DE19809556A1 - Transverse feed device for vertical through-flow oven e.g. for semiconductor manufacture - Google Patents
Transverse feed device for vertical through-flow oven e.g. for semiconductor manufactureInfo
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft eine Querfördervorrichtung für in einem Stapel aufeinanderliegende Träger für zu transportierende Produkte, einen Durchlaufofen mit einer solchen Querfördervorrichtung sowie einen besonders für eine solche Querfördervorrichtung geeigneten Träger. The invention relates to a cross conveyor for in a stack of superimposed supports for transporting products, a continuous furnace with a such cross conveyor and one especially for such a cross conveyor suitable carrier.
Bei der Herstellung von Halbleitern werden häufig Rein- und Reinstraumbedingen gefordert. Deshalb ist es wichtig, daß beim Umgang mit den Halbleitermaterialien keine schleifenden Kontakte auftreten, die zu Abrieb und damit zu unerwünschten Verureinigungen führen könnten.In the manufacture of semiconductors, pure and clean room requirements. That's why it's important that when dealing with the semiconductor materials none Grinding contacts occur which lead to abrasion and therefore too could lead to unwanted cleanup.
Aus der DE-A1-196 19 485 ist ein vertikaler Durchlaufofen und eine hierfür besonders geeignete Querfördereinrichtung bekannt, mittels der vertikal von unten nach oben transportierte Träger mit Halbleiterprodukten horizontal wegtransportiert werden können. Dieser bekannte greifzangenartige Mechanismus zum Aufnehmen der Träger ist vergleisweise kompliziert.DE-A1-196 19 485 is a vertical one Continuous furnace and a particularly suitable one for this Cross conveyor known, by means of the vertical of Carriers transported from the bottom to the top Semiconductor products are transported away horizontally can. This known gripper-like mechanism for Picking up the straps is sometimes complicated.
Ausgehend von der DE-A1-196 19 485 ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Querfördervorrichtung, einen damit ausgerüsteten Durchlaufofen sowie einen geeigneten Träger zu schaffen, bei denen der Abrieb während des Betriebs minimiert ist.Starting from DE-A1-196 19 485, it is the task of present invention, a cross conveyor, a equipped with a continuous furnace and a suitable one To create carriers in which the abrasion during the Operating is minimized.
Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt durch die Merkmale des Ansprüche 1, 8 bzw. 14. This problem is solved by the features of claims 1, 8 and 14, respectively.
Durch das Vorsehen eines Greifstempels, der durch Drehung mit dem zu transportierenden Träger verriegelt bzw. in Eingriff gebracht werden kann, wird eine einfache und reibungsfreie Art und Weise des Aufgreifens eines Trägers bereitgestellt. Der Greifstempel fährt ohne Berührung an den Träger heran, verriegelt durch Drehung und kommt erst beim Abheben des Trägers in Kontakt mit dem Träger. Dieser Kontakt ist jedoch kein schleifender Kontakt, sondern ein Ruhekontakt, so daß keinerlei Abrieb entstehen kann.By the provision of a gripping stamp, which is carried out by Locked rotation with the carrier to be transported or can be engaged is a simple and smooth way of picking up a carrier provided. The gripper stamp moves to the Carrier approached, locked by rotation and only comes at Lifting the carrier in contact with the carrier. This However, contact is not a sliding contact, but a contact Quiescent contact so that no abrasion can occur.
Gemäß einer besonders bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung umfassen die Träger eine Greiföffnung durch die der Greifstempel berührungsfrei hindurchtritt, berührungsfrei verriegelt und erst beim Anheben kommt es zum Kontakt zwischen dem Verriegelungselement und dem Träger (Anspruch 2).According to a particularly preferred embodiment of the Invention comprise a gripping opening through the carrier the gripping punch passes through without contact, locked without contact and it only comes when it is lifted for contact between the locking element and the Carrier (claim 2).
Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist der Greifstempel von einer federvorbelasteten Manschette umgeben, die bei Hindurchtreten des Greifstempels durch die Greiföffnung an den Träger angedrückt wird, so daß dieser dann in der verriegelten Stellung zwischen dem Verriegelungselement und der federbelasteten Manschette fixiert ist. Auf diese Weise werden Vibrationen und eventuell auch ein Verrutschen mit damit verbundenem Abrieb vermieden.According to a further advantageous embodiment of the Invention is the gripping punch of a spring-loaded Surround cuff, which when the Gripping stamp through the gripping opening on the carrier is pressed so that it is then locked in the Position between the locking element and the spring-loaded cuff is fixed. In this way vibrations and possibly slipping associated abrasion avoided.
Ein besonders für die Fördervorrichtung geeigneter Träger umfaßt einen insbesondere rechteckigen Trägerrahmen in dem sich die zu befördernden Produkte einlegen lassen. Der Träger weist wenigstens eine Greiföffnung auf, durch die das Verriegelungselement des Greifstempels kontaktfrei hindurchgreifen kann.A particularly suitable for the conveyor Carrier comprises a particularly rectangular support frame in which the products to be transported can be inserted. The carrier has at least one gripping opening which contactlessly the locking element of the gripping punch can reach through.
Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist diese Greiföffnung rechteckig und ebenso das zugehörige Verriegelungselement des Stempels, weil dadurch auf einfache Weise eine Verriegelung möglich ist.According to an advantageous embodiment of the invention this gripping opening is rectangular and also the associated one Locking element of the stamp, because of this locking is possible in a simple manner.
Die erfindungsgemäße Querfördervorrichtung und die hierzu passenden Träger sind besonders geeignet für einen vertikalen Durchlaufofen, um die von im vertikalen Durchlaufofen von unten nach oben durch die Heizzonen beförderten Träger mit Produkten, z. B. Halbleiterbauteilen, am oberen Ende des Ofens aufzunehmen und in eine Herstellungslinie weiterzubefördern oder zu einem zweiten vertikalen Durchlaufofen zu befördern, in dem sie die vertikale angeordneten Ofenzonen dann von oben nach unten durchlaufen.The cross conveyor device according to the invention and the matching straps are particularly suitable for one vertical continuous furnace, to that of in vertical Continuous furnace from bottom to top through the heating zones transported carrier with products such. B. semiconductor components, at the top of the furnace and into one To advance production line or to a second vertical continuous furnace in which they can transport the then vertically arranged furnace zones from top to bottom run through.
Die übrigen Unteransprüche beziehen sich auf weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung. Weitere Einzel heiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung einer beispielhaften Ausführungsform der Erfindung anhand der Zeichnung.The remaining sub-claims relate to others advantageous embodiments of the invention. More single units, features and advantages of the invention emerge from the following description of an example Embodiment of the invention with reference to the drawing.
Es zeigt:It shows:
Fig. 1 eine schematische Seitenansicht eines verti kalen Durchlaufofens mit einer Querfördervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung zwischen zwei nebeneinander angeordneten vertikalen Fördervorrichtungen, Fig. 1 is a schematic side view of a verti cal continuous furnace with a transverse conveying apparatus according to the present invention between two adjacent vertical conveyors,
Fig. 2 einen Schnitt durch die Darstellung nach Fig. 1 entlang der Linie A-A, Fig. 2 shows a section through the representation of Fig. 1 along line AA,
Fig. 3a zeigt eine Seitenansicht einer beispielhaften Ausführungsform der erfindungsgemäßen Querfördervorrichtung, Fig. 3a shows a side view of an exemplary embodiment of the transverse conveying device according to the invention,
Fig. 3b zeigt eine Aufsicht auf die Ausführungsform nach Fig. 3a, FIG. 3b shows a plan view of the embodiment of Fig. 3a,
Fig. 3c zeigt eine Seitenansicht von rechts der Ausführungsform in Fig. 3b, Fig. 3c shows a right side view of the embodiment in Fig. 3b,
Fig. 4a zeigt eine Aufsicht auf den erfindungsgemäßen Träger, Fig. 4a shows a plan view of the inventive support,
Fig. 4b zeigt eine Seitenansicht des Trägers nach Fig. 4a mit einer Greifeinrichtung mit zwei Greifstempeln, die in zwei Greiföffnungen eingreifen, aber noch nicht verriegelt sind, und FIG. 4b shows a side view of the carrier according to FIG. 4a with a gripping device with two gripping punches which engage in two gripping openings but are not yet locked, and
Fig. 4c eine Fig. 4b entsprechende Darstellung mit verriegelten Greifstempeln. Fig. 4c Fig. 4b representation corresponding with the locked gripping temples.
