DE19810674A1 - Mechanische Komponente mit mehreren Verschleißsensoren - Google Patents
Mechanische Komponente mit mehreren VerschleißsensorenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine mechanische Komponente mit mehreren
Verschleißsensoren zur Erfassung des Betriebszustandes hinsichtlich von
Verschleiß der Komponente.
Derartige mechanische Komponenten können Teile von Werkzeugen oder
Maschinenbauteile oder ähnliches darstellen und an vielen Stellen Einsatz
finden. Sie unterliegen während des Betriebes Belastungen, die sehr
unterschiedlich sind und oft in extremer Weise nur lokal auftreten. Dabei können
die Belastungen je nach Anwendung verschiedener Natur sein, beispielsweise
mechanisch, thermisch, elektrisch oder chemisch. Alle diese Belastungen führen
bei Überschreitung der spezifischen Grenzwerte zum Verschleiß oder zur
Deformation, beispielsweise zum Bruch oder ähnlichem der Bauteile. Es ist
daher wünschenswert, durch eine integrierte Zustandssensorik die jeweiligen
Belastungszustände zu messen und damit eine geeignete Steuerung der
Maschinen, Komponenten oder Werkzeuge vorzunehmen.
So wird beispielsweise in der DE 35 35 473 A1 und der DE 35 35 474 A1
vorgeschlagen, zum Erkennen von Grenzverschleiß oder Schneidenbruch bei
Werkzeugen eine isolierte Leiterbahn in den Schneid- oder Verschleißwerkstoff
einzubetten. Diese Leiterbahn ist dabei Teil eines Schaltkreises, der durch
Auslösen eines Signals zum Abbrechen des Bearbeitungsvorganges dient.
Nach Abtragen durch Verschleiß oder nach Zerstörung der isolierenden
Deckschicht wird die Leiterbahn unterbrochen oder es kommt eine leitende
Verbindung zwischen Leiterbahn und Werkstück zustande und das gewünschte
Signal wird abgegeben.
Weiterentwickelte Indikatoren sind beispielsweise aus der EP 0 258 215 B1
bekannt. Diese zeigt eine Wendeschneidplatte mit Temperatur und
Verschleißsensoren. Eine Anordnung von Leiterbahnen ist vorgesehen, welche
mit dem Abtrag der Deckschicht nach und nach durchtrennt werden. Die
Struktur besteht aus einer Vielzahl von Leiterschleifen, wobei zur
Verschleißbestimmung jeweils überprüft wird, ob eine einzelne Schleife noch
Strom führt oder nicht.
Im Sinne einer hohen Auflösung sollte die Zahl der Leiterschleifen möglichst
groß sein, andererseits kann jedoch nur eine beschränkte Zahl von
Kontaktstellen zu Signalübertragung bereitgestellt werden. Die Kontaktanzahl
wird dadurch beschränkt, daß aufgrund der unter Umständen anspruchsvollen
Arbeitsumgebung mit Metallspänen, Kühlschmiermitteln, Vibrationen und
ähnlichen Einflüssen etwaige Kontaktierungen äußert robust ausgelegt sein
müssen, was zu Mindestgrößen dieser Kontaktstellen führt.
Auch die EP 0 685 297 A1 beschreibt ein Werkzeug für Umform- und
Zerspanungsvorrichtungen, bei dem Verschleißsensoranordnungen mit
mehreren Leitern vorgesehen sind. Dabei werden Oberflächenbeschichtungen
vorgesehen, um die zum Teil hohen Anforderungen an die Komponenten oder
Werkzeuge mit diesen Komponenten erfüllen zu können. Durch die spezifischen
Materialeigenschaften dieser Schichten aus den Oberflächenbeschichtungen
kann die Widerstandsfähigkeit der Komponenten gegen Belastungen
thermischer, mechanischer und sonstiger Form erhöht werden. In diesem
Zusammenhang sind insbesondere Hartstoffschichten zu nennen, die eine
breite Anwendung im Bereich der Schneidwerkzeuge erlangt haben. Die
Verschleißsensoranordnungen werden dabei in Dünnschichttechnologie
aufgetragen.
