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DE19821993A1 - Selbstanpassung von Gasentladungs-Speisungen - Google Patents

Selbstanpassung von Gasentladungs-Speisungen

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DE19821993A1
DE19821993A1 DE19821993A DE19821993A DE19821993A1 DE 19821993 A1 DE19821993 A1 DE 19821993A1 DE 19821993 A DE19821993 A DE 19821993A DE 19821993 A DE19821993 A DE 19821993A DE 19821993 A1 DE19821993 A1 DE 19821993A1
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Germany
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plasma
pulses
signal
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resonant circuit
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DE19821993A
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English (en)
Inventor
Stefan Seiwert
Juergen Dr Klein
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Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
Original Assignee
Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
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    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
    • H02M7/00—Conversion of AC power input into DC power output; Conversion of DC power input into AC power output
    • H02M7/42—Conversion of DC power input into AC power output without possibility of reversal
    • H02M7/44—Conversion of DC power input into AC power output without possibility of reversal by static converters
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Description

Das technische Gebiet der Erfindung ist eine Vorrichtung und mehrere Verfahren zum selbstgeführten Anpassen der Speisung einer Plasmaeinheit, die ein Plasma enthält (eine Gasentladung) und kapazitiv wirkt, mit einer induktiv wirkenden Energiequelle, insbesondere Spannungsquelle, so daß Plasma und Quelle einen Schwingkreis bilden.
Die DE 41 12 161 C2 (FhG) beschreibt einen Schaltgenerator, der den beschriebenen Schwingkreis (Plasma und Transformator als induktive Spannungsquelle) speist, wobei Bedingungen an den Einschalt- und Ausschaltzeitpunkt des oder der Leistungsschalter (vor dem Transformator) gestellt werden, welcher Schalter eine Gleichspannung an die Sekundärwicklung anlegt. Die DE 36 38 880 A1 erzeugt ein HF-induziertes Edelgasplasma über einen HF-Generator, wobei das Plasma gleichmäßig brennen soll und diese Gleichmäßigkeit auf einfache Weise erzeugt wird, namentlich durch den dauernd Energie zuführenden Generator, dessen Amplitude oder Frequenz (vgl. dort Spalte 10) von einem Meßfühler (dort 22, Fig. 9) an den Zustand des Plasmas selbsttätig angepaßt wird (vgl. dort Spalte 5, Zeile 25 bis 40, Zeilen 65 ff und Spalte 6, Zeile 32 bis 54)
Ausgehend von dem zuerst genannten Stand der Technik ist es eine Aufgabe der Erfindung, Schaltsignale für die Leistungsschalter zu erzeugen, die eine selbsttätige Anpassung von pulsartig wiederkehrenden Speisungen an den Zustand des Plasmas ermöglichen, um das Plasma gezielt in seinem Zustand aufrecht zu erhalten (stabilisieren) oder das Plasma gezielt ändernd zu beeinflussen (intensivieren oder reduzieren), so daß einerseits die gepulste Leistungseinkopplung optimiert wird und andererseits eine Beschädigung der Speiseeinrichtung vermieden werden kann.
Mit der Erfindung wird das dann erreicht, wenn pulsartig wiederkehrende Speisepakete den Schwingkreis und damit das Plasma zeitlich gesteuert erreichen bzw. ihrem Zeitpunkt und/oder ihrer Dauer gesteuert werden und auch gesteuert veränderbar sind (Anspruch 1, Anspruch 11, Anspruch 12). Die Amplitude oder die Frequenz braucht dabei nicht geändert zu werden. Ein Rückkopplungspfad ist vorgesehen, der ein Rückkopplungssignal aus dem Schwingkreis auskoppelt, um ein binäres Orientierungssignal zu bilden, von dem ausgehend die Paketsteuerung des Schwingkreises gesteuert erfolgt. Ziel der Steuerung ist die Veränderung (Anspruch 11) oder die Konstanthaltung (Anspruch 12) des Plasmazustandes.
