DE20005071U1 - Optical component with thin film heating - Google Patents
Optical component with thin film heatingInfo
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Description
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# 5431 Ah/pr-ri, se ' &iacgr; "j # · ; ·. . ; ··Fraunhofer Society for the Promotion of Advanced Research in the Field of Medical Devices
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Die vorliegende Erfindung betrifft optische Komponenten wie optische Gläser, Linsen und Spiegel, die eine Oberfläche aufweisen, die mit einer transparenten Dünnschichtheizung versehen ist. Insbesondere betrifft die vorliegende Erfindung optische Geräte, die eine derartige optische Komponente enthalten.The present invention relates to optical components such as optical glasses, lenses and mirrors having a surface provided with a transparent thin film heater. In particular, the present invention relates to optical devices containing such an optical component.
Es ist ein bekanntes und lästiges Problem, dass bei Temperaturwechseln optische Komponenten wie Linsen, Spiegel oder auch geschliffene Gläser mit Feuchtigkeit beschlagen. Ein besonderes Problem stellt das Beschlagen zum Beispiel bei Vermessungsgeräten dar, da durch die Benetzung der Oberfläche mit Wasser ein reibungsloses Arbeiten mit derartigen Geräten nicht mehr möglich ist.It is a well-known and annoying problem that optical components such as lenses, mirrors or even ground glass fog up with moisture when temperatures change. Fogging is a particular problem with surveying equipment, for example, because the wetting of the surface with water means that such equipment can no longer work smoothly.
Prinzipiell könnte die beschlagene Oberfläche durch Reinigen oder Abwischen mit einem Tuch von dem Wasser befreit werden. Jedoch ist in manchen Geräten die mit Feuchtigkeit beschlagene optische Komponente nur schwer zugänglich, so dass ein Reinigen oder Abwischen mit einem Tuch umständlich oder erst gar nicht möglich ist. Zudem wird dadurch das Problem nicht gelöst, da nach dem Abwischen sofort wieder erneutes Beschlagen auftreten kann.In principle, the fogged-up surface could be freed of water by cleaning it or wiping it with a cloth. However, in some devices, the optical component that has fogged up with moisture is difficult to access, making cleaning or wiping it with a cloth difficult or even impossible. This also does not solve the problem, as fogging can occur again immediately after wiping.
Es ist bekannt, das Beschlagen von Oberflächen zu verhindern, indem diese Oberflächen mittels einer geeigneten geometrischen Oberflächenstrukturierung anti-benetzend gemacht werden. Eine derartige geometrische Oberflächenstrukturierung beeinträchtigt jedoch die Abbildungseigenschaften und ist daher für optische Komponenten ungeeignet.It is known to prevent fogging of surfaces by making these surfaces anti-wetting by means of a suitable geometric surface structuring. However, such geometric surface structuring impairs the imaging properties and is therefore unsuitable for optical components.
Darüber hinaus unterliegen derartige Antihaftschichten der Alterung, so dass sie im Verlauf der Zeit nach und nach unbrauchbar werden.
30In addition, such non-stick coatings are subject to aging, so that they gradually become unusable over time.
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Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung derangewansIteB fesschunge.V. &igr; # 5431 Ah/pr-ri, se * &Idigr; *! I '. .* I I I Fraunhofer Society for the Promotion of Applied Sciences.V. &igr;# 5431 Ah/pr-ri, se * &Idigr; *! I '. .* III
20.03.2000 - Beschreibung - · &Idigr; * I &idigr;. I ' I Il 03/20/2000 - Description - · &Idigr; * I &idigr;. I'I Il
Gemäß einem weiteren Lösungsansatz ist vorgeschlagen worden, das optische Gerät als solches mit einem Heizsystem zur Erwärmung zu versehen. Von Nachteil ist hier, dass das gesamte optische Gerät erwärmt wird und nicht nur die Teile, die der Betauung ausgesetzt sind, so dass ein unnötig hoher Energiebedarf erforderlich ist.According to another approach, it has been proposed to provide the optical device itself with a heating system for heating. The disadvantage here is that the entire optical device is heated and not just the parts that are exposed to condensation, so that an unnecessarily high energy requirement is required.
