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DE1926605B2 - FILTER SWITCHING OF SURFACE INSPECTION DEVICES - Google Patents

FILTER SWITCHING OF SURFACE INSPECTION DEVICES

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Publication number
DE1926605B2
DE1926605B2 DE19691926605 DE1926605A DE1926605B2 DE 1926605 B2 DE1926605 B2 DE 1926605B2 DE 19691926605 DE19691926605 DE 19691926605 DE 1926605 A DE1926605 A DE 1926605A DE 1926605 B2 DE1926605 B2 DE 1926605B2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
cut
filter
pass
curve
wave
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19691926605
Other languages
German (de)
Other versions
DE1926605A1 (en
DE1926605C (en
Inventor
Helmut Dr 6842 Burstadt Wolff
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jenoptik Industrial Metrology Germany GmbH
Original Assignee
Hommelwerke GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hommelwerke GmbH filed Critical Hommelwerke GmbH
Priority to DE19691926605 priority Critical patent/DE1926605C/en
Priority claimed from DE19691926605 external-priority patent/DE1926605C/en
Publication of DE1926605A1 publication Critical patent/DE1926605A1/en
Publication of DE1926605B2 publication Critical patent/DE1926605B2/en
Application granted granted Critical
Publication of DE1926605C publication Critical patent/DE1926605C/en
Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H11/00Networks using active elements
    • H03H11/02Multiple-port networks
    • H03H11/04Frequency selective two-port networks
    • H03H11/12Frequency selective two-port networks using amplifiers with feedback
    • H03H11/1217Frequency selective two-port networks using amplifiers with feedback using a plurality of operational amplifiers
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/34Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Networks Using Active Elements (AREA)
  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)

Description

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims (4)

