DE19640946A1 - Röntgenaufnahme-Anordnung mit einem Photoleiter - Google Patents
Röntgenaufnahme-Anordnung mit einem PhotoleiterInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Erzeugung von Röntgenaufnahmen
mittels eines Röntgenbildwandlers, der einen die Röntgenstrahlung wenigstens
teilweise absorbierenden Photoleiter auf einem als Elektrode wirksamen Substrat
umfaßt, mit Mitteln zum Aufladen des Photoleiters mit einer bestimmten Polarität,
so daß in dem Photoleiter ein elektrisches Feld mit einer definierten Richtung
erzeugt wird. Außerdem betrifft die Erfindung ein Röntgenaufnahmegerät mit einer
solchen Anordnung.
Ein idealer Photoleiter ist ein Isolator, wenn er nicht belichtet wird. Lediglich
während einer Belichtung bzw. einer Bestrahlung mit Röntgenstrahlen wird er
leitfähig und zwar um so mehr, je höher die Bestrahlungsintensität ist. Damit wird
an den bestrahlten Stellen die durch eine vorherige Aufladung erzeugte Ladungs
dichte entsprechend der dort auftreffenden Dosis verringert. Das auf diese Weise auf
der Oberfläche des Photoleiters erzeugte zweidimensionale Ladungsmuster, das im
wesentlichen der räumlichen Verteilung der Röntgenstrahlungsdosis entspricht
("latentes Bild" oder "Ladungsbild"), wird von einer Ausleseeinheit in elektrische
Signale umgesetzt, die verstärkt, gefiltert, digitalisiert und gespeichert werden
können. Die Signale sind dann der digitalen Bildverarbeitung zugänglich.
Aus der EP-A 0342760 ist es bekannt, daß als Folge von Defektstellen in dem
Photoleiter der sogenannte Memory-Effekt auftreten kann. Die Defektstellen haben
zur Folge, daß in ihrer Umgebung nach der Bestrahlung noch eine gewisse Leit
fähigkeit erhalten bleibt, was dazu führt, daß bei der nächsten Röntgenaufnahme
Strukturen der vorangehenden Röntgenaufnahme als Artefakt im Bild erscheinen.
Der Memory-Effekt ist um so ausgeprägter, je höher die Dosis bei der vorangegan
genen Aufnahme war. Er macht sich daher nur bei Röntgenaufnahmen bemerkbar;
bei einer Röntgendurchleuchtung, bei der - pro Einzelbild - eine wesentlich
geringere Röntgendosis erzeugt wird, macht er sich nicht störend bemerkbar. Bei
der bekannten Anordnung werden die durch den Memory-Effekt verursachten
Artefakte durch eine Software-Korrektur beseitigt bzw. reduziert.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es demgegenüber, den Memory-Effekt selbst
zu reduzieren. Diese Aufgabe wird erfindungsgemaß dadurch gelöst, daß zwischen
dem Substrat und dem Photoleiter und/oder auf der vom Substrat abgewandten Seite
des Photoleiters eine Einfangschicht zum Reduzieren der von außen in den
Photoleiter injizierten Ladungsträger vorgesehen ist.
Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, daß eine signifikante Ursache für den
Memory-Effekt in den Ladungsträgerströmen zu sehen ist, die von außen bzw. von
den Grenzflächen in den Photoleiter injiziert werden. Durch die Einfangschicht(en)
wird die Zahl der in den Photoleiter injizierten Ladungsträger und damit der
Memory-Effekt reduziert. Auf die Defektstellen, die gemäß der EP-A-0342760 den
Memory-Effekt hervorrufen können, haben die Einfangschichten hingegen keinen
unmittelbaren Einfluß.
Die Anforderungen an die Einfangschicht hängen von der Polarität ab, mit der der
Photoleiter aufgeladen wird. Wenn das Substrat dabei negativ ist, muß zwischen
dem Substrat und dem Photoleiter eine Elektronen-Einfangschicht und/oder auf der
vom Substrat abgewandten Seite des Photoleiters eine Löcher-Einfangschicht
vorgesehen sein. Ist hingegen das Substrat positiv, dann muß zwischen dem Substrat
und dem Photoleiter eine Löcher-Einfangschicht und/oder auf der vom Substrat
abgewandten Seite eine Elektronen-Einfangschicht vorgesehen sein.
