[go: up one dir, main page]

DE19905726C2 - Verfahren zum Einstellen der mechanischen Vorspannung piezoelektrischer Antriebselemente - Google Patents

Verfahren zum Einstellen der mechanischen Vorspannung piezoelektrischer Antriebselemente

Info

Publication number
DE19905726C2
DE19905726C2 DE19905726A DE19905726A DE19905726C2 DE 19905726 C2 DE19905726 C2 DE 19905726C2 DE 19905726 A DE19905726 A DE 19905726A DE 19905726 A DE19905726 A DE 19905726A DE 19905726 C2 DE19905726 C2 DE 19905726C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
elements
mounting device
plate
biasing elements
biasing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE19905726A
Other languages
English (en)
Other versions
DE19905726A1 (de
Inventor
Ulrich Augustin
Wilhelm Frank
Wendelin Kluegl
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Continental Automotive GmbH
Original Assignee
Siemens Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Corp filed Critical Siemens Corp
Priority to DE19905726A priority Critical patent/DE19905726C2/de
Priority to PCT/DE2000/000299 priority patent/WO2000048256A1/de
Publication of DE19905726A1 publication Critical patent/DE19905726A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE19905726C2 publication Critical patent/DE19905726C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/001Driving devices, e.g. vibrators
    • H02N2/002Driving devices, e.g. vibrators using only longitudinal or radial modes
    • H02N2/0025Driving devices, e.g. vibrators using only longitudinal or radial modes using combined longitudinal modes
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/005Mechanical details, e.g. housings
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/22Methods relating to manufacturing, e.g. assembling, calibration

