DE19852300A1

DE19852300A1 - AOW-Filter

Info

Publication number: DE19852300A1
Application number: DE19852300A
Authority: DE
Inventors: Natsuhiko Sakairi
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NRS Technologies Inc
Priority date: 1997-11-12
Filing date: 1998-11-12
Publication date: 1999-06-02
Also published as: JPH11145776A; JP3154402B2; US6140890A

Description

Die Erfindung betrifft ein AOW-Filter (akustisches Ober flächenwellenfilter) und insbesondere ein AOW-Filter vom Re sonatortyp.

Allgemein kommen AOW-Filter als Hochbandpaßfilter zum Einsatz. Da AOW-Filter mit geringerer Größe als LC-Filter aufgebaut sind, werden AOW-Filter in vielen tragbaren elek tronischen Geräten verwendet, z. B. in tragbaren Telefonen.

Als eine erste Quelle zum Stand der Technik offenbart die JP-A-63-92123 in ihrer beigefügten Fig. 6 einige AOW-Fil ter, die aus vier Resonanzelementen bestehen, von denen jedes ein Paar Doppelkamm- bzw. Interdigitalelektroden sowie Re flektoren aufweist, die beiderseits des Paars Interdigital elektroden angeordnet sind und eine durch eine der Interdigi talelektroden angeregte Oberflächenwelle reflektieren. In ih rer Fig. 1 ist das Resonanzelement dargestellt. Da die Kombi nationen aus Resonanzelementen geeignet ausgewählt sind, ha ben die AOW der ersten Quelle Filterkennlinien, die nicht durch die jeweiligen Resonanzelemente erhalten werden können.

Als eine zweite Quelle zum Stand der Technik offenbart die JP-A-5251987 einige intern impedanzangepaßte akustische Oberflächenwellenfilter, die in den beigefügten Fig. 1 und 3 gezeigt sind. Die Filter der zweiten Quelle weisen ebenfalls vier Resonanzelemente auf und haben Vorteile, die in einem kleinen Einfügungsverlust und einer kleinen Dämpfung beste hen.

Als eine dritte Quelle zum Stand der Technik offenbart die JP-A-7-254835 ein Longitudinalmodenfilter, das zwei Re flektoren und ein Paar zwischen den Reflektoren angeordnete Interdigitalelektroden gemäß der beigefügten Fig. 1 aufweist. Eine durch die Eingangselektrode angeregte Oberflächenwelle wird zwischen den Reflektoren eingeschlossen und durch die Ausgangselektrode wirksam empfangen. Dadurch ist der Verlust des Filters klein.

In Fig. 8 der JP-A-63-92123 als erster Quelle ist ein kombinatorisches Filter unter Verwendung einer Longitudinal modenresonanz offenbart.

Obwohl die Filter der Quellen zum Stand der Technik die zuvor erläuterten Vorteile haben, sind die Filter wegen star ker Streuung und kleiner Außenbanddämpfung nachteilig. Ande rerseits hat ein transversalmodengekoppeltes Resonanzfilter Vorteile einer schwachen Streuung und großen Außenbanddämp fung. Daher findet das transversalmodengekoppelte Resonanz filter breiten Einsatz. Gemäß Fig. 7 hat das transversalmo dengekoppelte Resonanzfilter einen ersten Resonator im Ab schnitt der oberen Hälfte von Fig. 7 und einen zweiten Reso nator im Abschnitt der unteren Hälfte von Fig. 7. Der erste Resonator hat eine Interdigitalelektrode 16 sowie Reflektoren 18 und 19, die beiderseits der Interdigitalelektrode 16 ange ordnet sind. Die Reflektoren 18 und 19 reflektieren eine durch die Interdigitalelektrode 16 angeregte Oberflächenwel le. Der zweite Resonator ist wie der erste Resonator auf ge baut. Der erste und zweite Resonator sind benachbart parallel so angeordnet, daß ihre Laufrichtungen für eine Oberflächen welle identisch werden. Gemeinsam sind eine Eingangserdelek trode und eine Ausgangserdelektrode als gemeinsame Sammel schiene 20 aufgebaut. Da die beiden Resonatoren benachbart angeordnet sind, haben zwischen den Reflektoren der Resonato ren eingeschlossene Oberflächenwellen eine symmetrische Reso nanzmode und eine asymmetrische Mode. Bei der symmetrischen Resonanzmode ist die Energieverteilung senkrecht zur Lauf richtung der Oberflächenwelle symmetrisch. Bei der asymmetri schen Resonanzmode ist die Energieverteilung senkrecht zur Laufrichtung der Oberflächenwelle asymmetrisch. Die beiden Moden werden als Transversalmoden bezeichnet. Bei richtiger Auswahl einer Verzahnungsbreite der Interdigitalelektroden und einer Dünnfilmdicke der Interdigitalelektroden kann die symmetrische Mode S0 oder asymmetrische Mode A1 gemäß Fig. 3 selektiv angeregt werden. Fig. 8 zeigt ein Beispiel für eine Frequenzkennlinie eines solchen Filters. In Fig. 8 stellt ei ne Strichlinie eine mit einem 50-Ohm-System gemessene Kurve dar, während eine Vollinie eine Kurve in einem impedanzange paßten Zustand darstellt. Gemäß Fig. 8 liegt die Mode S0 bei einer niedrigeren Frequenz als die Mode A1 vor. Bei Einsatz dieses Filters in einem impedanzangepaßten Zustand läßt sich eine Filterkennlinie mit einem Flachband gemäß der Darstel lung durch die Vollinie erhalten.

