welche in X-Y-Richtung starr und in Z-Richtung verformbar gehaltert ist, und auf der Koppelplatte eine sich in vertikaler Richtung erhebende Tragsäule angeordnet ist, auf deren oberen Ende der Tisch waagrecht sich befindet.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung besitzt den Vorteil, dass nur noch sehr kleine rotatorische Fehler (Kreisbahnen) um die Horizontale entstehen, das heißt um die Y-Achse und um die X-Achse. Damit entstehen bei der Bewegung des oberen Tisches in der Ebene gegenüber der Abstützplatte nur sehr kleine Linearfehler in Z-Richtung und nur sehr kleine rotatorische Fehler um die Horizontale. Von den zwölf Fehlern eines Kreuztisches sind somit bei
Luftlagerung des Tisches auf der Abstützplatte in einer Ebene nur noch sechs Fehler sehr klein vorhanden.
In weiterer erfindungsgemäßer Ausgestaltung ist die Koppelplatte mit ihrem peripheren Rand zwischen zwei Tori fest eingespannt, welche fest mit dem oberen beweglichen Teil der oberen Linearführung verbunden sind, wobei innerhalb des freien lichten Durchmessers der Tori und somit innerhalb des verformbaren Teils der Koppelplatte die Tragsäule sich erhebt, deren Durchmesser kleiner als der Durchmesser des verformbaren Teils der Koppelplatte ist. Der obere bewegliche Teil der oberen Linearführung ist ein Schlitten, auf welchen die Tori mit der Koppelplatte dazwischen liegend fest aufgeschraubt sind.
Statt der Verwendung von Tori zur Abstandshalterung der Koppelplatte kann innerhalb der Oberfläche des oberen beweglichen Teils der oberen Linearführung, beispielsweise im oberen Schlitten, eine Aussparung angeordnet sein, über welche die Koppelplatte gespannt ist und mit ihrem peripheren Rand fest mit dem oberen beweglichen Teil des Kreuztisches bzw. mit dem oberen beweglichen Teil der oberen Linearführung befestigt ist.
20
20
Vorteilhaft kann die Koppelplatte während ihrer Befestigung auf dem sie tragenden Teil in ihrer Halterung vorgespannt werden, so dass die Koppelplatte eine geringfügige Bombierung, vorzugsweise in positive Z-Richtung, aufweist. Bei Belastung der Koppelplatte mit der Tragsäule und dem Tisch kann dann diese Bombierung zurückgeführt werden.
Die Tragsäule weist an ihrem unteren Ende einen Flansch auf, mit welchem die Tragsäule auf der Koppelplatte befestigt ist, beispielsweise mittels Schrauben und Kontermuttern aufgeschraubt ist.
Die Tori sowie die Koppelplatte können runden oder quadratischen Querschnitt aufweisen, wobei die Tragsäule zentrisch bzw. mittig innerhalb der Tori auf der Koppelplatte angeordnet ist. Der Durchmesser der Tragsäule bzw. der Radius des geometrischen Ortes der Einspannstellen des unteren Flansches der Tragsäule ist um eine Strecke a kleiner als der Innendurch-
5642/16.05.20OU
messer der Tori, wobei die Strecke (a) vorzugsweise zwischen 1/10 bis 1/3 des Radius der Tori beträgt.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung minimiert die eingangs beschriebenen Fehler eines Kreuztisches, in dem erfindungsgemäß der über der Abstützplatte verfahrbare Luftlagertisch teilweise, nämlich in Z-Richtung, vom Kreuztisch abgekoppelt wird. Die Ankoppelung des Luftlagertisches über die in Z-Richtung verformbare Koppelplatte an den Kreuztisch bewirkt in vorteilhafter Weise die Minimierung der Linearfehler in Z-Richtung sowie die Minimierung der rotatorischen Fehler um die Horizontale des Kreuztisches.