In der DE 43 12 354 C1 werden die Verschleißsensoren durch Stifte gebildet,
die Reihenschaltungen aus Widerständen oder Parallelschaltungen aus
Kapazitäten aufweisen, wobei jeder der Leiter mit einem unterschiedlichen
Abstand von der dem Verschleiß ausgesetzten Oberfläche angeordnet ist und
diese dadurch nacheinander durchtrennt werden.
Die EP 0 396 585 B1 schlägt ein Schneidwerkzeug vor, bei dem Leiter in
Beziehung zueinander angeordnet sind. Die Leiter sind elektrisch parallel
angeordnet und erstrecken sich zu Kontaktplatten mit Kontaktvorrichtungen, die
elektrische Signale von dem Werkzeug zu einem Signalprozessor übertragen
sollen.
Alle diese durchaus interessanten Vorschläge haben den Nachteil, zwar eine
Aussage über das gesamte Ausmaß des Verschleißes machen zu können, nicht
aber über die Art und Form desselben; ferner ist auch die Auflösung, also die
Genauigkeit der Verschleißangabe, unbefriedigend.
Aufgabe der Erfindung ist es demgegenüber, hier genauere Angaben machen
zu können.
Dies wird durch eine mechanische Komponente mit mehreren
Verschleißsensoren zur Erfassung des Betriebszustandes hinsichtlich von
Verschleiß der Komponente erreicht, bei der die Verschleißsensoren
ortsauflösend vorgesehen sind.
Durch die ortsauflösende Anordnung der Verschleißsensoren ist eine
detailliertere Feststellung möglich, wo in dem Belastungsbereich der Verschleiß
in welcher Form fortschreitet.
Bevorzugt werden dabei die Verschleißsensoren als Leiterstrukturen eines
elektrischen Leitersystems ausgebildet. Insbesondere werden die
Verschleißsensoren in einer Gruppe zusammengeschaltet, die über zwei
Kontaktstellen mit einer Auswerteausrichtung verbunden ist. Besonders
bevorzugt werden dabei die Verschleißsensoren als Widerstände mit
abgestuften Widerstandswerten ausgebildet, wobei die Abstufungen so
vorgesehen sind, daß bei jeder möglichen parallelen Kombination der
Einzelwiderstände jeweils ein anderer Gesamtwiderstand einstellbar ist.
Dadurch entsteht ein Aufnehmer mit einer quasi digitalen Auswertung. Mit dem
Durchtrennen einer einzelnen Leiterbahn wird genau ein Widerstand aus einer
Anordnung mehrerer parallel geschalteter Widerstände entfernt bzw. eine der
parallelen Leitungen entfällt. Dieses Durchtrennen findet in dem Bereich statt, in
dem der Verschleiß fortschreitet.
Durch den Fortfall der einen parallelen Leitung erhöht sich sprunghaft der
Gesamtwiderstand des Netzwerkes.
Zum Auslesen des Verschleißzustandes reichen zwei Kontaktstellen,
unabhängig davon, mit welcher Auflösung die Verschleißzone letztlich bestimmt
werden soll.
Die geeignete Abstufung der Widerstandswerte in den einzelnen Leitungen führt
zu einem präzisen zweidimensionalen Bild der Verschleißzone. Der Ausfall einer
der Leitungen führt zu einem sehr konkreten und vorhersehbaren Wert des
Gesamtwiderstandes, so daß rückrechnend sofort aus dem Gesamtwiderstand
ermittelt werden kann, welche der Leitungen ausgefallen ist, wo also der
Verschleiß eingetreten ist.
Es entsteht eine Möglichkeit der zweidimensionalen Lokalisierung eines
Verschleißereignissen. Die Form und Ausbreitung der Zone, welche sich bei
verschiedenen Bearbeitungssituationen deutlich ändert, ist für die
Funktionsfähigkeit des gesamten Systems nicht mehr von Belang; sie führt
lediglich und im Gegenteil zu unterschiedlichen, aussagekräftigen Werten. In
einer bevorzugten Ausführungsform kann auch eine dreidimensionale
Lokalisierung eines Verschleißereignisses erfolgen, indem mehrere Lagen von
der Verschleißsensorik und entsprechende Isolationsschichten übereinander
angeordnet werden.