Wie zuvor erläutert wurde, hängt eine Bandbreite dieses Filters von der Differenz zwischen den beiden Resonanzfre quenzen ab. Die Differenz zwischen den beiden Resonanzfre quenzen hängt vom Abstand G zwischen den beiden Resonatoren und der Verzahnungsbreite W jedes Resonators ab. Zur Verbrei terung der Bandbreite sollten der Abstand G und die Verzah nungsbreite W verringert sein. Bei Senkung der Verzahnungs breite W der Resonatoren steigt aber die Impedanz des Fil ters. Dadurch geht die Gebrauchseignung des Filters zurück. Zur Senkung des Abstands G zwischen den Resonatoren muß eine Breite der gemeinsamen Sammelschiene 20 verkleinert werden. Dadurch steigt ein Widerstand der Sammelschiene 20, was den Einfügungsverlustkennwert des Filters beeinträchtigt, und au ßerdem verschlechtert sich die Frequenzkennlinie des gesamten Filters mitunter spürbar. Somit ist es schwierig, die Band breite des herkömmlichen transversalmodengekoppelten Filters zu verbreitern.

Eine Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein AOW-Mehr modenfilter bereit zustellen, dessen Bandbreite verbreitert sein kann, ohne daß dazu die Verzahnungsbreite jedes Resona tors und der Abstand zwischen den Resonatoren verringert wer den müssen.

Gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung wird ein AOW- Filter bereitgestellt, das aufweist: ein piezoelektrisches Substrat; eine erste Interdigitalelektrode, die eine Periode L hat und auf dem piezoelektrischen Substrat angeordnet ist, zum Umwandeln einer Eingangsspannung in eine akustische Ober flächenwelle auf dem piezoelektrischen Substrat; eine zweite Interdigitalelektrode, die die Periode L hat und auf dem pie zoelektrischen Substrat parallel zur ersten Interdigitalelek trode im Hinblick auf eine Laufrichtung der akustischen Ober flächenwelle angeordnet ist, zum Umwandeln der akustischen Oberflächenwelle auf dem piezoelektrischen Substrat in eine Spannung; ein Paar erste Reflektoren, die eine Periode L/2 haben und auf dem piezoelektrischen Substrat sowie beider seits eines Paars der ersten und zweiten Interdigitalelektro de in Laufrichtung unter Beibehaltung eines Abstands nL/2 + 0,5 L davon angeordnet sind, wobei n eine Ganzzahl ist, die gleich oder größer als null ist; und mindestens einen zweiten Reflektor, der die Periode L/2 hat und auf dem piezoelektri schen Substrat sowie auf einer Außenseite eines der ersten Reflektoren in Laufrichtung unter Beibehaltung eines Abstands mL/2 + 0,75 L davon angeordnet ist, wobei m eine Ganzzahl ist, die gleich oder größer als null ist.

