[go: up one dir, main page]

DE19743523A1 - X=ray image converter with reset light source e.g. for medical diagnostic imaging - Google Patents

X=ray image converter with reset light source e.g. for medical diagnostic imaging

Info

Publication number
DE19743523A1
DE19743523A1 DE19743523A DE19743523A DE19743523A1 DE 19743523 A1 DE19743523 A1 DE 19743523A1 DE 19743523 A DE19743523 A DE 19743523A DE 19743523 A DE19743523 A DE 19743523A DE 19743523 A1 DE19743523 A1 DE 19743523A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
ray image
image converter
layer
light source
pixel elements
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19743523A
Other languages
German (de)
Inventor
Martin Dr Rer Nat Hoheisel
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens AG
Siemens Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG, Siemens Corp filed Critical Siemens AG
Priority to DE19743523A priority Critical patent/DE19743523A1/en
Publication of DE19743523A1 publication Critical patent/DE19743523A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10FINORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F77/00Constructional details of devices covered by this subclass
    • H10F77/40Optical elements or arrangements
    • H10F77/496Luminescent members, e.g. fluorescent sheets
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B6/00Apparatus or devices for radiation diagnosis; Apparatus or devices for radiation diagnosis combined with radiation therapy equipment
    • A61B6/02Arrangements for diagnosis sequentially in different planes; Stereoscopic radiation diagnosis
    • A61B6/03Computed tomography [CT]
    • A61B6/032Transmission computed tomography [CT]
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/30Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from X-rays

Landscapes

  • Measurement Of Radiation (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)

Abstract

The x-ray image converter has a scintillator layer (5). It also has light sensitive pixel elements (3,4) arranged in a matrix. The converter also has an aSi semiconductor layer and an electro-luminescence layer (7) arranged behind the semiconductor layer in the beam direction. The electro-luminescent layer (7) provides a light source (2) to reset rest charges by illuminating the pixel elements. A first electrode (6) may be provided on a substrate (1), on which the electro-luminescent layer (7) is formed. A second transparent electrode (8) may be formed on the electro-luminescent layer (7). The pixel elements (3,4) are then provided on the second electrode (8).

Description

Die Erfindung betrifft einen Röntgenbildwandler, der eine Szintillatorschicht in einer Matrix angeordnete, lichtem­ pfindliche Pixelelemente mit einer aSi-Halbleiterschicht und eine in Strahlenrichtung dahinter angeordnete Lichtquelle zur Rücksetzung von Restladungen durch Beleuchtung der Pixelele­ mente aufweist.The invention relates to an X-ray image converter, the one Scintillator layer arranged in a matrix, light sensitive pixel elements with an aSi semiconductor layer and a light source arranged behind in the beam direction for Resetting of residual charges by lighting the Pixelele has elements.

Es sind Festkörper Matrix-Röntgenbildwandler bekannt, die aus einem Szintillator und einer Matrix von Photodioden aus amor­ phem Silizium (a-Si) bestehen. Diese Photodioden werden über Schaltelemente mit einer Sperrspannung aufgeladen und entla­ den sich dann entsprechend der eingestrahlten Röntgendosis.Solid-state matrix X-ray image converters are known which consist of a scintillator and a matrix of amor photodiodes phem silicon (a-Si) exist. These photodiodes are over Switching elements charged with a reverse voltage and discharged which then corresponds to the irradiated X-ray dose.

Um die Photodioden zu entladen und bezüglich des Besetzungs­ zustandes der im Halbleiter vorhandenen Haftstellen in einen wohldefinierten Ausgangszustand zu versetzen, müssen alle Dioden nach jedem Auslesezyklus zurückgesetzt werden.To discharge the photodiodes and regarding the occupation state of the traps in the semiconductor in one everyone needs to set a well-defined initial state Diodes are reset after each read cycle.