Bei der beispielhaften Anwendung auf dem Gebiet der Schneidwerkzeuge, zum
Beispiel einer Wendeschneidplatte, treten spezifische Verschleißerscheinungen
auf.
Die sogenannte Kolkzone, also der Bereich, in dem ein Verschleiß im
Bearbeitungsbereich eingetreten ist, variiert bedingt durch die verschiedenen
Bearbeitungsfälle in Größe, Ausbreitungsrichtung, Ausbreitungsgeschwindigkeit
und Lage und kann durch die bis zu einem bestimmten Zeitpunkt bereits
ausgefallenen Leitungen auswerteseitig präzise angegeben werden.
Der Gesamtwiderstand kann nur diskrete Werte annehmen. Es läßt sich also mit
sehr hoher Zuverlässigkeit feststellen, welcher Gesamtwiderstand vorliegt (bzw.
welcher Widerstand abgetrennt wurde). Es kombiniert sich also der Vorteil von
wenigen Kontaktstellen, die wie eingangs erwähnt zu einer hohen Robustheit
des Systems und damit zu geringer Fehleranfälligkeit führt, mit einer fast
digitalen Sicherheit des Auslesens der nun besonders zuverlässig eintretenden
Meßwerte.
Die Zuverlässigkeit läßt sich noch weiter erhöhen, wenn die Widerstandswerte
so gewählt werden, daß eine thermische Änderung der einzelnen Widerstände
immer zu einer kleineren betragsmäßigen Widerstandsänderung führt als eine
verschleißbedingte Widerstandserhöhung. Dadurch können die durch
thermischen Einfluß im Stand der Technik eintretenden Fehler minimiert werden.
Eine weitere Steigerung der Zuverlässigkeit Iäßt sich durch eine Verringerung
der Kontaktstellenzahl dann erzielen, wenn der Werkzeuggrundkörper als
Masseleitung eingesetzt wird. Dies erlaubt auch eine größere Freiheit beim
Design der Sensoren.
Eine weitere Steigerung der Zuverlässigkeit wird durch ein Abgleich der
Verschleißsensoren mit dem Signal eines zusätzlich vorgesehenen
Temperatursensors oder eines der vorhandenen Dünnschichtwiderstände mit
entsprechenden Ableitungen erreicht. Thermische Schwankungen der
Verschleißsensoren lassen sich durch eine solche Kombination der Sensoren
sehr gut kompensieren, so daß weitere Möglichkeiten der Auswertung
entstehen.
Besonders bevorzugt ist es, wenn die zur Temperaturmessung eingesetzten
Temperatursensoren Thermistoren sind und diese bevorzugt darüber hinaus
mittels einer Vierpunktmethode ausgewertet werden. Dadurch wird der Einfluß
durch Zuleitungen und Kontaktwiderständen minimiert und der Ort der Messung
ist eindeutig auf einen kleinen, lokal definierten Bereich beschränkt,
Problematisch im Stand der Technik war gerade bei Temperatursensoren
nämlich, daß auch die Temperatur der Zuleitungen und Kontaktwiderstände mit
in die Gesamtmessung einging und so letztlich lediglich ein integrales Bild einer
größeren Zone entstehen konnte.
Die Auskopplung der Signale kann mittels galvanischer Kontakte erfolgen oder
vorteilhafterweise mit telemetrischen Verfahren wie kapazitiven oder induktiven
Verfahren.
