DE19639780A1

DE19639780A1 - Verfahren zur Durchführung von optischen und mechanischen Messungen in der Koordinatenmeßtechnik

Info

Publication number: DE19639780A1
Application number: DE1996139780
Authority: DE
Inventors: Norbert Bach
Original assignee: Leitz Brown and Sharpe Messtechnik GmbH
Current assignee: Hexagon Metrology GmbH
Priority date: 1996-09-27
Filing date: 1996-09-27
Publication date: 1998-04-02

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Durchführung von optischen und mechanischen Messungen in der Koordina tenmeßtechnik.

In der Koordinatenmeßtechnik erfordern viele Meßaufga ben einerseits 2D-Messungen bei flachen Strukturen, ande rerseits 3D-Messungen bei Merkmalen, die optisch nicht antastbar sind oder die von der Seite oder von unten ange tastet werden müssen. Für diese Meßaufgaben müssen optische (2D-) und mechanische (3D-) Messungen in einer Aufspannung möglich sein.

Für bestimmte Meßaufgaben ist es notwendig, einen mes senden Tastkopf zu verwenden, beispielsweise bei einem Genauigkeitsbereich von circa 1 µm oder bei der Verwendung von langen oder abgekröpften Tastern oder für den Fall, daß nur geringe Antastkräfte ausgeübt werden dürfen, oder daß Scannen, das heißt die Aufnahme sehr vieler Meßpunkte in kurzer Zeit, erforderlich ist.

Beispiele für Meßaufgaben, die mit zum Stand der Tech nik gehörenden Verfahren und Geräten nicht oder nicht wirt schaftlich lösbar sind, sind Messungen folgender Werk stücke:

a) Zahnimplantate (Innenkegel nur mechanisch meßbar, insbe sondere durch Scannen und/oder Zentrieren, äußere feine Strukturen sind nur optisch meßbar);
b) Metall- und Kunststoffteile für die Elektrotechnik, zum Beispiel Federn;
c) Bildröhrenteile;
d) Zahnräder für Feinwerktechnik und Uhrenindustrie.

Kanten, die höher als circa 0,5 µm sind (hohe Kanten), können optisch nicht ohne weiteres absolut gemessen werden, da von der Höhe der Kante, von der Werkstückoberfläche und von verschiedenen Parametern des optischen Systems abhän gige Beugungseffekte die Festlegung einer eindeutigen Schwelle, die der geometrischen Kante entspricht, im Be reich von wenigen µm unmöglich machen.

Zum Stand der Technik gehören 3D-Koordinatenmeßgeräte. Diese weisen einen Meßbereich von mehr als circa 400 mm in allen Koordinatenrichtungen auf. Die mechanischen Struktu ren sind aus Granit, Stahl, Keramik, kohlefaserverstärkte Kunststoffe (CFK) oder Aluminium aufgebaut. Der Tastkopf ist an einer senkrechten oder waagerechten Pinole angeord net, um große Werkstücke allseitig antasten zu können. Für geringere Anforderungen an Genauigkeit und Flexibilität werden schaltende Tastköpfe eingesetzt, die bei Berührung der Werkstückoberfläche einen Antastimpuls erzeugen. Für höhere Anforderungen sind messende Tastsysteme vorgesehen, die im angetasteten Zustand eine Kennlinie aufnehmen, aus deren Lage auf die Position der Werkstückoberfläche ge schlossen wird.

Die Steuerung eines 3D-Koordinatenmeßgerätes mit mes sendem Tastsystem ist dafür ausgelegt, während des Meßvor ganges Meßpunkte aufzunehmen, wobei insbesondere beim Scanning-Betrieb eine Datenrate von circa 1.000/s erforder lich ist. Für den Scanning-Betrieb muß beim Scannen belie biger Konturen der Regelkreis von der Tasterauslenkung über die Antriebe geschlossen und der Dynamik des Systems ange paßt werden, beim Scannen entlang einer vorgegebenen Kontur muß das Koordinatenmeßgerät in der Lage sein, in allen Ach sen der vorgegebenen Kontur mit genügend geringem Schlepp fehler zu folgen. Bei der Auswertung der Daten werden räum liche Korrekturen (Tasterradius, Biegung usw.) berücksich tigt. Es besteht auch die Möglichkeit zum Anschluß an 3D-CAD-Systeme.