Das Orientierungssignal kann mit seiner Vorderflanke den Speisepuls auslösen (Anspruch 2).
Veränderungen der Vorderflanke führen zu einer Veränderung des Zeitpunktes des Einkoppelns des Speisepulses (Anspruch 3 erste Alternative), so daß eine gesteuerte Veränderung durch Veränderung der Vorderflanke möglich wird, die das Plasma beeinflußt; diese zeitliche Zuordnung wird meist zur Anwendung gelangen.
Wird die Länge (die Speisedauer) des Speisepulses verändert (Anspruch 3 zweite Alternative), so kann der Zustand des Plasmas ebenfalls verändert werden.
Allgemein gesprochen wird also die "zeitliche Zuordnung" verändert (Anspruch 1, 3, 6, 16).
Wird eine Sperrstufe vorgesehen (Anspruch 5), mit der eine Wartezeit eingefügt wird, nachdem ein Speisepuls ausgelöst worden ist, so wird verhindert, daß ein zweiter, nachfolgender Speisepuls zu kurz nach dem ersten Speisepuls auf das Plasma einwirkt, womit eine weitere Veränderung des Zustandes des Plasmas möglich ist. Wird die Wartezeit gesteuert, so kann der Zustand des Plasmas angeregt oder gedämpft werden.
Alle vorgenannten Veränderung können über spannungsgesteuerte Funktionsglieder erfolgen, so daß ein Spannungssignal ausreichend ist, um einen steuernden Eingriff auf den Zustand des Plasmas zu erhalten (Anspruch 6).
Das binäre Orientierungssignal wird über einen Komparator gewonnen, dem das aus dem Schwingkreis ausgekoppelte Signal (Rückkopplungs-Signal) zugeführt wird (Anspruch 7). So entsteht ein binäres Signal, das hinsichtlich seiner Flanken ausgewertet werden kann. Binäre Signale sind leichter digital zu verarbeiten, sie können leicht und determiniert verzögert und detektiert werden. Die Erfindung arbeitet bei der Verzögerung und bei der Detektion mit flankengesteuerten Gattern, z. B. können Monoflops eingesetzt werden, um Sperrzeit, Speisezeit und Verzögerung der Vorderflanke des Orientierungssignals zu erreichen.
Eine analoge Verzögerung, als Tiefpaß, kann vor dem Komparator vorgesehen sein (Anspruch 8). Nach dem Komparator kann die Verzögerung digital erfolgen (Anspruch 8).
Die einzelnen Speisepulse (Anspruch 15) werden von mindestens einem Leistungsschalter ausgelöst (Anspruch 10), der von dem Orientierungssignal über die vorgenannten gesteuerten Veränderungsmöglichkeiten gespeist wird. Statt eines einzelnen Schalters können auch zwei Leistungsschalter in Halbbrückenschaltung oder vier Leistungsschalter in Vollbrückenschaltung verwendet werden, die eine Primärwicklung eines Transformators speisen, dessen Sekundärwicklung das Plasma speist.
Die Verfahren (Anspruch 11 und 12) bringen zum Ausdruck, daß die Philosophie der Erfindung sowohl für die Aufrechterhaltung eines konstanten Zustandes des Plasmas verwendet werden kann, wie auch für die gesteuerte Veränderung dieses konstanten Zustandes, hin zu einem anderen konstanten Zustand des Plasmas, so beispielsweise das Anregen des Plasmas zu einer höheren Leistung oder das Dämpfen des Plasmas auf eine reduzierte Leistung. Damit können nicht nur äußere Einflüsse auf das Plasma ausgeregelt werden, sondern auch gesteuert vorgegeben werden, welchen Zustand das Plasma einnehmen soll. Mit der Erfindung wird sowohl der eine Aspekt, wie auch der andere Aspekt in den Vordergrund gestellt, besonders günstig können beide Aspekte, nicht zeitgleich, aber zeitlich nacheinander zusammenarbeiten, um den Zustand des Plasmas auf Dauer selbstgeführt zu überwachen, wie auch durch äußere Eingriffe zu neuen stationären Zuständen hin zu führen.