Ein mit der Vorrichtung aufgebauter, erfindungsgemäßer Luftlagertisch besteht aus einer Abstützplatte, auf welcher der Luftlagertisch mittels Luftlagerung und einer Druckluftzuführung zwischen Tisch und Abstützplatte auf einem Luftpolster beweglich ist [Luftlagertisch], mit einem aus zwei Linearführungen bestehenden Kreuztisch, dessen feststehender Teil der unteren Linearführung fest mit der Abstützplatte verbunden ist, wobei auf dem oberen beweglichen Teil der oberen Linearführung des Kreuztisches eine Koppelplatte angeordnet ist, welche in X-Y-Richtung starr und in Z-Richtung verformbar gehaltert ist, und auf der Koppelplatte eine sich in vertikaler Richtung erhebende Tragsäule angeordnet ist, auf deren oberen Ende der Luftlagertisch waagrecht sich befindet.
Kurzbeschreibung der Zeichnung, in der zeigen:
Figur 1 eine Seitenansicht der Vorrichtung, in der die Abstützplatte
Figur 1 eine Seitenansicht der Vorrichtung, in der die Abstützplatte
teilweise geschnitten gezeigt ist
Figur 2 einen Längsschnitt durch die Vorrichtung zur Darstellung der
Figur 2 einen Längsschnitt durch die Vorrichtung zur Darstellung der
Halterung der Säule
Figur 3 eine Prinzipskizze eines Kreuztisches und
Figur 4 eine Prinzipskizze einer Linearführung eines Kreuztisches
zur Darstellung der auftretenden Fehler
zur Darstellung der auftretenden Fehler
Anhand der Figuren 3 und 4 sei kurz auf die Funktionsweise und die Fehler eines Kreuztisches 1 eingegangen. Ein Kreuztisch 1 besteht aus zwei Linearführungen, nämlich einem unteren feststehenden Teil 2, Bett 2, und einem
beweglichen Teil 3, Schlitten 3. Auf dem unteren Schlitten 3 ist in einem rechten Winkel ein Bett 4 der oberen Linearführung montiert. Auf diesem Bett 5 läuft ein Schlitten 5, der seinerseits eine Tischfläche zu tragen imstande ist. Somit kann sich der auf der oberen Linearführung geführte obere Schlitten 5 und ein dort aufgebauter Tisch in einer X-Y-Ebene geführt bewegen. Bei einer Bewegung weist dieser Schlitten 5 zwölf Fehler auf, von denen zwei Fehler Linearfehler in Z-Richtung sind.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung besteht gemäß den Figuren 1 und 2 aus einem Kreuztisch 1, der in bekannter Weise aus zwei Linearführungen 2, 3 und 4, 5 besteht. Die Linearführungen werden je aus einem Bett 2, 4 sowie je einem Schlitten 3, 5 gebildet. Das untere Bett 2, welches aus wenigstens einer Schiene bestehen kann, ist an den Enden geeignet feststehend gehaltert. Im gezeigten Beispiel sind die Enden des Bettes 2 in vertikalen Standsäulen 6, 7 gehaltert, welche auf dem Boden 8 stehen und welche zum Tragen einer massiven Abstützplatte 9 dienen. Die Abstützplatte 9 weist eine ebene, vorzugsweise absolut plan geschliffene Oberfläche 29 auf und kann zum Beispiel aus geschliffenem Granit bestehen.
Auf dem unteren, beweglichen Schlitten 3 der unteren Linearführung ist in einem rechten Winkel ein oberes Bett 4 fest montiert, welches ebenfalls eine Schiene 4 sein kann. Beim Verfahren des unteren Schlittens 3 wird somit die obere Schiene 4 mitgenommen. Auf dieser Schiene 4 läuft beweglich ein Schlitten 5, der bevorzugt eine plane Oberfläche besitzt. Der untere Schlitten 3 kann mittels einer (nicht gezeigten) Spindel, die von einem Elektromotor 20 rotatorisch angetrieben wird, bewegt werden; die Antriebselemente für die Bewegung des oberen Schlittens 5 auf der Schiene 4 sind nicht dargestellt.