Von besonderem Vorteil ist es, daß die beschriebenen, erfindungsgemäßen
mechanischen Komponenten auch mit nicht planaren Oberflächen realisierbar
sind. Hierzu werden fokussierende Strahlverfahren mit Nutzen angewandt, wie
beispielsweise direktschreibende Verfahren mit großer Tiefenschärfe, etwa
Laser-, Elektronen- oder Ionenstrahllithographie. Ebenfalls geeignet sind
maskengestützte Verfahren mit großer Tiefenschärfe, zum Beispiel die
Röntgenstrahllithographie. Die Strukturierung kann auch mit Hilfe von
Fotomasken und scannenden Verfahren, etwa mittels Laserscanner oder
flexiblen Belichtungsmasken durchgeführt werden.
Zur Herstellung der erfindungsgemäßen mechanischen Komponenten mit ihren
Verschleißsensoren und weiteren Elementen nach der Dünnschichttechnologie
werden bevorzugt CVD (chemical vapor deposition)- und PVD (physical vapor
deposition)-Verfahren angewandt. Die Schichtherstellung erfolgt dabei
vorzugsweise bei höheren, der mechanischen Komponente angepaßten
Substrattemperaturen. Für Werkzeuge aus Hartmetall kommen beispielsweise
insbesondere Temperaturen von 100°C bis 1200°C zum Einsatz.
Die Schichten werden durch spezielle, gradierte Zwischenschichten an den
Grundkörper angebunden, so daß sich eine sehr gute Haftung ergibt. Hierzu
werden bevorzugt ionenunterstützte Verfahren, insbesondere
metallionenunterstützte Verfahren, eingesetzt.
Die Kombination von isolierenden und elektrisch leitenden Schichten wird
erfindungsgemäß bevorzugt so gewählt, daß der Gesamtaufbau die für die
jeweilige Anwendung erforderliche Härte und Zähigkeit besitzt. Dabei kommen
als Isolatorschichten vorzugsweise Hartschichten zur Anwendung. Geeignet
sind beispielsweise kubisches Bornitrid, Al2O3, Diamant, Si3N4. Für die
Sensorschichten werden Materialien mit guter Haftung und Langzeitstabilität
eingesetzt, z. B. Titan, Molybdän, Chrom und/oder Chromnickel.
Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Figuren
näher beschrieben.
Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Ausführungsform der
Erfindung;
Fig. 2 eine detailliertere Darstellung einer weiteren Ausführungsform;
Fig. 3 eine vergrößerte Darstellung einer realisierbaren Anordnung;
Fig. 4 eine Anordnung mit Temperatursensoren.
Fig. 1 zeigt eine mechanische Komponente 10 mit 5 Verschleißsensoren 11,
12, 13, 14, 15. Die Verschleißsensoren bestehen jeweils aus einer elektrischen
Leitung mit einem Widerstand 1, 2, 3, 4, 5. Diese Widerstände der
Verschleißsensoren sind miteinander parallel zu einem elektrischen
Leitersystem verbunden und über zwei Kontaktstellen 20, 21 nach außen
geführt. Nach den üblichen Regeln der elektrischen Schaltungen bildet das
gesamte Leitersystem einen Widerstand Rges.
Die in Fig. 1 rein schematisch dargestellte mechanische Komponente 10 sei
nun Verschleiß ausgesetzt der in mehr oder weniger beliebiger Richtung
einsetzen kann. Zur Verdeutlichung sei hier Fig. 2 herangezogen.
Wiederum ist die mechanische Komponente 10 zu erkennen, wobei hier zwei
Gruppen von Verschleißsensoren dargestellt sind, als V1 und V2 bezeichnet.
Bei einer aus einer beliebigen Richtung fortschreitenden Abnutzung der
mechanischen Komponente 10 durch Verschleiß werden zu einem
unbestimmten Zeitpunkt Teile der Leiterstruktur, die von den Gruppen von
Verschleißsensoren V1 und V2 gebildet ist, angegriffen und zerstört. Es werden
dann Abtrennungen in den Leiterbahnen stattfinden. Der Widerstand einer
solchen einzelnen Leiterbahn, die ja einen Verschleißsensor repräsentiert, steigt
damit spontan auf unendlich, was in einer Parallelschaltung mehrerer
Widerstände zu einer sprunghaften, diskreten, quasi digitalen Erhöhung des
Gesamtwiderstandes führt.