Steuert man das Plasma hin zur Resonanzfrequenz, werden die periodischen Speisepulse so gewählt, daß sie in-phase (etwa 0°) mit der Schwingung des Resonanzkreises liegen, so erhält man eine optimale (maximale) Leistungseinkopplung. Wird die Leistung so eingekoppelt, daß sie phasenverschoben zum Verlauf des Resonanzsignales liegt, so wird die eingekoppelte Leistung reduziert und die Plasmaleistung herabgesetzt. Die veränderte Sperrzeit zwischen zwei Speisepulsen ermöglicht beispielsweise die Reduktion der Leistung ohne wesentliche plasmarelevante Parameter verstellen zu müssen.
Wechselnde Bedingungen im Schwingkreis werden so automatisch nachgeführt, bei wechselnder Frequenz der Resonanzschaltung reagiert die Schaltung adäquat. Die Frequenz der Speisepulse muß nicht gleich der Resonanzfrequenz sein, sondern die Vorrichtung zur Steuerung der Speisepulse kann so eingestellt werden, daß diese mit der Frequenz mitgeführt wird, aber leicht gegen die Resonanzfrequenz verstimmt sein kann.
Die Vorrichtung und das Verfahren können Anwendung finden in Plasmaanlagen zur Lichtemission, zur Reinigung von Oberflächen (oder Gasen) und zum Abtragen oder Auftragen von Schichten oder chemischen Plasmareaktoren. Als Änderung des Plasmasystems (der Plasmaeinheit) können z. B. wechselnde Geometrien (bei Reinigungsanlagen), Änderungen der Füllung (in plasmaspektroskopisch arbeitenden Meßgeräten) oder Verschmutzung der Elektroden (bei Plasmareaktoren) oder Änderungen des elektrischen Arbeitspunktes (bei Gasentladungslasern) auftreten, die gemäß der Erfindung alle selbsttätig aufgefangen werden, weil sich die Vorrichtung selbsttätig den geänderten Verhältnissen anpaßt.
Die Anpassung erfolgt sofort und mit geringem Aufwand. Die elektrischen Verluste sind sehr gering und die in das Plasma eingekoppelte Leistung ist gesteuert beeinflußbar.
Die Erfindung(en) werden nachfolgend anhand mehrerer Ausführungsbeispiele erläutert und ergänzt.
Fig. 1 veranschaulicht ein Blockschaltbild einer Ansteuerschaltung mit einer induktiven Einspeisung TR mit Streuinduktivität Lx für eine kapazitiv wirkende Plasmageometrie P, die einen Schwingkreis 1 bilden.
Fig. 1a, 1b, 1c veranschaulichen drei Möglichkeiten der Auskopplung des Rückkopplungssignals ux (eines von ux', ux'', ux''' und ux*) aus dem Schwingkreis 1 mit induktiven, ohmschen und kapazitiven Auskoppelgliedern.
Fig. 2 ist ein Zeitdiagramm, aus dem ersichtlich ist, wann Speisepulse 30, 31 in zeitlichem Bezug zu dem Schwingungssignal des Schwingkreises TR, P, Lx eingekoppelt werden. Ein Orientierungssignal 20 wird an einem Ausgang eines Komparators 11 abgegriffen und entspricht mit seinen Flanken den Nulldurchgängen der in ihrer Amplitude anklingenden und abklingenden Schwingkreisspannung us(t).
