DE19649600A1

DE19649600A1 - Deformierbarer Spiegel, Verfahren zum Herstellen desselben und ein einen derformierbaren Spiegel verwendendes Gerät

Info

Publication number: DE19649600A1
Application number: DE19649600A
Authority: DE
Inventors: Hirotsugu Matoba; Susumu Hirata; Yorishige Ishii; Shingo Abe; Hiroshi Onda; Tetsuya Inui
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1995-11-30
Filing date: 1996-11-29
Publication date: 1997-06-05
Also published as: KR970029422A; JPH09152505A; US5719846A

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen deformier baren Spiegel mit einer deformierbaren reflektierenden Ober fläche und ein Verfahren zum Herstellen desselben sowie auf ein optisches Gerät und ein Aufzeichnungs/Wiedergabegerät, das denselben verwendet. Insbesondere betrifft die vorliegen de Erfindung einen deformierbaren Spiegel, der genaue Auf zeichnungs- und Wiedergabeoperationen bezüglich einer opti schen Platte einschließlich eines Substrates mit einer will kürlichen Dicke erlaubt, und ein Verfahren zum Herstellen desselben sowie ein optisches Gerät und ein Aufzeichnungs-/ Wiedergabegerät, das denselben verwendet.

In den letzten Jahren werden optische Platten immer öfters auf einem weiten Anwendungsgebiet einschließlich Audio- und Videogeräten und Computern eingesetzt, da eine große Anzahl von Informationssignalen auf einer optischen Platte mit hoher Dichte aufgezeichnet werden kann. Fig. 32 ist ein schematisches Diagramm, das eine beispielhafte Anordnung eines auf derartige Geräte anwendbaren optischen Abnehmers zeigt. In dem in Fig. 32 dargestellten optischen Abnehmer 100 wird ein von einer Halbleiterlaservorrichtung 101 emittierter Lichtstrahl 103 durch eine Kollimatorlinse 102 kollimiert bzw. parallel gemacht. Nachdem der kollimierte Lichtstrahl 103 auf einen Strahlteiler 104 einfällt, ver läuft der Lichtstrahl 103 gerade durch den Strahlteiler 104, durchsetzt ein Viertelwellenlängenplättchen 105 und fällt auf einen reflektierenden Spiegel 106 ein. Der optische Strahlengang des Lichtstrahles 103 ist gebogen, um auf eine Objektivlinse 107 einzufallen. Das auf die Objektivlinse 107 einfallende Licht wird durch die Objektivlinse 107 konver giert, so daß ein Lichtfleck 109 auf einer Informationsauf zeichnungsoberfläche einer durch einen Rotationsmotor 113 gelagerten optischen Platte 108 gebildet wird.

Sodann kehrt der durch die optische Platte 108 reflektierte Lichtstrahl 110 zu der Objektivlinse 107 zurück und verläuft durch die Objektivlinse 107, den reflektierenden Spiegel 106 und das Viertelwellenlängenplättchen 105 und fällt wieder auf den Strahlteiler 104 ein. Der reflektierte Lichtstrahl 110 wird durch den Polarisationsstrahlteiler 104 reflek tiert, da der Lichtstrahl 110 eine Polarisation aufweist, die von derjenigen des Lichtstrahles 103 verschieden ist, da das Licht 110 das Viertelwellenlängenplättchen 105 zweimal durchsetzt hat. Der von dem Strahlteiler 104 reflektierte Lichtstrahl 110 wird durch eine Sammel- oder Konvergenzlinse 111 gesammelt bzw. konvergiert und dann durch einen Photo detektor 112 empfangen. Der Photodetektor 112 erfaßt die Stärke des reflektierten Lichtstrahles 110, um so ein wieder gegebenes Signal zu erfassen.

Die Objektivlinse 107, die für einen optischen Abnehmer mit einer derartigen Anordnung verwendbar ist, ist allgemein im Hinblick auf die Dicke der optischen Platte 108 ausgelegt. Jedoch wird in dem Fall, in welchem versucht wird, eine der artige Objektivlinse 107 auf eine optische Platte 108 anzu wenden, die eine von dem ausgelegten Wert verschiedene Dicke hat, eine sphärische Aberration verursacht, so daß die Abbil dungsfähigkeit hiervon verschlechtert wird und die Aufzeich nungs- und Wiedergabeoperationen nicht durchgeführt werden können. In verschiedenen Arten von herkömmlichen optischen Platten einschließlich einer Kompaktplatte, einer Videoplat te und anderen Platten, die auf ein magnetooptisches Platten gerät oder dergl. anwendbar sind, das an den Standard der Internationalen Standardisierungsorganisation (ISO) angepaßt ist, wurde die Dicke hiervon auf einen im wesentlichen glei chen Wert (d. h., etwa 1,2 mm) eingestellt. Somit ist es bis her für den gleichen optischen Abnehmer möglich, Information auf/von verschiedenen Arten von optischen Platten einschließ lich einer Kompaktplatte, einer Videoplatte und einer magne tooptischen Platte aufzuzeichnen und wiederzugeben.

Jedoch wurden in den letzten Jahren verschiedene Arten von Verfahren neu entwickelt, um weiter die Aufzeichnungsdichte einer optischen Platte zu steigern. Dies gilt beispielsweise für (1) ein Verfahren zum Verbessern der optischen Auflösung einer Objektivlinse durch Vergrößern der numerischen Apertur (NA) hiervon und (2) ein Verfahren, bei dem zahlreiche Auf zeichnungsschichten vorgesehen sind.

Wenn die NA einer Objektivlinse gemäß dem Verfahren (1) ge steigert wird, nimmt der Durchmesser eines konvergierten Strahles proportional hierzu ab, jedoch wird es erforder lich, die Substratdicke einer Platte zu verringern, um unge fähr die gleiche Toleranz für eine Plattenschräge zu reali sieren. Wenn beispielsweise die NA einer Objektivlinse von etwa 0,5 auf etwa 0,6 zunimmt, kann ungefähr die gleiche Toleranz nicht für eine Plattenschräge realisiert werden, wenn nicht die Substratdicke der Platte von etwa 1,2 mm auf etwa 0,6 mm reduziert wird.

Wenn jedoch in dem Fall, in dem die Substratdicke einer Plat te auf einen derartigen Wert reduziert wird, versucht wird, Information auf/von einer herkömmlichen optischen Platte mit tels einer Objektivlinse entsprechend einer derartigen opti schen Platte mit einer reduzierten Substratdicke aufzuzeich nen und wiederzugeben, dann nimmt die sphärische Aberration zu, und der Lichtfleck auf der Platte wird in nachteilhafter Weise vergrößert, so daß es schwierig wird, Aufzeichnungs- und Wiedergabeoperationen auszuführen. Da es nicht länger möglich ist, Kompatibilität zwischen einer derartigen dünnen Platte und einer herkömmlichen optischen Platte aufrechtzuer halten, müssen zwei getrennte optische Abnehmer zum Aufzeich nen und Wiedergeben von Information auf/von einer dünnen optischen Platte bzw. einer herkömmlichen optischen Platte verwendet werden.

Andererseits nimmt in dem Fall der Verwendung einer Mehr schichtplatte, bei der eine Vielzahl von Aufzeichnungsschich ten über einem transparenten Substrat mit einer gewissen Dicke entsprechend dem Verfahren (2) vorgesehen ist, die Auf zeichnungskapazität je Platte beträchtlich zu. Da jedoch ein optischer Abnehmer zum Handhaben verschiedener Abstände von der Objektivlinse zu den jeweiligen Aufzeichnungsschichten erforderlich ist, kann ein einziger optischer Abnehmer nicht korrekt Information auf/von jeder Aufzeichnungsschicht in einer derartigen Mehrschichtplatte aufzeichnen und wieder geben.

Als ein Verfahren zum Lösen derartiger Probleme ist ein Ver fahren zum Korrigieren einer Substratdicke mittels eines de formierbaren Spiegels aus der japanischen offengelegten Patentveröffentlichung Nr. 5-151591 bekannt. Fig. 33 ist ein schematisches Diagramm, das ein optisches System eines Plat tengerätes zeigt, das einen derartigen deformierbaren Spie gel verwendet.

Wie in Fig. 33 gezeigt ist, verläuft der von der Halbleiter laservorrichtung 101 emittierte Strahl 103 durch die Kollima torlinse 102, um den Strahlteiler 104 zu erreichen. Der Strahl 103 hat eine derartige Polarisation, daß der Strahl teiler 104 von dem Strahl 103 durchsetzt werden kann. Somit verläuft der Strahl 103 durch den Strahlteiler 104 und das Viertelwellenlängenplättchen 105 und fällt auf einen Strahl teiler 152 ein. Durch Durchsetzen des Viertelwellenlängen plättchens 105 ändert sich die Polarisation des Strahles 103, so daß der Strahl 103 durch den Strahlteiler 152 verlau fen kann. Daher verläuft der Strahl 103 auch durch den Strahlteiler 152, um ein Viertelwellenlängenplättchen 151 zu erreichen.

Nach Durchsetzen des Viertelwellenlängenplättchens 151 er reicht der Strahl 103 einen deformierbaren Spiegel 150. Der deformierbare Spiegel 150 ist ein Spiegel, der eine defor mierbare reflektierende Oberfläche bzw. Reflexionsfläche hat. Wenn eine optische Platte 108 mit einer größeren Sub stratdicke installiert wird, wird die Oberfläche des Spie gels 150 durch eine Ansteuerschaltung 153 für den deformier baren Spiegel deformiert, um dadurch eine spärische Aberra tion auf den Strahl 103 einwirken zu lassen, welche die sphärische Aberration aufhebt, die durch die Steigerung in der Substratdicke bedingt ist.

Der Strahl 103, der durch den deformierbaren Spiegel 150 reflektiert wurde, kehrt durch das Viertelwellenlängenplätt chen 151 zurück und wird durch den Strahlteiler 152 reflek tiert, um die Objektivlinse 107 zu erreichen. Das auf die Objektivlinse 107 einfallende Licht wird durch die Objektiv linse 107 konvergiert, um den Lichtfleck 109 auf der Ober fläche eines Informationsaufzeichnungsmediums oder der opti schen Platte 108 zu bilden.

Dann wird der Lichtstrahl 110 durch die optische Platte 108 reflektiert und verläuft wieder durch die Objektivlinse 107 und fällt auf den Strahlteiler 152 ein. Der Lichtstrahl 110 wird durch den Strahlteiler 152 reflektiert, um durch das Viertelwellenlängenplättchen 151 zu verlaufen, so daß die Polarisation des Lichtstrahles 110 aufgrund der Funktion des Viertelwellenlängenplättchens 151 verändert wird. Dann wird der Strahl 110 durch den deformierbaren Spiegel 150 reflek tiert und verläuft erneut durch das Viertelwellenlängenplätt chen 151, um auf den Strahlteiler 152 einzufallen. Da die Polarisation des Strahles 110 verändert wird, während er durch das Viertelwellenlängenplättchen 151 verläuft, wird der Strahl 110 durch den Strahlteiler 152 übertragen.

Dann verläuft der Lichtstrahl 110 durch das Viertelwellenlän genplättchen 105 und fällt auf den Strahlteiler 104 ein. Der Lichtstrahl wird durch den Strahlteiler 104 reflektiert, durch die Sammellinse 111 konvergiert und dann durch den Photodetektor 112 empfangen. Der Photodetektor 112 erfaßt die Intensität des reflektierten Lichtstrahles 110, um da durch ein wiedergegebenes Signal zu erfassen.

Fig. 34 veranschaulicht eine spezifische Konfiguration des deformierbaren Spiegels 150, die in der japanischen offenge legten Patentveröffentlichung Nr. 5-151591 und in "Adaptive Optics for Optimization of Image Resolution" (J.P. Gaffarel u. a., Applied Optics, Band 26, Seiten 3772-3777 (1987)) be schrieben ist.

Der deformierbare Spiegel 150 umfaßt: eine deformierbare Platte 181 mit einer Spiegeloberfläche 180 darauf, eine Viel zahl von piezoelektrischen Betätigungsgliedern 182, die gegen die Rückfläche der deformierbaren Platte 181 an ver schiedenen Punkten drücken, und ein Basissubstrat, auf dem die deformierbare Platte 181 und die piezoelektrischen Betätigungsglieder 182 festgelegt sind. Durch Verändern einer an die jeweiligen piezoelektrischen Betätigungsglieder 182 anzulegenden Spannung kann die Oberfläche der deformier baren Platte 181 um einen gewünschten Betrag versetzt wer den, so daß die Spiegeloberfläche 180 der deformierbaren Platte 181 in eine gewünschte Gestalt deformiert werden kann.

Wann immer jedoch in einem herkömmlichen deformierbaren Spie gel, der piezoelektrische Betätigungsglieder 182 verwendet, wie diese in der Fig. 34 gezeigt sind, die Ansteuerspannung verändert wird, wird auch die Versetzung der deformierbaren Platte 181 verändert. Wenn insbesondere eine Veränderung unter den Spannungen der piezoelektrischen Betätigungsglie der 182 verursacht wird, weicht die Gestalt der deformier baren Spiegeloberfläche 180 im wesentlichen von ihrer ge wünschten Gestalt ab.

Zusätzlich ändert sich auch die Druckkraft der jeweiligen piezoelektrischen Betätigungsglieder 182 infolge von Wärme ausdehnung, die durch die Änderung der Umgebungstemperatur verursacht ist, so daß die Gestalt der deformierbaren Spie geloberfläche 180 in nachteilhafter Weise von ihrer ge wünschten Gestalt abweicht.

Da weiterhin der Durchmesser eines Lichtstrahles, der der Aberrationskorrektur unterworfen ist, etwa 4 mm beträgt, muß eine große Anzahl von piezoelektrischen Betätigungsgliedern 182 vorgesehen werden, um einem Lichtstrahl mit einem Durch messer von etwa 4 mm zu entsprechen, damit der deformierbare Spiegel in eine gewünschte Gestalt deformiert wird. Als ein Ergebnis wird der Zusammenbauprozeß für einen derartigen de formierbaren Spiegel in nachteilhafter Weise kompliziert, und die Abmessung des gesamten deformierbaren Spiegels oder des optischen Abnehmers nimmt in nachteilhafter Weise zu, da eine große Anzahl von piezoelektrischen Betätigungsgliedern 182 festgelegt werden muß und die Verdrahtung über einen län geren Abstand auszudehnen ist.

Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen defor mierbaren Spiegel, ein Verfahren zum Herstellen desselben und ein einen deformierbaren Spiegel verwendendes Gerät unter Ausschaltung obiger Nachteile des Standes der Technik zu schaffen.

Zur Lösung dieser Aufgabe sind ein deformierbarer Spiegel, ein Verfahren zum Herstellen desselben und ein einen defor mierbaren Spiegel verwendendes Gerät gemäß den jeweiligen unabhängigen Patentansprüchen vorgesehen.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich ins besondere aus den jeweiligen Unteransprüchen.

Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung umfaßt ein deformierbarer Spiegel zum Reflektieren eines darauf einfal lenden Lichtstrahles ein flexibles Glied, das eine reflektie rende Oberfläche hat und flexibel deformierbar ist, ein Sub strat mit einer Bezugsfläche, die dem flexiblen Glied gegen überliegt, und eine Ansteuereinrichtung, die das flexible Glied an der Bezugsoberfläche des Substrates anhaften läßt, um dadurch die reflektierende Oberfläche des flexiblen Glie des so zu deformieren, daß sie der Bezugsoberfläche ent spricht. Die Gestalt der Bezugsoberfläche ist derart ausge legt, daß der Lichtstrahl mit einer sphärischen Aberration versehen wird, wenn die reflektierende Oberfläche an der Bezugsoberfläche anhaftet.

Das flexible Glied kann über der Bezugsoberfläche des Sub strates angeordnet sein, während eine Dehnungsbeanspruchung auf die reflektierende Oberfläche des flexiblen Gliedes ein wirkt, so daß die reflektierende Oberfläche als ein flacher Spiegel dient.