Es gibt zwei Rücksetzmöglichkeiten, das elektrische Rückset­ zen, das die Haftstellen nicht berührt, und das optische Rücksetzen, bei dem die Photodiode-Matrix von der Rückseite mit einem kurzen Lichtblitz beleuchtet wird, wie dies bei­ spielsweise in dem Artikel "Amorphous Silicon X-Ray Image Sensor" von J. Chabbal et al. in Proc. of SPIE Vol. 2708, Physics of Medical Imaging (1996), auf den Seiten 499 bis 510 beschrieben ist.There are two reset options, the electrical reset zen that does not touch the traps and the optical Reset where the photodiode matrix from the back is illuminated with a short flash of light, like this at for example in the article "Amorphous Silicon X-Ray Image Sensor "by J. Chabbal et al. In Proc. Of SPIE Vol. 2708, Physics of Medical Imaging (1996), pages 499 to 510 is described.

Das optische Rücksetzen ist besonders vorteilhaft, da durch ein gleichmäßiges Anfüllen von Haftstellen Informationen vorangegangener Bilder überschrieben werden. Folglich werden störende Nachbilder weitgehend unterdrückt. The optical reset is particularly advantageous because of an even filling of detention information previous images are overwritten. Consequently, be disturbing afterimages largely suppressed.  

Nachteilig ist die bislang verwendete Ausführungsform der zum Rücksetzen verwendeten Lichtquelle. Die verwendete Matrix aus Hunderten von Leuchtdioden, wie sie beispielsweise in der DE Patentanmeldung 196 06 873.8 beschrieben ist, ist teuer und muß in einigen Zentimetern Abstand angebracht werden, um eine gleichmäßige Ausleuchtung der Photodioden zu gewährleisten.A disadvantage is the previously used embodiment of the Reset used light source. The matrix used Hundreds of light-emitting diodes, such as those in DE Patent application 196 06 873.8 is described, is expensive and must be placed a few centimeters apart to ensure uniform illumination of the photodiodes.

Da immer alle Photodioden gleichzeitig beleuchtet werden, ist ein kontinuierlicher Betrieb des Detektors nicht möglich. Vielmehr muß mit gepulster Röntgenstrahlung gearbeitet wer­ den, was nicht immer wünschenswert ist.Since all photodiodes are always illuminated at the same time continuous operation of the detector is not possible. Rather, who has to work with pulsed X-rays what is not always desirable.

Die Erfindung geht von der Aufgabe aus, einen Röntgenbild­ wandler der eingangs genannten Art zu schaffen, der einen einfachen und kompakten Aufbau aufweist.The object of the invention is an x-ray image to create transducers of the type mentioned at the beginning simple and compact structure.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Röntgenbildwandler eine Elektrolumineszenz-Schicht als Licht­ quelle aufweist. Eine derartige Anordnung mit einer dünnen Elektrolumineszenz-Schicht erlaubt eine sehr kompakte Aus­ führung des Röntgenbildwandlers.The object is achieved in that the X-ray image converter uses an electroluminescent layer as light source. Such an arrangement with a thin Electroluminescent layer allows a very compact off guidance of the X-ray image converter.

In vorteilhafter Weise kann auf einem Substrat eine erste Elektrode aufgebracht sein, auf der die Elektrolumines­ zenz-Schicht abgeschieden ist, und auf der Elektrolumines­ zenz-Schicht eine zweite, transparente Elektrode aufgetragen sein, auf der sich die aSi-Halbleiterschicht mit der Matrix von Pixelelementen befindet.A first can advantageously be on a substrate Be applied electrode on which the electrolumines zenz layer is deposited, and on the electrolumines zenz layer, a second, transparent electrode can be applied, on which the aSi semiconductor layer with the matrix of Pixel elements.

Eine Isolierierung der Rücksetz-Lichtquelle vom darauf fol­ genden Röntgenbildwandler läßt sich erreichen, wenn die Ma­ trix von Pixelelementen von Passivierungsschichten umgeben ist.Isolation of the reset light source from the following X-ray image converter can be achieved if the Ma trix of pixel elements surrounded by passivation layers is.

