DE19804594A1 - Transportvorrichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung liegt auf dem Gebiet des Transports, insbeson­ dere bei der Fertigung und Prüfung, von sensiblen Bauteilen, vor allem in der Halbleiterfertigung.

Dazu werden z. B. auch als Trays bezeichnete tablettförmige Transportvorrichtungen mit einzelnen Nestern oder Aufnahmen verwendet, die zur individuellen, geschützten und definierten Aufnahme der zu transportierenden Bauteile dienen. Um die je­ weilige Transportvorrichtung und damit die einzelnen Bautei­ le, zum Beispiel während des Fertigungsprozesses, verfolgen, identifizieren und somit logistisch zuordnen zu können, ist die Verwendung von mitgeführten Datenspeichern bzw. Datensen­ dern vorteilhaft.

Derartige Datensender/Datenspeicher werden auch als Transpon­ der bezeichnet. Üblicherweise werden in den Speicherbereich eines derartigen Transponders auslesbare Daten eingeschrie­ ben, die bedarfsweise von einem mit dem Transponder korre­ spondierenden Sende-/Empfangsgerät ausgelesen werden können. Die dazu transponderseitig notwendige Energie kann von dem Sende-/Empfangsgerät in Form elektromagnetischer Strahlung an den Transponder übertragen werden. Der Transponder sendet daraufhin seinen Speicherinhalt zurück.

Aus der älteren Patentanmeldung mit dem amtlichen Aktenzei­ chen 197 45 228.0 ist eine Transportvorrichtung der einlei­ tend beschriebenen Art bekannt, bei der der Transponder fest in die Transportvorrichtung integriert ist, beispielsweise indem der Transponder in dem Tray-Rahmen durch Einkleben, Vergießen oder Kleben fixiert ist. Dadurch verteuert sich je­ doch der Gesamtaufwand für eine derartige Transportvorrich­ tung.

Dies erscheint unter betriebswirtschaftlichen Gesichtspunkten nicht immer befriedigend, weil diese vergleichsweise kosten­ intensive Transportvorrichtung auch in den Phasen eines Transport- oder Lagerprozesses verwendet werden muß, in denen es auf die Leistungsmerkmale des Transponders überhaupt nicht ankommt. Im übrigen erfordert die bekannte Transportvorrich­ tung, daß vor der Lieferung der Bauteile beispielsweise an Kunden diese in eine nicht mit einem Transponder bestückte Transportvorrichtung umgelagert werden müssen, um die trans­ ponderbestückte Transportvorrichtung für einen erneuten Transportprozeß in der Fertigungs- oder Prüflinie verwenden zu können.

Die Aufgabe der Erfindung besteht daher in der Schaffung ei­ ner Transportvorrichtung mit mehreren Aufnahmen für elektro­ nische Bauteile und mit einem Transponder, die bei reduzier­ ten Kosten ein größeres Maß an Flexibilität ermöglicht.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Trans­ portvorrichtung mit mehreren Aufnahmen für einzelne elektro­ nische Bauelemente mit einem Transponder, der auslesbare Da­ ten zur Identifizierung der Transportvorrichtung und/oder de­ ren Inhalts enthält, wobei der Transponder in eine der Auf­ nahmen eingebracht ist und bedarfsweise aus dieser zerstö­ rungsfrei wieder entnehmbar ist.

Ein wesentlicher Aspekt der erfindungsgemäßen Transportvor­ richtung besteht darin, daß der jeweilige Transponder nicht unlösbar der jeweiligen Vorrichtung (z. B. dem Tray) zugeord­ net ist, sondern bedarfsweise äußerst einfach von der Trans­ portvorrichtung getrennt und anderweitig verwendet werden kann. Der Transponder ermöglicht somit bei erheblich erhöhter produktiver Auslastung eine logistische Zuordnung der Vor­ richtung bzw. der transportierten Bauteile. Durch die in den Transponder eingespeicherten und aus diesem bedarfsweise aus­ lesbaren Daten können nicht nur die Bauteile bzw. die jewei­ lige Transportvorrichtung zuverlässig identifiziert werden, sondern auch eine übergeordnete Zuordnung beispielsweise zu verschiedenen Fertigungslosen sichergestellt werden.