Fig. 1 zeigt eine schematische Seitenansicht einer beispielhaften Ausführungsform eines vertikalen Durch laufofens gemäß der vorliegenden Erfindung. Fig. 2 zeigt eine zugehörige Schnittansicht entlang der Linie A-A in Fig. 1. Der in Fig. 1 und 2 dargestellte vertikale Durchlaufofen umfaßt eine erste und zweite vertikale Fördervorrichtung 2 bzw. 4, die einen ersten und einen zweiten Ofenbereich 3 bzw. 5 mit jeweils vier Temperatur- bzw. Heizzonen 3-1, 3-2, 3-3, 3-4, 5-1, 5-2, 5-3 und 5-4 durchsetzen. Am oberen Enden der beiden Ofenbereiche 3 und 5 bzw. der beiden vertikalen Fördervorrichtungen 2 und 4 ist eine obere Querfördereinrichtung 6 angeordnet, die in der ersten vertikalen Fördervorrichtung 2 nach oben beförderte Träger 8 von der ersten Vertikalfördervor richtung 2 zu der zweiten Vertikalfördervorrichtung 4 transportiert. Die erste vertikale Fördervorrichtung 2 um faßt eine zugeordnete erste untere Querfördervorrichtung mittels der die Träger 8 zugeführt werden. Ebenso umfaßt die zweite Vertikalfördervorrichtung 4 eine zugeordnete zweite untere Querfördervorrichtung mittels der die Träger 8 abtransportiert werden. Es sei darauf hingewiesen, daß sich die erste und zweite Vertikalfördervorrichtung 2 und 4 lediglich hinsichtlich der Transportrichtung unterscheiden. Fig. 1 shows a schematic side view of an exemplary embodiment of a vertical continuous furnace according to the present invention. FIG. 2 shows an associated sectional view along the line AA in FIG. 1. The vertical continuous furnace shown in FIGS . 1 and 2 comprises a first and second vertical conveying device 2 and 4 , which have a first and a second furnace region 3 and 5, respectively Push through four temperature or heating zones 3-1 , 3-2 , 3-3 , 3-4 , 5-1 , 5-2 , 5-3 and 5-4 . At the upper ends of the two furnace portions 3 and 5 and of the two vertical conveyors 2 and 4, an upper cross conveyor 6 is arranged in the first vertical conveyor 2 upwardly transported carrier 8 towards transported to the second vertical conveyor 4 2 of the first Vertikalfördervor. The first vertical conveying device 2 comprises an associated first lower transverse conveying device by means of which the carriers 8 are fed. Likewise, the second vertical conveying device 4 comprises an assigned second lower transverse conveying device by means of which the carriers 8 are transported away. It should be noted that the first and second vertical conveyor devices 2 and 4 differ only in the direction of transport.
Der genaue Aufbau der Vertikalfördervorrichtungen ist in der am gleichen Tag hinterlegten Patentanmeldung mit dem Anwaltsaktenzeichen P/11LU4106/DE beansprucht und beschrieben. Hinsichtlich des Aufbaus dieser Vertikalfördervorrichtungen wird daher auf diese parallele Anmeldung vollinhaltlich bezug genommen.The exact structure of the vertical conveyors is in the patent application filed on the same day with the Attorney Docket P / 11LU4106 / DE claimed and described. Regarding the construction of this Vertical conveyors will therefore be parallel to this Registration referenced in full.
