[go: up one dir, main page]

DE19922782B4 - Vorrichtung und Verfahren zur optischen Spektroskopie - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zur optischen Spektroskopie Download PDF

Info

Publication number
DE19922782B4
DE19922782B4 DE1999122782 DE19922782A DE19922782B4 DE 19922782 B4 DE19922782 B4 DE 19922782B4 DE 1999122782 DE1999122782 DE 1999122782 DE 19922782 A DE19922782 A DE 19922782A DE 19922782 B4 DE19922782 B4 DE 19922782B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
resonator
optical
wavelength
optical spectroscopy
dependent
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE1999122782
Other languages
English (en)
Other versions
DE19922782A1 (de
Inventor
Thilo Weitzel
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
OPTEGON AG, CH
Original Assignee
CAMPUS TECHNOLOGIES AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE19801469A external-priority patent/DE19801469C2/de
Application filed by CAMPUS TECHNOLOGIES AG filed Critical CAMPUS TECHNOLOGIES AG
Priority to DE1999122782 priority Critical patent/DE19922782B4/de
Priority to DE1999133291 priority patent/DE19933291A1/de
Priority to EP00925185A priority patent/EP1181500A1/de
Priority to PCT/EP2000/003144 priority patent/WO2000070302A1/de
Priority to JP2000618687A priority patent/JP2002544553A/ja
Publication of DE19922782A1 publication Critical patent/DE19922782A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE19922782B4 publication Critical patent/DE19922782B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/45Interferometric spectrometry
    • G01J3/453Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 17 des Patents DE 198 01 469 , dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung einen optischen Resonator bildet.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Zusatz zu dem deutschen Patent DE 198 01 469 .
  • Erfindungsgemäß werden die im obengenannten Patent dargestellten interferometrischen Vorrichtungen derart ausgeführt oder weitergebildet, daß ein optischer Resonator entsteht. Dies hat zur Folge, daß die Vorrichtungen mehrfach genutzt wird und die resultierenden Interferenzen durch Überlagerung mehrerer, gegebenenfalls sehr vieler, Teilstrahlen gebildet werden. Eine derartige Überlagerung vieler Teilstrahlen zeigt, verglichen mit der entsprechenden Zweistrahl-Interferenz, gegebenenfalls sehr viel schärfere Minima bzw. Maxima der Intensität.
  • Bei geeigneter Bearbeitung der jeweiligen Meßwerte und/oder geeigneter Modulation der Phasenlage oder der Differenz der optischen Weglängen kann so eine entsprechend höhere Genauigkeit bzw. spektrale Auflösung erreicht werden.
  • Die technische Ausführung des Resonators ist dabei von untergeordneter Bedeutung. Neben einfachen Resonatoren mit nur zwei Bauelementen (1) kommen alle Arten von Resonatoren insbesondere auch Ring-Kavitäten in Frage.
  • Besonders vorteilhaft sind Ausführungen bei denen mindestens ein Element des Resonators als wellenlängenabhängiges Element ausgeführt ist oder bei denen sich ein wellenlängenabhängiges Element im Inneren des Resonators befindet (oder beides).
  • Die Funktionsweise wird dargestellt anhand von 1):
    Der Strahlteiler wird gebildet durch einen halbdurchlässigen Spiegel S, der einen Teil des Lichtes reflektiert. Das wellenlängenabhängige Element ist im Beispiel als Gitter G ausgeführt und derart dimensioniert und angeordnet, daß Licht einer bestimmten Wellenlänge λ zum Spiegel S zurück reflektiert wird [Gitterkonstante = λ/(2sin(φ))]. Der dort transmittierte Teil interferiert mit dem vom Spiegel ursprünglich reflektierten Licht.
  • Abhängig von der Effizienz des Gitters und den Reflektions- bzw. Transmissionskoeffizienten des Spiegels treten mehrfachreflektierte Strahlen unterschiedlicher Intensität auf, welche die resultierenden Interferenzmuster in der oben dargestellten Weise beeinflussen.
  • 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel des vorgenannten Funktionsprinzips. Der Resonator wird durch die Elemente S1 und G gebildet. Die Wellenlänge des Resonators kann durch Drehung des Gitters G verändert werden, die relative Phasenlage der Teilstrahlen kann durch geeignete Verschiebung von S1 beeinflußt werden. Das entsprechend der Phasenlage modulierte Interferenzsignal wird über einen weiten Strahlteiler S2 und eine Linse L2 zum Detektor Sig. geführt. Mit E ist die Eintritts- und mit A die Aperturblende bezeichnet. L ist ein Kollimator.
  • 3 zeigt ein vorteilhaftes Ausführungsbeispiel. Hier wird die 0-te Beugungsordnung des Gitters, d. h. der ungebeugt reflektierte Teil des Lichtes zum Detektor geführt.
  • Besonders vorteilhaft kann es sein, Teile der Vorrichtung mit Hilfe von faseroptischen Lichtleitern F zu realisieren (4). In diesem Ausführungsbeispiel bezeichnet Ref. einen zweiten Detektor, der ein Referenzsignal aufzeichnet.
  • In einer weiteren Ausführung (5) wird die optische Weglänge d vergrößert oder variabel gehalten. Die Interferenzen werden dann auf Komponenten des einfallenden Lichtes mit entsprechend hoher Kohärenzlänge bzw. kleiner Bandbreite begrenzt.
  • Bei geeigneter Auswertung der Meßwerte abhängig von d können, insbesondere bei hoher Effizienz des Gitters G und hohem Reflektionskoeffizienten von S sehr hohe spektrale Auflösungen erzielt werden.