Ein wesentlicher Vorteil der erfindungsgemäßen Transportvor­ richtung besteht somit darin, daß der jeweilige Transponder jederzeit für andere Trays, Lose oder Prozeßbereiche einge­ setzt oder ausgetauscht werden kann. Ein weiterer ganz erheb­ licher Vorteil besteht darin, daß für die Produktion/Prüfung einerseits und für die anschließende Lagerung oder Ausliefe­ rung zum Kunden andererseits dieselbe Transportvorrichtung verwendet werden kann, wobei der Transponder zu gegebener Zeit zuvor entfernt wird. Die Notwendigkeit, zwei unter­ schiedliche Transportvorrichtungen (Trays) für die Produktion einerseits und die Lagerhaltung bzw. Lieferung andererseits vorzuhalten, entfällt daher. Daraus resultieren auch Kosten­ einsparungen, indem die Qualifikation, Betreuung von Änderun­ gen usw. nur noch für eine einzige Transportvorrichtungsart erforderlich ist. Ein weiterer wirtschaftlicher Vorteil bei Verwendung erfindungsgemäßer Transportvorrichtungen ergibt sich dadurch, daß insgesamt weniger Transponder erforderlich sind. Es müssen nämlich nur jeweils die Transportvorrichtun­ gen mit einem Transponder versehen sein, die tatsächlich in der jeweiligen Fertigungs- oder Prüflinie produktiv sind. Sind z. B. Trays im Lager oder zur Inspektion, wird der je­ weilige Transponder entnommen und für andere derzeit produk­ tive Trays verwendet.

Eine hinsichtlich der Handhabung und der gegebenenfalls auto­ matischen Bestückung der jeweiligen Aufnahme mit dem Trans­ ponder vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, daß der Transponder in einem Gehäuse untergebracht ist, das dem standardisierten Gehäuse der Bauteile entspricht. Dies hat außerdem den Vorteil, daß der Transponder gegebenenfalls durch auf die Bauteilgehäuse abgestimmte Halteelemente sicher und zuverlässig in seiner Aufnahme gehalten werden kann.

Ebenfalls hinsichtlich einer automatisierten Bestückung der Aufnahmen ist es vorteilhaft, wenn der Transponder in eine Aufnahme eingesetzt ist, die sich an einer vorbestimmten Po­ sition der Aufnahmevorrichtung befindet.

Nach einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist vor­ gesehen, daß in dem Transponder frei programmierbare Daten gespeichert sind. Dies erhöht die Flexibilität der erfin­ dungsgemäßen Vorrichtung dadurch weiter, daß zu jedem Ferti­ gungszeitpunkt Daten gelesen, geändert oder ergänzt werden können. Dadurch kann zum Beispiel die Transportvorrichtung über eine im Transponder gespeicherte Identnummer in einem neuen Los mit aufgenommen werden, wobei die Identnummer neben produktspezifischen Angaben (beispielsweise Speicherkapazität der Bausteine) auch einen Standortschlüssel und weitere pro­ duktbezogene Informationen enthalten kann.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines figürlich darge­ stellten Ausführungsbeispiels weiter erläutert.

Die Figur zeigt eine erfindungsgemäße Transportvorrichtung, die tablettförmig ausgestaltet ist (Tray) und mehrere Aufnah­ men aufweist. In jede Aufnahme 1 ist ein einzelnes elektroni­ sches Bauteil einsetzbar. Aus Gründen der Übersichtlichkeit ist die in der Figur gezeigte Transportvorrichtung nur mit wenigen Bauteilen 2 bestückt gezeigt. An einer bestimmten Po­ sition der Transportvorrichtung - nämlich in die Aufnahme 5 - ist (wie schematisch und stark vergrößert dargestellt) ein Gehäuse 6 eingebracht. Das Gehäuse enthält einen Transponder 7. Der Transponder 7 ist in an sich bekannter, z. B. eingangs und in der DE 197 45 228.0 beschriebener Weise aufgebaut und enthält eine schematisch angedeutete Sende- und Empfangsspule 8.

Die Spule 8 dient einerseits zur Aufnahme von Energie, die von einem externen, nicht dargestellten Sende-/Empfangsgerät abgestrahlt wird. Die so empfangene Energie wird im Transpon­ der umgesetzt und zum Auslesen und Senden von in dem Trans­ ponder gespeicherten Daten D verwendet. Das Transponderprin­ zip ist an sich bekannt und muß daher nicht weiter erläutert werden.