Für Geräte, die im Außenbereich - auch über längere Zeit - eingesetzt werden sollen, ist jedoch ein hoher Energiebedarf für die Heizung von Nachteil, da die erforderlichen Energiequellen nur schwer zur Verfügung gestellt werden können. 10However, for devices that are to be used outdoors - even for long periods of time - a high energy requirement for heating is a disadvantage, as the necessary energy sources are difficult to provide. 10
Wünschenswert ist somit eine Heizvorrichtung, die möglichst gezielt nur die Bereiche beheizt, die der Betauung/Beschlagung ausgesetzt sind, und die nur einen geringen Energiebedarf aufweist.What is therefore desirable is a heating device that heats as precisely as possible only those areas that are exposed to condensation/fogging and that has only a low energy requirement.
Gezielte Beheizung bedeutet im Fall der vorstehenden optischen Geräte, bei denen die optischen Komponenten vor Betauung geschützt werden sollen, dass diese optischen Komponenten direkt beheizt werden können.In the case of the above optical devices, where the optical components are to be protected from condensation, targeted heating means that these optical components can be heated directly.
Dies erfordert jedoch eine Heizvorrichtung, die die optischen Eigenschaften, insbesondere die Abbildungseigenschaften, dieser Komponenten nicht beeinträchtigt. Eine geeignete Heizvorrichtung für optische Komponenten sollte daher die Lichtintensität möglichst wenig oder gar nicht beeinträchtigen. Sie muss im genutzten Bereich transparent sein, und sollte zur Vermeidung von Streuung hinreichend glatt sein.
25However, this requires a heating device that does not affect the optical properties, in particular the imaging properties, of these components. A suitable heating device for optical components should therefore affect the light intensity as little as possible or not at all. It must be transparent in the area used and should be sufficiently smooth to avoid scattering.
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In der US 4,942,629 ist eine Skibrille beschrieben, deren Sichtglas gegen Beschlagen mit einer heizbaren leitfähigen Schicht, wie zum Beispiel einem transparenten dielektrischen Material, zum Beispiel Zinnoxid oder aus einemUS 4,942,629 describes ski goggles whose lens is protected against fogging by a heatable conductive layer, such as a transparent dielectric material, for example tin oxide or a
semi-transparenten Metall wie Gold oder Silber versehen ist. 30semi-transparent metal such as gold or silver. 30
Da Skibrillen üblicherweise eine Sonnen- d. h. Lichtschutzfunktion erfüllen sollen, spielen Lichtintensitätsverluste, die durch die beheizbare Schicht bewirkt werden können, keine Rolle, sondern sind vielmehr erwünscht.Since ski goggles are usually designed to provide protection from the sun, i.e. light, losses in light intensity that can be caused by the heated layer are not important but are actually desirable.
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung des angewandteniFerschuitge.Vr*,
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Weiter ist aus der DE 41 40 415 eine Flüssigkristallanzeige beschrieben, wobei eine transparente Schicht aus einem leitfähigen Oxid als Dünnschichtheizung vorgesehen ist (zum Beispiel einer Zinn-Indiumoxid-Schicht), die die Flüssigkristallanzeige bei der erforderlichen Betriebstemperatur für die eingesetzten Flüssigkristalle hält und somit die Flüssigkristallzelle unabhängig von der Außentemperatur macht.Furthermore, DE 41 40 415 describes a liquid crystal display in which a transparent layer of a conductive oxide is provided as a thin-film heater (for example a tin-indium oxide layer), which keeps the liquid crystal display at the required operating temperature for the liquid crystals used and thus makes the liquid crystal cell independent of the outside temperature.
In den vorstehend genannten Druckschriften werden jedoch an die Dünnschichtheizungen keine über eine ausreichende Transparenz hinausgehenden weiteren Eigenschaften gestellt. So weisen Skibrillen keine geschliffenen Gläser mit speziellen optischen Eigenschaften auf, die durch die vorgesehene Heizung nicht beeinträchtigt werden dürfen. Anders bei den optischen Komponenten für optische Geräte, zum Beispiel Vermessungsgeräten, wie sie erfindungsgemäß anfokussiert werden.However, in the above-mentioned publications, no further properties are required of the thin-film heaters beyond sufficient transparency. For example, ski goggles do not have ground lenses with special optical properties that must not be impaired by the intended heater. This is different for the optical components for optical devices, for example surveying devices, as they are focused according to the invention.