Eine zeilenweise Rücksetzung wird ermöglicht, wenn eine der Elektroden in Richtung der Zeilen der Matrix in Elektroden­ streifen unterteilt ist. A line by line reset is possible if one of the Electrodes in the direction of the rows of the matrix in electrodes strip is divided.  

Erfindungsgemäß kann die Elektrolumineszenz-Schicht aus amor­ phem, porösen Silizium, polykristallinem, porösen Silizium, oxydiertem, nanokristallinem Silizium oder aus amorphem Si­ liziumsuboxid bestehen.According to the invention, the electroluminescent layer can be made of amor phem, porous silicon, polycrystalline, porous silicon, oxidized, nanocrystalline silicon or amorphous Si lizium suboxide exist.

Die Erfindung ist nachfolgend anhand von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zei­ gen:The invention is based on in the drawing illustrated embodiments explained in more detail. It shows gene:

Fig. 1 einen vereinfachten Querschnitt durch einen erfin­ dungsgemäßen Röntgenbildwandler zur Erläuterung des Prinzips, Fig. 1 is a simplified cross-section through an image intensifier OF INVENTION to the invention for explaining the principle,

Fig. 2 einen Aufbau des erfindungsgemäßen Röntgenbildwand­ lers mit einer Halbleiterschicht mit Elektrolumi­ neszenz, Fig. 2 shows a construction of the X-ray screen invention toddlers neszenz with a semiconductor layer having Elektrolumi,

Fig. 3 einen Aufbau des erfindungsgemäßen Röntgenbildwand­ lers mit einer unterteilten Halbleiterschicht mit Elektrolumineszenz und Fig. 3 shows a structure of the X-ray screen according to the invention with a divided semiconductor layer with electroluminescence and

Fig. 4 einen zeitlichen Verlauf der Auslesung des Röntgen­ bildwandlers gemäß Fig. 3 bei Verwendung von Schaltdioden. Fig. 4 shows a time course of the reading of the X-ray image converter according to FIG. 3 when using switching diodes.

In Fig. 1 ist der prinzipielle Aufbau des erfindungsgemäßen Röntgenbildwandlers im Querschnitt dargestellt. Auf einem Substrat 1 ist eine elektrolumineszente Lichtquelle 2 ange­ bracht. Auf der Lichtquelle 2 befinden sich in einer Matrix angeordnete, lichtempfindliche Pixelelemente, die Photodioden 3 und Schalter, beispielsweise Schaltdioden 4, aufweisen. Auf der Pixelmatrix ist ein Szintillator 5 aufgebracht, der die auf der der aSi-Halbleiterschicht gegenüberliegenden Seite einfallenden Röntgenstrahlen in sichtbares Licht umwandelt, das dann von der aSi-Halbleiterschicht in eine elektrische Signalfolge umgesetzt wird. Zusammen mit dem Szintillator 5, der aSi-Halbleiterschicht und der elektrolumineszenten Licht­ quelle 2 erlaubt dies die Herstellung eines sehr dünnen (ca. 3 mm) Röntgenbildwandlers.In Fig. 1 the basic structure of the X-ray image converter according to the invention is shown in cross section. On a substrate 1 , an electroluminescent light source 2 is introduced . On the light source 2 there are light-sensitive pixel elements arranged in a matrix, which have photodiodes 3 and switches, for example switching diodes 4 . A scintillator 5 is applied to the pixel matrix and converts the X-rays incident on the side opposite the aSi semiconductor layer into visible light, which is then converted into an electrical signal sequence by the aSi semiconductor layer. Together with the scintillator 5 , the aSi semiconductor layer and the electroluminescent light source 2 , this allows the production of a very thin (approx. 3 mm) X-ray image converter.