Auf dem Schlitten 5 befindet sich ein unterer Torus 11, dessen Aussenkontur kreisförmig oder quadratisch sein kann. Auf den unteren Torus Il folgt eine Koppelplatte 13, welche vorzugsweise eine dünne Stahlplatte ist. Auf diese Koppelplatte 13 folgt ein oberer Torus 12, welcher bevorzugt die gleichen Abmessungen wie der untere Torus Il aufweist. Schraubbolzen 23, 24 durchsetzen peripher die Tori 11, 12 und die dazwischen angeordnete Koppelplatte 13 und sind in Gewindebohrungen innerhalb des Schlittens 5 geschraubt, so
Sfi-W/ie.05.2000
dass beim Festziehen der Schraubbolzen 23, 24 die Koppelplatte fest zwischen die Tori 11, 12 eingespannt ist. Der Koppelplatte 13 kann während des Einspannprozesses eine gewisse Vorspannung aufgeprägt werden, so dass sich die Oberfläche der Koppelplatte 13 um eine kleine Strecke &Dgr;&zgr; nach oben wölbt und dadurch geringfügig bombiert sein kann.
Auf der Koppelplatte 13 ist zentrisch bzw. mittig innerhalb der von den Tori 11, 12 aufgespannten Oberfläche eine Tragsäule 21 angeordnet, welche vorzugsweise zylindrisch oder rechteckig ausgestaltet ist und an ihren beiden Enden Befestigungselemente aufweist, welche hier aus je einem unteren und einem oberen Flansch 22 bzw. 19 bestehen. Der Flansch 22 weist Bohrungen auf, welche mit entsprechenden Bohrungen innerhalb der Koppelplatte 13 korrespondieren; durch diese Bohrungen sind Gewindeschrauben 25, 26 geführt und unterhalb der Koppelplatte 13 mit Muttern 27, 28 gekontert. Auf diese Weise ist die Tragsäule 21 fest mit der Koppelplatte 13 verbunden. Der Durchmesser der Tragsäule 21 bzw. der Radius des geometrischen Ortes der Einspannstellen des unteren Flansches 22 ist um die Strecke a kleiner als der Innendurchmesser der Tori 11, 12, wobei diese Strecke a zwischen 1/10 bis 1/3 des Radius der Tori 11, 12 betragen kann.
Auf der Tragsäule 21 und dem oberen Flansch 19 ist ein Tisch 14 angeordnet. Dieser Tisch 14 besitzt an seinen Enden eine Mehrzahl von verteilt angeordneten Luftverteilern, denen über Luftzuführungen 17, 18 Druckluft zugeführt werden kann. Die Luftverteiler 15, 16 stützen sich ihrerseits auf der Abstützplatte 9 ab. Bei Zuführung von Druckluft in die Luftverteiler 15, 16 heben dieselben um einen geringen Abstand von der Oberfläche 29 der Abstützplatte 9 ab, so dass der Tisch 14 mittels der Druckluft über der Abstützplatte 9 schwebt.
Die Koppelplatte 13 übernimmt somit die linearen Führungseigenschaften des Kreuztisches 1 in der X- und in der Y-Richtung sowie die rotatorischen Führungseigenschaften um die Vertikale in Z-Richtung. Aufgrund der erfindungsgemäßen Einspannung der Koppelplatte 13 auf dem Kreuztisch 1 führt die Koppelplatte 13 Bewegungen in X-Y-Richtung starr aus.
• »·
- 10 -
Diese Bewegungen in der X-Y-Ebene werden somit starr und praktisch ohne Fehler auf die Tragsäule 21 und damit auf den Tisch 14 übertragen, der somit in der X-Y-Ebene geführt wird.