In einem Ausführungsbeispiel der Erfindung umfaßt die An steuereinrichtung eine obere Elektrode und eine untere Elek trode, die einander gegenüberliegend angeordnet sind, und eine Ansteuerschaltung zum Anlegen einer Spannung zwischen der oberen Elektrode und der unteren Elektrode, um dazwi schen eine elektrostatische Kraft zu erzeugen. Das flexible Glied umfaßt die obere Elektrode, und das Substrat umfaßt die untere Elektrode, wobei das flexible Glied an der Bezugs oberfläche des Substrates mittels der elektrostatischen Kraft anhaftet.

In einem anderen Ausführungsbeispiel der Erfindung umfaßt die Ansteuereinrichtung eine weichmagnetische Schicht, die in dem flexiblen Glied vorgesehen ist, und eine Magnetkraft erzeugungseinrichtung. Das flexible Glied haftet an der Be zugsoberfläche des Substrates über eine Magnetkraft.

In noch einem anderen Ausführungsbeispiel der Erfindung um faßt die Ansteuereinrichtung eine Luftdruckanlegungseinrich tung zum Anlegen eines Luftdruckes an das flexible Glied.

Wenigstens ein Bauteil aus dem flexiblen Glied und dem Sub strat kann einen Teil zum Entfernen von Luft aus einem Raum zwischen dem flexiblen Glied und dem Substrat aufweisen, wenn das flexible Glied und das Substrat aneinander haften. Der Teil hat eine Graben- oder Rillengestalt und kann auf der Bezugsoberfläche des Substrates ausgebildet sein. Alter nativ kann der Teil ein winziges Loch sein, das auf dem flexiblen Glied ausgebildet ist. Weiterhin kann der Teil alternativ ein Durchgangsloch sein, das durch das Substrat vorgesehen ist.

Der deformierbare Spiegel kann weiterhin ein weiteres Sub strat aufweisen, auf dem das flexible Glied festgelegt ist. Das weitere Substrat kann einkristallines Silizium sein.

Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung umfaßt ein Verfahren zum Herstellen des obigen deformierbaren Spie gels die folgenden Schritte: Bilden eines metallischen re flektierenden Filmes, der als das flexible Glied dienen soll, auf dem weiteren Substrat durch ein Plattierungsverfah ren, bei dem eine Dehnungsspannung auf den metallischen re flektierenden Film einwirkt, Abätzen eines Teiles des metal lischen reflektierenden Filmes mit Ausnahme eines Teiles ent sprechend der reflektierenden Oberfläche des Substrates, um so eine Öffnung zu bilden, und Befestigen des weiteren Sub strates an dem Substrat, so daß die Öffnung über der Bezugs oberfläche gelegen ist.

Gemäß noch einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung umfaßt eine optische Vorrichtung den oben erwähnten defor mierbaren Spiegel und ein optisches System, um einen Licht strahl auf den deformierbaren Spiegel einfallen zu lassen und um den durch den deformierbaren Spiegel reflektierten Lichtstrahl zu empfangen.

Der deformierbare Spiegel kann den darauf einfallenden Licht strahl mit einer sphärischen Aberration versehen, wenn er gerade deformiert ist.

Das optische System kann eine Linse umfassen, die den durch den deformierbaren Spiegel reflektierten Lichtstrahl empfängt, wobei die Linse den Lichtstrahl auf einen ersten Punkt fokussiert, wenn der deformierbare Spiegel nicht defor miert ist, und wobei die Linse den Lichtstrahl auf einen vom ersten Punkt verschiedenen zweiten Punkt fokussiert, wenn der deformierbare Spiegel deformiert ist. Der Lichtstrahl kann auf den ersten Punkt in einem Fall fokussiert werden, wenn die optischen Glieder zum lagemäßigen Einstellen mit höherer Genauigkeit erforderlich sind.

Gemäß noch einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung umfaßt ein Gerät zum Durchführen von wenigstens einer Opera tion aus Aufzeichnungs- und Wiedergabeoperationen: eine Lichtquelle, einen deformierbaren Spiegel mit einer reflek tierenden Oberfläche zum Reflektieren eines Lichtstrahles, der auf die reflektierende Oberfläche aus einer Richtung der Lichtquelle einfällt, wobei der deformierbare Spiegel den Lichtstrahl mit einer sphärischen Aberration zu liefern ver mag, und eine Objektivlinse zum Fokussieren des durch den deformierbaren Spiegel reflektierten Lichtstrahles, wobei die Objektivlinse ausgelegt ist, um einen Lichtfleck auf einem ersten optischen Aufzeichnungsmedium mit einer ersten Substratdicke in einem geeigneten Fokussierzustand für den Betrieb des ersten optischen Aufzeichnungsmediums zu bilden. Der deformierbare Spiegel umfaßt: ein flexibles Glied, das eine reflektierende Oberfläche hat und flexibel deformierbar ist, ein Substrat mit einer Bezugsoberfläche, die dem flexib len Glied gegenüberliegt, und eine Ansteuereinrichtung, die das flexible Glied an der Bezugsoberfläche des Substrates an haften läßt, um die reflektierende Oberfläche gemäß der Be zugsoberfläche zu deformieren. Die Gestalt der Bezugsober fläche ist ausgelegt, um den Lichtstrahl mit einer sphäri schen Aberration zu liefern, wenn das flexible Glied an der Bezugsoberfläche anhaftet. Der Fokussierzustand des Licht strahles wird verändert, um für ein zweites optisches Auf zeichnungsmedium mit einer zweiten Substratdicke, die von der ersten Substratdicke verschieden ist, geeignet zu sein, wenn der deformierbare Spiegel deformiert ist.

In einem Ausführungsbeispiel der Erfindung kann das Gerät weiterhin eine Diskriminiereinrichtung umfassen, um zwischen dem ersten optischen Aufzeichnungsmedium und dem zweiten optischen Aufzeichnungsmedium zu unterscheiden, und um der Ansteuereinrichtung des deformierbaren Spiegels zu befehlen, das flexible Glied an dem Substrat anhaften zu lassen, wenn wenigstens eine Operation aus den Aufzeichnungs- und Wieder gabeoperationen bezüglich des zweiten Aufzeichnungsmediums durchgeführt wird.

Wenn in einem anderen Ausführungsbeispiel der Erfindung ein unbekanntes optisches Aufzeichnungsmedium auf dem Gerät installiert wird, führt das Gerät die Wiedergabeoperation bezüglich des unbekannten optischen Aufzeichnungsmediums durch, wobei angenommen wird, daß das unbekannte optische Aufzeichnungsmedium das erste optische Aufzeichnungsmedium ist, und eine Einrichtung ist vorgesehen, um der Ansteuerein richtung des deformierbaren Spiegels zu befehlen, das flexib le Glied an dem Substrat anhaften zu lassen, damit der defor mierbare Spiegel deformiert wird, wenn die auf dem unbekann ten optischen Aufzeichnungsmedium aufgezeichnete Information nicht richtig aufgrund des von dem unbekannten optischen Auf zeichnungsmedium reflektierten Lichtstrahles wiedergegeben wird.

Die erste Substratdicke kann dünner als die zweite Substrat dicke sein.

Somit ermöglicht die hier beschriebene Erfindung die folgen den Vorteile: (1) Vorsehen eines deformierbaren Spiegels, der hoch widerstandsfähig gegen Schwankungen in der Umge bungstemperatur und in einer elektrischen Schaltung ist, der weiterhin die Spiegeloberfläche hiervon in eine gewünschte Gestalt deformiert und diese Gestalt mit hoher Genauigkeit hält und der weiterhin so ausgebildet ist, daß er eine klei nere Abmessung und einen einfacheren Aufbau bei geringeren Kosten als herkömmliche Vorrichtungen hat, und eines Verfah rens zum Herstellen desselben, sowie (2) Vorsehen eines opti schen Gerätes und eines dasselbe verwendenden Aufzeichnungs- und Wiedergabegerätes.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1A eine schematische Schnittdarstellung einer An ordnung eines deformierbaren Spiegels in einem ersten Beispiel der vorliegenden Erfindung, wäh rend Fig. 1B eine vergrößerte Schnittdarstel lung des in Fig. 1A gezeigten flexiblen Gliedes 2 ist,

Fig. 2 eine auseinandergezogene Schnittdarstellung zur Erläuterung des Zusammenbaus des in Fig. 1A ge zeigten deformierbaren Spiegels,

Fig. 3 eine Schnittdarstellung eines deformierbaren Spiegels in einem Zustand, in welchem keine Spannung an dem deformierbaren Spiegel anliegt,

Fig. 4 eine Schnittdarstellung eines deformierbaren Spiegels in einem Zustand, in welchem eine Spannung an dem deformierbaren Spiegel anliegt,

Fig. 5A und 5B eine Schnittdarstellung bzw. eine Draufsicht eines deformierbaren Spiegels mit einer zwei ten Gestaltung in einem Zustand, in welchem keine Spannung an dem deformierbaren Spiegel anliegt,

Fig. 6 eine Schnittdarstellung des deformierbaren Spiegels mit der zweiten Gestaltung in einem Zustand, in welchem eine Spannung an dem de formierbaren Spiegel anliegt,

Fig. 7 eine Schnittdarstellung eines deformierbaren Spiegels mit einer dritten Gestaltung in einem Zustand, in welchem keine Spannung an dem deformierbaren Spiegel anliegt,

Fig. 8 eine Schnittdarstellung des deformierbaren Spiegels mit der dritten Gestaltung in einem Zustand, in welchem eine Spannung an dem de formierbaren Spiegel anliegt,

Fig. 9 eine Schnittdarstellung eines deformierbaren Spiegels mit einer vierten Gestaltung in einem Zustand, in welchem keine Spannung an dem deformierbaren Spiegel anliegt,

Fig. 10 eine Schnittdarstellung des deformierbaren Spiegels mit der vierten Gestaltung in einem Zustand, in welchem eine Spannung an dem de formierbaren Spiegel anliegt,

Fig. 11A eine Schnittdarstellung mit einer fünften Ge staltung des deformierbaren Spiegels in dem ersten Beispiel der vorliegenden Erfindung, während Fig. 11B eine vergrößerte Schnittdar stellung des in Fig. 11A gezeigten flexiblen Gliedes ist,

Fig. 12A eine Schnittdarstellung mit einer Gestaltung eines deformierbaren Spiegels in einem zwei ten Beispiel der vorliegenden Erfindung, wäh rend Fig. 12B eine vergrößerte Schnittdarstel lung des in Fig. 12A gezeigten flexiblen Glie des ist,

Fig. 13 eine Schnittdarstellung eines Falles, in wel chem ein Substrat mit Konduktanz für den in Fig. 12A gezeigten deformierbaren Spiegel ver wendet wird,

Fig. 14A eine Schnittdarstellung mit einer Gestaltung eines deformierbaren Spiegels in einem drit ten Beispiel der vorliegenden Erfindung, wäh rend Fig. 14B eine vergrößerte Schnittdarstel lung des in Fig. 14A gezeigten flexiblen Glie des 2 ist,

Fig. 15 eine Schnittdarstellung eines Falles, in wel chem ein Substrat mit Konduktanz für den in Fig. 14A gezeigten deformierbaren Spiegel ver wendet wird,

Fig. 16A eine Schnittdarstellung mit einer Gestaltung eines deformierbaren Spiegels in einem vier ten Beispiel der vorliegenden Erfindung, wäh rend Fig. 16B eine vergrößerte Schnittdarstel lung des in Fig. 16A gezeigten flexiblen Glie des ist,

Fig. 17 eine Schnittdarstellung in einem Fall, in wel chem ein Substrat mit Konduktanz für den in Fig. 16A gezeigten deformierbaren Spiegel ver wendet wird,

Fig. 18A eine Schnittdarstellung mit einer Gestaltung eines deformierbaren Spiegels in einem fünf ten Beispiel der vorliegenden Erfindung, wäh rend Fig. 18B eine vergrößerte Schnittdarstel lung des in Fig. 18A gezeigten flexiblen Glie des ist,

Fig. 19A eine Schnittdarstellung mit einer Gestaltung eines deformierbaren Spiegels in einem sechsten Beispiel der vorliegenden Erfindung, während Fig. 19B eine vergrößerte Schnittdar stellung des in Fig. 19A gezeigten flexiblen Gliedes ist,

Fig. 20 eine Draufsicht eines deformierbaren Spiegels in einem siebten Beispiel der vorliegenden Er findung, betrachtet von oberhalb des flexib len Gliedes hiervon,

Fig. 21 eine Schnittdarstellung mit einer Gestaltung des deformierbaren Spiegels in dem siebten Beispiel der vorliegenden Erfindung,

Fig. 22 eine Draufsicht des deformierbaren Spiegels in dem siebten Beispiel der vorliegenden Er findung, betrachtet von oberhalb des Substra tes hiervon,

Fig. 23 eine auseinandergezogene perspektivische Dar stellung, die die Gestaltung des deformierba ren Spiegels in dem siebten Beispiel der vor liegenden Erfindung veranschaulicht,

Fig. 24A bis 24G Schnittdarstellungen, die jeweilige Prozeß schritte zum Herstellen des tragenden Sub stratteiles des deformierbaren Spiegels im siebten Beispiel der vorliegenden Erfindung veranschaulichen,

Fig. 25 einen Graphen, der die Beziehung zwischen der internen Spannung eines durch ein Elek troplattierungsverfahren erzeugten Nickelfil mes und einer Stromdichte veranschaulicht,

Fig. 26A bis 26D Schnittdarstellungen, die jeweilige Prozeß schritte zum Herstellen des Substratteiles des deformierbaren Spiegels im siebten Bei spiel der vorliegenden Erfindung zeigen,

Fig. 27 eine Draufsicht eines deformierbaren Spie gels mit einer anderen Gestaltung im siebten Beispiel der vorliegenden Erfindung, betrach tet von oberhalb des Substrates hiervon,

Fig. 28 ein Blockdiagramm, das eine beispielhafte Gestaltung des Aufzeichnungs- und Wiedergabe gerätes gemäß der vorliegenden Erfindung ver anschaulicht,

Fig. 29 ein Diagramm, das einen in Fig. 28 gezeigten Plattendickesensor veranschaulicht,

Fig. 30 eine Schnittdarstellung einer beispielhaften Auslegung eines unebenen Teiles des defor mierbaren Spiegels,

Fig. 31 eine Schnittdarstellung einer anderen bei spielhaften Auslegung des unebenen Teiles des deformierbaren Spiegels,

Fig. 32 ein Blockdiagramm, das eine Anordnung eines herkömmlichen optischen Abnehmers zeigt,

Fig. 33 ein Blockdiagramm, das eine Anordnung eines einen herkömmlichen deformierbaren Spiegel verwendenden optischen Abnehmers veranschau licht, und

Fig. 34 eine Darstellung eines Gestaltung eines her kömmlichen deformierbaren Spiegels.

Im folgenden werden bevorzugte Ausführungsbeispiele der vor liegenden Erfindung anhand der begleitenden Zeichnungen er läutert.

Beispiel 1

Im folgenden wird anhand der Fig. 1A und 1B ein deformierba rer Spiegel gemäß dem ersten Beispiel der vorliegenden Erfin dung erläutert. Fig. 1A ist eine Prinzip-Schnittdarstellung, die eine schematische Gestaltung eines deformierbaren Spie gels in einem ersten Beispiel der vorliegenden Erfindung zeigt. Fig. 1B ist eine vergrößerte Schnittdarstellung eines Teiles des deformierbaren Spiegels.

Wie in Fig. 1A gezeigt ist, umfaßt der deformierbare Spiegel 1: ein flexibles Glied 2 mit einer Spiegeloberfläche 2a als einer reflektierenden Oberfläche darauf, ein säulenartiges Substrat 6 mit einem unebenen Teil 3 als einer Bezugsoberflä che, einem flachen Teil 4 und einem stufenartigen Teil 5 darauf, und eine Ansteuerschaltung 7 als einer Ansteuerein richtung. Das flexible Glied 2 ist an der Oberfläche des Sub strates 6 über eine Haftschicht 11 gesichert, um eine Span nung aufrechtzuerhalten.