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Einstellen der me­ chanischen Vorspannung zweier elektrisch gegenphasig zu bela­ dender, zwischen zwei Platten angeordneter, piezoelektrischer Antriebselemente mittels Vorspannelementen.
Aus der EP 0 800 220 A1 ist ein piezoelektrischer Antrieb be­ kannt, dessen als Kipphebel ausgebildeter Aktor über zwei piezoelektrische Doppelstapelantriebe erregt und in Schwin­ gungen versetzt werden kann. Der Aktor und der Doppelstapel­ antrieb wird unter definierter Vorspannung gehalten, wobei mehrere piezoelektrische Einzelstapel jeweils mit ihren ers­ ten Basisflächen an einer starren Auflage und mit ihren zwei­ ten Basisflächen jeweils über gelenkige Anbindungen an einen Kipphebel bzw. Aktor angreifen.
Ein weiteres piezoaktuatorisches Antriebs- bzw. Verstellele­ ment ist aus DE 196 46 511 C1 bekannt, bei dem piezoelektri­ sche Stapelelemente vorzugsweise zur direkten Übertragung von Kippbewegungen eingesetzt werden. Bei diesem Antrieb ist ein erster und zweiter piezoelektrischer Stapel vorgesehen, zwi­ schen denen ein dritter Stapel angeordnet ist, der Gebiete beinhaltet, die weitgehend feldfrei gehalten sind. Der dritte Stapel ist mit dem ersten und zweiten Stapel bevorzugt stoff­ schlüssig verbunden. Durch ein Spannmittel ist der dritte Stapel mit einer definierten Kraft vorgespannt. Gleichzeitig ist jedoch auch eine gewisse Elastizität in Längsrichtung ge­ geben.
Ein piezoelektrischer Aktuator, welcher sowohl für die Über­ tragung reiner Translations- als auch Rotationsbewegungen Verwendung finden kann, ist beispielsweise aus der WO 96/19836 bekannt und umfaßt zumindest zwei gegenphasig zu be­ ladende, zwischen einer Bodenplatte und einer Oberplatte an­ geordnete, piezoelektrische Antriebselemente, wobei die me­ chanische Vorspannung der piezoelektrischen Antriebselemente durch Zuganker oder durch Federn von außen aufgebracht wird. Dieser auch Torqueblock genannter Aktuator ist als ein akti­ ves Drehgelenk mit Drehachse in seinem Flächenschwerpunkt an­ zusehen. Dadurch, daß die zur elektrischen Versorgung der An­ triebselemente vorgesehenen Leiterbahnen in die neutrale me­ chanische Phase gezogen sind, werden Risse aufgrund von Wech­ sellasten in den Leiterbahnen vermieden. Es wird somit ein piezoelektrische Aktuator geschaffen, der insbesondere auch die hohen Anforderungen in der Automobiltechnik erfüllt. Nachteilig bei der bekannten Anordnung ist jedoch, daß die angestrebte mechanische Vorspannung nicht präzise eingestellt werden kann, da die verwendeten Zuganker und Federn beträcht­ liche Toleranzen aufweisen.
Aufgabe der Erfindung ist daher, ein Verfahren zum Einstellen der mechanischen Vorspannung derartiger Aktuatoren anzugeben, bei dem eine hohe Genauigkeit der Vorspannung erzielt wird.
Die Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren gemäß Patentan­ spruch 1. Ausgestaltungen und Weiterbildungen des Erfindungs­ gedankens sind Gegenstand von Unteransprüchen.
Das erfindungsgemäße Verfahren sieht vor, biegeelastische, in Längsrichtung jedoch unelastische Vorspannelemente mit einer der Platten kraftschlüssig, formschlüssig oder fest zu ver­ binden, eine Montagevorrichtung an den Vorspannelementen zu befestigen, eine definierte Kraft auf die andere Platte auf­ zubringen, die Vorspannelemente mit der anderen Platte eben­ falls kraftschlüssig, formschlüssig oder fest zu verbinden, die definierten Kraft zurückzunehmen und schließlich die Mon­ tagevorrichtung zu entfernen. Dabei dient die Montagevorrich­ tung dazu, die Gegenkraft für die auf die andere Platte auf­ gebrachte definierte Kraft zu erzeugen. Das erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich insbesondere dadurch aus, daß ein ge­ ringer materieller Aufwand notwendig ist, nur wenige Verfah­ rensschritte benötigt werden und dennoch eine hohe Genauig­ keit erzielt wird.
Bevorzugt erfolgt das Verbinden der Vorspannelemente mit ei­ ner oder beiden Platten durch Verschweißen und/oder bei kon­ stanter, oberer Temperatur. Als obere Temperatur ist dabei die maximal zulässige Temperatur der gesamten Anordnung anzu­ sehen.
Als Vorspannelemente können dabei biegeelastische, in Längs­ richtung jedoch unelastische Stäbe, eine an den Seiten der piezoelektrischen Antriebselemente laschenförmige herunterge­ zogene Platte oder Streifen vorgesehen werden. Bevorzugt wei­ sen die Vorspannelemente dabei Verdickungen, Laschen oder ähnliches auf, an denen die Montagevorrichtung angesetzt wird. Als Montagevorrichtung kommen dabei insbesondere spezi­ elle Halterungen oder Lagerungen in Betracht. Die definierte Kraft wird bevorzugt durch ein auf eine der Platten aufgeleg­ tes Gewicht erzeugt. In gleicher Weise kann die definierte Kraft aber auch durch ein elastisches Element wie beispiels­ weise eine Feder, welche mit der Montagevorrichtung über ei­ nen starren Rahmen verbunden ist, erzeugt werden. Vorteilhaft ist in diesem Zusammenhang bei dem erfindungsgemäßen Verfah­ ren, daß die gleichen Gewichte oder Federn zur Einstellung mehrerer Aktuatoren verwendet werden und damit die relative Genauigkeit dieser Aktuatoren untereinander sehr hoch ist. Die Erfindung wird nachfolgend anhand der in den Figuren der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert.
Es zeigt:
Fig. 1 eine erste Ausführungsform einer Anordnung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens mit stabförmigen Vorspannelementen,
Fig. 2 eine zweite Ausführungsform zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens mit streifenförmig ausgebildeten Vorspannelementen und
Fig. 3 eine dritte Ausführungsform zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens mit einer laschenför­ mig heruntergezogenen Platte als Vorspannelement.