Ein solcher Röntgenbildwandler kann einen beispielsweise in Fig. 2 dargestellten Aufbau aufweisen. Auf dem Substrat 1 ist eine erste Elektrode 6 aufgebracht, auf der eine Elektro­ lumineszenz-Schicht 7 abgeschieden wird. Auf diese Schicht folgt eine zweite Elektrode 8. Eine anschließende Passivie­ rungsschicht 9 isoliert diese Rücksetz-Lichtquelle 2 von der darauffolgenden aSi-Halbleiterschicht mit in einer Matrix angeordneten, lichtempfindlichen Pixelelementen. Auf die Pas­ sivierungsschicht 9 werden als Pixelelemente beispielsweise Spalten-Elektroden 10, n-i-p-Photodioden 3, p-i-n-Schalt­ dioden 4 oder Dünnfilm-Transistoren (TFT) und Zeilen-Elektro­ den 11 sowie die nicht dargestellten notwendigen Verbindungs­ leitungen und Kontaktlöcher und anschließend eine Passivie­ rungsschicht 12 aufgebracht. In Verbindung mit einem geeig­ neten Szintillator 5 erhält man den erfindungsgemäßen Rönt­ genbildwandler.Such an X-ray image converter can have a structure as shown in FIG. 2, for example. On the substrate 1 , a first electrode 6 is applied, on which an electroluminescent layer 7 is deposited. A second electrode 8 follows this layer. A subsequent passivation layer 9 isolates this reset light source 2 from the subsequent aSi semiconductor layer with light-sensitive pixel elements arranged in a matrix. On the passivation layer 9 , for example, column electrodes 10 , nip photodiodes 3 , pin switching diodes 4 or thin-film transistors (TFT) and line electrodes 11 as well as the necessary connecting lines and contact holes (not shown) and then a passive element are used as pixel elements tion layer 12 applied. In conjunction with a suitable scintillator 5 , the X-ray image converter according to the invention is obtained.

Die Elektrolumineszenz-Schicht 7 kann aus einer elektrolumi­ neszenten Halbleiterschicht, beispielsweise einer p-i-n-Schicht­ folge aus polykristallinem Silizium bestehen. Eine solche Schicht kann beispielsweise durch Laser-Rekristalli­ sierung einer amorphen Siliziumschicht hergestellt werden. Die polykristalline Siliziumschicht wird einem elektroche­ mischen Ätzverfahren unterworfen, das sie in poröses Silizium verwandelt. Ein derartiges Verfahren ist beispielsweise in Applied Physics Letters Band 65, 3. 10. 1994, von P. Guyader et al. auf Seite 1787 ff. beschrieben.The electroluminescent layer 7 can consist of an electroluminescent semiconductor layer, for example a pin layer sequence made of polycrystalline silicon. Such a layer can be produced, for example, by laser recrystallization of an amorphous silicon layer. The polycrystalline silicon layer is subjected to an electrochemical etching process, which converts it into porous silicon. Such a method is described, for example, in Applied Physics Letters Volume 65, October 3, 1994, by P. Guyader et al. on page 1787 ff.

Die Elektrolumineszenz-Schicht 7 ist von den beiden Elektro­ den 6 und 8 umgeben. Eine zwischen diesen beiden Elektroden 6 und 8 angelegte Spannung läßt einen Strom fließen, der die Halbleiterschicht zur Elektrolumineszenz anregt. The electroluminescent layer 7 is surrounded by the two electrodes 6 and 8 . A voltage applied between these two electrodes 6 and 8 causes a current to flow, which excites the semiconductor layer for electroluminescence.

