DE19905726C2 - Verfahren zum Einstellen der mechanischen Vorspannung piezoelektrischer Antriebselemente - Google Patents
Verfahren zum Einstellen der mechanischen Vorspannung piezoelektrischer AntriebselementeInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Einstellen der me
chanischen Vorspannung zweier elektrisch gegenphasig zu bela
dender, zwischen zwei Platten angeordneter, piezoelektrischer
Antriebselemente mittels Vorspannelementen.
Aus der EP 0 800 220 A1 ist ein piezoelektrischer Antrieb be
kannt, dessen als Kipphebel ausgebildeter Aktor über zwei
piezoelektrische Doppelstapelantriebe erregt und in Schwin
gungen versetzt werden kann. Der Aktor und der Doppelstapel
antrieb wird unter definierter Vorspannung gehalten, wobei
mehrere piezoelektrische Einzelstapel jeweils mit ihren ers
ten Basisflächen an einer starren Auflage und mit ihren zwei
ten Basisflächen jeweils über gelenkige Anbindungen an einen
Kipphebel bzw. Aktor angreifen.
Ein weiteres piezoaktuatorisches Antriebs- bzw. Verstellele
ment ist aus DE 196 46 511 C1 bekannt, bei dem piezoelektri
sche Stapelelemente vorzugsweise zur direkten Übertragung von
Kippbewegungen eingesetzt werden. Bei diesem Antrieb ist ein
erster und zweiter piezoelektrischer Stapel vorgesehen, zwi
schen denen ein dritter Stapel angeordnet ist, der Gebiete
beinhaltet, die weitgehend feldfrei gehalten sind. Der dritte
Stapel ist mit dem ersten und zweiten Stapel bevorzugt stoff
schlüssig verbunden. Durch ein Spannmittel ist der dritte
Stapel mit einer definierten Kraft vorgespannt. Gleichzeitig
ist jedoch auch eine gewisse Elastizität in Längsrichtung ge
geben.
Ein piezoelektrischer Aktuator, welcher sowohl für die Über
tragung reiner Translations- als auch Rotationsbewegungen
Verwendung finden kann, ist beispielsweise aus der WO
96/19836 bekannt und umfaßt zumindest zwei gegenphasig zu be
ladende, zwischen einer Bodenplatte und einer Oberplatte an
geordnete, piezoelektrische Antriebselemente, wobei die me
chanische Vorspannung der piezoelektrischen Antriebselemente
durch Zuganker oder durch Federn von außen aufgebracht wird.
Dieser auch Torqueblock genannter Aktuator ist als ein akti
ves Drehgelenk mit Drehachse in seinem Flächenschwerpunkt an
zusehen. Dadurch, daß die zur elektrischen Versorgung der An
triebselemente vorgesehenen Leiterbahnen in die neutrale me
chanische Phase gezogen sind, werden Risse aufgrund von Wech
sellasten in den Leiterbahnen vermieden. Es wird somit ein
piezoelektrische Aktuator geschaffen, der insbesondere auch
die hohen Anforderungen in der Automobiltechnik erfüllt.
Nachteilig bei der bekannten Anordnung ist jedoch, daß die
angestrebte mechanische Vorspannung nicht präzise eingestellt
werden kann, da die verwendeten Zuganker und Federn beträcht
liche Toleranzen aufweisen.
Aufgabe der Erfindung ist daher, ein Verfahren zum Einstellen
der mechanischen Vorspannung derartiger Aktuatoren anzugeben,
bei dem eine hohe Genauigkeit der Vorspannung erzielt wird.
Die Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren gemäß Patentan
spruch 1. Ausgestaltungen und Weiterbildungen des Erfindungs
gedankens sind Gegenstand von Unteransprüchen.