Wählt man dabei die Widerstände, R1, R2, R3, R4 und R5 jeweils
unterschiedlich, und zwar derart, daß eine Addition jeweils einer beliebigen
Zusammenstellung der verbleibenden Widerstände zu einem unterschiedlichem
Gesamtwiderstand führt, so kann aus diesem neu entstehenden
Gesamtwiderstand sofort rückgerechnet werden, welche der Leiterbahnen wohl
abgetrennt wurde. Dies gilt auch für mehrere Leiterbahnen.
Mit M ist dabei in Fig. 2 die Masseleitung angegeben, die bevorzugt durch den
Strukturgrundkörper selbst gebildet wird.
Fig. 3 schließlich zeigt ein aktuell mögliches Aufbauen einer solchen Gruppe
von Verschleißsensoren aus mehreren verschiedenen
Dünnschichtwiderständen R1, R2, R3, R4 und R5 sowie einer Masse M. Solche
Netzwerke sind mit Dünnschichttechnologie ohne weiteres zu realisieren.
Natürlich sind auch beliebige andere Anordnungen von Netzwerken möglich.
Fig. 4 zeigt eine erfindungsgemäß mögliche Anordnung von
Temperatursensoren, hier Thermistoren, die mittels einer Vierpunktmethode
ausgewertet werden. Zu erkennen ist ein erster Temperatursensor 30 und ein
zweiter Temperatursensor 31. Die mechanische Komponente 10 ist wiederum
Verschleiß ausgesetzt, wobei die hier gewählte Anordnung der Sensoren davon
ausgeht, daß es sich bei dem äußeren Rand der mechanischen Komponente 10
um eine Schneidkante 40 handelt. Die Kolkmitte wird bei 41 und das
Verschleißmaximum bei 42 angenommen. Die sieben nach unten führenden
Leiterbahnen sind die Anschlußleitungen für die Vierpunktmessung.
Der Sensor 30 liegt direkt im Bereich des Verschleißmaximums und wird im
Laufe des Betriebes zerstört, während sich der Sensor 31 außerhalb der
Verschleißzone befindet. Durch eine Kalibrierung von Temperatursensor 31 mit
Temperatursensor 30 liefert auch der verbleibende Temperatursensor 31
genaue Informationen über die Temperatur im Bereich der Kolkmitte.
1
Widerstand
2
Widerstand
3
Widerstand
4
Widerstand
5
Widerstand
10
mechanische Komponente
11
Verschleißsensor
12
Verschleißsensor
13
Verschleißsensor
14
Verschleißsensor
15
Verschleißsensor
20
Kontaktstelle
21
Kontaktstelle
30
Temperatursensor
31
Temperatursensor
40
Schneidkante
41
Kolkmitte
42
Verschleißmaximum
M Masse
R1 Widerstand
R2 Widerstand
R3 Widerstand
R4 Widerstand
R5 Widerstand
V1 Gruppe von Verschleißsensoren
V2 Gruppe von Verschleißsensoren
M Masse
R1 Widerstand
R2 Widerstand
R3 Widerstand
R4 Widerstand
R5 Widerstand
V1 Gruppe von Verschleißsensoren
V2 Gruppe von Verschleißsensoren
Claims (17)
1. Mechanische Komponente mit mehreren Verschleißsensoren zur Erfassung
des Betriebszustandes hinsichtlich von Verschleiß der Komponente,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Verschleißsensoren (11, 12, 13, 14, 15) ortsauflösend vorgesehen
sind.
2. Komponente nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Verschleißsensoren (11, 12, 13, 14, 15) als Leiterstrukturen eines
elektrischen Leitersystems ausgebildet sind.
3. Komponente nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Verschleißsensoren (11, 12, 13, 14, 15) in einer Gruppe
zusammengeschaltet sind, die über zwei Kontaktstellen (20, 21) mit einer
Auswerteeinrichtung verbunden ist.