Zum Stand der Technik gehören weiterhin Meßmikroskope, die in der Regel Meßbereiche von weniger als 200 mm in senkrechter Richtung (Z-Richtung) aufweisen. Die mechani schen Strukturen sind üblicherweise aus Stahl aufgebaut. Der Tastkopf ist an einem in Z-Richtung beweglichen Schlit ten angebracht. Die Antriebsregler sind aufgrund der unter schiedlichen Anforderungen in den drei Achsen (X, Y: Werk stückbewegung, Z: Fokussieren) unterschiedlich aufgebaut. Der Meßtisch weist eine Glasplatte mit Durchlicht-Beleuch tung auf, die mit dem Beobachtungsobjektiv einen Strahlen gang bildet. Meßmikroskope höherer Leistung besitzen neben dem koaxialen Auflicht auch einzeln ansteuerbare Dunkel feld- (Schrägauflicht-) Segmente, einen Vergrößerungswech sel, der automatisch ausgebildet sein kann und/oder Reticles zur Kontrasterhöhung, die auch automatisch ansteu erbar sind. Diese Meßmikroskope können gegebenenfalls zu sätzliche Autofokussysteme aufweisen.

Die Steuerung automatischer Meßmikroskope ist für die Messung im Stillstand ausgelegt. Hierfür ist eine relativ geringe Datenrate ausreichend. Dies gilt auch, wenn zusätz lich ein schaltender mechanischer Tastkopf betrieben wird. Die Bildauswertung erfolgt manuell oder durch automatische Bildanalyse, die Meßpunkte können in 2D-CAD-Systeme über tragen werden.

Gemäß dem Stand der Technik gibt es für die Kombina tion optischer und mechanischer Koordinatenmeßsysteme

a) 3D-Koordinatenmeßgeräte mit messendem mechanischen Tast kopf und zusätzlichem optischen (abbildenden) Sensor, das heißt mit zusätzlich angebrachter Optik und Kamera, eventuell auch mit Bildanalyse;
b) Meßmikroskope mit zusätzlichem schaltenden mechanischen Tastkopf;
c) Mehrkoordinatenmeß- und Prüfungseinrichtungen gemäß der DE-PS 38 06 686.

Zu a):
Das zum Stand der Technik gehörende 3D-Koordinatenmeß gerät mit messendem mechanischen Tastsystem und zusätzli chem optischen (abbildenden) Sensor hat den Nachteil, daß der optische Sensor entweder fest an der Pinolenspitze neben dem mechanischen Tastkopf montiert ist, oder daß der optische Sensor anstelle des mechanischen Tasters einge wechselt wird. In beiden Fällen besteht eine starke Raum- und Gewichtsbeschränkung. Der Nutzen als Meßmikroskop ist eingeschränkt durch:

- zu hohe Kosten;
- unhandliche Größe;
- nicht optimalen mechanischen Aufbau für die Meßmikrosko pie, zum Beispiel geringe Dynamik mit großer Masse an der Pinolenspitze. Der Z-Meßbereich ist zu groß, das bedeutet lange Wartezeit beim Anfahren der Null-Posi tion;
- fehlendes Durchlicht, da der Meßtisch für 3D-Werkstücke ausgelegt ist (Stahl oder Granit). Aufgesetzte Lichtkä sten oder Reflexfolien sind zu lichtschwach oder zu ungleichmäßig für hochgenaue Messungen;
- eingeschränktes Auflicht (nur koaxial oder koaxial mit Ringbeleuchtung, keine Dunkelfeldsektorenbeleuchtung), kein automatischer Vergrößerungswechsel und keine auto matische Reticle-Einspiegelung aufgrund der Raum- und Gewichtsbeschränkung, oft schlechte Qualität der Be leuchtung und Abbildung aufgrund der Raum- und Gewichts beschränkung.

Zu b):
Meßmikroskope mit zusätzlichem schaltenden mechani schen Tastsystem haben den Nachteil, daß der Nutzen als 3D-Koordinatenmeßgerät eingeschränkt ist durch:

- geringe Genauigkeit des schaltenden Tastsystems;
- Beschädigung empfindlicher Meßobjekte durch hohe nicht einstellbare Antastkräfte. Dieses wirkt sich besonders nachteilig aus, da typische 2D-Werkstücke feine empfind liche Strukturen haben.