Es sei an dieser Stelle erwähnt, daß aus der US-PS 5,436,101 bereits ein
Röntgenbildwandler mit einem Selen-Photoleiter bekannt ist, der beiderseits des
Photoleiters mit einer Löcher-Einfangschicht aus einer Selen-Arsen-Legierung (mit
0,1-33 Gewichtsprozent Arsen) versehen ist. Damit soll es möglich sein, den
Photoleiter sowohl bei positiv Aufladung (wobei das Substrat negativ ist) als auch
bei negativer negativer Aufladung (mit positivem Substrat) zu betreiben. Durch die
beiden Schichten ergibt sich eine Verbesserung für eine negative Aufladung des
Photoleiters, so daß sich der Photoleiter dabei ähnlich verhält wie bei einer positiven
Aufladung. Für eine positive Aufladung des Photoleiters ergibt sich keine
Verbesserung der Eigenschaften des Photoleiters bzw. es resultiert sogar eine
Einschränkung seine Dynamikbereiches. - Bei der Erfindung ist demgegenüber für
die Aufladung nur eine Polarität vorgesehen (bei einem Selen-Photoleiter bevorzugt
eine positive Aufladung) und die Erfindung verbessert die Eigenschaften des
Photoleiters bei dieser Polarität der Aufladung.
Weiterhin sei erwähnt, daß aus der EP-A 0 588 397 ein für
Röntgendurchleuchtungen vorgesehener Röntgenbilddetektor bekannt ist, der eine
Sensormatrix aufweist, deren Sensorelemente die Ladungsträger aus dem darüber
liegenden Bereich eines Photoleiters erfassen. Zur Reduzierung der den
Durchleuchtungsbetrieb störenden Dunkelentladungsraten sind dabei beiderseits des
aus Selen bestehenden Photoleiters Selenschichten mit einem Dotierungszusatz
vorgesehen, so daß die eine Schicht Löcher und die andere Elektronen einfängt.
Einfangschichten haben für die Ladungsträger der einen Art (z. B. Elektronen) eine
im Vergleich zum Photoleiter geringe elektrische Leitfähigkeit, während sie für
Ladungsträger des entgegengesetzten Typs (Löcher) eine hohe Leitfähigkeit auf
weisen. Dieses Verhalten läßt sich nach einer Weiterbildung der Erfindung dadurch
erreichen, daß das Material der Einfangschicht sich vom Material des Photoleiters
durch eine Dotierung mit einem Zusatzstoff unterscheidet, wodurch in der Einfang
schicht Defektstellen zum Einfangen der injizierten Ladungsträger entstehen.
Eine bevorzugte Weiterbildung der Erfindung sieht vor, daß auf der vom Photoleiter
abgewandten Seite der Einfangschicht eine Schicht vorgesehen ist, die eine wesent
lich geringere Dicke, aber die gleiche stoffliche Zusammensetzung hat wie der
Photoleiter. Diese Schicht wirkt als Pufferschicht, die die Schichten mit
bildgebender Funktion von den Grenzflächen - insbesondere zum Substrat - trennt.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, daß sich auf der vom
Substrat abgewandten Seite des Photoleiters eine Passivierungsschicht befindet.
Eine solche Passivierungsschicht bildet einen mechanischen und chemischen Schutz
für die Oberfläche des Photoleiters und reduziert außerdem auch die Zahl der
Ladungsträger, die in den Photoleiter eindringen können.
Eine bevorzugte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, daß der Photoleiter überwie
gend aus Selen besteht, daß das Substrat aus Aluminium besteht, das auf seiner dem
Photoleiter zugewandten Fläche oxidiert ist, und daß die Mittel zum Aufladen des
Photoleiters so gestaltet sind, daß das Potential an der dem Substrat abgewandten
Seite positiv in Bezug auf das Potential des Substrates ist. Wenn der Photoleiter
statt dessen auf ein negatives Potential aufgeladen würde, würde sich ein wesentlich
ungünstigeres Verhalten ergeben.
Eine andere Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, daß der Photoleiter überwiegend
aus Bleioxid besteht, daß das Substrat aus Aluminium besteht, das auf seiner dem
Photoleiter zugewandten Fläche oxidiert ist, und daß die Mittel zum Aufladen des
Photoleiters so gestaltet sind, daß das Potential an der dem Substrat abgewandten
Seite negativ in Bezug auf das Potential des Substrates ist. Im Gegensatz zu einem
Selen-Photoleiter werden bei einem Bleioxid-Photoleiter die günstigeren Ergebnisse
bei einer Aufladung auf ein negatives Potential erreicht.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, daß die Elektronen-Ein
fangschicht Selen enthält, das eine Chlor-Dotierung von weniger als 1000 ppm
aufweist. Im Gegensatz dazu ist nach einer anderen Ausgestaltung der Erfindung
zum Einfangen positiver Ladungsträger (Löcher) vorgesehen, daß die
Löcher-Einfangschicht Selen enthält, das eine Natrium- oder eine
Wasserstoff-Dotierung von weniger als 2000 ppm aufweist.
Eine für einen Bleioxid-Photoleiter geeignete Ausgestaltung der Erfindung sieht vor,
daß die Einfangschichten Bleioxid mit mehr bzw weniger Sauerstoff-Atomen als
Blei-Atomen enthalten. Bei einem Sauerstoffüberschuß kann eine derartige Schicht
Elektronen einfangen und bei einem Sauerstoffdefizit Löcher.
Die erfindungsgemäße Anordnung ist vorzugsweise bei einem Röntgenaufnahmegerät
anwendbar. Dabei wird ausgegangen von einem Röntgen-Aufnahmegerät mit einem
Röntgenstrahler zur Erzeugung von Röntgenstrahlung, einem Röntgenbildwandler,
der einen die Röntgenstrahlung wenigstens teilweise absorbierenden Photoleiter auf
einem als Elektrode wirksamen Substrat umfaßt, Mitteln zum Aufladen des Photolei
ters mit einer einzigen Polarität, so daß in dem Photoleiter ein elektrisches Feld mit
einer definierten Richtung erzeugt wird, und eine Ausleseeinheit zum Auslesen des
in dem Röntgenbildwandler durch die Röntgenstrahlung erzeugten Ladungsmusters;
die Reduzierung des Memory-Effektes ergibt sich dabei dadurch, daß zwischen dem
Substrat und dem Photoleiter und/oder auf der vom Substrat abgewandten Seite des
Photoleiters eine Einfangschicht zum Reduzieren der von außen in den Photoleiter
injizierten Ladungsträger vorgesehen ist.
Die Erfindung wird nachstehend anhand der Zeichnungen naher erläutert. Es zeigen
Fig. 1 Ein Röntgengerät, bei dem die Erfindung anwendbar ist in schematischer
Darstellung.
Fig. 2a und b ein erstes Ausführungsbeispiel,
Fig. 3a und b ein zweites Ausführungsbeispiel und
Fig. 4a und b ein drittes Ausführungsbeispiel-
jeweils für einen Selen - bzw. einen Bleioxiddetektor.
Fig. 1 zeigt einen Teil eines Röntgenaufnahmegeräts, in dem die Erfindung
anwendbar ist in schematischer Darstellung. Mit 1 ist dabei ein Röntgenbildwandler
bezeichnet, der einen Zylindermantel - bzw. trommelförmigen Trägerkörper 11 aus
Aluminium umfaßt, auf dessen Außenfläche eine Beschichtung 10 aufgebracht ist,
die unter anderem einen Photoleiter umfaßt.
Der als Substrat wirksame Trägerkörper 11 ist an eine Gleichspannungsquelle 5
angeschlossen, die eine gegenüber Erdpotential negative Gleichspannung von z. B.
-1,5 kV liefert.
Vor einer Röntgenaufnahme wird der Röntgenbildwandler 1 mit dem Photoleiter
gleichmäßig auf ein definiertes Potential, z. B. 0 Volt, aufgeladen, wobei ein Motor
8 dafür sorgt, daß der Trägerkörper 11 um seine Längsachse 12 rotiert, so daß sich
eine gleichmäßige Aufladung ergibt. Die Aufladung erfolgt mittels einer
Aufladeeinrichtung, die eine Koronaeinheit 3 und einen Gleichspannungserzeuger 9
bzw. ein Netzteil umfaßt, das eine Gleichspannung für die Koronaeinheit 3 liefert.
Die Koronaeinheit 3 erstreckt sich senkrecht zur Zeichenebene, also parallel zur
Drehachse 12 des Trägerkörpers 11 über dessen gesamte Länge. Sie umfaßt ein
geerdetes Gehäuse 3a mit einem U-förmigen Querschnitt, dessen offene Seite zum
Photoleiter hin gerichtet ist. In dem Gehäuse 3a befindet sich ein Draht 3b, wobei
zwischen diesem Draht und dem Photoleiter zweckmäßigerweise ein Gitter
vorgesehen ist, das ebenfalls geerdet ist. Während einer Aufladung liegt der Draht
3b an einer positiven Spannung von z. B. 4 kV. Dadurch ergibt sich um den Draht
herum ein stark inhomogenes elektrisches Feld, das zu einer Gasentladung führt. Bei
der Gasentladung werden die Luftmoleküle in der Nähe des Drahtes 3b ionisiert.
Die dabei erzeugten positiven Ladungsträger gelangen durch die Maschen des
erwähnten Gitters hindurch auf die Oberfläche des Röntgenbildwandlers mit dem
Photoleiter und laden diesen auf. Wenn dieser das Potential des geerdeten Gehäuses
3a erreicht hat, gelangen praktisch keine weiteren positiven Ladungsträger mehr zum
Photoleiter.
Während einer Röntgenaufnahme steht der Trägerkörper 11 still und wird auf seiner
dem Röntgenstrahler 2 zugewandten Seite belichtet, wodurch sich die Leitfähigkeit
des Photoleiters erhöht, so daß sich dessen Oberfläche je nach Intensität der
Röntgenstrahlung entlädt und ein entsprechendes Ladungsmuster entsteht.
Nach einer Röntgenaufnahme wird das durch die Röntgenbelichtung auf der Ober
fläche des Photoleiters erzeugte Ladungsmuster mittels einer Ausleseeinheit 4
ausgelesen. Diese Ausleseeinheit erstreckt sich ebenfalls parallel zur Achse 12 des
Röntgenbildwandlers und enthält in dieser Richtung verteilt eine Anzahl von
Influenzsonden, die der Ladungsdichte auf der Oberfläche entsprechende elektrische
Signale erzeugen.
Die Erfindung ist auch bei einem Röntgenbildwandler mit einem anders geformten
Trägerkörper anwendbar z. B. einem ebenen Trägerkörper. Deshalb wird bei den
Fig. 2a. . .4b, die die Schichtenfolge der Beschichtung 10 darstellen, von einem
ebenen Trägerkörper bzw. Substrat 11 ausgegangen. Das Substrat 11 kann aus
Aluminium mit einer Oxidschicht 110 bestehen oder aber aus einem Glaskörper, der
mit einem Metall, z. B. Aluminium, oder mit Indiumzinnoxid beschichtet ist. Dabei
ist eine Photoleiterschicht 101 aus Selen vorgesehen, die einen Zusatz von 0,5
Gewichtsprozent Arsen enthält, um einer Rekristallisation vorzubeugen. Die
Photoleiterschicht 101 hat eine Dicke zwischen 100 und 1000 µm, z. B. 500 µm. Auf
ihrer vom Substrat 11 abgewandten Seite ist die Photoleiterschicht 101 mit einer
Passivierungsschicht 102 bedeckt, die dem mechanischen und chemischen Schutz der
Photoleiteroberfläche dient und die z. B. aus einem organischen Lack oder
Parapoly-Xylyl bestehen kann.
Das Substrat 11 ist auf seiner dem Photoleiter 101 zugewandten Seite mit einer
Oxidschicht 110 versehen, die z. B. naßchemisch hergestellt werden kann. Die
Passivierungsschicht 102 und die Oxidschicht 110 verhindern im Idealfall das
Eindringen von Löchern bzw. Elektronen in die Photoleiterschicht 101. In der
Praxis läßt sich jedoch nicht vermeiden, daß ein Strom von Ladungsträgern, z. B.
von Elektronen, aus dem Substrat 11 in den Photoleiter 101 injiziert wird. Dieser
wird durch unter Röntgenstrahlung entstehende Raumladungen (geladene Störstellen
in Interface-Nähe) noch verstärkt, wodurch sich ein störender Memory-Effekt ergibt.
Dieser Zustrom von Elektronen aus dem Substrat 11 wird erfindungsgemaß mit
einer Elektronen-Einfangschicht 103 unterdrückt. Dabei kann es sich um eine
Selenschicht mit einer Dicke zwischen 0,1 und 50 µm handeln, die eine
Chlordotierung von 1 bis 1000 ppm aufweist (je dünner die Schicht ist, desto höher
sollte die Dotierung sein). Durch die Dotierung ergeben sich in der Einfangschicht
103 Defektstellen, an denen sich Elektronen anlagern, so daß die elektrische
Leitfähigkeit für Elektronen bzw. die Beweglichkeit der Elektronen reduziert wird,
während die elektrische Leitfähigkeit für Löcher bzw. die Beweglichkeit der Löcher
erhöht wird.
Fig. 2b zeigt eine zu Fig. 2a analoge Ausführungsform, wobei jedoch als Photo
leiter eine Bleioxidschicht 101 vorgesehen ist, die eine geringere Dicke haben kann
als die Selenschicht 101 bei Fig. 2a, z. B. 50 bis 500 µm, weil Bleioxid die
Röntgenstrahlung stärker absorbiert als Selen. Das Substrat 11 kann wiederum aus
Aluminium mit einer Oxidschicht 110 bestehen oder aber aus einem Glaskörper, der
mit einem Metall, z. B. Aluminium, oder mit Indiumzinnoxid beschichtet ist. Dabei
empfiehlt sich jedoch, die Außenfläche der Passivierungsschicht 102 (die die gleiche
Dicke haben und aus dem gleichen Material bestehen kann wie die Schicht 102 bei
der Ausführungsform nach Fig. 2a) nicht positiv aufzuladen sondern negativ, so
daß das Substratpotential demgegenüber positiv ist. Dies wird bei einer Anordnung
gemäß Fig. 1 dadurch erreicht, daß der Aluminiumträger 11 an eine positive
Gleichspannung angeschlossen wird.
Wegen dieser anderen Polarität der Aufladung können aus dem Substrat 11 in den
Photoleiter 101 allenfalls Löcher injiziert werden. Infolgedessen muß die
Einfangschicht 103 zwischen Substrat und Photoleiter bei Fig. 2b als Löcher-Ein
fangschicht wirksam sein. Eine solche Schicht kann eine Dicke von 0,1 bis 50 µm
haben und aus Selen bestehen, das mit 1 bis 2000 ppm Natrium dotiert ist oder
aus einer Bleioxidschicht, die mit Wasserstoff dotiert ist oder eine Bleioxidschicht,
die gegenüber dem stöchiometrischen Verhältnis von Blei und Sauerstoff ein
Sauerstoffdefizit aufweist, d. h. weniger Sauerstoffatome enthält als Bleiatome.
Die in Fig. 3a dargestellt Ausführungsform unterscheidet sich von der
Ausführungsform nach Fig. 2a dadurch, daß zwischen dem Substrat 11 und der
Elektronen-Einfangschicht 103 eine Schicht 104 vorgesehen ist, die eine Dicke bis
zu 50 µm aufweisen kann und aus demselben Material besteht wie der Photoleiter
101. Diese zusätzliche Schicht 104 wirkt als Pufferschicht, die die Schichten 103,
101 mit bildgebender Funktion von der immer etwas gestörten Grenzfläche
Substrat-Selen separiert.
Analog dazu unterscheidet sich die in Fig. 3b dargestellte Schichtenfolge von der
Schichtenfolge nach Fig. 2b dadurch, daß zwischen der Löcher-Einfangschicht
103' und dem Substrat eine bis 50 µm dicke Schicht 104' aus Bleioxid (in
stöchiometrischen Verhältnis) vorgesehen ist, wodurch der Löcherstrom, der vom
Substrat in den Photoleiter 101 injiziert wird, noch weiter reduziert wird.
Die Schichtenfolge nach Fig. 4a unterscheidet sich von derjenigen nach Fig. 3a
dadurch, daß zwischen der Passivierungsschicht 102 und dem Photoleiter 101 eine
zwischen 0,1 und 20 µm dicke, an die Passivierungsschicht 102 angrenzende Schicht
105 aus dem gleichen Material wie der Photoleiter 101 sowie eine Löcher-Ein
fangschicht 106 vorgesehen ist, die an den Photoleiter angrenzt. Diese Schicht
kann eine Dicke von 0,1 bis 50 µm haben und aus Selen mit einer Dotierung von 1
bis 2000 ppm Natrium bestehen. Dadurch wird der in den Photoleiter 101 injizierte
Löcherstrom reduziert.
Analog dazu unterscheidet sich die Schichtenfolge nach Fig. 4b von derjenigen
nach Fig. 3b dadurch, daß zwischen der Passivierungsschicht 102 und der Photo
leiterschicht eine bis 20 µm dicke Schicht 105' aus (stöchiometrischen) Bleioxid und
eine Elektronen-Einfangschicht 106' vorgesehen ist, die bei einer Dicke zwischen
0,1 und 50 µm aus mit 1 bis 100 ppm chlordotierten Selen oder aber aus einer
Bleioxidschicht mit einem Überschuß an Sauerstoff bestehen kann.
Wenn der Ladungsträgerstrom, der vom Substrat 11 her in den Photoleiter 101
eindringt, klein im Vergleich zu dem Ladungsträgerstrom ist, der von der gegen
überliegenden Seite in den Photoleiter 101 injiziert wird, können die Schichten 103
und 104 bzw 103' und 104' auch entfallen.
Claims (10)
1. Anordnung zur Erzeugung von Röntgenaufnahmen mittels eines
Röntgenbildwandlers (1), der einen die Röntgenstrahlung wenigstens teilweise
absorbierenden Photoleiter (101) auf einem als Elektrode wirksamen Substrat (11)
umfaßt, mit Mitteln (3) zum Aufladen des Photoleiters mit einer bestimmten
Polarität, so daß in dem Photoleiter ein elektrisches Feld mit einer definierten
Richtung erzeugt wird,
dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Substrat (11) und dem Photoleiter
und/oder auf der vom Substrat abgewandten Seite des Photoleiters (101) eine
Einfangschicht (103; 106) zum Reduzieren der von außen in den Photoleiter
injizierten Ladungsträger vorgesehen ist.
2. Anordnung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß das Material der Einfangschicht (103; 106) sich vom
Material des Photoleiters (101) durch eine Dotierung mit einem Zusatzstoff
unterscheidet, wodurch in der Einfangschicht Defektstellen zum Einfangen der
injizierten Ladungsträger entstehen.
3. Anordnung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß auf der vom Photoleiter (101) abgewandten Seite der
Einfangschicht eine Schicht (104, 105) vorgesehen ist, die eine wesentlich geringere
Dicke, aber die gleiche stoffliche Zusammensetzung hat wie der Photoleiter (101).
4. Anordnung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß sich auf der vom Substrat abgewandten Seite des
Photoleiters eine Passivierungsschicht (102) befindet.
5. Anordnung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß der Photoleiter (101) überwiegend aus Selen besteht,
daß das Substrat (11) aus Aluminium besteht, das auf seiner dem Photoleiter
zugewandten Fläche (110) oxidiert ist, und daß die Mittel zum Aufladen (3) des
Photoleiters so gestaltet sind, daß das Potential an der dem Substrat abgewandten
Seite positiv in Bezug auf das Potential des Substrates (11) ist.
6. Anordnung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß der Photoleiter (101) überwiegend aus Bleioxid
besteht, daß das Substrat (11) aus Aluminium besteht, das auf seiner dem Photoleiter
zugewandten Fläche oxidiert ist, und daß die Mittel (3) zum Aufladen des
Photoleiters so gestaltet sind, daß das Potential an der dem Substrat abgewandten
Seite negativ in Bezug auf das Potential des Substrates ist.
7. Anordnung nach Anspruch 5 oder 6,
dadurch gekennzeichnet, daß die Elektronen-Einfangschicht (103, 105') Selen
enthält, das eine Chlor-Dotierung oder eine Sauerstoff-Dotierung von weniger als
1000 ppm aufweist.
8. Anordnung nach Anspruch 5 oder 6,
dadurch gekennzeichnet, daß die Löcher-Einfangschicht (105, 103') Selen enthält,
das eine Natrium- oder eine Wasserstoff-Dotierung von weniger als 2000 ppm
aufweist.
9. Anordnung nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet, daß die Einfangschichten Bleioxid mit mehr bzw weniger
Sauerstoff-Atomen als Blei-Atomen enthalten.
10. Röntgen-Aufnahmegerät mit einem Röntgenstrahler (2) zur Erzeugung von
Röntgenstrahlung, einem Röntgenbildwandler (1), der einen die Röntgenstrahlung
wenigstens teilweise absorbierenden Photoleiter (101) auf einem als Elektrode
wirksamen Substrat (11) umfaßt, Mittel (3) zum Aufladen des Photoleiters mit einer
einzigen Polarität, so daß in dem Photoleiter ein elektrisches Feld mit einer
definierten Richtung erzeugt wird, und eine Ausleseeinheit (4) zum Auslesen des in
dem Röntgenbildwandler durch die Röntgenstrahlung erzeugten Ladungsmusters,
dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Substrat (11) und dem Photoleiter
und/oder auf der vom Substrat abgewandten Seite des Photoleiters eine
Einfangschicht (103, 105) zum Reduzieren der von außen in den Photoleiter
injizierten Ladungsträger vorgesehen ist.
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| DE19640946A DE19640946A1 (de) | 1996-10-04 | 1996-10-04 | Röntgenaufnahme-Anordnung mit einem Photoleiter |
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