[go: up one dir, main page]

DE19810674A1 - Mechanische Komponente mit mehreren Verschleißsensoren - Google Patents

Mechanische Komponente mit mehreren Verschleißsensoren

Info

Publication number
DE19810674A1
DE19810674A1 DE19810674A DE19810674A DE19810674A1 DE 19810674 A1 DE19810674 A1 DE 19810674A1 DE 19810674 A DE19810674 A DE 19810674A DE 19810674 A DE19810674 A DE 19810674A DE 19810674 A1 DE19810674 A1 DE 19810674A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
wear
component according
sensors
temperature
layers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE19810674A
Other languages
English (en)
Inventor
Thomas Dipl Ing Loehken
Holger Dipl Ing Luethje
Reinulf Dipl Ing Boettcher
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
Original Assignee
Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV filed Critical Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
Priority to DE29824985U priority Critical patent/DE29824985U1/de
Priority to DE19810674A priority patent/DE19810674A1/de
Publication of DE19810674A1 publication Critical patent/DE19810674A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N3/00Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
    • G01N3/02Details
    • G01N3/06Special adaptations of indicating or recording means
    • G01N3/066Special adaptations of indicating or recording means with electrical indicating or recording means
    • EFIXED CONSTRUCTIONS
    • E02HYDRAULIC ENGINEERING; FOUNDATIONS; SOIL SHIFTING
    • E02DFOUNDATIONS; EXCAVATIONS; EMBANKMENTS; UNDERGROUND OR UNDERWATER STRUCTURES
    • E02D29/00Independent underground or underwater structures; Retaining walls
    • E02D29/045Underground structures, e.g. tunnels or galleries, built in the open air or by methods involving disturbance of the ground surface all along the location line; Methods of making them
    • E02D29/05Underground structures, e.g. tunnels or galleries, built in the open air or by methods involving disturbance of the ground surface all along the location line; Methods of making them at least part of the cross-section being constructed in an open excavation or from the ground surface, e.g. assembled in a trench
    • E02D29/055Underground structures, e.g. tunnels or galleries, built in the open air or by methods involving disturbance of the ground surface all along the location line; Methods of making them at least part of the cross-section being constructed in an open excavation or from the ground surface, e.g. assembled in a trench further excavation of the cross-section proceeding underneath an already installed part of the structure, e.g. the roof of a tunnel
    • EFIXED CONSTRUCTIONS
    • E02HYDRAULIC ENGINEERING; FOUNDATIONS; SOIL SHIFTING
    • E02DFOUNDATIONS; EXCAVATIONS; EMBANKMENTS; UNDERGROUND OR UNDERWATER STRUCTURES
    • E02D5/00Bulkheads, piles, or other structural elements specially adapted to foundation engineering
    • E02D5/74Means for anchoring structural elements or bulkheads
    • E02D5/80Ground anchors
    • EFIXED CONSTRUCTIONS
    • E21EARTH OR ROCK DRILLING; MINING
    • E21DSHAFTS; TUNNELS; GALLERIES; LARGE UNDERGROUND CHAMBERS
    • E21D9/00Tunnels or galleries, with or without linings; Methods or apparatus for making thereof; Layout of tunnels or galleries
    • E21D9/005Tunnels or galleries, with or without linings; Methods or apparatus for making thereof; Layout of tunnels or galleries by forcing prefabricated elements through the ground, e.g. by pushing lining from an access pit
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2203/00Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
    • G01N2203/02Details not specific for a particular testing method
    • G01N2203/022Environment of the test
    • G01N2203/0222Temperature
    • G01N2203/0226High temperature; Heating means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mining & Mineral Resources (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Paleontology (AREA)
  • Civil Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Geology (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine mechanische Komponente mit mehreren Verschleißsensoren zur Erfassung des Betriebszustandes hinsichtlich von Verschleiß der Komponente.