Die Fig. 3a, 3b und 3c zeigen verschiedene Ansichten einer beispielhaften Ausführungsform der Querfördervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. Die gezeigte Ausführung umfaßt eine erste und zweite Förderschiene 10 und 12, die in Transportrichtung verlaufen. An diesen beiden Förderschienen 10 und 12 ist eine Greifeinrichtung 14 in Transportrichtung verschiebbar gelagert. Dies erfolgt über vier Rollenpaare 16 und 18. Die Rollenpaare 16 greifen hierbei an die erste Förderschiene 10 an und sind wie Felgen geformt, so daß sie die Greifeinrichtung 14 an der ersten Förderschiene 10 seitlich fixieren. Die zweiten Rollenpaare 18 greifen an der zweiten Förderschiene 12 an und sind zylindrisch ausgebildet, so daß während des Hin- und Herfahrens der Greifvorrichtung 14 keine Spannungen zwischen den beiden Förderschienen 10 und 12 auftreten können. FIGS. 3a, 3b and 3c show various views of an exemplary embodiment of the transverse conveying device according to the present invention. The embodiment shown comprises a first and second conveyor rails 10 and 12 which run in the transport direction. On these two conveyor rails 10 and 12 , a gripping device 14 is slidably mounted in the transport direction. This is done via four pairs of rollers 16 and 18 . The pairs of rollers 16 engage the first conveyor rail 10 and are shaped like rims so that they laterally fix the gripping device 14 on the first conveyor rail 10 . The second pairs of rollers 18 engage the second conveyor rail 12 and are cylindrical, so that no tension can occur between the two conveyor rails 10 and 12 during the reciprocating movement of the gripping device 14 .
Die Greifeinrichtung 14 umfaßt eine Greiferhalterung 19, die zwischen den beiden Förderschienen 10 und 12 angeordnet ist und an der die Rollenpaare 16 und 18 befestigt sind. Die Längenerstreckung der Greifeinrichtung 14 entspricht in etwa der Längenerstreckung des Trägers 8 und an den beiden Endbereichen umfaßt die Greifeinrichtung 14 einen ersten und einen zweiten Greifstempel 20 bzw. 22. Jede der beiden Greifstempel 20 und 22 umfaßt einen Stempelschaft 24, der drehbar in der Greiferhalterung 19 gelagert ist. Die Stempelschäfte 24 durchsetzen die Greiferhalterung 19 und sind in Längsrichtung in der Greiferhalterung 14 fixiert. An dem unteren Ende des Stempelschaftes 24 ist quer zu dem Stempelschaft ein rechteckförmiges Verriegelungselement 26 befestigt. Am oberen Ende der Stempelschäfte 24 über der Greiferhalterung 14 ist jeweils, ein Querbalken 28 an den Stempelschäften 24 befestigt. An den Enden der Querbalken 28 ist ein Gestänge 30 befestigt, so daß sich die Stempelschäfte 24 synchron zwischen Offen-Stellung und Geschlossen-Stellung verdrehen lassen. Zwischen Greiferhalterung 19 und Verriegelungselement 26 ist der Stempelschaft 24 von einer Manschette 32 umgeben, die in Richtung Träger 8 federvorbelastet ist.The gripping device 14 comprises a gripper holder 19 which is arranged between the two conveyor rails 10 and 12 and to which the pairs of rollers 16 and 18 are fastened. The length of the gripping device 14 corresponds approximately to the length of the carrier 8, and at the two end regions the gripping device 14 comprises a first and a second gripping punch 20 and 22 respectively. Each of the two gripping punches 20 and 22 comprises a punch shaft 24 which is rotatably mounted in the gripper holder 19 . The punch shafts 24 pass through the gripper holder 19 and are fixed in the longitudinal direction in the gripper holder 14 . At the lower end of the stamp shaft 24 , a rectangular locking element 26 is fastened transversely to the stamp shaft. At the upper end of the stamp shafts 24 above the gripper holder 14 , a crossbar 28 is fastened to the stamp shafts 24 . At the ends of the crossbar 28 , a linkage 30 is fastened so that the stamp shafts 24 can be rotated synchronously between the open position and the closed position. Between the gripper holder 19 and the locking element 26 , the stamp shaft 24 is surrounded by a sleeve 32 which is spring-loaded in the direction of the carrier 8 .