Gemäß einem zweiten Aspekt der Erfindung wird ein AOW- Filter bereitgestellt, das aufweist: ein piezoelektrisches Substrat; eine erste Interdigitalelektrode, die eine Periode L hat und auf dem piezoelektrischen Substrat angeordnet ist, zum Umwandeln einer Eingangsspannung in eine akustische Ober flächenwelle auf dem piezoelektrischen Substrat; eine zweite Interdigitalelektrode, die die Periode L hat und auf dem pie zoelektrischen Substrat parallel zur ersten Interdigitalelek trode im Hinblick auf eine Laufrichtung der akustischen Ober flächenwelle angeordnet ist, zum Umwandeln der akustischen Oberflächenwelle auf dem piezoelektrischen Substrat in eine Spannung; ein Paar erste Reflektoren, die auf dem piezoelek trischen Substrat und außerhalb eines Paars der ersten und zweiten Interdigitalelektrode in Laufrichtung angeordnet sind; und mindestens einen zweiten Reflektor, der zwischen dem Paar der ersten und zweiten Interdigitalelektrode und ei nem der ersten Reflektoren angeordnet ist.

Diese und weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der Erfindung gehen aus der nachfolgenden näheren Beschreibung ihrer bevorzugten Ausführungsformen anhand der beigefügten Zeichnungen deutlicher hervor.

Fig. 1 ist eine schematische Darstellung des Aufbaus ei nes AOW-Filters gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfin dung;

Fig. 2 ist eine Kurve der Beziehung zwischen der Anzahl von Reflektorelementen und der Differenz zwischen einer er sten Resonanzfrequenz und einer zweiten Resonanzfrequenz;

Fig. 3 ist eine schematische Darstellung des Prinzips einer Transversalmodenresonanz;

Fig. 4 ist eine Kurve von Resonanzfrequenzen des AOW- Filters gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung, die mit einem 50-Ohm-System gemessen werden;

Fig. 5 ist eine Kurve von Frequenzkennlinien, die in ei nem impedanzangepaßten Zustand des AOW-Filters gemäß der er sten Ausführungsform der Erfindung gemessen werden;

Fig. 6 ist eine schematische Darstellung des Aufbaus ei nes AOW-Filters gemäß einer zweiten Ausführungsform der Er findung;

Fig. 7 ist eine schematische Darstellung des Aufbaus ei nes herkömmlichen Transversalmodenresonanzfilters; und

Fig. 8 ist eine Kurve der Resonanzfrequenzkennlinien des herkömmlichen Transversalmodenresonanzfilters.

Erste Ausführungsform

Im folgenden wird eine erste Ausführungsform der Erfin dung anhand der beigefügten Zeichnungen erläutert.

Fig. 1 ist eine schematische Darstellung des Aufbaus ei nes AOW-Filters gemäß der ersten Ausführungsform der Erfin dung. Das AOW-Filter hat einen Resonator A (d. h. der Ab schnitt über einer waagerechten Strichlinie in Fig. 1) und einen Resonator B (d. h. der untere Abschnitt unter der waa gerechten Strichlinie in Fig. 1), die auf einem piezoelektri schen Substrat 100 angeordnet sind. Der Resonator A hat eine Interdigitalelektrode 2, Reflektoren 4 und 5 sowie Reflekto ren 6 und 7. Die Reflektoren 4 und 5 haben von der Interdigi talelektrode 2 einen Abstand AL1 = 0,5 L, gemessen an der Mitte der Fingerelektroden, wobei L das Intervall zweier be nachbarter Finger ist. Die Reflektoren 6 und 7 haben von den Reflektoren 4 bzw. 5 einen Abstand AL2 = 0,75 L, gemessen an der Mitte der Elektroden. Der Aufbau des Resonators B gleicht dem Aufbau des Resonators A. Die Resonatoren A und B sind be nachbart parallel so angeordnet, daß ihre Laufrichtungen identisch sind. Die Reflektoren 4, 5, 6 und 7 bestehen aus Dünnfilmelektroden oder Nuten, die auf dem piezoelektrischen Substrat 100 ausgebildet sind.