Des weiteren ist/sind:

- kein Scannen möglich;
- kein Zentrieren möglich;
- keine langen Taster einsetzbar aufgrund starker Be schränkung der Tastermasse bei schaltenden Tastern;
- abgekröpfte Taster führen zu starken Genauigkeitsein bußen aufgrund der Antastcharakteristik schaltender Taster;
- kein automatischer Tasterwechsel möglich;
- das Meßvolumen eingeschränkt durch den mechanischen Taster.

Zu c):
Die Mehrkoordinatenmeß- und -prüfeinrichtung gemäß der DE-PS 38 06 686 weist die Bauform eines 3D-Koordinatenmeß gerätes auf. An dem Querträger ist ein Schlitten angeord net, welcher zwei in Z-Richtung verschiebbare Pinolen auf weist. Die eine Pinole trägt den Tastkopf, und die andere Pinole trägt einen Videotaster und einen Lasertaster.

Diese zum Stand der Technik gehörende Mehrkoordinaten meß- und -prüfeinrichtung hat folgende Nachteile:

aa) Lasertaster weisen an technischen Oberflächen er hebliche Meßungenauigkeiten auf. Darüber hinaus ist Scannen geneigter Oberflächen oder das Scannen der Innenwand einer Bohrung nicht möglich.
bb) Lasertaster und mechanischer Taster sind an zwei Pinolen und gemäß Fig. 2 der DE 38 06 686 C2 sogar an zwei Schlitten angeordnet. Dieses hat den Nachteil, daß eine Kombination von optischer mit mechanischer Messung mit re lativ großen Fehlern behaftet ist, da beim Verfahren jeder Pinole Ungenauigkeiten auftreten. Diese Ungenauigkeiten machen sich zum einen beim Verfahren in Z-Richtung bemerk bar. Zum anderen verändern die Pinolen beim Verfahren in Z-Richtung ihre relative Lage zueinander, was bei bestimmten Meßaufgaben von erheblichem Nachteil ist.

Das der Erfindung zugrunde liegende technische Problem besteht darin, ein Verfahren zur Durchführung von optischen und mechanischen Messungen in der Koordinatenmeßtechnik an zugeben, bei dem 2D-Messungen mit allen optischen Möglich keiten zur Kontraststeigerung möglich sind, bei dem ein optisches Scannen, Messen im Bild, Bildanalyse zum automa tischen Messen und automatischen Fokussieren möglich ist, und bei dem 3D-Messungen mit einem mechanischen Tastsystem höchster Genauigkeit möglich sind sowie ein mechanisches Scannen. Darüber hinaus besteht das der Erfindung zugrunde liegende technische Problem darin, eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens anzugeben.

Dieses technische Problem wird durch die Merkmale des Anspruches 1 sowie durch die Merkmale des Anspruches 11 gelöst.

Dadurch, daß erfindungsgemäß ein Meßmikroskop mit der Steuerung eines 3D-Koordinatenmeßgerätes betrieben wird, wobei die zusätzlichen Funktionen eines optischen Meßsy stems eingefügt werden, zum Beispiel die Beleuchtungssteue rung und die Bildanalyse, jedoch die Struktur, insbesondere BUS- und Regelungsstruktur und die Datenrate des 3D-Koordi natenmeßgerätes beibehalten werden, erlaubt dieses den Be trieb eines scanfähigen Tastkopfes und gleichzeitig den Betrieb eines Meßmikroskopes.

Hierdurch ist es möglich, 2D-Messungen durchzuführen mit sämtlichen optischen Möglichkeiten zur Kontraststeige rung, wie koaxialem Auflicht, Dunkelfeld-Auflicht und/oder Durchlicht, automatischem Vergrößerungswechsel, Reticle- Einspiegelung und so weiter. Es ist ein optisches Scannen möglich, ein Messen im Bild, eine Bildanalyse zum automati schen Messen und ein automatisches Fokussieren.

Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung können darüber hinaus 3D-Messungen mit einem mechanischen Tastsystem höchster Genauigkeit durchgeführt werden, wobei nach Bedarf wählbar eine geringe Antastkraft und die Verwendung aller gängigen Taster (0,5 mm bis 8 mm Durchmesser, Kugel- und Scheibentaster), langer oder abgekröpfter Taster möglich ist.

Gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren und gemäß der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist ein mechanisches Zentrie ren, ein mechanisches Scannen, ein zentrierendes mechani sches Scannen und automatische Taster- beziehungsweise Sen sorwechsel möglich.

Durch den Vergleich der optischen und mechanischen Daten ist es möglich, eine optische Absolutmessung hoher Kanten durchzuführen. Dieses hat den Vorteil, daß eine hohe Kante, die gemäß dem Stand der Technik optisch nicht gemes sen werden kann, da die Schwelle nicht absolut bestimmbar ist, in einem ersten Arbeitsschritt mit dem mechanischen Taster angefahren wird und so die absolute geometrische Lage der Kante bestimmt wird. Anschließend wird diese Kante optisch vermessen und einer eindeutigen Schwelle, die der geometrischen Kante entspricht, zugeordnet. Anschließend können weitere hohe Kanten desselben Werkstückes aus schließlich optisch vermessen werden und die absoluten Lagen der geometrischen Kante eindeutig bestimmt werden.

Dieses Verfahren hat den Vorteil, daß der gesamte Meßvorgang wesentlich schneller durchgeführt werden kann, da optische Messungen schneller durchgeführt werden können als mechanische Antastungen und somit ein Werkstück bei spielsweise mit vielen Bohrungen nicht derart vermessen werden muß, daß der mechanische Taster jede Bohrung an fährt. Es ist ausreichend, gemäß der Erfindung eine erste Bohrung optisch und mechanisch zu vermessen und an schließend die restlichen Bohrungen ausschließlich optisch zu vermessen.

Gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren und der erfin dungsgemäßen Vorrichtung ist es möglich, optische und mechanische Lage-, Abstands- und Formmessungen auf einem einzigen Meßgerät durchzuführen. Die Abbildungsoptik des Meßmikroskopes sowie der messende Tastkopf sind an einem Z-Schlitten angeordnet. Diese Ausbildung hat den Vorteil, daß Verfahrfehler die relative Lage des Tastkopfes zu der Abbildungsoptik des Meßmikroskopes nicht verändern, so daß eine entsprechende Fehlerkorrektur, die gemäß dem Stand der Technik beispielsweise bei der Anordnung des mechanischen Tastkopfes und der Abbildungsoptik an zwei Pinolen erfor derlich ist, gemäß der Erfindung nicht durchgeführt werden muß.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist sämtliche Vor teile eines Meßmikroskopes und gleichzeitig sämtliche Vor teile eines Koordinatenmeßgerätes mit einem messenden Tast kopf auf.

Das bedeutet, daß mit einem einzigen Gerät optische und mechanische Messungen durchgeführt werden können. Es ist möglich, die optischen Messungen eines und/oder mehre rer Punkte im Bild und/oder das Scannen durch optische Antastung vorzunehmen und darüber hinaus mechanisch Einzel punkte aufzunehmen, zu scannen, gegebenenfalls auch selbst zentrierend zu messen und/oder zentrierend zu scannen.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist darüber hinaus den Vorteil auf, daß für das mechanische Tastsystem ein Taster- oder Tastkopfwechsel vorgesehen sein kann, so daß auch andere Sensoren, zum Beispiel Rauhigkeitssensoren, eingewechselt und betrieben werden können. Soll das Meßvo lumen bei Betrieb des 2D-Tastsystems nicht durch den mecha nischen Taster oder Tastkopf eingeschränkt werden, ist es möglich, die Tasterwechselschnittstelle unbesetzt zu las sen. Für den Tasterwechsel ist vorteilhaft eine Ablagebank vorgesehen. Die Umschaltung von optischer auf mechanische Messung und umgekehrt erfolgt vorzugsweise automatisch, das heißt CNC-gesteuert.

Das optische System weist vorteilhaft einen Vergröße rungswechsel, insbesondere einen automatischen Vergröße rungswechsel auf. Erfindungsgemäß ist die Möglichkeit der Reticle-Einspiegelung und/oder eines zusätzlichen optischen Punktsensors vorhanden. Weiterhin ist es möglich, eine automatische Fokussierung durch eine Kamera oder mit dem zusätzlichen optischen Punktsensor vorzunehmen und als Z-Antastung zu verwenden.

Durch die gleichzeitige mechanische Antastung sowie optische Beobachtung der mechanischen Antastung können besonders feine Strukturen erfaßt werden.

Weitere Einzelheiten der Erfindung können den Unteran sprüchen entnommen werden.

Auf der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Er findung dargestellt, und zwar zeigen:

Fig. 1 eine erfindungsgemaße Vorrichtung in Ansicht;

Fig. 2 eine erfindungsgemäße Vorrichtung im Schnitt;

Fig. 3 ein Blockschaltbild der Steuerung.

Fig. 1 zeigt ein Koordinatenmeßgerät (1) mit einem Meßtisch (2) und mit einem Portal (3), das, je nach Reali sierung der beiden waagerechten Bewegungsrichtungen, auch durch eine starre Säule ersetzt werden kann.

An einem Z-Schlitten (4) ist ein mechanischer Tastkopf mit Taster (5) angeordnet sowie eine Abbildungsoptik (10) und die koaxiale und Schrägauflicht-Beleuchtungsoptik des Meßmikroskopes (nicht dargestellt). Der Meßtisch (2) weist ein Feld (6) auf mit einer Glasplatte (7) mit einer Durch lichtbeleuchtung.

An einer Traverse (8) des Portals (3) ist der Z-Schlitten (4) angeordnet.

Gemäß Fig. 2 ist der Z-Schlitten (4) an einer Z-Füh rung (9) der Traverse (8) angeordnet. Der Z-Schlitten (4) enthält die Abbildungsoptik (10) sowie die koaxiale und die Schrägauflicht-Beleuchtungsoptik (nicht dargestellt) des Meßmikroskopes. An dem Z-Schlitten (4) ist über eine Tast kopfwechselschnittstelle (11) der Tastkopf (12) mit dem Taster (5) angeordnet. Der Z-Schlitten (4) weist darüber hinaus einen zusätzlichen Kollisionsschutz (13) für die Optik auf.

Darüber hinaus ist eine Durchlichtbeleuchtung (14) vorgesehen. Mit (15) ist die optische Achse bezeichnet.

Gemäß Fig. 3 ist die Steuerung (16) des Koordinaten meßgerätes (1) gezeigt. Die Steuerung (16) ist über ein Bedienpult (17) zu bedienen über ein Pult- und Betriebs überwachungsmodul (18).

Die Steuerung (16) enthält ein Modul (19) für die Op tik- und Lampenansteuerung (Vergrößerungswechsler), das im Koordinatenmeßgerät (1) Reticles, Vergrößerungen, Lampen (20) und dergleichen steuert (OLAS).

über ein Tastkopfmodul (TKM) (21) wird die Antastung des mechanischen Tasters (5) gesteuert.

Über ein Analogsignalauswertungsmodul (22) wird die Temperatur während der Messung erfaßt.

Darüber hinaus ist eine CNC-Steuerung (23) vorgesehen für die Umschaltung zwischen optischer und mechanischer Messung.

Die Module (18, 19, 21, 22, 23) werden von einem Ma schinenrechner (IPC) (24) gesteuert.

Der Maschinenrechner (24) stellt andererseits die Schnittstelle zu einem Server (31) dar, über den die externen Geräte, wie die Auswerterechner (32), Drucker (25), Digitalisierer (26), Plotter (27) und/oder CAD-Rechner (28) angesteuert werden.

Für eine am Koordinatenmeßgerät (1) vorgesehene Kamera (29) ist ein Bildanalyserechner (30) vorgesehen.

Bezugszeichenliste

1 Koordinatenmeßgerät
2 Meßtisch
3 Portal
4 Z-Schlitten
5 Taster
6 Feld
7 Glasplatte
8 Traverse
9 Z-Führung
10 Abbildungsoptik
11 Tastkopfwechselschnittstelle
12 Tastkopf
13 Kollisionsschutz
14 Durchlichtbeleuchtung
15 optische Achse
16 Steuerung
17 Bedienpult
18 Pult- und Betriebsüberwachungsmodul
19 Optik- und Lampenansteuerung
20 Reticles, Vergrößerungen, Lampen
21 Tastkopfmodul
22 Analogsignalauswertungsmodul
23 CNC-Steuerung
24 Maschinenrechner (IPC)
25 Printer
26 Digitalisierer
27 Plotter
28 CAD-Rechner
29 Kamera
30 Bildanalyserechner
31 Server
32 Auswerterechner

Claims

1. Verfahren zur Durchführung von optischen und mecha nischen Messungen in der Koordinatenmeßtechnik, dadurch gekennzeichnet, daß mit einem Koordinatenmeßgerät (1) optische Messungen mit einem abbildenden System (10) und mechanische Messungen mit einem scanfähigen 3D-Tastsystem (12) durchgeführt werden, wobei das abbildende System (10) und das 3D-Tastsystem (12) mit tels eines Z-Schlittens in Z-Richtung bewegt werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Messungen Lage-, Abstands- und/oder Formmessungen sind.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mit dem optischen System (10) ein Punkt im Bild und/oder mehrere Punkte im Bild gemessen und/oder durch optische Antastung gescannt werden.

4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mit dem mechanischen Tastsystem (12) Einzelpunkte auf genommen und/oder Konturen gescannt und/oder selbstzentrie rend gemessen und/oder zentrierend gescannt werden.

5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Umschaltung von optischer auf mechanische Messung und umgekehrt automatisch durchgeführt wird.

6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Umschaltung von optischer auf mechanische Messung und umgekehrt mit einer CNC-Steuerung (23) (Computer-Numerical-Control-Steuerung) durchgeführt wird.

7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine automatische Fokussierung des optischen Systems (10) durch eine Kamera (29) oder mit einem zusätzlichen optischen Punktsensor durchgeführt wird.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die automatische Fokussierung als Z-Antastung verwendet wird.

9. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß während der mechanischen Antastung gleichzeitig eine optische Beobachtung der mechanischen Antastung durchge führt wird.

10. Verfahren nach Anspruch 1 zum Messen einer hohen Kante eines Werkstückes, dadurch gekennzeichnet,

- daß mit dem mechanischen Tastsystem (12) die geometrische Position der Kante festgelegt wird,
- daß die Schwellen bei einer anschließenden optischen Messung für das konkrete Werkstück eingestellt werden,
- daß die restlichen Kanten des Werkstückes optisch ver messen werden.

11. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Koordinatenmeß gerät (1) ein mit der Steuerung (16) eines 3D-Koordinaten meßgerätes betriebenes Meßmikroskop und einen scannfähigen (messenden) Tastkopf (12) aufweist, wobei die Abbildungsop tik (10) des Meßmikroskopes und der Tastkopf (12) an einem Z-Schlitten (4) des Koordinatenmeßgerätes (1) angeordnet sind.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeich net, daß die Steuerung (16) des 3D-Koordinatenmeßgerätes (1) zusätzliche Funktionen eines optischen Meßsystems auf weist.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeich net, daß als zusätzliche Funktion der Steuerung eine Be leuchtungssteuerung vorgesehen ist.

14. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeich net, daß als zusätzliche Funktion der Steuerung eine Bild analyse vorgesehen ist.

15. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeich net, daß eine Vorrichtung für das mechanische Tastsystem zum Wechseln des Tasters (5) und/oder Tastkopfes (12) vor gesehen ist.

16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeich net, daß anstelle des mechanischen Tasters oder Tastkopfes Temperatur-, Rauhigkeits- oder andere Sensoren einwechsel bar sind.

17. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeich net, daß eine Ablagebank für den Taster (5) vorgesehen ist.

18. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeich net, daß das Koordinatenmeßgerät (1) eine CNC-Steuerung (23) für die Umschaltung von optischer auf mechanische Mes sung und umgekehrt aufweist.

19. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeich net, daß das optische System (10) als optisches System mit Vergrößerungswechsler ausgebildet ist.

20. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeich net, daß das optische System (10) als optisches System mit automatischem Vergrößerungswechsler ausgebildet ist.

21. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeich net, daß das optische System (10) eine Reticle-Einspiege lung und/oder einen zusätzlichen optischen Punktsensor auf weist.

22. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeich net, daß das optische System (10) zur Kontraststeigerung eine koaxiale Auflichtbeleuchtung und/oder eine Dunkelfeld-Auflichtbeleuchtung und/oder eine Durchlichtbeleuchtung aufweist.