Derartige mechanische Komponenten können Teile von Werkzeugen oder Maschinenbauteile oder ähnliches darstellen und an vielen Stellen Einsatz finden. Sie unterliegen während des Betriebes Belastungen, die sehr unterschiedlich sind und oft in extremer Weise nur lokal auftreten. Dabei können die Belastungen je nach Anwendung verschiedener Natur sein, beispielsweise mechanisch, thermisch, elektrisch oder chemisch. Alle diese Belastungen führen bei Überschreitung der spezifischen Grenzwerte zum Verschleiß oder zur Deformation, beispielsweise zum Bruch oder ähnlichem der Bauteile. Es ist daher wünschenswert, durch eine integrierte Zustandssensorik die jeweiligen Belastungszustände zu messen und damit eine geeignete Steuerung der Maschinen, Komponenten oder Werkzeuge vorzunehmen.
So wird beispielsweise in der DE 35 35 473 A1 und der DE 35 35 474 A1 vorgeschlagen, zum Erkennen von Grenzverschleiß oder Schneidenbruch bei Werkzeugen eine isolierte Leiterbahn in den Schneid- oder Verschleißwerkstoff einzubetten. Diese Leiterbahn ist dabei Teil eines Schaltkreises, der durch Auslösen eines Signals zum Abbrechen des Bearbeitungsvorganges dient. Nach Abtragen durch Verschleiß oder nach Zerstörung der isolierenden Deckschicht wird die Leiterbahn unterbrochen oder es kommt eine leitende Verbindung zwischen Leiterbahn und Werkstück zustande und das gewünschte Signal wird abgegeben.
Weiterentwickelte Indikatoren sind beispielsweise aus der EP 0 258 215 B1 bekannt. Diese zeigt eine Wendeschneidplatte mit Temperatur und Verschleißsensoren. Eine Anordnung von Leiterbahnen ist vorgesehen, welche mit dem Abtrag der Deckschicht nach und nach durchtrennt werden. Die Struktur besteht aus einer Vielzahl von Leiterschleifen, wobei zur Verschleißbestimmung jeweils überprüft wird, ob eine einzelne Schleife noch Strom führt oder nicht.
Im Sinne einer hohen Auflösung sollte die Zahl der Leiterschleifen möglichst groß sein, andererseits kann jedoch nur eine beschränkte Zahl von Kontaktstellen zu Signalübertragung bereitgestellt werden. Die Kontaktanzahl wird dadurch beschränkt, daß aufgrund der unter Umständen anspruchsvollen Arbeitsumgebung mit Metallspänen, Kühlschmiermitteln, Vibrationen und ähnlichen Einflüssen etwaige Kontaktierungen äußert robust ausgelegt sein müssen, was zu Mindestgrößen dieser Kontaktstellen führt.
Auch die EP 0 685 297 A1 beschreibt ein Werkzeug für Umform- und Zerspanungsvorrichtungen, bei dem Verschleißsensoranordnungen mit mehreren Leitern vorgesehen sind. Dabei werden Oberflächenbeschichtungen vorgesehen, um die zum Teil hohen Anforderungen an die Komponenten oder Werkzeuge mit diesen Komponenten erfüllen zu können. Durch die spezifischen Materialeigenschaften dieser Schichten aus den Oberflächenbeschichtungen kann die Widerstandsfähigkeit der Komponenten gegen Belastungen thermischer, mechanischer und sonstiger Form erhöht werden. In diesem Zusammenhang sind insbesondere Hartstoffschichten zu nennen, die eine breite Anwendung im Bereich der Schneidwerkzeuge erlangt haben. Die Verschleißsensoranordnungen werden dabei in Dünnschichttechnologie aufgetragen.
In der DE 43 12 354 C1 werden die Verschleißsensoren durch Stifte gebildet, die Reihenschaltungen aus Widerständen oder Parallelschaltungen aus Kapazitäten aufweisen, wobei jeder der Leiter mit einem unterschiedlichen Abstand von der dem Verschleiß ausgesetzten Oberfläche angeordnet ist und diese dadurch nacheinander durchtrennt werden.
Die EP 0 396 585 B1 schlägt ein Schneidwerkzeug vor, bei dem Leiter in Beziehung zueinander angeordnet sind. Die Leiter sind elektrisch parallel angeordnet und erstrecken sich zu Kontaktplatten mit Kontaktvorrichtungen, die elektrische Signale von dem Werkzeug zu einem Signalprozessor übertragen sollen.