Fig. 2 ist eine Explosions-Schnittdarstellung, die ein Ver fahren veranschaulicht, um das flexible Glied 2 an dem Sub strat 6 anhaften zu lassen.

Wie in Fig. 2 dargestellt ist, ist das flexible Glied 2 durch eine vorbestimmte Umfangskraft P gezogen und durch eine vorbestimmte Kraft, die durch eine Schablone 13 auf die Haftschichten 11 einwirkt, die auf dem stufenähnlichen Teil 5 auf dem Substrat 6 ausgebildet sind, gepreßt, um so auf dem Substrat 6 festgelegt zu sein. Als ein Ergebnis ist das flexible Glied 2 längs des flachen Teiles 4 auf der Oberflä che des Substrates 6 plaziert, während eine gewisse Spannung aufrechterhalten wird, und die Spiegeloberfläche 2a des flexiblen Gliedes 2 wird eine flache Ebene und dient als planer Spiegel.

Wie oben beschrieben ist, ist das flexible Glied 2 vorge sehen, um einer Dehnungsspannung unterworfen zu sein. Selbst wenn so das flexible Glied 2 sich aufgrund eines Anstiegs in der Umgebungstemperatur ausdehnt, absorbiert die Spannung die Ausdehnungskraft, um so zu verhindern, daß das flexible Glied aufgrund einer Verbiegung oder dergl. deformiert wird. Selbst wenn andererseits die Temperatur abfällt, kann die Spiegeloberfläche 2a flach gehalten werden, da die Spannung ansteigt. Da weiterhin die Eigenfrequenz des flexiblen Glie des 2 zunehmen kann, indem die Dehnungsspannung dort ein wirkt, ist es möglich, den Einfluß einer extern angelegten Schwingung zu unterdrücken.

Das flexible Glied 2 umfaßt eine obere Elektrodenschicht 8 und eine Isolierschicht 9. Die obere Elektrodenschicht 8 kann aus einem leitenden Material, wie beispielsweise Alumi nium, Kupfer oder Platin, gebildet sein. In diesem Beispiel wird ein Aluminiumfilm mit einer Dicke von etwa 1 µm für die obere Elektrodenschicht 8 verwendet. In dem Fall der Ausbil dung der oberen Elektrodenschicht aus einem reflektierenden Material ohne Beschichtung darauf kann die Oberfläche der oberen Elektrodenschicht als eine Spiegeloberfläche des de formierbaren Spiegels 1 dienen. Alternativ kann, wie in Fig. 1B gezeigt ist, die Oberfläche der oberen Elektroden schicht 8 mit einem reflektierenden Film 10 belegt sein, der aus Gold oder dergl. hergestellt ist und auf der Schicht durch eine Dampfabscheidungsmethode gebildet ist, so daß die Oberfläche des reflektierenden Filmes 10 als die Spiegelober fläche 2a dient.

Die Isolierschicht 9, die die Flexibilität des flexiblen Gliedes 2 liefert, ist aus einem Material mit einem niedrige ren Elastizitätsmodul als derjenige jeglichen metallischen Materials gebildet. Um eine ausreichende Flexibilität zu er halten, ist es vorzuziehen, daß ein Material mit einem Elastizitätsmodul im Bereich von etwa 0,2 GPa bis etwa 5 GPa verwendet wird, um die Isolierschicht 9 zu bilden. In diesem Beispiel ist die Isolierschicht aus einem Polyimidfilm herge stellt, der eine Dicke von etwa 5 µm und einen Elastizitäts modul von 3,4 GPa hat.

Das Substrat 6 wird gebildet, um den unebenen Teil 3, den flachen Teil 4 und den stufenähnlichen Teil 5 zu haben, wo bei eine Glasformmethode oder eine Harzformmethode verwendet wird, welche eine Massenproduktion erlauben. Für das Mate rial des Substrates 6 kann ein Material mit hoher Festigkeit und einem kleinen linearen Ausdehnungskoeffizienten verwen det werden, wie beispielsweise ein Glasmaterial. Auf diese Weise kann eine mögliche Veränderung in der Gestalt des Sub strates 6 (insbesondere der Oberfläche des Substrates 6) in folge von Umgebungsfaktoren auf einen Mindestpegel unter drückt werden. Somit kann auch eine Veränderung in der Ge stalt der Spiegeloberfläche 2a unterdrückt werden, was die Erzeugung eines vorbestimmten Betrages einer hochstabilen sphärischen Aberration für den auf den deformierbaren Spie gel einfallenden Lichtstrahl sicherstellt.

Eine untere Elektrodenschicht 12 wird gebildet, um die gesam te Oberfläche (d. h., den unebenen Teil 3, den flachen Teil 4 und den stufenähnlichen Teil 5) des Substrates 6 zu be decken. Die untere Elektrodenschicht 12 kann aus einem lei tenden Material, wie beispielsweise Aluminium, Kupfer oder Platin, durch beispielsweise ein Zerstäubungsverfahren gebil det sein. In diesem Beispiel wird ein Aluminiumfilm mit einer Dicke von etwa 1 µm als die untere Elektrodenschicht 12 auf der Oberfläche des Substrates 6 durch ein Zerstäu bungsverfahren aufgetragen.

Die obere Elektrodenschicht 8 und die untere Elektroden schicht 12 sind nicht nur elektrisch voneinander durch die Isolierschicht 9 isoliert, sondern auch elektrisch mit der Ansteuerschaltung 7 verbunden. Die Ansteuerschaltung 7 für den deformierbaren Spiegel legt eine Spannung an die obere Elektrodenschicht 8 und die untere Elektrodenschicht 12, wenn es wünschenswert ist, eine sphärische Aberration für einen Lichtstrahl vorzusehen, der auf den deformierbaren Spiegel 1 einfällt. Wenn es andererseits wünschenswert ist, den Lichtstrahl ohne Vorsehen einer sphärischen Aberration zu reflektieren, so legt die Ansteuerschaltung 7 keine Span nung an.

Im folgenden werden Betriebsprinzipien dieses deformierbaren Spiegels 1 anhand der Fig. 3 und 4 näher beschrieben.

Fig. 3 zeigt einen Zustand, in welchem der deformierbare Spiegel 1 den darauf einfallenden Lichtstrahl reflektiert, ohne diesen mit einer sphärischen Aberration zu versehen, während Fig. 4 einen Zustand veranschaulicht, in welchem eine sphärische Aberration für den auf den deformierbaren Spiegel 1 einfallenden Lichtstrahl vorgesehen wird, wenn der Lichtstrahl durch den deformierbaren Spiegel 1 reflektiert wird.

In dem Fall, in dem der einfallende Lichtstrahl durch die Oberfläche des flexiblen Gliedes 2 des deformierbaren Spie gels 1 reflektiert wird, ohne mit einer sphärischen Aberra tion versehen zu werden, legt die Ansteuerschaltung 7 keine Spannung an die obere Elektrodenschicht 8 und die untere Elektrodenschicht 12. Als ein Ergebnis wird das flexible Glied 2 flach aufgrund der dort anliegenden mechanischen Spannung gehalten, wie dies in Fig. 3 gezeigt ist, und es reflektiert den einfallenden Lichtstrahl, ohne eine sphäri sche Aberration hervorzurufen.

Andererseits legt in dem Fall, in welchem eine sphärische Aberration für den einfallenden Lichtstrahl vorgesehen wird, die Ansteuerschaltung 7 eine Spannung an die obere Elektro denschicht 8 und die untere Elektrodenschicht 12. In diesem Fall wird eine elektrostatische Kraft zwischen der oberen Elektrodenschicht 8 des flexiblen Gliedes 2 und der unteren Elektrodenschicht 12 auf der Oberfläche des Substrates 6 er zeugt, so daß das flexible Glied 2 nach unten zu dem Sub strat 6 deformiert wird, um an dem unebenen Teil 3 anzuhaf ten. In diesem Beispiel ist die Gestalt des unebenen Teiles 3 so ausgelegt, daß die Gestalt der Spiegeloberfläche 2a des flexiblen Gliedes 2 gleich zu dem Betrag der zu korrigieren den sphärischen Aberration wird, wenn das flexible Glied 2 an dem unebenen Teil 3 aufgrund der elektrostatischen Kraft anhaftet. Daher wird während einer Spannungsanlegung an die obere Elektrodenschicht 8 und die untere Elektrodenschicht 12 eine vorbestimmte sphärische Aberration für den einfallen den Lichtstrahl vorgesehen.

Wie oben erläutert ist, haftet das flexible Glied 2 mit der Spiegeloberfläche 2a darauf an dem unebenen Teil 3 des Sub strates 6 durch eine elektrostatische Kraft, und daher wird die Gestalt der Spiegeloberfläche 2a durch den unebenen Teil 3 des Substrates 6 bestimmt. Da die Oberfläche des Substra tes 6 mit hoher Genauigkeit gestaltet werden kann, um eine bestimmte Form anzunehmen, ist es möglich, die durch die Spiegeloberfläche 2a für das einfallende Licht vorzusehende sphärische Aberration mit hoher Genauigkeit einzustellen.

Zusätzlich ist, wie oben erläutert wurde, das Substrat 6 aus einem Material mit hoher Festigkeit und einem kleinen linearen Ausdehnungskoeffizienten, wie beispielsweise einem Glasmaterial, hergestellt. Daher ist es möglich, die Verände rung des unebenen Teiles 3, hervorgerufen durch die Umge bung, in der Spiegeloberfläche 2a auf einen minimalen Pegel zu unterdrücken und eine konstante sphärische Aberration für das auf den deformierbaren Spiegel 1 einfallende Licht zu liefern. Weiterhin kann durch Steigern der elektrostatischen Kraft, die das flexible Glied 2 an dem Substrat 6 anhaften läßt (d. h., der Potentialdifferenz, die zwischen die obere Elektrodenschicht 8 und die untere Elektrodenschicht 12 anzu legen ist), das flexible Glied 2 stabil an dem unebenen Teil 3 anhaften, selbst wenn eine durch die Ansteuerschaltung 7 angelegte Spannung in einem gewissen Ausmaß schwankt. Darüber hinaus kann gemäß dem vorliegenden Beispiel die Spie geloberfläche 2a des deformierbaren Spiegels 1 mittels einer vereinfachten Gestaltung einschließlich der oberen Elektrodenschicht 8 und der unteren Elektrodenschicht 12 deformiert werden.

Da weiterhin ein Polyimidfilm, der einen Elastizitätsmodul von 3,4 GPa hat, als die Isolierschicht 9 des flexiblen Glie des 2 verwendet wird, kann die Kraft, die erforderlich ist, um das flexible Glied 2 an dem unebenen Teil 3 des Substra tes 6 durch elektrostatische Kraft anhaften zu lassen, klein sein.

Die Fig. 5A, 5B und 6 sind Schnittdarstellungen, die eine Abwandlung eines deformierbaren Spiegels in dem ersten Bei spiel veranschaulichen. Die Fig. 5A und 5B zeigen einen Fall, in welchem ein deformierbarer Spiegel 1a dieser Abwand lung keine sphärische Aberration für einen darauf einfallen den Lichtstrahl liefert, während Fig. 6 einen Fall angibt, in welchem der deformierbare Spiegel 1a eine sphärische Aberration hervorbringt. In den Fig. 5A und 5B werden die gleichen Bauteile wie in den Fig. 1A und 1B mit den gleichen Bezugszeichen versehen und hier nicht näher beschrieben.

In dem deformierbaren Spiegel 1a ist wenigstens ein Rillen teil 14 in dem unebenen Teil 3 des Substrates 6 gebildet. Wie in Fig. 5B veranschaulicht ist, ist der Rillenteil 14 angeordnet, um ein Kreis zu sein, wenn dieser aus einer durch einen Pfeil in Fig. 5A angezeigten Richtung betrachtet wird. In dem Fall der Erzeugung einer Vielzahl von Rillentei len 14 sind diese konzentrisch vorgesehen. Die Breite des Rillenteiles 14 ist relativ schmal und beträgt beispielswei se etwa 2 µm.

Wenn in dem deformierbaren Spiegel 1a das flexible Glied 2 an dem unebenen Teil 3 anhaftet, wird die Luft, die in dem Spalt zwischen dem unebenen Teil 3 und dem flexiblen Glied 2 vorliegt, das dem unebenen Teil 3 vor dem Anhaften gegenüber liegt, komprimiert. Der Rillenteil 14 spielt eine Rolle zum Ansammeln der komprimierten Luft. Als ein Ergebnis kann das flexible Glied 2 sicher an dem unebenen Teil 3 des Substra tes 6 anhaften.

In dem deformierbaren Spiegel 1a könnte das flexible Glied 2 durch den Rillenteil 14 deformiert werden. Da jedoch die Breite des Rillenteiles 14 schmal wie beispielsweise etwa 2 µm ist, wie dies oben erläutert wurde, ist die durch den Rillenteil 14 verursachte Deformation, falls überhaupt vor handen, sehr klein und im wesentlichen unter optischen Ge sichtspunkten vernachlässigbar.

Die Fig. 7 und 8 sind Schnittdarstellungen, die eine andere abgewandelte Gestaltung eines deformierbaren Spiegels im ersten Beispiel veranschaulichen. Fig. 7 zeigt einen Fall, in welchem ein deformierbarer Spiegel 1b dieser Abwandlung keine sphärische Aberration für den einfallenden Lichtstrahl liefert, während Fig. 8 einen Fall angibt, in welchem der deformierbare Spiegel 1b die sphärische Aberration hervor ruft. In den Fig. 7 und 8 sind die gleichen Bauteile wie in den Fig. 1A und 1B mit den gleichen Bezugszeichen versehen und werden hier nicht näher erläutert.

In dem deformierbaren Spiegel 1b ist wenigstens ein winziges Loch 15 durch einen dem unebenen Teil 3 des Substrates 6 gegenüberliegenden Teil des flexiblen Gliedes 2 vorgesehen. Wenn der Durchmesser des winzigen Loches 15 zu groß ist, wird der durch die Spiegeloberfläche des flexiblen Gliedes 2 reflektierte Lichtstrahl in nachteilhafter Weise beeinträch tigt. Somit ist es vorzuziehen, den Durchmesser des Loches 15 auf etwa 10 µm oder weniger einzustellen. Wenn, wie in Fig. 8 veranschaulicht ist, das flexible Glied 2 an dem un ebenen Teil 3 durch elektrostatische Kraft anhaftet, so wird die in dem Spalt zwischen dem unebenen Teil 3 und dem flexib len Glied 2 vor dem Anhaften vorliegende Luft aus dem Spalt durch das winzige Loch 15 ausgetrieben. Als Ergebnis kann das flexible Glied 2 sicher an dem unebenen Teil 3 anhaften.

Zusätzlich ist zur Sicherung des Anhaftens die Gestaltung dieser Abwandlung beim Verhindern einer unerwünschten Defor mation des flexiblen Gliedes 2 vorteilhaft. Das heißt, wenn in dem beispielsweise in Fig. 3 gezeigten deformierbaren Spiegel 1 die Umgebungstemperatur ansteigt, während der de formierbare Spiegel 1 nicht deformiert werden soll, besteht eine Möglichkeit, daß die Ausdehnung der in dem Spalt zwi schen dem unebenen Teil 3 und dem flexiblen Glied 2 vorhande nen Luft eine unerwünschte Deformation des flexiblen Gliedes 2 hervorrufen kann und so das flexible Glied 2 seine Flach heit verlieren läßt. Wenn jedoch ein winziges Loch 15 wie in dem in den Fig. 7 und 8 gezeigten deformierbaren Spiegel 1b vorgesehen ist, so kann die sich ausdehnende Luft aus dem Spalt durch dieses Loch 15 ausgetrieben werden, selbst wenn eine Ausdehnung von Luft zwischen dem unebenen Teil 3 und dem flexiblen Glied 2 stattfindet. Somit ist es möglich, eine unerwünschte Deformation des flexiblen Gliedes 2 zu ver hindern.