4. Komponente nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Verschleißsensoren als Widerstände (1, 2, 3, 4, 5) mit abgestuften
Widerstandswerten ausgebildet sind, wobei die Abstufungen so vorgesehen
sind, daß bei jeder möglichen parallelen Kombination der Einzelwiderstände
jeweils ein anderer Gesamtwiderstand einstellbar ist.
5. Komponente nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß eine dreidimensionale Verschleißmessung mittels mehrfach
übereinander angeordneter Isolationsschichten und Verschleißsensoren
erfolgt.
6. Komponente nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Strukturgrundkörper als Masseleitung dient.
7. Komponente nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß zusätzlich Temperatursensoren (30, 31) zur Erfassung des
Betriebszustandes hinsichtlich der Temperatur vorgesehen sind.
8. Komponente nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet,
daß Thermistoren als Temperatursensoren (30, 31) vorgesehen sind.
9. Komponente nach einem der Ansprüche 7 oder 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß eine Auswertung der Temperatursensoren (30, 31) bzw. Thermistoren
durch eine Pier-Methode erfolgt.
10. Komponente nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Verschleißsensorsignal mit dem Temperatursensorsignal oder mit
einem Dünnschichtwiderstand mit Ableitungen abgeglichen wird.
11. Komponente nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Verschleiß- und/oder Temperatursensoren durch fokussierende
Strahlverfahren oder maskengestützte Verfahren oder flexible
Belichtungsmasken hergestellt oder auf die Oberfläche des
Strukturgrundkörpers aufgebracht werden.
12. Komponente nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Sensoren mittels CVD- oder PVD-Verfahrens unter für den Struk
turwerkstoff angepaßten Temperaturen, insbesondere höheren Tempera
turen, hergestellt werden.
13. Komponente nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Sensoren bei Temperaturen von 100 bis 1200°C hergestellt
werden.
14. Komponente nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß eine oder mehrere gradierte Zwischenschichten vorgesehen sind, die
zwischen Struktur und Sensor aufgebracht sind.
15. Komponente nach Anspruch 14,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Zwischenschicht durch ionenunterstützte Verfahren, insbesondere
metallionenunterstützte Verfahren, aufgebracht wird.
16. Komponente nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Isolatorschichten und elektrisch leitenden Schichten in Abhängigkeit
der vorzusehenden Härte und Zähigkeit des Gesamtaufbaus miteinander
kombiniert sind.
17. Komponente nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß als Isolatorschichtmaterial eine kubische Bornitrid-, Al2O3-Schicht oder
eine Diamantschicht oder eine Si3N4-Schicht und als Sensormaterial Mate
rialien mit guter Haftfähigkeit und Langzeitstabilität, insbesondere Titan,
Molybdän, Chrom und/oder Chromnickel verwendet werden.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE29824985U DE29824985U1 (de) | 1997-03-12 | 1998-03-12 | Mechanische Komponente mit mehreren Verschleißsensoren sowie entsprechendes Werkzeug, insbesondere Wendeschneidplatte |
| DE19810674A DE19810674A1 (de) | 1997-03-12 | 1998-03-12 | Mechanische Komponente mit mehreren Verschleißsensoren |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19710220 | 1997-03-12 | ||
| DE19810674A DE19810674A1 (de) | 1997-03-12 | 1998-03-12 | Mechanische Komponente mit mehreren Verschleißsensoren |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE19810674A1 true DE19810674A1 (de) | 1998-10-22 |
Family
ID=7823128