Hierbei handelt es sich um Präzisionsgeräte, deren optische Komponenten in aufwendigen Prozessen hergestellt und entspiegelt werden müssen, um die geforderten optischen Eigenschaften zu erreichen. So werden durch Aufbringen von Entspiegelungsschichten, die typischerweise aus einem SiO2/TiO2-Multilagensystem bestehen, Lichtintensitätsverluste durch Spiegelung vermieden. Das Vorsehen einer weiteren Schicht auf der wirksamen Oberfläche von optischen Komponenten wird daher üblicherweise vermieden, um diese mit hoher Präzision arbeitenden Geräte nicht zu beeinträchtigen.These are precision devices whose optical components must be manufactured in complex processes and given an anti-reflective coating in order to achieve the required optical properties. For example, light intensity losses due to reflection are avoided by applying anti-reflective coatings, which typically consist of a SiO 2 /TiO 2 multilayer system. The provision of an additional layer on the effective surface of optical components is therefore usually avoided in order not to impair these devices, which work with high precision.
C. G. Granqvist beschreibt in "Window coatings for the future", Thin Solid Films, 1990, Seiten 730 - 741, zahlreiche Anwendungsmöglichkeiten für Dünnschichtmaterialien wie ZnO, In2O3 und SnO2, wie sie, insbesondere für Automobile, in der Zukunft wichtig werden können. Es findet sich jedoch kein Hinweis auf eine mögliche Anwendung derartiger.Dünnschichten als Heizsysteme, zum Beispiel auf einfachen Fenstern oder gar für optische Komponenten.In "Window coatings for the future", Thin Solid Films, 1990, pages 730 - 741, CG Granqvist describes numerous possible applications for thin film materials such as ZnO, In 2 O 3 and SnO 2 , which could become important in the future, especially for automobiles. However, there is no reference to a possible application of such thin films as heating systems, for example on simple windows or even for optical components.
Fraunhofer-Gesellschaft zur Fördetung desangewandtefiiFerschunge.V·
#5431 Ah/pr-ri, se * : '*, I I ." I '* I Fraunhofer Society for the Promotion of Applied Research.V·
#5431 Ah/pr-ri, se * : '*, II ." I '* I
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Die US 5,201,926 betrifft ein Schichtsystem, das auf KFZ-Scheiben aufgebracht wird, um Aufheizung des Fahrzeuginneren zu vermeiden, in dem durch das Schichtsystem der Infrarotanteil des Lichts weitestgehend reflektiert wird und so ein erheblicher Energieeintrag in das Fahrzeuginnere vermieden wird. Das System weist eine sehr dünne Silberschicht auf, wie sie prinzipiell auf für eine Dünnschichtheizung geeignet wäre.US 5,201,926 concerns a coating system that is applied to car windows to prevent the vehicle interior from heating up. The coating system largely reflects the infrared portion of the light, thus preventing a significant amount of energy from entering the vehicle interior. The system has a very thin silver layer, which would in principle be suitable for thin-film heating.
Es war Aufgabe der vorliegenden Erfindung, optische Komponenten wie sie für optische Geräte zum Einsatz kommen, zur Verfügung zu stellen, die nicht beschlagen, wobei zudem das Beschlagen der Oberfläche dieser optischen Komponenten gezielt verhindert werden kann, ohne dass die optischen Eigenschaften der wirksamen Oberflächen dieser Komponenten beeinträchtigt werden. Entgegen den Erwartungen wurde überraschenderweise festgestellt, dass auf Oberflächen von optischen Komponenten eine transparente Dünnschichtheizung aufgebracht werden kann, ohne dass die hohen optischen Anforderungen, die an derartige Komponenten gestellt werden, beeinträchtigt werden.The object of the present invention was to provide optical components such as those used for optical devices that do not fog up, and in addition, fogging of the surface of these optical components can be specifically prevented without impairing the optical properties of the effective surfaces of these components. Contrary to expectations, it was surprisingly found that a transparent thin-film heater can be applied to the surfaces of optical components without impairing the high optical requirements placed on such components.
. Die vorliegende Erfindung betrifft somit optische Komponenten, wobei auf einer Oberfläche der optischen Komponenten eine transparente Dünnschichtheizung aufgebracht ist.The present invention thus relates to optical components, wherein a transparent thin-film heater is applied to a surface of the optical components.