Als leuchtende Halbleiterschicht wird erfindungsgemäß eine amorphe oder polykristalline, poröse Siliziumschicht einge­ setzt. Das poröse Silizium zeigt eine Lumineszenz im orangen Spektralbereich um 650 nm Wellenlänge. [N. M. Kalkhoran et al., Appl. Phys. Lett. 63, 2661, (1993)]. Da für großflächige Rönt­ gendetektoren aus amorphem Silizium eine großflächige, leuch­ tende Schicht erforderlich ist, scheiden einkristalline Halb­ leiter aus. Polykristallines Silizium ist besonders gut als Ausgangsmaterial geeignet, da es mit hoher Leitfähigkeit her­ gestellt werden kann. Dadurch ist gewährleistet, daß die für die Anregung von Elektrolumineszenz notwendigen hohen Strom­ dichten zugeführt werden können.According to the invention, one is used as the luminous semiconductor layer amorphous or polycrystalline, porous silicon layer inserted puts. The porous silicon shows a luminescence in orange Spectral range around 650 nm wavelength. [N. M. Kalkhoran et al., Appl. Phys. Lett. 63, 2661, (1993)]. As for large-area X-ray amorphous silicon detectors have a large, luminous layer is required to separate single-crystal semi-crystals head out. Polycrystalline silicon is particularly good as Starting material suitable because it comes with high conductivity can be put. This ensures that the for the excitation of electroluminescence necessary high current densities can be fed.

Andere Möglichkeiten für leuchtende Dünnfilm-Halbleiter bie­ ten oxydiertes, nanokristallines Silizium [H. Tamura et al., Thin Solid Films 255, 92, (1995)] oder amorphes Siliziumsub­ oxid [D. Dimova-Malinovska et al., Proc. of the 9th ISCMP Varna 1996].Other possibilities for luminous thin film semiconductors bie ten oxidized, nanocrystalline silicon [H. Tamura et al., Thin Solid Films 255, 92, (1995)] or amorphous silicon sub oxide [D. Dimova-Malinovska et al., Proc. of the 9th ISCMP Varna 1996].

In einer anderen Ausführung dieses Röntgenbildwandlers kann anstelle des porösen Siliziums eine Schicht aus nanokristal­ linem Silizium verwendet werden, das nach seiner Abscheidung einer Oxidationsbehandlung unterzogen wird.In another version of this X-ray image converter can instead of porous silicon, a layer made of nanocrystals Linem silicon can be used after its deposition is subjected to an oxidation treatment.

In einer weiteren erfindungsgemäßen Ausführung dieses Rönt­ genbildwandlers kann anstelle des porösen Siliziums eine Schicht aus amorphem Siliziumsuboxid verwendet werden.In a further embodiment of this X-ray according to the invention gene image converter can instead of the porous silicon Layer of amorphous silicon suboxide can be used.

Durch die Strukturierung der Rücksetz-Lichtquelle 2 in Strei­ fenform können die Photodioden 3 zeilenweise zurückgesetzt werden. Erfolgt dies synchron zur zeilenweisen Auslesung, ist ein kontinuierlicher Betrieb der Röntgenröhren möglich. Wie in Fig. 3 dargestellt werden die Schicht folgen wie oben be­ schrieben hergestellt. Allerdings wird die Elektrolumines­ zenz-Schicht 7 zeilenweise strukturiert, indem beispielsweise die obere Elektrode 8 (Fig. 2) in Elektrodenstreifen 13 unterteilt wird. By structuring the reset light source 2 in Strei fenform, the photodiodes 3 can be reset line by line. If this is done synchronously with the line-by-line reading, continuous operation of the X-ray tubes is possible. As shown in Fig. 3, the layer are made as described above. However, the electroluminescent layer 7 is structured line by line, for example by dividing the upper electrode 8 ( FIG. 2) into electrode strips 13 .