litzen Lunge h- ht-i |l)m;il so grnl.t wie der Riefenah-litz lung h- ht-i | l) m; il as green as the grooved l'alciiiaiispriiche·. stand des /u untersuchenden Oberlläclienprnliis im.l'alciiiaiispriiche ·. stand of the examining Oberlläclienprnliis in. Wird der cut-off aber so grnü gewählt, dann könnenIf the cut-off is chosen so green, then you can Kiirrekiuryjied für ^cn cui-nl'f bei eleklroiii- andererseits die Welligkeitsamplituden vmi WelliyLnKiirrekiuryjied for ^ cn cui-nl'f in eleklroiii- on the other hand the ripple amplitudes vmi WelliyLn n Ohcrllächcnpnifgeräten. wobei im Überlra- 5 ten. deren Wellenlänge rund Klmal Riefenabsiand i-,i.n earphone pens. where in Überlra- 5 th. whose wavelength is around Klmal Riefenabsiand i-, i. ggeg des MeßsignaKerstärkers vor den Re- nicht mehr wirksam unterdrückt werden. Hei < ilvr-against the measuring signal amplifier before the Re- are no longer effectively suppressed. Hey <ilvr- cheiisehallimgen ein doppeltes C'-W-Iilter (zwei- llächenprüfgeriiten, bei denen der Voischub des Ί a-,t-cheiisehallimgen a double C'-W filter (two-surface test devices, in which the flow of the Ί a-, t- stuhger I Lochpaß) angeordnet ist, dadurch fühlcrs wm Hand geschieht, ist diese Abhängigkeitstuhger I hole pass) is arranged, thereby feeling the hand happens, this dependency is g e k e η η / e i c h η e ι, daß dem zweistufigen ebenfalls störend, weil die Taslgesehwindigkcii nichtg e k e η η / e i c h η e ι that the two-stage is also annoying because the Taslgesehwindigkcii not I lochpaßliher ein zusätzlicher Tiefpaßfilter züge- io immer genau eingehalten werden kann,I lochpaßliher an additional low-pass filter can always be strictly adhered to, schaltet ist. welcher die kurzwelligen Anteile der Zwar kann ein guter, fast rechteckiger Verlauf imis switched. which the short-wave components of the Although can have a good, almost rectangular course in the I" hertiagungskune auf 50 bis SO".1,, ihres Wertes ersten Teil der Filterkune mit sogenannten aktiu-nI "hertiagungskune on 50 to SO". 1 ,, their value first part of the filter kune with so-called aktiu-n verkleinert und dessen Zeitkonstanie auf die Zeit- Filtern (rechnende Filter) erzielt weiden, dich sind dic-and whose time constant is achieved on the time filters (calculating filters), you are dic- konsiante des 1 loehpasses -,o abgestimmt ist, se sehr aufwendig und teuer und können bei einfachenConsistent of the 1 Loehpasses -, o is coordinated, se very complex and expensive and can with simple daß eine optimale Linearisierung im Bereich der 15 Geräten deshalb nicht verwendet werden,that an optimal linearization in the range of the 15 devices is therefore not used, halben bis ganzen (Irenzwellenlänge des unkorri- Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde,half to whole (Irenzwavelength of the uncorre- The invention is therefore based on the object gierten cut-olTs des I loch passes erfolgt. unter Vermeidung der genannten Nachteile zur kurrck-Yawed cut-olTs of the I hole pass takes place. while avoiding the disadvantages mentioned for short-term 2. Korrekturglied fürden cut-off nach Anspruch 1. linder Übertragungskm \e des cut-offs eine l-ilteischaldadurch gekennzeichnet, daß die Kondensatoren lung zu schaffen, durch die die Überiraguiigskuru· ei- oder Widerstand" dieser Filterglieder in Stufen um- 20 nen nahezu rechteckigen Verlauf erhält.2. Correction element for the cut-off according to claim 1. Linder transmission km \ e of the cut-off an oil filter through it characterized in that the capacitors develop through which the Überiraguiigskuru · a- or resistance "of these filter elements in steps around an almost rectangular profile. schaltbar sind. Dies wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, daßare switchable. This is achieved according to the invention in that 3. Korrektlirglied fürden cut-off nach Anspruch! dem zweistufigen Hochpaßfilter ein zusätzlicher Tief- und 2. dadurch gekennzeichne!, daß die Filter- paßfUter zugeschaltet ist, welcher die kurzwelligen Angruppe zusätzlich ein zweites Tiefpaßfilier zur Ver- teile der Übertragungskurve auf 50 bis KO"/,, ihres kieincrung des Phasenfehlers erhält. 25 Wertes verkleinert und dessen Zeitkonstante auf die3. Corrector for the cut-off according to claim! the two-stage high-pass filter an additional low and 2. thereby gekennzeichne !, that the filter paßfUter is switched on, which the short-wave group In addition, a second low-pass filter for distributing the transfer curve to 50 to KO "/" yours kieincrung the phase error receives. 25 value and its time constant to the 4. Korrekturglied für den cut-off nach Anspruch 1 Zeitkonstante des Hochpasses so abgestimmt ist, daß bis 3. dadurch gekennzeichnet, daß die Filterglieder eine optimale Linearisierung im Bereich der halben bis zu einer Baugruppe vereinigt sind. ganzen Grenzwellenlänge des unkorrigierten cut-offs4. Correction element for the cut-off according to claim 1 time constant of the high pass is matched so that to 3. characterized in that the filter elements have an optimal linearization in the range of half to are combined to form an assembly. whole cut-off wavelength of the uncorrected cut-off des Flochpasses erfolgt.
30 Da jetzt ein wesentlich kleinerer cut-off für die
of the floch pass.