In Fig. 1 ist ein Torqueblock gezeigt, der aus gegenphasig zu beladenden piezoelektrischen Antriebselementen 2, 3, einer Bodenplatte 4 sowie einer Oberplatte 5 besteht. Die piezo­ elektrische Antriebselemente 2, 3 werden dabei durch lami­ nierte Stapel einzelner, aus piezoelektrischer Keramik gefer­ tigter Scheiben gebildet. Mit der Oberplatte 5 verbunden ist ein Aktuatorhebel 6, der beim Ausführungsbeispiel im wesent­ lichen dreiecksförmig ausgeführt und mit einer seiner drei Dreiecksschenkel auf die Oberplatte 5 in Richtung von einem zum anderen Antriebselement 2, 3 aufgesetzt ist. Zwischen den beiden Antriebselementen 2 und 3 liegt eine neutrale Faser A, bei der eine minimale Dehnungsbeanspruchung auftritt und in deren unmittelbarem Umfeld sich bevorzugt ein Bereich 1 zwi­ schen den Antriebselementen 2, 3 mit einer im einzelnen nicht dargestellten elektrischen Kontaktierung der Antriebselemente 2, 3 befindet.
Bei der vorliegenden Erfindung sind insbesondere in einem Ke­ ramiklaminat durch integrierte Elektrodenstrukturierung ein­ gebrachte, separat ansteuerbare Antriebseinheiten 2, 3 vorge­ sehen. Durch Reduzierung der Belastung äußerer Kontaktbahnen durch Anordnen der Kontakte im Bereich 1 wird eine hohe Zu­ verlässigkeit erreicht. Die Wandlung der Translation in eine Winkelverkippung erfolgt direkt im Keramiklaminat und kann als wegübersetzte Auslenkung am Ende des dreieckförmigen Ak­ tuatorhebels 6 abgegriffen werden. Auslenkung und Steifigkeit sind durch Gestaltung der Hebellänge, der Blockhöhe und des Blockquerschnitts variierbar. Die elektrische Ansteuerung der beiden Antriebselemente erfolgt antisymmetrisch durch eine nicht näher dargestellte Ansteuerschaltung.
Zur Einstellung einer genauen mechanischen Vorspannung der Antriebselemente 2 und 3 sind erfindungsgemäß die nachfolgend beschriebenen Schritte vorgesehen. Zunächst werden die biege­ elastischen Vorspannelemente 7, 8 mit der Bodenplatte 4 bei­ spielsweise durch Verschweißen an Schweißnähten 9 fest ver­ bunden. Die Vorspannelemente 7, 8 sind dabei als biegeelasti­ sche, in Längsrichtung jedoch unelastische Stäbe mit jeweils einer Verdickung 12, 13 ausgebildet. Anstelle einer Schweiß­ verbindung können aber auch andere geeignete kraftschlüssige Verbindungen wie zum Beispiel Schraubverbindungen verwendet werden. Danach werden die Antriebselemente 2, 3 auf der Bo­ denplatte 4 angeordnet, indem diese mit der Bodenplatte 4 beispielsweise durch Kleben fest verbunden oder alternativ nur auf diese ohne feste Verbindung aufgesetzt werden. Dar­ über wird die Oberplatte 5 gesetzt.
Falls noch nicht vor der Anordnung der Antriebselemente 2, 3 erfolgt, wird nun eine Montagevorrichtung 11 unter den Ver­ dickungen 12, 13 der Vorspannelemente 7, 8 angesetzt derart, daß die Verdickungen 12, 13 die Montagevorrichtung 11 auf der der Oberplatte 5 abgewandten Seite berühren.
Sodann wird an der Oberplatte 5 eine definierte Kraft F auf­ gebracht, die beispielsweise durch in der Zeichnung nicht dargestellte, aufgelegte Gewichte erzeugt wird. Die Gegen­ kraft wird von der Montagevorrichtung 11 aufgebracht, indem die Oberplatte 5 über die piezoelektrischen Antriebselemente 2, 3 auf die Bodenplatte 4 drückt, wodurch auf die Vorspan­ nelemente 7, 8 eine Zugkraft in Längsrichtung gegen die Mon­ tagevorrichtung 11 ausgeübt wird. In diesem Zustand werden die Vorspannelemente 7, 8 mit der Oberplatte 5 an den Schweißnähten 10 verschweißt. Anstelle einer Schweißverbin­ dung können aber auch andere geeignete kraftschlüssige Ver­ bindungen wie zum Beispiel Schraubverbindungen verwendet wer­ den.
Nach Zurücknahme der Belastung durch die Kraft F und Entfer­ nen der Montagevorrichtung 11 ist der Torqueblock durch die Vorspannelemente 7, 8 dauerhaft mit hoher Genauigkeit fest­ gehalten, insbesondere wenn die Montage bei konstanter oberer Temperatur wie beim vorliegenden Ausführungsbeispiel durchge­ führt wird. Zumindest aber sollte zum Zeitpunkt des letzten Verschweißens die gesamte Anordnung eine homogene obere Tem­ peratur aufweisen. Da die neutrale Faser A sich bei Aktuator­ betrieb längenmäßig kaum ändert, sollen die Vorspannelemente 7, 8 in Längsrichtung möglichst unelastisch sein, aber genü­ gend biegeelastisch sein, um die Kippbewegung der Oberplatte 5 aufnehmen zu können.
Die Ausführungsform nach Fig. 2 ist gegenüber der nach Fig. 1 dahingehend abgeändert, daß streifenförmig und nicht stab­ förmig ausgebildete Vorspannelemente 14, 15 vorgesehen sind, wobei die Vorspannelemente 14, 15 Laschen 16 und 17 aufwei­ sen, an denen sich die Montagevorrichtung (in Fig. 2 nicht gezeigt) abstützen kann. Die Vorspannelemente 14, 15 sind dabei mittels Schweißnähten 18 bis 21 an der Bodenplatte 4 beziehungsweise die Oberplatte 5 seitlich befestigt. Strei­ fenförmige Vorspannelemente 14, 15 gemäß Fig. 2 haben gegen­ über den stabförmigen Vorspannelementen 7, 8 aus Fig. 1 den Vorteil, daß bei gleicher Querschnittsfläche die selbe Stei­ figkeit in Längsrichtung, jedoch eine wesentlich höhere Bie­ geelastizität erreicht wird. Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 kann bei entsprechender Anbringung der (nicht gezeig­ ten) Montagevorrichtung die Kraft F entweder an der Boden­ platte 4 oder der Oberplatte 5 angreifen.
In Fig. 3 ist eine Weiterbildung der Ausführungsform nach Fig. 2 dargestellt, wobei die biegeelastischen Vorspannele­ mente 22 ebenfalls streifenförmig ausgebildet sind. Jedoch sind die Vorspannelemente 22 nicht separat ausgeführt, son­ dern gehen aus der Oberplatte 5 hervor, indem diese seitlich laschenförmig heruntergezogen und an Schweißnähten 24 an der Bodenplatte 4 seitlich durch Verschweißen befestigt sind. Die laschenförmigen Vorspannelemente 22 haben ihrerseits seitlich ausgebildete Laschen 23 zum Ansetzen der (in Fig. 3 nicht gezeigten) Montagevorrichtung. Die Montagevorrichtung wird dabei so angesetzt, daß sie in Richtung der Bodenplatte 4 ab­ stützt und die Kraft F in Richtung der Oberplatte 5 auf die Bodenplatte 4 einwirkt.