Die Fig. 9 und 10 sind Schnittdarstellungen einer noch ande ren abgewandelten Gestaltung eines deformierbaren Spiegels in dem ersten Beispiel. Fig. 9 zeigt einen Fall, in welchem ein deformierbarer Spiegel 1c keine sphärische Aberration für einen darauf einfallenden Lichtstrahl liefert, während Fig. 10 einen Fall veranschaulicht, in welchem der deformier bare Spiegel 1c die sphärische Aberration hervorruft. In den Fig. 9 und 10 sind die gleichen Bauteile wie in den Fig. 1A und 1B mit den gleichen Bezugszeichen versehen und werden hier nicht näher erläutert.

In dem deformierbaren Spiegel 1c dieser Abwandlung ist ein Durchgangsloch 16, das Luft zu einem Bereich außerhalb des Spaltes austreten läßt, in einem Bereich des unebenen Teiles 3 des Substrates 6 vorgesehen. Wenn der Durchmesser dieses Durchgangsloches 16 zu groß ist, wird das flexible Glied 2 leicht in dem Bereich einschließlich dieses Loches defor miert, wenn das flexible Glied 2 an dem unebenen Teil 3 an haftet. Somit beträgt der Durchmesser des Loches 16 vorzugs weise etwa 30 µm oder weniger. Die Funktion dieses Durch gangsloches 16 ist die gleiche wie diejenige des in den Fig. 7 und 8 dargestellten winzigen Loches 15.

In dem ersten Beispiel und den drei Abwandlungen hiervon wurde ein Fall beschrieben, in welchem ein isolierendes Sub strat, wie beispielsweise ein Glassubstrat, ein Harzsubstrat oder dergl., für das Substrat 6 verwendet wird. Alternativ kann der deformierbare Spiegel ausgeführt werden, selbst wenn das Substrat 6 aus einem Material mit elektrischer Leit fähigkeit hergestellt ist.

Die Fig. 11A ist eine Schnittdarstellung, die eine Gestal tung eines deformierbaren Spiegels 1d veranschaulicht, in welchem das Substrat 6 aus einem Material mit einer gewissen elektrischen Leitfähigkeit hergestellt ist. Die Fig. 11B ist eine vergrößerte Darstellung eines Teiles des deformierbaren Spiegels 1d. Dieses Substrat 6 wird durch Schneiden eines metallischen Materials oder durch Formen von Harz gebildet, in das eine Kohlenstoffaser mit einer elektrischen Leit fähigkeit gemischt ist, um so ein für eine Massenproduktion geeignetes Substrat zu realisieren. Somit weist das Substrat 6 elektrische Leitfähigkeit auf. Daher kann die Verdrahtung, die mit der unteren Elektrodenschicht 12 verbunden war, um eine Spannung anzulegen, die eine elektrostatische Kraft her vorruft, direkt mit dem Substrat 6 verbunden werden, so daß das Substrat 6 als die untere Elektrode arbeiten kann. Als Ergebnis ist es nicht länger erforderlich, die untere Elektrodenschicht 12 auf dem Substrat 6 zu bilden, um so den Her stellungsprozeß zu vereinfachen. Da zusätzlich das Substrat 6 selbst als die untere Elektrode dienen kann, ist es nicht länger notwendig, die Verdrahtung von der feinen unteren Elektrode 12 auszudehnen, um die untere Elektrode 12 mit einer externen Schaltung wie in dem in Fig. 1A gezeigten Fall zu verbinden.

Beispiel 2

Anhand der Fig. 12A und 12B wird ein deformierbarer Spiegel in einem zweiten Beispiel der vorliegenden Erfindung erläu tert.

Fig. 12A ist eine Schnittdarstellung, die eine Gestaltung eines deformierbaren Spiegels 200 in diesem Beispiel veran schaulicht. Fig. 12B ist eine vergrößerte Schnittdarstellung eines Teiles des deformierbaren Spiegels 200. In den Fig. 12A und 12B werden die gleichen Bauteile wie in den Fig. 1A und 1B mit den gleichen Bezugszeichen versehen und hier nicht näher erläutert.

In diesem Beispiel ist, wie aus den Fig. 12A und 12B hervor geht, der deformierbare Spiegel 200 von dem in Beispiel 1 be schriebenen Spiegel dadurch verschieden, daß eine Isolier schicht 9, die eine obere Elektrodenschicht 8 von einer unte ren Elektrodenschicht 12 isoliert, auf einem Substrat 6 ange ordnet ist. Das heißt, ein flexibles Glied 2 umfaßt eine obe re Elektrodenschicht 8, die mit einem reflektierenden Film 10 beschichtet ist. Die obere Elektrodenschicht 8 ist bei spielsweise aus einem Nickelfilm mit einer Dicke von etwa 5 µm gebildet. Die Oberfläche der oberen Elektrodenschicht 8 kann direkt als eine reflektierende Spiegeloberfläche verwen det werden. Alternativ kann, wie in Fig. 12B gezeigt ist, die obere Elektrodenschicht 8 mit einem reflektierenden Film 10 beschichtet werden, der aus Gold, Aluminium oder dergl. durch eine Dampfabscheidungsmethode gebildet ist. In diesem Fall dient die Oberfläche des reflektierenden Filmes 10 als die reflektierende Spiegeloberfläche 2a.

In dem zweiten Beispiel wird die Flexibilität des flexiblen Gliedes 2 durch die obere Elektrodenschicht 8 hervorge bracht. Um eine ausreichende Festigkeit zu gewinnen, ist es vorzuziehen, daß die obere Elektrodenschicht 8 aus einem lei tenden Material mit einem Elastizitätsmodul im Bereich von etwa 25 GPa bis 90 GPa gebildet wird. In diesem Beispiel wird der Nickelfilm mit einem Elastizitätsmodul von 80 GPa verwendet, um die obere Elektrodenschicht 8 zu bilden.

Ein Substrat 6 wird durch beispielsweise ein Glasformverfah ren oder ein Harzformverfahren hergestellt, um einen unebe nen Teil 3, einen flachen Teil 4 und einen stufenähnlichen Teil 5 zu haben. Das Substrat wird aus einem Material mit großer Festigkeit und einem kleinen linearen Ausdehnungs koeffizienten wie in dem ersten Beispiel gebildet. Eine unte re Elektrodenschicht 12 wird auf der Oberfläche des Substra tes 6 erzeugt, und sodann wird eine Isolierschicht 9 darauf gebildet. Die untere Elektrodenschicht 12 kann durch Abschei den eines Aluminiumfilmes mit einer Dicke von etwa 1 µm auf der Oberfläche des Substrates 6 durch beispielsweise ein Zer stäubungsverfahren erzeugt werden. Die Isolierschicht 9 kann durch Abscheiden oder Auftragen von Siliziumdioxid mit einer Dicke von etwa 1 µm auf der Oberfläche der unteren Elektro denschicht 12 durch beispielsweise ebenfalls ein Zerstäu bungsverfahren gebildet werden.

Da in dem zweiten Beispiel die Isolierschicht 9 für das Sub strat 6 vorgesehen ist, braucht die Isolierschicht 9 nicht länger Flexibilität aufzuweisen, so daß es möglich ist, die Dicke der Isolierschicht 9 zu reduzieren. Demgemäß kann der Abstand zwischen der oberen Elektrodenschicht 8 und der unte ren Elektrodenschicht 12 ebenfalls reduziert werden. Eine zwischen den beiden, einander gegenüberliegenden Elektroden erzeugte elektrostatische Kraft ist umgekehrt proportional zu dem Quadrat des Abstandes zwischen den beiden Elektroden. Wenn somit der Abstand zwischen den beiden Elektroden wie in diesem Beispiel reduziert wird, dann ist es möglich, eine an liegende Spannung zu reduzieren, die erforderlich ist, um das flexible Glied 2 an dem unebenen Teil 3 des Substrates 6 anhaften zu lassen.

Wenn in diesem Beispiel das Substrat 6 durch Schneiden eines bestimmten metallischen Materials oder durch Formen von Harz, in welchem eine Kohlenstoffaser zugemischt ist, um eine gewisse elektrische Leitfähigkeit aufzuweisen, gebildet wird, dann kann das Substrat 6 selbst als die untere Elektro de dienen, und es wird einfacher, den deformierbaren Spiegel 200a mit einer externen Schaltung zu verbinden, wie dies in Fig. 13 gezeigt ist.

Darüber hinaus kann der deformierbare Spiegel 200 wie in den Abwandlungen des Beispiels 1 abgeändert werden. In diesem Fall können auch die vorteilhaften Effekte erzielt werden, die bei den obigen Abwandlungen beschrieben sind.

Beispiel 3

Anhand der Fig. 14A und 14B wird nunmehr ein deformierbarer Spiegel in einem dritten Beispiel der vorliegenden Erfindung erläutert.

Fig. 14A ist eine Schnittdarstellung, die eine Gestaltung eines deformierbaren Spiegels 300 in diesem Beispiel veran schaulicht. Fig. 14B ist eine vergrößerte Darstellung eines Teiles des deformierbaren Spiegels 300. In den Fig. 14A und 14B werden die gleichen Bauteile wie in den Fig. 1A bis 13 mit den gleichen Bezugszeichen versehen und hier nicht näher erläutert.

Der deformierbare Spiegel 300 ist ähnlich zu demjenigen des zweiten Beispiels insoweit, als die Isolierschicht 9 auf dem Substrat 6 gebildet ist. Jedoch umfaßt das flexible Glied 2 einen Polymerfilm 17, der die Flexibilität des flexiblen Gliedes 2 liefert, zusätzlich zu der oberen Elektrode 8 und dem reflektierenden Film 10. Der Polymerfilm 17 ist aus einem Material mit einem Elastizitätsmodul im Bereich von etwa 0,2 GPa bis etwa 5 GPa, beispielsweise einem Polyimid film mit einem Elastizitätsmodul von 3,4 GPa, gebildet. In diesem Beispiel wurde ein Polyimidfilm mit einer Dicke von etwa 10 µm für den Polymerfilm 17 gebildet.

Wie in Fig. 14B gezeigt ist, wird der reflektierende Film 10, der aus Gold, Aluminium, Nickel oder dergl. hergestellt ist, auf einer Oberfläche des Polymerfilmes 17 gebildet. Der reflektierende Film 10 dient als eine Spiegeloberfläche für den deformierbaren Spiegel 300. Die obere Elektrodenschicht 8 kann gebildet werden, indem ein Aluminiumfilm mit einer Dicke von etwa 1 µm auf der anderen Oberfläche des Polymer filmes 17 durch beispielsweise eine Dampfabscheidungsmethode aufgetragen wird. Das so gebildete flexible Glied 2 ist in der Weise angeordnet, daß die obere Elektrodenschicht 8 der Oberfläche des Substrates 6 gegenüberliegt.

Das Substrat 6 wird durch beispielsweise ein Glasformverfah ren oder ein Harzformverfahren gebildet, um den unebenen Teil 3, den flachen Teil 4 und den stufenähnlichen Teil 5 zu haben. Das Substrat 6 ist aus einem Material mit hoher Festigkeit und einem kleinen linearen Ausdehnungskoeffizien ten hergestellt. Eine untere Elektrodenschicht 12 ist auf der Oberfläche des Substrates 6 gebildet, um den unebenen Teil 3, den flachen Teil 4 und den stufenähnlichen Teil 5 zu bedecken, und dann wird darauf eine Isolierschicht 9 er zeugt. Die untere Elektrodenschicht 12 kann durch Auftragen eines Aluminiumfilmes mit einer Dicke von etwa 1 µm auf die Oberfläche des Substrates 6 durch beispielsweise ein Zerstäu bungsverfahren gebildet werden. Die Isolierschicht 9 kann durch Auftragen von Siliziumdioxid mit einer Dicke von etwa 1 µm auf die Oberfläche der unteren Elektrodenschicht 12 durch beispielsweise ein Zerstäubungsverfahren erzeugt wer den.

Da in dem dritten Beispiel die Isolierschicht 9 zum Isolie ren der oberen Elektrodenschicht 8 und der unteren Elektro denschicht 12 für das Substrat 6 vorgesehen ist, ist es mög lich, die Dicke der Isolierschicht 9 zu reduzieren. Demgemäß ist es auch möglich, den Abstand zwischen der oberen Elektro denschicht 8 und der unteren Elektrodenschicht 12 zu verrin gern. Eine zwischen den beiden einander gegenüberliegenden Elektroden erzeugte elektrostatische Kraft ist umgekehrt pro portional zu dem Quadrat des Abstandes zwischen den beiden Elektroden. Selbst wenn so in diesem Beispiel eine Potential differenz zwischen der oberen Elektrode 8 und der unteren Elektrode 12 reduziert wird, kann eine ausreichend große elektrostatische Kraft an das flexible Glied 2 angelegt wer den.

Da zusätzlich die Flexibilität des flexiblen Gliedes 2 durch den Polymerfilm 17 mit einem kleineren Elastizitätsmodul als derjenige von jeglichem metallischen Material hervorgebracht ist, kann der Elastizitätsmodul des gesamten flexiblen Glie des 2 verringert werden, während die Dicke der oberen Elek trodenschicht 8 herabgesetzt wird. Als Ergebnis kann selbst eine kleine Ansteuerkraft das flexible Glied 2 an dem unebe nen Teil 3 des Substrates 6 anhaften lassen.

Wenn in diesem Beispiel das Substrat 6 durch Schneiden von einigem metallischen Material oder durch Formen von Harz, in das eine Kohlenstoffaser gemischt ist, um ein gewisses elek trisches Leitvermögen zu vermitteln, gebildet wird, dann kann das Substrat 6 selbst als die untere Elektrode des de formierbaren Spiegels 300a dienen, wie dies in Fig. 15 ge zeigt ist. In einem derartigen Fall ist es nicht länger er forderlich, die Verdrahtung von der unteren Elektrode auszu dehnen, um die untere Elektrode mit einer externen Schaltung zu verbinden.

Darüber hinaus kann der deformierbare Spiegel 300 wie in den Abwandlungen des Beispieles 1 verändert werden. In diesem Fall werden ebenfalls die vorteilhaften Wirkungen erzielt, die in den obigen Abwandlungen beschrieben sind.

Beispiel 4

Anhand der Fig. 16A und 16B wird nunmehr ein deformierbarer Spiegel in einem vierten Beispiel der vorliegenden Erfindung erläutert. In den Fig. 16A und 16B sind die gleichen Bautei le wie in den Fig. 1A bis 15 mit den gleichen Bezugszeichen versehen und werden hier nicht näher erläutert.

Fig. 16A ist eine Schnittdarstellung, die eine Gestaltung eines deformierbaren Spiegels 400 in diesem Beispiel veran schaulicht. Fig. 16B ist eine vergrößerte Darstellung eines Teiles des deformierbaren Spiegels 400.

Das flexible Glied 2 umfaßt den Polymerfilm 17, die obere Elektrodenschicht 8, die Isolierschicht 9 und den reflektie renden Film 10. Der Polymerfilm 17 ist aus einem Material mit einem Elastizitätsmodul gebildet, der kleiner als der jenige von jeglichem metallischen Material ist, so daß die Flexibilität des flexiblen Gliedes 2 durch den Polymerfilm 17 geliefert wird. Vorzugsweise wird ein Material mit einem Elastizitätsmodul im Bereich von etwa 0,2 GPa bis etwa 5 GPa verwendet, um den Polymerfilm 17 zu bilden. Beispielsweise kann Polyimid, Polyethylen oder Polystyren als das Material für den Polymerfilm 17 benutzt werden. In diesem Beispiel wird ein Polyimidfilm mit einem Elastizitätsmodul von 3,4 GPa und einer Dicke von etwa 10 µm verwendet.

