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DE19781220D2 - Verfahren zum Trocknen von dünnen Schichten sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents

Verfahren zum Trocknen von dünnen Schichten sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

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Publication number
DE19781220D2
DE19781220D2 DE19781220D DE19781220D DE19781220D2 DE 19781220 D2 DE19781220 D2 DE 19781220D2 DE 19781220 D DE19781220 D DE 19781220D DE 19781220 D DE19781220 D DE 19781220D DE 19781220 D2 DE19781220 D2 DE 19781220D2
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DE
Germany
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carrying
thin layers
drying thin
drying
layers
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
DE19781220D
Other languages
English (en)
Other versions
DE19781220C1 (de
Inventor
Dietmar Gath
Claus Hellmann
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hellmann-Hygrex Luft- und Klimatechnik 22339 GmbH
Original Assignee
Hellmann-Hygrex Luft- und Klimatechnik 22848 Norderstedt De GmbH
Schlierbach 35435 Wettenberg De GmbH
HELLMANN HYGREX LUFT und KLIMA
SCHLIERBACH GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE19644717A external-priority patent/DE19644717A1/de
Application filed by Hellmann-Hygrex Luft- und Klimatechnik 22848 Norderstedt De GmbH, Schlierbach 35435 Wettenberg De GmbH, HELLMANN HYGREX LUFT und KLIMA, SCHLIERBACH GmbH filed Critical Hellmann-Hygrex Luft- und Klimatechnik 22848 Norderstedt De GmbH
Application granted granted Critical
Publication of DE19781220D2 publication Critical patent/DE19781220D2/de
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Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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