Das erfindungsgemäße Verfahren sieht vor, biegeelastische, in
Längsrichtung jedoch unelastische Vorspannelemente mit einer
der Platten kraftschlüssig, formschlüssig oder fest zu ver
binden, eine Montagevorrichtung an den Vorspannelementen zu
befestigen, eine definierte Kraft auf die andere Platte auf
zubringen, die Vorspannelemente mit der anderen Platte eben
falls kraftschlüssig, formschlüssig oder fest zu verbinden,
die definierten Kraft zurückzunehmen und schließlich die Mon
tagevorrichtung zu entfernen. Dabei dient die Montagevorrich
tung dazu, die Gegenkraft für die auf die andere Platte auf
gebrachte definierte Kraft zu erzeugen. Das erfindungsgemäße
Verfahren zeichnet sich insbesondere dadurch aus, daß ein ge
ringer materieller Aufwand notwendig ist, nur wenige Verfah
rensschritte benötigt werden und dennoch eine hohe Genauig
keit erzielt wird.
Bevorzugt erfolgt das Verbinden der Vorspannelemente mit ei
ner oder beiden Platten durch Verschweißen und/oder bei kon
stanter, oberer Temperatur. Als obere Temperatur ist dabei
die maximal zulässige Temperatur der gesamten Anordnung anzu
sehen.
Als Vorspannelemente können dabei biegeelastische, in Längs
richtung jedoch unelastische Stäbe, eine an den Seiten der
piezoelektrischen Antriebselemente laschenförmige herunterge
zogene Platte oder Streifen vorgesehen werden. Bevorzugt wei
sen die Vorspannelemente dabei Verdickungen, Laschen oder
ähnliches auf, an denen die Montagevorrichtung angesetzt
wird. Als Montagevorrichtung kommen dabei insbesondere spezi
elle Halterungen oder Lagerungen in Betracht. Die definierte
Kraft wird bevorzugt durch ein auf eine der Platten aufgeleg
tes Gewicht erzeugt. In gleicher Weise kann die definierte
Kraft aber auch durch ein elastisches Element wie beispiels
weise eine Feder, welche mit der Montagevorrichtung über ei
nen starren Rahmen verbunden ist, erzeugt werden. Vorteilhaft
ist in diesem Zusammenhang bei dem erfindungsgemäßen Verfah
ren, daß die gleichen Gewichte oder Federn zur Einstellung
mehrerer Aktuatoren verwendet werden und damit die relative
Genauigkeit dieser Aktuatoren untereinander sehr hoch ist.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand der in den Figuren der
Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert.
Es zeigt:
Fig. 1 eine erste Ausführungsform einer Anordnung zur
Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens mit
stabförmigen Vorspannelementen,
Fig. 2 eine zweite Ausführungsform zur Durchführung des
erfindungsgemäßen Verfahrens mit streifenförmig
ausgebildeten Vorspannelementen und
Fig. 3 eine dritte Ausführungsform zur Durchführung des
erfindungsgemäßen Verfahrens mit einer laschenför
mig heruntergezogenen Platte als Vorspannelement.
In Fig. 1 ist ein Torqueblock gezeigt, der aus gegenphasig
zu beladenden piezoelektrischen Antriebselementen 2, 3, einer
Bodenplatte 4 sowie einer Oberplatte 5 besteht. Die piezo
elektrische Antriebselemente 2, 3 werden dabei durch lami
nierte Stapel einzelner, aus piezoelektrischer Keramik gefer
tigter Scheiben gebildet. Mit der Oberplatte 5 verbunden ist
ein Aktuatorhebel 6, der beim Ausführungsbeispiel im wesent
lichen dreiecksförmig ausgeführt und mit einer seiner drei
Dreiecksschenkel auf die Oberplatte 5 in Richtung von einem
zum anderen Antriebselement 2, 3 aufgesetzt ist. Zwischen den
beiden Antriebselementen 2 und 3 liegt eine neutrale Faser A,
bei der eine minimale Dehnungsbeanspruchung auftritt und in
deren unmittelbarem Umfeld sich bevorzugt ein Bereich 1 zwi
schen den Antriebselementen 2, 3 mit einer im einzelnen nicht
dargestellten elektrischen Kontaktierung der Antriebselemente
2, 3 befindet.