Die in dem Transponder gespeicherten Daten D dienen zur Iden­ tifizierung der Transportvorrichtung und zur Spezifizierung der in den Aufnahmen 1 enthaltenen Bauteile 2. Dies erfolgt üblicherweise mit einer den Bauteilen zugeordneten Identnum­ mer, die beispielsweise die Produktart, Varianten oder Prüf­ bedingungen repräsentieren kann. Mit Hilfe des Transponders läßt sich der Bauteilfluß beispielsweise in der Halbleiter­ fertigung verfolgen und eine logistische Zuordnung der Bau­ teile beispielsweise zu bestimmten Losen realisieren.

Der Transponder 7 ist in einem standardisierten Gehäuse SOJ untergebracht, das den SOJ-Gehäusen der Bauteile 2 ent­ spricht.

In einer alternativen Ausgestaltung kann der Transponder 7' mit seiner Spule 8' auch in einem Gehäuse 6' angeordnet sein, das beispielsweise die Form eines standardisierten TSOP-(Thin Small Outline Package)-Gehäuses hat, wenn vorzugsweise auch die Bauteile 2 ein entsprechendes TSOP-Gehäuse aufweisen. Dieser Transponder 7' kann anstelle des Transponders 7 in der definierten Position der Aufnahme 5 eingebracht sein und/oder auch in einer anderen definierten Aufnahme 10 abgelegt sein. Vorzugsweise sind die Datenspeicher der Transponder 7, 7' frei mit Codes beschreibbar, so daß während des Transportpro­ zesses bedarfsweise der Speicherinhalt geändert werden kann. Selbstverständlich können auch andere Gehäusetypen (beispielsweise QFP [Quad Flad Package] oder SO) vorgesehen werden. Sofern das Transpondergehäuse den Gehäusen der Bau­ teile entspricht, kann der Transponder in gleicher Weise wie die Bauteile in der jeweiligen Aufnahme 5, 10 festgelegt und gesichert werden.

Der Transponder 7 wird wie ein Bauteil 2 in die Aufnahme 5 eingelegt und kann jederzeit aus dieser auch wieder entnommen werden, um beispielsweise Verwendung in anderen Transportvor­ richtungen (Trays), Losen oder Prozeßbereichen zu finden. Die Verwendung von Transpondern mit frei programmierbaren Codes erhöht die Flexibilität der Transportvorrichtung erheblich. Nachdem die Bauteile die Fertigungs- oder Prüfphasen durch­ laufen haben, bei denen ein Transponder notwendig oder vor­ teilhaft ist, können die Bauteile 2 in dem Tray verbleiben, während der Transponder leicht entfernt werden kann. Die Not­ wendigkeit unterschiedliche Trays für die Produktion und Prü­ fung einerseits und anschließenden Transport oder Lagerung andererseits entfällt. Auch bei Funktionsstörungen des Trans­ ponders oder bei Beschädigungen der übrigen Transportvorrich­ tung ist ein jeweiliger Austausch der defekten Komponente problemlos unter Weiterverwendung der funktionstüchtigen Kom­ ponenten möglich. Insgesamt vermindert sich die Anzahl be­ reitzuhaltender Transponder erheblich, weil die Transportvor­ richtung nur so lange mit einem Transponder bestückt sein kann, wie die Leistungsmerkmale des Transponders benötigt werden, das heißt, so lange der Transponder tatsächlich pro­ duktiv ist.

Selbstverständlich kann der Aufnahmebereich der Transportvor­ richtung in Abweichung von dem dargestellten Beispiel auch anders gestaltet oder geformt sein, z. B. zur sequentiellen Aufnahme der Bauteile.

Claims (4)

1. Transportvorrichtung mit mehreren Aufnahmen (1) für ein­ zelne elektronische Bauteile (2)
mit einem Transponder (6), der auslesbare Daten (D) zur Iden­ tifizierung der Transportvorrichtung und/oder deren Inhalts enthält,
wobei der Transponder (6) in eine der Aufnahmen (5) einge­ bracht ist und bedarfsweise aus dieser zerstörungsfrei wieder entnehmbar ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Transponder (6) in einem Gehäuse (8) untergebracht ist, das dem standardisierten Gehäuse (SOJ) der Bauteile (2) ent­ spricht.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet daß der Transponder (6) in eine Aufnahme (5) eingesetzt ist, die sich an einer vorbestimmten Position der Aufnahmevorrichtung befindet.

4. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Transponder (6) frei programmierbare Daten (D) gespei­ chert sind.