Alle diese durchaus interessanten Vorschläge haben den Nachteil, zwar eine Aussage über das gesamte Ausmaß des Verschleißes machen zu können, nicht aber über die Art und Form desselben; ferner ist auch die Auflösung, also die Genauigkeit der Verschleißangabe, unbefriedigend.
Aufgabe der Erfindung ist es demgegenüber, hier genauere Angaben machen zu können.
Dies wird durch eine mechanische Komponente mit mehreren Verschleißsensoren zur Erfassung des Betriebszustandes hinsichtlich von Verschleiß der Komponente erreicht, bei der die Verschleißsensoren ortsauflösend vorgesehen sind.
Durch die ortsauflösende Anordnung der Verschleißsensoren ist eine detailliertere Feststellung möglich, wo in dem Belastungsbereich der Verschleiß in welcher Form fortschreitet.
Bevorzugt werden dabei die Verschleißsensoren als Leiterstrukturen eines elektrischen Leitersystems ausgebildet. Insbesondere werden die Verschleißsensoren in einer Gruppe zusammengeschaltet, die über zwei Kontaktstellen mit einer Auswerteausrichtung verbunden ist. Besonders bevorzugt werden dabei die Verschleißsensoren als Widerstände mit abgestuften Widerstandswerten ausgebildet, wobei die Abstufungen so vorgesehen sind, daß bei jeder möglichen parallelen Kombination der Einzelwiderstände jeweils ein anderer Gesamtwiderstand einstellbar ist.
Dadurch entsteht ein Aufnehmer mit einer quasi digitalen Auswertung. Mit dem Durchtrennen einer einzelnen Leiterbahn wird genau ein Widerstand aus einer Anordnung mehrerer parallel geschalteter Widerstände entfernt bzw. eine der parallelen Leitungen entfällt. Dieses Durchtrennen findet in dem Bereich statt, in dem der Verschleiß fortschreitet.
Durch den Fortfall der einen parallelen Leitung erhöht sich sprunghaft der Gesamtwiderstand des Netzwerkes.
Zum Auslesen des Verschleißzustandes reichen zwei Kontaktstellen, unabhängig davon, mit welcher Auflösung die Verschleißzone letztlich bestimmt werden soll.
Die geeignete Abstufung der Widerstandswerte in den einzelnen Leitungen führt zu einem präzisen zweidimensionalen Bild der Verschleißzone. Der Ausfall einer der Leitungen führt zu einem sehr konkreten und vorhersehbaren Wert des Gesamtwiderstandes, so daß rückrechnend sofort aus dem Gesamtwiderstand ermittelt werden kann, welche der Leitungen ausgefallen ist, wo also der Verschleiß eingetreten ist.
Es entsteht eine Möglichkeit der zweidimensionalen Lokalisierung eines Verschleißereignissen. Die Form und Ausbreitung der Zone, welche sich bei verschiedenen Bearbeitungssituationen deutlich ändert, ist für die Funktionsfähigkeit des gesamten Systems nicht mehr von Belang; sie führt lediglich und im Gegenteil zu unterschiedlichen, aussagekräftigen Werten. In einer bevorzugten Ausführungsform kann auch eine dreidimensionale Lokalisierung eines Verschleißereignisses erfolgen, indem mehrere Lagen von der Verschleißsensorik und entsprechende Isolationsschichten übereinander angeordnet werden.
Bei der beispielhaften Anwendung auf dem Gebiet der Schneidwerkzeuge, zum Beispiel einer Wendeschneidplatte, treten spezifische Verschleißerscheinungen auf.
Die sogenannte Kolkzone, also der Bereich, in dem ein Verschleiß im Bearbeitungsbereich eingetreten ist, variiert bedingt durch die verschiedenen Bearbeitungsfälle in Größe, Ausbreitungsrichtung, Ausbreitungsgeschwindigkeit und Lage und kann durch die bis zu einem bestimmten Zeitpunkt bereits ausgefallenen Leitungen auswerteseitig präzise angegeben werden.
