DE19916346C2

DE19916346C2 - Device for feeding electronic components

Info

Publication number: DE19916346C2
Application number: DE1999116346
Authority: DE
Inventors: Helmuth Heigl
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1999-04-12
Filing date: 1999-04-12
Publication date: 2003-12-18
Anticipated expiration: 2019-04-13
Also published as: DE19916346A1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Zuführen elek tronischer Bauteile, insbesondere von IC's, zu einer Prüfeinrichtung, mit einer Kontaktiereinheit, die verfahrbare Schlitten zum Stoppen und Zuführen der elektronischen Bauteile zu der Prüfeinrichtung sowie ge gebenenfalls zum Öffnen einer Schiene der Kontaktiereinheit zur Füh rung der elektronischen Bauteile aufweist, wobei der Kontaktiereinheit eine Antriebseinheit zum Verfahren der Schlitten zugeordnet ist.The present invention relates to a device for feeding elek tronic components, in particular from IC's, to a test facility, with a contacting unit, the movable carriage for stopping and Feeding the electronic components to the test facility and ge if necessary, to open a rail of the contact unit tion of the electronic components, the contacting unit a drive unit for moving the carriage is assigned.

Bei derartigen bekannten Zuführvorrichtungen ist eine Kontaktiereinheit vorgesehen, die fest mit einer Antriebseinheit verbunden ist. Die Kon taktiereinheit nimmt ein elektronisches Bauteil auf und verfährt es zu einer Prüfeinrichtung. Nach Ablauf des Prüfens wird das elektronische Bauteil von der Prüfeinrichtung weggefahren und in eine Führungs schiene abgegeben. Für unterschiedliche Bauteile, insbesondere für Bauteile mit unterschiedlichen Größen, sind unterschiedliche Kontak tiereinheiten erforderlich. Die Kontaktiereinheit kann allerdings nicht unabhängig von der Antriebseinheit gewechselt werden, da An triebseinheit und Kontaktiereinheit fest miteinander verbunden und zu einer Vorrichtung zusammengefaßt sind. Zum Prüfen unterschiedlicher Bauteile müssen daher mehrere vollständige Vorrichtungen zu ver gleichsweise hohen Kosten vorrätig gehalten werden. In such known feed devices there is a contacting unit provided which is fixedly connected to a drive unit. The con The tacting unit picks up an electronic component and moves it a test facility. After the test, the electronic Component moved away from the test facility and into a guide rail issued. For different components, especially for Components with different sizes are different contacts animal units required. However, the contact unit cannot can be changed independently of the drive unit, since on drive unit and contacting unit firmly connected and closed are summarized in one device. To check different ones Components therefore need to ver several complete devices equally high costs are kept in stock.

Es sind weiter Zuführvorrichtungen bekannt, bei denen die Antriebe mit den Schlitten über Drehachsen mit einrastbaren Kupplungen angetrieben werden. Die Antriebe weisen eine drehbar angetriebene Achse auf, die drehfest mit einer entsprechenden Aufnahme verbunden wird. Die Umsetzung der Drehbewegung in die Verfahrbewegung der Schlitten erfolgt erst in der Kontaktiereinheit.Feed devices are also known, in which the drives are provided with the slide is driven via rotary axes with lockable couplings become. The drives have a rotatably driven axis that is rotatably connected to a corresponding receptacle. The Conversion of the rotary movement into the traversing movement of the slide only takes place in the contact unit.

Weiterhin beschreibt die DE 196 44 509 C2 eine Vorrichtung zum Transportieren und Handhaben von Halbleiterbaulelementen. Die bekann te Vorrichtung weist einen Drehtisch auf, der mit mindestens einem Höhenförderer zum Fördern von Halbleiterbauelementen versehen ist. Unterhalb des Drehtischs befinden sich Antriebseinrichtungen, die zum Bewegen des Höhenförderers dienen und mit vertikal verfahrbaren Kolbenstangen versehen sind. Die Kolbenstangen liegen an der Unter seite des Höhenförderers an. Die Verstellung des Höhenförderers nach oben erfolgt über die Antriebseinrichtungen, wohingegen sich die Rück stellung nach unten auf Grund des Eigengewichts des Höhenförderers ergibt. Der Höhenförderer nimmt die Halbleiterbauelemente lediglich vorübergehend auf, so daß nach einer Drehbewegung des Drehtischs die Halbleiterbauelemente von dem Höhenförderer über eine weitere Ein richtung entnommen und von dieser einer Prüfeinrichtung zugeführt werden können.DE 196 44 509 C2 also describes a device for Transport and handling of semiconductor components. The got te device has a rotary table, which with at least one Elevator for conveying semiconductor components is provided. Below the turntable there are drive devices for Move the elevator and serve with vertically movable Piston rods are provided. The piston rods are on the lower side of the elevator. The adjustment of the elevator after above takes place via the drive devices, whereas the rear position downwards due to the weight of the elevator results. The elevator only takes the semiconductor components temporarily on, so that after a rotary movement of the turntable Semiconductor components from the elevator to another one direction taken and fed from this to a test facility can be.

Die DE 198 05 718 A1 offenbart ein Testgerät für Halbleiterbauelemente. Zum Verfahren der Halbleiterbauelemente in einer ersten Richtung ist eine erste Antriebseinheit vorgesehen, die an einer zugehörigen Trans porteinheit angeordnet ist. Die Antriebseinheit weist eine drehbar antreibbare Gewindestange auf, die mit einem Schlitten in Eingriff gebracht werden kann. Für eine Bewegung der Halbleiterbauelemente in einer zu der ersten Richtung senkrechten Richtung sind Luftzylinder vorgesehen. Eine Antriebseinrichtung, die zum Kontaktieren oder Zufüh ren der zu testenden Halbleiterbauelemente dient, weist das bekannte Testgerät nicht auf.DE 198 05 718 A1 discloses a test device for semiconductor components. To move the semiconductor devices in a first direction a first drive unit is provided which is connected to an associated trans port unit is arranged. The drive unit has a rotatable one drivable threaded rod which engages with a slide can be brought. For movement of the semiconductor components in a direction perpendicular to the first direction is air cylinders intended. A drive device for contacting or feeding Ren of the semiconductor components to be tested, has the known Test device not on.

Ein Testgerät für Halbleiterbauelemente wird außerdem in der DE 198 26 314 A1 beschrieben. Das bekannte Testgerät weist eine Tablettentrans porteinrichtung auf, die mittels einer beispielsweise in Form von Ketten oder Drähten ausgebildeten Antriebseinrichtung bewegt wird. Für die einzelnen Halbleiterbauelemente ist ein pneumatisch zustellbarer Greif kopf vorgesehen. Zudem ist eine weitere Antriebseinrichtung als Spindel ausgebildet. Eine Kontaktiereinheit, die zum Zuführen der Halbleiterbau elemente zu einer Prüfeinrichtung dient, weist das bekannte Testgerät nicht auf.A test device for semiconductor components is also described in DE 198 26 314 A1 described. The known test device has a tablet transfer port device on, for example, in the form of chains or wires trained drive device is moved. For the individual semiconductor components is a pneumatically adjustable gripper head provided. In addition, another drive device is used as a spindle educated. A contacting unit used to feed the semiconductor device The known test device has elements for a test device not on.