Die Schaltung von Fig. 1 beruht auf einer Rückkopp­ lungs-Schleife, in der die Plasmageometrie P und der sie ansteuernde Hochfrequenztransformator TR die Frequenz gemäß der Schwingung us(t) von Fig. 2 vorgeben und bei dem ein dort abgegriffenes Signal ux durch einen Komparator 11 in ein binäres Signal u1(t) mit Pulsen 20 umgewandelt wird, das gegebenenfalls um T5 verzögert 12 über einen dualen Leistungsschalter S1 den Transformator TR ansteuert. Das binäre Signal orientiert die Ansteuerung des Schalters S1 an dem Schwingkreis ("Orientierungssignal").
Die Plasmageometrie P besteht im elektrischen Ersatzschaltbild im wesentlichen aus einer Kapazität. Sie bildet zusammen mit der (Streu-) oder (Haupt-)Induktivität Lx oder LH des Hochspannungstransformators TR einen Schwingkreis 1. Der Transformator wird primärseitig mit einem Leistungsschalter S1, S2 angesteuert, zum Beispiel in einer nach dem Stand der Technik bekannten Halbbrückenschaltung. Der während des Schließens des Leistungsschalters zur Energieeinspeisung in den Lastkreis 1 erzeugte Puls 30 wird fortan als "Leistungspuls" bezeichnet. Das duale Schaltprinzip ermöglicht es dabei die Verlustleistung gering zu halten.
Nach Öffnen des Schalters S1, S2 kann das Resonanzsystem bestehend aus Transformator TR und Kapazität P frei schwingen. Der Verlauf der Schwingung wird durch einen Abgriff wx, Cx aufgenommen. Beispiele zeigen Fig. 1a, 1b, 1c. Ein Komparator 11 erzeugt daraus das binäre Signal. Daraus wird ein gegebenenfalls zeitverschobener und in seiner Länge am Monoflop 13 einstellbarer Puls T0 erzeugt, der den Leistungsschalter auf steuert. Wird der Schalter geöffnet kommt es wieder zu einem Anstoßen des Resonanzsystems durch den Leistungspuls 30, 31. Der Rückkopplungskreis ist geschlossen.
Wenn sich die Resonanzfrequenz verändert z. B. erniedrigt, so verschiebt sich der Nulldurchgang der Schwingung us(t) und der benötigte Leistungspuls 30, 31 wird entsprechend zum passenden späteren Zeitpunkt erzeugt. Umgekehrt bewirkt eine Erhöhung der Resonanzfrequenz eine entsprechend frühere Einkopplung der Leistung, jeweils "orientiert" sich die Ansteuerung am Orientierungssignal u1(t).
Der Abgriff für ux kann kapazitiv oder induktiv erfolgen. Die Fig. 1a bis 1c zeigen Beispiele für einen Abgriff, sie sind aber nicht einschränkend zu verstehen. Je nach Art des Abgriffs kann eine zusätzliche Zeitverschiebung vor einer Triggerung des Zeitgliedes 13 notwendig sein, um eine gewünschte Phasenlage zwischen Leistungspuls und Resonanzschwingung zu erreichen.
Ein vor dem Komparator 11 eingesetzter Filter 10 dient zur Unterdrückung von Rauschen und Störungen und kann auch dazu genutzt werden die Phasenlage zu beeinflussen.
Die in P eingekoppelte Leistung kann abgesehen von der Beeinflussung durch die Spannung am Leistungsschalter auf folgende verschiedenen Arten und Weisen eingestellt- und moduliert werden:
  • (a) Erste Einflußmöglichkeit ist die Veränderung der Zeitdauer T0 des Leistungspulses 30.
  • (b) Zweite Möglichkeit ist das Einstellen der Phasenlage des Leistungspulses (Anfang t1, Ende t2), relativ zur Resonanzschwingung. Sie kann durch eine Zeitverzögerungsstrecke 12 eingestellt werden. Eine Verschiebung zum optimalen Resonanzfall bewirkt eine Anhebung der eingekoppelten Leistung. Ein optional in den Kreis eingeführter Filter kann ebenfalls die Phasenlage des Signales wie gewünscht beeinflussen.