Der Gesamtwiderstand kann nur diskrete Werte annehmen. Es läßt sich also mit sehr hoher Zuverlässigkeit feststellen, welcher Gesamtwiderstand vorliegt (bzw. welcher Widerstand abgetrennt wurde). Es kombiniert sich also der Vorteil von wenigen Kontaktstellen, die wie eingangs erwähnt zu einer hohen Robustheit des Systems und damit zu geringer Fehleranfälligkeit führt, mit einer fast digitalen Sicherheit des Auslesens der nun besonders zuverlässig eintretenden Meßwerte.
Die Zuverlässigkeit läßt sich noch weiter erhöhen, wenn die Widerstandswerte so gewählt werden, daß eine thermische Änderung der einzelnen Widerstände immer zu einer kleineren betragsmäßigen Widerstandsänderung führt als eine verschleißbedingte Widerstandserhöhung. Dadurch können die durch thermischen Einfluß im Stand der Technik eintretenden Fehler minimiert werden.
Eine weitere Steigerung der Zuverlässigkeit Iäßt sich durch eine Verringerung der Kontaktstellenzahl dann erzielen, wenn der Werkzeuggrundkörper als Masseleitung eingesetzt wird. Dies erlaubt auch eine größere Freiheit beim Design der Sensoren.
Eine weitere Steigerung der Zuverlässigkeit wird durch ein Abgleich der Verschleißsensoren mit dem Signal eines zusätzlich vorgesehenen Temperatursensors oder eines der vorhandenen Dünnschichtwiderstände mit entsprechenden Ableitungen erreicht. Thermische Schwankungen der Verschleißsensoren lassen sich durch eine solche Kombination der Sensoren sehr gut kompensieren, so daß weitere Möglichkeiten der Auswertung entstehen.
Besonders bevorzugt ist es, wenn die zur Temperaturmessung eingesetzten Temperatursensoren Thermistoren sind und diese bevorzugt darüber hinaus mittels einer Vierpunktmethode ausgewertet werden. Dadurch wird der Einfluß durch Zuleitungen und Kontaktwiderständen minimiert und der Ort der Messung ist eindeutig auf einen kleinen, lokal definierten Bereich beschränkt, Problematisch im Stand der Technik war gerade bei Temperatursensoren nämlich, daß auch die Temperatur der Zuleitungen und Kontaktwiderstände mit in die Gesamtmessung einging und so letztlich lediglich ein integrales Bild einer größeren Zone entstehen konnte.
Die Auskopplung der Signale kann mittels galvanischer Kontakte erfolgen oder vorteilhafterweise mit telemetrischen Verfahren wie kapazitiven oder induktiven Verfahren.
Von besonderem Vorteil ist es, daß die beschriebenen, erfindungsgemäßen mechanischen Komponenten auch mit nicht planaren Oberflächen realisierbar sind. Hierzu werden fokussierende Strahlverfahren mit Nutzen angewandt, wie beispielsweise direktschreibende Verfahren mit großer Tiefenschärfe, etwa Laser-, Elektronen- oder Ionenstrahllithographie. Ebenfalls geeignet sind maskengestützte Verfahren mit großer Tiefenschärfe, zum Beispiel die Röntgenstrahllithographie. Die Strukturierung kann auch mit Hilfe von Fotomasken und scannenden Verfahren, etwa mittels Laserscanner oder flexiblen Belichtungsmasken durchgeführt werden.
Zur Herstellung der erfindungsgemäßen mechanischen Komponenten mit ihren Verschleißsensoren und weiteren Elementen nach der Dünnschichttechnologie werden bevorzugt CVD (chemical vapor deposition)- und PVD (physical vapor deposition)-Verfahren angewandt. Die Schichtherstellung erfolgt dabei vorzugsweise bei höheren, der mechanischen Komponente angepaßten Substrattemperaturen. Für Werkzeuge aus Hartmetall kommen beispielsweise insbesondere Temperaturen von 100°C bis 1200°C zum Einsatz.
Die Schichten werden durch spezielle, gradierte Zwischenschichten an den Grundkörper angebunden, so daß sich eine sehr gute Haftung ergibt. Hierzu werden bevorzugt ionenunterstützte Verfahren, insbesondere metallionenunterstützte Verfahren, eingesetzt.