Bei der vorliegenden Erfindung sind insbesondere in einem Ke
ramiklaminat durch integrierte Elektrodenstrukturierung ein
gebrachte, separat ansteuerbare Antriebseinheiten 2, 3 vorge
sehen. Durch Reduzierung der Belastung äußerer Kontaktbahnen
durch Anordnen der Kontakte im Bereich 1 wird eine hohe Zu
verlässigkeit erreicht. Die Wandlung der Translation in eine
Winkelverkippung erfolgt direkt im Keramiklaminat und kann
als wegübersetzte Auslenkung am Ende des dreieckförmigen Ak
tuatorhebels 6 abgegriffen werden. Auslenkung und Steifigkeit
sind durch Gestaltung der Hebellänge, der Blockhöhe und des
Blockquerschnitts variierbar. Die elektrische Ansteuerung der
beiden Antriebselemente erfolgt antisymmetrisch durch eine
nicht näher dargestellte Ansteuerschaltung.
Zur Einstellung einer genauen mechanischen Vorspannung der
Antriebselemente 2 und 3 sind erfindungsgemäß die nachfolgend
beschriebenen Schritte vorgesehen. Zunächst werden die biege
elastischen Vorspannelemente 7, 8 mit der Bodenplatte 4 bei
spielsweise durch Verschweißen an Schweißnähten 9 fest ver
bunden. Die Vorspannelemente 7, 8 sind dabei als biegeelasti
sche, in Längsrichtung jedoch unelastische Stäbe mit jeweils
einer Verdickung 12, 13 ausgebildet. Anstelle einer Schweiß
verbindung können aber auch andere geeignete kraftschlüssige
Verbindungen wie zum Beispiel Schraubverbindungen verwendet
werden. Danach werden die Antriebselemente 2, 3 auf der Bo
denplatte 4 angeordnet, indem diese mit der Bodenplatte 4
beispielsweise durch Kleben fest verbunden oder alternativ
nur auf diese ohne feste Verbindung aufgesetzt werden. Dar
über wird die Oberplatte 5 gesetzt.
Falls noch nicht vor der Anordnung der Antriebselemente 2, 3
erfolgt, wird nun eine Montagevorrichtung 11 unter den Ver
dickungen 12, 13 der Vorspannelemente 7, 8 angesetzt derart,
daß die Verdickungen 12, 13 die Montagevorrichtung 11 auf der
der Oberplatte 5 abgewandten Seite berühren.
Sodann wird an der Oberplatte 5 eine definierte Kraft F auf
gebracht, die beispielsweise durch in der Zeichnung nicht
dargestellte, aufgelegte Gewichte erzeugt wird. Die Gegen
kraft wird von der Montagevorrichtung 11 aufgebracht, indem
die Oberplatte 5 über die piezoelektrischen Antriebselemente
2, 3 auf die Bodenplatte 4 drückt, wodurch auf die Vorspan
nelemente 7, 8 eine Zugkraft in Längsrichtung gegen die Mon
tagevorrichtung 11 ausgeübt wird. In diesem Zustand werden
die Vorspannelemente 7, 8 mit der Oberplatte 5 an den
Schweißnähten 10 verschweißt. Anstelle einer Schweißverbin
dung können aber auch andere geeignete kraftschlüssige Ver
bindungen wie zum Beispiel Schraubverbindungen verwendet wer
den.
Nach Zurücknahme der Belastung durch die Kraft F und Entfer
nen der Montagevorrichtung 11 ist der Torqueblock durch die
Vorspannelemente 7, 8 dauerhaft mit hoher Genauigkeit fest
gehalten, insbesondere wenn die Montage bei konstanter oberer
Temperatur wie beim vorliegenden Ausführungsbeispiel durchge
führt wird. Zumindest aber sollte zum Zeitpunkt des letzten
Verschweißens die gesamte Anordnung eine homogene obere Tem
peratur aufweisen. Da die neutrale Faser A sich bei Aktuator
betrieb längenmäßig kaum ändert, sollen die Vorspannelemente
7, 8 in Längsrichtung möglichst unelastisch sein, aber genü
gend biegeelastisch sein, um die Kippbewegung der Oberplatte
5 aufnehmen zu können.