Die Auslesung eines derartigen Röntgenbildwandlers kann im Falle der Verwendung von Schaltdioden zeitlich wie in Fig. 4 dargestellt ablaufen. Die n. Zeile von Photodioden 3 des Röntgenbildwandlers wird über die Schaltdioden 4 mit einer Sperrspannung 14 beaufschlagt. Anschließend folgen die n+1., n+2. Zeile usw. mit den Sperrspannungen 15, 16, usw. Während dieser Zeit trifft Röntgenstrahlung auf den Röntgenbildwand­ ler und das Szintillationslicht entlädt die Photodioden 3 entsprechend dem lokalen Signal. Nachdem alle Photodiode 3 aufgeladen wurden beginnt der zweite Zyklus. Jede Zeile wird mit einer beispielsweise um 0,5-1 V höheren Spannung 17 bis 19 angesteuert. Die dazu notwendige Ladung ist ein Maß für die empfangene Röntgendosis. Anschließend wird ein Elektro­ denstreifen 13 der integrierten Rücksetz-Lichtquelle 2 akti­ viert und die Photodioden 3 der jeweiligen Zeile werden mit einem Lichtblitz 20 bis 22 entladen. Danach werden sie wieder auf die niedrigere Spannung 23 bis 25 aufgeladen und der ge­ samte Zyklus beginnt von vorne. Die Röntgenröhre kann unun­ terbrochen betrieben werden. Eine gepulste Strahlung ist nicht erforderlich.The read-out of such an X-ray image converter can be timed as shown in FIG. 4 if switching diodes are used. The nth line of photodiodes 3 of the X-ray image converter is acted upon by a blocking voltage 14 via the switching diodes 4 . This is followed by the n + 1., N + 2. Line etc. with the blocking voltages 15 , 16 , etc. During this time, X-ray radiation strikes the X-ray image wall and the scintillation light discharges the photodiodes 3 in accordance with the local signal. After all photodiodes 3 have been charged, the second cycle begins. Each line is driven with a voltage 17 to 19, for example higher by 0.5-1 V. The charge required for this is a measure of the x-ray dose received. Subsequently, an electric denstreifen 13 of the integrated reset light source 2 is activated and the photodiodes 3 of the respective line are discharged with a flash of light 20 to 22 . Then they are recharged to the lower voltage 23 to 25 and the entire cycle begins again. The X-ray tube can be operated continuously. Pulsed radiation is not required.

Derartige erfindungsgemäße Röntgenbildwandler lassen sich in Röntgendiagnostikeinrichtungen im Durchleuchtungsbetrieb ein­ setzen, bei der von einem Röntgenstrahler ausgehende Röntgen­ strahlen einen Patienten durchdringen und entsprechend der Transparenz des Patienten geschwächt als Röntgenstrahlenbild auf die Szintillatorschicht des Röntgenbildwandlers fallen. Der Röntgenbildwandler erzeugt ein dem Röntgenstrahlenbild entsprechendes Videosignal, das in einem Bildsystem gespei­ chert und verarbeitet und auf einem Monitor als Röntgenbild wiedergegeben werden kann.Such X-ray image converters according to the invention can be found in X-ray diagnostic equipment in the fluoroscopic mode put in the X-ray emitted by an X-ray tube radiate penetrate a patient and according to the Transparency of the patient weakened as an X-ray image fall on the scintillator layer of the X-ray image converter. The X-ray image converter generates an X-ray image corresponding video signal, which is stored in an image system chores and processes and on a monitor as an X-ray image can be played.

Erfindungsgemäß wird als Rücksetz-Lichtquelle eine dünne Halbleiterschicht eingesetzt, die Elektrolumineszenz zeigt.According to the invention, a thin one is used as the reset light source Semiconductor layer used, which shows electroluminescence.

Claims (8)