Claims (6)

  1. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 17 des Patents DE 198 01 469 , dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung einen optischen Resonator bildet.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein oder mehrere wellenlängenabhängige Elemente im Inneren des Resonators angeordnet sind oder mindestens ein Element des Resonators wellenlängenabhängig ausgeführt ist.
  3. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung oder Teile der Vorrichtung mehrfach ausgeführt sind.
  4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Differenz der optischen Weglängen der zur Interferenz gebrachten Strahlen verändert werden kann.
  5. Verwendung einer Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4 als optisches Spektrometer.
  6. Verwendung einer Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5 als optischer Empfänger.
DE1999122782 1998-01-16 1999-05-18 Vorrichtung und Verfahren zur optischen Spektroskopie Expired - Lifetime DE19922782B4 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1999122782 DE19922782B4 (de) 1998-01-16 1999-05-18 Vorrichtung und Verfahren zur optischen Spektroskopie
DE1999133291 DE19933291A1 (de) 1998-01-16 1999-07-15 Vorrichtung zur Erfassung oder Erzeugung optischer Signale
EP00925185A EP1181500A1 (de) 1999-05-18 2000-04-07 Vorrichtung zur erfassung oder erzeugung optischer signale
PCT/EP2000/003144 WO2000070302A1 (de) 1999-05-18 2000-04-07 Vorrichtung zur erfassung oder erzeugung optischer signale
JP2000618687A JP2002544553A (ja) 1999-05-18 2000-04-07 光信号検出または生成装置

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19801469A DE19801469C2 (de) 1998-01-16 1998-01-16 Vorrichtung zur Erfassung oder Erzeugung optischer Signale
DE1999122782 DE19922782B4 (de) 1998-01-16 1999-05-18 Vorrichtung und Verfahren zur optischen Spektroskopie
DE1999133291 DE19933291A1 (de) 1998-01-16 1999-07-15 Vorrichtung zur Erfassung oder Erzeugung optischer Signale

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE19922782A1 DE19922782A1 (de) 2000-11-23
DE19922782B4 true DE19922782B4 (de) 2010-08-26

Family

ID=27218080

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1999122782 Expired - Lifetime DE19922782B4 (de) 1998-01-16 1999-05-18 Vorrichtung und Verfahren zur optischen Spektroskopie
DE1999133291 Ceased DE19933291A1 (de) 1998-01-16 1999-07-15 Vorrichtung zur Erfassung oder Erzeugung optischer Signale

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1999133291 Ceased DE19933291A1 (de) 1998-01-16 1999-07-15 Vorrichtung zur Erfassung oder Erzeugung optischer Signale