Als nächstes wird das Betriebsprinzip der Erfindung er läutert. Eine Oberflächenwelle, die durch die auf dem piezo elektrischen Substrat 100 angeordnete Interdigitalelektrode 2 angeregt wird, wird zwischen den Reflektoren 4 und 5 reflek tiert. Somit ist die Energie der Oberflächenwelle einge schlossen, wodurch eine stehende Welle erzeugt wird. Im fol genden wird diese Erscheinung als erste Longitudinalresonanz bezeichnet. Ist andererseits die Anzahl von Elektroden der Reflektoren 4 und 5 richtig ausgewählt, tritt ein Teil der Energie nach außen aus. Die ausgetretenen Wellen werden zwi schen den Reflektoren 6 und 7 reflektiert, was eine weitere stehende Welle erzeugt. Im folgenden wird diese Erscheinung als zweite Longitudinalresonanz bezeichnet. Die erste und zweite Longitudinalresonanz sind miteinander gekoppelt. Die Kopplungsintensität hängt von der Anzahl von Elektroden der Reflektoren 4 und 5 ab. Somit hängt die Differenz zwischen der ersten und zweiten Longitudinalresonanzfrequenz von der Anzahl der Elektroden der Reflektoren 4 und 5 ab. Fig. 2 ist eine Kurve der Beziehung zwischen der Anzahl der Elektroden der Reflektoren 4 und 5 sowie der Differenz zwischen der er sten und zweiten Longitudinalresonanzfrequenz, wobei die An zahl der Elektroden des Reflektors 4 gleich der Anzahl der Elektroden des Reflektors 5 ist. Bei kleiner Anzahl von Elek troden der Reflektoren 4 und 5 ist die Frequenzdifferenz groß, da die beiden Longitudinalresonanzen stark gekoppelt sind. Andererseits wird bei Erhöhung der Anzahl der Elektro den der Reflektoren 4 und 5 die Kopplung schwach, wodurch die Frequenzdifferenz klein wird.

Die Resonatoren A und B sind benachbart angeordnet. Wie zuvor erläutert wurde, hat die durch den Resonator A angereg te Resonanz zwei Moden, bei denen es sich um eine symmetri sche Mode S0 und eine asymmetrische Mode A1 handelt. Die er ste und zweite Longitudinalresonanz haben jeweils die symme trische Mode S0 und asymmetrische Mode A1. Daher werden ins gesamt vier Resonanzen erzeugt.

Die Intervalle zwischen den vier Resonanzfrequenzen las sen sich durch Auswählen der Anzahl der Elektroden der Re flektoren 4 und 5, des Abstands G zwischen den beiden Resona toren A und B sowie der Verzahnungsbreite W der beiden Reso natoren A und B zweckmäßig einstellen.

Fig. 4 ist eine Kurve einer mit einem 50-Ohm-System ge messenen Filterkennlinie. Bei Messung der Filterkennlinie in einem impedanzangepaßten Zustand erhält man ein Flachband ge mäß Fig. 5. Ist also ein Filter so ausgebildet, daß es vier Resonanzen verwendet, läßt sich eine breitere Bandbreite er halten als bei einem transversalmodengekoppelten Filter, das nur zwei Transversalmodenresonanzen nutzt.

Erfindungsgemäß sind der Abstand AL1 zwischen der Inter digitalelektrode und den Reflektoren sowie der Abstand AL2 zwischen den Reflektoren nicht auf 0,5 L bzw. 0,75 L be schränkt. Statt dessen können die Abstände AL1 und AL2 in den nachfolgenden Bereichen variiert werden, um die Intensitäten der Resonanzen einzustellen:
AL1 = nL/2 + 0,4 L bis nL/2 + 0,6 L, wobei n eine Ganz zahl ist, die größer als 0 ist,
AL2 = mL/2 + 0,65 L bis mL/2 + 0,85 L, wobei m eine Ganzzahl ist, die größer als 0 ist.

Die Optimalwerte für AL1 und AL2 betragen rund nL/2 + 0,5 L bzw. mL/2 + 0,75 L, und sie variieren in Abhängigkeit von der Anzahl von Elektroden der Reflektoren 4 und 5.

Zweite Ausführungsform

Fig. 6 ist eine schematische Darstellung des Aufbaus ei nes AOW-Filters gemäß einer zweiten Ausführungsform der Er findung. Das Filter hat Interdigitalelektroden 8 und 9 in der Mitte sowie sechs, d. h. drei Paare, Reflektoren 11, 12, 13, 14, 15 und 16 neben den Elektroden 8 und 9. In diesem Filter werden drei Longitudinalresonanzen erzeugt, die jeweils zwi schen den Reflektoren 10 und 11, zwischen den Reflektoren 12 und 13 oder zwischen den Reflektoren 14 und 15 vorliegen. Je de Resonanz hat zwei Transversalmoden, bei denen es sich um eine symmetrische Mode und eine asymmetrische Mode handelt, deren Energieverteilung senkrecht zur Laufrichtung der Ober flächenwelle symmetrisch bzw. asymmetrisch ist. Dadurch wer den insgesamt sechs Resonanzen erzeugt. Folglich läßt sich ein Filter mit einer größeren Bandbreite als in der ersten Ausführungsform aufbauen. Die Reflektoren 11, 12, 13, 14, 15 und 16 bestehen aus Dünnfilmelektroden oder Nuten, die auf dem piezoelektrischen Substrat ausgebildet sind.