Optische Komponenten im Sinne der Erfindung sind Komponenten mit optisch wirksamer Oberfläche, wie sie für optische Geräte wie Vermessungsgeräten, Fotoapparaten aber auch für Brillen zur Regulierung von Fehlsichtigkeit zum Einsatz kommen. Beispiele sind optische Gläser wie Linsen, Spiegel oder ähnliches.Optical components within the meaning of the invention are components with an optically effective surface, such as those used for optical devices such as surveying devices, cameras, but also for glasses for correcting vision problems. Examples are optical glasses such as lenses, mirrors or similar.
Insbesondere hat sich herausgestellt, dass sich derartige Dünnschichtheizungen auch zur Beschichtung von optischen Komponenten eignen, die mit einer Entspiegelungsschicht versehen sind, ohne dass die Entspiegelung beeinträchtigt wird.In particular, it has been found that such thin-film heaters are also suitable for coating optical components that are provided with an anti-reflective coating without impairing the anti-reflective coating.
Fraunhofer-Gesellschaft zur FörderungFraunhofer Society for the Promotion
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Die erfindungsgemäß eingesetzte Dünnschichtheizung ist eine transparente leitfähige Oxidschicht bzw. Oxidschichtsystem. Hierbei können Materialien wie Zinn-Indiumoxid (ITO), ZnO-AI1 SnO2:Sb, ZnO1 In2O3, SnO2 oder ähnliche Materialien zum Einsatz kommen, unter deren Einfluss einerseits die optischen Eigenschaften erhalten bleiben und andererseits noch leitfähig genug sind, um die erforderlichen elektrischen Spannungen für eine ausreichende Heizleistung zu erbringen. In diesem Zusammenhang bedeutet ausreichende Heizleistung, dass bei unterschiedlichen Temperaturen und . Feuchte eine Betauung/Beschlagung entweder von vornherein verhindert oder das Wasser von der Oberfläche entfernt werden kann.The thin-film heater used according to the invention is a transparent conductive oxide layer or oxide layer system. Materials such as tin-indium oxide (ITO), ZnO - Al 1 SnO 2 :Sb, ZnO 1 In 2 O 3 , SnO 2 or similar materials can be used here, under the influence of which the optical properties are retained on the one hand and on the other hand are still conductive enough to provide the necessary electrical voltages for sufficient heating power. In this context, sufficient heating power means that at different temperatures and humidity, condensation/fogging can either be prevented from the outset or the water can be removed from the surface.
Die erfindungsgemäß eingesetzte Dünnschichtheizung kann ein Schichtsystem aufweisen, das aus zwei oder mehreren Schichten, die unterschiedlich sein können, zusammengesetzt ist. Als Beispiel sei ein Doppelschichtsystem wie zum Beispiel Ti/TiO2 genannt.The thin-film heater used according to the invention can have a layer system that is composed of two or more layers, which can be different. An example is a double-layer system such as Ti/TiO 2 .
Das Material für die Dünnschichtheizung kann direkt über die gesamte Fläche der optischen Komponente aufgebracht werden, so dass eine gleichmäßige Beheizung auf der gesamten Oberfläche der optischen Komponente möglich ist.The material for the thin film heating can be applied directly over the entire surface of the optical component, allowing uniform heating over the entire surface of the optical component.
Verfahren zum Aufbringen von leitfähigen Schichten sind bekannt und können auch zum Aufbringen der erfindungsgemäß eingesetzten Dünnschichtheizung verwendet werden. Bevorzugte Beispiele hierfür sind Vakuumverfahren wie das Aufdampfen oder Aufsputtem.Methods for applying conductive layers are known and can also be used to apply the thin-film heater used according to the invention. Preferred examples of these are vacuum methods such as vapor deposition or sputtering.
Erfindungsgemäß wird die Dünnschichtheizung direkt als Schicht bzw. Schichtsystem auf die optische Komponente, der Linse oder dem Spiegel etc. (die der Betauung ausgesetzt ist) aufgebracht. Die Dünnschichtheizung kann somit direkt auf die „Problemzone" aufgebracht werden und so gezielt nur den Bereich beheizen, der vor Betauung geschützt werden soll.According to the invention, the thin-film heating is applied directly as a layer or layer system to the optical component, the lens or the mirror etc. (which is exposed to condensation). The thin-film heating can thus be applied directly to the "problem zone" and thus specifically heat only the area that is to be protected from condensation.