1. Röntgenbildwandler, der eine Szintillatorschicht (5), in einer Matrix angeordnete, lichtempfindliche Pixelelemente (3, 4) mit einer aSi-Halbleiterschicht und eine in Strahlenrich­ tung dahinter angeordnete Elektrolumineszenz-Schicht (7) als Lichtquelle (2) zur Rücksetzung von Restladungen durch Be­ leuchtung der Pixelelemente aufweist.1. X-ray image converter, a scintillator layer ( 5 ), arranged in a matrix, light-sensitive pixel elements ( 3 , 4 ) with an aSi semiconductor layer and an electroluminescent layer ( 7 ) arranged behind in the direction of radiation as a light source ( 2 ) for resetting residual charges by illumination of the pixel elements. 2. Röntgenbildwandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf einem Substrat (1) eine erste Elektrode (6) aufgebracht ist, auf der die Elek­ trolumineszenz-Schicht (7) abgeschieden ist, und daß auf der Elektrolumineszenz-Schicht (7) eine zweite, transparente Elektrode (8, 13) aufgetragen ist, auf der sich die Matrix von Pixelelementen (3, 4) befindet.2. X-ray image converter according to claim 1, characterized in that on a substrate ( 1 ) a first electrode ( 6 ) is applied, on which the electroluminescent layer ( 7 ) is deposited, and that on the electroluminescent layer ( 7 ) one second, transparent electrode ( 8 , 13 ) is applied, on which the matrix of pixel elements ( 3 , 4 ) is located. 3. Röntgenbildwandler nach Anspruch 1 oder 2, da­ durch gekennzeichnet, daß die Matrix von Pixelelementen (3, 4) von Passivierungsschichten (9, 12) umgeben ist.3. X-ray image converter according to claim 1 or 2, characterized in that the matrix of pixel elements ( 3 , 4 ) is surrounded by passivation layers ( 9 , 12 ). 4. Röntgenbildwandler nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine der Elektroden (6, 8) in Richtung der Zeilen der Matrix in Elektrodenstreifen (13) unterteilt ist.4. X-ray image converter according to one of claims 1 to 3, characterized in that one of the electrodes ( 6 , 8 ) in the direction of the rows of the matrix is divided into electrode strips ( 13 ). 5. Röntgenbildwandler nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrolumineszenz-Schicht (7) aus amorphem, porösen Silizium besteht.5. X-ray image converter according to one of claims 1 to 4, characterized in that the electroluminescent layer ( 7 ) consists of amorphous, porous silicon. 6. Röntgenbildwandler nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrolumineszenz-Schicht (7) aus polykristallinem, porösen Silizium besteht. 6. X-ray image converter according to one of claims 1 to 4, characterized in that the electroluminescent layer ( 7 ) consists of polycrystalline, porous silicon. 7. Röntgenbildwandler nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrolumineszenz-Schicht (7) aus oxydiertem, nanokristalli­ nen Silizium besteht.7. X-ray image converter according to one of claims 1 to 4, characterized in that the electroluminescent layer ( 7 ) consists of oxidized, nanocrystalline silicon. 8. Röntgenbildwandler nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrolumineszenz-Schicht (7) aus amorphem Siliziumsuboxid besteht.8. X-ray image converter according to one of claims 1 to 4, characterized in that the electroluminescent layer ( 7 ) consists of amorphous silicon suboxide.
DE19743523A 1997-10-01 1997-10-01 X=ray image converter with reset light source e.g. for medical diagnostic imaging Withdrawn DE19743523A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19743523A DE19743523A1 (en) 1997-10-01 1997-10-01 X=ray image converter with reset light source e.g. for medical diagnostic imaging

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19743523A DE19743523A1 (en) 1997-10-01 1997-10-01 X=ray image converter with reset light source e.g. for medical diagnostic imaging

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE19743523A1 true DE19743523A1 (en) 1999-04-15

Family

ID=7844364

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19743523A Withdrawn DE19743523A1 (en) 1997-10-01 1997-10-01 X=ray image converter with reset light source e.g. for medical diagnostic imaging

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE19743523A1 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19934980A1 (en) * 1999-07-26 2001-02-08 Siemens Ag X=ray diagnostic apparatus
EP1176814A3 (en) * 2000-07-28 2008-05-28 Canon Kabushiki Kaisha Photoelectric conversion device, radiation detection apparatus, image processing system, and driving method thereof
DE102011004936A1 (en) * 2011-03-02 2012-09-06 Siemens Aktiengesellschaft X-ray detector and medical X-ray device
WO2015063314A1 (en) * 2013-11-04 2015-05-07 Trixell Digital detector possessing a generator of light enabling optical wiping