Hingegen ist die Koppelplatte 13 in Z-Richtung verformbar gestaltet, so dass aufgrund der erfindungsgemäßen Befestigung der Tragsäule 21 auf der Koppelplatte 13 dieselbe Linearfehler in Z-Richtung sowie rotatorische Fehler um die Horizontale des Kreuztisches 1 auffängt. Damit werden von der Koppelplatte 13 weder Linearfehler in Z-Richtung noch rotatorische Fehler um die Horizontale des Kreuztisches 1 auf den auf der Abstützplatte 9 luftgelagerten Tisch 14 übertragen.
Die Vorrichtung wird vorteilhaft bei einem Luftlagertisch 14 angewendet, bestehend aus einer Abstützplatte 9, auf welcher der Luftlagertisch 14 mittels Luftlagerung 15,16 und einer Druckluftzuführung 17,18 zwischen Tisch 14 und Abstützplatte 9 auf einem Luftpolster beweglich ist [Luftlagertisch 14], mit einem aus zwei Linearführungen 2, 3, 4, 5 bestehenden Kreuztisch 1, dessen feststehender Teil 2 der unteren Linearführung 2, 3 fest mit der Abstützplatte 9 verbunden ist, wobei auf dem oberen beweglichen Teil 5 der oberen Linearführung 4, 5 des Kreuztisches 1 eine Koppelplatte 13 angeordnet ist, welche in X-Y-Richtung starr und in Z-Richtung verformbar gehaltert ist, und auf der Koppelplatte 13 eine sich in vertikaler Richtung erhebende Tragsäule 21 angeordnet ist, auf deren oberen Ende der Luftlagertisch 14 waagrecht sich befindet. Die Koppelplatte 13 ist mit ihrem peripheren Rand zwisehen zwei Tori 11, 12 fest eingespannt, welche fest mit dem oberen beweglichen Teil 5 der oberen Linearführung 4, 5 des Kreuztisches 1 verbunden sind, wobei innerhalb des freien lichten Durchmessers der Tori 11, 12 und somit innerhalb des verformbaren Teils der Koppelplatte 13 die Tragsäule 21 angeordnet ist, deren Durchmesser kleiner als derjenige des verformbaren Teils der Koppelplatte 13 ist.
- 11 -
Liste der Bezugszeichen:
| 1 | Kreuztisch |
| 2 | unteres Bett |
| 3 | unterer Schlitten |
| 4 | oberes Bett |
| 5 | oberer Schlitten |
| 6,7 | Standsäulen |
| 8 | Boden |
| 9 | Abstützplatte |
| 10 | Aussparung |
| 11 | Ring |
| 12 | Koppelplatte |
| 13 | Ring |
| 14 | Tisch |
| 15, 16 | Luftverteiler |
| 17,18 | Luftzuführungen |
| 19 | oberer Flansch der Säule |
| 20 | Elektromotor |
| 21 | Tragsäule |
| 22 | unterer Flasch der Säule |
| 23,24 | Schraubbolzen |
| 25,26 | Schrauben |
| 27,28 | Kontermuttern |
| 29 | Oberfläche der Abstützplatte |
Claims (10)
1. Vorrichtung zum Führen eines Tisches (14) in der X-Y-Ebene, mit einem aus zwei Linearführungen (2, 3; 4, 5) bestehenden Kreuztisch (1) sowie einer Abstützplatte (9), auf welcher der Tisch (14) mittels Luftlagerung (15, 16) und einer Druckluftzuführung (17, 18) zwischen Tisch (14) und Abstützplatte (9) auf einem Luftpolster beweglich ist [Luftlagertisch (14)], wobei auf dem oberen beweglichen Teil (5) der oberen Linearführung (4, 5) des Kreuztisches (1) eine Koppelplatte (13) angeordnet ist, welche in X-Y-Richtung starr und in Z- Richtung verformbar gehaltert ist, und auf der Koppelplatte (13) eine sich in vertikaler Richtung erhebende Tragsäule (21) angeordnet ist, auf deren oberen Ende der Tisch (14) waagrecht sich befindet.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Koppelplatte (13) mit ihrem peripheren Rand zwischen zwei Ton (11, 12) fest eingespannt ist, welche fest mit dem oberen beweglichen Teil (5) der oberen Linearführung (4, 5) des Kreuztisches (1) verbunden sind, wobei innerhalb des freien lichten Durchmessers der Ton (11, 12) und somit innerhalb des verformbaren Teils der Koppelplatte (13) die Tragsäule (21) angeordnet ist, deren Durchmesser kleiner als derjenige des verformbaren Teils der Koppelplatte (13) ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der obere bewegliche Teil (5) der oberen Linearführung (4, 5) ein Schlitten (5) ist, auf welchen die Ton (11) mit der Koppelplatte (13) dazwischen liegend fest aufgeschraubt sind.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass innerhalb der Oberfläche des oberen beweglichen Teils (5) der oberen Linearführung (4, 5) eine Aussparung angeordnet ist, über welche die Koppelplatte (13) gespannt und mit ihrem peripheren Rand fest mit dem oberen beweglichen Teil (5) des Kreuztisches befestigt ist.
5. Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Koppelplatte (13) in ihrer Halterung vorgespannt ist.
6. Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Tragsäule (21) an ihrem unteren Ende einen Flansch (22) aufweist, mit welchem die Tragsäule (21) auf der Koppelplatte (13) befestigt ist, beispielsweise mittels Schrauben (25, 26) und Kontermuttern (27, 28) aufgeschraubt ist.
7. Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Ton (11, 12) sowie die Koppelplatte (13) runden oder quadratischen Querschnitt aufweisen, wobei die Tragsäule (21) zentrisch bzw. mittig innerhalb der Ton (11, 12) auf der Koppelplatte (13) angeordnet ist.
8. Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Durchmesser der Tragsäule (21) bzw. der Radius des geometrischen Ortes der Einspannstellen des unteren Flansches (22) der Tragsäule (21) um eine Strecke (a) kleiner als der Innendurchmesser der Ton (11, 12) ist, wobei die Strecke (a) zwischen 1/10 bis 1/3 des Radius der Ton (11, 12) beträgt.
9. Luftlagertisch (14), bestehend aus einer Abstützplatte (9), auf welcher der Luftlagertisch (14) mittels Luftlagerung (15, 16) und einer Druckluftzuführung (17, 18) zwischen Tisch (14) und Abstützplatte (9) auf einem Luftpolster beweglich ist [Luftlagertisch (14)], mit einem aus zwei Linearführungen (2, 3; 4, 5) bestehenden Kreuztisch (1), dessen feststehender Teil (2) der unteren Linearführung (2, 3) fest mit der Abstützplatte (9) verbunden ist, wobei auf dem oberen beweglichen Teil (5) der oberen Linearführung (4, 5) des Kreuztisches (1) eine Koppelplatte (13) angeordnet ist, welche in X-Y- Richtung starr und in Z-Richtung verformbar gehaltert ist, und auf der Koppelplatte (13) eine sich in vertikaler Richtung erhebende Tragsäule (21) angeordnet ist, auf deren oberen Ende der Luftlagertisch (14) waagrecht sich befindet.
10. Luftlagertisch nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Koppelplatte (13) mit ihrem peripheren Rand zwischen zwei Ton (11, 12) fest eingespannt ist, welche fest mit dem oberen beweglichen Teil (5) der oberen Linearführung (4, 5) des Kreuztisches (1) verbunden sind, wobei innerhalb des freien lichten Durchmessers der Ton (11, 12) und somit innerhalb des verformbaren Teils der Koppelplatte (13) die Tragsäule (21) angeordnet ist, deren Durchmesser kleiner als derjenige des verformbaren Teils der Koppelplatte (13) ist.
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE20008723U DE20008723U1 (de) | 2000-05-16 | 2000-05-16 | Vorrichtung zum Führen eines Tisches in der X-Y-Ebene |
| AU2001265776A AU2001265776A1 (en) | 2000-05-16 | 2001-05-14 | Device for guiding a table in the x-y plane and air bearing table equipped with such a device |
| PCT/DE2001/001787 WO2001087536A1 (de) | 2000-05-16 | 2001-05-14 | Vorrichtung zum führen eines tisches in der x-y-ebene und luftlagertisch mit einer derartigen vorrichtung |
| DE10191938T DE10191938B4 (de) | 2000-05-16 | 2001-05-14 | Vorrichtung zum Führen eines Tisches in der X-Y-Ebene |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE20008723U DE20008723U1 (de) | 2000-05-16 | 2000-05-16 | Vorrichtung zum Führen eines Tisches in der X-Y-Ebene |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE20008723U1 true DE20008723U1 (de) | 2001-09-27 |
Family
ID=7941542
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE20008723U Expired - Lifetime DE20008723U1 (de) | 2000-05-16 | 2000-05-16 | Vorrichtung zum Führen eines Tisches in der X-Y-Ebene |
| DE10191938T Expired - Fee Related DE10191938B4 (de) | 2000-05-16 | 2001-05-14 | Vorrichtung zum Führen eines Tisches in der X-Y-Ebene |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE10191938T Expired - Fee Related DE10191938B4 (de) | 2000-05-16 | 2001-05-14 | Vorrichtung zum Führen eines Tisches in der X-Y-Ebene |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| AU (1) | AU2001265776A1 (de) |
| DE (2) | DE20008723U1 (de) |
| WO (1) | WO2001087536A1 (de) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106347692A (zh) * | 2016-09-09 | 2017-01-25 | 瑞邦晟达科技（北京）有限公司 | 环保无人机用的采样容器自动安装装置 |
| US20230234176A1 (en) * | 2020-06-16 | 2023-07-27 | Fanuc Corporation | Fluid balancer and machine tool |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE112007000386A5 (de) * | 2006-02-14 | 2008-12-24 | Inspire AG für mechatronische Produktionssysteme und Fertigungstechnik | Werkzeugmaschine |
| CN103869835B (zh) * | 2014-04-01 | 2016-06-01 | 哈尔滨工业大学 | 基于非正交结构的三轴气浮台质心调节装置 |
| US12123459B1 (en) * | 2023-10-18 | 2024-10-22 | Wuxi Xivi Science And Technology Co., Ltd. | Combinable multi-axis structure and linear motion platform having the structure |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3218108A (en) * | 1962-10-11 | 1965-11-16 | Link Division Of General Prec | Precision positioning apparatus |
| US3377111A (en) * | 1966-02-15 | 1968-04-09 | Optomechanisms Inc | Precision coordinate axes table means |
| DE6921062U (de) * | 1969-05-23 | 1969-12-11 | Hamuel Werkzeugfab Kirschbaum | Beweglicher werkstuecktisch mit waelzlagerung |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0583035B1 (de) * | 1992-08-12 | 1996-11-27 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Getriebemechanismus sowie Positioniereinrichtung mit einem derartigen Getriebemechanismus und Lithographieeinrichtung mit einer derartigen Positioniereinrichtung |
-
2000
- 2000-05-16 DE DE20008723U patent/DE20008723U1/de not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-05-14 AU AU2001265776A patent/AU2001265776A1/en not_active Abandoned
- 2001-05-14 DE DE10191938T patent/DE10191938B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2001-05-14 WO PCT/DE2001/001787 patent/WO2001087536A1/de not_active Ceased