Die Fig. 4a, 4b und 4c zeigen eine beispielhafte Ausführungsform des Trägers 8 in Aufsicht - Fig. 4a - und in Seitenansicht - Fig. 4b und 4c. Der bzw. die Träger 8 besitzen einen flachen rechteckigen Trägerrahmen 34 mit einer Aufnahme 36 für die zu befördernden Produkte, vier Abstandselementen 38, die jeweils einen oberen und einen unteren Kontaktbereich 40 und 42 umfassen. Die Ab standselemente 38 sind im Randbereich des Trägerrahmens 34 an dessen Längsseite angeordnet. An den beiden kürzeren Seiten des Trägerrahmens 34 ebenfalls im Randbereich sind rechteckige Greiföffnungen 40 vorgesehen, in die das Verriegelungselement 26. Wie aus den Fig. 4b und 4c zu ersehen ist, sind die Abstandselemente 38 in ihrem oberen Kontaktbereich 40 als konische Spitze ausgebildet und in ihrem unteren Kontaktbereich 42 als zu der konischen Spitze passende konische Ausnehmung, wodurch die an dem jeweiligen Kontaktbereich 40, 42 aufeinanderliegenden Träger 8 selbst zentrierend sind und somit je nach Ausmaß der Träger 8 vergleichsweise große Stapelhöhen erreicht werden können, ohne daß eine seitliche Führung des Stapels notwendig wird. Figures 4a, 4b and 4c show an exemplary embodiment of the carrier 8 in plan view -. Fig. 4a - in side view - Figure 4b and 4c.. The carrier or carriers 8 have a flat rectangular carrier frame 34 with a receptacle 36 for the products to be conveyed, four spacer elements 38 , each of which comprises an upper and a lower contact area 40 and 42 . From the stand elements 38 are arranged in the edge region of the support frame 34 on the long side. Rectangular gripping openings 40 are provided on the two shorter sides of the support frame 34, also in the edge region, into which the locking element 26 . As can be seen from FIGS. 4b and 4c, the spacer elements 38 are designed in their upper contact area 40 as a conical tip and in their lower contact area 42 as a conical recess matching the conical tip, as a result of which the contact areas 40 , 42 lying one on top of the other Carrier 8 are self-centering and, depending on the extent of the carrier 8, comparatively large stack heights can be achieved without lateral guidance of the stack being necessary.
Aus den Fig. 4b und 4c ist zu ersehen, wie durch die Greifeinrichtung 14 ein Träger aufgenommen wird. Fig. 4b zeigt schematisch einen Träger 8, der als oberster Träger im Stapel durch die erste Vertikalfördervorrichtung 2 angehoben wird, bis die beiden sich in Offen-Stellung befindlichen Stempelschäfte 24 mit Verriegelungselement 26 die beiden Greiföffnungen 44 durchsetzen. Die Manschetten 32 sind so dimensioniert, daß sie am Rand der Greiföffnung 44 anliegen. Wenn die Greiferstempel 20, 22 die Greiföffnung durchsetzen, werden die Greiferstempel 20 und 22 über das Gestänge 30 synchron in die Geschlossen stellung gebracht - angedeutet durch die verdrehten Verriegelungselemente 26 in Fig. 4a - und die Greifeinrichtung 14 ist mit dem Träger verriegelt. From Figs. 4b and 4c it can be seen as a carrier is picked up by the gripping means 14. Fig. 4b schematically shows a carrier 8 which is lifted as the top support in the stack by the first vertical conveyor 2, until the two is located in the open position punch shafts 24 through with locking element 26, the two gripping openings 44. The cuffs 32 are dimensioned such that they rest against the edge of the gripping opening 44 . When the gripper punches 20 , 22 pass through the gripping opening, the gripper punches 20 and 22 are brought synchronously into the closed position via the linkage 30 - indicated by the twisted locking elements 26 in FIG. 4a - and the gripping device 14 is locked to the carrier.