Claims (9)

1. Verfahren zum Einstellen der mechanischen Vorspannung zwei­ er elektrisch gegenphasig zu beladenden, zwischen zwei Plat­ ten (4, 5) angeordneten, piezoelektrischen Antriebselemente (2, 3) mittels biegeelastischen, in Längsrichtung jedoch mög­ lichst unelastischen Vorspannelementen (7, 8, 14, 15, 22) un­ ter Verwendung einer Montagevorrichtung (11) mit den Verfah­ rensschritten:
  • a) Verbinden der Vorspannelemente (7, 8, 14, 15, 22) mit ei­ ner der Platten (4);
  • b) Befestigen der Montagevorrichtung (11) an den Vorspannele­ menten (7, 8, 14, 15, 22);
  • c) Aufbringen einer definierten Kraft auf die andere Platte (5), wobei die Gegenkraft von der Montagevorrichtung (11) aufgebracht wird;
  • d) Verbinden der Vorspannelemente (7, 8, 14, 15, 22) mit der anderen Platte (5); und
  • e) Zurücknahme der definierten Kraft.
2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem das Verbinden durch Verschweißen erfolgt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei dem zumindest das Aufbringen einer definierten Kraft auf eine der Platten (5) und das Verbinden der Vorspannelemente (7, 8, 14, 15, 22) mit der anderen Platte (5) bei konstanter, oberer Temperatur erfolgt.
4. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem die Vorspannelemente (7, 8) Stäbe sind.
5. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem die Vorspannelemente (14, 15, 22) streifenförmig ausgebildet sind.
6. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem die Vorspannelemente (22) durch eine an den Seiten der piezo­ elektrischen Antriebselemente (2, 3) laschenförmig herunter­ gezogene Platte (5) gebildet wird.
7. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem die Montagevorrichtung (11) an Verdickungen (12, 13) der Vor­ spannelemente (7, 8, 14, 15, 22) angesetzt wird.
8. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem die Montagevorrichtung (11) an Laschen (16, 17, 23) der Vorspann­ elemente (14, 15, 22) angesetzt wird.
9. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem die definierte Kraft durch auf eine der Platten (5) aufgelegte Gewichte erzeugt wird.
DE19905726A 1999-02-11 1999-02-11 Verfahren zum Einstellen der mechanischen Vorspannung piezoelektrischer Antriebselemente Expired - Fee Related DE19905726C2 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19905726A DE19905726C2 (de) 1999-02-11 1999-02-11 Verfahren zum Einstellen der mechanischen Vorspannung piezoelektrischer Antriebselemente
PCT/DE2000/000299 WO2000048256A1 (de) 1999-02-11 2000-02-01 Verfahren zum einstellen der mechanischen vorspannung piezoelektrischer antriebselemente