Die Kombination von isolierenden und elektrisch leitenden Schichten wird erfindungsgemäß bevorzugt so gewählt, daß der Gesamtaufbau die für die jeweilige Anwendung erforderliche Härte und Zähigkeit besitzt. Dabei kommen als Isolatorschichten vorzugsweise Hartschichten zur Anwendung. Geeignet sind beispielsweise kubisches Bornitrid, Al2O3, Diamant, Si3N4. Für die Sensorschichten werden Materialien mit guter Haftung und Langzeitstabilität eingesetzt, z. B. Titan, Molybdän, Chrom und/oder Chromnickel.
Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Figuren näher beschrieben.
Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 2 eine detailliertere Darstellung einer weiteren Ausführungsform;
Fig. 3 eine vergrößerte Darstellung einer realisierbaren Anordnung;
Fig. 4 eine Anordnung mit Temperatursensoren.
Fig. 1 zeigt eine mechanische Komponente 10 mit 5 Verschleißsensoren 11, 12, 13, 14, 15. Die Verschleißsensoren bestehen jeweils aus einer elektrischen Leitung mit einem Widerstand 1, 2, 3, 4, 5. Diese Widerstände der Verschleißsensoren sind miteinander parallel zu einem elektrischen Leitersystem verbunden und über zwei Kontaktstellen 20, 21 nach außen geführt. Nach den üblichen Regeln der elektrischen Schaltungen bildet das gesamte Leitersystem einen Widerstand Rges.
Die in Fig. 1 rein schematisch dargestellte mechanische Komponente 10 sei nun Verschleiß ausgesetzt der in mehr oder weniger beliebiger Richtung einsetzen kann. Zur Verdeutlichung sei hier Fig. 2 herangezogen.
Wiederum ist die mechanische Komponente 10 zu erkennen, wobei hier zwei Gruppen von Verschleißsensoren dargestellt sind, als V1 und V2 bezeichnet. Bei einer aus einer beliebigen Richtung fortschreitenden Abnutzung der mechanischen Komponente 10 durch Verschleiß werden zu einem unbestimmten Zeitpunkt Teile der Leiterstruktur, die von den Gruppen von Verschleißsensoren V1 und V2 gebildet ist, angegriffen und zerstört. Es werden dann Abtrennungen in den Leiterbahnen stattfinden. Der Widerstand einer solchen einzelnen Leiterbahn, die ja einen Verschleißsensor repräsentiert, steigt damit spontan auf unendlich, was in einer Parallelschaltung mehrerer Widerstände zu einer sprunghaften, diskreten, quasi digitalen Erhöhung des Gesamtwiderstandes führt.
Wählt man dabei die Widerstände, R1, R2, R3, R4 und R5 jeweils unterschiedlich, und zwar derart, daß eine Addition jeweils einer beliebigen Zusammenstellung der verbleibenden Widerstände zu einem unterschiedlichem Gesamtwiderstand führt, so kann aus diesem neu entstehenden Gesamtwiderstand sofort rückgerechnet werden, welche der Leiterbahnen wohl abgetrennt wurde. Dies gilt auch für mehrere Leiterbahnen.
Mit M ist dabei in Fig. 2 die Masseleitung angegeben, die bevorzugt durch den Strukturgrundkörper selbst gebildet wird.
Fig. 3 schließlich zeigt ein aktuell mögliches Aufbauen einer solchen Gruppe von Verschleißsensoren aus mehreren verschiedenen Dünnschichtwiderständen R1, R2, R3, R4 und R5 sowie einer Masse M. Solche Netzwerke sind mit Dünnschichttechnologie ohne weiteres zu realisieren. Natürlich sind auch beliebige andere Anordnungen von Netzwerken möglich.
Fig. 4 zeigt eine erfindungsgemäß mögliche Anordnung von Temperatursensoren, hier Thermistoren, die mittels einer Vierpunktmethode ausgewertet werden. Zu erkennen ist ein erster Temperatursensor 30 und ein zweiter Temperatursensor 31. Die mechanische Komponente 10 ist wiederum Verschleiß ausgesetzt, wobei die hier gewählte Anordnung der Sensoren davon ausgeht, daß es sich bei dem äußeren Rand der mechanischen Komponente 10 um eine Schneidkante 40 handelt. Die Kolkmitte wird bei 41 und das Verschleißmaximum bei 42 angenommen. Die sieben nach unten führenden Leiterbahnen sind die Anschlußleitungen für die Vierpunktmessung.