Wie in Fig. 16B gezeigt ist, wird der reflektierende Film 10, der aus Gold, Aluminium, Nickel oder dergl. hergestellt sein kann, auf einer Oberfläche des Polymerfilmes 17 gebil det. Der reflektierende Film 10 dient als die Spiegeloberflä che 2a. Auf der anderen Oberfläche des Polymerfilmes 17 ist die obere Elektrodenschicht 8 angeordnet, die aus einem metallischen Material hergestellt sein kann, das durch eine Dampfabscheidungsmethode aufgetragen ist. In diesem Beispiel wird ein Aluminiumfilm mit einer Dicke von etwa 1 µm als die obere Elektrodenschicht 8 aufgetragen. Dann wird die Isolier schicht 9 auf der oberen Elektrodenschicht 8 gebildet, indem beispielsweise Siliziumdioxid mit einer Dicke von etwa 1 µm durch ein Zerstäubungsverfahren aufgetragen wird. Wie in Fig. 16B gezeigt ist, ist das derart gebildete flexible Glied 2 so angeordnet, daß die Oberfläche, auf der die obere Elektrodenschicht 8 und die Isolierschicht 9 gebildet sind, der Oberfläche des Substrates 6 gegenüberliegt, welche den unebenen Teil 3, den flachen Teil 4 und den stufenähnlichen Teil 5 aufweist.

Das Substrat 6 wird durch ein Glasformverfahren gebildet, um den unebenen Teil 3, den flachen Teil 4 und den stufenähn lichen Teil 5 aufzuweisen, wie dies in den vorangehenden Bei spielen erläutert ist. Dann wird die untere Elektroden schicht 12 auf der Oberfläche des Substrates 6 erzeugt, um die Teile 3, 4 und 5 zu bedecken. Die untere Elektroden schicht 12 wird aus einem leitenden Material, wie beispiels weise Aluminium, Kupfer, Platin oder dergl. durch beispiels weise ein Zerstäubungsverfahren gebildet. In diesem Beispiel wird ein Aluminiumfilm mit einer Dicke von etwa 1 µm als die untere Elektrodenschicht 12 aufgetragen.

In dem vierten Beispiel wird die Flexibilität des flexiblen Gliedes 2 durch den Polymerfilm 17 geliefert, wie dies oben erläutert ist. Somit ist es möglich, die Dicke der Isolier schicht 9, die zwischen der oberen Elektrodenschicht 8 und der unteren Elektrodenschicht 12 gelegen ist, zu reduzieren. Demgemäß ist es auch möglich, den Abstand zwischen den Elek trodenschichten 8 und 12 zu vermindern. Eine zwischen den beiden, einander gegenüberliegenden Elektrodenschichten er zeugte elektrostatische Kraft ist umgekehrt proportional zu dem Quadrat des Abstandes zwischen den beiden Elektroden schichten. Somit ist es in diesem Beispiel möglich, eine an liegende Spannung zu vermindern, die erforderlich ist, um das flexible Glied 2 an dem unebenen Teil 3 des Substrates 6 anhaften zu lassen.

Zusätzlich ist der Elastizitätsmodul des Polymerfilmes 17 kleiner als derjenige von jeglichem metallischen Material, wie dies oben erläutert wurde. Daher kann der Elastizitäts modul des gesamten flexiblen Gliedes 2 reduziert werden, wäh rend die Dicken der oberen Elektrodenschicht 8 und der Iso lierschicht 9 vermindert werden. Als Ergebnis kann selbst eine kleine Ansteuerkraft das flexible Glied 2 an dem unebe nen Teil 3 des Substrates 6 anhaften lassen.

In dem vierten Beispiel wird das Substrat 6 durch Glas formen bzw. -gießen gebildet. Jedoch sind ein Material des Substra tes 6 und ein Verfahren zum Herstellen des Substrates 6 nicht hierauf begrenzt. Das Substrat 6 kann durch Schneiden von einigem metallischen Material oder durch Formen von Harz, in welches eine Kohlenstoffaser gemischt ist, um eine gewisse elektrische Leitfähigkeit aufzuweisen, gebildet wer den; dann kann das Substrat 6 selbst als die untere Elektro de des deformierbaren Spiegels 400a dienen, wie dies in Fig. 17 gezeigt ist. In einem derartigen Fall ist es nicht länger erforderlich, die Verdrahtung von der unteren Elektro de auszudehnen, um die untere Elektrode mit einer externen Schaltung zu verbinden.

Darüber hinaus kann der deformierbare Spiegel 400 wie in den Abwandlungen des Beispiels 1 abgeändert werden. In diesem Fall können die vorteilhaften Wirkungen erzielt werden, die anhand der obigen Abwandlungen beschrieben sind.

Beispiel 5

Anhand der Fig. 18A und 18B wird im folgenden ein deformier barer Spiegel in einem fünften Beispiel der vorliegenden Er findung beschrieben. In den Fig. 18A und 18B werden die glei chen Bauteile wie in den Fig. 1A bis 17 mit den gleichen Be zugszeichen versehen und hier nicht näher erläutert.

Fig. 18A ist eine Schnittdarstellung, die eine Gestaltung eines deformierbaren Spiegels 500 in diesem Beispiel veran schaulicht. Fig. 18B ist eine vergrößerte Darstellung eines Teiles des deformierbaren Spiegels 500.

Wie in Fig. 18B gezeigt ist, umfaßt das flexible Glied 2 eine weichmagnetische Schicht 24 und den darauf gebildeten reflektierenden Film 10. Die weichmagnetische Schicht 24 kann aus Permalloy, Sendust oder dergl. hergestellt sein, welches Flexibilität des flexiblen Gliedes 2 hervorruft. Der reflektierende Film 10 kann aus Gold, Aluminium, Nickel oder dergl. hergestellt sein, und die Oberfläche des reflektieren den Filmes 10 dient als die Spiegeloberfläche 2a.

Das Substrat 6 wird beispielsweise durch ein Glasformverfah ren oder ein Harzformverfahren wie in den vorangehenden Bei spielen gebildet, um den unebenen Teil 3, den flachen Teil 4 und den stufenähnlichen Teil 5 zu haben. Das Substrat 6 kann aus einem Material mit hoher Festigkeit und einem kleinen linearen Ausdehnungskoeffizienten, wie beispielsweise einem Glasmaterial, hergestellt werden. Weiterhin ist eine elektro magnetische Spule 18 um das Substrat 6 gewickelt.

Der deformierbare Spiegel 500 ist von den in den vorangehen den Beispielen beschriebenen Spiegeln dadurch verschieden, daß die Deformation der Spiegeloberfläche durch eine elektro magnetische Kraft hervorgerufen ist. Das heißt, um den defor mierbaren Spiegel 500 zu deformieren, wird ein Strom von der Ansteuerschaltung 7 zu der elektromagnetischen Spule 18 ge speist, um dadurch ein Magnetfeld hervorzurufen. Das Magnet feld veranlaßt, daß das flexible Glied 2 mit der weichmagne tischen Schicht 24 zu dem Substrat 6 deformiert wird, so daß das flexible Glied 2 an dem unebenen Teil 3 des Substrates 6 durch die elektromagnetische Kraft anhaftet. Es ist vorzu ziehen, das Substrat 6 mittels eines weichmagnetischen Mate rials zu bilden. In diesem Fall kann sogar eine größere elektromagnetische Kraft erzeugt werden.

Gemäß dieser Gestaltung haftet die Spiegeloberfläche 2a an dem unebenen Teil 3 durch die elektromagnetische Kraft, und die Gestalt der Spiegeloberfläche 2a wird durch den unebenen Teil 3, der mit hoher Genauigkeit gestaltet werden kann, be stimmt, so daß es möglich ist, die sphärische Aberration, die durch die Spiegeloberfläche 2a dem Licht zu vermitteln ist, welches auf den deformierbaren Spiegel 500 einfällt, mit hoher Genauigkeit einzustellen.

Zusätzlich ist es möglich, durch Herstellen des Substrates 6 aus einem Material mit großer Festigkeit und einem kleinen linearen Ausdehnungskoeffizienten, wie beispielsweise einem Glasmaterial, die durch die Umgebung verursachten Schwankun gen in der Spiegeloberfläche 2a auf einen Mindestpegel zu drücken und dem einfallenden Licht eine konstante sphärische Aberration zu vermitteln. Weiterhin kann in dem Fall, in wel chem die elektromagnetische Kraft, die das flexible Glied 2 an dem Substrat 6 anhaften läßt, erhöht wurde, indem bei spielsweise das Substrat 6 aus einem weichmagnetischen Mate rial gebildet wurde, das flexible Glied 2 noch stabil an dem unebenen Teil 3 haften, selbst wenn eine durch die Ansteuer schaltung 7 angelegte Spannung in einem gewissen Ausmaß ver ändert wird.

Darüber hinaus kann der deformierbare Spiegel 500 wie in den Abwandlungen des Beispiels 1 verändert werden. In diesem Fall können auch die gleichen vorteilhaften Wirkungen er zielt werden, die anhand der obigen Abwandlungen beschrieben sind.

Beispiel 6

Anhand der Fig. 19A und 19B wird im folgenden ein deformier barer Spiegel in einem sechsten Beispiel der vorliegenden Er findung erläutert.

Fig. 19A ist eine Schnittdarstellung, die eine Gestaltung eines deformierbaren Spiegels 600 in diesem Beispiel veran schaulicht. Fig. 19B ist eine vergrößerte Darstellung eines Teiles des deformierbaren Spiegels 600. In diesem Beispiel werden die gleichen Bauteile wie in dem ersten bis fünften Beispiel mit den gleichen Bezugszeichen versehen und hier nicht näher erläutert.

Das flexible Glied 2 umfaßt eine flexible Materialschicht 25 und den darauf gebildeten reflektierenden Film 10, wie dies in Fig. 19B gezeigt ist. Die flexible Materialschicht 25 kann aus einem metallischen Film, einem Polymerfilm oder dergl. hergestellt sein. Der reflektierende Film 10 kann aus Gold, Aluminium, Nickel oder dergl. gebildet sein.

Das Substrat 6 wird wie in den vorangehenden Beispielen durch beispielsweise ein Glasformverfahren oder ein Harzform verfahren erzeugt, um den unebenen Teil 3, den flachen Teil 4 und den stufenähnlichen Teil 5 zu haben. Das Substrat 6 kann aus einem Material mit großer Festigkeit und einem klei nen linearen Ausdehnungskoeffizienten, wie beispielsweise einem Glasmaterial, gebildet werden. Weiterhin ist wenig stens ein Einlaßkanal 19 durch einen Bereich des unebenen Teiles 3 vorgesehen, wie dies in Fig. 19A gezeigt ist. Ein Einlaßrohr 20, das sich zur Außenseite des deformierbaren Spiegels 600 erstreckt, ist mit dem Einlaßkanal 19 verbun den. Das Verbindungsrohr 20 verzweigt in zwei Pfade. Einer der Pfade steht mit Luft über ein Ventil 21 in Verbindung, während der andere Pfad mit einer Vakuumpumpe 23 über ein Ventil 22 in Verbindung ist.

Wenn der deformierbare Spiegel 600 nicht deformiert wird, ist das Ventil 21 geöffnet, und das Ventil 22 ist geschlos sen. In einem derartigen Zustand ist der Druck in dem Spalt zwischen dem flexiblen Glied 2 und dem unebenen Teil 3 des Substrates 6 der gleiche wie der Atmosphärendruck, und die mechanische Spannung des flexiblen Gliedes 2 hält die Spie geloberfläche 2a flach. Wenn andererseits der deformierbare Spiegel 600 deformiert wird, wird gemäß einem durch die An steuerschaltung 7 vermittelten Befehl das Ventil 21 geschlos sen und das Ventil 22 geöffnet. Als Ergebnis wird der Druck in dem Spalt zwischen dem flexiblen Glied 2 und dem unebenen Teil 3 des Substrates 6 niedriger, so daß der Atmosphären druck das flexible Glied 2 veranlaßt, auf den unebenen Teil 3 des Substrates 6 gedrückt zu werden.

Gemäß dieser Gestaltung haftet die Oberfläche des reflektie renden Spiegels 10, die als eine Spiegeloberfläche 2a dient, an dem unebenen Teil 3 des Substrates 6, und die Gestalt der Spiegeloberfläche 2a wird durch den unebenen Teil 3 des Sub strates 6 bestimmt, der mit hoher Genauigkeit gestaltet wer den kann, wie dies im Beispiel 1 erläutert ist. Daher ist es möglich, die sphärische Aberration, die durch die Spiegel oberfläche 2a dem Licht zu vermitteln ist, das auf den defor mierbaren Spiegel 600 einfällt, mit hoher Genauigkeit einzu stellen.

Zusätzlich ist es durch Herstellen des Substrates 6 aus einem Material mit großer Festigkeit und einem kleinen linea ren Ausdehnungskoeffizienten, wie beispielsweise aus einem Glasmaterial, möglich, die durch die Umgebung in der Spiegel oberfläche 2a verursachte Änderung auf einen Mindestpegel zu drücken und dem einfallenden Licht eine konstante sphärische Aberration zu vermitteln.

Beispiel 7

Anhand der Fig. 20 bis 27 wird im folgenden ein deformier barer Spiegel in einem siebten Beispiel der vorliegenden Er findung näher erläutert. In diesem Beispiel werden die glei chen Bauteile wie in den vorangehenden Beispielen mit den gleichen Bezugszeichen versehen und hier nicht näher erläu tert.

Die Fig. 20 bis 23 sind schematische Darstellungen, die eine Gestaltung eines deformierbaren Spiegels 700 in diesem sieb ten Beispiel veranschaulichen. Fig. 20 ist eine Draufsicht des deformierbaren Spiegels 700, wie dieser von einem einfal lenden Lichtstrahl oder von oberhalb des flexiblen Gliedes zu sehen ist; Fig. 21 ist eine Schnittdarstellung des defor mierbaren Spiegels 700 längs der Linie X-X in Fig. 20; Fig. 22 ist eine Draufsicht des deformierbaren Spiegels 700 von oberhalb des Substrates; und Fig. 23 ist eine perspektivi sche Explosionsdarstellung des deformierbaren Spiegels 700.

Der deformierbare Spiegel 700 umfaßt ein einkristallines Siliziumsubstrat 50 mit einer quadratischen Öffnung 53, auf welcher das flexible Glied 2 festgelegt ist. Wie in Fig. 21 veranschaulicht ist, ist der Randteil des flexiblen Gliedes 2 auf dem Siliziumsubstrat 50 über einen Isolierfilm 51a festgelegt, welcher aus einem thermisch oxidierten Silizium film bestehen kann. Das flexible Glied 2 ist auf dem Sili ziumsubstrat 50 in einem Zustand befestigt, in welchem eine Dehnungsspannung bzw. -beanspruchung auf das flexible Glied 2 einwirkt.

Das flexible Glied 2 umfaßt die obere Elektrodenschicht 8 und den reflektierenden Film 10, wie dies in Fig. 21 gezeigt ist. Die obere Elektrodenschicht 8 ist beispielsweise aus einem Nickelfilm mit einer Dicke von etwa 5 µm gebildet. Der reflektierende Film 10 ist beispielsweise aus einem dünnen Film aus Gold, Aluminium oder dergl. mit einer Dicke von etwa 1 µm gebildet. Alternativ kann die Oberfläche der obe ren Elektrodenschicht 8 direkt als die reflektierende Ober fläche verwendet werden, ohne darauf den reflektierenden Film 10 vorzusehen.

Das Substrat 6 wird durch beispielsweise ein Glasformverfah ren oder ein Harzformverfahren wie in den vorangehenden Bei spielen gebildet, um den unebenen Teil 3 aufzuweisen. Weiter hin wird ein abgerundeter Teil 59 um den Rand der Oberseite des Substrates 6 vorgesehen, wie dies in den Fig. 21 und 23 gezeigt ist. Auf der Oberfläche des Substrates 6 sind die untere Elektrodenschicht 12, ein Verdrahtungsteil 55, ein Verdrahtungskissen 56 und Abstandsschichten 54 (vgl. Fig. 23) vorgesehen. Die Isolierschicht 9 ist darauf mit Ausnahme des abgerundeten Teiles 59 angeordnet. Daher ist die Isolier schicht 9 nicht in Berührung mit dem Verdrahtungskissen 56 auf dem abgerundeten Teil 59, wie dies in den Fig. 21 und 23 gezeigt ist.