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19905726A DE19905726C2 (de) 1999-02-11 1999-02-11 Verfahren zum Einstellen der mechanischen Vorspannung piezoelektrischer Antriebselemente

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE19905726A1 DE19905726A1 (de) 2000-08-31
DE19905726C2 true DE19905726C2 (de) 2001-03-29

Family

ID=7897189

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19905726A Expired - Fee Related DE19905726C2 (de) 1999-02-11 1999-02-11 Verfahren zum Einstellen der mechanischen Vorspannung piezoelektrischer Antriebselemente

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE19905726C2 (de)
WO (1) WO2000048256A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10260363A1 (de) * 2002-12-20 2004-07-08 Robert Bosch Gmbh Aktormodul mit einem piezoelektrischen, elektrostriktiven oder magnetostriktiven Aktor

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10321687A1 (de) * 2003-05-14 2004-12-02 Checkpoint Systems International Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Sicherung von Gegenständen durch Umreifung
DE102004011455A1 (de) 2003-06-04 2004-12-30 Robert Bosch Gmbh Rohrfeder für Aktor und Verfahren zur Montage der Rohrfeder
WO2009095911A1 (en) * 2008-01-28 2009-08-06 Technion Research & Development Foundation Ltd. Piezoelectric-ferroelectric actuator device