Der Sensor 30 liegt direkt im Bereich des Verschleißmaximums und wird im Laufe des Betriebes zerstört, während sich der Sensor 31 außerhalb der Verschleißzone befindet. Durch eine Kalibrierung von Temperatursensor 31 mit Temperatursensor 30 liefert auch der verbleibende Temperatursensor 31 genaue Informationen über die Temperatur im Bereich der Kolkmitte.
Bezugszeichenliste
1
Widerstand
2
Widerstand
3
Widerstand
4
Widerstand
5
Widerstand
10
mechanische Komponente
11
Verschleißsensor
12
Verschleißsensor
13
Verschleißsensor
14
Verschleißsensor
15
Verschleißsensor
20
Kontaktstelle
21
Kontaktstelle
30
Temperatursensor
31
Temperatursensor
40
Schneidkante
41
Kolkmitte
42
Verschleißmaximum
M Masse
R1 Widerstand
R2 Widerstand
R3 Widerstand
R4 Widerstand
R5 Widerstand
V1 Gruppe von Verschleißsensoren
V2 Gruppe von Verschleißsensoren

Claims (17)

1. Mechanische Komponente mit mehreren Verschleißsensoren zur Erfassung des Betriebszustandes hinsichtlich von Verschleiß der Komponente, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschleißsensoren (11, 12, 13, 14, 15) ortsauflösend vorgesehen sind.
2. Komponente nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschleißsensoren (11, 12, 13, 14, 15) als Leiterstrukturen eines elektrischen Leitersystems ausgebildet sind.
3. Komponente nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschleißsensoren (11, 12, 13, 14, 15) in einer Gruppe zusammengeschaltet sind, die über zwei Kontaktstellen (20, 21) mit einer Auswerteeinrichtung verbunden ist.
4. Komponente nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschleißsensoren als Widerstände (1, 2, 3, 4, 5) mit abgestuften Widerstandswerten ausgebildet sind, wobei die Abstufungen so vorgesehen sind, daß bei jeder möglichen parallelen Kombination der Einzelwiderstände jeweils ein anderer Gesamtwiderstand einstellbar ist.
5. Komponente nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine dreidimensionale Verschleißmessung mittels mehrfach übereinander angeordneter Isolationsschichten und Verschleißsensoren erfolgt.
6. Komponente nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Strukturgrundkörper als Masseleitung dient.
7. Komponente nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzlich Temperatursensoren (30, 31) zur Erfassung des Betriebszustandes hinsichtlich der Temperatur vorgesehen sind.
8. Komponente nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß Thermistoren als Temperatursensoren (30, 31) vorgesehen sind.
9. Komponente nach einem der Ansprüche 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß eine Auswertung der Temperatursensoren (30, 31) bzw. Thermistoren durch eine Pier-Methode erfolgt.
10. Komponente nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Verschleißsensorsignal mit dem Temperatursensorsignal oder mit einem Dünnschichtwiderstand mit Ableitungen abgeglichen wird.
11. Komponente nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschleiß- und/oder Temperatursensoren durch fokussierende Strahlverfahren oder maskengestützte Verfahren oder flexible Belichtungsmasken hergestellt oder auf die Oberfläche des Strukturgrundkörpers aufgebracht werden.
12. Komponente nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensoren mittels CVD- oder PVD-Verfahrens unter für den Struk­ turwerkstoff angepaßten Temperaturen, insbesondere höheren Tempera­ turen, hergestellt werden.
13. Komponente nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensoren bei Temperaturen von 100 bis 1200°C hergestellt werden.
14. Komponente nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine oder mehrere gradierte Zwischenschichten vorgesehen sind, die zwischen Struktur und Sensor aufgebracht sind.