  • (c) Eine dritte Möglichkeit besteht in der Sperrung des Leistungspulses über eine wählbare Verriegelungszeit T6 mittels eines Verriegelungszeitgliedes 15. Dies ermöglicht beispielsweise die Reduktion der Leistung ohne wesentliche plasmarelevante Parameter verstellen zu müssen.
Der Einfluß auf die Einstellglieder 12, 13, 15 erfolgt im Anführungsbeispiel spannungsgesteuert, was nicht ausschließt, daß sie in anderen Beispielen auf andere Weise erfolgt. Mit der Zeitverzögerung nach obiger Möglichkeit (b) läßt sich (direkt) die Leistung oder (indirekt) eine von der Leistung abhängige Größe, z. B. die Intensität der Plasmastrahlung, modulieren oder über einen Regelkreis gezielt zeitlich konstant halten.
Die Fig. 2 veranschaulicht durch richtungsweisende Pfeile zwischen den vier untereinander angeordneten Zeitdiagrammen die logische Denkweise der in Fig. 1 gezeigten Schaltung. Ein solcher Orientierungsweg soll beschrieben werden, er wiederholt sich dann in der in Fig. 2 dargestellten zweiten Periode.
Das Spannungssignal im Schwingkreis 1 wird über eine der in Fig. 1a, 1b oder 1c gezeigten Schaltungen abgegriffen, so daß ein Rückkopplungssignal ux entsteht. Das Rückkopplungssignal wird direkt oder indirekt dem Komparator 11 zugeführt und bildet das Orientierungssignal u1, das in dem zweiten Zeitdiagramm dargestellt ist. Es ist ein binäres Signal mit Pulsen 20, die sich an den positiven Halbwellen der Spannung us orientieren; eine Hysterese im Komparator 11 sorgt dafür, daß die Flanken nicht mehrdeutig werden. Die Vorderflanke, die im Beispiel mit dem Nulldurchgang der Spannung us(t) des ersten Diagramms übereinstimmt, ist als Flanke des Orientierungssignals u1(t) der Steuerung unterworfen, die aus den Blöcken 12, 13, 15 besteht und wahlweise Zeitverzögerung, Pulsformung und Sperrzeit einzeln oder in Kombination beinhaltet. Im dargestellten Beispiel ist keine Verzögerung wirksam, T5 ist also Null im Verzögerungsglied 12. Deshalb führt die Vorderflanke des Orientierungssignals u1 direkt zum Auslösen eines Leistungspulses 30 über die Schaltung 13, die mit der Vorderflanke des ersten Pulses 20 des Orientierungssignals u1 getriggert wird. Die Zeitdauer T0, die die Schaltung 13 als Pulsformer bereitstellt, ist kürzer als die Pulsbreite des Pulses 20 des Orientierungssignals, sie beträgt T0 im Beispiel, zwischen den Zeitpunkten t1 und t2. Letztere beiden Zeitpunkte symbolisieren den Beginn und das Ende des Leistungspulses 30, t1 liegt direkt im oder nahe beim Nulldurchgang der Wechselspannung des Schwingkreises 1, t2 liegt etwa im Maximum der Spannung. Danach tritt kein weiterer Leistungspuls mehr auf, auch wenn das Orientierungssignal weitere Rechtecke entsprechend den positiven Halbwellen der Schwingkreis-Spannung us(t) hat. Dafür sorgt ein langer Sperrpuls 40, der für die Dauer von T6, ab dem Zeitpunkt t2 bis zum Zeitpunkt C, die Pulse des Orientierungssignals sperrt.
Der Zeitpunkt C liegt kurz vor dem Zeitpunkt t3, nicht mehr als eine Periode des Orientierungssignals vor diesem Zeitpunkt t3, um eine ordnungsgemäße neue Einkopplung des nächsten Leistungspulses 31 mit der nächsten positiven Flanke bei t3 zu erreichen. Zwischen den Zeitpunkten D bis E wird Leistung mit einem Speisepuls erneut eingekoppelt, so daß die Schwingkreisspannung us(t) wieder ansteigt, um dann wieder im Zuge mehrerer Schwingungs-Vollwellen abzuklingen, bis der nächste Speisepuls - der nicht mehr in der Fig. 2 dargestellt ist - wieder einsetzt.
Die im Beispiel beschriebenen drei Einflußmöglichkeiten, der Beginn des Speisepulses t1, die Dauer des Speisepulses T0 und die Zeitdauer T6 der Sperrung weiterer Speisepulse kann gemäß obigen Ziffern (a) bis (c) einzeln oder in Kombination zur Steuerung des Plasmazustandes herangezogen werden.
Es versteht sich für den Fachmann aus den Blockschaltbildern der Fig. 1a, 1b und 1c, wie er sich über kapazitive Glieder Cx oder induktive Glieder wx oder einen (galvanisch gekoppelten) Differenzverstärker 20 ein am Schwingungssignal us(t) orientiertes Rückkopplungssignal ux beschafft, wobei das Rückkopplungssignal ux' kapazitiv gemessen wird (vgl. Fig. 1a), das Rückkopplungssignal ux'' galvanisch direkt über Differenzverstärker 20 (vgl. Fig. 1b) oder das Rückkopplungssignal ux* über eine Wicklung wx eines im Strompfad des Schwingkreises geschalteten Stromwandlers 22 in Form einer Stromwandler-Schaltung gewonnen wird (vgl. Fig. 1c). Das weiterhin noch genannte Signal ux''' wird auch induktiv durch eine zusätzliche Wicklung wx auf dem Spannungs-Transformator TR gewonnen (vgl. Fig. 1a), auf dem auch die Primärwicklung W1 und Sekundärwicklung W2 angeordnet sind.

Claims (16)

1. Vorrichtung zum selbstgeführten Anpassen der Speisung einer kapazitiv wirkenden Plasmaeinheit (P) an den Plasmazustand in der Plasmaeinheit (P), bei welcher Vorrichtung
  • (a) eine induktive Energiequelle (WX, TR) mit der kapazitiv wirkenden Plasmaeinheit (P) einen Schwingkreis (1) bildet, der von der Energiequelle (TR, TR) mit einzelnen Speisepulsen (30, 31) wiederkehrend gespeist wird;
    dadurch gekennzeichnet, daß
  • (b) ein Rückkopplungspfad (10, 11; ux) vorgesehen ist, der ein Rückkopplungssignal (ux) aus dem Schwingkreis (1) auskoppelt, um ein schwingkreis-geführtes binäres Orientierungssignal (u1) zu bilden und abhängig vom Orientierungssignal (u1) die zeitliche Zuordnung der einzelnen Speisepulse (30, 31) vorgegeben wird, um dem Schwingkreis (1) zur Speisung des Plasmas in der Plasmaeinheit (P) gesteuert Energie zuzuführen.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei dem das Orientierungssignal (u1) mit seiner Vorderflanke die Vorderflanke (A, D) eines jeweiligen Speisepulses (30, 31) auslöst.
3. Vorrichtung nach einem der vorigen Ansprüche, bei dem im Rahmen der "zeitlichen Ordnung" ohne eine die Elemente des Lastkreises (WX, TR, P) ändernde Beeinflussung
  • - das Orientierungssignal (u1) gesteuert verzögerbar ist (12, T5), um mit seiner verzögerten Vorderflanke die Vorderflanke eines jeweiligen einzelnen Speisepulses auszulösen; und/oder
  • - die Dauer (T0) der jeweils einzelnen Speisepulse (30, 31) gesteuert veränderbar ist (13).
4. Vorrichtung nach einem der vorigen Ansprüche, bei dem die zeitliche Zuordnung der wiederkehrenden Speisepulse (30, 31) zum Schwingkreissignal durch die Zeitpunkte (t1, t3) oder die Zeitdauer (T0) der Pulse gegeben ist.
5. Vorrichtung nach einem der vorigen Ansprüche, bei dem eine Sperrstufe (15) vorgesehen ist, die nach einem erfolgten Speisepuls (30) eine Mindest-Wartezeit (40) auslöst, in der jeder weitere Speisepuls gesperrt ist, wobei insbesondere die Wartezeit (40) gesteuert veränderbar ist (T6).
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, bei dem die im Rahmen der zeitlichen Zuordnung liegenden Veränderungen (12, 13, 15) des Orientierungssignals (u1) über eine spannungsgesteuerte Führung erfolgt (dd(t), dt(t), dp(t)).
7. Vorrichtung nach einem der vorigen Ansprüche, bei dem das Rückkopplungssignal (ux) über einen Komparator (11), insbesondere mit Hysterese, geführt wird, der in dem Rückkopplungspfad (10, 11, 12, 13, 14) beinhaltet ist, um das Orientierungssignal (u1) zu bilden.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, bei dem vor und/oder nach dem Komparator (11) eine Verzögerung (10, 12) vorgesehen ist.
9. Vorrichtung nach einem der vorigen Ansprüche, bei dem die Resonanzfrequenz, mit der die Plasmaeinheit (P) betrieben wird, von den Reaktanzen der Hochspannungsquelle (TR) und der Plasmaeinheit (P) als Schwingkreis (1) vorgegeben werden.
10. Vorrichtung nach einem der vorigen Ansprüche, bei dem die induktive Energiequelle (WX, TR) zumindest einen eigenständig schaltenden (ein/abschaltbaren) Leistungsschalter (S1, S2), insbesondere eine Halb- oder Vollbrückenschaltung (WX), beinhaltet.
11. Verfahren zum Betreiben einer Vorrichtung nach einem der vorigen Ansprüche, bei dem eine kapazitiv wirkende Plasmaeinheit (P) wiederkehrend, insbesondere periodisch, mit Energiepulsen (30, 31) gespeist wird, die in ihrer zeitlichen Lage gegenüber der Resonanzkreis-Schwingung von Plasma und induktiver Energiequelle (WX, TR; 1) gesteuert (dd, dt, dp) verändert werden (12, 13, 14), um den Zustand des Plasmas, wie Anregung oder Dämpfung, ändernd zu beeinflussen.
12. Verfahren zum Betreiben einer Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, bei dem eine kapazitiv wirkende Plasmaeinheit (P) wiederkehrend, insbesondere periodisch mit Energiepulsen (30, 31) gespeist wird, die in ihrer zeitlichen Lage gegenüber der Resonanzkreis-Schwingung von Plasma und induktiver Energiequelle (TR, WX; 1) gesteuert (dd, dt, dp) verändert werden, um den Zustand des Plasmas selbsttätig weitgehend konstant zu halten (Stabilisierung, Arbeitspunkteinstellung, Anpassung an Geometrieänderung, Füllungsänderung, Elektrodenverschmutzung).
13. Verfahren nach einem der obigen Verfahrensansprüche, bei dem die wiederkehrenden Energiepulse keine feste Periodendauer haben.
14. Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, bei dem die Speisepulse (30, 31) als Spannungs- oder Strompulse zur Plasmaeinheit (P) gekoppelt werden.
15. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, wobei die wiederkehrende Speisung des Schwingkreises durch einzelne von der Energiequelle abgebbare Speisepulse (30, 31) erfolgt, die einen mittleren zeitlichen Abstand haben, der einem Mehrfachen der Periodendauer der Resonanzfrequenz entspricht.
16. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, wobei das schwingkreisgeführte binäre Signal gesteuert verzögerbar oder in der Dauer zumindest eines seiner binären Zustände gesteuert veränderbar ist.
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