Die untere Elektrodenschicht 12, die aus einem leitenden Material, wie beispielsweise Aluminium, Kupfer oder Platin hergestellt sein kann, ist primär über dem unebenen Teil 3 des Substrates 6 angeordnet. Die Abstandsschichten 54 werden gebildet, um die gleiche Dicke wie diejenige der unteren Elektrodenschicht 12 haben. In diesem Beispiel werden die untere Elektrodenschicht 12 und die Abstands schichten 54 beide aus Aluminium mit einer Dicke von etwa 1 µm herge stellt. Die Isolierschicht 9 ist aus Siliziumdioxid oder dergl. gebildet, um eine Dicke von beispielsweise etwa 1 µm zu besitzen. Der Verdrahtungsteil 55 zum Anlegen einer Span nung an die untere Elektrodenschicht 12 und das Verdrahtungs kissen 56 zum Aufbauen einer elektrischen Verbindung mit einem unteren Elektrodenkissen 58 sind aus dem gleichen Material wie dasjenige der unteren Elektrodenschicht 12 gebildet und haben ungefähr die gleiche Dicke wie diejenige der unteren Elektrodenschicht 12. Die Dicken der unteren Elektrodenschicht 12, der Abstandsschichten 54, des Verdrah tungsteiles 55, des Kissens 58 und des Isolierfilmes 9 sind so eingestellt, daß die Oberseite des Isolierfilmes 9, der über den Abstandsschichten 54 gelegen ist, die gleiche Höhe wie diejenige des Isolierfilmes 9 hat, der über der unteren Elektrodenschicht 12 und dem Verdrahtungsteil 55 gelegen ist, um die Oberfläche des flexiblen Gliedes 2 flach zu hal ten, wenn der Bereich des Substrates 50 und der Bereich des Substrates 6 zusammengebaut werden und keine Spannung an die Elektrodenschichten 8 und 12 angelegt ist.

Das Siliziumsubstrat 50, auf dem das flexible Glied 2 festge legt ist, und das Substrat 6, auf dem die untere Elektroden schicht 12 und die Isolierschicht 9 vorgesehen sind, haften derart aneinander, daß die obere Elektrodenschicht 8 des flexiblen Gliedes 2 der unteren Elektrodenschicht 12 des Substrates 6 gegenüberliegt, wie dies in den Fig. 20, 21 und 22 gezeigt ist. Das flexible Glied 2 ist angeordnet, um in Berührung mit der Oberseite der Isolierschicht 9 über den Abstandsschichten 54 bei der gleichen Höhe wie diejenige der Isolierschicht 9 über der unteren Elektrodenschicht 12 und dem Verdrahtungsteil 55 zu sein, und es vermag die Ober fläche hiervon flach zu halten.

Ein Haftmittel aus einem Epoxydharz oder dergl. mit einer elektrischen Leitfähigkeit wird als das Haftmittel verwen det. Das Siliziumsubstrat 50 und das Substrat 6 sind aneinan der über Haftmittel 57a und 57b angebracht, wie dies in Fig. 21 gezeigt ist. Das Haftmittel 57a wirkt auch als ein Glied zum Aufbauen einer elektrischen Verbindung zwischen dem Ver drahtungskissen 56 auf dem abgerundeten Teil 59 des Subtra tes 6 und dem unteren Elektrodenkissen 58, das über dem Sili ziumsubstrat 50 über den Isolierfilm 51a gebildet ist, wie dies in den Fig. 20 und 21 gezeigt ist. Durch Vorsehen des abgerundeten Teiles 59 für das Substrat 6 kann das Verdrah tungskissen 56 freigelegt werden, wenn das Siliziumsubstrat 50 und das Substrat 6 aneinander angebracht werden. Da zu sätzlich die Haftmittel 57a und 57b in enge Berührung mit diesem abgerundeten Teil 59 kommen, kann die Zuverlässigkeit der Haftung verbessert werden, und eine elektrische Verbin dung kann sicher zwischen dem Verdrahtungskissen 56 und dem unteren Elektrodenkissen 58 aufgebaut werden.

Ein freiliegender Teil 2b des flexiblen Gliedes 2 und des unteren Elektrodenkissens 58 ist mit der Ansteuerschaltung 7 mittels Lot oder dergl. verbunden (vgl. Fig. 22). Somit kann die Ansteuerschaltung 7 eine Spannung an die obere Elektrodenschicht 8 des flexiblen Gliedes 2 und die untere Elektrodenschicht 12 über den freiliegenden Teil 2b des flexiblen Gliedes 2 und das untere Elektrodenkissen 58 legen oder die Spannungsanlegung unterbrechen. In dem Fall, in wel chem der deformierbare Spiegel 700 den darauf einfallenden Lichtstrahl reflektiert, ohne eine sphärische Aberration für den Lichtstrahl vorzusehen, legt die Ansteuerschaltung 7 keine Spannung an, und das flexible Glied 2 wird aufgrund der an dem Glied 2 anliegenden Dehnungsbeanspruchung flach gehalten. Andererseits legt in dem Fall, in welchem eine sphärische Aberration für den einfallenden Lichtstrahl vorge sehen ist, die Ansteuerschaltung 7 eine Spannung an die obe re Elektrodenschicht 8 und die untere Elektrodenschicht 12. Zu dieser Zeit wird eine elektrostatische Kraft zwischen der oberen Elektrodenschicht 8 und der unteren Elektrodenschicht 12 auf dem Substrat 6 erzeugt, so daß das flexible Glied 2 zu dem Substrat 6 deformiert wird, um durch die elektrostati sche Kraft an dem unebenen Teil 3 anzuhaften. Als ein Ergeb nis kann eine vorbestimmte sphärische Aberration für den ein fallenden Lichtstrahl vorgesehen werden.

In diesem Beispiel ist die Ansteuerschaltung 7 außerhalb des deformierbaren Spiegels 700 vorgesehen. Alternativ kann, wie in Fig. 27 gezeigt ist, die Ansteuerschaltung 7 integriert auf dem Siliziumsubstrat 50 durch einen Halbleiterherstel lungsprozeß gebildet werden, um dadurch die obere Elektroden schicht 8 des flexiblen Gliedes 2 mit der Ansteuerschaltung 7 über eine Verdrahtung 81 und das untere Elektrodenkissen 58 mit der Ansteuerschaltung 7 über eine Verdrahtung 80 zu verbinden.

Im folgenden wird ein Beispiel eines Verfahrens zum Herstel len des deformierbaren Spiegels 700 anhand der Fig. 24A bis 24G näher erläutert.

Die Fig. 24A bis 24G sind Schnittdarstellungen, die jeweils Prozeßschritte zum Herstellen eines Teiles des Siliziumsub strates 50 und des deformierbaren Spiegels 700 veranschau lichen. Die folgenden Prozeßschritte werden vorgenommen.

(1) Zunächst werden, wie in Fig. 24A gezeigt ist, Silizium dioxidfilme 51a und 51b jeweils auf der Oberseite und der Unterseite des einkristallinen Siliziumsubstrates 50 mit einer (100)-Ebenenorientierung durch ein thermisches Oxida tionsverfahren erzeugt. Es sei bemerkt, daß die Oberseite des Siliziumsubstrates 50 einer Reib- oder Polierbehandlung unterworfen wurde und die Flachheit hiervon 1 nm oder weni ger beträgt. Sodann wird ein (nicht gezeigtes) Photoresist auf die Unterseite des Siliziumsubstrates 50 gebracht und sodann gemustert, um eine Photomaske mit einer rechteckförmi gen Gestalt (vgl. Fig. 20 und 21) entsprechend der Gestalt der Öffnung 53 zu bilden. Mittels der Photomaske wird eine rechteckförmige Öffnung durch den thermisch oxidierten Film 51b auf der Unterseite des Siliziumsubstrates 50 erzeugt, in dem ein Trockenätzen mittels CHF₃-Gas vorgenommen wird.
(2) Als nächstes werden, wie in Fig. 24B gezeigt ist, ein (nicht gezeigter) Tantalfilm oder dergl. mit einer Dicke von etwa 0,01 µm und ein Nickelfilm 52 oder dergl. mit einer Dicke von etwa 0,1 µm durch ein Zerstäubungsverfahren als ein Bereich des flexiblen Gliedes 2 auf dem thermisch oxi dierten Film 51a auf der Seite der oberen Oberfläche aufge tragen. Der Tantalfilm wird gebildet, um das Haftvermögen zwischen dem Siliziumdioxidfilm 51a und dem Nickelfilm 52 zu steigern.
(3) Sodann wird, wie in Fig. 24C gezeigt ist, ein nickel plattierter Film 60 mit einer vorbestimmten Dicke (beispiels weise etwa 5 µm) auf dem Nickelfilm 52 als dem verbleibenden Bereich des flexiblen Gliedes 2 durch ein elektrolytisches Plattierungsverfahren gebildet, wobei der Nickelfilm 53 als eine Elektrode verwendet wird. Während dieses Elektroplattie rens liegt eine Dehnungsbeanspruchung an dem nickelplattier ten Film 60.

Hier wird eine Reihe von Elektroplattierungsschritten zum Bilden des nickelplattierten Filmes 60, an dem die Dehnungs beanspruchung liegt, weiter unten näher beschrieben.

In dem Fall, in welchem 600 g/l an Nickelsulfonamid, 5 g/l an Nickelchlorid und 30 g/l an Borsäure als das elektrolyti sche Bad zum Plattieren von Nickel verwendet werden und die Badtemperatur auf 60°C eingestellt ist, kann die Beziehung zwischen der internen Beanspruchung des Nickelfilmes, der zu elektroplattieren ist, und der Stromdichte so dargestellt werden, wie dies in Fig. 25 gezeigt ist.

In Fig. 25 gibt die X-Achse die Stromdichte an, während auf der Y-Achse die interne Beanspruchung des Nickelfilmes aufge tragen ist. Wie in Fig. 25 gezeigt ist, kann die interne Be anspruchung des Nickelfilmes gesteuert werden, indem die Stromdichte während des Elektroplattierens gesteuert wird. Wenn beispielsweise eine interne Beanspruchung von 50 MPa an dem nickelplattierten Film 60 anliegt, so wird das Elektro plattieren bei einer Stromdichte von 16 A/dm² vorgenommen.

(4) Sodann wird, wie in Fig. 24D gezeigt ist, ein (nicht dar gestelltes) Photoresist auf den nickelplattierten Film 60 ge bracht. Dann wird das Photoresist durch Photolithographie ge mustert, um eine Photomaske mit Mustern entsprechend den Ge stalten des flexiblen Gliedes 2 und dem unteren Elektroden kissen 58 zu bilden (vgl. Fig. 22). Sodann wird ein Ätzen mittels der Photomaske durchgeführt, um den nickelplattier ten Film 60 und den Nickelfilm 52 (mit einer Dicke von etwa 0,1 µm) zu mu 27173 00070 552 001000280000000200012000285912706200040 0002019649600 00004 27054stern.
(5) Sodann wird, wie in Fig. 24E gezeigt ist, ein Naßätzen durchgeführt, indem das Siliziumsubstrat 50 in eine Kalium hydroxidlösung getaucht und der thermisch oxidierte Film 51 als eine Maske verwendet wird, so daß das Siliziumsubstrat 50 von der Unterseite zur Oberseite hiervon geätzt wird, um dadurch teilweise Silizium zu entfernen und die Öffnung 53 zu erzeugen. Wenn ein einkristallines Siliziumsubstrat mit tels Kaliumhydroxid geätzt wird, dann kann ein anisotropes Ätzen vorgenommen werden, so daß die Ätzrate in der Richtung einer (1, 0, 0)-Kristallebenenorientierung hoch wird, wäh rend die Ätzrate in der Richtung einer (1, 1, 1)-Kristall ebenenorientierung extrem niedrig wird. Daher wird eine kegelförmige Öffnung 53, wie diese in Fig. 24E gezeigt ist, gebildet. In einem derartigen Fall ist es möglich, die Öff nung mit hoher Genauigkeit in der Gestalt zu formen, die durch das Muster des thermisch oxidierten Filmes 51b be stimmt ist. Zu der gleichen Zeit wird auf der Seite der obe ren Oberfläche der Tantalfilm ebenfalls mittels des nickel plattierten Filmes 60 und des Nickelfilmes 53 als Maske ent fernt. Als ein Ergebnis wird ein Teil des nickelplattierten Filmes 60 und des Nickelfilmes 52 das flexible Glied 2, und der andere Teil des nickelplattierten Filmes 60 und des Nickelfilmes 52 wird das untere Elektrodenkissen 58.
(6) Sodann wird, wie in Fig. 24F gezeigt ist, ein Trocken ätzen von der Unterseite des Substrates 50 mittels CHF₃-Gas durchgeführt, um dadurch den thermisch oxidierten Film 51b auf der Unterseite, den thermisch oxidierten Film 51a und den Tantalfilm, der auf der Bodenfläche der Öffnung 53 gele gen ist, zu entfernen. Als ein Ergebnis erscheint eine Ebene A, der eine planare Gestalt mit einer hervorragenden Flach heit auf der Oberseite des Siliziumsubstrates 50 direkt ver mittelt wurde. Somit kann diese Ebene A als ein hervorragen der optischer Spiegel verwendet werden
(7) Schließlich wird, falls erforderlich, ein Aluminiumfilm mit einer Dicke von etwa 1 µm als der reflektierende Film 10 (vgl. Fig. 21) auf dem Nickelfilm 52 durch ein Zerstäubungs verfahren oder dergl., wie dies in Fig. 24G gezeigt ist, auf getragen, um weiter das Reflexionsvermögen der Ebene A zu verbessern.

Im folgenden werden die Herstellungsprozeßschritte des Berei ches des Substrates 6 näher erläutert. Die Fig. 26A bis 26D sind Schnittdarstellungen, die jeweilige Prozeßschritte zum Herstellen des Teiles des Substrates 6 des deformierbaren Spiegels 700 veranschaulichen.

(a) Zunächst wird, wie in Fig. 26A veranschaulicht ist, das Substrat 6 mit dem unebenen Teil 3 durch ein Glasformverfah ren oder ein Harzformverfahren gebildet.
(b) Sodann wird, wie in Fig. 26B gezeigt ist, das Substrat 6 durch einen Halter 71 gehalten, und die Oberseite des Sub strates 6 wird teilweise mit einer metallischen Maske 70 be deckt, die eine Öffnung entsprechend in der Gestalt zu der unteren Elektrodenschicht 12, dem Verdrahtungsteil 55, dem Verdrahtungskissen 56 und den Abstandsschichten 54 hat und die durch Ätzen einer rostfreien Stahlplatte oder dergl. ge bildet ist. Dann wird ein Aluminiumfilm 73 mit einer Dicke von etwa 1 µm durch ein Zerstäubungsverfahren oder dergl. auf Teilen des Substrates 6, die durch die Öffnung der metal lischen Maske 70 freiliegen, d. h. auf Teilen entsprechend der unteren Elektrodenschicht 12, dem Verdrahtungsteil 55, dem Verdrahtungskissen 56 und den Abstandsschichten 54, auf getragen.
(c) Sodann wird, wie in Fig. 26C gezeigt ist, die Oberseite des durch den Halter 71 gehaltenen Substrates 6 teilweise mit einer anderen metallischen Maske 72 mit einer Öffnung derart bedeckt, daß der abgerundete Teil 59 des Substrates 6 durch die Maske 72 bedeckt ist. Dann wird ein Siliziumdioxid film 9 mit einer Dicke von etwa 1 µm durch ein Zerstäubungs verfahren oder dergl. auf den Teilen des Substrates 6, die durch die Öffnung der metallischen Maske 72 freiliegen, d. h., auf der gesamten Oberseite des Substrates 6 mit Aus nahme des abgerundeten Teiles 59, aufgetragen.