15. Komponente nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenschicht durch ionenunterstützte Verfahren, insbesondere metallionenunterstützte Verfahren, aufgebracht wird.
16. Komponente nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Isolatorschichten und elektrisch leitenden Schichten in Abhängigkeit der vorzusehenden Härte und Zähigkeit des Gesamtaufbaus miteinander kombiniert sind.
17. Komponente nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß als Isolatorschichtmaterial eine kubische Bornitrid-, Al2O3-Schicht oder eine Diamantschicht oder eine Si3N4-Schicht und als Sensormaterial Mate­ rialien mit guter Haftfähigkeit und Langzeitstabilität, insbesondere Titan, Molybdän, Chrom und/oder Chromnickel verwendet werden.
DE19810674A 1997-03-12 1998-03-12 Mechanische Komponente mit mehreren Verschleißsensoren Ceased DE19810674A1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE29824985U DE29824985U1 (de) 1997-03-12 1998-03-12 Mechanische Komponente mit mehreren Verschleißsensoren sowie entsprechendes Werkzeug, insbesondere Wendeschneidplatte
DE19810674A DE19810674A1 (de) 1997-03-12 1998-03-12 Mechanische Komponente mit mehreren Verschleißsensoren

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19710220 1997-03-12
DE19810674A DE19810674A1 (de) 1997-03-12 1998-03-12 Mechanische Komponente mit mehreren Verschleißsensoren

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE19810674A1 true DE19810674A1 (de) 1998-10-22

Family

ID=7823128

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19810674A Ceased DE19810674A1 (de) 1997-03-12 1998-03-12 Mechanische Komponente mit mehreren Verschleißsensoren

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE19810674A1 (de)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE20013519U1 (de) * 2000-08-05 2001-06-13 Arthur Habermann GmbH & Co KG, 58453 Witten Vorrichtung insbesondere zur Verschleiß- und Bruchüberwachung von Bauteilen
DE10223985A1 (de) * 2002-05-29 2003-12-18 Siemens Ag Anordnung aus einem Bauteil und einer Kontrollvorrichtung, Verfahren zum Herstellen der Anordnung und Verwendung der Anordnung
DE102004019742A1 (de) * 2004-04-20 2005-11-17 Borsig Gmbh Vorrichtung zur Überwachung des Verschleisses einer Oberfläche
WO2006000520A1 (de) * 2004-06-23 2006-01-05 Siemens Aktiengesellschaft Anordnung eines bauteil und einer kontrollvorrichtung des bauteils, verfahren zum herstellen der anordnung und verwendung der anordnung
WO2008031792A1 (de) * 2006-09-13 2008-03-20 Siemens Aktiengesellschaft Bauteil mit einer erfassungsstruktur für mechanische beschädigungen
WO2012052514A3 (de) * 2010-10-21 2012-09-07 Continental Automotive Gmbh Temperatursensorvorrichtung
ITMI20131221A1 (it) * 2013-07-22 2015-01-23 Milano Politecnico Sensore di regressione per un materiale solido
DE102014112402A1 (de) * 2014-08-28 2016-03-03 Schmitz Cargobull Ag Bremsanlage eines Nutzfahrzeugs

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE20013519U1 (de) * 2000-08-05 2001-06-13 Arthur Habermann GmbH & Co KG, 58453 Witten Vorrichtung insbesondere zur Verschleiß- und Bruchüberwachung von Bauteilen
DE10223985A1 (de) * 2002-05-29 2003-12-18 Siemens Ag Anordnung aus einem Bauteil und einer Kontrollvorrichtung, Verfahren zum Herstellen der Anordnung und Verwendung der Anordnung
US7141990B2 (en) 2002-05-29 2006-11-28 Siemens Aktiengesellschaft Device for detecting degradation of a component
DE102004019742A1 (de) * 2004-04-20 2005-11-17 Borsig Gmbh Vorrichtung zur Überwachung des Verschleisses einer Oberfläche