22nd
erste Vertikalfördervorrichtung
first vertical conveyor
44th
zweite Vertikalfördervorrichtung
second vertical conveyor
66
Querfördervorrichtung
Cross conveyor
88th
Träger
carrier
1010th
erste Förderschiene
first conveyor track
1212th
zweite Förderschiene
second conveyor track
1414
Greifeinrichtung
Gripping device
1616
Rollenpaar an Pair of roles
1010th
1818th
Rollenpaar an Pair of roles
1212th
1919th
Greiferhalterung
Gripper holder
2020th
erster Greiferstempel
first gripper stamp
2222
zweiter Greiferstempel
second gripper stamp
2424th
Stempelschaft
Stamp shaft
2626
Verriegelungselement
Locking element
2828
Querbalken
Crossbar
3030th
Gestänge
Linkage
3232
Manschette
cuff
3434
Trägerrahmen
Carrier frame
3636
Ausnehmung
Recess
3838
Abstandselemente
Spacers
4040
oberer Kontaktbereich
upper contact area
4242
untere Kontaktbereich
lower contact area
4444
Greiföffnung
Gripping opening
Claims (17)
wenigstens einer in Förderrichtung angeordneten Förderschiene (10, 12),
einer entlang der Förderschiene (10, 12) verschiebbar angeordneten Greifeinrichtung (14) durch die der Träger (8) gehalten wird,
wobei die Greifeinrichtung (14) lösbar mit dem Träger (8) in Eingriff bringbar ist, dadurch gekennzeichnet,
daß die Greifeinrichtung (14) wenigstens einen sich senkrecht zu der Förderschiene (10, 12) in eine Längsrichtung erstreckenden Greifstempel (20, 22) umfaßt, der um eine zur Längsachse parallele Drehachse um einen Winkel zwischen einer Offen-Stellung und einer Geschlossen-Stellung verdrehbar ist, und
daß der Greifstempel (20, 22) ein Verriegelungselement (26) umfaßt, das durch Drehung des Greifstempels (20, 22) aus der Offen-Stellung in die Geschlossen-Stellung mit dem Träger (8) in Eingriff bringbar ist.1. Conveyor device for conveying a stackable carrier ( 8 ) in a straight direction, with
at least one conveyor rail ( 10 , 12 ) arranged in the conveying direction,
a gripping device ( 14 ) slidably arranged along the conveyor rail ( 10 , 12 ), by which the carrier ( 8 ) is held,
the gripping device ( 14 ) being releasably engageable with the carrier ( 8 ), characterized in that
that the gripping device ( 14 ) comprises at least one gripping plunger ( 20 , 22 ) extending perpendicularly to the conveyor rail ( 10 , 12 ) in a longitudinal direction and which rotates about an axis of rotation parallel to the longitudinal axis by an angle between an open position and a closed position is rotatable, and
that the gripping punch ( 20 , 22 ) comprises a locking element ( 26 ) which can be brought into engagement with the carrier ( 8 ) by rotating the gripping punch ( 20 , 22 ) from the open position into the closed position.