Der Abstand zwischen dem Reflektor 13 und Reflektor 15 unterscheidet sich von der Periode des Reflektors 15. Ähnlich unterscheidet sich der Abstand zwischen dem Reflektor 12 und Reflektor 14 von der Periode des Reflektors 14.

Die Periode der Reflektoren in der ersten Ausführungs form und zweiten Ausführungsform ist gleich L/2 oder unter scheidet sich von L/2 um mehrere Prozent. Bei Änderung der Periode der Reflektoren gegenüber L/2 um mehrere Prozent än dern sich die Kennwerte, z. B. der Einfügungsverlust, nicht oder werden in manchen Fällen verbessert. Wird aber die Peri ode der Reflektoren gegenüber L/2 um mehr als einige Prozent geändert, verschlechtern sich die Kennwerte.

Obwohl die Perioden der Reflektoren vorzugsweise iden tisch sind, können sie sich geringfügig voneinander unter scheiden. Unterscheiden sich die Perioden der Reflektoren in einem gewissen Grad voneinander, verschlechtert sich die Kennlinie nicht, während die Kennlinie bei einem großen Un terschied beeinträchtigt wird.

In der ersten und zweiten Ausführungsform sind die Re flektoren gegenüber den Interdigitalelektroden symmetrisch angeordnet. Allerdings lassen sich die gleichen Wirkungen wie in der ersten und zweiten Ausführungsform unabhängig davon erhalten, ob die Anzahl von Reflektoren auf der linken Seite gleich der Anzahl von Reflektoren auf der rechten Seite ist. Somit können erfindungsgemäß zwei Reflektoren auf der linken Seite und ein Reflektor auf der rechten Seite der Interdigi talelektrode angeordnet sein. In diesem Fall kann davon aus gegangen werden, daß ein Reflektor zusätzlich zwischen einem der beiden äußersten Reflektoren und dem Paar Interdigitale lektroden eingefügt ist. Ausführungsformen der Erfindung las sen sich so verallgemeinern, daß ein Reflektor oder mehrere Reflektoren zwischen den beiden äußersten Reflektoren und/oder dem Paar Interdigitalelektroden eingefügt sind.

Da gemäß der vorstehenden Beschreibung erfindungsgemäß ein Reflektor oder mehrere Reflektoren zwischen den beiden äußersten Reflektoren und/oder dem Paar Interdigitalelektro den eingefügt sind, werden mehrere Longitudinalresonanzen mit Transversalmoden erzeugt, was bedeutet, daß mehr Resonanzen als beim herkömmlichen Filter erzeugt werden können. Daher läßt sich ein Transversalmodenresonanzfilter realisieren, oh ne daß dazu die Verzahnungsbreite von Resonatoren und der Ab stand zwischen den Resonatoren verkleinert werden müssen, wo durch solche Vorteile des Transversalmodenresonanzfilters wie große Außenbanddämpfung und schwache Streuung nicht beein trächtigt sind.

Claims

1. AOW-Filter, das aufweist:
ein piezoelektrisches Substrat;
eine erste Interdigitalelektrode, die eine Periode L hat und auf dem piezoelektrischen Substrat angeordnet ist, zum Umwandeln einer Eingangsspannung in eine akustische Oberflächenwelle auf dem piezoelektrischen Substrat;
eine zweite Interdigitalelektrode, die die Periode L hat und auf dem piezoelektrischen Substrat parallel zu der ersten Interdigitalelektrode im Hinblick auf eine Lauf richtung der akustischen Oberflächenwelle angeordnet ist, zum Umwandeln der akustischen Oberflächenwelle auf dem piezoelektrischen Substrat in eine Spannung;
ein Paar erste Reflektoren, die eine Periode L/2 haben und auf dem piezoelektrischen Substrat sowie beiderseits eines Paars der ersten und zweiten Interdigitalelektrode in Laufrichtung unter Beibehaltung eines Abstands nL/2 + 0,5 L davon angeordnet sind, wobei n eine Ganzzahl ist, die gleich oder größer als null ist; und
mindestens einen zweiten Reflektor, der die Periode L/2 hat und auf dem piezoelektrischen Substrat sowie auf ei ner Außenseite eines der ersten Reflektoren in Laufrich tung unter Beibehaltung eines Abstands mL/2 + 0,75 L da von angeordnet ist, wobei m eine Ganzzahl ist, die gleich oder größer als null ist.