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20.03.2000 - Beschreibung -20.03.2000 - Description -
Dies hat den großen Vorteil, dass der Energiebedarf auf das absolut notwendige Maß beschränkt werden kann, so dass insbesondere auch Energiequellen mit begrenzter Leistung eingesetzt werden können. Dies ist insbesondere für Außen- und/oder Langzeitanwendungen von Vorteil. Zudem kann die Leitfähigkeit dieser Schichten ohne weiteres in einen Bereich eingestellt werden, der mit elektrischen Spannungen auskommt, die üblicherweise vorhanden sind (wie zum Beispiel 12 V einer Autobatterie). Im Allgemeinen ist es ausreichend, Schichten mit einer Leitfähigkeit vorzusehen, die bei elektrischen Spannungen bis maximal 100 V eine ausreichende Heizleistung erbringen können.This has the great advantage that the energy requirement can be limited to the absolute minimum, meaning that energy sources with limited power can also be used. This is particularly advantageous for outdoor and/or long-term applications. In addition, the conductivity of these layers can easily be adjusted to a range that can cope with electrical voltages that are usually present (such as 12 V from a car battery). In general, it is sufficient to provide layers with a conductivity that can provide sufficient heating power at electrical voltages of up to 100 V.
Zur Versorgung mit der erforderlichen Energie ist die Dünnschichtheizung mit geeigneten entsprechenden elektrischen Anschlüssen ausgestattet, die mit einer Energiequelle wie zum Beispiel einer Batterie oder Ähnlichem verbunden sind.To supply the required energy, the thin film heater is equipped with suitable electrical connections that are connected to an energy source such as a battery or similar.
Besonders gute Ergebnisse lassen sich mit Heizschichten erzielen, die möglichst homogen auf der Oberfläche der optischen Komponente aufgebracht sind. Möglichst homogen bedeutet, dass die Variation der Schichtdicke über die Gesamtfläche kleiner als 5% ist. Derart homogene Heizschichten eignen sich insbesondere für optische Komponenten mit stark gewölbten Oberflächen wie zum Beispiel Linsen mit kurzer Brennweite.Particularly good results can be achieved with heating layers that are applied as homogeneously as possible to the surface of the optical component. As homogeneous as possible means that the variation in layer thickness over the entire surface is less than 5%. Such homogeneous heating layers are particularly suitable for optical components with strongly curved surfaces, such as lenses with a short focal length.
Wünschenswert ist eine möglichst homogene Beheizung der ganzen Oberfläche, die durch eine möglichst gleichmäßige Stromdichte über die Oberfläche erzielt werden kann. Hierfür können zum Beispiel sogenannte gespiittete Elektroden zum Einsatz kommen, die dafür sorgen, dass die Stromdichte über die Oberfläche möglichst gleichmäßig ist.It is desirable to heat the entire surface as homogeneously as possible, which can be achieved by ensuring that the current density is as uniform as possible across the surface. For this purpose, so-called splintered electrodes can be used, which ensure that the current density is as uniform as possible across the surface.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist die erfindungsgemäß eingesetzte Dünnschichtheizung derart ausgestaltet, dass sie sich nur im Bedarfsfall einschaltet. Das Einschalten kann mittels eines einfachen Schalters manuell geschehen. Für eine automatische oder halbautomatische Schaltung kann ein Taupunktsensor vorgesehen sein, dessen Signal als Steuerung für dieAccording to a further preferred embodiment, the thin-film heating used according to the invention is designed in such a way that it only switches on when necessary. Switching on can be done manually using a simple switch. For automatic or semi-automatic switching, a dew point sensor can be provided, the signal of which can be used as a control for the
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Heizung dient. Selbstverständlich ist auch eine Kombination aus manueller Schaltung und automatischer Steuerung möglich.Heating. Of course, a combination of manual switching and automatic control is also possible.