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3218108A (en) * | 1962-10-11 | 1965-11-16 | Link Division Of General Prec | Precision positioning apparatus |
| US3377111A (en) * | 1966-02-15 | 1968-04-09 | Optomechanisms Inc | Precision coordinate axes table means |
| DE6921062U (de) * | 1969-05-23 | 1969-12-11 | Hamuel Werkzeugfab Kirschbaum | Beweglicher werkstuecktisch mit waelzlagerung |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106347692A (zh) * | 2016-09-09 | 2017-01-25 | 瑞邦晟达科技（北京）有限公司 | 环保无人机用的采样容器自动安装装置 |
| US20230234176A1 (en) * | 2020-06-16 | 2023-07-27 | Fanuc Corporation | Fluid balancer and machine tool |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE10191938B4 (de) | 2006-03-09 |
| DE10191938D2 (de) | 2003-04-24 |
| WO2001087536A1 (de) | 2001-11-22 |
| AU2001265776A1 (en) | 2001-11-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0252871A1 (de) | Industrieroboter | |
| DE3602549A1 (de) | Vorrichtung zum tragen von horizontal und vertikal verstellbaren informationsgeraeten | |
| DE202017003923U1 (de) | Bearbeitungszentrum für Metallprofile | |
| EP3765670B1 (de) | Schienen-schleifmaschine zum schleifen von schienen eines gleises | |
| DE102012216020B4 (de) | Verschiebesystem für einen Montage- oder Schweißtisch | |
| DE20008723U1 (de) | Vorrichtung zum Führen eines Tisches in der X-Y-Ebene | |
| CH665158A5 (de) | Wechselpalette zum einspannen und ausrichten von werkstuecken. | |
| DE1627326C3 (de) | Kreuztisch fur Werkzeugmaschinen | |
| EP0899536B1 (de) | Koordinatenmessgerät oder Bearbeitungsmaschine | |
| CH650443A5 (de) | Rolltisch fuer holzbearbeitungsmaschinen. | |
| DE3817773A1 (de) | Abdeckvorrichtung fuer fuehrungselemente des portals einer als portalmaschine ausgebildeten bearbeitungsmaschine | |
| DE19730966A1 (de) | Auflage-, Schweiß- und Montagevorrichtung für Großbaugruppen im Fahrzeugbau, insbesondere Schienenfahrzeugbau | |
| DE102005061613A1 (de) | Werkzeugmaschine zum Bearbeiten von Verzahnungen | |
| WO1988004972A1 (fr) | Dispositif permettant le deplacement rectiligne de pieces ou d'objets | |
| EP0121123B1 (de) | Koordinatenwagen für eine in der Holzbearbeitung einsetzbare Oberfräse | |
| EP0707809B1 (de) | Arbeitstisch | |
| EP0742064B1 (de) | Werkzeugrevolver | |
| DE3703260A1 (de) | Vorrichtung zum pruefen der achslager von fahrzeugraedern | |
| DE3835301C2 (de) | Schnellradialbohrmaschine | |
| DE696331C (de) | Selbsttaetige Lichtbogenschweissvorrichtung, bei welcher der Schweisswagen auf Schienen ueber eine an beiden Enden gelagerte Bruecke faehrt | |
| DE202005020088U1 (de) | Werkzeugmaschine zum Bearbeiten von Verzahnungen | |
| DE69013506T2 (de) | Gleis und verfahren zu seiner herstellung. | |
| WO1991000383A1 (de) | Vorschubeinrichtung für nähmaschinen | |
| DE4342843A1 (de) | Vorrichtung zum Bearbeiten von Fahrschienen und Führungen von Einschienen-Anlagen | |
| DE4139281A1 (de) | Werkzeugmaschine |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R163 | Identified publications notified | ||
| R207 | Utility model specification |
Effective date: 20011031 |
|
| R150 | Utility model maintained after payment of first maintenance fee after three years |
Effective date: 20030508 |
|
| R151 | Utility model maintained after payment of second maintenance fee after six years |
Effective date: 20061115 |
|
| R152 | Utility model maintained after payment of third maintenance fee after eight years |
Effective date: 20081117 |
|
| R071 | Expiry of right |