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19810674A Ceased DE19810674A1 (de) | 1997-03-12 | 1998-03-12 | Mechanische Komponente mit mehreren Verschleißsensoren |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE19810674A1 (de) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE20013519U1 (de) * | 2000-08-05 | 2001-06-13 | Arthur Habermann GmbH & Co KG, 58453 Witten | Vorrichtung insbesondere zur Verschleiß- und Bruchüberwachung von Bauteilen |
| DE10223985A1 (de) * | 2002-05-29 | 2003-12-18 | Siemens Ag | Anordnung aus einem Bauteil und einer Kontrollvorrichtung, Verfahren zum Herstellen der Anordnung und Verwendung der Anordnung |
| DE102004019742A1 (de) * | 2004-04-20 | 2005-11-17 | Borsig Gmbh | Vorrichtung zur Überwachung des Verschleisses einer Oberfläche |
| WO2006000520A1 (de) * | 2004-06-23 | 2006-01-05 | Siemens Aktiengesellschaft | Anordnung eines bauteil und einer kontrollvorrichtung des bauteils, verfahren zum herstellen der anordnung und verwendung der anordnung |
| WO2008031792A1 (de) * | 2006-09-13 | 2008-03-20 | Siemens Aktiengesellschaft | Bauteil mit einer erfassungsstruktur für mechanische beschädigungen |
| WO2012052514A3 (de) * | 2010-10-21 | 2012-09-07 | Continental Automotive Gmbh | Temperatursensorvorrichtung |
| ITMI20131221A1 (it) * | 2013-07-22 | 2015-01-23 | Milano Politecnico | Sensore di regressione per un materiale solido |
| DE102014112402A1 (de) * | 2014-08-28 | 2016-03-03 | Schmitz Cargobull Ag | Bremsanlage eines Nutzfahrzeugs |
-
1998
- 1998-03-12 DE DE19810674A patent/DE19810674A1/de not_active Ceased
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE20013519U1 (de) * | 2000-08-05 | 2001-06-13 | Arthur Habermann GmbH & Co KG, 58453 Witten | Vorrichtung insbesondere zur Verschleiß- und Bruchüberwachung von Bauteilen |
| DE10223985A1 (de) * | 2002-05-29 | 2003-12-18 | Siemens Ag | Anordnung aus einem Bauteil und einer Kontrollvorrichtung, Verfahren zum Herstellen der Anordnung und Verwendung der Anordnung |
| US7141990B2 (en) | 2002-05-29 | 2006-11-28 | Siemens Aktiengesellschaft | Device for detecting degradation of a component |
| DE102004019742A1 (de) * | 2004-04-20 | 2005-11-17 | Borsig Gmbh | Vorrichtung zur Überwachung des Verschleisses einer Oberfläche |
| WO2006000520A1 (de) * | 2004-06-23 | 2006-01-05 | Siemens Aktiengesellschaft | Anordnung eines bauteil und einer kontrollvorrichtung des bauteils, verfahren zum herstellen der anordnung und verwendung der anordnung |
| CN101002085B (zh) * | 2004-06-23 | 2011-11-23 | 西门子公司 | 组件和组件检查器的装置、用于制造该装置的方法和该装置的应用 |
| US8008932B2 (en) | 2006-09-13 | 2011-08-30 | Siemens Aktiengesellschaft | Component with a detection structure for mechanical damage |
| WO2008031792A1 (de) * | 2006-09-13 | 2008-03-20 | Siemens Aktiengesellschaft | Bauteil mit einer erfassungsstruktur für mechanische beschädigungen |
| RU2441216C2 (ru) * | 2006-09-13 | 2012-01-27 | Сименс Акциенгезелльшафт | Конструктивный элемент со структурой для обнаружения механических повреждений |
| WO2012052514A3 (de) * | 2010-10-21 | 2012-09-07 | Continental Automotive Gmbh | Temperatursensorvorrichtung |
| ITMI20131221A1 (it) * | 2013-07-22 | 2015-01-23 | Milano Politecnico | Sensore di regressione per un materiale solido |
| WO2015011100A1 (en) * | 2013-07-22 | 2015-01-29 | Politecnico Di Milano | Regression sensor for a solid material |
| DE102014112402A1 (de) * | 2014-08-28 | 2016-03-03 | Schmitz Cargobull Ag | Bremsanlage eines Nutzfahrzeugs |
| DE102014112402B4 (de) * | 2014-08-28 | 2021-01-21 | Schmitz Cargobull Aktiengesellschaft | Bremsanlage eines Nutzfahrzeugs |
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