Die Ausführungsform nach Fig. 2 ist gegenüber der nach Fig.
1 dahingehend abgeändert, daß streifenförmig und nicht stab
förmig ausgebildete Vorspannelemente 14, 15 vorgesehen sind,
wobei die Vorspannelemente 14, 15 Laschen 16 und 17 aufwei
sen, an denen sich die Montagevorrichtung (in Fig. 2 nicht
gezeigt) abstützen kann. Die Vorspannelemente 14, 15 sind
dabei mittels Schweißnähten 18 bis 21 an der Bodenplatte 4
beziehungsweise die Oberplatte 5 seitlich befestigt. Strei
fenförmige Vorspannelemente 14, 15 gemäß Fig. 2 haben gegen
über den stabförmigen Vorspannelementen 7, 8 aus Fig. 1 den
Vorteil, daß bei gleicher Querschnittsfläche die selbe Stei
figkeit in Längsrichtung, jedoch eine wesentlich höhere Bie
geelastizität erreicht wird. Bei dem Ausführungsbeispiel nach
Fig. 2 kann bei entsprechender Anbringung der (nicht gezeig
ten) Montagevorrichtung die Kraft F entweder an der Boden
platte 4 oder der Oberplatte 5 angreifen.
In Fig. 3 ist eine Weiterbildung der Ausführungsform nach
Fig. 2 dargestellt, wobei die biegeelastischen Vorspannele
mente 22 ebenfalls streifenförmig ausgebildet sind. Jedoch
sind die Vorspannelemente 22 nicht separat ausgeführt, son
dern gehen aus der Oberplatte 5 hervor, indem diese seitlich
laschenförmig heruntergezogen und an Schweißnähten 24 an der
Bodenplatte 4 seitlich durch Verschweißen befestigt sind. Die
laschenförmigen Vorspannelemente 22 haben ihrerseits seitlich
ausgebildete Laschen 23 zum Ansetzen der (in Fig. 3 nicht
gezeigten) Montagevorrichtung. Die Montagevorrichtung wird
dabei so angesetzt, daß sie in Richtung der Bodenplatte 4 ab
stützt und die Kraft F in Richtung der Oberplatte 5 auf die
Bodenplatte 4 einwirkt.
Claims (9)
1. Verfahren zum Einstellen der mechanischen Vorspannung zwei
er elektrisch gegenphasig zu beladenden, zwischen zwei Plat
ten (4, 5) angeordneten, piezoelektrischen Antriebselemente
(2, 3) mittels biegeelastischen, in Längsrichtung jedoch mög
lichst unelastischen Vorspannelementen (7, 8, 14, 15, 22) un
ter Verwendung einer Montagevorrichtung (11) mit den Verfah
rensschritten:
- a) Verbinden der Vorspannelemente (7, 8, 14, 15, 22) mit ei ner der Platten (4);
- b) Befestigen der Montagevorrichtung (11) an den Vorspannele menten (7, 8, 14, 15, 22);
- c) Aufbringen einer definierten Kraft auf die andere Platte (5), wobei die Gegenkraft von der Montagevorrichtung (11) aufgebracht wird;
- d) Verbinden der Vorspannelemente (7, 8, 14, 15, 22) mit der anderen Platte (5); und
- e) Zurücknahme der definierten Kraft.
2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem das Verbinden durch
Verschweißen erfolgt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei dem zumindest das
Aufbringen einer definierten Kraft auf eine der Platten (5)
und
das Verbinden der Vorspannelemente (7, 8, 14, 15, 22) mit der
anderen Platte (5) bei konstanter, oberer Temperatur erfolgt.
4. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem die
Vorspannelemente (7, 8) Stäbe sind.
5. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem die
Vorspannelemente (14, 15, 22) streifenförmig ausgebildet
sind.
6. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem die
Vorspannelemente (22) durch eine an den Seiten der piezo
elektrischen Antriebselemente (2, 3) laschenförmig herunter
gezogene Platte (5) gebildet wird.
7. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem die
Montagevorrichtung (11) an Verdickungen (12, 13) der Vor
spannelemente (7, 8, 14, 15, 22) angesetzt wird.
8. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem die
Montagevorrichtung (11) an Laschen (16, 17, 23) der Vorspann
elemente (14, 15, 22) angesetzt wird.
9. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem die
definierte Kraft durch auf eine der Platten (5) aufgelegte
Gewichte erzeugt wird.
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|---|---|
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10260363A1 (de) * | 2002-12-20 | 2004-07-08 | Robert Bosch Gmbh | Aktormodul mit einem piezoelektrischen, elektrostriktiven oder magnetostriktiven Aktor |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10321687A1 (de) * | 2003-05-14 | 2004-12-02 | Checkpoint Systems International Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Sicherung von Gegenständen durch Umreifung |
| DE102004011455A1 (de) | 2003-06-04 | 2004-12-30 | Robert Bosch Gmbh | Rohrfeder für Aktor und Verfahren zur Montage der Rohrfeder |
| WO2009095911A1 (en) * | 2008-01-28 | 2009-08-06 | Technion Research & Development Foundation Ltd. | Piezoelectric-ferroelectric actuator device |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3412014C1 (de) * | 1984-03-31 | 1985-10-17 | Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln | Piezokeramischer Stellantrieb zur Erzeugung von Translationsbewegungen |
| WO1996019836A1 (de) * | 1994-12-21 | 1996-06-27 | Marco Systemanalyse Und Entwicklung Gmbh | Piezoaktuatorisches antriebs- bzw. verstellelement |
| EP0800220A1 (de) * | 1996-04-02 | 1997-10-08 | MDC Max Dätwyler Bleienbach AG | Hochdynamischer piezoelektrischer Antrieb |
| DE19646511C1 (de) * | 1996-11-12 | 1998-05-14 | Marco Systemanalyse Entw | Piezoaktuatorisches Antriebs- oder Verstellelement |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62272575A (ja) * | 1986-05-20 | 1987-11-26 | Matsushita Electric Works Ltd | 圧電アクチユエ−タ |
| JPH06105569A (ja) * | 1992-09-24 | 1994-04-15 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波アクチュエータ |
-
1999
- 1999-02-11 DE DE19905726A patent/DE19905726C2/de not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-02-01 WO PCT/DE2000/000299 patent/WO2000048256A1/de not_active Ceased
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3412014C1 (de) * | 1984-03-31 | 1985-10-17 | Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln | Piezokeramischer Stellantrieb zur Erzeugung von Translationsbewegungen |
| WO1996019836A1 (de) * | 1994-12-21 | 1996-06-27 | Marco Systemanalyse Und Entwicklung Gmbh | Piezoaktuatorisches antriebs- bzw. verstellelement |
| EP0800220A1 (de) * | 1996-04-02 | 1997-10-08 | MDC Max Dätwyler Bleienbach AG | Hochdynamischer piezoelektrischer Antrieb |
| DE19646511C1 (de) * | 1996-11-12 | 1998-05-14 | Marco Systemanalyse Entw | Piezoaktuatorisches Antriebs- oder Verstellelement |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10260363A1 (de) * | 2002-12-20 | 2004-07-08 | Robert Bosch Gmbh | Aktormodul mit einem piezoelektrischen, elektrostriktiven oder magnetostriktiven Aktor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19905726A1 (de) | 2000-08-31 |
| WO2000048256A1 (de) | 2000-08-17 |
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