einem flächigen, insbesondere rechteckigen Trägerrahmen (34) für zu befördernde Produkte,
einer Mehrzahl von an dem Trägerrahmen (34) befestigten Abstandselementen (38), die sich nach unten und oben von dem Trägerrahmen (34) wegerstrecken,
wobei die Abstandselemente (38) jeweils obere und untere Kontaktbereiche (40, 42) aufweisen an denen die einzelnen Träger (8) im Stapel aufeinanderliegen, und
wenigstens einer Greiföffnung (44) in dem Trägerrahmen (34) mittels der die Greifeinrichtung (14) mit dem Träger (8) in Eingriff bringbar ist.8. Carrier for a conveyor device according to one of the preceding claims, with
a flat, in particular rectangular, support frame ( 34 ) for products to be transported,
a plurality of spacer elements ( 38 ) attached to the support frame ( 34 ) and extending downwards and upwards from the support frame ( 34 ),
wherein the spacer elements ( 38 ) each have upper and lower contact areas ( 40 , 42 ) on which the individual carriers ( 8 ) lie one on top of the other in the stack, and
at least one gripping opening ( 44 ) in the carrier frame ( 34 ) by means of which the gripping device ( 14 ) can be brought into engagement with the carrier ( 8 ).
einer Vorrichtung zum Zuführen der Träger,
einer Fördervorrichtung (6) nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 7 zum Transportieren der Träger (8) aus dem Ofenbereich heraus.14. Vertical continuous furnace, in which a plurality of supports ( 8 ), in particular according to one of claims 8 to 12, pass through a furnace region in the vertical direction from bottom to top with
a device for feeding the carriers,
a conveyor device ( 6 ) according to at least one of the preceding claims 1 to 7 for transporting the carriers ( 8 ) out of the furnace area.
einer Vorrichtung zum Zuführen der Träger,
einer ersten Ofenkolonne, die die Träger (8) von unten nach oben durchlaufen,
einer neben der ersten Ofenkolonne angeordneten zweiten Ofenkolonne, die die Träger (8) von oben nach unten durchlaufen,
einer Fördervorrichtung (6) nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 7 zum Transportieren der Träger (8) von der ersten Ofenkolonne zu der zweiten Ofenkolonne, und
einer Vorrichtung zum Entnehmen der Träger aus dem Ofenbereich.15. Vertical continuous furnace, in which a plurality of supports ( 8 ), in particular according to one of claims 8 to 12, pass through a furnace region in the vertical direction with
a device for feeding the carriers,
a first furnace column through which the supports ( 8 ) pass from bottom to top,
a second furnace column arranged next to the first furnace column and passing through the supports ( 8 ) from top to bottom,
a conveyor device ( 6 ) according to at least one of the preceding claims 1 to 7 for transporting the carriers ( 8 ) from the first furnace column to the second furnace column, and
a device for removing the carrier from the furnace area.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1998109556 DE19809556A1 (en) | 1998-03-05 | 1998-03-05 | Transverse feed device for vertical through-flow oven e.g. for semiconductor manufacture |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1998109556 DE19809556A1 (en) | 1998-03-05 | 1998-03-05 | Transverse feed device for vertical through-flow oven e.g. for semiconductor manufacture |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19809556A1 true DE19809556A1 (en) | 1999-09-09 |
Family
ID=7859888
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1998109556 Withdrawn DE19809556A1 (en) | 1998-03-05 | 1998-03-05 | Transverse feed device for vertical through-flow oven e.g. for semiconductor manufacture |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19809556A1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001027547A1 (en) * | 1999-10-08 | 2001-04-19 | Seho Systemtechnik Gmbh | Method and device for tempering components, e.g. semi-conductor circuits, circuit boards and the like |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19619485A1 (en) * | 1996-05-14 | 1997-12-04 | Luekon Paul Luescher Werke Ag | Handling device for flat workpieces in furnace |
-
1998
- 1998-03-05 DE DE1998109556 patent/DE19809556A1/en not_active Withdrawn
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19619485A1 (en) * | 1996-05-14 | 1997-12-04 | Luekon Paul Luescher Werke Ag | Handling device for flat workpieces in furnace |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Haake, H: Werdstattbücher, H. 51, 2. Aufl. (1953) Springer-Verlag Berlin, u.a., S. 42,43 * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2001027547A1 (en) * | 1999-10-08 | 2001-04-19 | Seho Systemtechnik Gmbh | Method and device for tempering components, e.g. semi-conductor circuits, circuit boards and the like |
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