In einer weiteren Ausgestaltung kann für eine intelligente Steuerung der Dünnschichtheizung in der Schichtoberfläche eine dünner nichtleitender Steg eingebracht sein, was zum Beispiel auf einfache Weise durch Strukturierung geschehen kann. Hierbei sorgen zwei Elektroden für die Einkoppelung des Stroms. Sobald durch zunehmende Betauung der Steg überbrückt wird, erfolgt ein Steuerimpuls, der die Heizung in Gang setzt.In a further embodiment, a thin non-conductive bridge can be introduced into the layer surface for intelligent control of the thin-film heating, which can be done in a simple way by structuring, for example. Two electrodes ensure that the current is coupled in. As soon as the bridge is bridged by increasing condensation, a control pulse is sent that starts the heating.
Je nach den klimatischen Bedingungen kann es vorteilhaft sein, die optische Komponente oder das optische System bei einer Temperatur zu halten, bei der kein Niederschlag von Feuchtigkeit auftritt. Für die klimatischen Bedingungen, wie sie in Deutschland herrschen, ist zum Beispiel eine Temperatur von 20 °C für die optische Komponente ausreichend. Für einen derartigen kontinuierlichen Betrieb ist es vorteilhaft, wenn die Heizleistung der Dünnschichtheizung möglichst gering gehalten werden kann. Dies kann geschehen, indem das Schichtsystem möglichst niederohmig gewählt wird.Depending on the climatic conditions, it may be advantageous to keep the optical component or the optical system at a temperature at which no moisture condensation occurs. For the climatic conditions that prevail in Germany, for example, a temperature of 20 °C is sufficient for the optical component. For such continuous operation, it is advantageous if the heating power of the thin-film heater can be kept as low as possible. This can be achieved by selecting the layer system with as low a resistance as possible.
Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform wird zwischen der Oberfläche der optischen Komponente und der Dünnschichtheizung eine Schicht aus einem transparenten wärmedämmenden Material vorgesehen, so dass nur wenig Wärme in das Innere der optischen Komponente abgeführt wird, wodurch einerseits der Energiebedarf für die Dünnschichtheizung minimiert wird, und andererseits eine Beeinflussung des optischen Systems durch Temperaturvariation verhindert wird.According to a further advantageous embodiment, a layer of a transparent heat-insulating material is provided between the surface of the optical component and the thin-film heater, so that only a small amount of heat is dissipated into the interior of the optical component, which on the one hand minimizes the energy requirement for the thin-film heater and on the other hand prevents the optical system from being influenced by temperature variations.
Vorteilhafterweise wird der Auftrag der Dünnschichtheizung bei der Berechnung und Aufbringung der Entspiegelungssysteme, wie sie üblicherweise für optische Geräte bzw. optische Komponenten verwendet werden bzw. beim Schichtdesign derartiger entspiegelter Systeme oder Filter, berücksichtigt, wodurch zudem eine mögliche Beeinträchtigung der optischen Eigenschaften der entsprechendenAdvantageously, the application of the thin-film heating is taken into account in the calculation and application of the anti-reflective systems, as they are usually used for optical devices or optical components, or in the layer design of such anti-reflective systems or filters, which also prevents a possible impairment of the optical properties of the corresponding
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Komponente vermieden werden kann und deren einwandfreies Funktionieren sichergestellt ist.component can be avoided and its proper functioning is ensured.
In diesem Fall bildet die Dünnschichtheizung einen Bestandteil des optischen Schichtsystems und es können sowohl über als auch unter der leitfähigen Oxidschicht weitere optische Schichten vorgesehen sein.In this case, the thin film heater forms part of the optical layer system and additional optical layers can be provided both above and below the conductive oxide layer.
Die vorliegende Erfindung umfasst jede Art von optischer Komponente, die durch Aufbringen einer Dünnschichtheizung vor Betauung/Beschlagung mit Wasser geschützt wird. Derartige optische Komponenten weisen optisch wirksame Oberflächen auf, an die hohe Präzisionsanforderungen gestellt werden, wobei das als Dünnschicht aufzubringende Heizungssystem die optischen Eigenschaften dieser Komponenten nicht beeinträchtigen darf.The present invention encompasses any type of optical component that is protected from condensation/fogging with water by applying a thin-film heater. Such optical components have optically effective surfaces that have to meet high precision requirements, and the heating system to be applied as a thin film must not impair the optical properties of these components.
Weiter betrifft die Erfindung optische Geräte, die mit derartigen optischen Komponenten ausgestattet sind.The invention further relates to optical devices equipped with such optical components.
Claims (18)
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| Country | Link |
|---|---|
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| R163 | Identified publications notified |
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