WO2006000520A1 (de) * 2004-06-23 2006-01-05 Siemens Aktiengesellschaft Anordnung eines bauteil und einer kontrollvorrichtung des bauteils, verfahren zum herstellen der anordnung und verwendung der anordnung
CN101002085B (zh) * 2004-06-23 2011-11-23 西门子公司 组件和组件检查器的装置、用于制造该装置的方法和该装置的应用
US8008932B2 (en) 2006-09-13 2011-08-30 Siemens Aktiengesellschaft Component with a detection structure for mechanical damage
WO2008031792A1 (de) * 2006-09-13 2008-03-20 Siemens Aktiengesellschaft Bauteil mit einer erfassungsstruktur für mechanische beschädigungen
RU2441216C2 (ru) * 2006-09-13 2012-01-27 Сименс Акциенгезелльшафт Конструктивный элемент со структурой для обнаружения механических повреждений
WO2012052514A3 (de) * 2010-10-21 2012-09-07 Continental Automotive Gmbh Temperatursensorvorrichtung
ITMI20131221A1 (it) * 2013-07-22 2015-01-23 Milano Politecnico Sensore di regressione per un materiale solido
WO2015011100A1 (en) * 2013-07-22 2015-01-29 Politecnico Di Milano Regression sensor for a solid material
DE102014112402A1 (de) * 2014-08-28 2016-03-03 Schmitz Cargobull Ag Bremsanlage eines Nutzfahrzeugs
DE102014112402B4 (de) * 2014-08-28 2021-01-21 Schmitz Cargobull Aktiengesellschaft Bremsanlage eines Nutzfahrzeugs

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE4309442C2 (de) Passiver berührungsloser magnetischer Positionssensor
DE3333590C2 (de)
DE102019204474A1 (de) Sender- und empfängerkonfiguration für induktiven positionsgeber
DE112020000882T5 (de) Halter, schneidwerkzeug, verfahren zur herstellung eines maschinell bearbeiteten produkts und verfahren zur datenerfassung
DE19925458A1 (de) Sensormodul für Umform-, Stanz- und Spritzgußwerkzeuge
DE19810674A1 (de) Mechanische Komponente mit mehreren Verschleißsensoren
EP2954867A1 (de) Planar aufgebautes logicboard für ablationskatheter mit kraftmessfunktionalität
EP1587647B1 (de) Vorrichtung und verfahren zur bestimmung der beanspruchung eines werkzeugs mit dünnschichtsensoren
WO2014056683A1 (de) Paralleles auslesen eines analogen sensors durch zwei steuereinheiten
EP1784071A1 (de) Vorrichtung zum Vorbereiten einer Mehrschicht- Leiterplatte auf das Bohren von Kontaktierungsbohrungen
EP3907477B1 (de) Magnetische positionsmesseinrichtung
EP4356074B1 (de) Kapazitive ablesevorrichtung für ein zeigerinstrument
DE102016212666A1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Leiterplattenelements und Leiterplattenelement
DE29824985U1 (de) Mechanische Komponente mit mehreren Verschleißsensoren sowie entsprechendes Werkzeug, insbesondere Wendeschneidplatte
DE102007054801B4 (de) Messverfahren, Sensoranordnung und Verfahren zum Aufbau eines Messsystems
DE102019131792B3 (de) Greiferbacke mit taktilem Sensor sowie Greifvorrichtung mit einer oder mehreren solcher Greiferbacken
EP2994722B1 (de) Massstab für ein längenmesssystem, längenmesssystem und verfahren zur herstellung eines längenmesssystems
DE102021005558B3 (de) Messrolle zum Feststellen einer Eigenschaft eines über eine Messrolle geführten bandförmigen Guts sowie Verwendung einer solchen Messrolle
DE102004026307A1 (de) Taktiles Instrument
WO2007085419A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur prüfung von eigenschaften eines werkzeugelements
DE1267433B (de) Stellungsmesstransformator
DE102014100435B4 (de) Sensor und Linearbewegungsanordnung
DE102015226129A1 (de) Verfahren zum Betreiben eines Sensorsystems, Sensorelement sowie Sensorsystem
DE19534313C2 (de) Verfahren zur Erfassung von Position und Versatz von Lagen an Mehrlagenleiterplatten
DE102019111696A1 (de) Verfahren zur Temperaturmessung und Temperaturmessvorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8131 Rejection