30 Since now a much smaller cut-off for the
richtige Erfassung der Rauheitsamplitude gewähltcorrect detection of the roughness amplitude selected werden kann, ist die Wahl des cut-ofTs unkritischer als vorher und die Unterdrückung der Wellenamplitudethe choice of the cut-ofT is less critical than before and the suppression of the wave amplitude Die Erfindung betrifft ein Korrck'. irglied für den ist besser. Als Nebeneffekt fällt noch eine VerkleinerungThe invention relates to a Korrck '. ir member is better for him. As a side effect there is also a reduction in size Cut-off bei elektronischen Obeiflächenprüfgeräten. wo- 35 des Phasenfehlers im ersten Teil der Übertragungs-Cut-off for electronic surface testing devices. 35 of the phase error in the first part of the transmission bei im Übertragungsweg des Mcßsignalvcrstärkers vor kurve mit an.with in the transmission path of the signal amplifier before curve with. ilen Rechenschaltungen ein doppeltes C-W-Filter (zwei- BiIdI gibt ein Schaltbeispiel für das Amplituden- ile computing circuits a double CW filter (two-picture gives a circuit example for the amplitude Hu liger Hoehpaß. cut-off genannt) angeordnet ist. übertragungsmaß 70% wieder.Hu liger high pass. called cut-off). transfer rate 70% again. Der zweistufige Hoehpaßfiher hat dreierlei Aufgaben R1. C1. K2. C1 stellen den üblichen cut-off dar, wäh-The two-stage Hoehpaßfiher has three tasks R 1 . C 1 . K 2 . C 1 represent the usual cut-off, while y.u erfüllen: 40 rend das Korrckturglicd mit den Schaltelementen Λ,,, yu meet: 40 rend the correction with the switching elements Λ ,,, 1. die automatische Bildiinc der richtigen Lage des Λ-' »nd C1 aufgebaut ist.1. automatic Bildiinc the correct position of the Λ - ' »nd C is built first Prolilschnütcs zur Bezugsbasis für die Ermittlung , V* hci ^1" cm/clncn Bauelementen angegebenenProlilschnütcs to the reference base for the determination, V * hci ^ 1 "cm / clncn components specified der KeniT'iößcn Zahlen in Klammern geben die Cirößenverhältnisscthe numerical numbers in brackets give the size ratios 2. die Unterdrückung des Einflusses langwellig-r vvied(;r· d,ic '" diescm IicisPicI einc Bcschncidung der Anteile aui das Rechenergebnis, «■' Amplituden der hohen I requenzcn auf 70" „ bewirken.2. The suppression of the influence of long-wave-r vvied ( ; r · d , ic '" diescm Iicis PicI a cutting of the proportions on the calculation result,"■' cause the amplitudes of the high frequencies to 70 "". 3. die Verhinderung von Fehlern, die durch gen- Blld 2 ~/cl& dle Amphtudcnüberlragung. Dabei ist metrisch falsche Zuordnung von Prüfflüehc und α die Kurve für den I lochpaß.
Vorsehubrichtung des Tastsvstems verursacht wer- h die Kurve für den liefpaß bei einem Widerstandsdcn. verhältnis (1 : 2.3).
3. the prevention of errors ~ / cl & dle Amphtudcnüberlragung through gene Blld. 2 The metrically incorrect assignment of test flight and α is the curve for the I-hole pass.
Advertising caused Vorsehubrichtung of Tastsvstems h, the curve for the liefpaß at a Widerstandsdcn. ratio (1: 2.3).
I%. .. .. , , . , ., , , ., ... 5° c die Übcrtragimgskiirve der gesamten Kombina- I% . .. ..,,. ,.,,,., ... 5 ° c the transferring skiirve of the entire combined Dicsen Vorteilen steht aber der Nachteil gegenüber. .· IThese advantages are offset by the disadvantage. . · I nlaß die I hertraiiunjiskurvc von dem erwünschten 1 \ ν r- 1 ·· 1 1,1· \< Let the I hertraiiunjiskurvc from the desired 1 \ ν r- 1 ·· 1 1,1 · \ < , ,· .· 1 r 1 -ι 1 » 1 1 ■ (/ die Kurve fur d'-n erwünschten rechteckigen Vcr-,, ·. · 1 r 1 -ι 1 »1 1 ■ (/ the curve for d'-n desired rectangular Vcr- Tcchtcckigen \ erlauf abweicht, ilaß also schon im .1·Dangerous course deviates, so it is already in .1 Nulzbercich einc starke Abhängigkeit ties Raiiheits-Usefulness and strong dependency mal.ies vnm Verhältnis Ricfenabstand: (ircn/.wcllcn- 05 Die (irenzwellenlänge ist bei z. I.mal.ies vnm ratio of Ricfen distance: (ircn / .wcllcn- 05 The (irenzwavelength is at z. I. länge Mirlianden ist. Diese kann nur klein gehalten Bild 3 zeig; den Phasenfehler für den Hoehpaß (a). fürlength Mirlianden is. This can only be kept small Figure 3 shows; the phase error for the high pass (a). for ■werden, wenn zur Prüfung ein cut-off verwendet wird. den Tiefpaß (/>) und für die Kombination {<■). ■ if a cut-off is used for the test. the low pass (/>) and for the combination {<■).
DE19691926605 1969-05-24 Filter switching of surface checks advise Expired DE1926605C (en)

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Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE1926605A1 DE1926605A1 (en) 1970-11-26
DE1926605B2 true DE1926605B2 (en) 1972-01-13
DE1926605C DE1926605C (en) 1973-04-05

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2502653A1 (en) * 1974-01-25 1975-07-31 Gould Inc METHOD AND DEVICE FOR COMPENSATING THE SLOPE ERROR DURING PROFILE MEASUREMENTS

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2502653A1 (en) * 1974-01-25 1975-07-31 Gould Inc METHOD AND DEVICE FOR COMPENSATING THE SLOPE ERROR DURING PROFILE MEASUREMENTS

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DE1926605A1 (en) 1970-11-26

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E77 Valid patent as to the heymanns-index 1977
EHJ Ceased/non-payment of the annual fee