Da, wie oben beschrieben ist, das flexible Glied 2 durch einen Halbleiterherstellungsprozeß gemäß diesem Verfahren gebildet wird, kann das flexible Glied 2 mit hoher Genauig keit hergestellt werden, und die Oberfläche, auf die ein Lichtstrahl einfällt, kann in noch genauerer Gestalt gebil det werden. Da zusätzlich das flexible Glied 2 und das unte re Elektrodenkissen 58 in einer Reihe von Prozessen gebildet werden können, können die Herstellungsprozesse vereinfacht werden.

Darüber hinaus kann der deformierbare Spiegel 200 wie in den Abwandlungen des Beispiels 1 modifiziert werden. In diesem Fall können auch die vorteilhaften Wirkungen erreicht wer den, die anhand der obigen Abwandlungen beschrieben sind.

Beispiel 8

Fig. 28 ist ein schematisches Blockdiagramm, das eine bei spielhafte Gestaltung eines Aufzeichnungs- und Wiedergabe gerätes 1000 gemäß der vorliegenden Erfindung veranschau licht. Das Gerät 1000 verwendet einen der oben beschriebenen deformierbaren Spiegel als einen Teil des optischen Systems hiervon. Im folgenden wird die Gestaltung des Aufzeichnungs- und Wiedergabegerätes 1000 anhand der Fig. 28 näher erläu tert. In der folgenden Beschreibung wird ein Aufzeichnungs- und Wiedergabegerät, das für zwei Arten von optischen Plat ten mit Substratdicken von etwa 0,6 mm bzw. etwa 1,2 mm ver wendet werden kann und das den deformierbaren Spiegel von Beispiel 1 umfaßt, als ein Beispiel erläutert.

Wie in Fig. 28 gezeigt ist, verläuft ein von einer Halblei terlaservorrichtung 1001 emittierter Strahl 1004 durch eine Kollimatorlinse 1002, um auf einen Strahlteiler 1003 einzu fallen. Der Strahl 1004 ist linear-polarisiertes Licht, das durch den Strahlteiler 1003 verlaufen kann, wenn der Strahl 1004 von der Laservorrichtung 1001 emittiert ist. Somit wird der Strahl 1004 durch den Strahlteiler 1003 übertragen und verläuft dann durch ein Viertelwellenlängenplättchen 1005, um einen Strahlteiler 1006 zu erreichen. Da die Polarisation des Strahles 1004 verändert wird, während er durch das Vier telwellenlängenplättchen 1005 verläuft, überträgt auch der Strahlteiler 1006 den Strahl 1004.

Der Strahl 1004 erreicht den deformierbaren Spiegel 1, nach dem er durch den Strahlteiler 1006 und ein Viertelwellenlän genplättchen 1007 verlaufen ist. Das durch diesen deformier baren Spiegel 1 reflektierte Licht wird durch das Viertelwel lenlängenplättchen 1007 übertragen, um den Strahlteiler 1006 zu erreichen. Zu dieser Zeit reflektiert der Strahlteiler 1006 den Strahl 1004, da die Polarisation des Strahles 1004 aufgrund des Viertelwellenlängenplättchens 1007 verändert ist. Dann fällt der Strahl 1004 auf eine Objektivlinse 1008 ein und wird durch die Objektivlinse 1008 konvergiert, um einen Lichtfleck 1010 auf einer optischen Platte 1009 zu bil den.

Der durch die optische Platte 1009 reflektierte Lichtstrahl 1011 kehrt durch die Objektivlinse 1008 zu den Strahlteiler 1006 zurück. Nach Reflexion durch den Strahlteiler 1006 ver läuft der Lichtstrahl 1011 durch das Viertelwellenlängen plättchen 1007 und fällt dann wieder auf den deformierbaren Spiegel 1 ein. Dann verläuft der durch den deformierbaren Spiegel 1 reflektierte Lichtstrahl 1011 durch das Viertelwel lenlängenplättchen 1007, den Strahlteiler 1006 und das Vier telwellenlängenplättchen 1005 und erreicht den Strahlteiler 1003. Der Strahlteiler 1003 reflektiert den Lichtstrahl 1011 zu einer Linse 1012, so daß der Lichtstrahl 1011 auf einen Photodetektor 1013 fokussiert wird. Der Photodetektor 1013 erzeugt ein elektrisches Signal gemäß der Lichtmenge des darauf einfallenden Lichtstrahles 1011.

Das durch den Photodetektor 1013 erzeugte elektrische Signal wird zu einem Controller höherer Ordnung über einen Signal prozessor 1019 gesandt und einer Signalverarbeitung unterwor fen, um ein Informationssignal entsprechend einer auf der optischen Platte 1009 aufgezeichneten Information und Servo signale zu erhalten, die zum Steuern der Position der Objek tivlinse 1008 bezüglich der optischen Platte 1009 verwendet werden. Die erhaltenen Servosignale werden zu einer Servo schaltung 1018 über einen Systemcontroller 1016 gespeist. Die Servoschaltung 1018 betätigt einen Linearmotor 1017, um einen optischen Abnehmer einschließlich der Objektivlinse 1008 in einer Richtung senkrecht zu der optischen Platte 1009 und/oder einer Richtung parallel zu der Radialrichtung der optischen Platte 1009 zu verfahren.

Die Objektivlinse 1008 wurde so ausgelegt, daß sie für eine optische Platte mit einer Substratdicke von etwa 0,6 mm ver wendbar ist. Somit wird in diesem achten Beispiel der Zu stand des deformierbaren Spiegels 1 gemäß der Dicke der untergebrachten optischen Platte 1009 transformiert, um so die Fokussiereigenschaft der Objektivlinse 1008 an die opti sche Platte 1009 anzupassen. Das heißt, wenn eine Platte mit einer Dicke von etwa 1,2 mm zu installieren ist, wird der deformierbare Spiegel 1 deformiert, um den Lichtstrahl 1004 mit einer sphärischen Aberration zu versehen, damit die Fokussiereigenschaft der Objektivlinse 1008 an die optische Platte 1009 angepaßt wird. Somit kann der Lichtstrahl 1004 auf die Platte in einer geeigneten Weise für die Aufzeich nungs- und Wiedergabeoperationen selbst in dem Fall der Platte mit einer Substratdicke von etwa 1,2 mm fokussiert werden.

Es sei darauf hingewiesen, daß der deformierbare Spiegel 1 ein Planspiegel ist, wenn er nicht deformiert ist, wie dies in Beispiel 1 beschrieben ist. Im folgenden wird der Betrieb des deformierbaren Spiegels 1 näher erläutert.

Zunächst bestimmt ein über der optischen Platte 1009 vorge sehener Plattendickensensor 1015, ob die Dicke der instal lierten Platte 0,6 mm oder 1,2 mm beträgt. Der Plattendicken sensor 1015 hat einen Aufbau, wie dieser in Fig. 29 gezeigt ist. Das heißt, der Plattendickendetektor 1015 umfaßt eine Lichtquelle 1100 und einen Lichtpositionsdetektor 1101. In diesem Plattendickensensor 1015 wird ein Lichtstrahl 1102 von der Lichtquelle 1100 emittiert und durch die Oberseite der optischen Platte 1009 reflektiert. Wenn die optische Platte 1009 eine Dicke von etwa 0,6 mm hat, so fällt das reflektierte Licht auf den Lichtpositionsdetektor 1101 über einen optischen Strahlengang 1104 ein. Wenn andererseits die optische Platte 1009 eine Dicke von etwa 1,2 mm aufweist, so fällt das reflektierte Licht auf den Lichtpositionsdetektor 1101 über einen optischen Strahlengang 1103 ein. Daher kann die Dicke der Platte 1009 bestimmt werden, indem der Licht positionsdetektor 1101 die Position des reflektierten Lich tes zu bestimmen vermag.

Sodann empfängt in Fig. 28 der Systemcontroller 1016 Informa tion über die Dicke der Platte von dem Plattendickensensor 1015, um dadurch die Ansteuerschaltung 7 für den deformier baren Spiegel 1, falls erforderlich, zu betätigen. Wenn in diesem Schritt die optische Platte 1009 eine Dicke von etwa 0,6 mm hat, so deformiert die Ansteuerschaltung 7 nicht den deformierbaren Spiegel 1. Wenn andererseits die optische Platte 1009 eine Dicke von etwa 1,2 mm aufweist, so defor miert die Ansteuerschaltung 7 den deformierbaren Spiegel 1, um dadurch das flexible Glied des deformierbaren Spiegels 1 zu veranlassen, durch elektrostatische Kraft an der Bezugs oberfläche des Substrates anzuhaften. In dem Fall der Verwen dung des deformierbaren Spiegels 500 von Beispiel 5 wird eine elektromagnetische Kraft erzeugt, um den deformierbaren Spiegel zu deformieren. Als ein Ergebnis wird eine vorbe stimmte sphärische Aberration für den durch den deformier baren Spiegel 1 reflektierten Lichtstrahl 1004 vorgesehen, und die Objektivlinse 1008 kann den Lichtstrahl 1004 in einer geeigneten Weise für die Aufzeichnungs- und Wiedergabe operationen bezüglich der optischen Platte 1009 mit einer Dicke von etwa 1,2 mm fokussieren.

In diesem Fall kann der unebene Teil des deformierbaren Spie gels 1 in jeder beliebigen Gestalt gebildet werden, solange die Spiegeloberfläche 2a des flexiblen Gliedes 2, die an dem unebenen Teil anhaftet, eine Gestalt hat, die durch die fol gende Gleichung 1 wiedergegeben werden kann, in welcher r (mm) einen Radius von der Mitte der Spiegeloberfläche 2a und f(r) (µm) die Gestalt der Spiegeloberfläche 2a, wie in Fig. 30 gezeigt, bedeuten:

f(r) = 3.3168 × 10^-2 · r⁶ - 3.9542 × 10³ · r⁴ - 0.505 · r² (1)

In dem oben beschriebenen Beispiel wird eine Objektivlinse, die so ausgelegt ist, daß sie an eine optische Platte mit einer Substratdicke von etwa 0,6 mm angepaßt ist, als die Objektivlinse 1008 verwendet. Somit wird keine sphärische Aberration für den Lichtstrahl 1004 in dem Fall der opti schen Platte mit der Substratdicke von etwa 0,6 mm vorge sehen, wohingegen eine sphärische Aberration durch den defor mierbaren Spiegel 1 für den Lichtstrahl 1004 in dem Fall einer optischen Platte mit einer Substratdicke von etwa 1,2 mm geliefert wird. Jedoch ist die vorliegende Erfindung auch auf den entgegengesetzten Fall anwendbar. In einem derarti gen Fall kann der unebene Teil des deformierbaren Spiegels 1 in jeder beliebigen Gestalt gebildet werden, solange die Spiegeloberfläche 2a des flexiblen Gliedes 2, das an dem unebenen Teil anzuhaften ist, eine durch die folgende Gleichung 2 wiedergegebene Gestalt hat, in welcher r (mm) einen Radius von der Mitte der Spiegeloberfläche 2a und f(r) (µm) die Gestalt der Spiegeloberfläche 2a bedeuten, wie dies in Fig. 31 gezeigt ist:

f(r) = -2.2 × 10^-1 + 3.4868 × 10^-1 · r² - 1.277 × 10^-1 · r⁴ - 1.6348 × 10^-2 · r⁶ + 7.0052 × 10^-3 · r⁸ (2)

Da jedoch eine optische Platte mit einer Substratdicke von etwa 0,6 mm eine hohe Aufzeichnungsdichte hat, ist eine höhere Lagegenauigkeit für die zu verwendenden optischen Glieder im Vergleich mit dem Fall der Wiedergabe von Informa tion von einer optischen Platte mit einer Substratdicke von etwa 1,2 mm, wie beispielsweise einer CD, erforderlich. Ge mäß den Ergebnissen, die mittels einer Gerätesimulation durch die Erfinder erhalten wurden, kann die für die opti schen Glieder erforderliche Lagegenauigkeit weniger streng sein, falls ein Lichtstrahl, auf den eine sphärische Aberra tion einwirkt, bei der Wiedergabe von Information von einer Platte mit einer Substratdicke von etwa 1,2 mm einfällt. Wenn so der deformierbare Spiegel 1 ein Planspiegel ist, ist es wünschenswert, Information von einer optischen Platte mit einer Substratdicke von etwa 0,6 mm wiederzugeben. Wenn ande rerseits der deformierbare Spiegel 1 deformiert ist, ist es wünschenswert, Information von einer optischen Platte mit einer Substratdicke von etwa 1,2 mm wiederzugeben.

In diesem achten Beispiel wird der Zustand des deformier baren Spiegels 1 gemäß den Abtastergebnissen verändert, die durch den Plattendickensensor 1015 erhalten sind. Jedoch ist die vorliegende Erfindung hierauf nicht beschränkt. Bei spielsweise kann der Zustand des deformierbaren Spiegels 1 auch verändert werden, wenn die auf der optischen Platte 1009 aufgezeichnete Information nicht ausgelesen werden kann.

Darüber hinaus ist das erfindungsgemäße Aufzeichnungs- und Wiedergabegerät nicht auf das in Fig. 28 gezeigte Gerät be grenzt. Alternativ kann jedes beliebige Aufzeichnungs- und Wiedergabegerät auch verwendet werden, solange das Gerät eine Objektivlinse das durch den deformierbaren Spiegel re flektierte Licht auf eine optische Platte konvergieren las sen kann. Daher braucht der deformierbare Spiegel nicht immer senkrecht zu dem einfallenden Licht angeordnet zu wer den, wie dies in Fig. 28 gezeigt ist. Wenn jedoch der defor mierbare Spiegel nicht senkrecht zu dem einfallenden Licht ist, wird die Gestalt des auf den deformierbaren Spiegel ein fallenden Lichtes elliptisch, so daß es etwas schwierig wird, einen geeigneten deformierbaren Spiegel herzustellen. Wenn, wie oben beschrieben ist, erfindungsgemäß eine sphäri sche Aberration für einen Lichtstrahl vorgesehen werden muß, wird ein deformierbarer Spiegel deformiert, indem das flexib le Glied an dem unebenen Teil (oder der Bezugsoberfläche) des Substrates zum Anhaften gebracht wird. Indem so das Sub strat mit einer großen Festigkeit und einem kleinen linearen Ausdehnungskoeffizienten, wie beispielsweise aus Glasmate rial gebildet wird, ist es möglich, den durch Umgebungs schwankungen verursachten Verschiebungsbetrag auf einen Mini malpegel zu drücken. Wenn zusätzlich die Haftkraft des flexiblen Gliedes bezüglich des unebenen Teiles des Substra tes ausreichend hoch eingestellt ist, wird selbst dann, wenn eine Ansteuerkraft in einem gewissen Ausmaß verändert wird, die Haftkraft bezüglich des unebenen Teiles nicht wesentlich geschwächt. Folglich kann die Gestalt des auf dem flexiblen Glied ausgebildeten Spiegels mit hoher Genauigkeit konstant gehalten werden.

Darüber hinaus ist in einem deformierbaren Spiegel das flexible Glied festgelegt, indem dort eine Dehnungsbeanspru chung angelegt wird. Selbst wenn so die Umgebungstemperatur ansteigt und das flexible Glied sich ausdehnt, wobei der deformierbare Spiegel nicht deformiert ist, absorbiert die (mechanische) Spannung diese Expansionskraft, um so eine Deformation, wie beispielsweise ein Krümmen oder Verbiegen, zu verhindern. Da andererseits die (mechanische) Spannung größer wird, falls die Temperatur sinkt, kann die Spiegel oberfläche flach gehalten werden. Da zusätzlich eine (mecha nische) Spannung an das flexible Glied angelegt wurde, kann die Eigenfrequenz des flexiblen Gliedes erhöht werden. Selbst wenn eine externe Schwingung auf den Spiegel ein wirkt, ist es möglich, die Verschiebung des flexiblen Glie des auf einen optisch vernachlässigbaren Pegel zu drücken.

Weiterhin wird in einem deformierbaren Spiegel gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung eine zwischen zwei Elektro den erzeugte elektrostatische Kraft als eine Antriebskraft verwendet, die das flexible Glied an dem unebenen Teil des Substrates anhaften läßt. Somit kann die Gestaltung des de formierbaren Spiegels vereinfacht werden, d. h., es ist lediglich erforderlich, zwei flache Elektroden für das flexible Glied bzw. das Substrat vorzusehen.

Auch wird in einem deformierbaren Spiegel gemäß einem ande ren Ausführungsbeispiel der Erfindung eine Magnetkraft als Antriebs- oder Ansteuerkraft für das flexible Glied verwen det, auf dem der weichmagnetische Film ausgebildet ist. So mit wird eine konstante und genaue Spiegeloberfläche reali siert, indem die Magnetkraft auf einen geeigneten Wert einge stellt wird.

Weiterhin wirkt in einem deformierbaren Spiegel gemäß noch einem anderen Ausführungsbeispiel ein Atmosphärendruck auf das flexible Glied ein, um so das flexible Glied an dem un ebenen Teil des Substrates anhaften zu lassen. Als Ergebnis wird eine konstante und genaue Spiegeloberfläche realisiert, und die Gestaltung kann beträchtlich vereinfacht werden.

Weiterhin ist in einem deformierbaren Spiegel gemäß noch einem anderen Ausführungsbeispiel ein Luftloch (wie bei spielsweise eine Rille, ein winziges Loch oder ein Durch gangsloch) durch den unebenen Teil auf dem Substrat oder das flexible Glied vorgesehen, um die Luft auszublasen, die in dem Spalt zwischen dem unebenen Teil und dem flexiblen Glied vorhanden ist. Somit kann die Luft, die zu komprimieren ist, wenn das flexible Glied an dem unebenen Teil anhaftet, durch das Luftloch ausgestoßen werden. Als Ergebnis kann das flexible Glied einfacher an dem unebenen Teil anhaften.

Weiterhin ist in einem deformierbaren Spiegel gemäß noch einem anderen Ausführungsbeispiel der Erfindung das flexible Glied auf dem Trägersubstrat festgelegt und wird über dem Substrat mittels des Trägersubstrates zurückgehalten. Somit ist es möglich, das flexible Glied mit hoher Genauigkeit zu gestalten, während Abscheidungs- und Photolithographie-Pro zesse für das Trägersubstrat vorgenommen werden. Wenn zusätz lich ein Verdrahtungskissen zum Aufbauen einer elektrischen Verbindung mit einer externen Schaltung durch das Trägersub strat vorgesehen ist, dann wird die Verbindung noch ein facher realisiert.

Weiterhin ist in einem deformierbaren Spiegel gemäß noch einem anderen Ausführungsbeispiel der Erfindung das Träger substrat aus einkristallinem Silizium hergestellt. Somit kann das flexible Glied mit hoher Genauigkeit durch Aus nutzen eines Halbleiterherstellungsprozesses gebildet wer den. Zusätzlich wird eine Massenproduktion für ein derarti ges flexibles Glied durch Einsatz eines Chargenprozesses realisiert, und ein Controller zum Ansteuern des flexiblen Gliedes kann integriert auf dem Halbleitersubstrat ausgebil det werden.

Gemäß einem bevorzugten Herstellungsverfahren für den defor mierbaren Spiegel wird das flexible Glied mittels eines Elektroplattierverfahrens gebildet. Somit kann eine vorbe stimmte Dehnungsbeanspruchung auf das flexible Glied durch Steuern von beispielsweise der Stromdichte angewandt werden.

Bei einem optischen Gerät gemäß der Erfindung kann Licht in optisch verschiedenen Zuständen, d. h. Licht ohne sphärische Aberration und Licht, das mit sphärischer Aberration durch den deformierbaren Spiegel versehen ist, abhängig davon aus gegeben werden, ob der deformierbare Spiegel deformiert ist oder nicht.

Weiterhin kann in einem optischen Gerät gemäß einem Ausfüh rungsbeispiel der Erfindung ein Fokussierzustand einschließ lich einer Lage auf der optischen Platte, bei der ein Licht fleck gebildet wird, und einer Abmessung des erzeugten Licht fleckes und dergl., abhängig davon, ob der deformierbare Spiegel deformiert ist oder nicht, selbst in dem Fall der Verwendung einer einzigen Objektivlinse verändert werden.

Weiterhin wird durch Verwenden einer Objektivlinse, die so ausgelegt ist, daß sie an einen von zwei Typen von optischen Platten angepaßt ist, was es erforderlich macht, optische Glieder lagemäßig mit hoher Genauigkeit einzustellen, eine sphärische Aberration nicht für einen der optischen Platten typen eingesetzt, wohingegen in dem Fall des anderen opti schen Plattentyps eine sphärische Aberration für das Licht vorgesehen werden muß. Wenn so mit der optischen Platte, die eine höhere Genauigkeit an Lageausrichtung der optischen Glieder benötigt, aufgezeichnet oder wiedergegeben wird, ist es für den deformierbaren Spiegel nicht notwendig, defor miert zu werden, so daß die optische Platte stabiler mit Licht bestrahlt wird.

Bei einem Aufzeichnungs- und Wiedergabegerät nach einem Aus führungsbeispiel der vorliegenden Erfindung wird der Zustand des deformierbaren Spiegels abhängig von einer Substratdicke von zwei Arten von optischen Platten mit verschiedenen Sub stratdicken verändert. In diesem Fall erfordert eine opti sche Platte mit einer dünneren Substratdicke eine höhere Ge nauigkeit in der Lageausrichtung der optischen Glieder. Da her wird die optische Platte mit der dünneren Substratdicke bevorzugt mit Licht ohne sphärischer Aberration bestrahlt, während der deformierbare Spiegel nicht deformiert ist. Selbst wenn irgendein anderes optisches Glied in einem gewis sen Ausmaß verschoben ist, kann Information befriedigend von der optischen Platte wiedergegeben werden.

Die Erfindung schafft zusammenfassend einen deformierbaren Spiegel zum Reflektieren eines darauf einfallenden Licht strahles, mit: einem flexiblen Glied, das eine reflektieren de Oberfläche hat und das flexibel deformierbar ist, einem Substrat mit einer Bezugsoberfläche, die dem flexiblen Glied gegenüberliegt, und einem Ansteuerabschnitt, der das flexib le Glied an der Bezugsoberfläche des Substrates anhaften läßt, um die reflektierende Oberfläche des flexiblen Gliedes so zu deformieren, daß sie der Bezugsoberfläche entspricht.

Die Gestalt der Bezugsoberfläche ist derart ausgelegt, daß der Lichtstrahl mit einer sphärischen Aberration versehen wird, wenn die reflektierende Oberfläche an der Bezugsober fläche anhaftet.

Claims

1. Deformierbarer Spiegel zum Reflektieren eines darauf ein fallenden Lichtstrahles, gekennzeichnet durch:
ein flexibles Glied (2), das eine reflektierende Ober fläche (2a) hat und flexibel deformierbar ist,
ein Substrat (6) mit einer Bezugsoberfläche, die dem flexiblen Glied (2) gegenüberliegt,
eine Ansteuereinrichtung (7, 8, 12), die das flexible Glied (2) auf der Bezugsoberfläche des Substrates (6) anhaften läßt, um so die flexible Oberfläche (2a) des flexiblen Gliedes (2) der Bezugsoberfläche entsprechen zu lassen,
wobei die Gestalt der Bezugsoberfläche derart ausge legt ist, daß der Lichtstrahl mit sphärischer Aberration versehen wird, wenn die reflektierende Oberfläche an der Bezugsoberfläche anhaftet.

2. Deformierbarer Spiegel nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß das flexible Glied (2) oberhalb der Bezugs oberfläche des Substrates (6) angeordnet ist, während eine Dehnungsbeanspruchung auf die reflektierende Ober fläche des flexiblen Gliedes (2) einwirkt, so daß die reflektierende Oberfläche (2a) als ein Flachspiegel dient.

3. Deformierbarer Spiegel nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß die Ansteuereinrichtung (7, 8, 12) auf weist:
eine obere Elektrode (8) und eine untere Elektrode (12), die einander gegenüberliegend angeordnet sind, und
eine Ansteuerschaltung (7) zum Anlegen einer Spannung an die obere Elektrode (8) und die untere Elektrode (12), um dazwischen eine elektrostatische Kraft zu erzeu gen,
wobei das flexible Glied (2) die obere Elektrode (8) und das Substrat (6) die untere Elektrode (12) aufweisen und das flexible Glied (2) an der Bezugsoberfläche des Substrates (6) durch die elektrostatische Kraft anhaf tet.

4. Deformierbarer Spiegel nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß die Ansteuereinrichtung eine weichmagneti sche Schicht (24), die auf dem flexiblen Glied (2) vorge sehen ist, und eine Magnetkrafterzeugungseinrichtung (18) aufweist, und daß das flexible Glied (2) an der Bezugsoberfläche des Substrates (6) durch Magnetkraft anhaftet (Fig. 18A, 18B).

5. Deformierbarer Spiegel nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß die Ansteuereinrichtung eine Luftdruck- Anlegeeinrichtung (20 bis 23) aufweist, um einen Luft druck an das flexible Glied (2) anzulegen (Fig. 19A, 19B).

6. Deformierbarer Spiegel nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß wenigstens ein Bauteil aus dem flexiblen Glied (2) und dem Substrat (6) einen Teil zum Entfernen eines Luftvolumens aus dem Raum zwischen dem flexiblen Glied (2) und dem Substrat (6) hat, wenn das flexible Glied (2) an dem Substrat (6) anhaftet.

7. Deformierbarer Spiegel nach Anspruch 6, dadurch gekenn zeichnet, daß der Teil eine auf der Bezugsoberfläche des Substrates (6) ausgebildete Rillengestalt (14) hat.

8. Deformierbarer Spiegel nach Anspruch 6, dadurch gekenn zeichnet, daß der Teil ein durch das flexible Glied (2) ausgebildetes winziges Loch (15) ist.

9. Deformierbarer Spiegel nach Anspruch 6, dadurch gekenn zeichnet, daß der Teil ein durch das Substrat (6) vorge sehenes Durchgangsloch (16) ist.

10. Deformierbarer Spiegel nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch ein weiteres Substrat, auf dem das flexible Glied festgelegt ist.

11. Deformierbarer Spiegel nach Anspruch 10, dadurch gekenn zeichnet, daß das weitere Substrat einkristallines Sili zium umfaßt.

12. Verfahren zum Herstellen eines deformierbaren Spiegels nach Anspruch 11, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte:
Erzeugen eines metallischen reflektierenden Filmes (60), der als das flexible Glied zu dienen hat, auf dem weiteren Substrat (50) durch ein Plattierungsverfahren, wobei eine Dehnungsbeanspruchung auf den metallischen reflektierenden Film (60) einwirkt,
Abätzen eines Teiles des weiteren Substrates (50) mit Ausnahme eines Teiles entsprechend der Bezugsoberfläche des Substrates, um so eine Öffnung (53) zu bilden, und
Befestigen des weiteren Substrates an dem Substrat, so daß die Öffnung über der Bezugsoberfläche gelegen ist.

13. Optische Vorrichtung mit einem deformierbaren Spiegel nach Anspruch 1 und einem optischen System, das einen Lichtstrahl auf den deformierbaren Spiegel einfallen und den durch den deformierbaren Spiegel reflektierten Licht strahl empfangen läßt.

14. Optische Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekenn zeichnet, daß der deformierbare Spiegel (1) den darauf einfallenden Lichtstrahl mit sphärischer Aberration ver sieht, wenn er gerade deformiert ist.

15. Optische Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekenn zeichnet, daß das optische System eine Linse (1012) um faßt, die den durch den deformierbaren Spiegel (1) reflektierten Lichtstrahl empfängt, daß die Linse (1012) den Lichtstrahl auf einen ersten Punkt reflektiert, wenn der deformierbare Spiegel (1) nicht deformiert ist, und daß die Linse (1012) den Lichtstrahl auf einen von dem ersten Punkt verschiedenen zweiten Punkt fokussiert, wenn der deformierbare Spiegel (1) deformiert ist.

16. Optische Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekenn zeichnet, daß der Lichtstrahl auf den ersten Punkt in einem Fall fokussiert ist, wenn die optischen Glieder lagemäßig mit höherer Genauigkeit einzustellen sind.

17. Gerät zum Durchführen wenigstens einer Operation aus einer Aufzeichnungs- und einer Wiedergabeoperation, umfassend:
eine Lichtquelle (1001),
einen deformierbaren Spiegel (1) mit einer reflektie renden Oberfläche zum Reflektieren eines Lichtstrahles, der auf die reflektierende Oberfläche aus einer Richtung von der Lichtquelle (1001) einfällt, wobei der deformier bare Spiegel (1) den Lichtstrahl mit sphärischer Aberra tion versehen kann, und
eine Objektivlinse (1012) zum Fokussieren des durch den deformierbaren Spiegel (1) reflektierten Lichtstrah les, wobei die Objektivlinse (1012) so ausgebildet ist,
daß sie einen Lichtfleck auf einem ersten optischen Auf zeichnungsmedium mit einer ersten Substratdicke in einem geeigneten Fokussierzustand für die Operationen des ersten optischen Aufzeichnungsmediums bildet, wobei der deformierbare Spiegel (1) umfaßt:
ein flexibles Glied (2), das die reflektierende Ober fläche hat und flexibel deformierbar ist,
ein Substrat (6) mit einer Bezugsoberfläche, die dem flexiblen Glied (2) gegenüberliegt, und
eine Ansteuereinrichtung (7, 8, 12), die das flexible Glied (2) an der Bezugsoberfläche des Substrates (6) an haften läßt, um die reflektierende Oberfläche entspre chend der Bezugsoberfläche zu deformieren,
wobei die Gestalt der Bezugsoberfläche so ausgelegt ist, daß sie den Lichtstrahl mit der sphärischen Aberra tion versieht, wenn das flexible Glied (2) an der Bezugs oberfläche haftet, und
wobei der Fokussierzustand des Lichtstrahles ver ändert wird, um für das zweite optische Aufzeichnungs medium mit einer zweiten, von der ersten Substratdicke verschiedenen Substratdicke geeignet zu sein, wenn der deformierbare Spiegel (1) deformiert ist.

18. Gerät nach Anspruch 17, gekennzeichnet durch weiterhin eine Diskriminiereinrichtung (1013), um das erste opti sche Aufzeichnungsmedium und das zweite optische Auf zeichnungsmedium zu diskriminieren und der Ansteuerein richtung (7, 8, 12) des deformierbaren Spiegels (1) zu befehlen, das flexible Glied (2) an dem Substrat (6) an haften zu lassen, wenn wenigstens eine Operation aus den Aufzeichnungs- und Wiedergabeoperationen bezüglich des zweiten Aufzeichnungsmediums durchgeführt wird.

19. Gerät nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß dann, wenn ein unbekanntes optisches Aufzeichnungsmedium auf dem Gerät installiert ist, das Gerät die Wiedergabe operation bezüglich des unbekannten optischen Aufzeich nungsmediums vornimmt, wobei angenommen wird, daß das unbekannte optische Aufzeichnungsmedium das erste opti sche Aufzeichnungsmedium ist, und
wobei eine Einrichtung vorgesehen ist, um der Ansteuereinrichtung (7, 8, 12) des deformierbaren Spie gels (1) zu befehlen, das flexible Glied (2) an dem Sub strat (6) anhaften zu lassen, damit der deformierbare Spiegel (1) deformiert wird, wenn auf dem unbekannten optischen Aufzeichnungsmedium aufgezeichnete Information nicht richtig aufgrund des von dem unbekannten optischen Aufzeichnungsmedium reflektierten Lichtstrahles wiederge geben wird.

20. Gerät nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Substratdicke dünner als die zweite Substratdicke ist.