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3412014C1 (de) * 1984-03-31 1985-10-17 Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln Piezokeramischer Stellantrieb zur Erzeugung von Translationsbewegungen
WO1996019836A1 (de) * 1994-12-21 1996-06-27 Marco Systemanalyse Und Entwicklung Gmbh Piezoaktuatorisches antriebs- bzw. verstellelement
EP0800220A1 (de) * 1996-04-02 1997-10-08 MDC Max Dätwyler Bleienbach AG Hochdynamischer piezoelektrischer Antrieb
DE19646511C1 (de) * 1996-11-12 1998-05-14 Marco Systemanalyse Entw Piezoaktuatorisches Antriebs- oder Verstellelement

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62272575A (ja) * 1986-05-20 1987-11-26 Matsushita Electric Works Ltd 圧電アクチユエ−タ
JPH06105569A (ja) * 1992-09-24 1994-04-15 Olympus Optical Co Ltd 超音波アクチュエータ

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3412014C1 (de) * 1984-03-31 1985-10-17 Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln Piezokeramischer Stellantrieb zur Erzeugung von Translationsbewegungen
WO1996019836A1 (de) * 1994-12-21 1996-06-27 Marco Systemanalyse Und Entwicklung Gmbh Piezoaktuatorisches antriebs- bzw. verstellelement
EP0800220A1 (de) * 1996-04-02 1997-10-08 MDC Max Dätwyler Bleienbach AG Hochdynamischer piezoelektrischer Antrieb
DE19646511C1 (de) * 1996-11-12 1998-05-14 Marco Systemanalyse Entw Piezoaktuatorisches Antriebs- oder Verstellelement

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10260363A1 (de) * 2002-12-20 2004-07-08 Robert Bosch Gmbh Aktormodul mit einem piezoelektrischen, elektrostriktiven oder magnetostriktiven Aktor

Also Published As

Publication number Publication date
DE19905726A1 (de) 2000-08-31
WO2000048256A1 (de) 2000-08-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60014062T2 (de) Flexibles mikrosystem und herstellungstechniken
DE112005003758B4 (de) Auslenkbares mikromechanisches Element
EP2361443B1 (de) Elektromechanischer energiewandler zur erzeugung von elektrischer energie aus mechanischen bewegungen
EP2489081A2 (de) Aktuator
DE10026119A1 (de) Elastische Anordnung
EP2824824A1 (de) Antriebsvorrichtung
EP2149164A1 (de) Elektromechanischer motor, insbesondere piezoelektrischer mikroschrittantrieb
EP1314210B1 (de) Piezoaktor und verfahren zur herstellung eines piezoaktors
DE19905726C2 (de) Verfahren zum Einstellen der mechanischen Vorspannung piezoelektrischer Antriebselemente
DE102017127745B4 (de) Vorgespannter Trägheitsantrieb
EP1322873B1 (de) Piezoelektrischer dehnungsaktuator
DE102013013402A1 (de) Biegeelementanordnung sowie deren Verwendung
DE202009014076U1 (de) Aktuator
WO2000079606A2 (de) Piezoaktor mit elementen zur bewegungsstabilisierung
DE3825587A1 (de) Piezoelektrischer linearmotor
DE102007052494A1 (de) Piezoelektrische Antriebsvorrichtung
WO2012084334A1 (de) Aktor, aktorsystem und ansteuerung eines aktors
EP2011750A1 (de) Vibrationslinearförderer
DE19631026A1 (de) Vorrichtung zur Verformung einer Trägerstruktur mittels elektrischer oder magnetischer Effekte
DE19704389C2 (de) Aktor aus Einzelelementen
DE19817802B4 (de) Piezoaktuatorisches Antriebs- oder Verstellelement
DE102024102978B3 (de) Vorrichtung zur Erzeugung eines haptischen Signals, Gerät mit der Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung
EP3607592B1 (de) Verfahren zum betreiben eines ultraschallmotors
DE102004056754A1 (de) Piezoelektrisches Biegeelement
DE102022119245B4 (de) Piezoelektrischer Lauf- und Resonanzantrieb

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: CONTINENTAL AUTOMOTIVE GMBH, 30165 HANNOVER, DE

R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee