DE19815703A1 - Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon aus sauerstoffhaltigen Gasen - Google Patents

Abstract

Eine Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon aus sauerstoffhaltigen Gasen hat eine erste Elektrode (2), eine zweite Elektrode (1), die in einem Abstand zur ersten Eleketrode (2) angeordnet ist, eine Dielektrikumsschicht (4), die zwischen der ersten (2) und der zweiten Elektrode (1) angeordnet ist und diese voneinander trennt, und einen Gasspalt (3), der zwischen der ersten (2) und der zweiten Elektrode (1) angeordnet und durch den hindurch das sauerstoffhaltige Gas leitbar ist. DOLLAR A Die Dielektrikumsschicht (4) ist aus einer in einem Brennvorgang bei hohen Temperaturen zu einer Keramikschicht umwandelbaren aluminiumhaltigen Stahllegierung hergestellt (Figur 1).

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Erzeu­ gung von Ozon aus sauerstoffhaltigen Gasen, mit einer ersten Elektrode, einer zweiten Elektrode, die in einem Abstand zur ersten Elektrode angeordnet ist, einer Dielektrikumsschicht, die zwischen der ersten und der zweiten Elektrode angeordnet ist und diese voneinander trennt, und einem Gasspalt, der zwischen der ersten und der zweiten Elektrode angeordnet und durch den hindurch das sauerstoffhaltige Gas leitbar ist.

Derartige Vorrichtungen zur Erzeugung von Ozon aus sauer­ stoffhaltigen Gasen beruhen auf dem Prinzip der stillen elektrischen Entladung. An die beiden Elektroden, die durch die Dielektrikumsschicht und den Gasspalt voneinander ge­ trennt sind, wird Hochspannungswechselstrom angelegt. Wird dann gleichzeitig durch den Gasspalt das sauerstoffhaltige Gas geleitet, so tritt eine elektrische Hochspannungsentla­ dung ohne Funkenbildung und helle Lichterscheinung auf, die zur Ozonbildung führt.

Als Dielektrikumsschicht kommen derzeit Keramikschichten zum Einsatz; bei zylindrischen Vorrichtungen zur Erzeugung von Ozon werden aus dem Keramikmaterial Keramikrohre gebildet, deren beschränkte Flexibilität und Fertigungsbegrenzung hin­ sichtlich der Länge zur Folge haben, daß auch die Weite des Gasspaltes und damit des Entladungsraums aufgrund der Tole­ ranzen der Radien der Elektroden, die als Elektrodenstab oder -rohre ausgebildet sind, eingeschränkt ist.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die eingangs ge­ schilderte Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon aus sauer­ stoffhaltigen Gasen derart weiterzubilden, daß im Betrieb der Vorrichtung kleinere Gasspalte und höhere Feldstärken möglich sind, um die Ozonausbeute, die Ozonkonzentration und den elektrischen Wirkungsgrad zu verbessern.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Dielektrikumsschicht aus einer in einem Brennvorgang bei ho­ hen Temperaturen zu einer Keramikschicht umwandelbaren alu­ miniumhaltigen Stahllegierung hergestellt ist. Derartige Dielektrikumsschichten weisen im Vergleich zum Stand der Technik eine höhere Dielektrizitätskonstante und eine besse­ re Wärmeleitfähigkeit auf. Darüber hinaus sind sie mit grö­ ßerer Fertigungsgenauigkeit herstellbar und weisen im Ver­ gleich zu den herkömmlichen Keramikschichten eine größere Flexibilität auf. Die Dielektrikumsschicht entsteht durch den in einem Ofen stattfindenden Brennvorgang, wobei auf ei­ ner aluminiumenthaltenden Stahllegierung eine Keramikschicht aus Aluminiumoxid entsteht. Diese gleichmäßig dünne Keramik­ schicht aus Aluminiumoxid hat eine höhere elektrische Durch­ schlagsfestigkeit als die im bisherigen Stand der Technik eingesetzten Keramikschichten. Die Dielektrizitätskonstante einer erfindungsgemäß hergestellten Keramikschicht aus Alu­ miniumoxid ist darüber hinaus höher als die von Glas. Die Wärmeleitfähigkeiten der erfindungsgemäßen Keramikschicht aus Aluminiumoxid sind im Vergleich zum Stand der Technik erheblich verbessert. Darüber hinaus kann die erfindungsge­ mäße Dielektrikumsschicht sehr dünn und in jeder Länge und Breite auf dem Metall bzw. der aluminiumhaltigen Legierung erzeugt werden. Die Keramikschicht aus Aluminiumoxid und der Grundmetallkörper, auf dem sie ausgebildet ist, haben eine hohe Flexibilität und erlauben die Fertigung von Gasspalten beliebiger Länge. Kleine Abstände zwischen den Elektroden und der Dielektrikumsschicht und dünne Dielektrikumsschich­ ten führen dazu, daß die elektrische Feldstärke erhöht wird und ermöglichen so eine höhere Ozonausbeute in bezug auf den angelegten elektrischen Strom.

Zweckmäßigerweise kann die erste Elektrode als Innenelektro­ de und die zweite Elektrode als röhrenförmige Außenelektrode ausgebildet sein, wobei die röhrenförmige Außenelektrode die Innenelektrode konzentrisch umgibt.

Hierbei kann die Innenelektrode spannungsführend ausgebildet werden.

Es ist möglich, die zwischen der Innen- und der Außenelek­ trode angeordnete röhrenförmige Dielektrikumsschicht separat anzuordnen. Alternativ kann die zwischen der Innen- und der Außenelektrode angeordnete röhrenförmige Dielektrikums­ schicht auf der Außenfläche der Innenelektrode oder auf der Innenfläche der Außenelektrode angeordnet werden.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung kann die röhrenförmige Dielektrikumsschicht aus einer Folie aus aluminiumhaltiger Stahllegierung hergestellt werden. Diese röhrenförmige Dielektrikumsschicht kann dann mit Abstand so­ wohl zur Innenelektrode als auch zur Außenelektrode angeord­ net werden, wobei dann ein geteilter Gasspalt bzw. zwei Gas-­ spalte vorhanden sind.

Alternativ ist es möglich, die röhrenförmige Dielektrikums­ schicht auf der Außenfläche der Innenelektrode oder auf der Innenfläche der Außenelektrode aufzubringen.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der er­ findungsgemäßen Vorrichtung ist die röhrenförmige Dielektri­ kumsschicht auf der Außenfläche der aus aluminiumhaltiger Stahllegierung bestehenden Innenelektrode oder auf der In­ nenfläche der aus aluminiumhaltiger Stahllegierung bestehen­ den Außenelektrode durch Beaufschlagung der Innenelektrode bzw. der Außenelektrode mit dem Brennvorgang gebildet. Hier­ bei wird eine mit der jeweiligen Elektrode unmittelbar ver­ bundene Dielektrikumsschicht geschaffen, die mechanisch ver­ formbar ist und fest mit einem Körper verbunden ist, der im Inneren elektrisch leitend ist und an seinen Oberflächen aufgrund der dort nach dem Brennvorgang vorhandenen Dielek­ trikumsschicht auch als Dielektrikum wirkt.

Vorteilhaft ist das Verhältnis von Innenradius der röhren­ förmigen Außenelektrode und Außenradius der Innenelektrode kleiner als 1,5.

Der Innenradius der röhrenförmigen Außenelektrode liegt zweckmäßigerweise zwischen 5 und 50 mm, vorzugsweise bei et­ wa 30 mm.

Bei einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung sind die erste und die zweite Elektrode als ein­ ander parallel gegenüberliegende Plattenelektroden ausgebil­ det, von denen eine eine Innenelektrode und die andere eine spannungsführende Gegenelektrode ist.

Die zwischen der Innen- und der Gegenelektrode angeordnete plattenförmige Dielektrikumsschicht kann separat vorgesehen sein, d. h., sie kann sowohl zur Innen- als auch zur Gegen­ elektrode einen Abstand aufweisen, so daß sich ein zweige­ teilter Gasspalt bzw. zwei Gasspalte ergibt bzw. ergeben.

Alternativ ist es möglich, die zwischen der Innen- und der Gegenelektrode angeordnete plattenförmige Dielektrikums­ schicht auf der Innenfläche der Innenelektrode oder der der Innenfläche der Innenelektrode gegenüberliegenden Oberfläche der Gegenelektrode anzuordnen.

Die plattenförmige Dielektrikumsschicht kann aus einer Folie aus aluminiumhaltiger Stahllegierung hergestellt werden.

Sie kann auf der Innenfläche der Innenelektrode oder auf der der Innenfläche der Innenelektrode gegenüberliegenden Außen­ fläche der Gegenelektrode aufgebracht sein.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der erfindungsge­ mäßen Vorrichtung ist die plattenförmige Dielektrikums­ schicht auf der Innenfläche der aus aluminiumhaltiger Stahl­ legierung bestehenden Innenelektrode oder der Außenfläche der aus aluminiumhaltiger Stahllegierung bestehenden Gegen­ elektrode durch Beaufschlagung der Innenelektrode bzw. der Gegenelektrode mit dem bereits geschilderten Brennvorgang gebildet.

Der Abstand zwischen der Dielektrikumsschicht und der bzw. den Elektroden kann 0,1 bis 1,0 mm, vorzugsweise etwa 0,5 mm, betragen.

Zur Ausgestaltung der Dielektrikumsschicht ist es besonders vorteilhaft, wenn die aluminiumhaltige Stahllegierung einen Aluminiumanteil von ca. 5 bis 10 Gew.-% aufweist.

Die röhrenförmige Dielektrikumsschicht kann gemäß einer vor­ teilhaften Ausführungsform aus streifenförmigen, dünnen Me­ tallfolien gebildet werden, die spiralförmig und überlappend zu einer Röhre gewickelt und dann mit dem Brennvorgang be­ aufschlagbar sind.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform kann die röhrenförmige Dielektrikumsschicht aus einer dünnen Metall­ folie hergestellt werden, die nach ihrer Beaufschlagung mit dem Brennvorgang so flexibel bleibt, daß sie auf eine Elek­ trode aufwickel- und aufbrennbar ist.

Zur Verbesserung der Wärmeableitung kann es vorteilhaft sein, zwischen der Dielektrikumsschicht und der gekühlten Außenelektrode eine auf die Dielektrikumsschicht gewickelte flexible Keramikschnur vorzusehen.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform kann die Metallfolie spiralförmig und überlappend zu einem Rohr ge­ wickelt und mit Nieten in der Rohrform stabilisiert sein. Nach der Beaufschlagung mit dem Brennvorgang ist auf der in­ neren und der äußeren Oberfläche des gewickelten Rohres die Aluminiumoxid-Keramikschicht ausgebildet, so daß die Ober­ fläche das Dielektrikum ist und das Innere der Folie, das sich in seiner Struktur nicht verändert hat, die elektrisch leitende Schicht der Innenelektrode ist, wenn an sie Strom gelegt wird. Das Ozonerzeugerelement wird somit aus der in­ neren Metallelektrode, dem darauf ausgebildeten Metalloxid- Keramikdielektrikum, dem Gasspalt und der Gegen- bzw. Au­ ßenelektrode gebildet. Die beiden Öffnungen am Anfang und am Ende des die Innenelektrode und das Dielektrikum ausbilden­ den gewickelten Rohres werden mit Stopfen aus ozonbeständi­ gem Werkstoff geschlossen, so daß als Gasspalt für den Durchfluß und für die Entladung des Gases nur der Raum zwi­ schen dem äußeren Metalloxid-Keramikdielektrikum und der Ge­ genelektrode verbleibt.

Bei einem Verfahren zur Herstellung einer Dielektrikums­ schicht einer Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon aus sauer­ stoffhaltigen Gasen wird die Dielektrikumsschicht aus einer aluminiumhaltigen Stahllegierung hergestellt, die bei hohen Temperaturen einem Brennvorgang unterzogen und zu einer Ke­ ramikschicht umgewandelt wird.

Hierbei kann die Dielektrikumsschicht vorteilhaft aus einer Folie aus aluminiumhaltiger Stahllegierung hergestellt wer­ den.

Es ist möglich, die Dielektrikumsschicht auf die Außenfläche einer Innenelektrode oder auf die Innenfläche einer Gegen- oder Außenelektrode aufzubringen, wobei der Aufbringvorgang vorteilhafterweise als Aufbrennvorgang ausgestaltet sein kann.

Zweckmäßigerweise wird die Dielektrikumsschicht auf der Au­ ßenfläche einer aus aluminiumhaltiger Stahllegierung beste­ henden Innenelektrode oder auf der Innenfläche einer aus aluminiumhaltiger Stahllegierung bestehenden Gegen- oder Au­ ßenelektrode hergestellt, indem die Innenelektrode bzw. die Gegen- oder Außenelektrode mit dem Brennvorgang beaufschlagt werden.

Als aluminiumhaltige Stahllegierung ist eine solche mit ei­ nem Aluminiumgehalt von ca. 5 bis 10 Gew.-% besonders vor­ teilhaft.

Zur Herstellung der erfindungsgemäßen Dielektrikumsschicht ist es möglich, streifenförmige dünne Metallfolie spiralför­ mig und überlappend zu einer Röhre zu wickeln und dann dem Brennvorgang zu unterziehen.

Alternativ kann dünne Metallfolie mit dem Brennvorgang be­ aufschlagt und dann auf eine Elektrode aufgewickelt und auf­ gebrannt werden.

Im folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbei­ spielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläu­ tert. Es zeigen:

Fig. 1 eine erste Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon aus sauerstoff­ haltigen Gasen;

Fig. 2 eine zweite Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon aus sauerstoff­ haltigen Gasen;

Fig. 3 eine dritte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon aus sauerstoff­ haltigen Gasen;

Fig. 4 eine vierte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon aus sauerstoff­ haltigen Gasen; und

Fig. 5 eine fünfte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon aus sauerstoff­ haltigen Gasen.

Mit in den Fig. 1 bis 5 beispielhaft gezeigten Ausfüh­ rungsformen von Vorrichtungen zur Erzeugung von Ozon aus sauerstoffhaltigen Gasen wird Ozon nach der Methode der stillen elektrischen Entladung erzeugt.

Bei der in Fig. 1 dargestellten Ausführungsform sind zwei Plattenelektroden 1, 2 vorgesehen. Die Plattenelektrode 1 ist als Gegenelektrode ausgestaltet. Die Plattenelektrode 2 ist als Innenelektrode ausgestaltet. Die Gegenelektrode 1 und die Innenelektrode 2 sind parallel zueinander mit einem konstanten Abstand angeordnet. Durch den Zwischenraum zwi­ schen den beiden Plattenelektroden 1, 2 wird ein Gasspalt 3 gebildet, durch den ein sauerstoffhaltiges Gas geführt wird.

Auf der der Gegenelektrode 1 zugewandten Innenfläche der In­ nenelektrode 2 ist eine Dielektrikumsschicht 4 angeordnet, die, wie die Innenelektrode 2 und die Gegenelektrode 1, plattenförmig ausgestaltet ist und hinsichtlich ihrer Breite und Länge den Abmessungen der Innenelektrode 2 entspricht. Mittels der Dielektrikumsschicht 4 werden die Innenelektrode 2 und die Gegenelektrode 1 elektrisch voneinander getrennt.

Die Dielektrikumsschicht 4 kann gebildet werden, indem eine Metallplatte, die aus einer aluminiumhaltigen Stahllegierung besteht, wobei der Aluminiumgehalt der Stahllegierung ca. 5 bis 10 Gew.-% betragen kann, einem Brennvorgang bei einer vergleichsweise hohen Temperatur unterzogen wird. Hierdurch bildet sich auf der Innenseite der Innenelektrode 2 die Di­ elektrikumsschicht 4 in Form einer Keramikschicht aus Alumi­ niumoxid aus, deren Stärke und Qualität in Abhängigkeit von Temperatur und Dauer des Brennvorgangs abhängig ist.

Die Gegenelektrode 1 kann beispielsweise mittels Wasser ge­ kühlt werden.

Die in Fig. 2 dargestellte Ausführungsform der erfindungs­ gemäßen Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon aus sauerstoff­ haltigen Gasen unterscheidet sich von der vorstehend anhand von Fig. 1 geschilderten Ausführungsform dadurch, daß beid­ seitig der Innenelektrode 2 jeweils eine Gegenelektrode 1 bzw. 5 angeordnet ist. Somit sind bei der Ausführungsform gemäß Fig. 2 auch zwei Gasspalte 3 bzw. 6 vorgesehen.

Auf der der zweiten Gegenelektrode 5 zugewandten Oberfläche der Innenelektrode 2 ist eine weitere Dielektrikumsschicht 7 ausgebildet, die ebenfalls durch den bereits erläuterten Brennvorgang hergestellt werden kann.

Die zweite Gegenelektrode 5 kann, wie die erste Gegenelek­ trode 1, ebenfalls mit Wasser gekühlt werden.

Die in Fig. 3 dargestellte Ausführungsform der erfindungs­ gemäßen Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon aus sauerstoff­ haltigen Gasen ist als Rohrozonerzeugerelement ausgebildet.

Zu diesem Rohrozonerzeugerelement gehört eine zylindrische Innenelektrode 8, die als Innenelektrodenstab oder als In­ nenelektrodenrohr ausgebildet sein kann.

Die Innenelektrode 8 ist konzentrisch von einer Außenelek­ trode 9 umgeben, welche zweckmäßigerweise als Außenelektro­ denrohr ausgebildet ist.

Zwischen der Außenmantelfläche der Innenelektrode 8 und der Innenmantelfläche der Außenelektrode 9 ist ein Gasspalt 10 vorgesehen, durch den hindurch das sauerstoffhaltige Gas ge­ leitet wird.

Die Außenelektrode 9 kann zweckmäßigerweise mit Wasser ge­ kühlt werden.

Auf der Außenmantelfläche der Innenelektrode 8 ist eine röh­ renförmige Dielektrikumsschicht 11 vorgesehen. Die Dielek­ trikumsschicht 11 ist als Keramikschicht aus Aluminiumoxid ausgebildet und wurde mit dem bereits im Zusammenhang mit den Fig. 1 und 2 geschilderten Brennvorgang hergestellt. Sie trennt die Innenelektrode 8 elektrisch von der Außen­ elektrode 9.

Die in Fig. 4 dargestellte Ausführungsform der erfindungs­ gemäßen Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon aus sauerstoff­ haltigen Gasen unterscheidet sich von der in Fig. 3 darge­ stellten Ausführungsform dadurch, daß die Dielektrikums­ schicht 11 sowohl einen Abstand zur Außenmantelfläche der Innenelektrode 8 als auch einen Abstand zur Innenmantelflä­ che der Außenelektrode 9 aufweist, so daß statt eines Gas­ spalts 10 zwei Gasspalte 12, 13 vorhanden sind.

Die Dielektrikumsschicht 11 hat bei der in Fig. 4 darge­ stellten Ausführungsform die Konfiguration eines Rohrele­ ments, welches konzentrisch zur Innenelektrode 8 und damit auch zur Außenelektrode 9 angeordnet ist.

Diese rohrförmige Dielektrikumsschicht 11 kann beispielswei­ se durch eine Metallfolie gebildet werden, welche dem be­ reits mehrfach erwähnten Brennvorgang unterzogen wird, wo­ durch sich auf ihren Außenflächen die bereits mehrfach er­ wähnte Keramikschicht aus Aluminiumoxid bildet.

Bei der in Fig. 4 dargestellten Ausführungsform kann die Innenelektrode 8 als Innenelektrodenstab oder als Innenelek­ trodenrohr ausgebildet sein, wobei die Außenelektrode 9 als Außenelektrodenrohr ausgebildet ist und mittels Wasser ge­ kühlt wird.

Bei der in Fig. 5 dargestellten Ausführungsform der erfin­ dungsgemäßen Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon aus sauer­ stoffhaltigen Gasen handelt es sich um eine spezielle Aus­ führungsform der in Fig. 3 dargestellten Vorrichtung.

Die Innenelektrode 8 ist auf ihrer Außenseite mit der Di­ elektrikumsschicht 11 versehen. Die Dielektrikumsschicht 11 wird durch streifenförmige Metallfolien gebildet, die einan­ der überlappend um die Außenmantelfläche der Innenelektrode 8 gewickelt sind. Von diesen streifenförmigen Metallfolien ist in Fig. 5 lediglich eine Metallfolie 14 dargestellt. Die Metallfolien 14 können, bevor sie auf die Innenelektrode 8 aufgewickelt werden, dem bereits mehrfach erwähnten Brenn­ vorgang unterzogen werden. Nachdem sie dann auf die Innen­ elektrode 8 aufgewickelt sind, werden sie erneut einem Brenn­ vorgang unterzogen, wobei sie an den einander überlagernden Flächenabschnitten eine innige Verbindung eingehen.

Alternativ ist es möglich, die Metallfolien 14 auf die Au­ ßenmantelfläche der Innenelektrode 8 zu wickeln und erst da­ nach einem Brennvorgang zu unterziehen, wodurch dann auf der Außenmantelfläche der Innenelektrode 8 die Dielektrikums­ schicht 11 entsteht.

Wesentliches Element der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon aus sauerstoffhaltigen Gasen ist die Di­ elektrikumsschicht, die zwischen der Innenelektrode und der Außenelektrode bzw. der Gegenelektrode angeordnet ist und die aus einer aluminiumhaltigen Stahllegierung, welche einem Brennvorgang unterzogen wird, hergestellt wird.

Claims (30)

1. Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon aus sauerstoffhalti­ gen Gasen, mit einer ersten Elektrode (2; 8), einer zweiten Elektrode (1; 9), die in einem Abstand zur ersten Elektrode (2; 8) angeordnet ist, einer Dielektrikumsschicht (4; 11), die zwischen der ersten (2; 8) und der zweiten Elektrode (1; 9) angeordnet ist und diese voneinander trennt, und einem Gasspalt (3; 10), der zwischen der ersten (2; 8) und der zweiten Elektrode (1; 9) angeordnet und durch den hindurch das sauerstoffhaltige Gas leitbar ist, dadurch gekennzeich­ net, daß die Dielektrikumsschicht (4; 11) aus einer in einem Brennvorgang bei hohen Temperaturen zur einer Keramikschicht umwandelbaren aluminiumhaltigen Stahllegierung hergestellt ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die erste Elektrode als Innenelektrode (8) und die zweite Elektrode als röhren­ förmige Außenelektrode (9) ausgebildet ist, wobei die röh­ renförmige Außenelektrode (9) die Innenelektrode (8) konzen­ trisch umgibt.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, bei der die Innenelektrode (8) spannungsführend ausgebildet ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, bei der die zwischen der Innen- (8) und der Außenelektrode (9) angeordnete röh­ renförmige Dielektrikumsschicht (11) separat angeordnet ist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, bei der die zwischen der Innen- (8) und der Außenelektrode (9) angeordnete röh­ renförmige Dielektrikumsschicht (11) auf der Außenfläche der Innenelektrode (8) oder auf der Innenfläche der Außenelek­ trode (9) angeordnet ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, bei der die röhren­ förmige Dielektrikumsschicht (11) aus eine Folie aus alumi­ niumhaltiger Stahllegierung hergestellt ist.

7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, bei der die röhren­ förmige Dielektrikumsschicht (11) auf der Außenfläche der Innenelektrode (8) oder auf der Innenfläche der Außenelek­ trode (9) aufgebracht ist.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, bei der die röhrenförmige Dielektrikumsschicht (11) auf der Außen­ fläche der aus aluminiumhaltiger Stahllegierung bestehenden Innenelektrode (8) oder auf der Innenfläche der aus alumini­ umhaltiger Stahllegierung bestehenden Außenelektrode (9) durch Beaufschlagung der Innenelektrode (8) bzw. der Außen­ elektrode (9) mit dem Brennvorgang gebildet ist.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 8, bei der das Verhältnis von Innenradius der röhrenförmigen Außenelek­ trode (9) und Außenradius der Innenelektrode (8) kleiner als 1,5 ist.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 9, bei der der Innenradius der röhrenförmigen Außenelektrode (9) zwi­ schen 5 und 50 mm, vorzugsweise 30 mm, beträgt.

11. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die erste und die zweite Elektrode als einander parallel gegenüberliegende Plattenelektroden (1, 2) ausgebildet sind, von denen eine eine Innenelektrode (2) und die andere eine spannungsführen­ de Gegenelektrode (1) ist.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, bei der die zwischen der Innen- (2) und der Gegenelektrode (1) angeordnete platten­ förmige Dielektrikumsschicht (4) separat angeordnet ist.

13. Vorrichtung nach Anspruch 11, bei der die zwischen der Innen- (2) und der Gegenelektrode (1) angeordnete platten­ förmige Dielektrikumsschicht (4) auf der Innenfläche der In­ nenelektrode (2) oder auf der der Innenfläche der Innenelek­ trode (2) gegenüberliegenden Oberfläche der Gegenelektrode (1) angeordnet ist.

14. Vorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, bei der die plat­ tenförmige Dielektrikumsschicht (4) aus einer Folie aus alu­ miniumhaltiger Stahllegierung hergestellt ist.

15. Vorrichtung nach Anspruch 13 oder 14, bei der die plat­ tenförmige Dielektrikumsschicht (4) auf der Innenfläche der Innenelektrode (2) oder auf der der Innenfläche der Innen­ elektrode (2) gegenüberliegenden Außenfläche der Gegenelek­ trode (1) aufgebracht ist.

16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 15, bei der die plattenförmige Dielektrikumsschicht (4) auf der Innen­ fläche der aus aluminiumhaltiger Stahllegierung bestehenden Innenelektrode (2) oder auf der Außenfläche der aus alumini­ umhaltiger Stahllegierung bestehenden Gegenelektrode (1) durch Beaufschlagung der Innenelektrode (2) bzw. der Gegen­ elektrode (1) mit dem Brennvorgang gebildet ist.

17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 16, bei der der Abstand zwischen der Dielektrikumsschicht (4; 11) und der bzw. den Elektroden (1, 2; 8, 9) ca. 0,1 bis 1,0 mm, vorzugsweise 0,5 mm, beträgt.

18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 17, bei der die zur Ausbildung der Dielektrikumsschicht (4; 11) vorgese­ hene aluminiumhaltige Stahllegierung einen Aluminiumanteil von ca. 5 bis 10 Gew.-% aufweist.

19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10 und 17 oder 18, bei der die röhrenförmige Dielektrikumsschicht (11) aus streifenförmiger dünner Metallfolie (14) gebildet ist, die spiralförmig und überlappend zu einer Röhre gewickelt und dann mit dem Brennvorgang beaufschlagbar ist.

20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2, 3, 5 bis 7, 9, 10, 17 bis 19, bei der die röhrenförmige Dielektrikums­ schicht (11) aus einer dünnen Metallfolie (14) hergestellt ist, die nach ihrer Beaufschlagung mit dem Brennvorgang so flexibel ist, daß sie auf eine Elektrode (8) aufwickel- und aufbrennbar ist.

21. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 20, bei der zwischen der Dielektrikumsschicht und der gekühlten Außen­ elektrode eine auf die Dielektrikumsschicht gewickelte flexi­ ble Keramikschnur angeordnet ist.

22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2, 3 oder 6, bei der die Innenelektrode (8) aus spiralförmig und überlappend zu einem Rohr gewickelter und in Rohrform, z. B. mittels Nie­ ten, stabilisierter Metallfolie aus aluminiumhaltiger Stahl­ legierung gebildet ist, wobei das gewickelte und stabili­ sierte Rohr mit dem Brennvorgang beaufschlagbar ist.

23. Vorrichtung nach Anspruch 22, bei der das Rohr beidsei­ tig mittels jeweils einem aus einem ozonbeständigen Werk­ stoff bestehenden Stopfen geschlossen ist.

24. Verfahren zur Herstellung einer Dielektrikumsschicht (4; 11) einer Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon aus sauer­ stoffhaltigen Gasen, vorzugsweise nach einem der Ansprüche 1 bis 23, bei dem die Dielektrikumsschicht (4; 11) aus einer aluminiumhaltigen Stahllegierung hergestellt wird, die bei hohen Temperaturen einem Brennvorgang unterzogen und zu ei­ ner Keramikschicht umgewandelt wird.

25. Verfahren nach Anspruch 24, bei dem die Dielektrikums­ schicht (4; 11) aus einer Folie aus aluminiumhaltiger Stahl­ legierung hergestellt wird.

26. Verfahren nach Anspruch 25, bei dem die Dielektrikums­ schicht (4; 11) auf die Außenfläche einer Innenelektrode (2; 8) oder auf die Innenfläche einer Gegen- oder Außenelektrode (1; 9) aufgebracht, insbesondere aufgebrannt, wird.

27. Verfahren nach Anspruch 24, bei dem die Dielektrikums­ schicht (4; 11) auf der Außenfläche einer aus aluminiumhal­ tiger Stahllegierung hergestellten Innenelektrode (2; 8) oder auf der Innenfläche einer aus aluminiumhaltiger Stahl­ legierung bestehenden Gegen- oder Außenelektrode (1; 9) her­ gestellt wird, indem die Innenelektrode (2; 8) bzw. die Ge­ gen- oder Außenelektrode (1; 9) mit dem Brennvorgang beauf­ schlagt werden.

28. Verfahren nach einem der Ansprüche 24 bis 27, bei dem als aluminiumhaltige Stahllegierung eine aluminiumhaltige Stahllegierung mit einem Aluminiumgehalt von ca. 5 bis 10 Gew.-% eingesetzt wird.

29. Verfahren nach Anspruch 24, 25 oder 28, bei dem strei­ fenförmige dünne Metallfolie (14) spiralförmig und überlap­ pend zu einer Röhre gewickelt und dem Brennvorgang unterzo­ gen wird.

30. Verfahren nach Anspruch 24, 25 oder 28, bei dem eine dünne Metallfolie (14) mit dem Brennvorgang beaufschlagt und dann auf eine Elektrode (8) aufgewickelt und aufgebrannt wird.