Country Status (1)

Country Link
DE (2) DE19922782B4 (de)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4533247A (en) * 1981-09-03 1985-08-06 International Standard Electric Corporation Optical transmission system
US5412474A (en) * 1992-05-08 1995-05-02 Smithsonian Institution System for measuring distance between two points using a variable frequency coherent source
DE19801469C2 (de) * 1998-01-16 2001-05-17 Campus Technologies Ag Zug Vorrichtung zur Erfassung oder Erzeugung optischer Signale

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4533247A (en) * 1981-09-03 1985-08-06 International Standard Electric Corporation Optical transmission system
US5412474A (en) * 1992-05-08 1995-05-02 Smithsonian Institution System for measuring distance between two points using a variable frequency coherent source
DE19801469C2 (de) * 1998-01-16 2001-05-17 Campus Technologies Ag Zug Vorrichtung zur Erfassung oder Erzeugung optischer Signale

Also Published As

Publication number Publication date
DE19933291A1 (de) 2001-02-01
DE19922782A1 (de) 2000-11-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1169626B1 (de) Vorrichtung und verfahren zur optischen spektroskopie
DE69606450T2 (de) Wellenfrontenbestimmung mit Mikrospiegel zur Selbstreferenz und seine Justage
DE3931755C2 (de) Wegmeßgeber
DE60015239T2 (de) Wellenlängenüberwachung für Laser
EP0670467B1 (de) Interferometer
DE4314488C2 (de) Interferometrisches Meßverfahren für Absolutmessungen sowie dafür geeignete Laserinterferometeranordnung
EP1523663A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur optischen spektroskopie und optischen sensorik sowie verwendung der vorrichtung
DE69201917T2 (de) Hochauflösendes Spektroskopsystem.
DE3623265A1 (de) Verfahren und anordnung zur faseroptischen messung einer weglaenge oder einer weglaengenaenderung
DE19922782B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur optischen Spektroskopie
DE4011718C2 (de)
DE2526454B2 (de) Spektrometer und Verfahren zur Untersuchung der spektralen Lichtzusammensetzung
DE69627419T2 (de) Fourier Spektrometer mit dichroitischen Michelson-Spiegeln für zwei Wellenlängenbänder
DE102008029970A1 (de) Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie sowie Verfahren zum Überwachen einer lateralen Abbildungsstabilität
DE10121499B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur optischen Spektroskopie und optischen Sensorik sowie Verwendung der Vorrichtung
DE19922783A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur optischen Spektroskopie
DE19738900B4 (de) Interferometrische Meßvorrichtung zur Formvermessung an rauhen Oberflächen
EP1181500A1 (de) Vorrichtung zur erfassung oder erzeugung optischer signale
DE10146945A1 (de) Meßanordnung und Meßverfahren
EP0983483B1 (de) Interferometrische messvorrichtung
DE102008001448A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen mindestens eines Abbildungsfehlers eines optischen Abbildungssystems
DE10106079A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Durchführung interferometrischer Messungen
DE19721883C2 (de) Interferometrische Meßvorrichtung
DE3938841A1 (de) Fotografisches farbkopiergeraet und verfahren zur analyse einer vorlage
DE10303038A1 (de) Positionsmesseinrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
AF Is addition to no.

Ref document number: 19801469

Country of ref document: DE

AF Is addition to no.

Ref document number: 19801469

Country of ref document: DE

8110 Request for examination paragraph 44
AF Is addition to no.

Ref document number: 19801469

Country of ref document: DE

Kind code of ref document: P

AG Has addition no.

Ref document number: 19933291

Country of ref document: DE

Kind code of ref document: P

8364 No opposition during term of opposition
R081 Change of applicant/patentee

Owner name: OPTEGON AG, CH

Free format text: FORMER OWNER: CAMPUS TECHNOLOGIES AG, ZUG, CH

R082 Change of representative

Representative=s name: LORENZ SEIDLER GOSSEL RECHTSANWAELTE PATENTANW, DE

R071 Expiry of right