2. AOW-Filter nach Anspruch 1, wobei die Anzahl der zweiten Reflektoren zwei beträgt, wobei ein Paar der zweiten Re flektoren mit der Periode L/2 auf dem piezoelektrischen Substrat und auf Außenseiten des Paars der ersten Re flektoren in Laufrichtung unter Beibehaltung des Ab stands mL/2 + 0,75 L davon angeordnet ist, wobei m eine Ganzzahl ist, die gleich oder größer als null ist.

3. AOW-Filter nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Abstand zwischen dem Paar der ersten und zwei ten Interdigitalelektrode und dem Paar der ersten Re flektoren in einem Bereich von nL/2 + 0,4 L bis nL/2 + 0,6 L variiert, wobei n eine Ganzzahl ist, die gleich oder größer als null ist.

4. AOW-Filter nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei der Abstand zwischen einem der ersten Reflektoren und dem zweiten Reflektor in einem Bereich von mL/2 + 0,65 L bis mL/2 + 0,85 L variiert, wobei m eine Ganzzahl ist, die gleich oder größer als null ist.

5. AOW-Filter nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Periode des Paars der ersten Reflektoren ge genüber L/2 um höchstens mehrere Prozent variiert.

6. AOW-Filter nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Periode des zweiten Reflektors gegenüber L/2 um höchstens mehrere Prozent variiert.

7. AOW-Filter nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die ersten Reflektoren und der zweite Reflektor aus Dünnfil men bestehen.

8. AOW-Filter nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die ersten Reflektoren und der zweite Reflektor aus Nuten bestehen, die auf dem piezoelektrischen Substrat ausge bildet sind.

9. AOW-Filter nach einem der Ansprüche 1 bis 8, das ferner aufweist:
mindestens einen dritten Reflektor, der die Periode L/2 hat und auf dem piezoelektrischen Substrat sowie auf ei ner Außenseite des zweiten Reflektors in der Laufrich tung unter Beibehaltung eines von der Periode L/2 abwei chenden Abstands angeordnet ist.

10. AOW-Filter nach Anspruch 9, wobei die Periode des dritten Reflektors gegenüber L/2 um höchstens mehrere Prozent variiert.

11. AOW-Filter nach Anspruch 9 oder 10, wobei der dritte Re flektor aus einem Dünnfilm besteht.

12. AOW-Filter nach einem der Ansprüche 9 bis 11, wobei der dritte Reflektor aus einer Nut besteht, die auf dem pie zoelektrischen Substrat ausgebildet ist.

13. AOW-Filter, das aufweist:
ein piezoelektrisches Substrat;
eine erste Interdigitalelektrode, die eine Periode L hat und auf dem piezoelektrischen Substrat angeordnet ist, zum Umwandeln einer Eingangsspannung in eine akustische Oberflächenwelle auf dem piezoelektrischen Substrat;
eine zweite Interdigitalelektrode, die die Periode L hat und auf dem piezoelektrischen Substrat parallel zu der ersten Interdigitalelektrode im Hinblick auf eine Lauf richtung der akustischen Oberflächenwelle angeordnet ist, zum Umwandeln der akustischen Oberflächenwelle auf dem piezoelektrischen Substrat in eine Spannung;
ein Paar erste Reflektoren, die auf dem piezoelektri schen Substrat und außerhalb eines Paars der ersten und zweiten Interdigitalelektrode in Laufrichtung angeordnet sind; und
mindestens einen zweiten Reflektor, der zwischen dem Paar der ersten und zweiten Interdigitalelektrode und einem der ersten Reflektoren angeordnet ist.

14. AOW-Filter nach Anspruch 13, wobei die Reflektoren aus Dünnfilmen bestehen.

15. AOW-Filter nach Anspruch 13 oder 14, wobei die Reflektoren aus Nuten bestehen, die auf dem piezoelektrischen Substrat ausgebildet sind.