Die DE 197 57 273 A1 offenbart ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Testen von Halbleiterbauelementen. Eine erste Handhabungseinrichtung dient ausschließlich dazu, ungetestete Halbleiterbauelemente zu trans portieren, wohingegen getestete Halbleiterbauelemente ausschließlich durch eine zweite Handhabungseinrichtung transportiert werden. Eine Kontaktiereinrichtung zum Zuführen der Halbleiterbauelemente zu einer Prüfeinrichtung weist die zuvor beschriebene Vorrichtung nicht auf.DE 197 57 273 A1 discloses a method and an apparatus for Testing semiconductor devices. A first handling device is used only to trans untested semiconductor devices port, whereas tested semiconductor devices exclusively can be transported by a second handling device. A Contacting device for feeding the semiconductor components to a The test device does not have the device described above.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung zum Zuführen elektronischer Bauteile bereitzustellen, die eine rasche und kostengünsti ge Anpassung an unterschiedliche Bauteile ermöglicht.The object of the present invention is a device for feeding To provide electronic components that are quick and inexpensive enables adaptation to different components.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einer Vorrichtung der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß die Antriebseinheit baulich getrennt von der Kontaktiereinheit angeordnet ist und eine Verbindungseinrichtung aufweist, die lösbar in die Schlitten der Kontaktiereinheit einkuppelbar ist.According to the invention, this object is achieved at the beginning of a device mentioned type in that the drive unit structurally separated is arranged by the contacting unit and a connecting device has, which can be detachably coupled into the slide of the contacting unit.

Erfindungsgemäß sind Kontaktiereinheit und Antriebseinheit nicht mehr zusammengefaßt, sondern voneinander getrennt. Die Antriebseinheit umfaßt eine Reihe von Antriebsmitteln zum Verfahren der Schlitten der Kontaktiereinheit. Die Kontaktiereinheit kann unabhängig von der An triebseinheit konzipiert werden. Es muß lediglich die Schnittstelle zwischen Kontaktiereinheit und Antriebseinheit eindeutig festgelegt werden. Bei einer eindeutig festgelegten Schnittstelle kann jede Kontak tiereinheit mit jeder Antriebseinheit zusammen verwendet werden. Insbesondere kann die Kontaktiereinheit unabhängig von der Antriebs einheit zur Anpassung an unterschiedliche elektronische Bauteile aus gewechselt werden. Die Verbindungseinrichtung ist der Antriebseinheit zugeordnet und direkt lösbar in die Schlitten der Kontaktiereinheit einkuppelbar. Hierdurch wird die Anzahl der Einzelteile der Kontaktierein heit verringert, so daß die Herstellungskosten sinken.According to the invention, the contact unit and drive unit are no longer summarized, but separated from each other. The drive unit comprises a series of drive means for moving the carriage of the Contacting unit. The contact unit can be independent of the type drive unit can be designed. It just needs the interface clearly defined between the contacting unit and the drive unit become. With a clearly defined interface, each contact can animal unit can be used together with each drive unit. In particular, the contact unit can be independent of the drive unit to adapt to different electronic components change. The connection device is the drive unit assigned and can be directly detachably coupled into the slide of the contacting unit. As a result, the number of individual parts of the contact is reduced unit, so that the manufacturing costs decrease.

Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den abhängigen Ansprüchen hervor.Advantageous refinements and developments of the invention go from the dependent claims.

Vorteilhaft umfaßt die Verbindungseinrichtung Mitnehmer, die in eine Führung der Schlitten eingreifen. Ein Mitnehmer wird in die Führung des zugeordneten Schlittens eingesetzt und ermöglicht eine Bewegung des Schlittens ohne zusätzliche Verbindungsbauteile.Advantageously, the connecting device includes drivers which in a Intervention of the slide guide. A driver is in the lead of the assigned slide and allows movement of the slide without additional connecting components.

In vorteilhafter Ausgestaltung weist die Vorrichtung drei Schlitten auf, von denen ein Schlitten zum Zuführen eines elektronischen Bauteils zu der Prüfeinrichtung dient. Die anderen Schlitten können weitere Funk tionen übernehmen, die vom Einzelfall abhängen. Durch die Verwen dung mehrerer Schlitten werden der Einsatzbereich und die Flexibilität der erfindungsgemäßen Vorrichtung erhöht.In an advantageous embodiment, the device has three slides, one of which slides for feeding an electronic component serves the test facility. The other sled can have more radio take over depending on the individual case. By use The use and flexibility of several sleds the device according to the invention increased.

Vorteilhaft ist der Schlitten zum Zuführen eines elektronischen Bauteils L-förmig ausgebildet. Diese Form des Schlittens erlaubt eine Beobach tung der elektronischen Bauelemente während des Verfahrens des Schlittens und des Zuführens zur Prüfeinrichtung.The slide is advantageous for feeding an electronic component L-shaped. This form of sled allows observation device of the electronic components during the process of Carriage and feeding to the test facility.

Nach einer vorteilhaften Ausgestaltung ist die Schiene zum Führen der elektronischen Bauteile neben den Schlitten angeordnet und mit Aus nehmungen für eine Sichtkontrolle der elektronischen Bauteile verse hen. Die elektronischen Bauteile können somit nicht nur während des Zuführens zur Prüfeinrichtung, sondern in der gesamten Kontaktierein heit visuell überwacht werden. Sollten Stauungen der Bauteile in der Führung auftreten, werden diese rasch erkannt und können unverzüg lich beseitigt werden.According to an advantageous embodiment, the rail for guiding the electronic components arranged next to the slide and with off for a visual inspection of the electronic components verse hen. The electronic components can thus not only during Feeding to the test facility, but in the entire contact be monitored visually. If the components in the Leadership occur, they are recognized quickly and can immediately be eliminated.

Nach einer ersten vorteilhaften Weiterbildung wirken die beiden weite ren Schlitten mit verstellbaren Anschlägen für das elektronische Bauteil zusammen. Ein erster Anschlag, der mit dem zweiten Schlitten zu sammenwirkt, dient beispielsweise als 'body stop' für den Körper des elektronischen Bauteils. Dieser Anschlag dient zum Abbremsen des Bauteils und zur groben Positionierung. Der dritte Schlitten wirkt mit einem weiteren Anschlag zusammen, der als 'pin stop' für die Kon taktbeine des elektronischen Bauteils dient. Dieser Anschlag ermöglicht eine Feinpositionierung.After a first advantageous further training, the two appear wide ren slide with adjustable stops for the electronic component together. A first stop with the second sled too works together as a 'body stop' for the body of the electronic component. This stop is used to brake the Component and for rough positioning. The third sled participates another stop together, which acts as a 'pin stop' for the con baton of the electronic component. This stop enables a fine positioning.

Gemäß einer anderen vorteilhaften Weiterbildung weist ein zweiter Schlitten einen verstellbaren Anschlag für das elektronische Bauteil auf, und es ist ein dritter Schlitten zum Öffnen einer Schiene zum Füh ren des elektronischen Bauelements vorgesehen. Der zweite Schlitten weist einen doppelt wirkenden Anschlag auf, der in einer ersten Positi on als 'body stop' und in einer zweiten Position als 'pin stop' wirkt. Nach dem Feinpositionieren des Bauteils mittels des 'pin stop' wird über den dritten Schlitten die Schiene zum Führen des Bauteils geöff net, und das Bauteil wird der Prüfeinrichtung zugeführt. Die Fixierung des Bauteils erfolgt mittels eines Saugers, der das Bauteil während des Öffnens der Schiene und der Bewegung zur Prüfeinrichtung an dem ersten Schlitten festhält.According to another advantageous development, a second one Sled an adjustable stop for the electronic component on, and it's a third sled to open a rail for the guide Ren of the electronic component provided. The second sled has a double-acting stop, which is in a first position one acts as a 'body stop' and in a second position acts as a 'pin stop'. After fine positioning of the component using the 'pin stop' Open the rail for guiding the component via the third slide net, and the component is fed to the test facility. The fixation of the component is carried out by means of a sucker, which the component during Opening the rail and moving to the test facility on the holds the first sledge.

Die erste Weiterbildung wird als "indirekte Kontaktierung" bezeichnet, da im Regelfall zwischen der Prüfeinrichtung und dem elektronischen Bauteil noch Einzelteile des Schlittens angeordnet sind. Demgegenüber wird das elektronische Bauteil bei der anderen Weiterbildung direkt oh ne dazwischenliegende Einzelteile auf die Prüfeinrichtung aufgesetzt. Diese Weiterbildung wird daher als "direkte Kontaktierung" bezeichnet.The first training is called "indirect contacting", as a rule between the test facility and the electronic Component still individual parts of the carriage are arranged. In contrast, is the electronic component in the other training directly oh ne intermediate parts placed on the test device. This further training is therefore referred to as "direct contacting".

Vorteilhaft weisen die Führungen der Schlitten zueinander beabstande te Vorsprünge auf. Durch die Verwendung dieser Vorsprünge wird das Gewicht der Schlitten reduziert, so daß die zu bewegende Masse ver ringert wird. Daher können kleinere Antriebsmittel verwendet werden.The guides of the slides advantageously have spacings from one another projections. By using these protrusions, it will Weight of the carriage reduced, so that the mass to be moved ver is wrestled. Therefore smaller drive means can be used.

In vorteilhafter Weiterbildung greift der Mitnehmer zwischen die Vor sprünge ein. Hierdurch wird der Mitnehmer automatisch durch die Vor sprünge ausgerichtet und zentriert. Weiter kann ein relativ kleiner Mit nehmer verwendet werden, der die bewegte Masse weiter verringert.In an advantageous development, the driver engages between the front jump in. This will automatically take the driver through the front jumps aligned and centered. Furthermore, a relatively small Mit can be used, which further reduces the moving mass.

Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung umfaßt die Verbindungsein richtung einen Hebelarm, an dem der Mitnehmer angebracht ist. Der Hebelarm ermöglicht eine Umsetzung der Bewegung des Antriebsmit tels. Es kann insbesondere eine Linearbewegung des Antriebsmittels in eine Schwenkbewegung des Hebelarms umgewandelt werden. Diese Schwenkbewegung kann anschließend in eine Linearbewegung des Schlittens senkrecht zur Linearbewegung des Antriebsmittels umge wandelt werden. Weiter ermöglicht der Hebelarm eine Vergrößerung oder Verkleinerung der Bewegung des Antriebsmittels. Es kann somit eine optimale Anpassung an die gewünschten Randbedingungen er reicht werden. Die Schnittstelle zwischen Kontaktiereinheit und An triebseinheit liegt im Bereich der Linearbewegung des Mitnehmers.According to an advantageous embodiment, the connection comprises direction a lever arm to which the driver is attached. The Lever arm enables the movement of the drive to be implemented means of. In particular, a linear movement of the drive means in a pivoting movement of the lever arm can be converted. This Panning motion can then be linear motion of the Carriage reversed perpendicular to the linear movement of the drive means be changed. The lever arm also enables enlargement or reducing the movement of the drive means. So it can an optimal adaptation to the desired boundary conditions be enough. The interface between the contact unit and the An Drive unit is in the area of the linear movement of the driver.

Nach einer vorteilhaften Weiterbildung ist der Mitnehmer zylindrisch ausgebildet und drehbar auf dem Hebelarm gelagert. Derartige Mitnehmer sind in vielfältigen Ausführungen und Abmessungen kostengünstig erhältlich. Sie werden zwischen die als Führung dienenden Vorsprünge der Schlitten eingesetzt und rollen bei der Bewegung des Antriebsmit tels auf diesen Vorsprüngen ab, so daß die Reibungsverluste minimiert werden.According to an advantageous development, the driver is cylindrical trained and rotatably mounted on the lever arm. Such carriers are inexpensive in various designs and dimensions available. You will be between the ledges that serve as a guide the slide is inserted and roll as the drive moves means on these projections, so that the friction losses are minimized become.

Vorteilhaft ist die Kontaktiereinheit innerhalb einer thermisch gegen über der Umgebung isolierten Kammer und die Antriebseinheit außer halb dieser Kammer angeordnet. Die Verwendung der Kammer ermög licht eine Prüfung der elektronischen Bauteile unabhängig von der Um gebungstemperatur, insbesondere bei erhöhten Temperaturen. Die Trennung von Kontaktiereinheit und Antriebseinheit ermöglicht ein An ordnen der Antriebseinheit außerhalb der Kammer. Hierdurch wird die Masse innerhalb der Kammer, die bei einer Temperaturänderung er wärmt oder abgekühlt werden muß, verringert. Dies ermöglicht eine rasche Anpassung an unterschiedliche Prüfbedingungen.The contact unit within a thermally is advantageous chamber isolated over the environment and the drive unit except arranged half of this chamber. The use of the chamber allows light an inspection of the electronic components regardless of the order ambient temperature, especially at elevated temperatures. The Separation of contact unit and drive unit enables an on arrange the drive unit outside the chamber. This will make the Mass inside the chamber that occurs when the temperature changes warms or must be cooled, reduced. This enables one rapid adaptation to different test conditions.

In vorteilhafter Ausgestaltung ist der Hebelarm jeder Verbindungsein richtung innerhalb dieser thermisch isolierten Kammer angeordnet. Der Hebelarm ist an einer Achse drehbar gelagert und wird an dieser Achse durch die Wand der thermisch isolierten Kammer geführt. Ausnehmun gen in der Wand für die Führungen der Schlitten sind nicht erforderlich. Es wird daher eine gute thermische Isolation gegenüber der Umgebung erreicht. Dies ist insbesondere erforderlich, wenn die Temperatur in nerhalb der Kammer unter der Umgebungstemperatur liegt. Wärme brücken nach außen bewirken dann eine Kondensation oder ein Verei sen, das den Betrieb der Vorrichtung behindern kann. Derartige Wär mebrücken werden bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung zuverlässig vermieden. In an advantageous embodiment, the lever arm of each connection direction arranged within this thermally insulated chamber. The Lever arm is rotatably mounted on an axis and is on this axis passed through the wall of the thermally insulated chamber. Ausnehmun Conditions in the wall for the guides of the sled are not required. It will therefore provide good thermal insulation from the environment reached. This is especially necessary when the temperature is in within the chamber is below the ambient temperature. heat bridges to the outside then cause condensation or verei sen that can hinder the operation of the device. Such war Bridges become reliable in the device according to the invention avoided.

Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung wirkt mindestens einer der Schlitten mit Anschlägen zur Begrenzung seines Verfahrwegs zusam men, die unabhängig von dem jeweiligen Antriebsmittel ausgebildet sind. Zur Prüfung unterschiedlicher Bauteile werden unterschiedliche Schlitten verwendet. In Abhängigkeit von dem zu prüfenden Bauteil können auch unterschiedliche Verfahrwege für die Schlitten erforder lich sein. Diese Verfahrwege werden unabhängig von der jeweiligen Antriebseinheit direkt am Schlitten vorgegeben. Eine Feineinstellung der Antriebseinheit zur Anpassung an das zu prüfende Bauteil und den verwendeten Schlitten kann entfallen.According to an advantageous development, at least one of the Sled together with stops to limit its travel men, which are formed independently of the respective drive means are. Different components are used to test different components Used sled. Depending on the component to be tested can also require different travels for the sled be. These travels are independent of each Drive unit specified directly on the slide. A fine adjustment the drive unit for adaptation to the component to be tested and the used sledge can be omitted.

Als Antriebsmittel können hydraulisch oder pneumatisch beaufschlagte Zylinder oder Drehzylinder, Schrittmotoren oder Servoantriebe verwen det werden. Geregelte Antriebsmittel ermöglichen einen schnelleren, kontrollierten Durchsatz der elektrischen Bauteile.Hydraulically or pneumatically acted on as drive means Use cylinders or rotary cylinders, stepper motors or servo drives be det. Controlled drive means enable faster, controlled throughput of the electrical components.

Nachstehend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen näher beschrieben, die in schematischer Weise in der Zeichnung darge stellt sind. Dabei zeigt:The invention is described below using exemplary embodiments described in more detail, the Darge schematically in the drawing represents are. It shows:

Fig. 1 eine Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Vorrichtung; Figure 1 is a plan view of a device according to the invention.

Fig. 2 eine Draufsicht auf eine erste Ausführungsform der Kon taktiereinheit; Figure 2 is a plan view of a first embodiment of the contacting unit Kon.

Fig. 3 eine Seitenansicht der Kontaktiereinheit gemäß Fig. 1; FIG. 3 shows a side view of the contact unit according to FIG. 1;

Fig. 4 einen Schnitt längs der Linie IV-IV in Fig. 3; Fig. 4 is a section along the line IV-IV in Fig. 3;

Fig. 5 eine Ansicht der Kontaktiereinheit in Pfeilrichtung V in Fig. 4; Fig. 5 is a view of the contact in the direction of arrow V in Fig. 4;

Fig. 6 eine Draufsicht auf eine zweite Ausführungsform einer Kontaktiereinheit; Fig. 6 is a plan view of a second embodiment of a contact;

Fig. 7 eine Seitenansicht der Kontaktiereinheit gemäß Fig. 6; FIG. 7 shows a side view of the contact unit according to FIG. 6;

Fig. 8 einen Schnitt längs der Linie VIII-VIII in Fig. 7; Fig. 8 is a section along the line VIII-VIII in Fig. 7;

Fig. 9 eine Ansicht wie Fig. 8 bei der Prüfung eines Bauteils; FIG. 9 is a view like FIG. 8 when testing a component;

Fig. 10 eine Draufsicht auf die Antriebseinheit; und FIG. 10 is a plan view of the drive unit; and

Fig. 11 eine Ansicht in Pfeilrichtung XI in Fig. 10. Fig. 11 is a view in the direction of arrow XI in Fig. 10.

Fig. 1 zeigt eine Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Vorrichtung 10 mit einer Kontaktiereinheit 11 und einer Antriebseinheit 12. Die Kontaktiereinheit 11 ist innerhalb einer thermisch gegenüber der Um gebung isolierten Kammer 13 aufgenommen. Die Kammer 13 wird durch eine Wand 14 von der Umgebung abgeschlossen. Zur An triebseinheit 12 hin ist eine Isolierung 15 vorgesehen. Oberseite und Unterseite der Kammer 13 werden durch geeignete, nicht näher darge stellte Elemente abgeschlossen. Fig. 1 shows a top view of an inventive device 10 with a contact unit 11 and a drive unit 12. The contacting unit 11 is accommodated within a chamber 13 which is thermally insulated from the environment. The chamber 13 is closed off from the surroundings by a wall 14 . At the drive unit 12 out insulation 15 is provided. Top and bottom of the chamber 13 are completed by suitable elements, not shown Darge.

Zum Zuführen elektronischer Bauteile ist eine Schiene 16 vorgesehen, die in die Kammer 13 hineinragt. Die Bauteile werden in Pfeilrichtung 17 in die Kammer 13 zur Kontaktiereinheit 11 und aus der Kammer 13 heraus gefördert. Die Schiene 16 weist Ausnehmungen 58 für eine Sichtprüfung auf. Stauungen von Bauteilen in der Schiene 16 können rasch erkannt und behoben werden, ebenso Fehler oder Lücken in der Bauteilzuführung.A rail 16 , which projects into the chamber 13, is provided for feeding electronic components. The components are conveyed in the direction of arrow 17 into the chamber 13 to the contacting unit 11 and out of the chamber 13 . The rail 16 has recesses 58 for a visual inspection. Congestion of components in the rail 16 can be quickly identified and eliminated, as can errors or gaps in the component feed.

Die Antriebseinheit 12 ist zwischen der Isolierung 15 und einer Rück wand 18 aufgenommen. Sie umfaßt drei Aktoren 19, 20, 21, die als pneumatisch wirkende Zylinder ausgebildet sind. Jeder der Aktoren 19, 20, 21 wirkt auf eine zugeordnete Welle 22, 23, 24, die durch den jeweiligen Aktor 19, 20, 21 in eine Drehbewegung versetzt wird. Die Wellen 22, 23, 24 durchgreifen die Isolierung 15 und ragen in die Kammer 13 ein. Jede Welle 22, 23, 24 ist drehfest mit einem Hebel arm 25, 26, 27 verbunden, der innerhalb der Kammer 13 angeordnet ist. Die Hebelarme 25, 26, 27 sind mit Mitnehmern 34, 35, 36 verse hen, die mit Schlitten 28, 29, 30 der Kontaktiereinheit 11 zusam menwirken und diese Schlitten 28, 29, 30 senkrecht zur Zeich nungsebene bewegen.The drive unit 12 is added between the insulation 15 and a rear wall 18 . It comprises three actuators 19 , 20 , 21 , which are designed as pneumatically acting cylinders. Each of the actuators 19 , 20 , 21 acts on an associated shaft 22 , 23 , 24 , which is set in rotation by the respective actuator 19 , 20 , 21 . The shafts 22 , 23 , 24 pass through the insulation 15 and protrude into the chamber 13 . Each shaft 22 , 23 , 24 is rotatably connected to a lever arm 25 , 26 , 27 , which is arranged within the chamber 13 . The lever arms 25 , 26 , 27 are hen with drivers 34 , 35 , 36 verses, which interact with slides 28 , 29 , 30 of the contacting unit 11 and move these slides 28 , 29 , 30 perpendicular to the drawing plane.

Die Wellen 22, 23, 24 bilden zusammen mit den Hebelarmen 25, 26, 27 und den Mitnehmern 34, 35, 36 eine Verbindungseinrichtung, die der Antriebseinheit 12 zugeordnet ist. Die Verbindungseinrichtung ist mit ihren Mitnehmern 34, 35, 36 lösbar in die Schlitten 28, 29, 30 der Kontaktiereinheit 11 einkuppelbar. Die Schnittstelle zwischen der Kon taktiereinheit 11 und der Antriebseinheit 12 liegt im Bereich der Linear bewegung der Mitnehmer 34, 35, 36. Diese Mitnehmer 34, 35, 36 sind direkt in Führungen der Schlitten 28, 29, 30 eingesetzt. Die Zahl der Einzelteile der Kontaktiereinheit 11 wird hierdurch wesentlich ver ringert.The shafts 22 , 23 , 24 together with the lever arms 25 , 26 , 27 and the drivers 34 , 35 , 36 form a connecting device which is assigned to the drive unit 12 . The connecting device can be detachably coupled with the carriers 34 , 35 , 36 into the slides 28 , 29 , 30 of the contacting unit 11 . The interface between the contacting unit 11 and the drive unit 12 lies in the area of the linear movement of the drivers 34 , 35 , 36 . These drivers 34 , 35 , 36 are used directly in the guides of the slides 28 , 29 , 30 . The number of individual parts of the contacting unit 11 is thereby significantly reduced ver.

Die gesamte Antriebseinheit 12 mit den Aktoren 19, 20, 21 ist baulich getrennt von der Kontaktiereinheit 11 und deren Schlitten 28, 29, 30 angeordnet. Zum Auswechseln werden die Antriebseinheit 12 und die Kontaktiereinheit in Pfeilrichtung 31 voneinander entfernt. Anschlie ßend wird eine andere Kontaktiereinheit eingesetzt und mit der An triebseinheit 12 verbunden. Zur Anpassung an unterschiedliche zu prü fende Bauteile kann die Kontaktiereinheit 11 rasch und einfach ge wechselt werden. Ein Auswechseln der Antriebseinheit 12 ist nicht erforderlich. The entire drive unit 12 with the actuators 19 , 20 , 21 is structurally separate from the contacting unit 11 and its slide 28 , 29 , 30 . For replacement, the drive unit 12 and the contacting unit are separated from one another in the direction of arrow 31 . Another contacting unit is then used and connected to the drive unit 12 . To adapt to different components to be tested, the contacting unit 11 can be changed quickly and easily. It is not necessary to replace the drive unit 12 .

Vorteilhaft wird die Antriebseinheit 12 in Pfeilrichtung 31 von der Kon taktiereinheit 11 entfernt. Anschließend kann die Kontaktiereinheit 11 senkrecht zur Zeichnungsebene und damit senkrecht zur Kontaktebene zwischen Bauteil und Prüfeinrichtung entnommen werden. Dies ermög licht eine direkte und einfache Verbindung mit einer Prüfplatine oder einer Steckverbindung. Nach dem Einsetzen der neuen Kontaktierein heit wird die Antriebseinheit 12 mit dieser verbunden. Die erfindungs gemäße Vorrichtung 10 ist wieder betriebsbereit.The drive unit 12 is advantageously removed in the arrow direction 31 from the contacting unit 11 . Subsequently, the contacting unit 11 can be removed perpendicular to the plane of the drawing and thus perpendicular to the contact plane between the component and the test device. This enables a direct and simple connection to a test board or a plug connection. After inserting the new Kontaktierein unit, the drive unit 12 is connected to this. The device 10 according to the Invention is ready for operation again.

Die gesamte Antriebseinheit 12 ist vollständig an einer Seite der Kon taktiereinheit 11 angeordnet. Es können somit in spiegelbildlicher An ordnung auf engem Raum zwei Kontaktiereinheiten 11 parallel ange ordnet werden.The entire drive unit 12 is arranged entirely on one side of the contacting unit 11 . It can thus be arranged in parallel in a mirror image arrangement in a confined space, two contacting units 11 .

In den Fig. 2 bis 5 ist eine erste Ausführungsform einer erfindungs gemäßen Kontaktiereinheit 11 zum Prüfen eines elektronischen Bauteils 32 mit einem Körper 56 und einer Reihe von Kontakten 33 dargestellt. Die Kontaktiereinheit 11 weist drei Schlitten 28, 29, 30 auf. Der Schlitten 28 wirkt über zwei Rollen 45, 46 auf zwei Backen 47, 48, die an dem Schlitten 29 angeordnet sind und in Pfeilrichtung 31 auf einander zu und voneinander wegbewegt werden können. Die Bewe gung der Backen 47, 48 voneinander weg wird durch eine Beaufschla gung über den Schlitten 28 erreicht. Zum Bewegen der Backen 47, 48 aufeinander zu dient ein geeignetes, nicht näher dargestelltes Rückstel lelement, insbesondere eine Feder. Die Backen 47, 48 weisen je einen Vorsprung 53 zur Feinpositionierung des Bauteils 32 auf. Je ein Kon takt 33 des Bauteils 32 legt sich an einen der Vorsprünge 53 an. Die Vorsprünge 53 werden daher als 'pin stop' bezeichnet. In Figs. 2 to 5 show a first embodiment of a proper contact-fiction, is shown for testing an electronic component 32 having a body 56 and a row of contacts 33 11. The contacting unit 11 has three slides 28 , 29 , 30 . The carriage 28 acts via two rollers 45 , 46 on two jaws 47 , 48 which are arranged on the carriage 29 and can be moved towards and away from one another in the direction of arrow 31 . The movement of the jaws 47 , 48 away from each other is achieved by applying pressure to the carriage 28 . To move the jaws 47 , 48 towards each other, a suitable reset element, not shown, serves in particular a spring. The jaws 47 , 48 each have a projection 53 for fine positioning of the component 32 . One contact 33 of the component 32 contacts one of the projections 53 . The projections 53 are therefore referred to as a 'pin stop'.

Der Schlitten 29 dient zum Zuführen des Bauteils 32 zu Kontaktfedern 44 und ist in Pfeilrichtung 43 verfahrbar. Die Kontakte des Bauteils 33 werden in der abgesenkten Position des Schlittens 29 auf Kontaktfe dern 44 einer Prüfeinrichtung gepreßt. Nach Abschluß des Prüfvor gangs wird der Schlitten 29 wieder in seine in Fig. 4 dargestellte Ausgangsposition verfahren.The carriage 29 is used to feed the component 32 to the contact springs 44 and can be moved in the direction of the arrow 43 . The contacts of the component 33 are pressed in the lowered position of the carriage 29 on Kontaktfe 44 of a testing device. After completion of the test operation, the carriage 29 is again moved into its starting position shown in FIG. 4.

Der Schlitten 30 ist mit einem Anschlag 55 zum Abbremsen des Bau teils 32 versehen. Der Anschlag 55 berührt den Körper 56 des Bauteils 32 und wird daher als 'body stop' bezeichnet.The carriage 30 is provided with a stop 55 for braking the construction part 32 . The stop 55 touches the body 56 of the component 32 and is therefore referred to as a 'body stop'.

Zur Bewegung der drei Schlitten 28, 29, 30 dienen die Mitnehmer 34, 35, 36, die an den Hebelarmen 25, 26, 27 der Aktoren 19, 20, 21 angebracht sind. Die Mitnehmer 34, 35, 36 greifen in Führungen an den Schlitten 28, 29, 30 ein. Jede Führung besteht aus zwei Vor sprüngen 40a, 40b, 41a, 41b, 42a, 42b. Die Mitnehmer 34, 35, 36 sind zylindrisch ausgebildet, drehbar auf den jeweiligen Hebelarm 25, 26, 27 gelagert und greifen zwischen die Vorsprünge 40a, 40b, 41a, 41b, 42a, 42b. Durch ein Betätigen des jeweiligen Aktors 19, 20, 21 wird somit eine gezielte Bewegung des zugeordneten Schlittens 28, 29, 30 in Pfeilrichtung 43 erzeugt. Die Wellen 22, 23, 24, Hebelarme 25, 26, 27 und Mitnehmer 34, 35, 36 bilden zusammen eine Verbin dungseinrichtung. Diese Verbindungseinrichtung ist lösbar mit den Schlitten 28, 29, 30 verbunden. Die Schlitten 28, 29, 30 werden durch parallel verlaufende, zueinander beabstandete Stangen 63, 64 geführt.The drivers 34 , 35 , 36 , which are attached to the lever arms 25 , 26 , 27 of the actuators 19 , 20 , 21 , serve to move the three slides 28 , 29 , 30 . The drivers 34 , 35 , 36 engage in guides on the slides 28 , 29 , 30 . Each guide consists of two before jumps 40 a, 40 b, 41 a, 41 b, 42 a, 42 b. The drivers 34 , 35 , 36 are cylindrical, rotatably mounted on the respective lever arms 25 , 26 , 27 and engage between the projections 40 a, 40 b, 41 a, 41 b, 42 a, 42 b. By actuating the respective actuator 19 , 20 , 21 , a targeted movement of the associated slide 28 , 29 , 30 in the direction of arrow 43 is generated. The shafts 22 , 23 , 24 , lever arms 25 , 26 , 27 and drivers 34 , 35 , 36 together form a connec tion device. This connecting device is detachably connected to the slides 28 , 29 , 30 . The slides 28 , 29 , 30 are guided by parallel, spaced-apart rods 63 , 64 .

Zur Begrenzung des Verfahrwegs der beiden Schlitten 28, 30 sind Zwischenstücke 54 vorgesehen. Diese Zwischenstücke 54 sind unabhängig von den Aktoren 19, 21 ausgebildet und dienen als Anschläge für die Schlitten 28, 30. Der Verfahrweg dieser beiden Schlitten 28, 30 wird unabhängig von dem jeweiligen Aktor 19, 21 begrenzt.Intermediate pieces 54 are provided to limit the travel of the two slides 28 , 30 . These intermediate pieces 54 are formed independently of the actuators 19 , 21 and serve as stops for the slides 28 , 30 . The travel of these two slides 28 , 30 is limited independently of the respective actuator 19 , 21 .

Die Schlitten 28, 29, 30 sind an einer Grundplatte 37 der Kontak tiereinheit 11 in Pfeilrichtung 43 verschieblich. An ihrer von der Grundplatte 37 abgewandten Seite sind die Schlitten 28, 29, 30 mit einem Haltebügel 39 verbunden und stabilisiert. Die Grundplatte 37 trägt weiter eine Schiene 38 zum Zuführen der Bauteile 32 in Pfeilrich tung 17. Diese Schiene 38 weist Ausnehmungen 57 für eine Sichtkon trolle der Bauteile 32 auf.The carriage 28 , 29 , 30 are displaceable on a base plate 37 of the contact animal unit 11 in the direction of arrow 43 . On their side facing away from the base plate 37 , the slides 28 , 29 , 30 are connected and stabilized with a holding bracket 39 . The base plate 37 further carries a rail 38 for feeding the components 32 in the direction of arrow 17th This rail 38 has recesses 57 for a visual control of the components 32 .

Zum Prüfen eines elektronischen Bauteils 32 wird dieses in Pfeilrich tung 17 durch die Schiene 38 zwischen die beiden Backen 47, 48 des Schlittens 29 geführt. Zur groben Positionierung des Bauteils 32 dient der Anschlag 55, der sich am Körper 56 des Bauteils 32 anlegt. Nach dem Abbremsen des Bauteils 32 werden der Schlitten 30 und der An schlag 55 von der Grundplatte 37 weg in Pfeilrichtung 43 verfahren. Das Bauteil 32 bewegt sich weiter in Pfeilrichtung 17, bis sich die er sten Kontakte 33 an den Vorsprüngen 53 der Backen 47, 48 anlegen. Beide Backen 47, 48 befinden sich dabei in ihrer innersten Position. Das Einführen des Bauteils 32 in einen Führungsabschnitt 52 der Bac ken 47, 48 wird durch eine Einlaufschräge 51 erleichtert.To test an electronic component 32 , this is guided in the direction of arrow 17 through the rail 38 between the two jaws 47 , 48 of the carriage 29 . The stop 55 of the component 32 applies on the body 56 is used for coarse positioning of the component 32nd After braking the component 32 , the carriage 30 and the stop 55 are moved away from the base plate 37 in the direction of arrow 43 . The component 32 continues to move in the direction of the arrow 17 until he most contacts 33 on the projections 53 of the jaws 47 , 48 create. Both jaws 47 , 48 are in their innermost position. The insertion of the component 32 into a guide section 52 of the bac ken 47 , 48 is facilitated by an inlet slope 51 .

Nach der Feinpositionierung des Bauteils 32 durch die Vorsprünge 53 wird der Schlitten 29 zusammen mit dem Bauteil 32 nach unten zu den Kontaktfedern 44 verfahren. Die Kontakte 33 des Bauteils 32 werden auf die Kontaktfedern 44 gepreßt, so daß das Bauteil 32 geprüft wer den kann. Nach Abschluß des Prüfvorgangs wird der Schlitten 29 in seine Ausgangsposition gemäß Fig. 4 zurückgefahren. Anschließend wird der Schlitten 28 nach unten zur Grundplatte 37 verfahren. Er drückt hierbei auf die Rollen 45, 46, so daß die beiden Backen 47, 48 in Pfeilrichtung 31 auseinanderfahren. Die Vorsprünge 53 der Backen 47, 48 werden von den Kontakten 33 des Bauteils 32 entfernt. An schließend wird das Bauteil 32 in Pfeilrichtung 17 in die Schiene 38 der Kontaktiereinheit 11 gefördert und über die Schiene 16 abgeführt. Danach wird der Schlitten 28 wieder angehoben, so daß die Backen 47, 48 sich aufeinander zubewegen. Der Vorgang wird zur Prüfung eines weiteren Bauteils 32 wiederholt.After the component 32 has been finely positioned by the projections 53 , the slide 29 is moved down together with the component 32 to the contact springs 44 . The contacts 33 of the component 32 are pressed onto the contact springs 44 so that the component 32 can be checked who can. After completion of the test process, the carriage 29 is moved back into its starting position according to FIG. 4. Then the carriage 28 is moved down to the base plate 37 . He presses on the rollers 45 , 46 so that the two jaws 47 , 48 move apart in the direction of arrow 31 . The projections 53 of the jaws 47 , 48 are removed from the contacts 33 of the component 32 . At closing, the component 32 is conveyed in the direction of arrow 17 into the rail 38 of the contacting unit 11 and discharged via the rail 16 . Then the carriage 28 is raised again, so that the jaws 47 , 48 move towards one another. The process is repeated to test a further component 32 .

Diese Prüfung wird als 'indirekte Kontaktierung' bezeichnet, da zwi schen dem Bauteil 32 und den Kontaktfedern 44 stets ein Mittelsteg 50 vorhanden ist. Der Mittelsteg 50 dient zur Führung und Halterung des Bauteils 32.This test is referred to as 'indirect contacting', since between the component 32 and the contact springs 44 there is always a central web 50 . The central web 50 serves to guide and hold the component 32 .

Der Schlitten 29 ist im wesentlichen L-förmig ausgebildet. Weiter ist die Schiene 38 neben den Schlitten 28, 29, 30 angeordnet. Hierdurch wird eine Sichtprüfung der Bauteile 32 während des Zuführens und des Verfahrens des Schlittens 29 ermöglicht. Bei Problemen, beispielsweise Stauungen von Bauteilen 32 in der Schiene 38, können diese rasch erkannt und behoben werden.The carriage 29 is essentially L-shaped. Furthermore, the rail 38 is arranged next to the slide 28 , 29 , 30 . This enables a visual inspection of the components 32 during the feeding and the movement of the slide 29 . In the event of problems, for example congestion of components 32 in the rail 38 , these can be quickly identified and eliminated.

Die beschriebene Kontaktiereinheit 11 dient zur Prüfung eines be stimmten Bauteils 32. Zur Prüfung anderer Bauteile, die abweichende Abmessungen oder eine andere Zahl von Kontakten 33 aufweisen, muß eine eigene Kontaktiereinheit vorgesehen werden. Zur Prüfung anderer Bauteile muß daher die Kontaktiereinheit 11 ausgewechselt werden. Hierzu wird die Kontaktiereinheit 11 in Pfeilrichtung 31 von den Mitnehmern 34, 35, 36 abgezogen. Werkzeuge sind hierfür nicht erforderlich, da die Mitnehmer 34, 35, 36 lediglich zwischen die als Führung dienenden Vorsprünge 40a, 40b, 41a, 41b, 42a, 42b der Schlitten 28, 29, 30 eingesetzt sind. Nach dem Entfernen der Kontak tiereinheit 11 wird eine andere Kontaktiereinheit auf die Mitnehmer 34, 35, 36 aufgesetzt. Da die Zwischenstücke 54 als Anschläge für die Schlitten 28, 30 dienen, müssen keine Veränderungen an den Aktoren 19, 20, 21 der Antriebseinheit 12 vorgenommen werden. Die neue Kontaktiereinheit ist sofort betriebsbereit.The contacting unit 11 described is used to test a certain component 32 . A separate contacting unit must be provided for testing other components that have different dimensions or a different number of contacts 33 . To test other components, the contacting unit 11 must therefore be replaced. For this purpose, the contacting unit 11 is removed from the drivers 34 , 35 , 36 in the direction of the arrow 31 . Tools are not required for this, since the drivers 34 , 35 , 36 are only inserted between the projections 40 a, 40 b, 41 a, 41 a, 41 b, 42 a, 42 b of the slide 28 , 29 , 30 that serve as guides. After removing the contact animal unit 11 , another contact unit is placed on the drivers 34 , 35 , 36 . Since the intermediate pieces 54 serve as stops for the slides 28 , 30 , no changes need to be made to the actuators 19 , 20 , 21 of the drive unit 12 . The new contact unit is immediately ready for use.

Die Fig. 6 bis 9 zeigen eine weitere Ausführungsform einer Kontak tiereinheit 61. Gleiche oder ähnliche Bauteile wie in den Fig. 1 bis 5 werden mit denselben Bezugszeichen versehen. Für eine Erläuterung dieser Bauteile und ihrer Funktion wird auf obige Ausführungen verwie sen. FIGS. 6 to 9 show a further embodiment of an animal Kontakt unit 61. The same or similar components as in FIGS. 1 to 5 are provided with the same reference numerals. For an explanation of these components and their function, reference is made to the above statements.

Die Kontaktiereinheit 61 umfaßt drei Schlitten 68, 69, 70. Diese Schlitten 68, 69, 70 sind wie die Schlitten 28, 29, 30 mit Vorsprün gen 40a, 40b, 41a, 41b, 42a, 42b versehen, zwischen die jeweils ein Mitnehmer 34, 35, 36 eingreift. Der Schlitten 70 ist mit einem An schlag 76 versehen, der in einer ersten Position als 'body stop' und in einer zweiten angehobenen Position als 'pin stop' wirkt. Der Schlitten 69 weist eine Saugvorrichtung 66 zum Ansaugen des Bauteils 32 auf. Eine zusätzliche Führung an der Unterseite des Bauteils 32, wie bei der Kontaktiereinheit 11, ist nicht erforderlich. Der Schlitten 68 dient zum Öffnen der Schiene 38, die das elektronische Bauelement 32 führt. Er wirkt mit einer Schrägfläche 74 auf eine Rolle 73, die an einem Schie ber 71 gelagert ist. Der Schieber 71 trägt einen Abschnitt 75 der Schiene 38. Bei einer Betätigung des Aktors 19 wird der Schlitten 68 in Pfeilrichtung 43 nach unten bewegt. Der Schieber 71 wird hierdurch in Pfeilrichtung 72 verschoben und die Schiene 38 geöffnet. Anschlie ßend wird der Schlitten 69 mit dem über die Saugvorrichtung 66 ange saugten Bauteils 32 nach unten verfahren. Diese Position ist in Fig. 9 dargestellt. Das elektronische Bauteil 32 wird mit seinen Kontakten 33 auf einen Testkopf 62 aufgesetzt und geprüft. Zwischen dem Bauteil 32 und dem Testkopf 62 sind keine weiteren Einzelteile vorhanden. Diese Art des Prüfens und der Kontaktgabe wird daher als 'direkte Kontaktierung' oder 'true plunge to board' bezeichnet. Zur Stabilisie rung wird außer dem Haltebügel 39 eine Basisplatte 65 verwendet.The contacting unit 61 comprises three carriages 68 , 69 , 70 . These slides 68 , 69 , 70 , like the slides 28 , 29 , 30, are provided with projections 40 a, 40 b, 41 a, 41 b, 42 a, 42 b, between which a driver 34 , 35 , 36 engages. The carriage 70 is provided with a stop 76 which acts as a 'body stop' in a first position and as a 'pin stop' in a second raised position. The carriage 69 has a suction device 66 for sucking the component 32 . An additional guide on the underside of the component 32 , as in the contacting unit 11 , is not necessary. The slide 68 is used to open the rail 38 which guides the electronic component 32 . It acts with an inclined surface 74 on a roller 73 which is mounted on a slide over 71 . The slider 71 carries a section 75 of the rail 38 . When the actuator 19 is actuated, the slide 68 is moved downward in the direction of arrow 43 . The slide 71 is thereby moved in the direction of arrow 72 and the rail 38 is opened. The carriage 69 is then moved downward with the component 32 sucked in via the suction device 66 . This position is shown in Fig. 9. The electronic component 32 is placed and tested on a test head 62 with its contacts 33 . There are no further individual parts between the component 32 and the test head 62 . This type of testing and contacting is therefore referred to as 'direct contacting' or 'true plunge to board'. For stabilization tion in addition to the bracket 39, a base plate 65 is used.

Der Schlitten 69 ist wie der Schlitten 29 L-förmig ausgebildet, und die Schiene 38 ist mit Ausnehmungen 57 versehen. Somit ist auch bei der Kontaktiereinheit 61 eine fortlaufende Sichtprüfung möglich.The carriage 69 , like the carriage 29, is L-shaped, and the rail 38 is provided with recesses 57 . A continuous visual inspection is thus also possible with the contacting unit 61 .

Zum Auswechseln der Kontaktiereinheit 61 werden die Antriebseinheit 12 und die Kontaktiereinheit 61 in Pfeilrichtung 31 voneinander ge trennt. Anschließend kann ohne Schwierigkeiten zur Prüfung eines an deren Bauteils 32 die Kontaktiereinheit 11 gemäß den Fig. 2 bis 5 mit der Antriebseinheit 12 verbunden werden. Umrüstungen an der Antriebseinheit 12 sind nicht erforderlich.To replace the contacting unit 61 , the drive unit 12 and the contacting unit 61 are separated from one another in the direction of arrow 31 . Subsequently, the contacting unit 11 according to FIGS. 2 to 5 can be connected to the drive unit 12 without difficulty for testing a component 32 thereof. Conversions to the drive unit 12 are not necessary.

In den Fig. 10 und 11 ist die Antriebseinheit 12 näher dargestellt. Die Antriebseinheit 12 umfaßt drei Aktoren 19, 20, 21. Der Aktor 19 wirkt über die Welle 22, den Hebelarm 25 und den Mitnehmer 34 auf den Schlitten 28, 68 der Kontaktiereinheit 11, 61. Die Aktoren 20, 21 wirken über die zugeordneten Wellen 23, 24, Hebelarme 26, 27 sowie Mitnehmer 35, 36 auf die Schlitten 29, 69, 30, 70 der Kontaktierein heit 11, 61. Die Aktoren 19, 20, 21 sind als Pneumatikzylinder ausgebildet. Ihre Linearbewegung wird über ein Hebelsystem in eine Dreh bewegung der Wellen 20, 23, 24 umgewandelt. Diese Drehbewegung wird über die Hebelarme 25, 26, 27 in eine Schwenkbewegung der Mitnehmer 34, 35, 36 in Pfeilrichtung umgewandelt. Diese Schwenk bewegung in Pfeilrichtung 80 führt zur Linearbewegung der Schlitten 28, 29, 30, 68, 69, 70 in Pfeilrichtung 43. Die Mitnehmer 34, 35, 36 sind drehbar auf den Hebelarmen 25, 26, 27 gelagert. Sie rollen daher auf den Vorsprüngen 40a, 40b, 41a, 41b, 42a, 42b der Kontaktierein heit 11, 61 im wesentlichen verlustfrei ab.In Figs. 10 and 11, the drive unit is shown in detail 12th The drive unit 12 comprises three actuators 19 , 20 , 21 . The actuator 19 acts via the shaft 22 , the lever arm 25 and the driver 34 on the slide 28 , 68 of the contacting unit 11 , 61 . The actuators 20 , 21 act via the associated shafts 23 , 24 , lever arms 26 , 27 and drivers 35 , 36 on the slide 29 , 69 , 30 , 70 of the contacting unit 11 , 61st The actuators 19 , 20 , 21 are designed as pneumatic cylinders. Your linear movement is converted into a rotary movement of the shafts 20 , 23 , 24 via a lever system. This rotary movement is converted via the lever arms 25 , 26 , 27 into a pivoting movement of the drivers 34 , 35 , 36 in the direction of the arrow. This pivoting movement in the direction of arrow 80 leads to the linear movement of the slides 28 , 29 , 30 , 68 , 69 , 70 in the direction of arrow 43 . The drivers 34 , 35 , 36 are rotatably mounted on the lever arms 25 , 26 , 27 . You roll therefore on the projections 40 a, 40 b, 41 a, 41 b, 42 a, 42 b of the Kontaktierein unit 11 , 61 from substantially lossless.

Zur Halterung der Antriebseinheit 12 dienen Bolzen 81, die von der Isolierung 15 der Kammer 13 zur Rückwand 18 verlaufen. Die An triebseinheit 12 selbst ist außerhalb der Kammer 13 angeordnet. Inner halb dieser Kammer 13 sind nur die Hebelarme 25, 26, 27 mit den zu geordneten Mitnehmern 34, 35, 36 angeordnet. Hierdurch wird die Masse innerhalb der Kammer 13 reduziert, so daß Temperaturverände rungen rasch und mit geringem Energieaufwand vorgenommen werden können. Die Durchführung der Wellen 22, 23, 24 durch die Isolierung 15 kann mit geringem Aufwand gut isoliert werden. Wärmeverluste in der Kammer 13 werden daher minimiert.Bolts 81 which run from the insulation 15 of the chamber 13 to the rear wall 18 serve to hold the drive unit 12 . At the drive unit 12 itself is arranged outside the chamber 13 . Within this chamber 13 only the lever arms 25 , 26 , 27 are arranged with the associated drivers 34 , 35 , 36 . As a result, the mass within the chamber 13 is reduced, so that temperature changes can be made quickly and with little energy expenditure. The passage of the shafts 22 , 23 , 24 through the insulation 15 can be easily isolated with little effort. Heat losses in the chamber 13 are therefore minimized.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung 10 ermöglicht ein rasches und ein faches Austauschen der Kontaktiereinheit 11, 61 zur Anpassung an unterschiedliche Bauteile 32. Ein Auswechseln der Antriebseinheit 12 ist auf Grund der getrennten Anordnung und lösbaren Verbindung nicht erforderlich. Hierdurch werden die Investionskosten für das Prüfen un terschiedlicher Bauteile 32 werden wesentlich verringert. Weiter ist die Antriebseinheit 12 außerhalb der Kammer 13 angeordnet. Auch die Zuleitung für die Druckluft zu den Aktoren 19, 20, 21 befindet sich vollständig außerhalb der Kammer 13. Der Innenraum der Kammer 13 kann daher rasch und mit geringem Energieaufwand auf eine von der Umgebungstemperatur abweichende Temperatur gebracht und auf die ser Temperatur zuverlässig gehalten werden. Änderungen dieser Tem peratur können schnell vorgenommen werden, so daß eine rasche An passung an unterschiedliche Prüfbedingungen möglich ist.The device 10 according to the invention enables the contacting unit 11 , 61 to be exchanged quickly and easily in order to adapt to different components 32 . A replacement of the drive unit 12 is not necessary due to the separate arrangement and detachable connection. As a result, the investment costs for testing un different components 32 are significantly reduced. The drive unit 12 is also arranged outside the chamber 13 . The supply line for the compressed air to the actuators 19 , 20 , 21 is also located completely outside the chamber 13 . The interior of the chamber 13 can therefore be brought quickly and with little energy to a temperature different from the ambient temperature and reliably kept at this temperature. Changes to this temperature can be made quickly so that it can be quickly adapted to different test conditions.

Claims

1. Device for feeding electronic components ( 32 ), in particular special IC's, to a test device ( 44 ; 62 ) with a contacting unit ( 11 ; 61 ), the movable carriage ( 28 , 29 , 30 ; 68 , 69 , 70 ) for stopping and feeding the electronic construction parts ( 32 ) to the test device ( 44 ; 62 ) and optionally for opening a rail ( 38 ) of the contacting unit ( 61 ) for guiding the electronic components ( 32 ), the contacting unit ( 11 ; 61 ) A drive unit ( 12 ) for procedural ren the carriage ( 28 , 29 , 30 ; 68 , 69 , 70 ) is assigned, characterized in that the drive unit ( 12 ) is structurally separated from the contacting unit ( 11 ; 61 ) and a connecting device ( 22 , 25 , 34 ; 23 , 26 , 35 ; 24 , 27 , 36 ) which can be detachably coupled into the slide ( 28 , 29 , 30 ; 68 , 69 , 70 ) of the contacting unit ( 11 ; 61 ) is.

2. Device according to claim 1, characterized in that the connecting means (22, 25, 34; 23, 26, 35; 24, 27, 36) catch (34; 35; 36) in a guide (40; 41 ; 42 ) engage the slide ( 28 , 29 , 30 ; 68 , 69 , 70 ).

3. Device according to claim 1 or 2, characterized in that the device ( 10 ) has three slides ( 28 , 29 , 30 ; 68 , 69 , 70 ), one of which slides ( 29 ; 69 ) for feeding an electronic component ( 32 ) serves for the test device ( 44 ; 62 ).

4. The device according to claim 3, characterized in that the carriage ( 29 ; 69 ) for feeding an electronic component ( 32 ) is L-shaped.

5. Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the rail ( 38 ) for guiding the electronic components ( 32 ) in addition to the carriage ( 28 , 29 , 30 ; 68 , 69 , 70 ) arranged and with recesses ( 57 ) is provided for a visual inspection of the electronic components ( 32 ).

6. Device according to one of claims 3 to 5, characterized in that the two further slides ( 28 , 30 ) interact with adjustable stops ( 47 , 48 ; 55 ) for the electronic component ( 32 ).

7. Device according to one of claims 3 to 5, characterized in that a second carriage ( 70 ) has an adjustable stop ( 76 ) for the electronic component ( 32 ) and a third carriage ( 68 ) for opening a rail ( 38 ) is provided for guiding the electronic component ( 32 ).

8. Device according to one of claims 2 to 7, characterized in that the guides (40; 41 .; 42) of the carriage ( 28 , 29 , 30 ; 68 , 69 , 70 ) spaced apart projections ( 40 a, 40 b ; 41 a, 41 b; 42 a, 42 b).

9. The device according to claim 8, characterized in that the driver ( 34 ; 35 ; 36 ) between the projections ( 40 a, 40 b; 41 a, 41 b; 42 a, 42 b) engages.

10. Device according to one of claims 2 to 9, characterized in that the connecting device ( 22 , 25 , 34 ; 23 , 26 , 35 ; 24 , 27 , 36 ) comprises a lever arm ( 25 ; 26 ; 27 ) on which the driver ( 34 ; 35 ; 36 ) is attached.

11. The device according to claim 10, characterized in that the driver ( 34 ; 35 ; 36 ) is cylindrical and rotatably mounted on the lever arm ( 25 ; 26 ; 27 ).

12. Device according to one of claims 1 to 11, characterized in that the contacting unit ( 11 ) within a chamber thermally insulated from the environment ( 13 ) and the drive unit ( 12 ) outside of this chamber ( 13 ) is angeord net.

13. The apparatus according to claim 10 and 12, characterized in that the lever arm ( 25 ; 26 ; 27 ) of each connecting device ( 22 , 25 , 34 ; 23 , 26 , 35 ; 24 , 27 , 36 ) within this thermally insulated chamber ( 13th ) is arranged.

14. Device according to one of claims 1 to 13, characterized in that at least one of the slides ( 28 ; 30 ; 68 ; 70 ) interacts with stops ( 54 ) to limit its travel, which independently of the drive unit ( 12 ) are formed.