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4810881A (en) * 1986-04-30 1989-03-07 Thomson-Csf Panel for X-ray photography and method of manufacture

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4810881A (en) * 1986-04-30 1989-03-07 Thomson-Csf Panel for X-ray photography and method of manufacture

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
"Physics Today" (Jan. 1997) 24-31 *

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19934980A1 (en) * 1999-07-26 2001-02-08 Siemens Ag X=ray diagnostic apparatus
US6359965B1 (en) 1999-07-26 2002-03-19 Siemens Aktiengesellschaft Diagnostic radiography system with a flat x-ray image converter with back-illumination
DE19934980B4 (en) * 1999-07-26 2004-02-12 Siemens Ag X-ray diagnostic device with a flat X-ray image converter with back lighting
EP1176814A3 (en) * 2000-07-28 2008-05-28 Canon Kabushiki Kaisha Photoelectric conversion device, radiation detection apparatus, image processing system, and driving method thereof
DE102011004936A1 (en) * 2011-03-02 2012-09-06 Siemens Aktiengesellschaft X-ray detector and medical X-ray device
US8785862B2 (en) 2011-03-02 2014-07-22 Siemens Aktiengesellschaft X-ray detector and medical X-ray device
WO2015063314A1 (en) * 2013-11-04 2015-05-07 Trixell Digital detector possessing a generator of light enabling optical wiping
FR3012934A1 (en) * 2013-11-04 2015-05-08 Trixell DIGITAL DETECTOR HAVING A LIGHT GENERATOR FOR OPTICAL ERASING
US9634057B2 (en) 2013-11-04 2017-04-25 Trixell Digital detector possessing a generator of light enabling optical wiping

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69712713T2 (en) A large-area solid-state X-ray detector with adjustable bias setting
DE69635303T2 (en) X-RAY RADIATION IMAGE SENSOR
DE69029464T2 (en) Solid state radiation detector
DE69635333T2 (en) Device for taking x-rays
DE3531448C2 (en)
DE69616030T2 (en) X-RAY EXAMINATION DEVICE INCLUDING AN IMAGE MATRIX WITH CORRECTION UNIT
DE69511292T2 (en) ACTIVE X-RAY IMAGE MATRIX
DE69327898T2 (en) Electronic method and device for acquiring an X-ray image
DE69505375T2 (en) DEVICE, SYSTEM AND METHOD FOR TAKING PICTURES
DE3312264A1 (en) DEVICE FOR TAKING X-RAY IMAGES
EP0279294A1 (en) Diagnostic dental X-ray installation for carrying out a panoramic tomography of a patient's jaw
DE4435105C2 (en) X-ray diagnostic device with a solid-state image converter and method for its operation
DE69930286T2 (en) Image device with time delay integration and radiation hits
DE69417407T2 (en) LOW NOISE FLUOROSCOPIC SOLID IMAGING DEVICE FOR RADIATION
DE69614613T2 (en) Device for imaging electromagnetic radiation
DE69907485T2 (en) DIRECT X-RAY IMAGE SENSOR WITH A DIELECTRIC LAYER THAT HAS A ADJUSTED TIME CONSTANT
DE19743523A1 (en) X=ray image converter with reset light source e.g. for medical diagnostic imaging
DE3910462C2 (en)
DE19606873A1 (en) X=ray diagnosis appts. with solid state image converter
DE69832602T2 (en) ILLUSTRATING SOLID-BODY DETECTOR IS EXPOSED TO IONIZING RADIATION AND HAS A MEASURING DEVICE
DE4405233C1 (en) X-ray display unit
DE2946108C2 (en) Radiation detector
DE10137012B4 (en) X-ray diagnostic device with a planar solid-state X-ray image converter
EP0056839B1 (en) Radiation sensitive solid-state image converter
DE102006033716A1 (en) X-ray diagnosis apparatus, with digital imaging, has a dosage measurement sensor using part of the scintillating light with a matrix of detection sensors

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8139 Disposal/non-payment of the annual fee